JPH10141369A - Direct-acting bearing - Google Patents
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- JPH10141369A JPH10141369A JP30479396A JP30479396A JPH10141369A JP H10141369 A JPH10141369 A JP H10141369A JP 30479396 A JP30479396 A JP 30479396A JP 30479396 A JP30479396 A JP 30479396A JP H10141369 A JPH10141369 A JP H10141369A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、直動型軸受に関す
る。特に、腐食環境等での利用に好適な構成としてい
る。[0001] The present invention relates to a linear motion bearing. In particular, the configuration is suitable for use in a corrosive environment or the like.
【0002】[0002]
【従来の技術】直動型軸受は、例えば半導体製造関連の
洗浄装置の薬液容器内や、半導体製造装置の特にドライ
エッチング装置のチャンバ内など、腐食性成分が存在す
るような環境で、加工対象の搬送に用いられる。2. Description of the Related Art A linear motion bearing is used in an environment where corrosive components are present, for example, in a chemical solution container of a cleaning device for semiconductor manufacturing or in a chamber of a semiconductor manufacturing device, especially in a dry etching device. Used to transport
【0003】このような環境では、直動型軸受の構成要
素を耐食性に優れたJIS規格SUS440C、SUS
630などのステンレス鋼や、セラミックスなどで形成
している。また、前述したような環境では、一般的なグ
リースなどの潤滑剤を使用できないので、直動型軸受に
おいてボールがレールと移動体との間で転動、摺動する
軌道部に、固体潤滑剤を形成するようにしている。[0003] In such an environment, the components of the linear motion type bearing are made of JIS SUS440C, SUS with excellent corrosion resistance.
630 or the like, or ceramics. In the above-mentioned environment, since lubricant such as general grease cannot be used, in a linear motion type bearing, a solid lubricant is applied to a raceway portion where balls roll and slide between a rail and a moving body. Is formed.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】ところで、前述したよ
うな環境では、研磨要素が混入している場合があり、こ
のような場合には、固体潤滑剤が摩耗しやすくて短寿命
であるとともに、発塵量が多いなど環境を汚すことが指
摘される。また、固体潤滑剤はポーラスであって腐食性
成分が浸透しやすいなど保護作用が薄いため、荷重がか
かるなど条件の厳しい軌道部が腐食しやすくなることも
指摘される。By the way, in the above-mentioned environment, there are cases where polishing elements are mixed. In such a case, the solid lubricant is liable to wear and has a short life. It is pointed out that the environment is polluted due to the large amount of dust. In addition, it is pointed out that the solid lubricant is porous and has a weak protective action such that corrosive components are easily penetrated, and therefore, the track portion under severe conditions such as application of a load tends to corrode.
【0005】さらに、直動型軸受の構成要素の素材を、
耐食性に優れた高価なものとしている点に関し、下記す
るようなことが言える。つまり、特殊腐食環境での使用
については、耐食性が重要視されるので高価であっても
仕方ないが、一般腐食環境での使用については、耐食性
がさほど重要視されないので安価であることが要求され
る。要するに、従来では、特殊腐食環境や一般腐食環境
に関係なく、高価な仕様になっており、改良の余地があ
る。Further, the material of the components of the linear motion type bearing is
The following can be said with respect to the fact that it is expensive and excellent in corrosion resistance. In other words, for use in a special corrosive environment, it is inevitable that it is expensive because corrosion resistance is important, but for use in a general corrosive environment, it is required to be inexpensive because corrosion resistance is not so important. You. In short, conventionally, regardless of the special corrosive environment or the general corrosive environment, the specifications are expensive, and there is room for improvement.
【0006】したがって、本発明は、直動型軸受におい
て、少なくとも軌道部の耐摩耗性と耐食性を向上するこ
とを目的としている。また、本発明は、直動型軸受にお
いて、安価でありながら優れた耐食性を発揮できるよう
にすることを目的としている。Therefore, an object of the present invention is to improve the wear resistance and corrosion resistance of at least the raceway portion in a linear motion type bearing. Another object of the present invention is to provide a linear motion bearing capable of exhibiting excellent corrosion resistance while being inexpensive.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】本発明の第1の直動型軸
受は、少なくとも軌道部の表面に、Ni−PあるいはN
i−Bをマトリックスとし、これに無機材からなる微粒
子を複合共析させた構造の被膜が形成されている。According to the first direct-acting type bearing of the present invention, Ni-P or N
A coating having a structure in which i-B is used as a matrix and fine particles made of an inorganic material are compositely eutectoid is formed.
【0008】本発明の第2の直動型軸受は、軸状のレー
ルと、それにスライド可能に取り付けられる移動体と、
レールと移動体との間に配置されてそれらの相対的なス
ライド動作に伴い転動循環される複数の転動体とを備え
るもので、少なくとも軌道部または転動体のいずれか一
方の表面に、Ni−PあるいはNi−Bをマトリックス
とし、これに無機材からなる微粒子を複合共析させた構
造の被膜が形成されている。[0008] A second direct-acting bearing of the present invention comprises a shaft-like rail, a movable body slidably mounted on the shaft-like rail,
A plurality of rolling elements that are arranged between the rail and the moving body and that are rolled and circulated in accordance with their relative sliding operation. At least one of the raceway portion and the rolling element has a Ni surface. A coating having a structure in which -P or Ni-B is used as a matrix and fine particles made of an inorganic material are compositely eutectoid is formed.
【0009】本発明の第3の直動型軸受は、軸状のレー
ルと、それにスライド可能に取り付けられる移動体と、
レールと移動体との間に配置されてそれらの相対的なス
ライド動作に伴い転動循環される複数の転動体とを備え
るもので、少なくともレールおよび移動体が汎用金属材
で形成されているとともに、それらの表面全体に、Ni
−PあるいはNi−Bをマトリックスとし、これに無機
材からなる微粒子を複合共析させた構造の被膜が形成さ
れている。A third direct-acting bearing according to the present invention comprises: a shaft-shaped rail; a movable body slidably mounted on the shaft;
A plurality of rolling elements that are arranged between the rail and the moving body and are rolled and circulated along with their relative sliding operation, and at least the rail and the moving body are formed of a general-purpose metal material. , Over their surface, Ni
A coating having a structure in which -P or Ni-B is used as a matrix and fine particles made of an inorganic material are compositely eutectoid is formed.
【0010】なお、前述の微粒子はSiCとすることが
できる。[0010] The fine particles can be SiC.
【0011】そして、上記第1,第2の直動型軸受で
は、密着強度が高く高硬度な被膜によって軌道部の耐摩
耗性が向上する。また、被膜が緻密で腐食性成分を浸透
させにくくなるから、軌道部が腐食性成分に直接触れる
ことがない。[0011] In the first and second linear motion bearings, the wear resistance of the raceway portion is improved by the coating having high adhesion strength and high hardness. In addition, since the coating is dense and the corrosive component is hardly permeated, the track portion does not directly touch the corrosive component.
【0012】上記第3の直動型軸受では、その主構成要
素であるレールと移動体とを安価な汎用金属材で形成し
て、表面全体を耐食性に優れた被膜で保護しているか
ら、十分な耐食性が得られた上で価格低減が達成できる
ようになる。In the third linear motion type bearing, the rails and the moving body, which are main components thereof, are formed of an inexpensive general-purpose metal material, and the entire surface is protected by a coating having excellent corrosion resistance. The price can be reduced after sufficient corrosion resistance is obtained.
【0013】なお、被膜の微粒子をSiCとした場合で
は、被膜の耐摩耗性がより一層向上するようになる。When the fine particles of the coating are SiC, the wear resistance of the coating is further improved.
【0014】[0014]
【発明の実施の形態】本発明の詳細を図1ないし図7に
示す実施例に基づいて説明する。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The details of the present invention will be described with reference to the embodiments shown in FIGS.
【0015】図1ないし図3は本発明の一実施例にかか
り、図1は、直動型玉軸受の上半分の縦断面図、図2
は、図1の横断面図、図3は、レールの横断面図であ
る。図中、Aは直動型玉軸受の全体を示しており、1は
円筒形の軸からなるレール、2は円筒部材からなる移動
体、3は保持器、4はボール、5は保持筒である。FIGS. 1 to 3 relate to an embodiment of the present invention, and FIG. 1 is a longitudinal sectional view of an upper half of a direct acting ball bearing.
Is a cross-sectional view of FIG. 1, and FIG. 3 is a cross-sectional view of the rail. In the figure, A indicates the entire linear motion ball bearing, 1 is a rail composed of a cylindrical shaft, 2 is a moving body composed of a cylindrical member, 3 is a cage, 4 is a ball, and 5 is a holding cylinder. is there.
【0016】レール1は、その外周面の円周六箇所に軸
方向に沿う直線状の溝6が全長に及んで設けられてい
る。The rail 1 is provided with linear grooves 6 extending along the axial direction along the entire length at six circumferential positions on the outer peripheral surface thereof.
【0017】移動体2は、その内周面の軸方向中間領域
の円周六箇所にはレール1の近接する溝6に径方向で対
向するようにそれぞれ負荷循環ボール列用および無負荷
循環ボール列用の軌道溝91,92が設けられている。The moving body 2 has a load-circulating ball array and a no-load circulating ball at six circumferential locations in the axially intermediate region of the inner peripheral surface thereof so as to radially oppose the adjacent grooves 6 of the rail 1. Row track grooves 91 and 92 are provided.
【0018】保持器3は、移動体2の内周面の一部に沿
うように湾曲加工された円筒形状をなす。その両端部分
は、保持筒5により支持されている。中央領域には各々
六条の横長の環状溝31,32が対称的に設けられてい
る。環状溝31の直線部分は底が貫通されて底無しとさ
れて負荷循環ボール列41用とされている。環状溝32
は底有りとされて無負荷循環ボール列42用とされてい
る。The retainer 3 has a cylindrical shape which is curved along a part of the inner peripheral surface of the moving body 2. Both end portions are supported by the holding cylinder 5. In the central region, six horizontally long annular grooves 31, 32 are provided symmetrically. The straight portion of the annular groove 31 has a bottom penetrated and has no bottom and is used for the load circulation ball row 41. Annular groove 32
Has a bottom and is used for the no-load circulation ball row 42.
【0019】前述のレール1側と移動体2側の対向する
二つの直線状の溝6,91がそれぞれ対となって合計六
本の負荷用ボール転送路12を構成している。このボー
ル転送路12に存在するボール4群は、保持器3の環状
溝31の底無し直線部に位置する。また、移動体2の溝
92と保持器3の環状溝32の底有り部とが対となって
合計六本の無負荷用ボール循環路13を構成している。
これら、六本のボール転送路12それぞれとそれに近い
側に隣り合う六本のボール循環路13それぞれとが一本
ずつ連通連結されていて、それでボール循環回路を構成
している。このため、レール1と移動体2との相対的な
軸方向スライド動作に伴って、このボール転送路12と
ボール循環路13との間でボール4群が転動循環される
ようになっている。The two opposing linear grooves 6 and 91 on the rail 1 side and the moving body 2 side form a pair to form a total of six load ball transfer paths 12. The group of balls 4 existing in the ball transfer path 12 is located in the bottomless straight portion of the annular groove 31 of the cage 3. The groove 92 of the moving body 2 and the bottomed portion of the annular groove 32 of the retainer 3 form a pair to form a total of six no-load ball circulation paths 13.
Each of the six ball transfer paths 12 and each of the six ball circulation paths 13 adjacent to the six ball transfer paths 12 are communicatively connected one by one, thereby forming a ball circulation circuit. Therefore, with the relative axial sliding operation of the rail 1 and the moving body 2, the ball group 4 is rolled and circulated between the ball transfer path 12 and the ball circulation path 13. .
【0020】ところで、レール1の溝6と移動体2の溝
91の横断面は、サーキュレータアーク状に形成される
が、その他、ゴチックアーチ状でもよい。この場合、溝
の横断面は、それぞれV字形状に形成されていて、対向
する一対の溝6,91でボール4が四点接触支持される
ようになる。この溝6,91それぞれの二つの斜面はそ
れぞれ緩やかな曲面に形成される。なお、レール1の溝
6それぞれにボール4をあてがった状態でのボール4群
の外接円径と、移動体2の溝91それぞれにボール4を
あてがった状態でのボール4群の内接円径との差を調整
して所定の予圧を付加することにより、一対の溝6,9
1でボール4を四点接触支持させるようにされる。The cross sections of the groove 6 of the rail 1 and the groove 91 of the moving body 2 are formed in a circulator arc shape, but may be in a gotic arch shape. In this case, the cross section of each groove is formed in a V-shape, and the ball 4 is supported at four points by a pair of grooves 6 and 91 facing each other. Each of the two slopes of each of the grooves 6, 91 is formed into a gentle curved surface. The circumscribed circle diameter of the group of balls 4 when the ball 4 is applied to each groove 6 of the rail 1 and the inscribed circle diameter of the group of balls 4 when the ball 4 is applied to each groove 91 of the moving body 2. And by applying a predetermined preload by adjusting the difference between
In step 1, the ball 4 is supported by four-point contact.
【0021】以上説明した直動型玉軸受Aには、下記す
る被膜16が形成されている。但し、図には、被膜16
をボール4だけに形成したように例示しているが、レー
ル1の溝6、移動体2の溝91、保持器3の環状溝32
の表面およびそれ以外の表面全体に形成される。The coating 16 described below is formed on the direct acting ball bearing A described above. However, FIG.
Is formed only on the ball 4, but the groove 6 of the rail 1, the groove 91 of the moving body 2, and the annular groove 32 of the holder 3 are provided.
Formed on the entire surface and other surfaces.
【0022】被膜16は、いわゆる無電解ニッケル複合
めっき膜と呼ばれるもので、Ni−PあるいはNi−B
をマトリックスとし、これに無機材特に硬質または潤滑
性を有する不溶性の微粒子を複合共析させた構造であ
る。共析させる微粒子としては、SiCが好ましく、こ
れが均一に分散される。この被膜16は、組成が緻密に
なっているから、この被膜16を腐食性成分が浸透しに
くくなる。そのため、本発明の直動型軸受Aを腐食性雰
囲気に配置した状況において、被膜16で覆われている
レール1、移動体2が腐食性雰囲気に直接触れずに済む
ようになる。また、被膜16では、その被覆対象となる
金属に対する付着強度が、一般的なNiめっき膜に比べ
て格段に高くなるとともに、例えばHv硬さ700〜1
100と高硬度となり、優れた耐摩耗性を発揮する。そ
のため、レール1、移動体2の軌道部での耐摩耗性が向
上するとともに、被膜16が剥離しにくくなり、この被
膜16による保護作用が長期的に継続できるようにな
る。The coating 16 is a so-called electroless nickel composite plating film, and is made of Ni-P or Ni-B
Is used as a matrix, and an inorganic material, in particular, hard or lubricating insoluble fine particles is compositely eutectoid. The fine particles to be eutectoid are preferably SiC, which is uniformly dispersed. Since the coating 16 has a dense composition, corrosive components hardly penetrate the coating 16. Therefore, when the linear motion bearing A of the present invention is disposed in a corrosive atmosphere, the rail 1 and the moving body 2 covered with the coating 16 do not need to directly touch the corrosive atmosphere. Further, in the coating 16, the adhesion strength to the metal to be coated is significantly higher than that of a general Ni plating film, and the Hv hardness is 700 to 1 for example.
It has a high hardness of 100 and exhibits excellent wear resistance. Therefore, the abrasion resistance of the rail 1 and the track of the moving body 2 at the track portion is improved, and the coating 16 is hardly peeled off, so that the protection effect of the coating 16 can be continued for a long time.
【0023】この被膜16は、無電解めっきを行うこと
により形成されるが、めっきの後で熱処理を施したり、
表面を研磨あるいはバフにより仕上げ処理することによ
り面粗さを小さくしたりすることができる。無電解めっ
きのみでは、被膜16の硬度は、Hv硬さ700〜80
0であるが、熱処理(250〜400℃)を施すと、H
v硬さ1000〜1100にと向上する。そして、被膜
16の膜厚としては、例えば5〜50μmの範囲、好ま
しくは10〜20μmに設定される。This coating 16 is formed by performing electroless plating, and may be subjected to heat treatment after plating,
By polishing or buffing the surface, the surface roughness can be reduced. With only electroless plating, the hardness of the coating 16 is Hv hardness 700 to 80.
However, when heat treatment (250 to 400 ° C.) is performed, H
v Hardness is improved to 1000 to 1100. The thickness of the coating 16 is set, for example, in the range of 5 to 50 μm, preferably 10 to 20 μm.
【0024】ところで、前述の各構成要素の素材は、下
記するようなものとすることができる。By the way, the material of each of the above-mentioned components can be as follows.
【0025】 レール1、移動体2、保持器3および
ボール4を、それぞれ汎用金属材、例えばJIS規格S
UJ2、S45C、S55Cなどとする。そして、全て
の構成要素の表面全体に被膜16を形成する。この場
合、各構成要素そのものを耐食性材料で形成する場合に
比べて耐食性を遜色ないレベルにできて、しかも、材料
コストを大幅に低減できるようになる。さらに、ボール
4の転動、摺動部位についての耐摩耗性および発塵性
は、従来の固体潤滑剤を用いる場合に比べて大幅に優れ
たものにできる。但し、腐食環境以外で使用する場合に
は、レール1の溝6、移動体2の溝91ならびに保持器
3の環状溝32の表面、あるいはボール4の表面の少な
くともいずれか一方に被膜16を形成するだけでもよ
い。The rail 1, the moving body 2, the retainer 3 and the ball 4 are each made of a general-purpose metal material, for example, JIS standard S
UJ2, S45C, S55C, etc. Then, the coating 16 is formed on the entire surface of all components. In this case, the corrosion resistance can be reduced to a level comparable to the case where each component itself is formed of a corrosion-resistant material, and the material cost can be significantly reduced. Furthermore, the abrasion resistance and dust generation of the rolling and sliding portions of the ball 4 can be significantly improved as compared with the case where a conventional solid lubricant is used. However, when used in an environment other than a corrosive environment, the coating 16 is formed on at least one of the groove 6 of the rail 1, the groove 91 of the moving body 2, the surface of the annular groove 32 of the cage 3, or the surface of the ball 4. Just do it.
【0026】 レール1および移動体2は、例えばJ
IS規格SUS440Cなどのマルテンサイト系ステン
レス鋼に適当な硬化熱処理を施したものや、JIS規格
SKH4、AISI規格M−50材などの耐熱鋼といっ
た耐食性金属とする。また、保持器3は、前述と同様の
耐食性金属の他、黄銅、チタン材などの耐食性金属や、
PEEK(ポリエーテルエーテルケトン)、PPS(ポ
リフェニレンサルファイド)、PES(ポリエーテルサ
ルフォン)、ナイロン46などのエンジニアリングプラ
スチックスなどの合成樹脂で形成することができる。さ
らに、ボール4は、前述と同様の耐食性金属またはセラ
ミックス材とする。なお、前述のセラミックス材として
は、焼結助剤として、イットリア(Y2 O3 )およびア
ルミナ(Al2 O3 )、その他、適宜、窒化アルミ(A
lN)、酸化チタン(TiO2 )、スピネル(MgAl
2 O4 )を用いた窒化けい素(Si3 N4 )を主体とす
るものの他、アルミナ(Al2 O3 )や炭化けい素(S
iC)、ジルコニア(ZrO2 )、窒化アルミ(Al
N)などが好ましい。そして、レール1の溝6、移動体
2の溝91ならびに保持器3の環状溝32の表面、ある
いはボール4の表面の少なくともいずれか一方に被膜1
6を形成する。この場合、材料コストが高くつくもの
の、特殊腐食環境で好適に使用できるようになる。但
し、全ての構成要素の表面全体に被膜16を形成しても
よい。The rail 1 and the moving body 2 are, for example, J
A corrosion resistant metal such as a martensitic stainless steel such as IS standard SUS440C which has been subjected to an appropriate hardening heat treatment or a heat resistant steel such as JIS standard SKH4 or AISI standard M-50 material. In addition, the cage 3 may be made of a corrosion-resistant metal such as brass or titanium, in addition to the same corrosion-resistant metal as described above,
It can be formed of a synthetic resin such as engineering plastics such as PEEK (polyether ether ketone), PPS (polyphenylene sulfide), PES (polyether sulfone), and nylon 46. Further, the ball 4 is made of the same corrosion-resistant metal or ceramic material as described above. In addition, as the above-mentioned ceramic material, as a sintering aid, yttria (Y 2 O 3 ) and alumina (Al 2 O 3 ), and other materials such as aluminum nitride (A
1N), titanium oxide (TiO 2 ), spinel (MgAl
Other 2 O 4) mainly formed of silicon nitride (Si 3 N 4) with alumina (Al 2 O 3) or silicon carbide (S
iC), zirconia (ZrO 2 ), aluminum nitride (Al
N) and the like are preferred. The coating 1 is applied to at least one of the groove 6 of the rail 1, the groove 91 of the moving body 2, the surface of the annular groove 32 of the retainer 3, or the surface of the ball 4.
6 is formed. In this case, although the material cost is high, it can be suitably used in a special corrosive environment. However, the coating 16 may be formed on the entire surface of all components.
【0027】次に、被膜16の物性を評価するために、
平板試験片に被膜16を形成し、転がり寿命試験を行っ
たので、説明する。平板試験片は、JIS規格SUJ−
2(軸受鋼)とし、被膜16の仕様を下記表1のNo.
1〜No.8の8種類としている。Next, in order to evaluate the physical properties of the coating 16,
A coating 16 was formed on a flat test piece and a rolling life test was performed. The flat specimen is JIS standard SUJ-
No. 2 (bearing steel), and the specification of the coating 16 was No. 1 in Table 1 below.
1 to No. 8 types.
【0028】[0028]
【表1】 [Table 1]
【0029】なお、被膜処理前の平板試験片の表面粗さ
は、0.02Raで、ブラスト処理を施した後の表面粗
さは0.5Raとなっている。The surface roughness of the flat test piece before the coating treatment was 0.02 Ra, and the surface roughness after the blast treatment was 0.5 Ra.
【0030】試験装置は、図4に示すようなスラスト型
転がり寿命試験機を用いている。図中、20は平板試験
片、21はレース、22は転動体としての玉、23は保
持器、24は加圧回転軸、25はベースである。使用潤
滑油はスピンドル油#60、回転速度は1200rpm
である。荷重は、0.44N、0.98N、2.45
N、3.92Nに設定する。なお、荷重0.44Nのと
き面圧は2.0GPa、荷重0.98N→面圧2.6G
Pa、荷重2.45N→面圧3.6GPa、荷重3.9
2N→面圧4.2GPaとなる。The test apparatus uses a thrust type rolling life tester as shown in FIG. In the figure, 20 is a flat plate test piece, 21 is a race, 22 is a ball as a rolling element, 23 is a retainer, 24 is a pressure rotating shaft, and 25 is a base. The lubricating oil used is spindle oil # 60 and the rotation speed is 1200 rpm
It is. Load is 0.44N, 0.98N, 2.45
N, set to 3.92N. At a load of 0.44 N, the surface pressure is 2.0 GPa, and the load is 0.98 N → 2.6 G of surface pressure.
Pa, load 2.45 N → surface pressure 3.6 GPa, load 3.9
2N → 4.2 GPa.
【0031】試験結果としては、荷重を0.44N、
0.98N、2.45Nに設定した場合、No.4だけ
が荷重0.98Nの段階において0.3時間の経過で全
面剥離となり、その他のNo.1,2,3,5,6,
7,8のすべてが24時間問題なく経過した。しかし、
下記表2に示すように、荷重を3.92Nに上げた段階
では、下記表2の結果となった。As a result of the test, the load was 0.44 N,
When set to 0.98N and 2.45N, No. Only at the stage of the load of 0.98 N, only the sample No. 4 was completely peeled off after 0.3 hour. 1,2,3,5,6,
All seven and eight passed without problems for 24 hours. But,
As shown in Table 2 below, when the load was increased to 3.92 N, the results were as shown in Table 2 below.
【0032】[0032]
【表2】 [Table 2]
【0033】表2に示すように、高荷重条件では、N
o.5の仕様(表面ブラスト無し、Ni−P−SiC、
膜厚20μm)が一番優れていた。したがって、荷重の
高低など使用条件に応じて、被膜16の組成や膜厚を適
宜に設定するのが好ましい。As shown in Table 2, under high load conditions, N
o. 5 specifications (no surface blast, Ni-P-SiC,
The film thickness was 20 μm). Therefore, it is preferable to appropriately set the composition and the film thickness of the coating 16 according to the use conditions such as the level of the load.
【0034】なお、本発明は上記実施例のみに限定され
るものではなく、種々な応用や変形が考えられる。例え
ば、上記実施例では、直動型玉軸受を例に挙げている
が、図5および図6に示すように、角状レール1に跨が
った鞍型移動体2を備えた、いわゆる直動ガイドなどの
直動型軸受に対しても本発明を適用できる。また、図7
に示すように、転動体を備えないタイプの直動型軸受に
対しても本発明を適用できる。これらいずれの場合も、
被膜16の形成位置は、少なくとも転動部位や摺動部位
とすればよい。It should be noted that the present invention is not limited to only the above embodiment, and various applications and modifications are conceivable. For example, in the above-described embodiment, a linear motion ball bearing is taken as an example. However, as shown in FIGS. 5 and 6, a so-called linear type having a saddle type moving body 2 straddling a square rail 1 is provided. The present invention can also be applied to a linear motion bearing such as a motion guide. FIG.
As shown in the above, the present invention can be applied to a linear motion type bearing having no rolling elements. In each of these cases,
The position where the coating 16 is formed may be at least a rolling part or a sliding part.
【0035】[0035]
【発明の効果】請求項1〜3では、軌道部に密着強度が
高く高硬度な被膜を形成しているから、耐摩耗性を向上
できるようになる。しかも、被膜が緻密で腐食性成分を
浸透させにくくなるから、転動、摺動部位の耐食性も向
上できるようになる。したがって、長期にわたる動作安
定化を達成できるようになる。According to the first to third aspects of the present invention, since a coating film having a high adhesion strength and a high hardness is formed on the raceway portion, the wear resistance can be improved. In addition, since the coating is dense and the corrosive component is hardly permeated, the corrosion resistance of the rolling and sliding portions can be improved. Therefore, operation stabilization for a long time can be achieved.
【0036】特に、請求項3では、直動型軸受の主構成
要素であるレールと移動体とを安価な汎用金属材で形成
して、表面全体を耐食性に優れた被膜で保護しているか
ら、十分な耐食性が得られた上で価格低減を達成できる
ようになる。つまり、安価でありながら耐食性に優れて
いるから、どのような腐食環境であっても気兼ねなく使
用できるようになる。In particular, in claim 3, the rail and the moving body, which are the main components of the linear motion type bearing, are formed of inexpensive general-purpose metal materials, and the entire surface is protected by a coating having excellent corrosion resistance. In addition, it is possible to achieve a price reduction after obtaining sufficient corrosion resistance. That is, since it is inexpensive and has excellent corrosion resistance, it can be used in any corrosive environment without hesitation.
【0037】請求項4では、被膜の耐摩耗性がより一層
向上するようになる。According to the fourth aspect, the wear resistance of the coating film is further improved.
【図1】本発明の一実施例にかかる直動型玉軸受の縦断
面図FIG. 1 is a longitudinal sectional view of a direct acting ball bearing according to one embodiment of the present invention.
【図2】図1の横断面図FIG. 2 is a cross-sectional view of FIG.
【図3】レールの横断面図FIG. 3 is a cross-sectional view of a rail.
【図4】同実施例の被膜評価のための転がり寿命試験に
用いる試験装置の概略図FIG. 4 is a schematic diagram of a test apparatus used for a rolling life test for evaluating a coating film of the embodiment.
【図5】本発明の他の実施例にかかる直動ガイドの斜視
図FIG. 5 is a perspective view of a linear guide according to another embodiment of the present invention.
【図6】図5の横断面図FIG. 6 is a cross-sectional view of FIG.
【図7】本発明のさらに他の実施例の直動ガイドの横断
面図FIG. 7 is a cross-sectional view of a linear guide according to yet another embodiment of the present invention.
A 直動型玉軸受 1 レール 2 移動体 3 保持器 4 ボール 6 軸の溝 91 移動体の溝 31 保持器の環状溝 12 ボール転送路 13 ボール循環路 16 被膜 A Linear motion ball bearing 1 Rail 2 Moving body 3 Cage 4 Ball 6 Shaft groove 91 Groove of moving body 31 Circular groove of cage 12 Ball transfer path 13 Ball circulation path 16 Coating
Claims (4)
るいはNi−Bをマトリックスとし、これに無機材から
なる微粒子を複合共析させた構造の被膜が形成されてい
る、ことを特徴とする直動型軸受。1. A coating film having a structure in which Ni-P or Ni-B is used as a matrix and fine particles made of an inorganic material are compositely eutectoidally formed on at least the surface of the raceway portion. Linear motion bearing.
取り付けられる移動体と、レールと移動体との間に配置
されてそれらの相対的なスライド動作に伴い転動循環さ
れる複数の転動体とを備える直動型軸受であって、 少なくとも軌道部または転動体のいずれか一方の表面
に、Ni−PあるいはNi−Bをマトリックスとし、こ
れに無機材からなる微粒子を複合共析させた構造の被膜
が形成されている、ことを特徴とする直動型軸受。2. A shaft-shaped rail, a movable body slidably mounted on the rail, and a plurality of rolling elements arranged between the rail and the movable body and rolled and circulated with their relative sliding operation. A linear motion type bearing comprising: Ni-P or Ni-B as a matrix on at least one surface of a raceway portion or a rolling element, and composite eutectoids of fine particles made of an inorganic material. A linear motion type bearing, wherein a coating film is formed.
取り付けられる移動体と、レールと移動体との間に配置
されてそれらの相対的なスライド動作に伴い転動循環さ
れる複数の転動体とを備える直動型軸受であって、 少なくともレールおよび移動体が汎用金属材で形成され
ているとともに、それらの表面全体に、Ni−Pあるい
はNi−Bをマトリックスとし、これに無機材からなる
微粒子を複合共析させた構造の被膜が形成されている、
ことを特徴とする直動型軸受。3. A shaft-shaped rail, a movable body slidably mounted on the rail, and a plurality of rolling elements arranged between the rail and the movable body and rolled and circulated along with their relative sliding operation. A linear motion bearing comprising: at least a rail and a moving body formed of a general-purpose metal material, and Ni-P or Ni-B as a matrix on the entire surface thereof, which is made of an inorganic material. A film having a structure in which fine particles are compositely eutectoid is formed,
A linear motion type bearing characterized by the above-mentioned.
1ないし3のいずれかに記載の直動型軸受。4. The linear motion bearing according to claim 1, wherein the fine particles are made of SiC.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30479396A JPH10141369A (en) | 1996-11-15 | 1996-11-15 | Direct-acting bearing |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP30479396A JPH10141369A (en) | 1996-11-15 | 1996-11-15 | Direct-acting bearing |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH10141369A true JPH10141369A (en) | 1998-05-26 |
Family
ID=17937311
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP30479396A Pending JPH10141369A (en) | 1996-11-15 | 1996-11-15 | Direct-acting bearing |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH10141369A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008065958A1 (en) * | 2006-11-30 | 2008-06-05 | Thk Co., Ltd. | Movement guiding device and method of producing the same |
-
1996
- 1996-11-15 JP JP30479396A patent/JPH10141369A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2008065958A1 (en) * | 2006-11-30 | 2008-06-05 | Thk Co., Ltd. | Movement guiding device and method of producing the same |
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A911 | Transfer of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
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A912 | Removal of reconsideration by examiner before appeal (zenchi) |
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