JPH10141305A - 油圧制御装置 - Google Patents

油圧制御装置

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JPH10141305A
JPH10141305A JP34033696A JP34033696A JPH10141305A JP H10141305 A JPH10141305 A JP H10141305A JP 34033696 A JP34033696 A JP 34033696A JP 34033696 A JP34033696 A JP 34033696A JP H10141305 A JPH10141305 A JP H10141305A
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electromagnet
signal
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spool
bias signal
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JP34033696A
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Kenji Masuda
健二 増田
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 この発明は、電流が小さいときに生ずる直流
電磁石に固有の低吸引力勾配を克服するだけの少ないバ
イアス電流を伴って定電流特性にてPWM式に剛性のあ
る合成電磁力を得ると同時に、非励磁となる可動鉄心の
スプールへの衝突を防止することで、省エネ下で制御性
のあるダイレクトサーボ弁の機能を得て、さらに、電磁
石式なるがゆえに主導するコイルを取り巻く磁路内のギ
ャップを従来油圧制御装置のみならずトルクモータやリ
ニアモータを有する従来サーボ弁のギャップに比べても
半減し、従ってここでも合成電磁力の勾配を高め、もっ
て、構造を簡素とし、高信頼性とし、また保全を有利と
する油圧制御装置に関する。 【構成】 可動鉄心を押圧するばね式の手段を有する二
つの押し型直流電磁石と、本体と、サーボ弁のスプール
と、目標値と、バイアス信号と、負荷電流帰還と、パル
ス幅変調用の比較器(57)、(57′)と、電圧/電
流変換器(58)、(58′)とからなる。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【産業上の利用分野】この発明は、電気油圧サーボ弁に
取って替わり得る電磁石式の油圧制御装置に関する。
【0002】
【従来の技術】従来、この種の油圧制御装置として、例
えば図6に示すようなもの(特開平2−256981号
広報)が知られている。この油圧制御装置は、差動変圧
器133(以後LVDTと称する)を有するスプリング
センタ形の電磁比例式絞り切換弁130を二つの電圧/
電流変換器(以後V/I変換器と称する)113と11
6を介して、一つのパルス幅変調(以後PWMと称す
る)用の比較器108にて駆動するもので、制御電圧V
が正のときはV/I変換器113を介して第一電磁石
131aに励磁電流Iを、制御電圧Vが負のときは
インバータ118にて反転させた後V/I変換器116
を介して第二電磁石131bに励磁電流I′を各々供
給して、スプール132を弁本体に内蔵するスプール押
圧用のばね138bあるいは同138aに抗して変位さ
せるものである。なお、Vは目標値、VはLVDT
からの平滑後の変位フィードバック信号、Vは減算器
106からの偏差信号、V′は補償済偏差信号、V
はディザー発生器112からの交流信号、Ve2は加算
器110にて補償済偏差信号V′に交流信号Vを重
畳した信号、Vは発信器109からのPWMのための
搬送波、VはPWM後の制御電圧である。上記油圧制
御装置は、以上の構成によって正負にわたる目標値V
を得て電磁比例式絞り切換弁130のスプール132の
変位を正負にわたってフィードバック制御するもので、
一方の直流電磁石の電流が増大するときは他方の直流電
磁石の電流は減少するものである。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】ところが、上記従来の
油圧制御装置は、フィードバック制御である点を除け
ば、従来の電磁比例式絞り切換弁の二つの電磁石を単に
差動的に励磁しているに過ぎないのであって、目標値V
の符号が変わる過渡期におけるスプール132の機能
すなわち中立位置でのA、B、P、T各ポート間の流路
の連通、遮断に関する機能は従来の電磁比例式絞り切換
弁の域を出ない。言い換えれば、たとえフィードバック
制御を考慮しても、目標値Vが0のときは二つの電磁
石の電流は実質等しく、このとき電磁石はスプールの変
位を制御できず、スプールは中立位置にばねによって移
動して静止しスプール形式に従った切換弁としての中立
位置の機能を保持するのみである。従って、切換弁特性
なるがゆえに目標値Vの符号の変化に呼応した連続す
る正負のスプールの変位制御、まして連続する流体量の
制御はできないのである。また、重畳信号Ve2が実質
0のときは電磁石の最大電流の半分にも及ぶ電流で電磁
石131a、131bを絶えず励磁するから発熱の大き
くなる欠点がある。また、目標値Vが変化して一方の
電磁石の電流が小さくなったときその可動鉄心はこれを
付勢する力を欠き他に手段を持たないから一旦スプール
から離れて後再びスプールに衝突するごとき好ましくな
い動作の生ずる原因となる。また、PWM式の制御電圧
を得るための比較器108は二つの電磁石131
a、131bに共用としているから各電磁石の電流を重
畳信号Ve2に帰還することができず電磁石131a、
131bの発熱によるコイルの抵抗変化を補償しないば
かりか中立位置での各励磁電流は同時にも調節できず電
気的にも制御性に欠けるものである。そこで、本発明の
目的は、電流が小さいときに生ずる直流電磁石に固有の
低吸引力勾配を克服して良好な剛性を得るだけの少ない
バイアス電流で予め二つの電磁石を重複励磁するととも
に各負荷電流を各々帰還して補償特性を持たせ、かかる
ドライバにてサーボ弁スプールの中立点を得るとともに
非励磁となる可動鉄心のスプールへの衝突を防止するご
ときばね手段を電磁石内に設けてサーボ弁のスプールを
PWM式に電磁石式に省エネ下でまた制御性を持たせて
駆動するもので、同時に、トルクモータやリニアモータ
さらに上記従来の油圧制御装置に比べて主導するコイル
を取り巻く磁路内のギャップを半減し、従って磁気抵抗
を小さくし、電流による磁気力をその分増大さし、スプ
ール操作力を増大さす特徴に加え、また、押し型電磁石
として対向配置したのでサーボ弁の構造は極めて単純と
なり、分解、組み立てが容易で保全を有利とし、また、
ダイレクトサーボ弁としての特徴、すなわち油中のコン
タミナントに対する抵抗力の強い、高信頼性を合わせ持
つ直流電磁石式の油圧制御装置を提供することにある。
【0004】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
め、本発明の油圧制御装置は図1に例示するように、可
動鉄心を押圧するばね式の手段を有する押し型直流電磁
石を本体(1)を挟んで互いに対向させこれによってサ
ーボ弁のスプール(2)を駆動できる電磁石式のサーボ
弁と、目標値(V)を分岐して一方を反転させた各々
の信号(Via)、(Vib)にバイアス信号(V
を加えこれらを負荷電流帰還用の減算器(54)、(5
4′)とパルス幅変調用の比較器(57)、(57′)
とを通して上記電磁石用の電圧/電流変換器(58)、
(58′)を制御できるドライバとからなることを特徴
とする。
【0005】
【作用】正負にわたる極性のある目標値(V)は、一
定に設定されたバイアス信号(V)を加算する前にお
いて二つに分岐し、一方はそのまま信号(Via)とな
り、他方は符号を反転して信号(Vib)となる。上記
の各信号(Via)、(Vib)は上記バイアス信号
(V)を加算後次に負荷の電流を負帰還して重畳信号
となった後、二つのパルス幅変調用の比較器(57)、
(57′)を通って制御電圧となり、各電磁石用の電圧
/電流変換器(58)、(58′)を経て上記電磁石の
電流を制御する。ここで、目標値(V)が0のとき
は、バイアス信号(V)に相当する電流が定電流特性
を伴って各々の電磁石に流れ、上記目標値(V)が正
負いずれかにあるときは、上記バイアス信号(V)を
加算した後の信号に相当する電流が定電流特性の下で各
々の上記電磁石に流れる。なお、上記目標値(V)が
正のときの反転した信号(Vib)は負であり、このと
き上記重畳信号がなお負であれば、制御電圧は存在して
も実質該当する電磁石の電流は0となる。一方各電流に
応動するサーボ弁の中立点は、実質上記目標値(V
が0のときに実現し、このとき二つの電磁石の可動鉄心
は各々電磁気的に十分に作用するだけの必要な吸引ギャ
ップを確保して上記バイアス信号(V)に相当する電
流で重複励磁され同時に定電流特性をともなって中立点
の変動は補償される。また、上記目標値(V)が正負
いずれかにあるときは、これに対応したバイアス信号
(V)加算後の信号に相当する電流で一方の電磁石の
コイルを主導して差動もしくは選択的に二つの可動鉄心
は励磁され、スプール(2)は操作され、一方の吸引ギ
ャップが減少すれば他方の吸引ギャップは増大する。な
お、可動鉄心を各々押圧するばね式の手段は、たとえ上
記電磁石のいずれかもしくは両方が非励磁となっても、
非励磁となる可動鉄心と上記スプール(2)とを絶えず
当接して一体的に離れることなく動作するように作用す
る。なお、上記二つの電磁石は互いに押し型で作用する
も、電磁気的な作用は従来のそれと変わるところはな
い。なお、上記バイアス信号(Vb)は好ましくは必要
以上に大きく設定する必要はなく、まして電磁石の最大
電流の半分にも及ぶ大きさに設定する必要はない。なお
また、中立点における吸引ギャップはばね力を無視して
可動し得る可動鉄心の全可動範囲の半分以下とすべきで
あって、電磁力の有効吸引範囲は、上記中立点における
吸引ギャップより大きくなっている。
【0006】
【実施例】以下、本発明を図示の実施例により詳細に説
明する。図1は油圧制御装置の基本的実施例を示してお
り、この制御装置は、電磁石式のサーボ弁(41)と、
これを駆動するドライバ(42)とより構成する。上記
電磁石式のサーボ弁(41)は可動鉄心を押圧するばね
式の手段を有する押し型直流電磁石(3)、(4)とサ
ーボ弁部組とよりなり、上記電磁石(3)には差動変圧
器(5)を内蔵する。上記サーボ弁部組は本体(1)と
スプール(2)とよりなり、上記本体(1)には上記ス
プール(2)を摺動自在に嵌合する円筒状穴(8)、こ
れと流路(A)、(B)、(P)、(R)とをつなぐ五
つの凹溝(9)、戻り連通路(10)等があり、上記ス
プール(2)には複数のロッド部(12)と複数のラン
ド部(13)があり、上記スプール(2)の両端ロッド
部の両端面において各々ボール(26)、(26′)を
圧入する。上記本体(1)の上記円筒状穴(8)に上記
スプール(2)を嵌合することで三つの制御室(14)
と最外側のドレン室(15)、(15′)とを区画して
上記サーボ弁部組は流体圧を制御できる弁体となるとと
もに、上記ドレン室(15)、(15′)を二つの流路
(Dr)、(Dr)を介して外部にあるタンク(1
1)、(11)と液面上の大気に解放状態でつなぐ。一
方、上記電磁石(4)は上記弁体(1)の左側にあって
上記スプール(2)の上記ボール(26′)の部分を右
方向に押し型で電磁操作でき、可動鉄心(19′)に圧
入して上記ボール(26′)に当接する軸(21)、軸
受け兼用で穴(16′)のある板ばね(24′)、上記
板ばね(24′)の一方を上記軸(21)に固定するナ
ット(25′)、上記板ばね(24′)の反対側にある
ボールボアリング(23′)、これを受ける軸受け箱
(30)、比例特性を得るための切欠部材(18′)を
有するフランジ付きカートリッジ(22′)、コイル
(17′)を取り巻くリング状継鉄(27′)と円筒状
継鉄(28′)、上記円筒状継鉄(28′)に固定した
リード線接続口(6′)、上記軸受け箱(30)を圧入
したソレノイドカバー(36)等よりなり、ボルト(3
8)にて上記板ばね(24′)の他方である外側と上記
フランジ付きカートリッジ(22′)のフランジ部と上
記円筒状継鉄(28′)と上記ソレノイドカバー(3
6)とを挟んで上記本体(1)に組み立てられる。一
方、上記電磁石(3)は上記弁体(1)の右側にあって
上記電磁石(4)と比べ上記差動変圧器(5)の部分が
異なるだけでそれ以外の部分においてほぼ対称的であ
る。上記差動変圧器(5)は上記電磁石(3)の軸(2
0)に圧入したロッド部を有するLVDT用可動鉄心
(32)、ソレノイドカバー(35)を貫通して軸受け
箱(29)と一体のLVDT用カートリッジ(31)、
LVDT用コイル(33)、上記LVDT用コイル(3
3)を納めたカバー(34)、上記カバー(34)に固
定したリード線接続口(7)等よりなり、ボルト(3
7)にて上記電磁石(3)とともに一体組み立てられ
る。なお、Oリング(39)、(40)は上記ドレン室
(15)、(15′)と大気との間をシールしている。
上記電磁石(3)、(4)を有する上記サーボ弁(4
1)を駆動するドライバ(42)は図1aに示すごと
く、目標値(V)から上記LVDT(5)よりの変位
フィードバック信号(Vfx)を減算する減算器(5
0)、偏差信号(V−Vfx)のための補償回路(5
1)、補償後において分岐する一方の信号(Via)と
他方の符号反転器(52)を通る信号(Vib)、これ
らの信号(Via)、(Vib)とバイアス信号
(V)とを加算する加算器(53)、(53′)、各
加算後の信号(Vta)、(Vtb)からローパスフィ
ルタ(59)、(59′)を通る負荷電流帰還信号(V
fa)、(Vfb)を減算する減算器(54)、(5
4′)、各偏差信号(Vta−Vfa)、(Vtb−V
fb)を増幅する増幅器(55)、(55′)、増幅後
の重畳信号(Vea)、(Veb)を発信器(56)よ
りの搬送波(V)でPWM変調するための比較器(5
7)、(57′)、PWM変調後の制御電圧
(Vca)、(Vcb)を受けて負荷即ち上記電磁石
(3)、(4)の電流(I)、(I)を制御するス
イッチング素子であるトランジスタ素子を含む電圧/電
流変換器(58)、(58′)等よりなる。なお、上記
電磁石(3)、(4)と並列に保護回路(60)、(6
0′)がある。上記構成の制御装置の動作について次に
述べる。正負にわたる極性のある目標値(V)は、上
記LVDT(5)よりの変位フィードバック信号(V
fx)を減算して偏差信号(V−Vfx)となった
後、上記補償回路(51)を通って後分岐し一方は信号
(Via)となり、他方は符号反転器(52)を通って
信号(Vib)となる。これらの信号(Via)、(V
ib)と上記バイアス信号(V)とを加算した後の各
々の信号(Vta)、(Vtb)からローパスフィルタ
(59)、(59′)を通る負荷電流帰還信号
(Vfa)、(Vfb)を減算し、偏差信号(Vta
fa)、(Vtb−Vfb)となし、増幅した重畳信
号(Vea)、(Veb)となる。搬送波(V)でP
WM変調した後の制御電圧(Vca)、(Vcb)は負
荷即ち上記電磁石(3)、(4)の電流(I)、(I
)をPWM式に制御する。ここで、上記目標値
(V)が0のときは、上記バイアス信号(V)に相
当する電流が定電流特性を伴って各々の上記電磁石
(3)、(4)に重複して流れ、上記目標値(V)が
正負いずれかにあるときは、上記バイアス信号(V
を加算した上記信号(Vta)、(Vtb)に相当する
電流が定電流特性の下で各々の上記電磁石(3)、
(4)に流れる。なお、上記目標値(V)が正のとき
の上記反転した信号(Vib)は負であり、このとき上
記重畳信号(Veb)がなお負であれば、上記制御電圧
(Vcb)は存在しても実質上記電流(I)は0であ
る。なお、PWM式の電流制御回路における電流帰還は
上記電磁石(3)、(4)の電気的時定数と上記可動鉄
心(19)、(19′)の運動に起因する逆起電力とを
克服して電流の即応性を高めるのに有効であることは言
うまでもない。一方、上記電流(I)、(I)に応
動する上記電磁石式のサーボ弁(41)の上記スプール
(2)は次のごとくして動作する。すなわち、上記目標
値(V)が実質0のときは、各電磁石(3)、(4)
はいずれも実質バイアス分に相当する電流(I)、
(I)で重複励磁され、これによって生ずる二つの電
磁力で付勢される上記スプール(2)は上記板ばね(2
4)、(24′)と共同して中立点に静止し、このとき
各可動鉄心(19)、(19′)は電磁力を発生するの
に有効なだけの吸引ギャップを確保しつつ、なお上記電
磁石(3)、(4)は電磁気的な制御状態下におかれて
押し方向の合成電磁力に関する十分なゲインすなわち剛
性のある操作力を保持する。なお、図2は比例電磁石特
性における目標値(V)と上記合成電磁力との関係を
示していて、中立点でのゲインすなわち目標値(V
に対する合成電磁力の勾配は良好である。なお、上記中
立点での重複する上記電流(I)、(I)は定電流
特性を有するから発熱による上記コイル(17)、(1
7′)の抵抗変化を補償して上記中立点の変動を補償す
る。次に、上記目標値(V)が正負いずれかにあると
きは、これに対応した上記信号(Vta)、(Vtb
に相当する上記電流(I)、(I)で、差動もしく
は上記電磁石(3)、(4)のいずれかを選択して主導
コイルが存在して、上記可動鉄心(19)、(19′)
は励磁され、スプール(2)は操作され、一方の吸引ギ
ャップが減少すれば他方の吸引ギャップは増大するよう
に作用する。なお、上記可動鉄心(19)、(19′)
を各々押圧する押し引き両用の上記板ばね(24)、
(24′)は予圧縮してセットするので、たとえ上記電
磁石(3)、(4)のいずれかもしくは両方が非励磁と
なっても、非励磁となる上記可動鉄心(19)、(1
9′)と上記スプール(2)とは絶えず当接し一体的で
離れることなく動作する。なお、上記バイアス信号(V
)は必要以上に大きく設定する必要のないことは図2
の電磁石単独の電磁力特性を見れば明らかで、まして上
記電磁石の最大電流の半分にも及ぶ大きさに設定する必
要はない。なお、中立点における吸引ギャップは上記板
ばね(24)、(24′)の力を無視して可動し得る上
記可動鉄心(19)、(19′)の全可動範囲の半分以
下であって、電磁力の有効吸引範囲は、上記中立点にお
ける吸引ギャップより大きい。なお、上記スプール
(2)の全移動域にわたって上記電磁石(3)、(4)
の合成電磁力に関するスレショルドは良好なので変位フ
ィードバック制御も良好となる。ここにおいて、この場
合、上記サーボ弁(41)の上記スプール(2)を、電
流が小さいときに生ずる直流電磁石に固有の低吸引力勾
配を克服して良好な剛性を得るだけの少ないバイアス電
流を伴ってしかも定電流特性で電磁石を励磁して合成電
磁力を得て操作すると同時に、非励磁である可動鉄心
(19)、(19′)のスプール(2)への衝突を防止
して、PWM式に電磁石式に駆動するので、上記サーボ
弁(41)は省エネ状態でなお中立点変動の少ないダイ
レクトサーボ弁として機能し制御性を良好にし、さら
に、上記サーボ弁(41)は電磁石式なるがゆえに主導
するコイルを取り巻く磁路内のギャップを従来の油圧制
御装置のみならずトルクモータやリニアモータを有する
従来サーボ弁のギャップに比べても半減し、従ってここ
でも合成電磁力を高め、同時に、押し型電磁石式として
の利点を十分に発揮する。また、板ばね(24)、(2
4′)の支持方法は軸(20)、(21)をセンタリン
グすると同時に押し方向に押圧できれば両端を必ずしも
固定する必要はない。また、可動鉄心(19)、(1
9′)は油浸式でもよく、空気が混入していてもよい。
また、ばね特性との関係でスプールが静止できれば電磁
石(3)、(4)は必ずしも比例特性に限定しない。ま
た、目標値(V)を分岐して一方を反転させた各々の
信号(Via)、(Vib)を、例えば図3のごときダ
イオード回路によって実質負にならないようにして、電
磁石(3)、(4)に必ずバイアス信号(V)以上の
電流が流れるようにしても、同様の効果のある合成電磁
力を得ることはできる。また、符号反転器(52)はオ
ペアンプ等で構成して補償回路(51)と一体であって
もよい。また、符号反転器(52)を省いた信号を信号
(Vib)とし、これをバイアス信号(V)から減算
する減算器を加算器(53′)の替わりとしてもよい。
また、バイアス信号(V)を各々の電磁石に固有のも
のとして分離して個別に調節できるようにしてもよい。
また、発信器(56)は比較器(57)、(57′)に
共通とせずに独立した個々の発信器としてもよく、その
とき位相は同相でなくてもよい。また、電圧/電流変換
器(58)、(58′)に用いるスイッチング素子は同
様の機能を有するものであればトランジスタ素子に限定
しない。また、図1aにおいてV/I変換器(58′)
をPNP型のトランジスタとしたうえで減算器(5
4′)を負荷電流帰還信号(Vfb)から信号
(Vtb)を減算するごとく構成してもよく、この場合
二つの電磁石は互いに逆相で励磁され、搬送周波数を下
げてディザーと兼用とすることもできる。また、各電磁
石一個当たり二つのスイッチング素子を例えば図4のご
とく配置して、負荷の電流制御の遅れを改善することも
できる。また、例えば図5に示すごとく保護回路(6
0)とコモンとを分離し上記保護回路(60)の分離端
をマイナス電源と接続し電磁石(3)と直列にダイオー
ドを追加し、保護回路(60′)を同様として、負荷の
電流制御の遅れを改善することができる。また、LVD
Tからの変位フィードバック信号Vfxを処理して変位
と速度の信号とし、これをフィードバック信号として用
いてもよい。また、補償回路(51)にはディザーのた
めの発信器を含んでいても良い。また、以上のいずれを
組み合わせても本発明の目的に反しない限り同様の効果
がある。
【0007】
【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明の
油圧制御装置は、可動鉄心を押圧するばね式の手段を有
する押し型直流電磁石を本体を挟んで互いに対向させた
電磁石式のサーボ弁と、目標値を分岐して一方を反転さ
せた各々の信号にバイアス信号を加えこれらを負荷電流
帰還用の減算器とパルス幅変調用の二つの比較器とを通
して上記電磁石用の電圧/電流変換器を制御するドライ
バとで構成し、正負にわたる極性のある目標値を得て、
上記サーボ弁のスプールを連続して駆動するようにした
ので、電流が小さいときに生ずる直流電磁石に固有の低
吸引力勾配を克服するだけの少ないバイアス電流を伴っ
て定電流特性にてPWM式に良好な剛性のある合成電磁
力を得て上記サーボ弁のスプールを連続して操作すると
同時に、非励磁である可動鉄心のスプールへの衝突を防
止してスプールを駆動し、省エネ下で制御性のあるダイ
レクトサーボ弁としての機能を発揮し、さらに、電磁石
式なるがゆえに主導するコイルを取り巻く磁路内のギャ
ップを従来油圧制御装置のみならずトルクモータやリニ
アモータを有する従来サーボ弁のギャップに比べても半
減し、従ってここでも合成電磁力の勾配を高め、もっ
て、構造を簡素とし、高信頼性とし、また保全を有利と
する効果がある。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の油圧制御装置の実施例を示す部分断面
図。
【図1a】本発明の油圧制御装置の実施例である図1の
ドライバの回路機能図。
【図2】本発明の油圧制御装置の動作説明図。
【図3】本発明の油圧制御装置の他の実施例を示す部分
回路図。
【図4】本発明の油圧制御装置の他の実施例を示す部分
回路図。
【図5】本発明の油圧制御装置の他の実施例を示す部分
回路図。
【図6】従来の油圧制御装置を示す回路機能図。
【符号の説明】
1…本体、 2…スプール、 3、4…電磁石、 1
7、17′…コイル、19、19′…可動鉄心、 2
0、21…軸、 24、24′…板ばね、41…サーボ
弁、 V…目標値、 Via、Vib…分岐後の信
号、V…バイアス信号、 54、54′…負荷電流帰
還用の減算器、57、57′…比較器、 58、58′
…V/I変換器、 42…ドライバ。

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 可動鉄心を押圧するばね式の手段を有す
    る押し型直流電磁石を本体(1)を挟んで互いに対向さ
    せこれによってサーボ弁のスプール(2)を駆動できる
    電磁石式のサーボ弁と、目標値(V)を分岐して一方
    を反転させた各々の信号(Via)、(Vib)にバイ
    アス信号(V)を加えこれらを負荷電流帰還用の減算
    器(54)、(54′)とパルス幅変調用の比較器(5
    7)、(57′)とを通して上記電磁石用の電圧/電流
    変換器(58)、(58′)を制御できるドライバとか
    らなる油圧制御装置。
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN101923359A (zh) * 2010-08-23 2010-12-22 中国航空工业集团公司航空动力控制系统研究所 可变容腔气体压力快速稳定控制装置
US10859175B2 (en) 2016-06-10 2020-12-08 Kawasaki Jukogyo Kabushiki Kaisha Flow control valve apparatus
DE112021002124T5 (de) 2020-04-02 2023-04-06 Yuken Kogyo Co., Ltd. Hydraulische Vorrichtung mit Positionssensor

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