JPH10138177A - ３自由度マイクロマニピュレータ - Google Patents
３自由度マイクロマニピュレータInfo
- Publication number
- JPH10138177A JPH10138177A JP8307352A JP30735296A JPH10138177A JP H10138177 A JPH10138177 A JP H10138177A JP 8307352 A JP8307352 A JP 8307352A JP 30735296 A JP30735296 A JP 30735296A JP H10138177 A JPH10138177 A JP H10138177A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pair
- freedom
- micromanipulator
- degree
- link mechanism
- Prior art date
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- Granted
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J7/00—Micromanipulators
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q1/00—Members which are comprised in the general build-up of a form of machine, particularly relatively large fixed members
- B23Q1/25—Movable or adjustable work or tool supports
- B23Q1/44—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms
- B23Q1/50—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism
- B23Q1/54—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism two rotating pairs only
- B23Q1/545—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism two rotating pairs only comprising spherical surfaces
- B23Q1/5462—Movable or adjustable work or tool supports using particular mechanisms with rotating pairs only, the rotating pairs being the first two elements of the mechanism two rotating pairs only comprising spherical surfaces with one supplementary sliding pair
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J17/00—Joints
- B25J17/02—Wrist joints
- B25J17/0258—Two-dimensional joints
- B25J17/0266—Two-dimensional joints comprising more than two actuating or connecting rods
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B25—HAND TOOLS; PORTABLE POWER-DRIVEN TOOLS; MANIPULATORS
- B25J—MANIPULATORS; CHAMBERS PROVIDED WITH MANIPULATION DEVICES
- B25J9/00—Programme-controlled manipulators
- B25J9/0009—Constructional details, e.g. manipulator supports, bases
- B25J9/0015—Flexure members, i.e. parts of manipulators having a narrowed section allowing articulation by flexion
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23Q—DETAILS, COMPONENTS, OR ACCESSORIES FOR MACHINE TOOLS, e.g. ARRANGEMENTS FOR COPYING OR CONTROLLING; MACHINE TOOLS IN GENERAL CHARACTERISED BY THE CONSTRUCTION OF PARTICULAR DETAILS OR COMPONENTS; COMBINATIONS OR ASSOCIATIONS OF METAL-WORKING MACHINES, NOT DIRECTED TO A PARTICULAR RESULT
- B23Q2210/00—Machine tools incorporating a specific component
- B23Q2210/002—Flexures
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Robotics (AREA)
- Manipulator (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 微細作業では並進３自由度が主たる動作にな
るという特性を有効に利用して、簡単で高精度な位置決
めを行い得る３自由度マイクロマニピュレータを提供す
る。 【解決手段】 ベース部材１とエンドエフェクタ３とを
連結する三つのリンク機構６を備える。このリンク機構
６は、一対の対偶部材３０の間を薄肉部３２で連結する
ことにより構成される二つの回転対偶Ｒと、一対の対偶
部材３０の両端部間を一対の連結杆部３１によりそれぞ
れ薄肉部３２を介して連結して構成される二つの並進対
偶Ｐを備え、各対偶を一つの平面上に配列させて３自由
度の動作を行わせる柔軟構造物として構成する。
るという特性を有効に利用して、簡単で高精度な位置決
めを行い得る３自由度マイクロマニピュレータを提供す
る。 【解決手段】 ベース部材１とエンドエフェクタ３とを
連結する三つのリンク機構６を備える。このリンク機構
６は、一対の対偶部材３０の間を薄肉部３２で連結する
ことにより構成される二つの回転対偶Ｒと、一対の対偶
部材３０の両端部間を一対の連結杆部３１によりそれぞ
れ薄肉部３２を介して連結して構成される二つの並進対
偶Ｐを備え、各対偶を一つの平面上に配列させて３自由
度の動作を行わせる柔軟構造物として構成する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、バイオテクノロジ
ー、医学、及び微細操作が必要な産業分野等において、
微小対象物の位置決め、ハンドリング、切断、接合など
の微細作業を正確に且つ容易に行うことができるマイク
ロマニピュレーション機構、あるいは精密位置決めステ
ージ機構などへの利用に適した安価な３自由度マイクロ
マニピュレータに関するものである。
ー、医学、及び微細操作が必要な産業分野等において、
微小対象物の位置決め、ハンドリング、切断、接合など
の微細作業を正確に且つ容易に行うことができるマイク
ロマニピュレーション機構、あるいは精密位置決めステ
ージ機構などへの利用に適した安価な３自由度マイクロ
マニピュレータに関するものである。
【０００２】
【従来の技術】本発明者らは、先に、上述したバイオテ
クノロジー、医学、あるいは微細操作が必要な各種産業
分野における利用に適したハンドモジュールを有するマ
イクロマニピュレータを、特開平６−１７０７６１号あ
るいは特開平６−３２８３７４号として提案している。
クノロジー、医学、あるいは微細操作が必要な各種産業
分野における利用に適したハンドモジュールを有するマ
イクロマニピュレータを、特開平６−１７０７６１号あ
るいは特開平６−３２８３７４号として提案している。
【０００３】この既提案のハンドモジュールは、６つの
駆動装置で６自由度の運動を制御する６自由度パラレル
リンク機構により構成したものであり、具体的には、ベ
ース部材と、基板上に手先片を取付けてなるエンドエフ
ェクタと、それらのベース部材と基板を連結する６本の
リンクを備え、６本のリンクのベース部材及び基板との
接続点を、中心軸線の周りにほぼ等分に、且つ各リンク
を順次反対方向に傾斜させるようにして配設し、それら
のリンクのベース部材及び基板との接続点をピボット結
合として、ベース部材と基板とはスプリングにより連結
し、あるいは各リンクの両端とベース部材及び基板とを
可撓性の金属線状部材により直接的に連結し、各リンク
をピエゾ圧電素子等により伸縮可能としたものである。
駆動装置で６自由度の運動を制御する６自由度パラレル
リンク機構により構成したものであり、具体的には、ベ
ース部材と、基板上に手先片を取付けてなるエンドエフ
ェクタと、それらのベース部材と基板を連結する６本の
リンクを備え、６本のリンクのベース部材及び基板との
接続点を、中心軸線の周りにほぼ等分に、且つ各リンク
を順次反対方向に傾斜させるようにして配設し、それら
のリンクのベース部材及び基板との接続点をピボット結
合として、ベース部材と基板とはスプリングにより連結
し、あるいは各リンクの両端とベース部材及び基板とを
可撓性の金属線状部材により直接的に連結し、各リンク
をピエゾ圧電素子等により伸縮可能としたものである。
【０００４】しかしながら、顕微鏡下の微細作業におい
ては、互いに直交する３軸方向の並進３自由度の動作が
主要であり、少なくとも残りの水平軸周りの回転２自由
度については、マイクロマニピュレータ自体の動作領域
がハンドモジュールの寸法に比して十分に小さく、ジョ
イントの変位も極めて小さいため、並進の動作と実質的
な違いがないものである。しかも、上記パラレルリンク
機構では、リンクが駆動されるために、各リンクの両端
とベース部材及び基板との結合に、上記ピボット結合や
可撓性の金属線状部材、あるいはユニバーサルジョイン
トやボールジョイント等の回転自在なジョイントが必要
になるが、マイクロマニピュレータのように、非常に小
さなパラレルリンク機構においては、上記ジョイントの
製作が極めて困難になる。
ては、互いに直交する３軸方向の並進３自由度の動作が
主要であり、少なくとも残りの水平軸周りの回転２自由
度については、マイクロマニピュレータ自体の動作領域
がハンドモジュールの寸法に比して十分に小さく、ジョ
イントの変位も極めて小さいため、並進の動作と実質的
な違いがないものである。しかも、上記パラレルリンク
機構では、リンクが駆動されるために、各リンクの両端
とベース部材及び基板との結合に、上記ピボット結合や
可撓性の金属線状部材、あるいはユニバーサルジョイン
トやボールジョイント等の回転自在なジョイントが必要
になるが、マイクロマニピュレータのように、非常に小
さなパラレルリンク機構においては、上記ジョイントの
製作が極めて困難になる。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】本発明の技術的課題
は、基本的には、微細作業を正確にかつ容易に行うこと
ができるようなマイクロマニピュレーション機構あるい
は精密位置決めステージ機構などに適し、特に、微細作
業では上述した並進３自由度が主たる動作になるという
特性を有効に利用して、簡単で高精度な位置決めを行い
得る３自由度マイクロマニピュレータを開発することに
ある。
は、基本的には、微細作業を正確にかつ容易に行うこと
ができるようなマイクロマニピュレーション機構あるい
は精密位置決めステージ機構などに適し、特に、微細作
業では上述した並進３自由度が主たる動作になるという
特性を有効に利用して、簡単で高精度な位置決めを行い
得る３自由度マイクロマニピュレータを開発することに
ある。
【０００６】本発明の他の技術的課題は、三つのリンク
機構でエンドエフェクタの３自由度の精密位置決め制御
を実現し、これにより、従来のマイクロマニピュレータ
の制御システムに比して半分の制御で済むようにし、簡
単でコスト面でも有利な３自由度マイクロマニピュレー
タを提供することにある。本発明の更に他の技術的課題
は、上記を実現するためのリンク機構を簡単に加工・組
立ができるようにして、リンク機構を微細に形成するの
に有利な簡単な構造のものとして提供することにある。
機構でエンドエフェクタの３自由度の精密位置決め制御
を実現し、これにより、従来のマイクロマニピュレータ
の制御システムに比して半分の制御で済むようにし、簡
単でコスト面でも有利な３自由度マイクロマニピュレー
タを提供することにある。本発明の更に他の技術的課題
は、上記を実現するためのリンク機構を簡単に加工・組
立ができるようにして、リンク機構を微細に形成するの
に有利な簡単な構造のものとして提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するた
め、本発明の３自由度マイクロマニピュレータは、ベー
ス部材とエンドエフェクタとを連結する三つのリンク機
構を備え、このリンク機構を、一対の対偶部材の間を薄
肉部で連結することにより構成される二つの回転対偶
と、一対の対偶部材の両端部間を一対の連結杆部により
それぞれ薄肉部を介して連結して構成される二つの並進
対偶を備え、各対偶を一つの平面上に配列させて３自由
度の動作を行わせる柔軟構造物として構成したことを特
徴とするものである。
め、本発明の３自由度マイクロマニピュレータは、ベー
ス部材とエンドエフェクタとを連結する三つのリンク機
構を備え、このリンク機構を、一対の対偶部材の間を薄
肉部で連結することにより構成される二つの回転対偶
と、一対の対偶部材の両端部間を一対の連結杆部により
それぞれ薄肉部を介して連結して構成される二つの並進
対偶を備え、各対偶を一つの平面上に配列させて３自由
度の動作を行わせる柔軟構造物として構成したことを特
徴とするものである。
【０００８】上記構成を有する３自由度マイクロマニピ
ュレータは、微細作業を正確にかつ容易に行うことがで
きるようなマイクロマニピュレーション機構あるいは精
密位置決めステージ機構などに適するものとし、特に、
微細作業であることを有効に利用して、並進３自由度の
みにより簡単で高精度な位置決めを行うことができるも
のである。しかも、三つのリンク機構でエンドエフェク
タの３自由度の精密位置決め制御を実現できるようにし
ているため、従来のマイクロマニピュレータの制御シス
テムに比して半分の制御で済み、簡単でコスト面でも有
利であり、また、各対偶を一つの平面上に配列させたリ
ンク機構を用いているので、簡単に加工・組立を行うこ
とができ、微細なリンク機構を形成するのに有利なもの
である。
ュレータは、微細作業を正確にかつ容易に行うことがで
きるようなマイクロマニピュレーション機構あるいは精
密位置決めステージ機構などに適するものとし、特に、
微細作業であることを有効に利用して、並進３自由度の
みにより簡単で高精度な位置決めを行うことができるも
のである。しかも、三つのリンク機構でエンドエフェク
タの３自由度の精密位置決め制御を実現できるようにし
ているため、従来のマイクロマニピュレータの制御シス
テムに比して半分の制御で済み、簡単でコスト面でも有
利であり、また、各対偶を一つの平面上に配列させたリ
ンク機構を用いているので、簡単に加工・組立を行うこ
とができ、微細なリンク機構を形成するのに有利なもの
である。
【０００９】
【発明の実施の形態】図１は、本発明に係る３自由度マ
イクロマニピュレータの一例の全体的構成を示すもの
で、この３自由度マイクロマニピュレータ１は、ベース
部材２と、可動台４上に手先片５を取付けてなるエンド
エフェクタ３と、上記ベース部材２と可動台４を連結す
る三つのリンク機構６とを備えたものである。このリン
ク機構６は、図４あるいは図５に示す構成を有するもの
であるが、以下に、その構成について詳細に説明する。
イクロマニピュレータの一例の全体的構成を示すもの
で、この３自由度マイクロマニピュレータ１は、ベース
部材２と、可動台４上に手先片５を取付けてなるエンド
エフェクタ３と、上記ベース部材２と可動台４を連結す
る三つのリンク機構６とを備えたものである。このリン
ク機構６は、図４あるいは図５に示す構成を有するもの
であるが、以下に、その構成について詳細に説明する。
【００１０】前述したように、非常に小さなパラレルリ
ンク機構による顕微鏡下の微細作業では、互いに直交す
る３軸方向の並進３自由度の動作が主要であって、ジョ
イントの変位も極めて小さく、しかも、そのジョイント
の製作も極めて困難である。このような観点から考察す
ると、ジョイントとして、図２の(a) に示すように、一
対の対偶部材１０の間を薄肉部１２で連結することによ
り回転対偶Ｒを実現する柔軟構造物や、同図(b) に示す
ように、一対の対偶部材２０の両端部間を一対の連結杆
部２１によりそれぞれ薄肉部２２を介して連結して並進
対偶Ｐを実現する柔軟構造物を利用するのが有利であ
り、それらを利用して３自由度の並進運動を実現する機
構を構成するのが適切である。
ンク機構による顕微鏡下の微細作業では、互いに直交す
る３軸方向の並進３自由度の動作が主要であって、ジョ
イントの変位も極めて小さく、しかも、そのジョイント
の製作も極めて困難である。このような観点から考察す
ると、ジョイントとして、図２の(a) に示すように、一
対の対偶部材１０の間を薄肉部１２で連結することによ
り回転対偶Ｒを実現する柔軟構造物や、同図(b) に示す
ように、一対の対偶部材２０の両端部間を一対の連結杆
部２１によりそれぞれ薄肉部２２を介して連結して並進
対偶Ｐを実現する柔軟構造物を利用するのが有利であ
り、それらを利用して３自由度の並進運動を実現する機
構を構成するのが適切である。
【００１１】この並進３自由度は、例えば、図３に示す
ように、上記並進対偶ＰをＸＹＺ軸の３方向に配置した
柔軟構造物により実現することも可能であるが、この場
合には、三つの対偶は一つの平面上に配置できず、また
構造も対照的でないため、その柔軟構造物が小さくなる
ほど加工・組立が困難になる。
ように、上記並進対偶ＰをＸＹＺ軸の３方向に配置した
柔軟構造物により実現することも可能であるが、この場
合には、三つの対偶は一つの平面上に配置できず、また
構造も対照的でないため、その柔軟構造物が小さくなる
ほど加工・組立が困難になる。
【００１２】しかるに、この並進３自由度は、次のよう
な方法の採用により、より簡単に構成することができ
る。即ち、群論に基づく運動解析の研究結果に基づく
と、軸周りの回転と軸方向の並進を許す直線が定義され
る４自由度のリンク機構を並列的に複数組み合わせる
と、並進運動を実現できることが解明されている。これ
を具体的に説明すると、リンク機構として、図４(a) 〜
(d) に示すような４自由度の構成を採ることにより、各
対偶を一つの平面上に配列させて３自由度の動作を行わ
せることができ、それにより、金属や合成樹脂等による
所要自由度の柔軟構造物の加工や組立を著しく容易化す
ることができる。同図において、Ｒは回転対偶、Ｐは並
進対偶を意味し、同図(a) 〜(d) の例をそれぞれＲ及び
Ｐの記号で表すと、ＲＲＰＰ機構、ＲＰＲＰ機構、ＰＲ
ＲＰ機構、ＲＰＰＲ機構と名付けることができる。
な方法の採用により、より簡単に構成することができ
る。即ち、群論に基づく運動解析の研究結果に基づく
と、軸周りの回転と軸方向の並進を許す直線が定義され
る４自由度のリンク機構を並列的に複数組み合わせる
と、並進運動を実現できることが解明されている。これ
を具体的に説明すると、リンク機構として、図４(a) 〜
(d) に示すような４自由度の構成を採ることにより、各
対偶を一つの平面上に配列させて３自由度の動作を行わ
せることができ、それにより、金属や合成樹脂等による
所要自由度の柔軟構造物の加工や組立を著しく容易化す
ることができる。同図において、Ｒは回転対偶、Ｐは並
進対偶を意味し、同図(a) 〜(d) の例をそれぞれＲ及び
Ｐの記号で表すと、ＲＲＰＰ機構、ＲＰＲＰ機構、ＰＲ
ＲＰ機構、ＲＰＰＲ機構と名付けることができる。
【００１３】この一例として、ＲＰＰＲ機構を柔軟構造
物で構成してなるリンク機構６を図５に示す。このリン
ク機構６は、一対の対偶部材３０の間を薄肉部３２で連
結することにより実現される二つの回転対偶Ｒと、一対
の対偶部材３０の両端部間を一対の連結杆部３１でそれ
ぞれ薄肉部３２を介して連結することにより実現される
二つの並進対偶Ｐとを備えた柔軟構造物として、上記Ｒ
ＰＰＲ機構を構成させたものであり、これにより３自由
度の並進運動を実現する機構を平面上に構成できるた
め、その加工や組立を容易に行うことができるものであ
る。
物で構成してなるリンク機構６を図５に示す。このリン
ク機構６は、一対の対偶部材３０の間を薄肉部３２で連
結することにより実現される二つの回転対偶Ｒと、一対
の対偶部材３０の両端部間を一対の連結杆部３１でそれ
ぞれ薄肉部３２を介して連結することにより実現される
二つの並進対偶Ｐとを備えた柔軟構造物として、上記Ｒ
ＰＰＲ機構を構成させたものであり、これにより３自由
度の並進運動を実現する機構を平面上に構成できるた
め、その加工や組立を容易に行うことができるものであ
る。
【００１４】図１の３自由度マイクロマニピュレータ１
は、上記図５のＲＰＰＲ機構を構成するリンク機構６の
三つを、ベース部材２とエンドエフェクタ３の可動台４
との間において、中心軸線の周りに１２０°の間隔で対
称型に配置した状態を示すものであり、リンク機構の各
部には上記図５の場合と同一の符号を付している。な
お、ここでは各リンク機構６を中心軸線の周りに１２０
°の間隔では位置した場合を示しているが、その配置
は、駆動制御との関連において任意に選択することがで
きる。このマイクロマニピュレータ１の駆動は、適宜手
段で各対偶を駆動するように配慮すればよい。
は、上記図５のＲＰＰＲ機構を構成するリンク機構６の
三つを、ベース部材２とエンドエフェクタ３の可動台４
との間において、中心軸線の周りに１２０°の間隔で対
称型に配置した状態を示すものであり、リンク機構の各
部には上記図５の場合と同一の符号を付している。な
お、ここでは各リンク機構６を中心軸線の周りに１２０
°の間隔では位置した場合を示しているが、その配置
は、駆動制御との関連において任意に選択することがで
きる。このマイクロマニピュレータ１の駆動は、適宜手
段で各対偶を駆動するように配慮すればよい。
【００１５】なお、図１に示す３自由度マニピュレータ
は、その一対により２本指状に構成したり、その任意数
を用いて、微小対象物の位置決め、ハンドリング、切
断、接合などの微細作業に適用し、あるいは精密位置決
めステージ機構などに利用することができるものであ
る。
は、その一対により２本指状に構成したり、その任意数
を用いて、微小対象物の位置決め、ハンドリング、切
断、接合などの微細作業に適用し、あるいは精密位置決
めステージ機構などに利用することができるものであ
る。
【００１６】
【発明の効果】以上に詳述した本発明の３自由度マイク
ロマニピュレータによれば、微細作業では並進３自由度
が主たる動作になるという特性を有効に利用し、三つの
リンク機構でエンドエフェクタの３自由度の精密位置決
め制御を実現し、これにより、従来の６自由度のマイク
ロマニピュレータの制御システムに比して半分の制御で
済み、しかも、簡単、安価で高精度な位置決めを行い得
るマイクロマニピュレータを得ることができる。また、
リンク機構を簡単に加工・組立ができるようにしたの
で、リンク機構を微細に形成するのに有利なものであ
る。
ロマニピュレータによれば、微細作業では並進３自由度
が主たる動作になるという特性を有効に利用し、三つの
リンク機構でエンドエフェクタの３自由度の精密位置決
め制御を実現し、これにより、従来の６自由度のマイク
ロマニピュレータの制御システムに比して半分の制御で
済み、しかも、簡単、安価で高精度な位置決めを行い得
るマイクロマニピュレータを得ることができる。また、
リンク機構を簡単に加工・組立ができるようにしたの
で、リンク機構を微細に形成するのに有利なものであ
る。
【図１】本発明に係る３自由度マイクロマニピュレータ
の実施例の斜視図である。
の実施例の斜視図である。
【図２】(a) 及び(b) は、回転対偶及び並進対偶を実現
する柔軟構造物からなるジョイントについての斜視図で
ある。
する柔軟構造物からなるジョイントについての斜視図で
ある。
【図３】三つの並進対偶を用いた３自由度機構の一例を
示す斜視図である。
示す斜視図である。
【図４】(a) 〜(d) は、４自由度のリンク機構について
の説明図である。
の説明図である。
【図５】図１の実施例において用いているリンク機構の
斜視図である。
斜視図である。
１ ３自由度マイクロマニピュレータ ２ ベース部材 ３ エンドエフェクタ ６ リンク機構 ３０ 対偶部材 ３１ 連結杆部 ３２ 薄肉部 Ｒ 回転対偶 Ｐ 並進対偶
Claims (1)
- 【請求項１】ベース部材とエンドエフェクタとを連結す
る三つのリンク機構を備え、 このリンク機構を、一対の対偶部材の間を薄肉部で連結
することにより構成される二つの回転対偶と、一対の対
偶部材の両端部間を一対の連結杆部によりそれぞれ薄肉
部を介して連結して構成される二つの並進対偶を備え、
各対偶を一つの平面上に配列させて３自由度の動作を行
わせる柔軟構造物として構成した、ことを特徴とする３
自由度マイクロマニピュレータ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8307352A JP2733219B1 (ja) | 1996-11-01 | 1996-11-01 | ３自由度マイクロマニピュレータ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8307352A JP2733219B1 (ja) | 1996-11-01 | 1996-11-01 | ３自由度マイクロマニピュレータ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2733219B1 JP2733219B1 (ja) | 1998-03-30 |
| JPH10138177A true JPH10138177A (ja) | 1998-05-26 |
Family
ID=17968075
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8307352A Expired - Lifetime JP2733219B1 (ja) | 1996-11-01 | 1996-11-01 | ３自由度マイクロマニピュレータ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2733219B1 (ja) |
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2005053913A1 (ja) * | 2003-12-03 | 2005-06-16 | Ntn Corporation | リンク作動装置 |
| DE10237881B4 (de) * | 2001-08-23 | 2006-11-16 | Hitachi, Ltd. | Mikromanipulator |
| JP2008021657A (ja) * | 2007-08-27 | 2008-01-31 | Hitachi Ltd | マイクロマニピュレータ |
| JP2010146307A (ja) * | 2008-12-19 | 2010-07-01 | Nagoya Institute Of Technology | 多自由度の力覚提示マニピュレータ |
| CN102147046A (zh) * | 2011-03-04 | 2011-08-10 | 燕山大学 | 一种转动解耦的两自由度并联机构 |
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