JPH10128667A - Polishing method and device, and abrasive therefor - Google Patents

Polishing method and device, and abrasive therefor

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JPH10128667A
JPH10128667A JP28837596A JP28837596A JPH10128667A JP H10128667 A JPH10128667 A JP H10128667A JP 28837596 A JP28837596 A JP 28837596A JP 28837596 A JP28837596 A JP 28837596A JP H10128667 A JPH10128667 A JP H10128667A
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JP
Japan
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abrasive grains
abrasive
polyvinyl alcohol
water
polishing
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JP28837596A
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Japanese (ja)
Inventor
Takeo Shibahashi
健夫 柴橋
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CHIYOURI KK
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Publication date
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  • Processing And Handling Of Plastics And Other Materials For Molding In General (AREA)
  • Encapsulation Of And Coatings For Semiconductor Or Solid State Devices (AREA)
  • Grinding And Polishing Of Tertiary Curved Surfaces And Surfaces With Complex Shapes (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To facilitate handling and easily remove residual abrasive grains by using polyvinyl alcohol as abrasive grains. SOLUTION: Granular material of polyvinyl alcohol which is abrasive grains is obtained by polymerizing, saponifying, separating and drying vinyl acetate obtained by interaction of ethylene, oxygen in the air and acetic acid. Burr 11 between leads 10 can be removed by continuously spraying the above abrasive grains to a molded part 9 of the lead frames. The lead frames from which burr is removed are washed by water or hot water, whereby abrasive grains remaining on the lead frames are dissolved to be removed. At this time, the abrasive grains of polyvinyl alcohol are easily dissolved in water to be surely removed from the lead frames. Further, vinyl alcohol dissolved in water is harmless.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、研磨方法及び装置
及び研磨材に関し、例えば樹脂成型体等の樹脂モールド
部に対し、エアーを介して粒状の研磨材(メディア)を
吹き付けて表面研磨を行う空気吹き付け式の研磨方法及
び装置及びその研磨材に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a polishing method, a polishing apparatus, and a polishing material. For example, a surface of a resin molded part such as a resin molded body is polished by blowing a granular polishing material (media) through air. TECHNICAL FIELD The present invention relates to an air blowing type polishing method and apparatus and an abrasive material thereof.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来の空気吹付け式の研磨装置として、
搬送路上を移動するワーク(例えばプラスチック成型体
等のモールド製品)に、ブロワーからのエアーを介して
ノズルからポリエチレンテレフタレートの粒状体あるい
はくるみの殻の粒状体、ガラスビーズ、混合砂等の研磨
粒(メディア)を吹き付けて樹脂モールド部のバリを連
続して除去するエアブラスト式バリ取り装置が用いられ
ている。
2. Description of the Related Art As a conventional air blowing type polishing apparatus,
Abrasive particles (eg, polyethylene terephthalate particles or walnut shell particles, glass beads, mixed sand, etc.) are sprayed from a nozzle onto a workpiece (eg, a molded product such as a plastic molded product) moving on a transport path through a nozzle through air from a blower. An air blast type deburring apparatus that continuously removes burrs from a resin mold portion by spraying a medium is used.

【0003】しかしながら、この従来技術によれば、バ
リ除去後にワークに残留するポリエチレンテレフタレー
ト等の研磨粒が問題になる。特にワークが例えばIC等
の電子部品のモールド体である場合には、ICリードの
ファインピッチ化に伴い、リード間に研磨粒が残留しや
すくなり、この研磨粒が次工程でのIC処理の支障とな
り、ICの品質や特性自体にも悪影響を及ぼすおそれが
ある。
However, according to this conventional technique, there is a problem of abrasive grains such as polyethylene terephthalate remaining on a work after removing burrs. In particular, when the work is a molded body of an electronic component such as an IC, for example, the finer pitch of the IC leads makes it easy for abrasive grains to remain between the leads, and this abrasive grain hinders IC processing in the next step. And the quality and characteristics of the IC may be adversely affected.

【0004】このような残留研磨粒の除去作業は、IC
あるいはその他の製品の小型化に伴い、面倒で手間のか
かるものとなり、また確実な除去が困難となってきた。
そこで、上記ポリエチレンテレフタレートの粒状体等の
研磨粒に代えて、砂糖、塩、でん粉あるいはカセイソー
ダ等からなる水溶性の研磨粒を用い、バリ除去後に製品
を水又は湯で洗浄することにより研磨粒を溶解させて除
去する方法が考えられる。
[0004] Such an operation for removing residual abrasive grains is performed by an IC.
Or, with the miniaturization of other products, it has become cumbersome and troublesome, and it has become difficult to reliably remove them.
Therefore, instead of the above-mentioned abrasive particles such as polyethylene terephthalate granules, water-soluble abrasive particles made of sugar, salt, starch or caustic soda are used, and after removing burrs, the product is washed with water or hot water to remove the abrasive particles. A method of dissolving and removing is considered.

【0005】さらに、別のバリ除去方法あるいはその他
の研磨、研削方法として超高圧水を利用した構成の研磨
手段も実用化されている。
Further, a polishing means using ultra-high pressure water has been put to practical use as another deburring method or another polishing and grinding method.

【0006】一方、一般にノリ剤、塗料、接着剤、エマ
ルジョン、コーティング材、バインダー、変性樹脂、仕
上剤、フィルム等の材料としてポリビニールアルコール
(PVA:通称ポバール)が知られている。このPVA
はポリ酢酸ビニールをアルカリ、酸、アンモニア水など
でケン化することにより得られる高分子化合物である。
On the other hand, polyvinyl alcohol (PVA: so-called poval) is generally known as a material for glue, paint, adhesive, emulsion, coating material, binder, modified resin, finishing agent, film and the like. This PVA
Is a polymer compound obtained by saponifying polyvinyl acetate with an alkali, an acid, aqueous ammonia or the like.

【0007】[0007]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、研磨粒
として砂糖やでん粉などの水溶性研磨粒を用いた上記従
来技術の改良案においては、次のような欠点を生ずるお
それがある。
However, the above-mentioned prior art improvement using the water-soluble abrasive grains such as sugar and starch as the abrasive grains may cause the following disadvantages.

【0008】即ち、従来の砂糖などの水溶性研磨粒は、
1.硬さおよび重さが若干不充分となる場合があり、モ
ールドの材料によっては、研磨粒としての性能上不充分
な場合が考えられる。2.粉になり易いため、研磨粒と
しての寿命が短く、頻繁に補充しなければならずランニ
ングコストが高くなる。3.使い勝手が悪く取扱い性が
よくない。4.粉になったとき、そのパウダー処理が必
要であり、メンテナンスが面倒になる。5.被研磨物に
残留する砂糖等を洗い残すと、被研磨物が例えば電子部
品等の場合には次工程に悪影響を与えることが考えられ
る。
[0008] That is, conventional water-soluble abrasive grains such as sugar,
1. The hardness and weight may be slightly insufficient, and depending on the material of the mold, the performance as abrasive grains may be insufficient. 2. Since it easily becomes powder, its life as abrasive grains is short, and it must be replenished frequently, which increases the running cost. 3. Inconvenient and poor handling. 4. When it becomes powder, it needs to be powdered, which makes maintenance difficult. 5. If the sugar or the like remaining on the object to be polished is washed away, the next step may be adversely affected when the object to be polished is, for example, an electronic component.

【0009】また、上記超高圧水を用いた従来技術によ
れば、装置が大型で複雑であり、コストが高く、しかも
取扱い(水圧調整、水質選択調整等)が難しい。
Further, according to the prior art using the ultrahigh-pressure water, the apparatus is large and complicated, the cost is high, and the handling (water pressure adjustment, water quality selection adjustment, etc.) is difficult.

【0010】本発明は、上記従来技術の欠点に鑑みなさ
れたものであって、構成が簡単で、廉価で、取扱いも容
易であって、残留研磨粒(メディア)の除去が容易にで
きるエアーブラスト式の研磨方法及び装置及び長寿命で
次工程に影響を与えない研磨粒の提供を目的とする。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned drawbacks of the prior art, and has a simple structure, is inexpensive, is easy to handle, and has an air blast capable of easily removing residual abrasive grains (media). It is an object of the present invention to provide a polishing method and apparatus of the type and abrasive grains which have a long life and do not affect the next step.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明は、従来ノリ剤等
として用いられていたポリビニールアルコールに関し、
その硬さや比重、および加工性や水溶性に着目し、この
ポリビニールアルコールを研磨粒として用いることによ
り、前述のバリ取りその他の研磨用エアーブラスト装置
における各種問題点の解決を図るとともに、新規で有用
な研磨方法および装置の実現を図ったものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention relates to polyvinyl alcohol which has been used as a pasting agent or the like.
Focusing on its hardness, specific gravity, workability and water solubility, this polyvinyl alcohol is used as abrasive particles to solve various problems in the aforementioned deburring and other polishing air blasting equipment, It is intended to realize a useful polishing method and apparatus.

【0012】即ち、前記目的を達成するため、本発明で
は、被研磨物に対し空気流により研磨粒を吹き付ける研
磨方法において、ポリビニールアルコールからなる研磨
粒を用いることを特徴とする研磨方法を提供する。
That is, in order to achieve the above object, the present invention provides a polishing method in which abrasive grains made of polyvinyl alcohol are used in a polishing method for blowing abrasive grains onto an object to be polished by an air flow. I do.

【0013】さらに本発明では、被研磨物に対し研磨粒
を混入した空気流を吹き付けるための空気吹き付け手段
を有する研磨装置において、前記研磨粒をポリビニール
アルコールで構成したことを特徴とする研磨装置を提供
する。
Further, according to the present invention, there is provided a polishing apparatus having an air blowing means for blowing an air flow containing abrasive grains to an object to be polished, wherein the abrasive grains are made of polyvinyl alcohol. I will provide a.

【0014】さらに本発明では、ポリビニールアルコー
ルの粒状体からなることを特徴とする研磨材を提供す
る。
[0014] Further, the present invention provides an abrasive comprising a granular material of polyvinyl alcohol.

【0015】好ましい実施例においては、上記本発明の
研磨材は、空気流により被研磨物に吹き付けられる研磨
粒として用いることを特徴としている。
In a preferred embodiment, the abrasive of the present invention is characterized in that it is used as abrasive particles which are blown onto an object by air flow.

【0016】なお、本発明における研磨とは、被加工物
の表面研磨や仕上げあるいは粗面化等の研磨加工、およ
び外形を削る研削加工、およびバリその他の不要部を除
去するための研磨除去加工を含むものである。
In the present invention, the term "polishing" refers to polishing such as surface polishing, finishing or roughening of a workpiece, grinding for shaping an outer shape, and polishing removing for removing burrs and other unnecessary portions. Is included.

【0017】[0017]

【作用】研磨処理部上に置かれた研磨加工すべき被研磨
物(ワーク)に対し、研磨粒としてポリビニールアルコ
ールの粒状体を空気流に混入して吹き付ける。これによ
り、ワークが樹脂成型体の場合には、樹脂モールド部の
バリを除去することができ、またワークが金属や樹脂の
板材等の場合あるいは金型や精密部品等の部材の場合に
は、表面処理加工、梨地加工、表面仕上げあるいは粗面
加工等を行うことができ、さらに、研磨・研掃や研削を
することができる。
A particulate object of polyvinyl alcohol as abrasive particles is mixed with an air stream and sprayed on an object to be polished (work) placed on a polishing section to be polished. Thereby, when the work is a resin molded body, it is possible to remove burrs on the resin mold portion, and when the work is a metal or resin plate material or a member such as a mold or a precision part, Surface treatment, satin finishing, surface finishing, roughening, and the like can be performed, and further, polishing, polishing, and grinding can be performed.

【0018】このような、バリ取りや表面研磨あるいは
粗面加工等の研磨処理の後、製品を水又は湯で洗い流す
ことにより、製品に残留する研磨粒は水に溶けて完全に
除去される。
After the polishing process such as deburring, surface polishing or roughening, the product is washed away with water or hot water, whereby the abrasive grains remaining in the product are dissolved in water and completely removed.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】本発明方法は、空気流を用いて研
磨粒を吹き付けることにより研磨加工を行うエアブラス
ト式の研磨手段に適用するものである。被研磨物として
は、各種電子部品等のプラスチックモールド体、その他
各種樹脂製品、金属製品等に対し適用可能である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The method of the present invention is applied to an air blast type polishing means for performing a polishing process by blowing abrasive grains using an air flow. The object to be polished is applicable to plastic molded bodies such as various electronic parts, other various resin products, metal products and the like.

【0020】一例として、IC部品のバリ取り方法とし
て本発明を用いることができる。IC部品は通常、図1
に示すように、リードフレーム上に連続的にモールド成
型される。この半導体リードフレーム2は、図に示すよ
うに、中央のモールド部9からその両側に複数本のリー
ド10が延出され、それが連鎖状に形成された構造のも
のである。モールド成型後の半導体リードフレーム2に
は、図2に示すように、モールド部9の側面の各リード
10間にバリ11が形成されている。
As an example, the present invention can be used as a method for deburring an IC component. IC parts are usually
As shown in (1), it is continuously molded on a lead frame. As shown in the figure, the semiconductor lead frame 2 has a structure in which a plurality of leads 10 extend from both sides of a central mold portion 9 and are formed in a chain. As shown in FIG. 2, burrs 11 are formed between the leads 10 on the side surface of the molded portion 9 on the semiconductor lead frame 2 after the molding.

【0021】本発明の研磨粒であるポリビニールアルコ
ールの粒状体は、エチレンと空気中の酸素と酢酸とを反
応させて得た酢酸ビニールを、重合させ、鹸化し、分離
し、乾燥させて得る。このポリビニールアルコールの研
磨粒は、白色ないしクリーム色の顆粒状のもので、10
0℃以下で安定であり、その溶剤としては一般に水が用
いられる。この研磨粒は用途に応じて所定の粒径に揃え
て形成される。
The polyvinyl alcohol granules of the present invention are obtained by polymerizing, saponifying, separating and drying vinyl acetate obtained by reacting ethylene, oxygen in the air and acetic acid. . The abrasive grains of this polyvinyl alcohol are white or cream-colored granules,
It is stable at 0 ° C. or lower, and water is generally used as the solvent. The abrasive grains are formed to have a predetermined particle size according to the application.

【0022】この研磨粒をリードフレーム2のモールド
部9に対し連続的に吹き付けることにより、図3に示す
ように、リード10間のバリ11が除去される。
By continuously spraying the abrasive grains on the mold portion 9 of the lead frame 2, burrs 11 between the leads 10 are removed as shown in FIG.

【0023】バリが取られたリードフレーム2は水又は
湯水で洗浄され、リードフレーム上に残留する研磨粒を
溶かして除去する。このとき、ポリビニールアルコール
の研磨粒は容易に水に溶け、確実にリードフレームから
除去される。また、水に溶けたポリビニールアルコール
は無害であり、その水溶液は半導体装置の性能に影響せ
ず、また処理装置の動作に支障を与えることもない。
The lead frame 2 from which the burrs have been removed is washed with water or hot water to dissolve and remove abrasive grains remaining on the lead frame. At this time, the abrasive grains of polyvinyl alcohol are easily dissolved in water and are reliably removed from the lead frame. Further, polyvinyl alcohol dissolved in water is harmless, and the aqueous solution does not affect the performance of the semiconductor device and does not hinder the operation of the processing device.

【0024】ここで使用されるポリビニールアルコール
の研磨粒は、粒径が揃っており、所定のピッチのリード
間のバリ取り研磨のための研磨粒として効率よく使用で
きる。また、硬さや重さが充分であるため研磨粒として
の充分な性能が得られ、寿命も長く、しかも次工程に悪
影響を与えない。
The abrasive grains of polyvinyl alcohol used here have a uniform particle size and can be efficiently used as abrasive grains for deburring between leads of a predetermined pitch. Further, since the hardness and weight are sufficient, sufficient performance as abrasive grains can be obtained, the life is long, and the next step is not adversely affected.

【0025】尚、上記実施例の説明ではポリビニールア
ルコールの研磨粒をバリの除去手段として使用したが、
表面処理加工や、その他一般のエアブラスト式研磨にも
使用できる。
In the description of the above embodiment, abrasive grains of polyvinyl alcohol were used as a means for removing burrs.
It can be used for surface treatment and other general air blast polishing.

【0026】また、本発明は、ノズルその他いかなる構
成の空気吹き付け手段であっても、空気流に混入した研
磨粒を吹き付けて研磨を行う方法および装置に対し適用
可能である。
Further, the present invention is applicable to a method and an apparatus for performing polishing by blowing abrasive grains mixed in an air flow, using a nozzle or any other air blowing means.

【0027】また、本発明の研磨粒は、球形に限らず、
他の粒形状あるいは大きさのほぼ揃った細かい破砕片等
の集合体であってもよい。
The abrasive grains of the present invention are not limited to spherical shapes,
Aggregates such as fine crushed pieces having other grain shapes or sizes substantially uniform may be used.

【0028】[0028]

【発明の効果】以上説明したように、本発明において
は、ポリビニールアルコールからなる研磨粒を噴流エア
ーに混入させこのエアーを介して例えばノズルから被研
磨物に対し吹き付けるだけで、IC部品等のモールド成
型体のモールド部のバリの除去、金属の表面処理加工
(仕上げあるいは粗面化等)あるいは金型や精密部品等
の研磨や研削、研掃を行うことができ、研磨処理後は水
に溶かして除去することができるため、研磨後の加工品
に残留する研磨粒の除去作業が極めて簡単でしかも完全
に行うことができる。さらにこれにより、構造が簡単
で、廉価で且つ取扱いが容易なエアーブラスト式の研磨
装置を実現することができる。
As described above, according to the present invention, abrasive particles made of polyvinyl alcohol are mixed with jet air and sprayed from the nozzle, for example, from a nozzle to the object to be polished. It can remove burrs from the mold part of the molded product, perform metal surface treatment (finishing or roughening, etc.), or grind, grind, and polisher molds and precision parts. Since it is possible to dissolve and remove the abrasive grains, the operation of removing the abrasive grains remaining on the processed product after polishing can be performed extremely simply and completely. Further, this makes it possible to realize an air blast type polishing apparatus which has a simple structure, is inexpensive and easy to handle.

【0029】また、ポリビニールアルコールは、容易に
粒状加工することができ、粒径を揃えることも容易にで
きるため、研磨すべき製品の形状や材質に合わせ、(例
えばIC部品であればリードピッチ等に合わせて、)最
適な粒径の研磨粒や加工精度に応じた粒径の研磨粒を容
易に得ることができ、研磨粒を形成するときの作業性や
取扱性が向上し、コストの低減が図られる。さらに、こ
のポリビニールアルコールを用いた研磨粒は、硬くて重
いため研磨材として充分な性能を有し、寿命が長く、ラ
ンニングコストの低減が図られる。しかも水に溶けて無
害であり、万一加工品上に残留した場合あるいは水溶液
が残留した場合でも、次工程に悪影響を与えることもな
いため、品質や特性を劣化させず優れた加工品を得るこ
とができる。
Further, since polyvinyl alcohol can be easily granulated and its particle diameter can be easily made uniform, it can be easily adjusted to the shape and material of the product to be polished (for example, lead pitch for IC parts). Abrasive grains having an optimal grain size and abrasive grains having a grain size corresponding to the processing accuracy can be easily obtained, and the workability and handleability when forming the abrasive grains are improved, and the cost is reduced. Reduction is achieved. Further, the abrasive grains using the polyvinyl alcohol are hard and heavy, and therefore have sufficient performance as an abrasive, have a long life, and reduce running costs. Moreover, it is harmless because it dissolves in water, and even if it remains on the processed product or the aqueous solution remains, it does not adversely affect the next process, so that an excellent processed product is obtained without deteriorating quality or characteristics. be able to.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】 本発明が適用される被研磨物の一例としての
半導体リードフレームの構成図である。
FIG. 1 is a configuration diagram of a semiconductor lead frame as an example of an object to be polished to which the present invention is applied.

【図2】 図1の半導体リードフレームのモールド部に
バリがある状態の説明図である。
FIG. 2 is an explanatory view showing a state where burrs are present in a mold portion of the semiconductor lead frame of FIG. 1;

【図3】 本発明を適用した結果、図2の半導体リード
フレームのモールド部からバリがとれた状態の説明図で
ある。
FIG. 3 is an explanatory view showing a state in which burrs are removed from a mold portion of the semiconductor lead frame of FIG. 2 as a result of applying the present invention.

【符号の説明】 2:半導体リードフレーム(ワーク) 9:モールド部 10:リード 11:バリ[Description of Signs] 2: Semiconductor lead frame (work) 9: Mold part 10: Lead 11: Burr

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 被研磨物に対し空気流により研磨粒を吹
き付ける研磨方法において、ポリビニールアルコールか
らなる研磨粒を用いることを特徴とする研磨方法。
1. A polishing method in which abrasive particles are blown against an object to be polished by an air flow, wherein abrasive particles made of polyvinyl alcohol are used.
【請求項2】 被研磨物に対し研磨粒を混入した空気流
を吹き付けるための空気吹き付け手段を有する研磨装置
において、前記研磨粒をポリビニールアルコールで構成
したことを特徴とする研磨装置。
2. A polishing apparatus having an air blowing means for blowing an air flow containing abrasive grains to an object to be polished, wherein said abrasive grains are made of polyvinyl alcohol.
【請求項3】 ポリビニールアルコールの粒状体からな
ることを特徴とする研磨材。
3. An abrasive comprising a granular material of polyvinyl alcohol.
【請求項4】 空気流により被研磨物に吹き付けられる
研磨粒として用いることを特徴とする請求項3に記載の
研磨材。
4. The abrasive according to claim 3, wherein the abrasive is used as abrasive particles sprayed on the object by air flow.
JP28837596A 1996-10-30 1996-10-30 Polishing method and device, and abrasive therefor Pending JPH10128667A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7014669B2 (en) 2002-02-11 2006-03-21 Dupont Air Products Nanomaterials Llc Catalytic composition for chemical-mechanical polishing, method of using same, and substrate treated with same
KR102275744B1 (en) * 2020-03-09 2021-07-08 김선기 Automatic sanding apparatus

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
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