JPH10126097A - 負圧吸着検査機能を有する電気部品搬送装置，負圧吸着検査装置および方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 吸着具の負圧を自動的に検出し、吸着機能を
検査し得る電気部品搬送装置を提供する。 【解決手段】 カートリッジ支持台２０に負圧検出装置
５３０を取付装置４８０により取り付ける。負圧検出装
置５３０は負圧検出用通路５５０，負圧センサ５８４，
分岐通路５８０を遮断状態と絞りを経て空気を漏らす状
態とに切り換える連通状態変更装置５９０，検査用被駆
動レバー６３２，特定位置センサ６７０を有する。負圧
の検出時には電気部品の吸着時と同様に部品吸着ノズル
１５８が下降し、昇降部材４２８の下降により検査用被
駆動レバー６３２が回動し、吸着管１６２が負圧検出用
通路５５０を塞ぐとともに特定位置センサ６７０が検査
用被駆動レバー６３２を検出し、負圧が読み込まれる。
分岐通路５８０の遮断状態と空気漏れ状態とで２種類の
検出値を取得し、適切な負圧が得られない原因を推定す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は電気部品（電気・電
子回路を構成する回路部品）を吸着具により負圧で吸着
して搬送する電気部品搬送装置に関するものであり、特
に、吸着具の吸着機能の検査に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】この種の電気部品搬送装置は、一般に、
（ａ）負圧で電気部品を吸着する吸着具と、（ｂ）その
吸着具を移動させる吸着具移動装置と、（ｃ）吸着具に
供給される負圧を制御する負圧制御装置とを含むように
構成される。吸着具は、吸着具移動装置により部品吸着
位置へ移動させられるとともに、負圧制御装置の制御に
基づいて負圧が供給され、電気部品を吸着する。次い
で、吸着具が吸着具移動装置により移動させられて電気
部品を搬送し、例えば、プリント基板等の電気部品受取
部材に電気部品を渡す。電気部品を電気部品受取部材に
渡すとき、吸着具が大気に解放され、電気部品を解放す
る。電気部品を負圧により吸着すれば、電気部品を複数
本の把持爪により把持する場合のように、把持爪により
損傷する恐れなく、電気部品を保持することができる。
吸着具は電気部品搬送装置に１つ設けられる場合もあ
り、複数設けられる場合もある。例えば、電気部品受取
部材の一種であるプリント基板等の装着対象材に電気部
品を装着する電気部品装着システムにおける電気部品搬
送装置の吸着具移動装置は、移動体と、移動体を移動さ
せる移動体移動装置とを含むものとされ、移動体上に１
つまたは複数の吸着具が設けられるのである。いずれに
しても、電気部品を負圧により吸着する場合、例えば、
吸着具内の負圧供給通路にごみや埃等が侵入して詰まり
が生ずれば、適切な高さ、すなわち電気部品を強固に吸
着し得る高さの負圧が得られず、電気部品を十分強固に
吸着することができないことがある。詰まりが生ずるの
は吸着具の通路に限らず、例えば、吸着具を保持する吸
着具保持部材に設けられ、吸着具に負圧を供給する通路
に詰まりが生じても適切な高さの負圧が得られない。吸
着具保持部材に負圧を供給する通路に詰まりが生じた場
合も同様である。また、吸着具の電気部品を吸着する吸
着面に摩耗や変形が生ずれば、吸着面が電気部品に密着
せず、吸着具と電気部品との間から負圧が漏れ、適切な
高さの負圧が得られないことがある。吸着具が吸着具保
持部材に対して相対移動可能に保持されており、電気部
品の吸着時に相対移動が生ずる場合、吸着具と吸着具保
持部材との摺動面に摩耗が生じ、負圧の漏れが生ずるこ
ともある。吸着具に負圧を供給する通路の損傷等によ
り、漏れが生ずる可能性もある。そのため、従来は、吸
着具に負圧が供給された状態で作業者が吸着具に負圧セ
ンサを当てて負圧を検出し、適切な高さの負圧が得られ
ない場合は吸着具を交換する等、適宜の処理が為され、
電気部品の吸着ミスが生じないようにされていた。検出
結果に基づいて異常が上記種々の異常原因のいずれによ
って生じているかが調べられ、異常を解消すべく、処理
が行われていたのである。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、作業者
が吸着具に負圧センサを当てて負圧を検出すれば、検出
作業に人手を要する上、面倒であり、さらに電気部品搬
送工程の自動化の妨げになることがある。特に、電気部
品搬送装置が多数の吸着具を有する場合、それら吸着具
の一つ一つに負圧センサを当てて負圧を検出することは
面倒であり、多くの人手を要し、時間がかかることを避
け得ない。請求項１に係る第１発明は、吸着具の負圧を
自動的に検出し、吸着具の吸着機能を自動的に検査する
ことができる電気部品搬送装置を提供することを課題と
する。請求項２に係る第２発明の課題は、吸着具の電気
部品供給装置からの電気部品の取出し動作を利用して負
圧を自動的に検出することにある。請求項３に係る第３
発明の課題は、電気部品供給装置が複数の部品供給カー
トリッジを含む電気部品搬送装置において第２発明の課
題を解決することにある。請求項４に係る第４発明の課
題は、吸着具の負圧を自動的に検出し得るとともに、適
切な高さの負圧が得られない原因を推定することが可能
な電気部品搬送装置を提供することにある。請求項５に
係る第５発明の課題は、第１ないし第４発明に係る電気
部品搬送装置に好適な負圧吸着検査装置を提供すること
である。請求項６に係る第６発明の課題は、第１ないし
第４発明に係る電気部品搬送装置に好適な負圧吸着検査
方法を提供することである。

【０００４】

【課題を解決するための手段，作用および発明の効果】
本発明によって、下記各態様の電気部品搬送装置、なら
びにそれに好適な負圧吸着検査装置および方法が得られ
る。各態様は、請求項と同様に、項に区分し、各項に番
号を付し、必要に応じて他の項の番号を引用する形式で
記載する。各項に記載の特徴の組合わせの可能性を明示
するためである。ただし、複数の項に従属する項にさら
に従属する項は、それら複数の項のすべてに対して読み
得るとは限らず、先行する構成要素を含む項についての
み読まれるべきものとする。 （１）負圧で電気部品を吸着する吸着具と、その吸着具
を移動させる吸着具移動装置と、前記吸着具に供給され
る負圧を制御する負圧制御装置と、前記吸着具の負圧を
検出する負圧検出装置と、前記吸着具移動装置，前記負
圧制御装置および前記負圧検出装置を制御することによ
り、前記吸着具を負圧検出装置の位置まで移動させると
ともに負圧検出装置に吸着具の負圧を検出させる検査制
御装置とを含むことを特徴とする負圧吸着検査機能を有
する電気部品搬送装置（請求項１）。この電気部品搬送
装置において吸着具は、吸着具移動装置により自動的に
負圧検出装置へ移動させられ、負圧制御装置の制御によ
り負圧が供給された状態で吸着具の負圧が負圧検出装置
により自動的に検出される。したがって、作業者がいち
いち吸着具に負圧センサを当てて負圧を検出しなくても
よく、負圧が容易に検出されるとともに、人手を要さ
ず、また、電気部品搬送工程の途中で負圧を検出して
も、搬送工程の自動化を妨げることが少ない。作業者の
手が必要であっても、例えば、検出開始指示の入力等、
極く僅かであって作業は容易であり、人手も少なくて済
む。特に、吸着具を複数有する電気部品搬送装置におい
ては、負圧の検出の容易化，自動化，人手節減の効果が
大きく、負圧の検出時間を大幅に短縮することができ
る。 （２）前記吸着具を複数個備え、かつ、前記負圧検出装
置の検出結果を各吸着具に対応付けて出力する検査結果
出力装置を含む (1)項に記載の電気部品搬送装置。検査
結果は、種々の態様で出力することができる。例えば、
出力装置を記録装置を含むものとし、検査結果を記録用
紙等の記録媒体に記録してもよく、あるいはＣＲＴ（カ
ソードレイチューブ）ディスプレイや、液晶ディスプレ
イ等の表示装置を含むものとし、検査結果を画面に表示
するようにしてもよく、あるいは音声出力装置を含むも
のとし、音声で出力してもよい。検出結果を記録媒体に
記録すれば、作業者が見易く、また、保存が容易であ
る。検出結果を磁気ディスク，光ディスク等の記憶媒体
に記憶させてもよい。 （３）前記負圧検出装置が、検出装置本体と、その検出
装置本体内に形成され、その装置本体の表面に開口させ
られた負圧検出用通路と、その負圧検出用通路内の負圧
を検出する負圧センサとを含む (1)項または (2)項に記
載の電気部品搬送装置。この装置において吸着具は、負
圧検出時には、負圧検出用通路の検出装置本体の表面に
接触させられ、負圧検出用通路の開口が吸着具により覆
われ、吸着具からの負圧の漏れが電気部品に代わって検
出装置本体により実質的に防止される。この状態では、
吸着具内の通路と負圧検出用通路とが連通させられ、負
圧検出用通路内に吸着具に得られるのと実質的に同じ高
さの負圧が得られ、負圧検出用通路の負圧を検出するこ
とにより、吸着具の負圧を検出することができる。 （４）前記検出装置本体の前記負圧検出用通路の開口周
辺を形成する部分が本体部とは別体に製造され、本体部
に着脱可能に取り付けられた開口形成部材により構成さ
れた (3)項に記載の電気部品搬送装置。開口形成部材内
に形成されて負圧検出用通路の開口部を構成する通路の
直径がそれぞれ異なる開口形成部材を複数設け、選択的
に検出装置本体に取り付ければ、発明の実施の形態にお
いて説明するように、吸着具の電気部品を吸着する部分
の内径に合わせて負圧検出用通路の開口部の径を変更す
ることができる。開口形成部材内に直径が異なる複数の
通路を設けるとともに、開口形成部材を検出装置本体に
移動可能に取り付け、開口形成部材の移動により、複数
の通路の１つを選択的に負圧検出用通路の開口部を形成
する作用位置に位置決めするようにしてもよい。開口形
成部材は、直線移動するものとしてもよく、回転あるい
は回動するものとしてもよい。また、作業者の手動操作
により移動させられるものとしてもよく、移動装置によ
り自動的に移動させられるものとしてもよい。 （５）前記負圧センサが前記検出装置本体に、前記負圧
検出用通路内の負圧を検出可能な状態で固定された (3)
項または (4)項に記載の電気部品搬送装置。本態様によ
れば、負圧検出用通路を短くすることができ、負圧検出
用通路内に迅速に電気部品の吸着に適した高さの負圧を
得ることができる。 （６）前記負圧センサが、前記検出装置本体に気密を保
って嵌合され、前記負圧検出用通路の少なくとも一部を
構成する負圧検出用通路形成部を含むアダプタにより検
出装置本体に取り付けられる (5)項に記載の電気部品搬
送装置。 （７）前記負圧センサのハウジングの一部が、前記検出
装置本体に気密を保って嵌合され、前記負圧検出用通路
の少なくとも一部を構成する負圧検出用通路形成部とさ
れている (5)項に記載の電気部品搬送装置。 （８）前記負圧制御装置が、前記吸着具の各々に負圧を
供給する状態と供給しない状態とに切り換えが可能な負
圧供給切換装置を含む (1)ないし (7)項のいずれか１つ
に記載の電気部品搬送装置。 （９）前記負圧供給切換装置が、前記吸着具と共に移動
可能に設けられ、切換部材の移動により吸着具に負圧を
供給する供給状態と供給しない非供給状態とに機械的に
切り換えが可能な切換弁と、前記部品受取位置に設けら
れ、前記切換弁を前記供給状態に切り換える部品受取位
置側切換操作装置とを含み、かつ、前記負圧検出装置
が、前記部品受取位置を通過した後の吸着具について切
換弁を前記非供給状態に切り換える検出装置側切換操作
装置を含む (8)項に記載の電気部品搬送装置。負圧を供
給しない非供給状態の代表的なものは、吸着具を大気に
開放する大気開放状態であるが、吸着具による回路部品
の解放を迅速にする等の目的で吸着具に正圧を供給する
正圧供給状態を含むようにすることもできる。 （１０）前記切換弁の前記切換部材が吸着具の回動軸線
を中心とする一円周と交差する方向に移動可能であり、
前記検出装置側切換操作装置が、前記検出装置本体に取
り付けられ、前記吸着具の回動方向における下流側ほ
ど、前記切換部材の移動方向において前記切換部材に接
近する形状を有する作用面を備え、その作用面において
切換部材に係合して前記切換弁を前記非供給状態に切り
換える切換部材駆動部材を含む (9)項に記載の電気部品
搬送装置。 （１１）前記切換部材駆動部材が、前記検出装置側切換
操作装置の位置における前記切換弁の回動軌跡に対する
接線方向と直交し、かつ、前記切換部材の移動方向とほ
ぼ直交する軸線のまわりに回転可能であり、外周面を前
記作用面とするローラである(10)項に記載の電気部品搬
送装置。 （１２）前記切換部材駆動部材が前記検出装置本体に、
前記検出装置側切換操作装置の位置における前記切換部
材の移動方向とほぼ平行な方向に移動可能に取り付けら
れており、かつ、前記検出装置側切換操作装置が、常に
は切換部材駆動部材を前記切換部材に係合する前進端位
置に保持し、切換部材が移動限度位置まで移動した後は
切換部材駆動部材が前進端位置から後退することを許容
する付勢手段を含む(10)項または(11)項に記載の電気部
品搬送装置。 （１３）当該電気部品搬送装置が、前記吸着具に部品供
給部から電気部品を１個ずつ供給する電気部品供給装置
を含み、前記負圧検出装置が前記吸着具と接触する接触
部を有し、その接触部が、前記電気部品供給装置の前記
部品供給部に対応する位置に設けられた (1)ないし(12)
項のいずれか１つに記載の電気部品搬送装置（請求項
２）。この電気部品搬送装置において吸着具は、吸着具
移動装置により部品供給部へ移動させられて電気部品を
吸着する。負圧検出装置は、電気部品供給装置の部品供
給部に対応する位置に、吸着具と接触する接触部を有し
ているため、負圧の検出時には、電気部品の吸着時と同
様の移動動作により、負圧検出装置の接触部と吸着具と
を接触させることができ、電気部品吸着時の動作を利用
して容易に負圧を検出することができる。 （１４）前記検査制御装置が、前記負圧検出装置の制御
の少なくとも一部を、前記電気部品供給装置の部品供給
を制御する部品供給制御装置の作動に基づいて実行する
部品供給装置作動対応検出制御手段を含む(13)項に記載
の電気部品搬送装置。電気部品供給装置は、多数の電気
部品を保持し、それら電気部品を順次吸着具に供給す
る。１個の電気部品が供給されれば、次に供給される電
気部品が部品供給部に位置させられるのであり、部品供
給制御装置は電気部品供給装置に吸着具の吸着動作と関
連付けて電気部品を供給させる。吸着具が電気部品を吸
着するときには、吸着されるべき電気部品が部品供給部
に位置させられるとともに、吸着具が電気部品を部品供
給部から取り出すとき、取出しが許容されることが必要
であるからである。したがって、部品供給制御装置の作
動に基づいて負圧検出装置を制御すれば、適切な時期、
すなわち吸着具が部品供給部にある電気部品を吸着し、
吸着具の開口が電気部品により塞がれて負圧の漏れが実
質的に防止され、吸着具に適切な高さの負圧が得られる
時期に相当する時期に負圧を検出することができる。 （１５）前記部品供給装置作動対応検出制御手段が、前
記負圧検出装置の検出結果の読込みを、前記電気部品供
給装置の部品供給を制御する部品供給制御装置の作動に
基づいて実行する読込制御手段を含む(14)項に記載の電
気部品搬送装置。この電気部品搬送装置によれば、負圧
検出装置を常時負圧を検出する状態にある装置としなが
ら、適切な時期に検出結果を読み込むことができ、無駄
に読込みを行わずに済み、必要なデータのみが得られ、
検出結果の処理が容易になる効果が得られる。 （１６）前記電気部品供給装置が、一定の間隔で一列に
形成された保持凹部を備えた部品保持テープに１個ずつ
の電気部品が収容されたテープ化電気部品を１ピッチず
つ送るテープ送り装置と、前記部品保持テープからカバ
ーテープを剥がすテープ剥離装置との少なくとも一方を
備え、前記部品供給装置作動対応制御手段がその少なく
とも一方の作動に対応して前記負圧検出装置の制御の少
なくとも一部を実行する送り対応制御手段と剥離対応制
御手段との少なくとも一方を含む(14)項または(15)項に
記載の電気部品搬送装置。送り対応制御手段と剥離対応
制御手段との少なくとも一方を設ければ、適切な時期に
負圧を検出することができる。テープ送り装置およびテ
ープ剥離装置は、発明の実施の形態において説明するよ
うに、吸着具を移動させる吸着具移動装置と駆動源を共
用する装置としてもよく、あるいは専用の駆動源を有す
るものとしてもよい。 （１７）前記電気部品供給装置が、前記テープ送り装置
と前記テープ剥離装置との少なくとも一方をそれぞれ備
えた複数の部品供給カートリッジを含み、それら複数の
部品供給カートリッジの各々が前記テープ送り装置とテ
ープ剥離装置との少なくとも一方に対応する被駆動部材
を備え、その被駆動部材が部品供給カートリッジの外に
設けられた共通の駆動部材によって駆動されることによ
り、前記部品保持テープを送り、あるいはカバーテープ
を剥がすものであり、前記負圧検出装置が前記被駆動部
材に相当する検査用被駆動部材を備え、前記送りまたは
剥離対応制御手段が前記検査用被駆動部材の作動を検出
する検査用被駆動部材作動検出装置を含む(16)項に記載
の電気部品搬送装置。検査用被駆動部材は駆動部材によ
り、テープ送り装置とテープ剥離装置との少なくとも一
方に対応する被駆動部材と同様に駆動される。テープ送
り装置とテープ剥離装置との少なくとも一方に対応する
被駆動部材は、吸着具による電気部品の吸着動作と関連
して駆動されるため、検査用被駆動部材も吸着具による
電気部品の吸着動作と関連して駆動されることとなり、
検査用被駆動部材作動検出装置は、吸着具からの負圧の
漏れが実質的に防止され、適切な高さの負圧が得られる
時期に検査用被駆動部材を検出し、送りまたは剥離対応
制御手段は、負圧検出装置に適切な時期に負圧を検出さ
せることができる。 （１８）前記検査用被駆動部材作動検出装置が、前記検
査用被駆動部材が特定の位置まで作動したことを検出す
る特定位置センサと、その特定位置センサと前記検査用
被駆動部材との相対位置を調節する位置調節装置とを含
む(17)項に記載の電気部品搬送装置。特定位置センサに
よる検査用被駆動部材の検出により、適切な負圧検出時
期がわかる。特定位置センサは、例えば、発光部および
受光部を有する光電センサ、リミットスイッチ、近接ス
イッチ等、種々のセンサにより構成することができる。
また、例えば、電気部品搬送装置や電気部品供給装置に
組付け誤差等があれば、特定位置にずれが生ずるが、特
定位置センサと検査用被駆動部材との相対位置を調節す
れば、検査用被駆動部材を常に特定位置まで作動したと
きに検出することができ、正確に適切な負圧検出時期に
負圧を検出することができる。 （１９）前記検査制御装置が、前記負圧制御装置の制御
の少なくとも一部を、前記電気部品供給装置の部品供給
を制御する部品供給制御装置の作動に基づいて実行する
部品供給装置作動対応負圧制御手段を含む(13)ないし(1
8)項のいずれか１つに記載の電気部品搬送装置。電気部
品の吸着時に吸着具への負圧の供給は、吸着動作と関連
して行われ、ひいては電気部品供給装置による電気部品
の供給と関連して行われる。したがって、部品供給装置
作動対応負圧制御手段を設ければ、負圧の検出時にも、
電気部品の吸着時と同様に負圧が供給され、検出時に吸
着具に適切な高さの負圧が遅れなく得られるようにする
ことができる。 （２０）前記電気部品供給装置が、各々１種類の電気部
品を多数保持し、各々の部品供給部から１個ずつ供給す
る複数の部品供給カートリッジと、それら部品供給カー
トリッジをそれらの部品供給部が一線に沿って並ぶ状態
で保持する部品供給テーブルと、その部品供給テーブル
と前記吸着具とを相対移動させて、吸着具と前記複数の
部品供給カートリッジの各部品供給部とを選択的に対向
させる部品選択装置とを含み、かつ、前記負圧検出装置
が、それらカートリッジと同じ取付装置により前記部品
供給テーブルに取り付けられ、前記部品供給カートリッ
ジの部品供給部に対応する位置に、前記吸着具と接触す
る接触部を有する検出装置本体を含む(13)ないし(19)項
のいずれか１つに記載の電気部品搬送装置（請求項
３）。この電気部品搬送装置においては、負圧検出装置
が部品供給カートリッジと同様に部品供給テーブルに取
り付けられ、負圧の検出時には、負圧検出装置の接触部
が、部品選択装置により、部品供給カートリッジの部品
供給部と同様にして吸着具と対向させられ、電気部品の
吸着時と同様にして吸着具と接触させられ、負圧検出装
置が負圧を検出する。部品吸着のための動作を利用して
容易に負圧の検出を行うことができるのである。部品供
給テーブルに負圧検出装置専用の取付位置を設け、その
取付位置に負圧検出装置を取り付けてもよく、あるいは
カートリッジ取付位置に取り付けてもよい。部品供給テ
ーブルに負圧検出装置専用の取付位置を設ける場合、部
品供給テーブルのいずれに取付位置を設けてもよいが、
部品供給テーブルの端に設ける場合、部品供給テーブル
に取り付けられる複数の部品供給カートリッジ群のう
ち、最も端の部品供給カートリッジに対してカートリッ
ジ取付ピッチの１ピッチ分、離れた位置に設けてもよ
く、複数ピッチ離れた位置に設けてもよく、取付ピッチ
上ではない位置に設けてもよい。部品供給カートリッジ
は、例えば、電気部品を部品保持テープに保持させて供
給するものでもよく、電気部品がケーシング内に１列に
並んで収容され、加振装置によりケーシングに加えられ
る振動によって電気部品を送るものでもよく、電気部品
が１列に並んで収容されたケーシングを傾斜させて設
け、傾斜により電気部品を送るものでもよく、ケーシン
グ内に１列に並んで収容された電気部品を空気流により
送るものでもよい。部品選択装置は、次項におけるよう
に、部品供給テーブルを移動させることにより、次に供
給されるべき電気部品（すなわち、次に電気部品を供給
すべき部品供給カートリッジ）を選択するものとするこ
とも、静止した部品供給テーブルに対して吸着具を移動
させることにより、次に供給されるべき電気部品を選択
するものとすることも可能である。後者の場合には、吸
着具移動装置の、吸着具を複数の部品供給カートリッジ
の部品供給部と対向する位置へ移動させる部分が、部品
選択装置として機能することになる。複数の部品供給カ
ートリッジの各部品供給部が沿って並ぶ一線は、直線で
もよく、円周でもよく、円弧（部分円周）とすることも
でき、円弧以外の曲線でもよく、あるいはそれらの組合
わせでもよい。部品供給テーブルを移動させる場合、一
線が直線であれば、部品供給テーブルは直線移動テーブ
ルとされ、円周であれば、一軸線まわりに回転する円形
（全円）テーブルとされ、円弧であれば、一軸線まわり
に回転する扇形テーブルとされる。 （２１）前記部品選択装置が、前記部品供給テーブルを
前記一線に沿って移動させることによってその部品供給
テーブルに保持されている複数の部品供給カートリッジ
の部品供給部を予め定められた部品供給位置へ選択的に
位置決めすることにより、各部品供給部と前記吸着具と
を対向させるテーブル移動装置を含み、そのテーブル移
動装置が、負圧検出時には、前記負圧検出装置の接触部
を前記吸着具と対向させる(20)項に記載の電気部品搬送
装置。 （２２）前記検出装置本体が、前記部品供給カートリッ
ジの本体に対応する部材であって、部品供給カートリッ
ジと同じ取付装置により前記部品供給テーブルに取り付
けられ、かつ、前記負圧検出用通路がその検出装置本体
の、前記部品供給カートリッジの本体の前記部品供給部
に対応する部分に開口させられ、その開口周辺が前記接
触部とされた(20)項または(21)項に記載の電気部品搬送
装置。本態様によれば、負圧検出装置本体を、部品供給
カートリッジの本体と同様に取り扱うことができ、前述
のように、負圧検出装置を部品供給カートリッジに代え
て、あるいは部品供給カートリッジと共に部品供給テー
ブルに搭載することが容易になる。 （２３）前記吸着具移動装置が、前記複数の吸着具を共
通の回動軸線のまわりに回動させて、前記部品供給カー
トリッジの前記部品供給部の上方の部品受取位置に順次
停止させる吸着具回動装置を含み、その吸着具回動装置
が、負圧検出時には、前記複数の吸着具を順次前記負圧
検出装置の接触部に対向させる(20)ないし(22)項のいず
れか１つに記載の電気部品搬送装置。吸着具回動装置
は、発明の実施の形態において説明するように、一軸線
のまわりに個々に回動可能に設けられた複数の回動体
と、その回動体を回動させる回動体回動装置とを含み、
複数の回動体の各々に１個または複数個の吸着具を有す
る部品保持ヘッドが設けられ、回動体の回動により、複
数の部品保持ヘッドが順次部品受取位置に停止させられ
る装置でもよく、あるいは、一軸線のまわりに回転可能
に設けられた回転テーブルと、その回転テーブルを回転
させる回転テーブル回転装置とを含み、回転テーブル
に、それぞれ１個または複数個の吸着具を有する複数の
部品保持ヘッドが等角度間隔に設けられ、回転テーブル
が部品保持ヘッドの配設角度間隔に等しいピッチで間欠
回転させられることにより、複数の部品保持ヘッドが順
次部品受取位置に移動させられるものでもよい。 （２４）前記吸着具移動装置が、前記部品受取位置に停
止させられた前記吸着具をその吸着具の軸線に平行に前
記部品供給部に向かって下降させる吸着具下降装置を含
み、その吸着具下降装置が、負圧検出時には、吸着具を
前記負圧検出装置の接触部に接触させる(23)項に記載の
電気部品搬送装置。 （２５）前記吸着具移動装置が、前記吸着具を複数個取
り付け可能でかつ回転軸線のまわりの回転によりそれら
複数個の吸着具の１つを選択的に作動位置に位置決めす
る回転ヘッドを複数個含み、前記吸着具回動装置がそれ
ら複数個の回転ヘッドを前記共通の回動軸線のまわりに
回動させることにより前記作動位置にある吸着具を前記
部品受取位置に順次停止させる回転ヘッド回動装置を含
み、その回転ヘッド回動装置が、負圧検出時には、前記
複数個の回転ヘッドを、それらの前記作動位置にある吸
着具が、前記負圧検出装置の接触部に対向する位置に、
順次停止させる(23)項または(24)項に記載の電気部品搬
送装置。この電気部品搬送装置においては、吸着具移動
装置上において回転ヘッド毎に複数の吸着具が選択して
使用されるため、電気部品搬送装置とは別に複数種類の
吸着具を備えた吸着具収容装置を設けたり、交換のため
に電気部品搬送装置の作動を停止させる必要がなく、電
気部品を能率良く吸着し、搬送することができる。本電
気部品搬送装置においては、回転ヘッドの回転による吸
着具の交替と、回転ヘッドの前記共通の回動軸線まわり
の回動とによって、全部の吸着具を負圧検出装置へ移動
させ、負圧を検出することができる。 （２６）前記負圧検出装置が、少なくとも負圧検出時に
前記吸着具に連通する負圧検出用通路と、その負圧検出
用通路への予め定められた状態の空気漏れを許容する状
態と空気漏れを実質的に許容しない状態とに選択的に変
更可能な漏れ状態変更装置とを含む (1)ないし(25)項の
いずれか１つに記載の電気部品搬送装置（請求項４）。
空気の漏れ状態を上記２つの状態に変更すれば、いずれ
の状態においても適切な高さの負圧が得られる場合と、
空気漏れを許容する状態では適切な高さの負圧が得られ
ないが、空気漏れを実質的に許容しない状態では適切な
高さの負圧が得られる場合と、空気漏れを許容する状態
でも実質的に許容しない状態でも、適切な高さの負圧が
得られない場合とが生ずる。吸着具に異常がなく、適切
な高さの負圧が得られるのであれば、空気の漏れが許容
された状態で負圧が供給されても、漏れ量を超える負圧
が供給され、適切な高さの負圧が得られるのであり、い
ずれの状態においても適切な高さの負圧が得られるので
あれば、吸着具に異常がないことがわかる。それに対
し、後二者の場合は吸着具に異常があることがわかり、
しかも、発明の実施の形態において説明するように異常
の原因（例えば吸着具内の通路の詰まりや吸着面の摩耗
や変形等）を推定することができる。異常の原因が異な
れば、負圧検出条件（負圧の検出が空気漏れを許容する
状態で行われたか否か）が同じであっても、適切な高さ
の負圧が得られるか否かが異なるからであり、異常原因
の推定により、より早く異常原因を除去することができ
る。 （２７）電気部品を負圧により吸着して保持する吸着具
の負圧吸着機能の良否を検査する負圧吸着検査装置であ
って、検査装置本体と、その検査装置本体に形成され、
少なくとも負圧検出時に前記吸着具に連通する負圧検出
用通路と、その負圧検出用通路の負圧を検出する負圧セ
ンサと、前記負圧検出用通路への予め定められた状態の
空気漏れを許容する状態と空気漏れを実質的に許容しな
い状態とに選択的に変更可能な漏れ状態変更装置とを含
む負圧吸着検査装置（請求項５）。 （２８）前記漏れ状態変更装置が、前記負圧検出用通路
に連通する分岐通路に設けられ、その分岐通路を絞りを
経て外部に連通させる状態と、その分岐通路を遮断する
状態とに変更可能な連通状態変更装置を含む(27)項に記
載の負圧吸着検査装置。 （２９）前記連通状態変更装置が、前記分岐通路の開口
部を実質的に気密に閉塞するめくらプラグと、そのめく
らプラグと選択的に前記分岐通路の開口部に取り付けら
れ、その分岐通路を限られた流路面積で外部に連通させ
る絞りを有する絞り部材とを含む(28)項に記載の負圧吸
着検査装置。絞りの流路面積が異なる複数種類の絞り部
材を設け、それら絞り部材を吸着具の流路面積に応じて
選択的に分岐通路の開口に取り付ければ、吸着具毎に精
度良く吸着機能を検査することができる。 （３０）前記連通状態変更装置が、前記分岐通路を絞り
を経て外部に連通させる状態とその分岐通路を遮断する
状態とに切換えが可能な切換装置を含む(28)項に記載の
負圧吸着検査装置。切換装置は、手動により、分岐通路
を絞りを経て外部に連通させる状態と、その分岐通路を
遮断する状態とに切り換えられるものとしてもよく、あ
るいはその切換えが自動的に行われるものとしてもよ
い。例えば、切換装置を電磁開閉弁を含むものとし、分
岐通路を絞りを有する通路に連通させる状態と、連通を
遮断する状態との切換えが自動的に行われるようにして
もよい。切換えが自動的に行われれば、空気を漏らす状
態と漏らさない状態との２つの状態で負圧の検出を行う
負圧吸着検査の全工程の自動化が可能となる。 （３１）前記切換装置が、前記分岐通路の開口部に移動
可能に設けられ、移動により、前記分岐通路を絞りを経
て外部に連通させる状態とその分岐通路を遮断する状態
とに切り換わる移動切換部材を含む(30)項に記載の負圧
吸着検査装置。移動切換部材は、直線移動するものとし
てもよく、回転あるいは回動するものとしてもよい。ま
た、作業者の手動操作により移動させられるようにして
もよく、移動装置により自動的に移動させられるように
してもよい。 （３２）前記移動切換部材が、前記検査装置本体に一軸
線まわりに回転可能に取り付けられ、その一軸線を中心
とする一円周上に互いに流路面積を異にする複数の絞り
を有し、回転により、それら複数の絞りの１つを介して
前記分岐通路を選択的に外部に連通させる回転切換部材
を含む(31)項に記載の負圧吸着検査装置。回転切換部材
であれば、切換え時に切換部材の移動に要するスペース
が少なくて済み、負圧吸着検査装置をコンパクトに構成
することができる。 （３３）前記回転切換部材が、前記検査装置本体に形成
された嵌合孔に一軸線まわりに回転可能に嵌合され、前
記分岐通路に常時連通するとともに、回転により、前記
複数の絞りの１つを、外部に開放された開放通路と選択
的に連通させるものである(32)項に記載の負圧吸着検査
装置。 （３４）前記回転切換部材が、作業者の手動操作により
回転させられる手動回転切換部材である(32)項または(3
3)項に記載の負圧吸着検査装置。 （３５）前記回転切換部材を、前記複数の絞りの各々が
前記分岐通路を外部に連通させる複数の連通位置に選択
的に位置決めする位置決め装置を含む(32)ないし(34)項
のいずれか１つに記載の負圧吸着検査装置。位置決め装
置を設ければ、負圧の検出時に回転切換部材が動くこと
がなく、選択された漏れ状態において正確に負圧の検出
を行うことができる。 （３６）前記位置決め装置が、前記手動回転切換部材と
前記検出装置本体との一方に前記複数の連通位置に対応
してそれぞれ形成された複数の位置決め凹部を含む第１
位置決め部と、前記手動回転切換部材と前記検出装置本
体との他方に設けられ、前記複数の位置決め凹部の各々
との共同により手動回転切換部材を節度感をもって前記
複数の連通位置の各々に位置決めする第２位置決め部と
を含み、その第２位置決め部が、前記位置決め凹部に係
合することにより位置決めを行う位置決め部材と、その
位置決め部材を位置決め凹部に係合する作用位置と係合
しない非作用位置とに移動可能に保持する位置決め部材
保持手段と、位置決め部材を前記作用位置に向かって付
勢する付勢手段とを含む(35)項に記載の負圧吸着検査装
置。この装置によれば、作業者に手動回転切換部材が位
置決めされたことがわかり、回転操作を容易に行うこと
ができる。 （３７）前記負圧センサが、前記検出装置本体に気密を
保って嵌合され、前記分岐通路の少なくとも一部を形成
する分岐通路形成部を含むアダプタにより検出装置本体
に取り付けられる(28)ないし(36)項のいずれか１つに記
載の負圧吸着検査装置。 （３８）前記負圧センサのハウジングの一部が、前記検
出装置本体に気密を保って嵌合され、前記分岐通路の少
なくとも一部を形成する分岐通路形成部とされている(2
7)ないし(36)のいずれか１つに記載の負圧吸着検査装
置。 （３９）前記吸着具が、各々１種類の電気部品を多数保
持し、各々の部品供給部から１個ずつ供給する複数の部
品供給カートリッジが、部品供給テーブル上に前記部品
供給部が一線上に並ぶ状態で保持された電気部品供給装
置から電気部品を吸着して取り出すものであり、前記検
査装置本体が、前記負圧検出用通路が前記一線上に開口
する状態で前記部品供給テーブルに取り付け可能である
(27)ないし(38)項のいずれか１つに記載の負圧吸着検査
装置。 （４０）前記検査装置本体が、前記部品供給カートリッ
ジの本体に対応する部材であって、部品供給カートリッ
ジと同じ取付装置により前記部品供給テーブルに取り付
けられる(39)項に記載の負圧吸着検査装置。 （４１）電気部品供給装置から供給される電気部品を負
圧により吸着して保持する吸着具の負圧吸着機能の良否
を検査する負圧吸着検査方法であって、負圧検出装置と
前記吸着具とを、電気部品供給時における前記電気部品
供給装置と吸着具との相対移動と同様に相対移動させる
ことにより接触させる工程と、前記負圧検出装置により
前記吸着具内の負圧を検出させる工程と、検出された負
圧に基づいて、吸着具の負圧吸着機能の良否を判定する
工程とを含む負圧吸着検査方法（請求項６）。 （４２）前記負圧の検出工程が、前記負圧検出装置の負
圧検出通路への予め定められた状態の空気漏れを許容す
る状態と、空気漏れを実質的に許容しない状態との両方
においてそれぞれ実行される(41)項に記載の負圧吸着検
査方法。前記(28)ないし(40)項に記載の各負圧吸着検査
装置の特徴は(41)項あるいは(42)項に記載の負圧吸着検
査方法においても採用可能である。

【０００５】

【発明の実施の形態】以下、本願の装置発明の一実施形
態である負圧吸着検査装置および電気部品搬送装置を備
えた電気部品装着システムを図面に基づいて説明する。
なお、上記負圧吸着検査装置を用いた負圧吸着検査方法
が本願の方法発明の一実施形態である。図１において１
０はベースである。ベース１０上には、電気部品搬送装
着装置１２，電気部品供給装置１４およびプリント基板
支持位置決め装置１６等が設けられている。電気部品供
給装置１４は、部品供給テーブルたるカートリッジ支持
台２０上に各部品供給部が一直線上に並んで取り付けら
れた多数の電気部品供給カートリッジ２２（以下、カー
トリッジ２２と略称する）を有する。カートリッジ支持
台２０は、図示しないナットにおいてねじ軸２４に螺合
されており、ねじ軸２４がカートリッジ移動用サーボモ
ータ２６によって回転させられることにより、カートリ
ッジ支持台２０は一対のガイドレール２８により案内さ
れて、カートリッジ２２の並ぶ方向であるＸ軸方向（図
において左右方向）に移動させられ、多数のカートリッ
ジ２２の部品供給部が部品供給位置に選択的に位置決め
される。これら図示しないナット，ねじ軸２４およびカ
ートリッジ移動用サーボモータ２６等がカートリッジ移
動装置３０を構成している。

【０００６】プリント基板支持位置決め装置１６は、カ
ートリッジ２２より下側に設けられ、Ｘ軸方向に移動す
るＸ軸テーブル３４と、Ｘ軸テーブル３４上に設けら
れ、水平面内においてＸ軸と直交するＹ軸方向に移動す
るＹ軸テーブル３６とを有する。Ｙ軸テーブル３６上に
は、装着対象材たるプリント基板３８を位置決めし、保
持する基板保持装置（図示省略）が設けられている。Ｘ
軸テーブル３４は、ねじ軸４０がＸ軸移動用サーボモー
タ４２によって回転させられることにより、ガイドレー
ル４４に案内されてＸ軸方向に移動し、Ｙ軸テーブル３
６は、ねじ軸４６がＹ軸移動用サーボモータ４８によっ
て回転させられることにより、ガイドレール５０に案内
されてＹ軸方向に移動し、プリント基板３８はこれらＸ
軸テーブル３４，Ｙ軸テーブル３６の移動により、多数
の部品装着箇所が順次部品装着位置に位置決めされる。
Ｘ軸テーブル３６は一部が電気部品搬送装着装置１２の
下を通ってカートリッジ２２の下に入り込んでいる。な
お、プリント基板３８は、図示しないプリント基板搬入
コンベアおよびプリント基板搬出コンベアにより、上記
基板保持装置に搬入され、搬出される。

【０００７】電気部品搬送装着装置１２は、電気部品供
給装置１４およびプリント基板支持位置決め装置１６の
上方に設けられている。電気部品搬送装着装置１２は、
電気部品供給装置１４から電気部品を受け取って搬送
し、プリント基板３８に引き渡すのであるが、この引渡
しがすなわち装着であり、電気部品搬送装着装置１２は
電気部品搬送装置であるとともに電気部品装着装置なの
である。電気部品搬送装着装置１２の装置本体を構成す
るフレーム６０（図２参照）は、前記ベース１０に固定
の図示しない支持部材により支持され、ベース１０の上
方に配設されている。フレーム６０は、断面形状がコの
字形を成す取付部材６２と、取付部材６２の一対の側壁
にわたって水平に固定された支持部材６４とを有する。

【０００８】フレーム６０の支持部材６４には、図２に
示すように、円形断面の固定軸６６の上端部が固定され
ており、固定軸６６の下端部は、取付部材６２の底壁６
７に形成された開口６９を通ってフレーム６０の外へ延
び出させられるとともに、フレーム６０の下方に配設さ
れ、前記ベース１０に固定の支持板６８に固定されてい
る。固定軸６６は上下方向に設けられているのである。
固定軸６６には、図２および図３に示すように、１２個
の回動体たる回動板７０が各々一対ずつの軸受７２によ
り、固定軸６６の軸線まわりに回動可能に取り付けられ
ている。固定軸６６の軸線が１２個の回動板７０に共通
の回動軸線なのである。

【０００９】固定軸６６の軸方向、すなわち上下方向に
隔たった２箇所にはそれぞれ、１２個の軸受７２を１群
とし、それら１２個の軸受７２が互いに軸方向の位置を
異にする軸受群７４が取り付けられている。１２個の回
動板７０はそれぞれ、図２および図４に示すように、一
対の被支持アーム７６において、２つの軸受群７４の各
々に属する１個ずつの軸受７２により支持されている。

【００１０】被支持アーム７６は、図４に示すように、
円環状の嵌合部７８と、嵌合部７８の周方向の一部から
半径方向外向きに延び出させられた腕部８０とを有し、
一対の被支持アーム７６の各腕部８０は連結部８２によ
り連結されている。一対の被支持アーム７６の各腕部８
０の一部および連結部８２に回動板７０が固定されると
ともに、各嵌合部７８はそれぞれ、一対の軸受７２のア
ウタケーシング８４に嵌合され、図示しない複数本のボ
ルトにより固定されている。１２対の各被支持アーム７
６の回動板７０に対する回動軸線に平行な方向の固定位
置は回動板７０毎に異ならされ、１２個の回動板７０を
それぞれ支持する一対の軸受７２間の距離は回動板７０
同士で等しくされており、図２に示すように、１２個の
回動板７０は回動軸線に平行な方向において互いに干渉
することなく、固定軸６６の同じ高さの位置に取り付け
られている。これら１２個の回動板７０は、高さ方向、
すなわち共通の回動軸線に平行な方向においては位置を
変えることなく、一定の高さで回動させられるのであ
る。なお、一対の腕部８０および連結部８２にはリブ８
６が一体的に設けられているが、リブ８６は、図３に破
線で示すように、固定軸６６側ほど幅が狭くされ、隣接
する回動板７０のリブ８６や腕部８０との干渉が回避さ
れている。また、回動板７０の下部は、フレーム６０の
底壁６７に形成された開口６９を通って下方へ突出させ
られている。

【００１１】１２個の回動板７０の固定軸６６とは反対
側の端面にはそれぞれ、図２に示すように、カムフォロ
ワたる鼓形カム用ローラ８８が固定軸６６の軸線と直交
する軸線のまわりに回転可能に取り付けられるととも
に、図３に示すように、前記フレーム６０に回転可能に
取り付けられた４個の鼓形カム９０ａ，９０ｂ，９０
ｃ，９０ｄの各カム溝９２ａ，９２ｂ，９２ｃ，９２ｄ
に回転可能に嵌合されている。

【００１２】４個の鼓形カム９０ａ，９０ｂ，９０ｃ，
９０ｄの各外周面９３ａ，９３ｂ，９３ｃ，９３ｄは、
１２個の回動板７０に共通の回動軸線である固定軸６６
の軸線を中心とする円弧を、その円弧に対して上記共通
の回動軸線とは反対側に位置するとともに、その共通の
回動軸線と直角に立体交差する軸線のまわりに回転させ
た場合にその円弧が描く軌跡を成す。これら鼓形カム９
０ａ，９０ｂ，９０ｃ，９０ｄは、固定軸６６の軸線を
対称軸として軸対称に配設され、４個の鼓形カム９０
ａ，９０ｂ，９０ｃ，９０ｄの全軸線を含む一平面（水
平面）と、それら４個の鼓形カム９０ａ，９０ｂ，９０
ｃ，９０ｄの各外周面との交線の集合は、実質的に連続
した一円周を描き、カム溝９２ａ，９２ｂ，９２ｃ，９
２ｄは実質的につながっている。鼓形カム９０ａ，９０
ｂ，９０ｃ，９０ｄにはそれぞれ、図３に示すように、
回転軸９４ａ，９４ｂ，９４ｃ，９４ｄが相対回転不能
に取り付けられるとともに、フレーム６０の取付部材６
２に固定の一対ずつのブラケット９６ａ，９６ｂ，９６
ｃ，９６ｄにより回転可能に支持されている。

【００１３】４個の鼓形カム９０ａ〜９０ｄの各々の軸
方向の両端部にはそれぞれ、かさ歯車９８ａ，１００
ａ，９８ｂ，１００ｂ，９８ｃ，１００ｃ，９８ｄ，１
００ｄが同軸にかつ一体的に設けられており、互いに隣
接する鼓形カム９０ａ〜９０ｄのかさ歯車同士は互いに
噛み合わされている。

【００１４】鼓形カム９０ａに取り付けられた回転軸９
４ａは長く、図３に示すように、フレーム６０に固定の
別のブラケット１０４によって回転可能に支持されると
ともに、タイミングプーリ１０６が固定されている。こ
のタイミングプーリ１０６と、駆動源たる駆動用サーボ
モータ１０８の出力軸に固定のタイミングプーリ１１０
とはタイミングベルト１１２によって連結されており、
回転軸９４ａは駆動用サーボモータ１０８により回転さ
せられる。それにより、鼓形カム９０ａが回転させられ
るとともに、かさ歯車９８ａ〜９８ｄとかさ歯車１００
ａ〜１００ｄとの噛合いによって、鼓形カム９０ａ，９
０ｂ，９０ｃ，９０ｄが正確に同期して一斉に回転させ
られ、鼓形カム用ローラ８８がカム溝９２ａ，９２ｂ，
９２ｃ，９２ｄ内を転動し、あるいは停止し、隣接する
鼓形カム間においてはカム溝を乗り移り、１２個の回動
板７０が移動あるいは停止させられる。

【００１５】本電気部品搬送装着装置１２において回動
板７０は、図５に示すように、部品受取位置である部品
吸着位置と、撮像位置と、部品装着位置との３つの位置
で停止させられる。前記電気部品供給装置１４は、部品
吸着位置が設けられた部品吸着ステーションに設けら
れ、プリント基板支持位置決め装置１６は、部品装着位
置が設けられた部品装着ステーションに設けられ、撮像
位置が設けられた撮像ステーションには、撮像装置たる
ＣＣＤカメラ１１４（図１５参照）が設けられている。
鼓形カム９０ａは部品装着位置近傍に対応する位置に設
けられ、鼓形カム９０ｃは部品吸着位置近傍に対応する
位置に設けられ、鼓形カム９０ｄは撮像位置近傍に対応
する位置に設けられている。そのため、カム溝９２ａ，
９２ｃ，９２ｄは、回動板７０が各位置における作業の
間は停止し、その前後において加，減速し、鼓形カム用
ローラ８８のカム溝９２ａ，９２ｃ，９２ｄへの進入時
および退出時には、一定角速度で回動するように形成さ
れている。また、カム溝９２ｂは、回動板７０が上記一
定角速度で回動するように形成されている。

【００１６】部品装着位置と部品吸着位置との中間位置
には、図示は省略するが、電気部品収容器が設けられて
いる。この電気部品収容器は、部品保持ヘッド１２０の
回動軌跡に沿って長く設けられており、部品吸着ノズル
により吸着された電気部品の姿勢が修正不可能なほどず
れていたり、装着すべき電気部品とは異なる種類の電気
部品が吸着される等の吸着ミスが発生したとき、電気部
品がプリント基板３８に装着されず、回動板７０が部品
装着位置から部品吸着位置へ移動する途中で停止するこ
となく、電気部品が電気部品収容器に捨てられるように
されている。電気部品収容器が設けられた領域が部品排
出領域である。

【００１７】１２個の回動板７０はそれぞれ、図２に示
すように部品保持ヘッド１２０を保持している。回動板
７０には、一対のガイドブロック１２２が上下方向に距
離を隔てて固定されて案内部を構成するとともに、昇降
部材たる昇降板１２４が上下方向に摺動可能に嵌合され
ている。昇降板１２４の上部には、固定カム用カムフォ
ロワたる固定カム用ローラ１２６が固定軸６６の軸線と
直交する軸線のまわりに回転可能に取り付けられるとと
もに、下部に部品保持ヘッド１２０が取り付けられてい
る。

【００１８】フレーム６０の底壁６７の外面（下面）に
は、円筒状の固定カム１２８が固定軸６６と同心に固定
されており、固定カム用ローラ１２６は、固定カム１２
８の内周面に沿って形成されたカム溝１３０に回転可能
に嵌合されている。カム溝１３０は、固定軸６６の軸線
に平行な方向の位置、すなわち高さが周方向において滑
らかに変化する部分と、高さが周方向において変化せ
ず、一定で水平な部分とを有する。回動板７０が回動さ
せられるとき、固定カム用ローラ１２６がカム溝１３０
に沿って移動し、カム溝１３０の高さが周方向において
滑らかに変化する部分を移動するとき、昇降板１２４が
昇降させられ、部品保持ヘッド１２０が昇降させられ
る。カム溝１３０は、部品保持ヘッド１２０が部品吸着
位置において上昇端に位置し、部品装着位置において下
降端に位置するとともに、部品吸着位置，部品装着位置
および撮像位置の前後では水平に移動するように形成さ
れている。

【００１９】昇降板１２４の下端部には、図６に示すよ
うに、ブラケット１３６が固定されるとともに、中空の
鞘軸１３８が軸受１４０，１４２を介して相対回転可能
かつ軸方向に相対移動不能に嵌合されている。鞘軸１３
８内には、中軸１４４が相対回転可能かつ軸方向に相対
移動不能に嵌合されている。鞘軸１３８のブラケット１
３６から突出した下端部には、コの字形断面の取付部１
４６が設けられており、取付部１４６の一対の側壁部１
４８，１５０に両端部を固定された支持軸１５２には、
ノズル保持体１５４が回転可能に嵌合されている。

【００２０】ノズル保持体１５４には、６個のノズル嵌
合穴１５６が支持軸１５２の軸線を中心とする一円周上
に等角度間隔に設けられており、各ノズル嵌合穴１５６
に吸着具たる部品吸着ノズル１５８が軸方向に相対移動
可能かつ相対回転不能に嵌合されるとともに、付勢手段
の一種である弾性部材としてのスプリング１６０によ
り、ノズル嵌合穴１５６から突出する向きに付勢されて
いる。部品吸着ノズル１５８のノズル嵌合穴１５６から
の抜出しおよび回転は、部品吸着ノズル１５８に嵌合さ
れた図示しない係合ピンが、ノズル保持体１５４に設け
られた図示しないピン係合溝の端に係合することにより
防止されている。図２および図１０には、２個の部品吸
着ノズル１５８が代表的に示されている。

【００２１】６個の部品吸着ノズル１５８は種類が異な
り、それぞれ吸着管１６２の直径が異ならされるととも
に、反射板１６３の大きさが異ならされており、吸着す
る電気部品１６４の形状，寸法に応じて使用する部品吸
着ノズル１５８が選択される。また、６個の部品吸着ノ
ズル１５８の各吸着管１６２は長さが等しくされてお
り、吸着管１６２の先端はノズル保持体１５４の回動軸
線を中心とする一円周上に位置させられている。６個の
部品吸着ノズル１５８は、ノズル保持体１５４の回転に
より作動位置、すなわち部品吸着ノズル１５８の軸線が
鞘軸１３８の軸線と一致し、かつ吸着管１６２が下向き
となる位置に選択的に移動させられる。

【００２２】ノズル保持体１５４の取付部１４６の側壁
部１５０と対向する端面には、ノズル保持体１５４の回
転軸線を中心とする一円周上に６個の位置決め穴１６５
（図には２個のみ示されている）が等角度間隔に形成さ
れている。これら位置決め穴１６５はそれぞれ、開口側
ほど径が漸増するテーパ穴とされている。

【００２３】側壁部１５０にはブラケット１６６が複数
本のボルトにより固定されており、位置決めピン１６７
がノズル保持体１５４の回転軸線と平行な方向に移動可
能に嵌合されるとともに、付勢手段の一種である弾性部
材としての圧縮コイルスプリング１６９により、ブラケ
ット１６６からノズル保持体１５４側へ突出する向きに
付勢されている。位置決めピン１６７の先端部は、位置
決め穴１６５の傾斜と同じ傾斜のテーパ部とされてお
り、位置決めピン１６７と位置決め穴１６５との係合に
より、部品吸着ノズル１５８が作動位置に位置決めされ
る。

【００２４】部品吸着ノズル１５８は負圧により電気部
品１６４を吸着する。そのため、図６に示すように、ノ
ズル保持体１５４，支持軸１５２，側壁部１５０，中軸
１４４，鞘軸１３８およびブラケット１３６にそれぞれ
通路１６８，１７０，１７２，１７４，１７６，１７７
が形成されるとともに、ブラケット１３６に取り付けら
れた切換装置１７８を介して真空装置１８１（図１５参
照）に接続されている。切換装置１７８は電磁方向切換
弁１７９（図１５参照）を有しており、その切換えによ
り、部品吸着ノズル１５８に負圧を供給する供給状態
と、部品吸着ノズルを大気に解放する大気開放状態とに
切り換えられ、部品吸着ノズル１５８が電気部品１６４
を吸着し、解放する。なお、支持軸１５２に形成された
通路１７０は、作動位置に位置決めされた部品吸着ノズ
ル１５８について設けられた通路１６８に連通させられ
る。

【００２５】切換装置１７８の切換えは、部品吸着時に
部品保持ヘッド１２０が後述する部品保持ヘッド昇降装
置により下降させられる途中であって、部品吸着ノズル
１５８が電気部品１６４に接触する前に負圧が供給され
るタイミングで行われる。部品吸着後、部品装着が終了
するまで切換装置１７８は、部品吸着ノズル１５８に負
圧を供給する供給状態に切り換えられたままとされ、電
気部品１６４がプリント基板３８上に搭載されるとき、
大気開放状態に切り換えられ、部品吸着ノズル１５８が
大気に連通させられる。

【００２６】支持軸１５２には歯車１８０が回転可能に
取り付けられ、ノズル保持体１５４にピン１８２によっ
て相対回転不能に連結されるとともに、前記側壁部１４
８に回転可能に取り付けられた支持軸１８４に固定の歯
車１８６と噛み合わされている。歯車１８６には、かさ
歯車１８８が一体的に設けられるとともに、前記中軸１
４４の下端部に設けられたかさ歯車１９０に噛み合わさ
れている。中軸１４４の上端部は、鞘軸１３８から突出
させられるとともに、ノズル回転・選択用サーボモータ
１９２の回転出力軸１９４に連結部材１９６によって軸
方向に相対移動可能かつ相対回転不能に連結されてい
る。ノズル回転・選択用サーボモータ１９２は正，逆両
方向に回転し、エンコーダ１９３（図１５参照）により
回転量が検出される。

【００２７】連結部材１９６は円筒状を成し、回転出力
軸１９４に嵌合されるとともに、ピン１９８によって相
対回転および軸方向の相対移動が阻止されている。連結
部材１９６の下端部には、軸方向に貫通する６個の係合
溝２００が等角度間隔に形成された歯車状の駆動側係合
部材２０２が一体的に設けられている。連結部材１９６
の直径方向に隔たった２箇所にはそれぞれ、下面に開口
し、軸方向に延びる切欠２０６が形成されており、駆動
側係合部材２０２は、連結部材１９６の下端部に嵌合さ
れ、固定されるとともに、切欠２０６の下側開口を塞い
でいる。中軸１４４の上端部は連結部材１９６および駆
動側係合部材２０２に軸方向に相対移動可能に嵌合され
るとともに、中軸１４４に直径方向に嵌合された係合部
材たる係合ピン２０８の両端部がそれぞれ、切欠２０６
に軸方向に相対移動可能に嵌合されており、それら係合
ピン２０８，切欠２０６の係合によりノズル回転・選択
用サーボモータ１９２の回転が中軸１４４に常時伝達さ
れる。

【００２８】ノズル回転・選択用サーボモータ１９２
は、前記昇降板１２４に昇降可能に取り付けられたモー
タ保持台２１０に載置されている。モータ保持台２１０
はコの字形を成し、コの字の一方の側壁部２１２に固定
されて被案内部を構成するガイドブロック２１４におい
て昇降板１２４に昇降可能に嵌合され、他方の側壁部２
１６の外面には、カムフォロワたる係合ローラ２１８が
固定軸６６の軸線と直交する軸線のまわりに回転可能に
取り付けられている。また、側壁部２１６の下面には、
小径の係合突部２２０が突設されている。

【００２９】モータ保持台２１０は、駆動部材２０２と
前記鞘軸１３８のブラケット１３６からの突出端部との
間に配設された付勢手段の一種である弾性部材としての
圧縮コイルスプリング２２４により上方へ、すなわち鞘
軸１３８から離れる向きに付勢されている。圧縮コイル
スプリング２２４の付勢によるモータ保持台２１０の上
方への移動限度は、駆動側係合部材２０２が係合ピン２
０８に係合することにより規定される。この位置がモー
タ保持台２１０の上昇端位置である。鞘軸１３８の上端
部には、被駆動側係合部材２３２が固定されている。被
駆動側係合部材２３２は円環状部２３４において鞘軸１
３８に嵌合され、固定されるとともに、円環状部２３４
の一部から昇降板２１４とは反対側へ突出させられた突
出端部には、上下方向に貫通する係合切欠２３８が形成
されている。

【００３０】被駆動側係合部材２３２はまた、円環状部
２３４から上方へ延び出させられたアーム部２４０を備
え、アーム部２４０の鞘軸１３８側の面には、係合突部
２４２が突設されている。アーム部２４０の突出端部は
内歯車の一部を成す形状を有し、前記駆動側係合部材２
０２と共に噛合いクラッチを構成している。

【００３１】モータ保持台２１０が圧縮コイルスプリン
グ２２４の付勢により上昇端位置に位置する状態では、
図６に示すように、駆動側係合部材２０２の係合溝２０
０と被駆動側係合部材２３２の係合突部２４２とが、鞘
軸１３８の軸線方向に相対移動可能かつ相対回転不能に
係合して、鞘軸１３８と中軸１４４との相対回転が防止
されている。この状態では、モータ保持台２１０に設け
られた係合突部２２０と被駆動側係合部材２３２に設け
られた係合切欠２３８との鞘軸１３８の軸線まわりの位
置が一致し、モータ保持台２１０の下降により、係合突
部２２０と係合切欠２３８とが係合し得る状態にある。
この位置が鞘軸１３８の原位置であり、部品保持ヘッド
１２０の回転軸線まわりにおける原位置であって、部品
保持ヘッド１２０が原位置に位置するとき、ノズル保持
体１５４を支持する支持軸１５２の軸線は回動板７０の
回動軸線と直交する水平軸線となる。

【００３２】部品排出領域と部品吸着位置との間であっ
て、回動板７０が定速回動し、かつ部品保持ヘッド１２
０が水平に移動する領域には、図６および図７に示すノ
ズル選択用カム２４８が位置を固定して設けられてい
る。ノズル選択用カム２４８のカム面２５０は、回動板
７０の回動方向に長く、回動板７０の回動軸線を中心と
する円弧に沿って設けられ、回動板７０の回動方向にお
いて下流側ほど下方へ傾斜し、係合ローラ２１８に係合
してモータ保持台２１０を押し下げる押下面と、押下面
の最も下の位置から水平に延び出させられ、モータ保持
台２１０を押し下げた状態に保つ押下状態維持面と、押
下状態維持面の押下面とは反対側の端から、回動板７０
の回動方向において下流側ほど上方へ傾斜し、モータ保
持台２１０の押下げを解除し、モータ保持台２１０が上
昇することを許容する押下解除面とを有する。ノズル選
択用カム２４８は、モータ保持台２１０が上昇端位置に
ある状態で、押下面が係合ローラ２１８に係合する高さ
に設けられており、押下面の係合ローラ２１８が係合し
始める部分の面は部分円筒面とされ、係合し易くされて
いる。

【００３３】フレーム６０の部品吸着位置近傍および部
品装着位置近傍にそれぞれ対応する位置には、図２およ
び図８に示すように、部品保持ヘッド昇降装置２６０が
設けられている（図には部品装着位置近傍に対応する位
置に設けられた部品保持ヘッド昇降装置２６０が示され
ている）。なお、図８は部品保持ヘッド昇降装置２６０
をフレーム６０の下から見た状態を示す図である。これ
ら部品保持ヘッド昇降装置２６０の構成は同じであり、
部品装着位置近傍に対応する位置に設けられた部品保持
ヘッド昇降装置２６０を代表的に説明する。

【００３４】前記固定カム１２８のうち、部品装着位置
近傍に対応する部分には、図２および図８に示すよう
に、固定カム１２８の内周面，上面および下面に開口す
る嵌合溝２６２が形成され、嵌合溝２６２の底壁の上部
を半径方向に貫通する開口２６４が形成されるととも
に、嵌合溝２６２に昇降部材２６６が昇降可能に嵌合さ
れている。嵌合溝２６２の底面にはガイドレール２６８
が上下方向に設けられるとともに、昇降部材２６６に固
定の一対のガイドブロック２７０が摺動可能に嵌合され
ている。

【００３５】昇降部材２６６の下部は、嵌合溝２６２に
昇降を許容する僅かな隙間を有して嵌合される幅（固定
カム１２８の周方向の寸法）を有し、この下部には、固
定カム１２８の内周面側に開口するとともに、水平方向
に貫通する溝２７２が形成されている。昇降部材２６６
は、その上端部においてレバー２７６のヨーク状の一端
部にピン２７７によって回動可能に連結されている。レ
バー２７６は、開口２６４を通って固定カム１２８の外
周面から外へ突出させられるとともに、支持部材２７８
の嵌合部２８０に軸受２８２を介して長手方向に相対移
動可能に嵌合されている。軸受２８２のレバー２７６の
長手方向に平行な両側面にはそれぞれ、図８に示すよう
に、支持ピン２８４が直角に突設されるとともに、嵌合
部２８０の一対の側壁に回転可能に嵌合されており、レ
バー２７６は軸受２８２ごと支持ピン２８４の軸線まわ
りに回動させられる。

【００３６】支持部材２７８は、図８に示すように、嵌
合部２８０から水平に延び出させられた腕部２８８を有
し、この腕部２８８の延出端部は、フレーム６０に形成
された長穴２８６を通ってフレーム６０内へ突出させら
れている。この突出部にはナット２９２が固定されると
ともに、ねじ軸２９４に螺合されており、ねじ軸２９４
がヘッド昇降ストローク変更用サーボモータ２９６によ
って回転させられることにより、支持部材２７８がレバ
ー２７６に対して長手方向に移動させられる。それによ
り軸受２８２および支持ピン２８４がレバー２７６に対
して移動し、レバー２７６の回動軸線の位置が変更さ
れ、昇降部材２６６の昇降ストロークが変更され、昇降
部材２６６に支持された部品保持ヘッド１２０の昇降ス
トロークが変更される。ねじ軸２９４，ヘッド昇降スト
ローク変更用サーボモータ２９６等が移動ストローク変
更装置を構成しているのである。なお、嵌合部２８０に
はガイドブロック２９８が固定されるとともに、フレー
ム６０に固定のガイドレール２９９に摺動可能に嵌合さ
れており、支持部材２７８の移動が案内される。図２に
おいては、ガイドブロック２９８，ガイドレール２９９
の図示は省略されている。

【００３７】前記フレーム６０には、図２に示すよう
に、くの字形のレバー３００が軸３０２によって回動可
能に取り付けられている。レバー３００の一方のアーム
部３０３の突出端部にはロッド３０４の上端部がピン３
０６によって回動可能に、かつロッド３０４の軸方向に
おける連結位置が調節可能に連結され、ロッド３０４の
下端部は、取付部材６２に形成された長穴３０５を通っ
て下方へ突出させられるとともに、前記レバー２７６の
昇降部材２６６が連結された側とは反対側の端部にピン
３０８によって回動可能に連結されている。レバー３０
０の他方のアーム部３１２の突出端部にはカムフォロワ
たる係合ローラ３１４が回転可能に取り付けられてい
る。係合ローラ３１４は、レバー３００が付勢手段の一
種である弾性部材としての引張コイルスプリング３１６
によって付勢されることにより、フレーム６０に回転可
能に支持されたヘッド昇降用カム３１８のカム面３２０
に追従させられる。

【００３８】ヘッド昇降用カム３１８を相対回転不能に
支持する支持軸３２２は、フレーム６０により回転可能
に支持されており、支持軸３２２にはタイミングプーリ
３２４（図３参照）が固定されるとともに、前記駆動用
サーボモータ１０８の出力軸に固定のタイミングプーリ
１１０に前記タイミングベルト１１２によって連結され
ている。ヘッド昇降用カム３１８は、前記鼓形カム９０
ａ〜９０ｄと共通の駆動用サーボモータ１０８により回
転させられるのであり、タイミングプーリ３２４の径
は、部品装着位置への回動板７０の到達時間間隔である
１到達時間ピッチ毎にヘッド昇降用カム３１８が１回転
する大きさに設定されている。

【００３９】ヘッド昇降用カム３１８のカム面３２０
は、実際には断面形状がハート形を成し、ヘッド昇降用
カム３１８の回転によりレバー３００が回動させられ、
ロッド３０４が昇降させられるとともに、レバー２７６
が回動させられ、昇降部材２６６が昇降させられる。ロ
ッド３０４と昇降部材２６６とは、支持ピン２８４を挟
んでレバー２７６の両端部にそれぞれ連結されており、
互いに昇降方向は逆である。ロッド３０４の下降端位置
および上昇端位置はカム面３２０により決まり、一定で
あり、ロッド３０４の下降端位置は、昇降部材２６６の
溝２７２と固定カム１２８のカム溝１３０との高さが一
致して連続する水平な溝を形成し、レバー３００がねじ
軸２９４およびガイドレール２９９と平行となる位置に
設定されている。昇降部材２６６は上昇端位置におい
て、固定カム１２８の部品装着位置近傍において部品保
持ヘッド１２０を水平状態に保つ部分の一部を構成する
のであり、部品装着時以外は上昇端位置に位置し、部品
装着時に昇降させられる。

【００４０】前記ねじ軸２９４および支持部材２７８の
移動を案内するガイドレール２９９と、ロッド３０４が
下降端位置へ移動させられ、昇降部材２６６が上昇端位
置へ移動させられた状態でのレバー２７６とが平行にな
るようにされているため、この状態で支持部材２７８が
移動させられるとき、支持部材２７８がガイドレール２
９９に平行に移動させられてレバー２７６の回動軸線の
位置が変更され、昇降部材２６６の上昇端位置を変える
ことなく、昇降ストロークが変えられ、昇降部材２６６
の下降端位置が変えられる。

【００４１】前記電気部品供給装置１４のカートリッジ
２２により供給される電気部品１６４は、図９に示すよ
うに、テープ化電気部品４００とされている。テープ化
電気部品４００は、図示しない部品保持テープとカバー
テープ４０２とによって、電気部品１６４がテーピング
されたものである。部品保持テープは、幅方向の両側に
おいて長手方向に延びる被支持部と、それら両被支持部
間において両支持部より下方へ突出した電気部品収容部
とを備えたエンボスタイプの部品保持テープである。電
気部品収容部は、部品保持テープの一対の被支持部の間
の部分が一対の被支持部より下方へ長手方向に連続して
突出させられるとともに、その突出部に上方に開口する
多数の保持凹部が等間隔に形成され、それら保持凹部の
各々に電気部品が収容され、保持凹部の開口が部品保持
テープに貼り付けられたカバーテープ４０２により覆わ
れている。テープ化電気部品４００は、電気部品保持器
としてのリール４０６に巻き付けられており、リール保
持具４１０により保持されてカートリッジ本体４０８の
後部（電気部品搬送装着装置１２とは反対側の端部）に
取り付けられている。

【００４２】カートリッジ本体４０８は概して細長い板
状を成し、カートリッジ支持台２０上に長手方向と厚さ
方向とが水平となる姿勢で立てて設置される。テープ化
電気部品４００は、部品保持テープの一対の被支持部が
カートリッジ本体４０８により下方から支持されるとと
もに、カバー４１２が被せられ、テープ送り装置４１４
により、カートリッジ本体４０８の長手方向であるＹ軸
方向に一定ピッチずつ送られる。部品保持テープの電気
部品収容部は、カートリッジ本体４０８の部品保持テー
プの被支持部を支持する部分の間に設けられた溝内を移
動し、部品保持テープの上面の高さは、電気部品の大き
さによらず、一定である。

【００４３】カートリッジ本体４０８にはまた、カバー
テープ巻取装置４２０がブラケット４２２によって取り
付けられている。テープ送り装置４１４およびカバーテ
ープ巻取装置４２０は、前記駆動用サーボモータ１０８
を駆動源とする駆動装置により駆動される。駆動用サー
ボモータ１０８の回転が、図示しないカム，カムフォロ
ワ等により構成される運動変換機構により駆動部材たる
昇降部材４２８（図１０参照）の昇降運動に変換され、
昇降部材４２８の昇降によりブラケット４２２を介して
取り付けられた駆動バー４３０が昇降させられて、テー
プ送り装置４１４およびカバーテープ巻取装置４２０が
作動させられるのである。

【００４４】昇降部材４２８の下端部には、図１０に示
すように、ブラケット４３２がねじ部材４３４により固
定されるとともに、ブラケット４３２の昇降部材４２８
より下方へ突出させられた下端部には、ローラ４３６が
軸受４３８，４３９を介してＹ軸方向に平行な軸線のま
わりに回転可能に取り付けられている。

【００４５】テープ送り装置４１４およびカバーテープ
巻取装置４２０は既に知られており、簡単に説明する。
駆動バー４３０は、図９に示すように、ブラケット４２
２に回動可能に取り付けられた支持バー４４０に回動可
能に取り付けられており、昇降部材４２８の下降により
駆動バー４３０が押し下げられ、それにより駆動バー４
３０に回動可能に連結された駆動レバー４４２が回動さ
せられ、駆動レバー４４２に回動可能に連結されたカバ
ー駆動バー４４４および回動板駆動バー４４６が移動さ
せられる。それによりカバー駆動バー４４４に連結され
たカバー４１２が後退させられるとともに、回動板駆動
バー４４６に回動可能に連結された回動板４４８が支持
軸４５０の軸線のまわりに逆方向（図９において時計方
向）に回動させられ、回動板４４８に回動可能に取り付
けられた図示しないラチェット爪がラチェットホイール
４５２の歯を乗り越え、テープ送り装置４１４において
送りのための準備が行われる。テープ化電気部品４００
は送られず、停止したままであり、カバー４１２の後退
により、テープ化電気部品送り方向において部品取出位
置の上流側に位置し、カバーテープ４０２が剥がされた
電気部品１６４がカバー４１２に設けられた後述する舌
片により覆われた状態となる。

【００４６】このとき、カバーテープ巻取装置４２０に
おいては、巻取レバー４５６が付勢手段の一種である弾
性部材としての引張コイルスプリング４５８の付勢力に
より、支持軸４６０のまわりに回動させられる。巻取レ
バー４５６と、支持軸４６０により回転可能に支持され
た巻取リール４６２との間には、巻取レバー４５６の巻
取リール４６２に対するカバーテープ巻取方向の相対回
転は阻止するが、逆向きの相対回転は許容する第１一方
向クラッチ（図示省略）が設けられ、巻取リール４６２
と支持軸４６０との間には、巻取リール４６２のカバー
テープ巻取方向の回転は許容するが、逆向きの回転は阻
止する第２一方向クラッチ（図示省略）が設けられてい
る。したがって、巻取レバー４５６が引張コイルスプリ
ング４５８の付勢力に基づいてカバーテープ巻取方向へ
回転させられるとき、巻取リール４６２が回転させら
れ、カバー４１２の後退と共にカバーテープ４０２を部
品保持テープから剥がして巻き取るとともに、可動ガイ
ドローラ４６４，４６６が下方へ回動して、可動ガイド
ローラ４６４と巻取リール４６２との距離を増し、一定
長さのカバーテープ４０２を繰り込む。カバーテープ巻
取装置４２０は、カバーテープ剥離装置でもあるのであ
る。

【００４７】逆に、昇降部材４２８が上昇すれば、駆動
バー４３０は、駆動レバー４４２の下端部とカートリッ
ジ本体４０８との間に設けられた引張コイルスプリング
４７０の付勢力により昇降部材４２８に追従して上昇さ
せられる。また、駆動レバー４４２の回動によりカバー
駆動バー４４４および回動板駆動バー４４６が前進させ
られ、回動板４４８が正方向（図９において反時計方
向）に回動させられるとともにラチェットホイール４５
２およびラチェットホイール４５２と相対回転不能に連
結されたスプロケット４６８が回転させられ、テープ化
電気部品４００がカバー４１２と共に１ピッチ分送られ
る。この際、駆動レバー４４２の回動に伴って巻取レバ
ー４５６が巻取方向とは逆向きに回動させられるが、巻
取リール４６２は回転せず、カバーテープ巻取装置４２
０においては巻取リール４６２が静止しており、可動ガ
イドローラ４６４が上方へ回動して可動ガイドローラ４
６４と巻取リール４６２との距離を減じることにより、
先に繰り込んでおいたカバーテープ４０２を繰り出し、
テープ化電気部品４００が１ピッチ分送られることを許
容する。

【００４８】テープ化電気部品４００は、テープ送り装
置４１４により送られ、多数の電気部品保持凹部に収容
された電気部品のうち、先頭の電気部品が予め設定され
た部品取出位置へ移動させられる。部品取出位置は、部
品保持ヘッド１２０において作動位置に位置決めされた
部品吸着ノズル１５８が部品吸着位置に停止させられた
とき、その部品吸着ノズル１５８の真下に位置する位置
である。カートリッジ２２の部品取出位置の近傍部分が
部品供給部であり、多数のカートリッジ２２は各部品供
給部がＸ軸方向に一直線状に並ぶ状態でカートリッジ支
持台２０に取り付けられている。

【００４９】昇降部材４２８を昇降させる運動変換機構
のカムは、部品吸着ノズル１５８が下降させられて電気
部品１６４を吸着するとき、部品吸着ノズル１５８の下
降と並行して昇降部材４２８が下降させられ、カバー４
１２が後退させられるが、部品吸着ノズル１５８が電気
部品１６４に接触し、吸着するときには、カバー４１２
の後述する舌片が電気部品１６４を覆っていて、電気部
品１６４の立上がりを防止しており、部品吸着ノズル１
５８が電気部品１６４を吸着した後、カバー４１２に設
けられた舌片が電気部品１６４上から退避して、部品吸
着ノズル１５８が部品保持テープの保持凹部から電気部
品１６４を取り出すことを許容し、取出し後、テープ化
電気部品４００がカバー４１２の前進と共に送られるよ
うに構成されている。

【００５０】カバーテープ４０２は、テープ化電気部品
４００の送り方向において部品取出位置より上流側にお
いて部品保持テープから剥がされ、カバー４１２に形成
された図示しないスリットから引き出される。カバーテ
ープ４０２が剥がされた後、保持凹部の開口は、カバー
４１２により覆われて電気部品の飛出しが防止される。
カバー４１２には、上記スリットよりテープ化電気部品
４００の送り方向において下流側の位置に、電気部品１
６４を取出し可能な大きさの開口が設けられるととも
に、開口のテープ化電気部品送り方向において上流側の
部分には、上記送り方向において下流側に開口し、吸着
管１６２の外径より大きいが、電気部品の幅方向の寸法
（カートリッジ本体４０８の幅方向に平行な方向の寸
法）より小さい幅のＵ字形の切欠を有する舌片が設けら
れており、吸着管１６４はこの切欠を通って電気部品を
吸着する。この際、舌片が電気部品１６４の幅方向の両
端部を覆っていて、電気部品１６４の立上がりを防止す
る。吸着後、カバー４１２の後退により、舌片が電気部
品１６４上から退避し、吸着管１６４が開口を通って電
気部品を取り出す。

【００５１】カートリッジ２２においては、テープ化電
気部品４００が送られた状態で、次の電気部品の取出し
に備えて待機している。カートリッジ２２の交替時に
は、テープ化電気部品４００の送り後、カートリッジ支
持台２０が移動させられ、次に電気部品を供給するカー
トリッジ２２の部品供給部が部品供給位置に位置決めさ
れる。部品供給位置は、部品吸着位置に停止させられた
部品保持ヘッド１２０の真下に部品供給部が位置する位
置である。

【００５２】複数のカートリッジ２２はそれぞれ、取付
装置４８０によってカートリッジ支持台２０に取り付け
られる。カートリッジ本体４０８の下面には、図９に示
すように、嵌合体４８２が固定され、カートリッジ本体
４０８と一体の嵌合部を構成している。嵌合体４８２の
前後方向、すなわちカートリッジ２２をカートリッジ支
持台２０に取り付けた状態でＹ軸方向と平行となる方向
に隔たった２箇所にそれぞれ、嵌合体４８２より幅（Ｘ
軸方向の寸法）が小さく、Ｙ軸方向に延びる図示しない
第１位置決め突部が設けられている。また、嵌合体４８
２の前部（Ｙ軸方向において電気部品搬送装着装置１２
側の部分）の上面には、先端ほど下方へ傾斜する係合面
４８４が形成されている。さらに、嵌合体４８２の後端
部（Ｙ軸方向において電気部品搬送装着装置１２とは反
対側の端部）には、第２位置決め突部４９０が嵌合体４
８２からカートリッジ本体４０８とは反対側へ直角に延
び出す向きに突設されている。第２位置決め突部４９０
の下部には、下方ほど前方へ傾斜する案内面４９２が形
成されている。また、第２位置決め突部４９０の案内面
４９２より基端部側には、部分円筒面状の係合凹面４９
４が形成されている。

【００５３】カートリッジ支持台２０の上面の前部と後
部とにはそれぞれ、位置決め板４９８，５００がＸ軸方
向に平行に延びて固定されている。位置決め板４９８，
５００にはそれぞれ、Ｙ軸方向に延びる複数の位置決め
溝（図示省略）がカートリッジ２２の取付間隔に等しい
ピッチで形成されている。また、カートリッジ支持台２
０の前面には、ストッパ板５０２が固定されており、ス
トッパ板５０２には、前記嵌合体４８２に形成された係
合面４８４と対応する傾斜のストッパ面５０４が形成さ
れている。

【００５４】カートリッジ支持台２０の電気部品搬送装
着装置１２とは反対側の面である後面には、取付板５１
０が固定されている。取付板５１０の複数のカートリッ
ジ２２の各取付位置に対応する位置にはそれぞれ、上面
および後面に開口する位置決め溝５１２が形成されると
ともに、取付板５１０の後面には、ねじ部材５１４が立
設されている。各ねじ部材５１４には係合レバー５１６
がねじ部材５１４の軸心方向に移動可能に、かつＸ軸方
向に平行な軸線のまわりに回動可能に嵌合されるととも
に、付勢手段の一種である弾性部材としての圧縮コイル
スプリング５１８により、取付板５１０に接近する向き
に付勢されている。係合レバー５１６の上端部には、ロ
ーラ５２０がＸ軸方向に平行な軸線のまわりに回転可能
に取り付けられている。

【００５５】カートリッジ２２のカートリッジ支持台２
０への取付け時には、カートリッジ２２の前部（テープ
送り装置４１４が設けられた側）を下にし、後部（リー
ル４０６が取り付けられた側）を上にした状態で、前記
２個の第１位置決め突部のうち、前側の第１位置決め突
部を位置決め板４９８の位置決め溝に嵌合し、係合面４
８４がストッパ面５０４に接触するまでカートリッジ２
２を前進させる。接触後、カートリッジ２２の後部をカ
ートリッジ支持台２０上へ降ろす。このとき、第２位置
決め突部４９０の突出端部がローラ５２０とカートリッ
ジ支持台２０との間に進入し、案内面４９２の斜面の作
用により、係合レバー５１６が圧縮コイルスプリング５
１８の付勢力に抗して、ローラ５２０が第２位置決め突
部４９０から離れる向きに回動させられ、第２位置決め
突部４９０の進入を許容する。

【００５６】カートリッジ２２が更に降ろされれば、第
２位置決め突部４９０は位置決め溝５１２内に嵌入させ
られるとともに、係合凹面４９４にローラ５２０が係合
する。カートリッジ２２は、２個の第１位置決め突部と
位置決め板４９８，５００にそれぞれ形成された位置決
め溝との嵌合と、第２位置決め突部４９０と位置決め溝
５１２との嵌合とにより、幅方向（Ｘ軸方向）において
位置決めされる。また、カートリッジ２２は圧縮コイル
スプリング５１８により付勢され、係合面４８４がスト
ッパ面５０４に係合させられて長手方向において位置決
めされるとともに、斜面の作用により嵌合体４８２の前
部がカートリッジ支持台２０に押し付けられる。さら
に、ローラ５２０と係合凹面４９４との斜面の作用によ
り、第２位置決め突部４９０に下向きの力が作用すると
ともに、係合面４８４とストッパ面５０４との接触位置
と、ローラ５２０と係合凹面４９４との係合位置との間
の上下方向における距離を腕の長さとする回転モーメン
トにより、嵌合体４８２の後部がカートリッジ支持台２
０に押し付けられ、カートリッジ２２はカートリッジ支
持台２０に強固に取り付けられる。位置決め溝５１２，
位置決め板４９８および５００にそれぞれ形成された位
置決め溝，ストッパ面５０４が位置決め装置を構成し、
ストッパ面５０４，係合レバー５１６および圧縮コイル
スプリング５１８等が固定装置を構成し、これらが取付
装置４８０を構成しているのである。第１位置決め突
部，第２位置決め突部４９０および係合面４８４は被位
置決め部であり、第２位置決め突部４９０および係合面
４８４は被取付部でもある。

【００５７】前記電気部品供給装置１４のカートリッジ
支持台２０のＸ軸方向、すなわちカートリッジ支持台２
０の移動方向における一方の端には、図１０に示すよう
に、負圧検出装置５３０が取り付けられている。負圧検
出装置５３０の検出装置本体５３２は、カートリッジ２
２のカートリッジ本体４０８と同様に構成されており、
概して細長い板状を成し、下面には嵌合体５３４が固定
されて検出装置本体５３２と一体的な嵌合部を構成する
とともに、カートリッジ本体４０８に設けられた第１位
置決め突部と同様の第１位置決め突部５３６，５３８お
よび第２位置決め突部４９０と同様の第２位置決め突部
５４０が設けられている。第１位置決め突部５３６には
係合面５４２が形成され、第２位置決め突部５４０には
案内面５４４および係合凹面５４６が形成されている。

【００５８】カートリッジ支持台２０の端には、負圧検
出装置５３０を取り付ける取付位置が設けられ、その取
付位置には、検出装置本体５３２用の係合レバー５１６
および圧縮コイルスプリング５１８等が設けられるとと
もに、位置決め板４９８，５００，ストッパ板５０２，
取付板５１０は検出装置本体５３２の取付位置にわたっ
て設けられており、検出装置本体５３２は、カートリッ
ジ２２と同様に、取付装置４８０により、カートリッジ
２２の取付ピッチと同じピッチでカートリッジ支持台２
０に取り付けられている。

【００５９】検出装置本体５３２内には、負圧検出用通
路５５０が形成されている。負圧検出用通路５５０の一
端部は、検出装置本体５３２の表面である上面５５４の
うち、カートリッジ２２の部品供給部に対応する部分に
開口させられている。この開口の周辺が部品吸着ノズル
１５８と接触する接触部である。

【００６０】負圧検出用通路５５０の上面５５４への開
口部分は、検出装置本体５３２とは別体の開口形成部材
５５６により形成されている。開口形成部材５５６は、
図１１および図１２に示すように円形断面の段付状を成
し、通路５５８が軸線方向に貫通して形成されている。
検出装置本体５３２には、上面５５４に開口し、検出装
置本体５３２を幅方向（カートリッジ支持台２０に取り
付けられた状態でＸ軸方向に平行となる方向）に貫通す
る嵌合溝５７０が形成されるとともに、嵌合溝５７０の
底面に開口する段付状の嵌合穴５６０が形成されてい
る。開口形成部材５５６は、大径部５６２において、嵌
合穴５６０の大径嵌合穴部５６４に嵌合されるととも
に、小径部５６６に嵌合された抜出防止部材たる抜出防
止板５６８が嵌合溝５７０に嵌合され、固定手段の一種
であるねじ５７２によって検出装置本体５３２に固定さ
れることにより、開口形成部材５５６は検出装置本体５
３２に抜出し不能かつ着脱可能に取り付けられ、小径部
５６６の端面が上面５５４の一部を構成している。な
お、小径嵌合穴部５７４内にはＯリング５７６が配設さ
れ、負圧の漏れが防止されている。

【００６１】開口形成部材５５６の通路５５８の直径
は、部品吸着ノズル１５８の吸着管１６２の内径と等し
くされている。部品吸着ノズル１５８は６種類あり、ノ
ズル毎に吸着管１６２の内径が異なるため、６種類の吸
着管１６２の各内径に等しい直径の通路５５８を有する
開口形成部材５５６が６種類作られており、負圧が検出
される部品吸着ノズル１５８に応じて交換される。な
お、負圧検出用通路５５０の開口形成部材５５６により
構成される部分以外の部分の直径は、最も大きい吸着管
１６２の内径と同じ大きさとされている。

【００６２】負圧検出用通路５５０の他端部は、検出装
置本体５３２の側面に開口させられるとともに、図１０
および図１３に示すように、継手部材５８２によって負
圧センサ５８４が接続されている。負圧センサ５８４
は、検出装置本体５３２のカートリッジ２２に隣接する
側とは反対側の側面に取り付けられている。負圧センサ
５８４は大気圧を０として負圧を正の値で出力するもの
であり、検出される圧力が負の圧力である場合に検出値
が正の値となる。したがって、負圧センサ５８４の出力
値が大きいことは負圧が大きいことを表し、負圧が大き
ければ大きい吸着力が得られることとなる。

【００６３】検出装置本体５３２内には、図１０に示す
ように、検出装置本体５３２の長手方向（前後方向）に
延び、負圧検出用通路５５０に連通する分岐通路５８０
が設けられ、分岐通路５８０の開口部には連通状態変更
装置５９０が設けられている。検出装置本体５３２に
は、分岐通路５８０の負圧検出用通路５５０が接続され
た部分より後部側へ延び出させられた部分に、幅方向に
貫通する嵌合穴５９２が形成されるとともに、図１４に
示すように、アダプタ５９４が嵌合され、固定されてい
る。アダプタ５９４はシール部材たるＯリング５９６，
５９８によりシールされて嵌合穴５９２に嵌合されると
ともに、半径方向外向きのフランジ部６００において検
出装置本体５３２に当接させられ、固定手段の一種であ
る複数本のねじ６０２により検出装置本体５３２に固定
されている。

【００６４】アダプタ５９４の軸方向においてＯリング
５９６，５９８の間の部分には、外周面に開口する円環
状通路６０４が形成されており、分岐通路５８０は円環
状通路６０４に連通させられている。アダプタ５９４に
はまた、フランジ部６００の端面に開口する有底の嵌合
穴６０６が同心に形成されるとともに、嵌合穴６０６の
底側の部分は、アダプタ５９４に形成された複数本の半
径方向通路６０８により円環状通路６０４と連通させら
れている。アダプタ５９４には、６個の絞り部材６１０
および図示しないめくらプラグが選択的に取り付けられ
る。絞り部材６１０はそれぞれ、軸部６１２と頭部６１
４とを有し、頭部６１４の端面に開口する絞り６１６が
形成されている。絞り部材６１０内にはまた、軸部６１
２の端面に開口し、絞り６１６に連通する連通路６１８
が形成されている。

【００６５】絞り部材６１０は、軸部６１２において嵌
合穴６０６に気密に嵌合され、頭部６１４がフランジ部
６００の端面に当接させられるとともに、アダプタ５９
４のフランジ部６００に半径方向に螺合されたねじ部材
６２２により回転および抜出しが防止されている。軸部
６１２には、軸方向に延びる切欠６２４が形成されてお
り、この切欠６２４にねじ部材６２２の先端部が嵌入さ
せられるとともに、切欠６２４の底面に係合させられて
いるのである。

【００６６】絞り部材６１０がアダプタ５９４に取り付
けられた状態では、分岐通路５８０が絞り６１６を経て
外部に連通させられ、負圧検出用通路５５０への空気の
漏れが許容されるのであるが、６個の絞り部材６１０の
各絞り６１６の流路面積はそれぞれ、部品吸着ノズル１
５８の吸着管１６２の流路面積に応じた大きさとされて
いる。吸着管１６２の内部にごみや埃等が侵入して空気
の流通を妨げる詰まりが生じておらず、かつ、漏れも生
じていない状態では、吸着管１６２内に真空装置１８１
の性能によって決まる最大負圧が得られ、この最大負圧
が電気部品１６４を吸着するのに十分な負圧であること
は勿論であるが、それより負圧が小さくても、電気部品
１６４を吸着することが可能である。吸着管１６２内の
負圧が最大負圧より所望量だけ小さい状態は、適当な絞
りを経て空気を漏らすことにより得られる。そして、６
種類の絞り部材６１０の各絞り６１６の径は、６種類の
吸着管１６２のそれぞれについて、詰まりがない状態で
空気を漏らしたときに各吸着管１６２が電気部品１６４
を吸着し得る負圧のうちで最小の負圧（最小吸着可能負
圧と称する）が得られる大きさに設定されている。吸着
管１６２に実質的な詰まりが僅かに生じたのみで、吸着
管１６２および負圧検出用通路５５０の負圧が減少し、
詰まりが敏感に検出されるようにされているのである。
吸着管１６２に最小吸着可能負圧が得られる際の絞り６
１６の流路面積は、吸着管１６２の流路面積によって異
なり、吸着管１６２の流路面積が大きいほど両者の比
（絞り６１６の流路面積を吸着管１６２の流路面積で割
った商）が大きくなる。

【００６７】めくらプラグは、図示は省略するが、内部
に絞り６１６および連通路６１８が形成されていないこ
とを除いて絞り部材６１０と同様に構成され、絞り部材
６１０と同様にしてアダプタ５９４に取り付けられる。

【００６８】検出装置本体５３２には、図１０に示すよ
うに、ブラケット６３０を介して検査用被駆動レバー６
３２が軸６３４によってＸ軸方向に平行な軸線のまわり
に回動可能に取り付けられている。検査用被駆動レバー
６３２はＬ字形を成し、ブラケット６３０の上端部に設
けられたＬ字形の嵌合凹部６３６内に収容されるととも
に、ブラケット６３０に固定されたカバー６３８により
覆われている。軸６３４の両端部は、ブラケット６３０
とカバー６３８とにより支持されている。

【００６９】検査用被駆動レバー６３２の一方のアーム
部６４２は、ブラケット６３０とカバー６３８との間か
ら前方へ突出させられている。アーム部６４２の突出端
部には、円柱状の当接部材６４４が検査用被駆動レバー
６３２の回動軸線に平行な向きに固定されるとともに、
外周面の一部がアーム部６４２から上方に突出させられ
ている。当接部材６４４は熱処理が施され、耐摩耗性が
高くされている。検査用被駆動レバー６３２は、負圧検
出装置５３０がカートリッジ支持台２０に取り付けら
れ、部品供給位置に位置決めされた状態で、アーム部６
４２の突出端部が、部品供給位置に位置決めされたカー
トリッジ２２の駆動バー４３０に対応する位置に位置
し、昇降部材４２８の下方に位置するように検出装置本
体５３２に取り付けられている。

【００７０】検査用被駆動レバー６３２の他方のアーム
部６４８は、ブラケット６３０とカバー６３８との間か
ら下方へ突出させられるとともに、突出端部とブラケッ
ト６３０との間には、付勢手段の一種である弾性部材と
しての引張コイルスプリング６５０が設けられ、検査用
被駆動レバー６３２は当接部材６４４が上方へ移動する
向きに付勢されている。

【００７１】引張コイルスプリング６５０の付勢による
検査用被駆動レバー６３２の回動端位置は、ブラケット
６３０に位置調節可能に取り付けられたストッパ６５４
により規定される。ストッパ６５４は板状を成し、ブラ
ケット６３０にＹ軸方向（負圧検出装置５３０の前後方
向であって長手方向）に延びる向きに形成された嵌合溝
６５６に長手方向に移動可能に嵌合されるとともに、長
穴６５８が長手方向に平行に形成されており、長穴６５
８を通って２本のボルト６６０がブラケット６３０に螺
合されることにより、ブラケット６３０にＹ軸方向の位
置調節可能に固定されている。

【００７２】検査用被駆動レバー６３２の回動端位置の
調節時には、ボルト６６０を緩め、ブラケット６３０に
固定の取付板６６２に螺合されたねじ部材６６４を、取
付板６６２により深く螺合される方向へ回転操作すれ
ば、ストッパ６５４がねじ部材６６４により押されて前
進させられ、それにより検査用被駆動レバー６３２のア
ーム部６４８の引張コイルスプリング６５０の付勢力に
基づく回動端位置が取付板６６２から遠くなり、当接部
材６４４と、上昇端位置に位置する昇降部材４２８との
間の距離が長くなる。調節後、ボルト６６０が締め付け
られ、ストッパ６５４がブラケット６３０に固定され
る。逆に、ねじ部材６６４を取付板６６２への螺合が浅
くなる向きに回転操作すれば、検査用被駆動レバー６３
２が、アーム部６４８が引張コイルスプリング６５０の
付勢力により取付板６６２に接近する向きに回動させら
れ、ストッパ６５４がねじ部材６６４に追従して移動さ
せられて、当接部材６４４と、上昇端位置に位置する昇
降部材４２８との間の距離が短くなる。検査用被駆動レ
バー６３２の回動端位置は、当接部材６４４と、上昇端
位置に位置する昇降部材４２８のローラ４３６とがそれ
らの間に小距離、例えば０．５mmの隙間を隔てた状態と
なる位置に設定される。昇降部材４２８は、前述のよう
に、カム，カムフォロワ等により構成される運動変換機
構により所定量昇降させられるため、検査用被駆動レバ
ー６３２の回動端位置が上記のように調節されれば、昇
降部材４２８の昇降に伴う検査用被駆動レバー６３２の
回動角度が調節されることとなる。

【００７３】ブラケット６３０にはまた、特定位置セン
サ６７０が取り付けられている。ブラケット６３０の上
記ストッパ６５４が取り付けられた部分の下側には、Ｙ
軸方向に貫通する嵌合溝６７２が形成されるとともに、
取付板６７４が長手方向に移動可能に嵌合されており、
取付板６７４に長手方向に形成された長穴６７６を通っ
て２本のボルト６７８がブラケット６３０に螺合される
ことにより、取付板６７４がブラケット６３０にＹ軸方
向の位置調節可能に取り付けられている。

【００７４】取付板６７４の一端部は、ブラケット６３
０から後方（検出装置本体５３２の後側）へ突出させら
れるとともに、突出端部に特定位置センサ６７０が固定
されている。特定位置センサ６７０は、フォトマイクロ
センサにより構成されており、図１３に示すように、発
光部６８０と受光部６８２とが検出装置本体５３２の幅
方向において、前記検査用被駆動レバー６３２の進入を
許容する距離を隔てて設けられている。上記取付板６７
４の位置を変えれば、特定位置センサ６７０の検査用被
駆動レバー６３２に対する位置が調節される。特定位置
センサ６７０の位置の調節については、後に説明する。

【００７５】本電気部品搬送装着装置は、図１５に示す
制御装置３３０により制御される。制御装置３３０は、
ＣＰＵ３３２，ＲＯＭ３３４，ＲＡＭ３３６およびそれ
らを接続するバス３３８を備えたコンピュータ３４０を
主体とするものである。バス３３８には、入力インタフ
ェース３４２が接続され、ＣＣＤカメラ１１４，エンコ
ーダ１９３，負圧センサ５８４，特定位置センサ６７０
が接続されている。バス３３８にはまた、出力インタフ
ェース３４４が接続され、駆動回路３４６，３４８，３
５０，３５２，３５４，３５６，３５８，３６０，３６
２を介してカートリッジ移動用サーボモータ２６，Ｘ軸
移動用サーボモータ４２，Ｙ軸移動用サーボモータ４
８，駆動用サーボモータ１０８，ノズル回転・選択用サ
ーボモータ１９２，ヘッド昇降ストローク変更用サーボ
モータ２９６，電磁方向切換弁１７９，真空装置１８
１，プリンタ６９０等が接続されている。また、ＲＯＭ
３３４には、電気部品１６４の吸着，装着，撮像、部品
吸着ノズル１５８の負圧の検出，検出値の判定等に必要
な種々のプログラムが格納されている。なお、これらサ
ーボモータ２６，４２，４８，１０８，１９２，２９６
は、駆動源たる電動モータの一種であって、回転角度の
制御可能なモータである。サーボモータに代えてステッ
プモータを用いてもよい。

【００７６】以上のように構成された電気部品装着シス
テムにおいて電気部品１６４をプリント基板３８に装着
する場合には、駆動用サーボモータ１０８により４個の
鼓形カム９０ａ〜９０ｄが同期して一斉に回転させら
れ、１２個の回動板７０が別々に加速，減速，定速回
動，あるいは停止させられる。回動板７０は、部品吸着
位置，撮像位置および部品装着位置においてそれぞれ停
止し、吸着，撮像，装着が行われる。

【００７７】電気部品１６４の吸着を説明する。回動板
７０が部品吸着位置へ回動させられるとき、固定カム用
ローラ１２６がカム溝１３０から、部品吸着位置近傍に
対応する位置に設けられた部品保持ヘッド昇降装置２６
０の昇降部材２６６の溝２７２内へ乗り移ったならば、
回動板７０が部品吸着位置に到達する前に昇降部材２６
６が下降を開始させられる。それにより固定カム用ロー
ラ１２６が追従して下降し、昇降板１２４が下降させら
れるとともに部品保持ヘッド１２０が下降させられ、作
動位置に位置決めされた部品吸着ノズル１５８が電気部
品１６４に当接させられて電気部品１６４を吸着する。
当接前に電磁方向切換弁１７９が切り換えられて切換装
置１７８が供給状態に切り換えられ、部品吸着ノズル１
５８に負圧が供給される。部品吸着ノズル１５８は電気
部品１６４を吸着するのに十分な距離下降させられ、余
分な下降距離は部品吸着ノズル１５８を付勢するスプリ
ング１６０の圧縮により吸収される。

【００７８】回動板７０は部品吸着ノズル１５８が電気
部品１６４を吸着する前に部品吸着位置に到達して停止
しており、部品吸着ノズル１５８は正確に電気部品１６
４を吸着することができる。吸着後、昇降部材２６６が
上昇させられ、固定カム用ローラ１２６が上昇させられ
るとともに、昇降板１２４，部品保持ヘッド１２０が上
昇させられて部品吸着ノズル１５８が部品保持テープの
保持凹部から電気部品１６４を取り出すが、回動板７０
は、昇降部材２６６が上昇端位置へ到達する前に回動を
開始させられ、昇降部材２６６が上昇端位置へ到達した
後、固定カム用ローラ１２６は迅速にカム溝１３０内へ
乗り移る。

【００７９】次に回動板７０は撮像位置へ回動させられ
る。電気部品１６４の軸線まわりの位置（回転位置と称
する）が吸着時と装着時とで異なるのであれば、回動板
７０が部品吸着位置から撮像位置へ回動するまでの間に
電気部品１６４を保持した部品吸着ノズル１５８が回転
させられ、電気部品１６４の回転位置が変更される。図
５に示すように、部品吸着位置と部品装着位置との間の
領域が電気部品回転位置変更領域なのである。電気部品
１６４の回転位置の変更角度は、部品吸着ノズル１５８
が電気部品１６４を吸着する際に生ずる軸線まわりの位
置誤差、すなわち回転位置誤差とは異なり、例えば、９
０度あるいは１８０度というように大きい角度である。
電気部品１６４の回転位置の変更の有無，変更角度は、
装着プログラムから得られる電気部品１６４の種類およ
び装着位置等によりわかる。

【００８０】電気部品１６４の回転位置の変更時には、
ノズル回転・選択用サーボモータ１９２が起動される。
部品吸着ノズル１５８の選択時を除いて、図６に示すよ
うに、駆動側係合部材２０２の係合溝２００と被駆動側
係合部材２３２の係合突部２４２とが係合しており、ノ
ズル回転・選択用サーボモータ１９２が起動されれば、
中軸１４４が回転させられるとともに、ノズル回転・選
択用サーボモータ１９２の回転が連結部材１９６，駆動
側係合部材２０２，被駆動側係合部材２３２を介して鞘
軸１３８に伝達され、鞘軸１３８が回転させられる。鞘
軸１３８と作動位置に位置決めされた部品吸着ノズル１
５８との軸線は一致させられており、鞘軸１３８が回転
させられるとき、電気部品１６４を保持した部品吸着ノ
ズル１３８は自身の軸線まわりに回転させられ、電気部
品１６４の回転位置が変更される。

【００８１】鞘軸１３８の回転時に中軸１４４も回転さ
せられることにより、かさ歯車１８８，１９０は噛み合
ったままで噛合い位置は変わらず、かさ歯車１８８は回
転せず、ノズル保持体１５４が支持軸１５２の軸線のま
わりに回転させられて、後述するように部品吸着ノズル
１５８の選択が行われることがない。

【００８２】電気部品１６４の姿勢変更（回転位置変
更）は、回動板７０が撮像位置へ到達する前に終了し、
撮像位置において回動板７０は停止させられ、部品吸着
ノズル１５８に吸着された電気部品１６４が静止し、か
つ水平な状態でＣＣＤカメラ１１４により撮像される。
次に回動板７０は部品装着位置へ回動させられるのであ
るが、この間にノズル回転・選択用サーボモータ１９２
が起動され、鞘軸１３８が電気部品１６４の回転位置の
変更時と同様に回転させられ、電気部品１６４を保持し
た部品吸着ノズル１５８が自身の軸線まわりに回転させ
られて電気部品１６４の軸線まわりの回転位置誤差が修
正される。この修正量は、撮像位置におけるＣＣＤカメ
ラ１４４の撮像データに基づいて算出され、電気部品１
６４の回転位置誤差は、回動板７０が撮像位置から部品
装着位置へ移動するまでの間に修正される。図５に示す
ように、撮像位置と部品装着位置との間の領域が電気部
品回転位置誤差修正領域なのである。

【００８３】回動板７０が部品装着位置へ回動すると
き、固定カム用ローラ１２６が固定カム１２８のカム溝
１３０から、部品装着位置近傍に対応する位置に設けら
れた部品保持ヘッド昇降装置２６０の昇降部材２６６の
溝２７２へ乗り移る。昇降部材２６６は、固定カム用ロ
ーラ１２６が溝２７２内へ入れば、回動板７０が部品装
着位置へ到達する前に下降を開始させられ、部品保持ヘ
ッド１２０が下降させられる。電気部品１６４がプリン
ト基板３８に装着されるときには、回動板７０は部品装
着位置に至って停止しており、電気部品１６４はプリン
ト基板３８の部品装着箇所に正確に装着される。この
際、電気部品１６４の高さに応じて部品保持ヘッド１２
０の昇降ストロークが変更される。電気部品１６４の高
さが大きいほど、昇降ストロークが小さくされるととも
に、電気部品１６４を確実にプリント基板３８に装着し
得る大きさとされ、余分な下降距離はスプリング１６０
の圧縮により吸収される。また、電気部品１６４の装着
開始に先立ってプリント基板３８に設けられた基準マー
クが撮像され、撮像データに基づいて、多数の部品装着
箇所の各々についてＸ軸，Ｙ軸方向の各位置誤差が演算
されている。この部品装着箇所の位置誤差および電気部
品１６４の中心位置のＸ軸，Ｙ軸方向の位置誤差は、プ
リント基板３８のＸ軸，Ｙ軸方向の移動距離の修正によ
り修正される。電気部品１６４の中心位置のＸ軸，Ｙ軸
方向の位置誤差は、部品吸着ノズル１５８が電気部品１
６４を吸着する際に生ずる中心位置誤差と、電気部品１
６４の回転位置誤差の修正により生ずる中心位置の変化
との和である。

【００８４】電気部品１６４がプリント基板３８の部品
装着位置に装着されるとき、切換装置１７８が大気開放
状態に切り換えられ、部品吸着ノズル１５８への負圧の
供給が遮断されて大気に解放され、電気部品１６４を解
放する。電気部品１６４の装着後、昇降部材２６６が上
昇させられ、部品保持ヘッド１２０が上昇させられる。
回動板７０は昇降部材２６６が上昇端位置に到達する前
に回動を開始させられ、昇降部材２６６が上昇端位置へ
移動した後、固定カム用ローラ１２６は迅速にカム溝１
３０内へ乗り移る。なお、吸着ミス等があり、部品吸着
ノズル１５８が保持する電気部品１６４がプリント基板
３８に装着されない場合には、部品吸着ノズル１５８に
は負圧が供給されたままの状態に保たれ、プリント基板
３８に装着されず、後に部品排出領域を通過するとき、
切換装置１７８が大気開放状態に切り換えられ、電気部
品１６４が電気部品収容器に捨てられる。

【００８５】回動板７０が部品装着位置から部品吸着位
置へ回動するとき、部品排出領域へ到達するまでの間
に、鞘軸１３８が回転させられ、鞘軸１３８，部品保持
ヘッド１２０が係合突部２２０と係合切欠２３８との回
転軸線まわりの位置が一致する原位置へ戻される。図５
に示すように、部品装着位置と部品排出領域との間の領
域が部品保持ヘッド姿勢戻し領域である。

【００８６】鞘軸１３８，部品保持ヘッド１２０の姿勢
戻し後、回動板７０は電気部品収容器上を通り、必要が
あれば電気部品１６４を電気部品収容器に捨てる。回動
板７０が部品排出領域から部品吸着位置へ回動するとと
もに、水平に定速で移動しているとき、モータ保持台２
１０に設けられた係合ローラ２１８がノズル選択用カム
２４８のカム面２５０に係合し、モータ保持台２１０が
下降させられて鞘軸１３８と中軸１４４との係合が解か
れる。そして、使用する部品吸着ノズル１５８が変更さ
れるならば、ノズル回転・選択用サーボモータ１９２が
起動され、ノズル保持体１５４が回転させられる。図５
に示すように、部品排出領域と部品吸着位置との間の領
域が部品吸着ノズル選択領域である。

【００８７】回動板７０が回動中、係合ローラ２１８は
まず、カム面２５０の押下面に係合し、それにより圧縮
コイルスプリング２２４の付勢力に抗して押し下げら
れ、モータ保持台２１０が下降させられる。それによ
り、図７に示すように、被駆動側係合部材２３２の係合
突部２４２が駆動側係合部材２０２の係合溝２００から
離脱し、鞘軸１３８と中軸１４４との係合が解かれる
が、被駆動側係合部材２３２と駆動側係合部材２０２と
の係合が完全に解かれる前に、モータ保持台２１０に設
けられた係合突部２２０の先端部が被駆動側係合部材２
３２に形成された係合切欠２３８に嵌入し、鞘軸１３８
の回転を阻止し、鞘軸１３８を原位置に保つ。鞘軸１３
８は、電気部品１６４の装着後、回転させられて原位置
に戻されており、モータ保持台２１０が下降するとき、
係合突部２２０は係合切欠２３８に嵌入することができ
る。被駆動側係合部材２３２と駆動側係合部材２０２と
の係合が解かれた後、係合ローラ２１８はカム面２５０
の押下状態維持面に係合する状態となり、この状態で回
動板７０が回動する間、両係合部材２０２，２３２は係
合を解かれ、鞘軸１３８と中軸１４４とが係合を解かれ
た状態に保たれる。

【００８８】この状態でノズル回転・選択用サーボモー
タ１９２が起動されれば、中軸１４４のみが回転させら
れ、かさ歯車１８８，１９０，歯車１８０，１８６が回
転させられてノズル保持体１５４が回転させられ、６個
の部品吸着ノズル１５８のうちの１個が作動位置に位置
決めされる。作動位置に位置決めされた部品吸着ノズル
１５８の種類は、中軸１４４の回転角度からわかり、ま
た、次に作動位置に位置決めする部品吸着ノズル１５８
の種類は装着プログラムからわかり、それら部品吸着ノ
ズル１５８の種類に基づいてノズル回転・選択用サーボ
モータ１９２の回転角度，回転方向が求められ、所定の
部品吸着ノズル１５８が作動位置に位置決めされる。中
軸１４４のみの回転時には、鞘軸１３８は係合突部２２
０と係合切欠２３８との係合により原位置に保たれてい
て、鞘軸１３８が中軸１４４とつれ回ることはなく、ノ
ズル保持体１５４が回転させられて６個の部品吸着ノズ
ル１５８のうちの１個が作動位置に位置決めされる。

【００８９】ノズル保持体１５４が回転させられると
き、位置決めピン１６７は、位置決め穴１６５および位
置決めピン１６７の先端のテーパ部の斜面の作用によ
り、圧縮コイルスプリング１６９の付勢力に抗して後退
させられ、位置決め穴１６５から離脱してノズル保持体
１５４の回転を許容する。ノズル保持体１５４が回転
し、位置決めピン１６７のテーパ部と位置決め穴１６５
との位置がほぼ一致すれば、位置決めピン１６７はスプ
リングの付勢力により前進して位置決め穴１６５に嵌入
し、ノズル保持体１５４は、部品吸着ノズル１５８の１
つが作動位置に位置決めされた回転位置に精度良く位置
決めされる。

【００９０】部品吸着ノズル１５８の選択が行われる
間、モータ保持台２１０は係合ローラ２１８とカム面２
５０の押下状態維持面との係合により下降端位置に位置
する状態に保たれ、中軸１４４と鞘軸１３８とは係合が
解除された状態に保たれる。部品吸着ノズル１５８の選
択時には、ノズル保持体１５４は、正方向または逆方向
に最大１８０度ずつ回転させられるが、ノズル保持体１
５４が回転させられる間、回動板７０は回動しており、
押下状態維持面は、回動板７０の回動軸線を中心とする
円周方向において、ノズル保持体１５４が必要な角度回
転させられる間、係合ローラ２１８が係合してモータ保
持台２１０を下降端位置に保ち、鞘軸１３８と中軸１４
４とを係合が解除された状態に保つのに十分な長さを有
する。

【００９１】部品吸着ノズル１５８の選択が終了すれ
ば、係合ローラ２１８がカム面２５０の押下解除面に係
合するに至り、モータ保持台２１０が圧縮コイルスプリ
ング２２４の付勢力により上昇させられる。それによ
り、被駆動側係合部材２３２の係合突部２４２が駆動側
係合部材２０２の係合溝２００に嵌入するとともに、係
合突部２２０が係合切欠２３８から離脱し、鞘軸１３８
と中軸１４４とが相対回転不能に係合させられるととも
に、鞘軸１３８とモータ保持台２１０との係合が解かれ
る。これら係合突部２４２，係合溝２００は、係合突部
２２０が係合切欠２３８から離脱する前であって、鞘軸
１３８が原位置に位置させられている状態で係合し、確
実に係合することができる。部品吸着ノズル選択のため
に中軸１４４が回転させられ、係合突部２４２は別の係
合溝２００に係合させられることとなるが、中軸１４４
の回転中、鞘軸１３８はモータ保持台２１０に係合させ
られて原位置に保たれており、また、係合時にも原位置
に保たれているため、係合突部２４２は中軸１４４と共
に回転させられた駆動側係合部材２０２の係合溝２００
に確実に係合することができる。そして、部品吸着ノズ
ル１５８の選択後、回動板７０は部品吸着位置に到達
し、電気部品１６４を吸着する。

【００９２】部品吸着ノズル１５８の負圧吸着機能の検
査を説明する。この検査は、電気部品１６４のプリント
基板３８への装着開始前、あるいは全部のプリント基板
３８への電気部品の装着終了時、あるいは装着の途中
等、適宜の時期に行われる。装着の途中とは、例えば、
予め設定された枚数のプリント基板３８への電気部品１
６４の装着が終了したとき、あるいは部品吸着ノズル１
５８による電気部品の吸着ミスが予め定められた条件を
満たす状態で発生したとき等である。ここでは、電気部
品１６４のプリント基板３８への装着に先立って検査が
行われる場合を説明する。

【００９３】まず、部品吸着ノズル１５８の負圧が検出
される。この検出は、部品吸着ノズル１５８の各々につ
いて、連通状態変更装置５９０のアダプタ５９４に絞り
部材６１０を取り付けて分岐通路５８０を絞り６１６を
経て外部に連通させ、負圧検出用通路５５０への空気の
漏れを許容する状態と、めくらプラグを取り付けて分岐
通路５８０を遮断し、空気の漏れを実質的に許容しない
状態との２種類の状態において行われる。１２個の部品
保持ヘッド１２０がそれぞれ有する６個ずつの部品吸着
ノズル１５８の種類は、部品保持ヘッド１２０同士で同
じであり、同じ種類の部品吸着ノズル１５８について
は、共通の絞り部材６１０を用いて負圧の検出が行われ
る。また、種類が同じ部品吸着ノズル１５８の負圧の検
出時には、共通の開口形成部材５５６が用いられる。同
じ種類の部品吸着ノズル１５８に共通の開口形成部材５
５６が検出装置本体５３２に取り付けられた状態で、１
２個の部品保持ヘッド１２０がそれぞれ保持する６個の
部品吸着ノズル１５８のうち、種類が同じである１個ず
つの部品吸着ノズル１５８について、２種類の状態で負
圧の検出が行われるのである。

【００９４】負圧検出装置５３０は、カートリッジ支持
台２０に取り付けられていて、カートリッジ２２による
電気部品の供給時にもカートリッジ２２と共に移動させ
られ、負圧の検出開始時には、負圧検出装置５３０はカ
ートリッジ支持台２０の移動により部品供給位置に位置
決めされる。負圧検出装置５３０においては、６種類の
部品吸着ノズル１５８のうち、最初に負圧が検出される
部品吸着ノズル１５８の吸着管１６２の内径と同じ径の
通路５５８を有する開口形成部材５５６および吸着管１
６２の流路面積に応じた流路面積の絞り６１６を有する
絞り部材６１０が検出装置本体５３２に取り付けられて
いる。なお、負圧検出装置５３０に取り付けられている
開口形成部材５５６および絞り部材６１０に応じた部品
吸着ノズル１５８から負圧の検出を開始してもよい。

【００９５】次いで、駆動用サーボモータ１０８が起動
され、回動板７０が回動させられて電気部品１６４の吸
着時と同様に１２組の部品保持ヘッド１２０が順次部品
吸着位置へ移動させられ、各部品保持ヘッド１２０の６
個の部品吸着ノズル１５８のうち、作動位置に位置決め
された部品吸着ノズル１５８が部品取出位置上へ、すな
わち部品供給位置に位置決めされた負圧検出装置５３０
の負圧検出用通路５５０の開口に対向する位置へ移動さ
せられ、負圧検出装置５３０の接触部に対向させられ
る。

【００９６】部品保持ヘッド１２０は、電気部品１６４
の吸着時と同じタイミングで部品保持ヘッド昇降装置２
６０により下降させられるとともに、下降中であって、
吸着管１６２が開口形成部材５５６に接触する前に電磁
方向切換弁１７９が切り換えられ、接触前に部品吸着ノ
ズル１５８に負圧が供給される。検出装置本体５３２の
上面５５４の高さは、カートリッジ支持台２０に取付装
置によって取り付けられた状態でカートリッジ２２のカ
ートリッジ本体４０８の上面の高さと同じになるように
されており、吸着管１６２は電気部品１６４の吸着時に
電気部品１６４に接触するタイミングとほぼ同じタイミ
ングで開口形成部材５５６に接触する。それにより負圧
供給用通路５５０の上面５５４への開口が吸着管１６２
により覆われれば、部品吸着ノズル１５８内の通路と負
圧検出用通路５５０とが連通させられるとともに、吸着
管１６２と開口形成部材５５６との隙間からの空気の漏
れが実質的に防止され、負圧検出用通路５５０内に負圧
が供給される状態となる。

【００９７】吸着管１６２が開口形成部材５５６に接触
した後も部品保持ヘッド１２０は更に小距離下降させら
れるが、この下降量は圧縮コイルスプリング１６０の圧
縮により吸収される。電気部品１６４の吸着時と同様
に、部品吸着ノズル１５８の下降と並行して昇降部材４
２８が下降させられる。このとき、部品供給位置に位置
決めされているのは、負圧検出装置５３０であるため、
昇降部材４２８に取り付けられたローラ４３６は検査用
被駆動レバー６３２の一方のアーム部６４２に設けられ
た当接部材６４４に当接し、検査用被駆動レバー６３２
を引張コイルスプリング６５０の付勢力に抗して、図１
０に二点鎖線で示すように回動させ、アーム部６４８が
特定位置センサ６７０の発光部６８０と受光部６８２と
の間へ進入させられる。

【００９８】特定位置センサ６７０の位置は、吸着管１
６２が開口形成部材５５６に接触し、負圧検出用通路５
５０に吸着管１６２内と実質的に同じ負圧が得られる状
態となってから所定の小時間が経過したとき、検査用被
駆動レバー６３２のアーム部６４８が発光部６８０と受
光部６８２との間に進入し、受光部６８２の受光を妨げ
る位置に調節される。アーム部６４８が発光部６８０と
受光部６８２との間に進入すれば、特定位置センサ６７
０の検出信号に基づいて負圧センサ５８４の検出値の読
込みが開始されるとともにタイマによる計時が開始さ
れ、タイマの計時時間が設定時間に達するまでの間、一
定微小時間（例えば５ms）毎に繰り返されるのである
が、この読込みが繰り返し行われる期間が、吸着管１６
２が開口形成部材５５６に接触して負圧の漏れが実質的
に防止されるとともに、負圧検出用通路５５０内の負圧
が実質的に吸着管１６２内の負圧と等しくなっているこ
とが保証されるべき期間を確実に包含するように、特定
位置センサ６７０の位置調節が行われる。換言すれば、
特定位置センサ６７０の位置の調節は、負圧センサ５８
４の検出値が繰り返し読み込まれる期間を、負圧検出用
通路５５０内の負圧が実質的に吸着管１６２内の負圧と
等しくなっていることが保証されるべき期間に適合させ
るために行われるものなのである。

【００９９】昇降部材４２８は、電気部品の吸着時に
は、カバー４１２を部品吸着ノズル１５８の下降および
電気部品の吸着と連動して後退させるように昇降させら
れるものであり、この昇降部材４２８の昇降を利用して
検査用被駆動レバー６３２を回動させるとともに、特定
位置センサ６７０による検査用被駆動レバー６３２の検
出時期を調節すれば、吸着管１６２が開口形成部材５５
６に接触して吸着管１６２の開口が開口形成部材５５６
により覆われ、負圧検出用通路５５０に吸着管１６２と
実質的に同じ負圧が得られる時期（この時期は、電子部
品装着作業時に部品吸着ノズル１５８が部品保持テープ
内の電気部品１６４を吸着する時期に対応する）に、負
圧センサ５８４の検出値が読み込まれるようにすること
ができる。

【０１００】電気部品１６４の吸着時には、部品保持ヘ
ッド１２０は部品吸着ノズル１５８が電気部品１６４に
接触した後、更に小距離下降させられるとともに、カバ
ー４１２に設けられた舌片が電気部品１６４上から退避
するまでは下降端位置にある。部品吸着ノズル１５８の
電気部品１６４への接触後、電気部品１６４が部品保持
テープの保持凹部から取り出されるまで時間があるので
あり、したがって、負圧検出時に部品吸着ノズル１５８
が開口形成部材５５６に接触（部品吸着ノズル１５８の
電気部品１６４への接触に相当）して吸着管１６２が負
圧検出用通路５５０に連通させられてから、吸着管１６
２が開口形成部材５５６から離間（部品吸着ノズル１５
８の上昇による電気部品１６４の保持凹部からの取出し
に相当）して吸着管１６２が開放されるまでの間に時間
があり、この時間より短い時間中、検出値の読込みが繰
り返されるようにすることができるのである。

【０１０１】制御装置３３０においては、繰り返し読み
込まれた負圧センサ５８４の検出値の最小値が、部品吸
着ノズル１５８の種類を表すデータ，負圧が検出された
部品吸着ノズル１５８を有する部品保持ヘッド１２０を
表すデータおよび検出条件、すなわち絞り部材６１０を
取り付けて検出が行われたか、めくらプラグを取り付け
て検出が行われたかを表すデータと共にＲＡＭ３３６に
格納される。部品保持ヘッド１２０は吸着管１６２が開
口形成部材５５６に当接させられた後、電気部品１６４
の吸着時と同じタイミングで上昇させられるとともに、
回動板７０が回動させられる。電磁方向切換弁１７９
は、吸着管１６２が負圧検出用通路５５０の開口から離
間した後、部品吸着ノズル１５８を大気に連通させる状
態に切り換えられる。

【０１０２】負圧の検出時には、切換装置１７８に設け
られた電磁方向切換弁１７９の切換えにより、部品吸着
位置に停止させられた部品保持ヘッド１２０の部品吸着
ノズル１５８についてのみ、負圧が供給され、他の部品
保持ヘッド１２０の部品吸着ノズル１５８は、いずれも
大気に連通させられるのである。電気部品１６４の装着
時には、１２個の部品保持ヘッド１２０の各作動位置に
位置決めされた部品吸着ノズル１５８のうちの半分は部
品吸着位置から部品装着位置へ至る経路にあって電気部
品１６４を保持しており、部品吸着位置に位置決めされ
た部品保持ヘッド１２０の部品吸着ノズル１５８以外の
部品吸着ノズル１５８も真空装置１８１に連通させら
れ、負圧が供給される。しかし、負圧の検出時には、い
ずれの部品保持ヘッド１２０の部品吸着ノズル１５８も
電気部品１６４を吸着しておらず、吸着管１６２の開口
が覆われていないため、負圧が供給されても漏れてしま
い、負圧が検出される部品吸着ノズル１５８に適切な高
さの負圧が得られないこととなる。そのため、負圧の検
出時には、部品吸着位置に停止させられて負圧が検出さ
れる部品保持ヘッド１２０の部品吸着ノズル１５８の
み、真空装置１８１に連通させられ、負圧が供給される
ようにされているのである。

【０１０３】昇降部材４２８は電気部品１６４の吸着時
と同じタイミングで上昇させられ、検査用被駆動レバー
６３２は引張コイルスプリング６５０の付勢力により回
動させられ、図１０に実線で示す原位置に復帰させられ
て、次に部品吸着位置へ移動させられる部品保持ヘッド
１２０の部品吸着ノズル１５８の負圧の検出に備えて待
機させられる。

【０１０４】１２個の部品保持ヘッド１２０がそれぞれ
保持する６個の部品吸着ノズル１５８のうち、種類が同
じ１個ずつの部品吸着ノズル１５８の全部、合計１２個
の部品吸着ノズル１５８について絞り部材６１０を用い
た状態での負圧の検出が行われたならば、駆動用サーボ
モータ１０８が停止させられ、負圧検出装置５３０が部
品供給位置に位置決めされたままの状態で絞り部材６１
０に代えてめくらプラグがアダプタ５９４に取り付けら
れる。取付け後、駆動用サーボモータ１０８が起動さ
れ、先に絞り部材６１０が用いられて空気の漏れが許容
された状態で負圧が検出された１２個の部品吸着ノズル
１５８について、空気の漏れが実質的に許容されない状
態で負圧の検出が行われる。

【０１０５】めくらプラグを用いた状態での負圧の検出
が終了したならば、次に部品保持ヘッド１２０が保持す
る別の種類の部品吸着ノズル１５８について、絞り部材
６１０が用いられて空気の漏れを許容する状態と、めく
らプラグが用いられて空気の漏れを実質的に許容しない
状態とで負圧の検出が行われる。各種類の負圧検出の間
には、負圧検出装置５３０がカートリッジ支持台２０の
移動により部品供給位置から外れた作業位置へ移動させ
られ、作業者により開口形成部材５５６が交換され、部
品吸着ノズル１５８の吸着管１６２の内径と等しい直径
の通路５５８を有する開口形成部材５５６が検出装置本
体５３２に取り付けられる。また、吸着管１６２の流路
面積に応じた流路面積の絞り６１６を有する絞り部材６
１０がアダプタ５９４に取り付けられ、取付け後、負圧
検出装置５３０が部品供給位置へ移動させられ、負圧の
検出が行われる。

【０１０６】２種類の状態での負圧の検出が終了した部
品吸着ノズル１５８を有する部品保持ヘッド１２０にお
いては、その部品保持ヘッド１２０を保持する回動板７
０が部品排出位置から部品吸着位置へ移動するとき、ノ
ズル保持体１５４が回転させられ、次に負圧が検出され
る部品吸着ノズル１５８が作動位置に位置決めされる。
そして、開口形成部材５５６の交換および絞り部材６１
０の取付け後、部品保持ヘッド１２０の移動により、作
動位置に位置決めされた部品吸着ノズル１５８が順次部
品吸着位置へ移動させられて負圧が検出される。絞り部
材６１０を用いて負圧が検出された後、絞り部材６１０
に代えてめくらプラグが取り付けられ、負圧の検出が行
われる。

【０１０７】１２個の部品保持ヘッド１２０が保持する
６個ずつの部品吸着ノズル１５８の各々について２種類
の検出値が得られたならば、制御装置３３０において
は、それら検出値に基づいて、部品吸着ノズル１５８の
各々について適切な高さの負圧が得られているか否かの
判定が行われる。ＲＡＭ３３６に格納されている検出値
は、前述のように、複数回読み込まれた検出値の最小値
であるため、空気の漏れが許容された状態と、許容され
ない状態との２種類の最小値が共に予め設定されたしき
い値以上であれば、漏れも詰まりもなく、検出値の読込
みが行われていた期間全体において電気部品を十分な力
で吸着するに適した負圧が供給されていたと判定され
る。しきい値が、そのような負圧よりやや大きい値に設
定されているのである。判定後、検出値および判定結果
がプリンタ６９０により記録され、出力される。これら
検出値および判定結果は、部品吸着ノズル１５８の種
類、部品吸着ノズル１５８を保持する部品保持ヘッド１
２０の番号および検出条件と共に、それらと対応付けて
記録される。そして、作業者は、負圧が正常に供給され
ていない場合には、２種類の検出値に基づいて、その原
因を推定することができる。

【０１０８】めくらプラグを用いた検出時の値は適切で
あるが、絞り部材６１０を用いた検出時の値が適切でな
ければ、例えば、吸着管１６２に詰まりが生じていると
推定される。詰まりが生じた場合、めくらプラグにより
分岐通路５８０の開口部が塞がれていれば、十分な負圧
が得られるが、絞り部材６１０が用いられ、負圧検出用
通路５５０内へ空気が漏らされていれば、適切な高さの
負圧が得られないからである。また、２種類の検出値が
共に適切な値でなければ、実用上問題となる漏れが生じ
ていると推定される。例えば、吸着管１６２の電気部品
１６４に接触する接触面に摩耗や変形が生じて吸着管１
６２が開口形成部材５５６の負圧検出用通路５５０の開
口周縁部に密着できず、それらの間に隙間が生じて空気
の漏れが生じている場合には、絞り部材６１０が用いら
れ、負圧検出用通路５５０内への空気の漏れが許容され
た場合に適切な高さの負圧が得られないことは勿論、め
くらプラグにより分岐通路５８０の開口部が塞がれてい
ても、吸着管１６２の開口が開口形成部材５５６により
覆われず、空気が大流量で漏れるため、適切な高さの負
圧が得られないのである。さらに、全部の部品保持ヘッ
ド１２０の各部品吸着ノズル１５８の全部について、め
くらプラグを用いた状態でも適切な高さの負圧が得られ
なければ、例えば、全部の部品吸着ノズル１５８に共通
に負圧を供給する通路に詰まりや漏れが生じていると推
定される。

【０１０９】作業者は、適切な高さの負圧が得られない
原因を推定し、確認して、部品吸着ノズル１５８全体を
交換したり、吸着管１６２を交換したり、吸着管１６２
を清掃して詰まっているものを除去したり、全部の部品
吸着ノズル１５８に負圧を供給する共通の通路の詰まり
を解消したり、通路構成部材を交換したりする等により
異常原因を除去し、その後、電気部品１６４のプリント
基板３８への装着を開始する。それにより部品吸着ノズ
ル１５８に適切な高さの負圧が供給されない状態で電気
部品１６４の装着作業が行われて吸着ミス等が生ずるこ
とがない。また、連通状態変更装置５９０において、絞
り部材６１０およびめくらプラグがアダプタ５９４を介
して検出装置本体５３２に取り付けられるようにされて
おり、めくらプラグ，絞り部材６１０の着脱により、嵌
合穴６０６が摩耗しても、アダプタ５９４のみを交換す
ればよく、検出装置本体５３２全部を交換する場合に比
較して交換コストが少なくて済む。

【０１１０】以上の説明から明らかなように、本実施形
態においては、部品吸着ノズル１５８が吸着具を構成
し、移動体たる回動板７０，鼓形カム用ローラ８８，鼓
形カム９０ａ〜９０ｄ，駆動用サーボモータ１０８，部
品保持ヘッド昇降装置２６０等が吸着具移動装置を構成
し、電磁方向切換弁１７９が負圧制御装置を構成し、制
御装置３３０の電磁方向切換弁１７９を制御して所定の
時期に部品吸着ノズル１５８に負圧を供給させ、供給を
遮断させる部分、鼓形カム９０ａ〜９０ｄおよび部品保
持ヘッド昇降装置２６０のヘッド昇降用カム３１８、部
品保持テープの送りおよびカバーテープ４０２を送るた
めの昇降部材４２８を昇降させるカム、制御装置３３０
の特定位置センサ６７４の出力信号に基づいて負圧の読
込みを行う部分が検査制御装置を構成している。鼓形カ
ム９０ａ〜９０ｄ，ヘッド昇降用カム３１８は部品吸着
ノズル１５８を移動，昇降させる駆動部であるととも
に、その移動，昇降を制御する制御部を兼ねているので
あり、昇降部材４２８を昇降させるカムも、昇降部材４
２８を駆動する駆動部であるとともに、昇降部材４２８
を所定の時期に昇降させる制御部を兼ねている。また、
負圧検出装置５３０および制御装置３３０の負圧センサ
５８４の検出値の読込み，部品吸着ノズル１５８につい
て適切な高さの負圧が得られているか否かの判定を行う
部分等が負圧吸着検査装置を構成している。負圧検出装
置５３０の検出装置本体５３２は、負圧吸着検査装置の
検査装置本体でもある。

【０１１１】本発明の別の実施形態を図１６ないし図２
０に基づいて説明する。本実施形態においては、図１７
および図１８に示すように、負圧センサ７２０がアダプ
タ７２２により負圧検出装置７２４の検出装置本体７２
６に近接して取り付けられるとともに、連通状態変更装
置が手動回転切換部材７３２を有する切換装置７３４と
されている。なお、図示は省略するが、負圧検出装置７
２４は、上記実施形態の負圧検出装置５３０と同様に、
取付装置によってカートリッジ支持台に取り付けられ、
検査用被駆動レバーおよび特定位置センサ等が設けられ
ている。

【０１１２】検出装置本体７２６には、前記実施形態に
おけると同様に、開口形成部材７３８が抜出防止板７４
０により検出装置本体７２６からの抜出しを防止されて
取り付けられ、開口形成部材７３８内部に開口形成部材
７３８を軸線方向に貫通して形成された通路７４４の検
出装置本体７２６の表面側の部分が負圧検出用通路７４
６の開口部を形成している。抜出防止板７４０は、固定
手段たる複数本のねじ７４２により検出装置本体７２６
に固定されている。開口形成部材７３８は、通路７４４
の負圧検出用通路７４６の開口を形成する部分の直径が
それぞれ、６種類の部品吸着ノズルの各吸着管の内径と
等しいものが６種類準備されており、負圧が検出される
部品吸着ノズルの吸着管の内径に応じて選択的に検出装
置本体７２６に取り付けられる。

【０１１３】前記アダプタ７２２は、図１８に示すよう
に、接続部７４８と、接続部７４８の中心に突設された
円形断面の通路形成部７５０とを有し、接続部７４８に
は、負圧センサ７２０のハウジング７５２から突出させ
られた接続突部７５４がシール部材７５６により気密を
保持されて同心に嵌合され、通路形成部７５０は検出装
置本体７２６に嵌合されている。

【０１１４】検出装置本体７２６には、検出装置本体７
２６の前後方向に平行な一方の側面に開口し、検出装置
本体７２６の前後方向と直角な幅方向に延びる有底の嵌
合孔７５８が形成されており、アダプタ７２２の通路形
成部７５０がシール部材７６０により気密を保持されて
嵌合されている。アダプタ７２２および負圧センサ７２
０は、固定手段の一種である複数本のボルト７６２によ
り一体的に検出装置本体７２６に固定されている。

【０１１５】アダプタ７２２の通路形成部７５０内に
は、通路７６６が同心に形成され、前記負圧センサ７２
０の接続突部７５４内の通路７６８に連通させられると
ともに、通路７６６の延出端部からは別の通路７７０が
上向きに延び出させられ、検出装置本体７２６内に形成
された通路７７２に連通させられている。通路７７２
は、開口形成部材７３８に形成された通路７４４に連通
させられており、これら通路７４４，７７２，７７０，
７６６が負圧検出用通路７４６を構成している。通路７
６６の途中からは、別の通路７７４が検出装置本体７２
６の前後方向に平行であって、前方へ突出させられ、検
出装置本体７２６内に形成された通路７７６（図１７参
照）と共に分岐通路７７８を構成している。

【０１１６】切換装置７３４の手動回転切換部材７３２
は、断面形状が円形の段付状を成し、検出装置本体７２
６の前端面（電気部品供給装置側の端面）に開口する有
底の段付状の嵌合孔７８０に回転可能に嵌合されてい
る。嵌合孔７８０は検出装置本体７２６の前後方向に平
行に設けられ、小径孔部７８２に手動回転切換部材７３
２の小径部７８４が回転可能に嵌合されるとともに、大
径孔部７８６に大径部７８８が回転可能に嵌合されてい
る。手動回転切換部材７３２が嵌合孔７８０に嵌合され
た状態で、検出装置本体７２６の前端面にカバー７９０
が固定手段としての複数本のねじ部材７９２によって固
定されることにより、手動回転切換部材７３２が軸方向
において位置決めされている。

【０１１７】手動回転切換部材７３２の小径部７８４に
は、図１７に示すように、小径部７８４の端面に開口
し、軸方向に延びる通路７９４が同心に形成され、前記
分岐通路７７８に連通させられるとともに、図１８に示
すように、６本の絞り７９６ａ〜７９６ｆが通路７９４
から放射状に延び出させられている。これら絞り７９６
ａ〜７９６ｆは４５度間隔で形成されるとともに、それ
ぞれ直径が異にされており、通路７９４から延び出させ
られた延出端部は小径部７８４の外周面に開口させられ
ている。絞り７９６ａ〜７９６ｆの各流路面積は、前記
実施形態におけると同様に、複数の部品保持ヘッドがそ
れぞれ保持する６種類の部品吸着ノズルの各吸着管の流
路面積に応じた大きさとされている。

【０１１８】検出装置本体７２６には、手動回転切換部
材７３２の回転軸線と直交し、６個の絞り７９６ａ〜７
９６ｆを含む平面内に位置し、小径孔部７８２と外部と
をつなぐ開放通路８００が形成されている。絞り７９６
ａ〜７９６ｆのうちの１つが開放通路８００と一致させ
られた状態では、分岐通路７７８がその絞りを経て外部
に連通させられる。８０２，８０４はシール部材であ
る。

【０１１９】手動回転切換部材７３２の大径部７８８の
外周面には、８個の位置決め凹部８０６が等角度間隔に
形成され、検出装置本体７２６には位置決め具８０８が
取り付けられており、これら位置決め凹部８０６および
位置決め具８０８がクリップストップ装置の一種である
位置決め装置８１４を構成している。位置決め具８０８
はボールスプリングと称されているもので、検出装置本
体７２６に、手動回転切換部材７３２の回転軸線と直交
し、垂直な方向に螺合された位置決め部材保持手段たる
ケーシング８１０と、ケーシング８１０内に軸方向に移
動可能かつ離脱不能に嵌合された位置決め部材たるボー
ル８１２と、ケーシング８１０内に収容され、ボール８
１２をケーシング８１０から突出する向きに付勢する付
勢手段の一種である弾性部材としてのスプリング（図示
省略）とを有する。位置決め装置８１４は、ボール８１
２が位置決め凹部８０６の１つに嵌入することにより、
手動回転切換部材７３２を、６個の絞り７９６ａ〜７９
６ｆの各々が前記分岐通路７７８を外部に連通させる６
個の連通位置、および手動回転切換部材７３２の小径部
７８４の絞り７９６ａと７９６ｆとの間にあって、絞り
が形成されていない部分が開放通路８００を塞ぎ、分岐
通路７７８と開放通路８００との連通を遮断する２個の
遮断位置に節度感をもって選択的に位置決めする。遮断
位置は、絞りの面積が０である特殊な連通位置であると
考えることもできる。

【０１２０】手動回転切換部材７３２の大径部７８８に
は、図１７に示すように、工具係合部たる六角形断面の
工具係合穴８１６が同心に形成されるとともに、工具係
合穴８１６に連通する工具係合部たるねじ穴８１８が同
心に形成されている。カバー７９０には円形の開口８２
０が設けられており、開口８２０から工具係合穴８１６
に工具を係合させ、手動回転切換部材７３２を回転させ
る。また、ねじ穴８１８に雄ねじ部材を螺合し、検出装
置本体７２６から離れる向きに引っ張ることにより、手
動回転切換部材７３２を嵌合孔７８０から抜き出すこと
ができる。

【０１２１】図示は省略するが、手動回転切換部材７３
２のカバー７９０の開口８２０に臨む端面には、８個の
絞り指示マークが等角度間隔に設けられ、カバー７９０
の開口８２０の周縁部には連通位置指示マークが１個設
けられている。８個の絞り指示マークは、手動回転切換
部材７３２の６個の連通位置および２個の遮断位置を表
し、連通位置指示マークは、手動回転切換部材７３２が
８個の位置のうちのいずれか１つに位置する状態で絞り
指示マークのうちの１個と一致する位置に設けられてい
る。８個の絞り指示マークはそれぞれ、そのマークが表
す連通位置の１つあるいは遮断位置に手動回転切換部材
７３２が位置するとき、連通位置指示マークと一致する
ように設けられている。そのため、いずれの絞り指示マ
ークが連通位置指示マークと一致しているかにより、手
動回転切換部材７３２の位置が作業者にわかり、手動回
転切換部材７３２の回転操作を容易に行うことができ
る。

【０１２２】本実施形態の電気部品装着システムにおい
ては、部品保持ヘッド８３０（図１６参照）は前記実施
形態におけると同様に、回動板の回動により部品吸着位
置，撮像位置および部品装着位置へ回動させられて停止
させられ、部品吸着ノズル８３２が電気部品を負圧によ
り吸着し、プリント基板に装着するが、部品吸着ノズル
８３２への負圧の供給と大気への開放との切換えは機械
的に行われ、図１６に示すように、昇降板８３３に固定
のブラケット８３４には、機械的に作動する切換弁８３
６が設けられている。なお、部品保持ヘッド８３０は６
種類の部品吸着ノズル８３２を有するが、図１６には代
表的に２個の部品吸着ノズル８３２が図示されている。

【０１２３】切換弁８３６は、部品保持ヘッド８３０の
回動軸線を中心とする一円周と直交する方向の一例であ
る上下方向に移動可能に設けられた切換部材８３８を有
し、切換部材８３８の移動により、部品吸着ノズル８３
２に負圧を供給する供給状態と、負圧を供給せず、部品
吸着ノズル８３２を大気に開放する大気開放状態とに切
り換えられる。切換部材８３８は、切換弁８３６を供給
状態に切り換えた位置（切換部材８３８の一方の移動限
度位置であって下降限度位置）と、大気開放状態に切り
換えた位置（切換部材８３８の他方の移動限度位置であ
って上昇限度位置）とにそれぞれ保たれるように構成さ
れている。

【０１２４】切換弁８３６を切り換えるために、ブラケ
ット８３４には、切換補助部材８４２が上下方向に移動
可能に設けられるとともに、付勢手段の一種である弾性
部材としてのスプリング８４４により下方へ付勢されて
いる。

【０１２５】また、部品吸着位置には、切換操作部材た
る切換レバー８５０が部品保持ヘッド８３０の回動軸線
に直角で、部品吸着位置における切換弁８３６の回動軌
跡に対する接線方向に延びる水平な軸線のまわりに回動
可能に設けられ、部品吸着位置側切換操作装置を構成し
ている。切換レバー８５０の先端部は、部品保持ヘッド
８３０が回動板の回動により部品吸着位置へ移動させら
れるとき、切換補助部材８４２と切換部材８３８との間
に位置する状態となる位置に設けられており、部品保持
ヘッド８３０が部品保持ヘッド昇降装置によって下降さ
せられるとき、切換補助部材８４２が切換レバー８５０
に係合して先端部を下方へ回動させる。切換レバー８５
０のレバー比は、切換レバー８５０の先端部の下降距離
が部品保持ヘッド８３０の下降による切換補助部材８４
２の下降距離より大きくなるように決定されており、部
品保持ヘッド８３０の下降の途中で切換レバー８５０が
切換部材８３８に係合して下方へ移動させ、切換弁８３
６が供給状態に切り換えられる。ブラケット８３４は、
切換レバー８５０が切換部材８３８を下降限度位置まで
押し下げた後も下降させられるが、その余分の下降量は
切換補助部材８４２がスプリング８４４の付勢力に抗し
て移動することにより吸収される。切換補助部材８４２
は、部品吸着ノズル８３２側に設けられて、切換レバー
８５０による切換弁８３６の切換えを補助するのであ
る。

【０１２６】電気部品の吸着後、昇降板８３３，ブラケ
ット８３４および部品保持ヘッド８３０が上昇を開始さ
せられるが、その上昇が終了する以前にこれらが回動を
開始させられるため、切換補助部材８４２も切換レバー
８５０に係合したまま回動を開始する。そして、切換補
助部材８４２が切換レバー８５０から外れれば、切換レ
バー８５０は図示しない付勢手段たるスプリングにより
原位置に戻され、次の部品保持ヘッド８３０に対応する
切換補助部材８４２と切換部材８３８との間への進入に
備えて待機する状態となる。なお、図示は省略するが、
部品装着位置には、プリント基板への電気部品の装着時
に切換部材８３８を移動させ、切換弁８３６を大気開放
状態に切り換える部品装置位置側切換操作装置が設けら
れている。

【０１２７】負圧検出装置７２４の検出装置本体７２６
には、図１６に示すように、切換弁８３６を大気開放状
態に切り換える検出装置側切換操作装置８６０が設けら
れている。検出装置側切換操作装置８６０は、図１６お
よび図１９に示すように、検出装置本体７２６にブラケ
ット８６２を介して取り付けられたローラ８６４を有す
る。なお、図１９においては、負圧検出装置７２４の負
圧検出用通路５５０、抜出防止板７４０等の図示は省略
されている。ブラケット８６２は、検出装置本体７２６
から部品保持ヘッド８３０の回動方向において下流側へ
延び出させられた後、上方へ突出させられ、突出端部に
板状の保持部材８６６が軸８６８（図２０参照）により
回動可能に取り付けられている。

【０１２８】保持部材８６６の軸８６８から延び出させ
られた延出端部には、図１９に示すように、ローラ８６
４が軸８７０により回転可能に取り付けられており、ロ
ーラ８６４の外周面が作用面８７２を構成している。ロ
ーラ８６４は、負圧検出装置７２４が部品供給位置に位
置決めされた状態で、ちょうど部品吸着位置と、部品吸
着位置に対して部品保持ヘッド８３０の回動方向におい
て下流側へ、３６０度を電気部品装着装置の回動板の数
で除した角度離れた位置との間であって、部品保持ヘッ
ド８３０の回動軸線と直交する方向において、切換弁８
３６の切換部材８３８の回動経路（図１９に一点鎖線で
示す）と一致する位置に設けられるとともに、その位置
における切換弁８３６の回動軌跡に対する接線方向と切
換部材８３８の移動方向とに直交する軸線のまわりに回
転可能に取り付けられている。保持部材８６６の回動軸
線は、ローラ８６４の回転軸線と平行とされている。

【０１２９】保持部材８６６の軸８６８から延び出させ
られた別の延出端部とブラケット８６２との間には、図
２０に示すように、付勢手段の一種である弾性部材とし
ての引張コイルスプリング８７４が設けられており、保
持部材８６６をローラ８６４が上方へ移動する向きに付
勢している。保持部材８６６の引張コイルスプリング８
７４の付勢力に基づく回動限度は、ブラケット８６２に
螺合されたストッパたるねじ部材８７６に保持部材８６
６が当接することにより規定される。この回動限度は、
ねじ部材８７６の螺合量を調節することにより調節する
ことができ、ローラ８６４の上方への移動限度位置であ
る前進端位置を調節することができる。ローラ８６４の
前進端位置は、部品保持ヘッド８３０の回動と共に切換
弁８３６が回動するとき、供給状態に切り換えられてい
る切換弁８３６の切換部材８３８の下端より上側にロー
ラ８６４の上端面が位置し、切換弁８３６を大気開放状
態に切り換える位置（上昇限度位置）へ切換部材８３８
を移動させるのに十分な位置に設定されている。

【０１３０】負圧検出装置７２４は、前記実施形態にお
けると同様に、前記カートリッジと共にカートリッジ支
持台上に取り付けられているが、本実施形態において
は、カートリッジ支持台の部品保持ヘッド８３０の回動
方向において下流側に位置することとなる端であって、
カートリッジ支持台上に取り付けられた複数のカートリ
ッジのうち、最も負圧検出装置７２４に近いカートリッ
ジに対して、そのカートリッジが部品供給位置に位置決
めされた状態で電気部品の取出しが行われ、部品吸着ノ
ズル８３２が電気部品を吸着した後、上昇させられ、回
動させられるとき、切換弁８３６の切換部材８３８にロ
ーラ８６４が干渉することのない距離を隔てて設けられ
ている。

【０１３１】本実施形態において負圧の検出は、前記実
施形態におけると同様に行われ、通路７４４の負圧検出
用通路７４６の開口を形成する部分の直径が、負圧が検
出される部品吸着ノズル８３２の吸着管８８０の内径と
等しい開口形成部材７３８が検出装置本体７２６に取り
付けられ、複数の部品保持ヘッド８３０が保持する６種
類の部品吸着ノズル８３２のうち、種類が同じ部品吸着
ノズル８３２について、分岐通路７７８を絞りを経て外
部に連通させた状態と、遮断した状態との２つの状態に
おいて負圧の検出が行われる。６個の絞り７９６ａ〜７
９６ｆのうち、いずれを用いて分岐通路７７８を外部に
連通させるかは、部品吸着ノズル８３２の吸着管８８０
の直径に応じて選択され、吸着管８８０の径が大きいほ
ど直径の大きい絞りにより分岐通路７７８が外部に連通
させられる。

【０１３２】負圧の検出時には、電気部品の吸着時と同
様に、複数の部品保持ヘッド８３０が順次部品吸着位置
へ移動させられるるとともに下降させられ、下降の途中
で切換弁８３６が供給状態に切り換えられる。部品保持
ヘッド８３０の下降により部品吸着ノズル８３２が開口
形成部材７３８に接触させられ、吸着管８８０が負圧検
出用通路７４６に連通させられた後、負圧センサ７２０
の検出値が読み込まれる。前記実施形態におけると同様
に、図示しない特定位置センサが検査用被駆動レバーを
検出してから設定時間の間、負圧センサ７２０の検出値
が繰り返し読み込まれるのである。負圧センサ７２０は
継手部材を介することなく、検出装置本体７２６に嵌合
されたアダプタ７２２により検出装置本体７２６に近接
して取り付けられているため、負圧検出用通路７４６が
短く、吸着管８８０の開口形成部材７３８への接触後、
負圧検出用通路７４６内に短時間で吸着管８８０内の負
圧と同じ高さの負圧が得られ、検出値の読込み開始時期
を早くすることができる。

【０１３３】負圧の検出後、部品保持ヘッド８３０は上
昇，回動させられる。部品保持ヘッド８３０の回動時に
検出装置側切換操作装置８６０のローラ８６４が切換弁
８３６の切換部材８３８に係合し、その円筒状の作用面
８７２の斜面の作用により、切換部材８３８が上方へ移
動させられ、切換弁８３６が大気開放状態に切り換えら
れる。切換部材８３８は、ローラ８６４の上端面に係合
する状態となる前に、上昇限度位置に至って切換弁８３
６が大気開放状態に切り換えられ、その後、ローラ８６
４は引張コイルスプリング８７４の付勢力に抗して回動
させられて下方へ退避する。そのため、切換部材８３８
に上昇限度位置から更に上昇する向きの力が加えられて
損傷することがなく、確実に上昇限度位置へ移動させら
れて切換弁８３６が大気開放状態に切り換えられる。更
に部品吸着ノズル８３２が回動させられ、切換弁８３６
の切換部材８３８がローラ８６４から外れれば、ローラ
８６４は引張コイルスプリング８７４の付勢力により前
進端位置へ戻される。

【０１３４】このように、負圧の検出後、検出装置側切
換操作装置８６０によって切換弁８３６が大気開放状態
に切り換えられることにより、複数個の部品保持ヘッド
８３０のうち、負圧が検出される部品保持ヘッド８３０
の部品吸着ノズル８３２のみについて負圧が供給され、
部品吸着位置と部品装着位置との間に位置する他の部品
保持ヘッド８３０の部品吸着ノズル８３２に負圧が供給
されて、電気部品を吸着していない吸着管８８０から負
圧が漏れることがない。

【０１３５】複数個の部品保持ヘッド８３０の各１個ず
つの部品吸着ノズル８３２について、分岐通路７７８を
絞りを経て外部に連通させた状態での負圧の検出が行わ
れたならば、カートリッジ支持台の移動により負圧検出
装置７３２が部品供給位置から外れた作業位置へ移動さ
せられ、その作業位置において作業者が手動回転切換部
材７３２を操作し、遮断位置に位置決めする。作業者は
工具係合穴８１６に工具を係合させ、所望の連通位置に
対応して設けられた絞り指示マークが連通位置指示マー
クと一致する位置へ手動回転切換部材７３２を回転させ
る。位置決め後、負圧検出装置７３２が部品供給位置へ
移動させられ、先に分岐通路７７８を絞りを経て外部に
連通させた状態で負圧の検出が行われた部品吸着ノズル
８３２について、分岐通路７７８を遮断した状態での負
圧の検出が行われる。

【０１３６】同一種類の部品吸着ノズル８３２につい
て、２種類の状態での負圧の検出が終了したならば、負
圧検出装置７３２が作業位置へ移動させられ、開口形成
部材７３８が交換される。通路７４４の負圧検出用通路
７４６の開口を形成する部分の直径が、次に負圧の検出
が行われる部品吸着ノズル８３２の吸着管８８０の内径
と等しい開口形成部材７３８が検出装置本体７２６に取
り付けられるのであり、また、手動回転切換部材７３２
が回転させられ、吸着管８３２の径に応じた径の絞りが
分岐通路７７８を外部に連通させる連通位置に位置決め
される。

【０１３７】複数の部品保持ヘッド８３０に設けられた
複数の部品吸着ノズル８３２の全部について、２種類の
状態での負圧の検出が行われたならば、前記実施形態に
おけると同様に、部品吸着ノズル８３２に適切な負圧が
得られるか否かが判定され、判定結果および検出値等が
プリンタにより記録され、出力される。６種類の部品吸
着ノズル８３２のそれぞれについて、吸着管の径に応じ
た径を有する絞りが用いられて負圧が検出されるため、
部品吸着ノズル８３２のそれぞれについて正確に詰まり
の発生を検出することができる。

【０１３８】以上の説明から明らかなように、本実施形
態においては、切換弁８３６，切換補助部材８４２，切
換レバー８５０を含む部品吸着位置側切換操作装置が負
圧制御装置を構成し、部品保持ヘッド８３０を昇降さ
せ、所定の時期に切換レバー８５０に切換弁８３６を切
り換えさせる部品保持ヘッド昇降装置のヘッド昇降用カ
ムが検査制御装置の一部を構成している。

【０１３９】連通状態変更装置は、図２１に概略的に示
すように、電磁開閉弁７００を含む切換装置７０１とし
てもよい。負圧検出用通路７０２に連通する分岐通路７
０４に絞り７０６を設け、電磁開閉弁７００を絞り７０
６と負圧検出用通路７０２との間に設ける。電磁開閉弁
７００が閉じた状態では、分岐通路７０４が遮断され、
開いた状態では分岐通路７０４が絞り７０６を介して外
部に連通させられる。部品吸着ノズルの負圧の検出は、
電磁開閉弁７００が閉じられて空気の漏れが実質的に許
容されない状態と、電磁開閉弁７００が開かれて空気の
漏れが許容される状態とにおいて行われる。

【０１４０】上記各実施形態において負圧検出装置５３
０，７２４の開口形成部材５５６，７３８には、負圧検
出用通路５５０，７４６の開口部を構成する通路が１本
ずつ形成され、吸着管１６２，８８０の内径に応じて開
口形成部材５５６，７３８が交換されていたが、図２２
および図２３に示す負圧検出装置８９８のように、１個
の開口形成部材９００に、それぞれ６種類の部品吸着ノ
ズルの吸着管の内径と等しい径を有する６本の通路９０
２ａ〜９０２ｆを設け、開口形成部材９００を回転させ
て、通路９０２ａ〜９０２ｆのうちの１つを負圧検出用
通路９０４の開口部を構成する作用位置に選択的に位置
決めするようにしてもよい。

【０１４１】開口形成部材９００は断面形状が円形を成
し、軸線方向の一方の端部に設けられた大径部９０６に
おいて、検出装置本体９０８に形成された嵌合穴９１０
に嵌合されている。開口形成部材９００には抜出防止部
材たる抜出防止板９１２が嵌合され、抜出防止板９１２
は検出装置本体９０８に形成された嵌合溝９１４に嵌合
されるとともに、固定手段たる複数本のねじ部材９１６
により検出装置本体９０８に固定されており、それによ
り開口形成部材９００が検出装置本体９０８に回転可能
かつ抜出し不能に取り付けられている。

【０１４２】開口形成部材９００には、その軸線を中心
とする一円周上に通路９０２ａ〜９０２ｆが等角度間隔
に、かつ軸線と平行な方向に貫通して形成されている。
開口形成部材９００は、検出装置本体９０８に、自身の
軸線のまわりに回転可能であって、検出装置本体９０８
に形成されて負圧検出用通路９０４を構成する通路９１
８が、６本の通路９０２ａ〜９０２ｆが設けられた上記
一円周上に位置する位置に嵌合されている。通路９１８
の直径は、６種類の吸着管のうち、最も径が大きい吸着
管の内径と等しくされており、シール部材９２０により
気密が保持されている。また、開口形成部材９００の中
心には、工具係合穴９２２が形成されている。

【０１４３】開口形成部材９００にはさらに、外周面に
開口し、軸線方向に貫通する６個の位置決め凹部たるノ
ッチ９２４が等角度間隔に形成されている。抜出防止板
９１２には、位置決め具９２８が取り付けられてノッチ
９２４と共に位置決め装置９３０を構成している。この
位置決め具９２８は、前記手動回転切換部材７３２を位
置決めする位置決め具８０８と同様に構成されており、
開口形成部材９００の回転軸線と直交する向きに取り付
けられている。位置決め部材たるボール９３２が図示し
ない付勢手段の一種であるスプリングにより付勢されて
ノッチ９２４に嵌入することにより、開口形成部材９０
０が、６本の通路９０２ａ〜９０２ｆの各々が、通路９
１８に連通し、負圧検出用通路９０４の開口部を形成す
る作用位置に位置する６個の停止位置に選択的に位置決
めされる。

【０１４４】負圧を検出する部品吸着ノズルの種類が変
わる場合には、負圧検出装置８９８が部品供給位置から
外れた作業位置へ移動させられ、作業者は工具係合穴９
２２に工具を係合させ、開口形成部材９００を回転させ
て所望の径の通路を作用位置に位置させる。作業者は、
通路９０２ａ〜９０２ｆのうちいずれが作用位置へ移動
させられたかを見ながら開口形成部材９００を回転さ
せ、開口形成部材９００は、負圧検出用通路９０４の開
口部を形成する通路が作用位置に位置する停止位置に位
置決め装置９３０により位置決めされる。

【０１４５】前記各実施形態において負圧の検出は、絞
り部材を取り付けた状態とめくらプラグを取り付けた状
態とにおいてそれぞれ、全部の部品吸着ノズルについて
行うようにされていたが、これは不可欠ではなく、例え
ば、まず、絞り部材を取り付けた状態で同一種類の部品
吸着ノズルについて負圧を検出し、正常な負圧が得られ
なかった部品吸着ノズルについてのみ、めくらプラグを
取り付けた状態で負圧を検出してもよい。手動回転切換
部材により、分岐通路を絞りを経て外部に連通させる状
態と、遮断する状態とに切り換える場合も同様である。
また、電気部品装着中に吸着ミスが生じた部品吸着ノズ
ルについてのみ負圧の検出を行ってもよい。吸着ミスが
生じたか否かは、撮像位置における部品吸着ノルの電気
部品の保持姿勢の撮像結果からわかる。

【０１４６】また、前記実施形態において、複数の部品
保持ヘッド１２０，８３０の各６個の部品吸着ノズル１
５８，８３２の各々について、吸着管１６２，８８０の
径（流路面積）に応じた径（流路面積）を有する６種類
の絞りが設けられていたが、吸着管１６２，８３０の径
が異なる部品吸着ノズル１５８，８３２毎に専用の絞り
を設けることは不可欠ではなく、絞りは、複数種類の部
品吸着ノズルに共通としてもよい。例えば、６種類の部
品吸着ノズル１５８，８３２に対して２個あるいは３個
の絞りを設けるのである。１個の絞りを複数種類の部品
吸着ノズルに共通に使用すれば、すべての部品吸着ノズ
ルについて僅かの詰まりでも検出し得るとは言い得なく
なるが、最大負圧と最小吸着可能負圧との間には相当の
差があるのが普通であるため、実際に回路部品を部品吸
着ノズルに吸着させて搬送するのに支障がない範囲で詰
まりを検出することは可能なのである。

【０１４７】さらに、複数の部品吸着ノズル８３２の各
々について、手動回転切換部材７３２を複数の連通位置
に位置させ、空気の漏れ状態を複数種類に変えて負圧を
検出し、部品吸着ノズル８３２毎に複数種類のデータを
取得してもよい。例えば、詰まりがないことが明らかな
各種類の部品吸着ノズル８３２の各々を、複数の絞りに
順次連通させて負圧を検出し、各種類の部品吸着ノズル
８３２はどの絞りにより詰まりを検出するのが適当であ
るかを調べたり、実際に各種類の部品吸着ノズル８３２
に詰まりを生じさせ、それらの各々を複数種類の絞りに
順次連通させて負圧を検出し、各部品吸着ノズル８３２
にどの程度の詰まりが生じた場合に、その詰まりをどの
絞りによって検出し得るかを調べたりするのである。ま
た、複数の部品吸着ノズル８３２の各々を複数の絞りの
各々に順次連通させて負圧を検出し、各部品吸着ノズル
８３２についてどの程度の漏れが許容されるかを調べる
こともできる。絞り部材６１０によって分岐通路５８０
を外部に連通させる場合も同様である。複数の部品吸着
ノズル１５８の各々について、複数種類の絞り部材６１
０を用いて負圧を検出するのである。

【０１４８】また、前記実施形態においては、分岐通路
を外部に連通させる絞りの流路面積は、段階的に変えら
れるようにされていたが、絞りの流路面積が連続的に変
えられる可変絞り弁を設けて、絞りの流路面積を吸着管
の流路面積に応じた大きさとしてもよい。可変絞り弁は
断面積が漸減する弁子を有し、その弁子を弁孔に対して
軸方向に相対移動させることにより、流路面積を変える
ことができるものであり、弁子は自動で移動させられる
ようにしてもよく、手動により移動させられるようにし
てもよい。

【０１４９】さらに、前記実施形態においては、６種類
の部品吸着ノズル１５８，８３２の吸着管１６２，８８
０の各々とそれぞれ同じ径の通路を有する開口形成部材
５５６，７３８が６種類設けられ、あるいは１つの開口
形成部材９００に６種類の通路９０２ａ〜９０２ｆが設
けられ、開口形成部材５５６，７３８の交換により、あ
るいは開口形成部材９００の回転操作により、負圧検出
用通路５５０，７４６，９０４の開口部の直径が吸着管
１６２，８８０の内径と同じになるようにされていた
が、負圧検出用通路の開口部の直径を全部の種類の吸着
管の内径と同じにすることは不可欠ではなく、負圧検出
用通路の開口部の直径は、複数種類の部品吸着ノズルの
吸着管の内径に対して共通の大きさとしてもよい。例え
ば、６種類の部品吸着ノズルのうち、吸着管の内径の差
が小さい２種類あるいは３種類の部品吸着ノズルについ
て、それら複数種類の部品吸着ノズルの吸着管のうち、
最も小さい吸着管の内径と同じ大きさを有する負圧検出
用通路の開口部を共用させるのである。負圧検出用通路
の開口部を共用する複数種類の吸着管のうち、内径が最
も大きい吸着管については負圧検出用通路の開口部の直
径は最適とは言えないが、負圧を検出することができ
る。

【０１５０】また、前記実施形態においては、予め定め
られた期間の間に繰り返し読み込まれた検出値のうち最
小のものがしきい値と比較されることによって、適切な
負圧が得られているか否かの判定が行われるようになっ
ていたが、予め定められた時点から予め定められた回数
の読込みが行われ、取得された複数の検出値に基づい
て、適切な負圧が得られているか否かの判定が行われる
ようにすることも可能である。例えば、それら複数の検
出値のうちの最小値、あるいは複数の検出値の平均値が
しきい値と比較されることにより判定が行われるように
してもよいのである。平均値が求められる場合、全部の
検出値の平均値が求められるようにしてもよく、最大値
および最小値を除いた検出値の平均値が求められるよう
にしてもよい。

【０１５１】さらに、開口形成部材５５６，７３８の交
換，開口形成部材９００の回転操作，手動回転切換部材
７３２の回転操作は、部品供給位置から外れた作業位置
において行われるようにされていたが、負圧検出装置５
３０，７２４，８９８を部品供給位置に位置決めした状
態において行うことが可能であれば、部品供給位置にお
いて行ってもよい。

【０１５２】漏れ状態変更装置を設けることも不可欠で
はない。例えば、吸着ノズルにおける負圧不足の原因
が、漏れであるか詰まりであるかの推定ができなくても
よいのであれば、絞りを経て適量の漏れが生じている状
態で負圧の検出を行えばよく、分岐通路を遮断すること
は不可欠ではないのであり、逆に、詰まりによる負圧不
足を検出する必要がないのであれば、分岐通路を遮断す
るのみでよく、絞りを設けることは不可欠ではないので
ある。また、複数種類の吸着ノズルの検査をする場合
に、空気を漏らすための絞りを変更することも不可欠で
はない。絞りは１種類であっても、吸着ノズルの種類に
合わせてしきい値を変更すれば、各種類の吸着ノズルに
許容限度以上の詰まりが生じているか否かを判定するこ
とができるのである。上記のようにしきい値を変更する
ことは、前述のように、２，３種類の吸着ノズルに１個
の絞りを共用する場合にも有効であり、１個の吸着ノズ
ルに専用の絞りを設ける場合であっても、意図した絞り
機能を正確に実現できないときには、しきい値を適切な
値に変更することによって、所望の詰まり状態の発生を
正確に検出することが可能になる。なお、空気を漏らし
つつ検査する場合と、空気を漏らさないで検査する場合
とでしきい値を変更することが望ましい場合もある。

【０１５３】また、前記実施形態において部品吸着ノズ
ルの吸着検査は、電気部品のプリント基板への装着に先
立って行われていたが、電気部品のプリント基板への装
着終了時に行われるようにしてもよい。装着終了時に、
カートリッジ支持台に取り付けられた多数のカートリッ
ジのうち、カートリッジ支持台移動方向において端に設
けられ、負圧検出装置に隣接するカートリッジが部品供
給位置にあり、負圧検出装置がカートリッジ支持台上
に、カートリッジ移動方向において端に設けられたカー
トリッジに対して、カートリッジの取付ピッチと等しい
ピッチで取り付けられていれば、部品供給時におけるカ
ートリッジの交替時と同様にカートリッジ支持台をカー
トリッジの取付ピッチに等しい距離移動させれば、負圧
検出装置を部品供給位置に位置決めできる。そのため、
カートリッジ支持台を移動させ、負圧検出装置を部品供
給位置に位置決めすることにより、電気部品の装着終了
時に駆動用サーボモータを停止させることなく、電気部
品の装着に続いて負圧の検出を行うことができる。負圧
検出装置がカートリッジの取付ピッチの倍数のピッチで
取り付けられ、あるいは端のカートリッジから取付ピッ
チとは関係のない距離離れた位置に設けられていれば、
カートリッジ支持台は、負圧検出装置を部品供給位置に
位置決めするのに必要な距離、移動させられる。

【０１５４】さらに、負圧検出装置は、電気部品の供給
中は部品供給テーブルから取り外し、負圧の検出時のみ
に部品供給テーブルに取り付けてもよい。負圧検出装置
は、部品供給テーブルのいずれの位置に取り付けてもよ
く、カートリッジ取付位置に空きがあれば、その位置に
取り付けてもよく、取り付けられているカートリッジを
外して取り付けてもよく、あるいは部品供給テーブルに
負圧検出装置専用の取付位置を設けておいてもよい。カ
ートリッジ取付位置に負圧検出装置を取り付けた場合、
取付位置の指示により部品供給テーブルが移動させられ
て負圧検出装置が部品供給位置へ移動させられる。負圧
検出装置は、負圧の検出後、部品供給テーブルから外さ
れる。

【０１５５】また、本発明は、エンボスタイプのテープ
化電気部品に限らず、紙タイプのテープ化電気部品、す
なわち紙製の部品保持テープに、厚さ方向に貫通する複
数の貫通穴が一定の間隔で一列に形成され、それら貫通
穴の一方の開口が、部品保持テープの一方の側に貼り付
けられたボトムテープにより塞がれて保持凹部が形成さ
れるとともに、電気部品が収容され、部品保持テープの
他方の側に貼り付けられたカバーテープにより保持凹部
が塞がれて成るテープ化電気部品であって、電気部品の
高さに応じてカートリッジ本体上における部品保持テー
プの上面の高さが異なるテープ化電気部品の保持凹部か
ら電気部品を取り出して搬送する装置や、部品保持ヘッ
ドに設けられた複数の部品吸着ノズルが互いに吸着管の
長さを異にし、ヘッド保持体の回転軸線からの距離を異
にする電気部品搬送装置等に適用することができる。電
気部品の吸着時に部品吸着ノズルの種類や部品保持テー
プの上面の高さに応じて部品保持ヘッドの昇降ストロー
クを調節するのであれば、負圧の検出時にも調節すれば
よい。必要であれば、ストッパ６５４および特定位置セ
ンサ６７０の位置を調節してもよい。

【０１５６】さらに、本発明は、間欠回転する回転テー
ブルに部品保持ヘッドが設けられた電気部品搬送装置
や、１個または複数個の吸着具を有し、１方向あるいは
一平面内において互いに直交する２方向への直線移動に
より電気部品を搬送する電気部品搬送装置等、種々の態
様の電気部品搬送装置に適用することができる。直線移
動により電気部品を搬送する電気部品搬送装置において
負圧の検出時には、吸着具は直線移動により負圧検出装
置の接触部に対向させられる。その他、特許請求の範囲
を逸脱することなく、当業者の知識に基づいて種々の
形，改良を施した態様で本発明を実施することができ
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態である負圧吸着検査装置お
よび電気部品搬送装着装置を備え、本発明の負圧吸着検
査方法が実施される電気部品装着システムを概略的に示
す平面図である。

【図２】上記電気部品搬送装着装置を示す正面断面図で
ある。

【図３】上記電気部品搬送装着装置をフレームのカバー
を除いて示す平面図である。

【図４】上記電気部品搬送装着装置の回動板が固定軸に
より支持された状態を示す正面断面図である。

【図５】上記電気部品搬送装着装置に設けられた作業位
置および作業領域を示す図である。

【図６】上記電気部品搬送装着装置の部品保持ヘッドを
示す正面断面図である。

【図７】上記部品保持ヘッドにおいて部品吸着ノズルの
選択が行われる状態を示す正面断面図である。

【図８】上記電気部品搬送装着装置を構成する部品保持
ヘッド昇降装置および固定カムを下側から見た状態を示
す図である。

【図９】図１に示す電気部品装着システムを構成する電
気部品供給装置を構成するカートリッジの要部を示す正
面図である。

【図１０】上記電気部品搬送装着装置に設けられた負圧
検出装置を示す正面図（一部断面）である。

【図１１】上記負圧検出装置の負圧検出用通路が設けら
れた部分を拡大して示す正面断面図である。

【図１２】上記負圧検出装置の負圧検出用通路が設けら
れた部分を示す平面図である。

【図１３】上記負圧検出装置を示す右側面図である。

【図１４】上記負圧検出装置に設けられた連通状態変更
装置を示す正面断面図である。

【図１５】図１に示す電気部品装着システムを制御する
制御装置のうち、本発明に関連の深い部分を示すブロッ
ク図である。

【図１６】本発明の別の実施形態である電気部品搬送装
着装置に設けられた負圧検出装置の要部を示す正面図で
ある。

【図１７】図１６に示す負圧検出装置の切換装置が設け
られた部分を示す正面断面図である。

【図１８】図１６に示す負圧検出装置の負圧センサが取
り付けられた部分を示す側面図（一部断面）である。

【図１９】図１６に示す負圧検出装置の検出装置側切換
操作装置を示す平面図（一部断面）である。

【図２０】上記検出装置側切換操作装置のローラが設け
られた部分を示す側面図である。

【図２１】本発明の更に別の実施形態である電気部品搬
送装着装置の負圧検出装置の切換装置を概略的に示す図
である。

【図２２】本発明の更に別の実施形態である電気部品搬
送装着装置の負圧検出装置の開口形成部材の別の態様を
概略的に示す平面図である。

【図２３】図２２に示す開口形成部材およびその近傍部
分を概略的に示す正面断面図である。

【符号の説明】

１２ 電気部品搬送装着装置 １４ 電気部品供給装置 ２０ カートリッジ支持台 ２２ 電気部品供給カートリッジ ７０ 回動板 ８８ 鼓形カム用ローラ ９０ａ〜９０ｄ 鼓形カム １０８ 駆動用サーボモータ １５８ 部品吸着ノズル ４８０ 取付装置 ５３０ 負圧検出装置 ５５０ 負圧検出用通路 ５８０ 分岐通路 ５９０ 連通状態変更装置 ６１０ 絞り部材 ６３２ 検査用被駆動レバー ６７０ 特定位置センサ ６９０ プリンタ ７００ 電磁開閉弁 ７０１ 切換装置 ７０２ 負圧検出用通路 ７０４ 分岐通路 ７０６ 絞り ７２０ 負圧センサ ７２４ 負圧検出装置 ７３２ 手動回転切換部材 ７３４ 切換装置 ７４６ 負圧検出用通路 ７７８ 分岐通路 ７９６ａ〜７９６ｆ 絞り ８９８ 負圧検出装置 ９０４ 負圧検出用通路

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 負圧で電気部品を吸着する吸着具と、 その吸着具を移動させる吸着具移動装置と、 前記吸着具に供給される負圧を制御する負圧制御装置
   と、 前記吸着具の負圧を検出する負圧検出装置と、 前記吸着具移動装置，前記負圧制御装置および前記負圧
   検出装置を制御することにより、前記吸着具を負圧検出
   装置の位置まで移動させるとともに負圧検出装置に吸着
   具の負圧を検出させる検査制御装置とを含むことを特徴
   とする負圧吸着検査機能を有する電気部品搬送装置。
2. 【請求項２】 当該電気部品搬送装置が、前記吸着具に
   部品供給部から電気部品を１個ずつ供給する電気部品供
   給装置を含み、前記負圧検出装置が前記吸着具と接触す
   る接触部を有し、その接触部が、前記電気部品供給装置
   の前記部品供給部に対応する位置に設けられたことを特
   徴とする請求項１に記載の電気部品搬送装置。
3. 【請求項３】 前記電気部品供給装置が、各々１種類の
   電気部品を多数保持し、各々の部品供給部から１個ずつ
   供給する複数の部品供給カートリッジと、それら部品供
   給カートリッジをそれらの部品供給部が一線に沿って並
   ぶ状態で保持する部品供給テーブルと、その部品供給テ
   ーブルと前記吸着具とを相対移動させて、吸着具と前記
   複数の部品供給カートリッジの各部品供給部とを選択的
   に対向させる部品選択装置とを含み、かつ、前記負圧検
   出装置が、それらカートリッジと同じ取付装置により前
   記部品供給テーブルに取り付けられ、前記部品供給カー
   トリッジの部品供給部に対応する位置に、前記吸着具と
   接触する接触部を有する検出装置本体を含むことを特徴
   とする請求項２に記載の電気部品搬送装置。
4. 【請求項４】 前記負圧検出装置が、少なくとも負圧検
   出時に前記吸着具に連通する負圧検出用通路と、その負
   圧検出用通路への予め定められた状態の空気漏れを許容
   する状態と空気漏れを実質的に許容しない状態とに選択
   的に変更可能な漏れ状態変更装置とを含むことを特徴と
   する請求項１ないし３のいずれか１つに記載の電気部品
   搬送装置。
5. 【請求項５】 電気部品を負圧により吸着して保持する
   吸着具の負圧吸着機能の良否を検査する負圧吸着検査装
   置であって、 検査装置本体と、 その検査装置本体に形成され、少なくとも負圧検出時に
   前記吸着具に連通する負圧検出用通路と、 その負圧検出用通路の負圧を検出する負圧センサと、 前記負圧検出用通路への予め定められた状態の空気漏れ
   を許容する状態と空気漏れを実質的に許容しない状態と
   に選択的に変更可能な漏れ状態変更装置とを含むことを
   特徴とする負圧吸着検査装置。
6. 【請求項６】 電気部品供給装置から供給される電気部
   品を負圧により吸着して保持する吸着具の負圧吸着機能
   の良否を検査する負圧吸着検査方法であって、 負圧検出装置と前記吸着具とを、電気部品供給時におけ
   る前記電気部品供給装置と吸着具との相対移動と同様に
   相対移動させることにより接触させる工程と、 前記負圧検出装置により前記吸着具内の負圧を検出させ
   る工程と、 検出された負圧に基づいて、吸着具の負圧吸着機能の良
   否を判定する工程とを含むことを特徴とする負圧吸着検
   査方法。