JPH10121641A - クリーンルームの天井 - Google Patents

クリーンルームの天井

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JPH10121641A
JPH10121641A JP9271639A JP27163997A JPH10121641A JP H10121641 A JPH10121641 A JP H10121641A JP 9271639 A JP9271639 A JP 9271639A JP 27163997 A JP27163997 A JP 27163997A JP H10121641 A JPH10121641 A JP H10121641A
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JP
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ceiling
clean room
carrier
rail
filter
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JP9271639A
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English (en)
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Eugen Feller
フェラー オイゲン
Manfred Dr Renz
レンツ マンフレート
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Meissner and Wurst GmbH and Co
Original Assignee
Meissner and Wurst GmbH and Co
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】 【課題】流体溝と例えば照明具のような付加装置とを設
けることによる天井担持構造の拡幅が避けられるように
クリーンルームの天井を構成する。 【解決手段】流体溝（７０,７１）をフィルタ要素
（３，３’）側に設ける。

Description

【発明の詳細な説明】
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、天井（特に格子天
井）担持装置内に配置されるフィルタユニットを備え、
フィルタユニットが、担持フレームを備えたフィルタ要
素を有し、フィルタ要素が、天井担持装置の保持体で支
持され、且つ少なくとも一つの流体溝を介して天井担持
装置に対して密封されているクリーンルームの天井に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】この種の公知の格子天井の場合、天井構
造体は複数のレールと、これらのレールを結合させる結
節点または連結部材とを有している。レールにはフィル
タ・ベンチレータユニットが固定されている。フィルタ
要素を天井構造体に対して密封するため、レールは流体
溝を有し、この流体溝内に、フィルタ要素担持フレーム
の密封細条部が突出して密封の用を成している。このよ
うな構成の欠点は、レールの異形横断面幅が比較的大き
くなり、有効ろ過面が縮小されてしまうことである。さ
らに、異形横断面幅が比較的大きいために、強い渦がク
リーンルーム内に発生することがある。渦を局部的に減
少させるため、フィルタ内部に穴付き板が設けられる。
格子天井用の照明具も公知の格子天井の場合異形レール
に組み込まれる。従って、この場合も異形横断面幅が拡
大して有効ろ過面が減少する。
【０００３】また、照明具をクリーンルーム側において
天井担持構造体に固定するようにした、特に吊り下げる
ようにした格子天井も知られているが、これによりクリ
ーンルームの高さが低くなってしまう。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】本発明の課題は、流体
溝と例えば照明具のような付加装置とを設けることによ
る天井担持構造の拡幅が避けられるように、冒頭で述べ
た種類のクリーンルームの天井を構成することである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するため、流体溝がフィルタ要素側に設けられている
ことを特徴とするものである。
【０００６】
【発明の作用及び効果】本発明による構成によれば、流
体溝はフィルタ要素側に設けられているので、フィルタ
要素を天井担持構造体に取り付けた位置においては流体
溝は天井担持構造体の輪郭の内部に設けられる。従っ
て、天井担持構造体の拡幅が避けられる。しかも、天井
担持構造体の幅が比較的狭くなるので、有効ろ過面を拡
大させることができる。さらに本発明による構成によれ
ば、天井の下面を平坦に形成させることができる。本発
明によるクリーンルームの天井に例えば照明具、吊り下
げ荷重体、壁固定装置等を固定する必要がある場合に
は、これらの部品を、互いに隣接しているフィルタの間
に配置させることができる。
【０００７】本発明の他の特徴は他の請求項、以下の説
明及び図面から明らかである。
【０００８】
【発明の実施形態】次に、本発明の実施形態を添付の図
面を用いて説明する。マイクロエレクトロニクス、薬品
産業、マイクロ技術／光学、食品製造、医療技術、実験
室等では、いわゆるクリーンルーム内で空気を無菌状態
及び（または）無塵状態に保つ必要がある。このためこ
の種のクリーンルームにはクリーンルーム用の天井が設
けられる。このような天井においては、空気を清浄する
ため、天井に吊るされる担持装置にフィルタユニットが
固定される。担持装置は例えば格子天井であり、担持レ
ール１及び連結部材２，２ａ（図６ないし図１１を参
照）を有する。連結部材２，２ａは担持レール１を結節
点において互いに連結させる。担持レール１と連結部材
２，２ａとは異形部材である。担持レール１はいずれも
同一に構成されているのが有利であり、他方連結部材
２，２ａは公知のように十字形状、Ｔ字形状、Ｌ字形状
を有し、延設部を備えている。担持レール１の端部は延
設部上を移動することができ、或いは延設部に担持レー
ル１を突き合わせ接合させることができる。この延設部
は担持レール１とほぼ同じ横断面を有している。図６な
いし図１１においては、一例としてＴ字状の連結部材２
と十字状の連結部材２ａについて詳細に説明する。
【０００９】図１ないし図５に示すように、担持レール
１にはフィルタユニットが固定されている。図１ないし
図５には、フィルタ３，３ａだけを付属のフィルタ担持
体４，４ａとともに図示した。フィルタ３，３ａは担持
体４，４ａの側部の受容部５，５ａ内に突出している。
受容部５，５ａは、その上部脚部６，６ａが、担持レー
ル１に連結される保持体８，８ａの肩部７，７ａ上で支
持されている。担持レール１の両長手側にはそれぞれフ
ィルタ３，３ａの一つが付属の担持体４，４ａによって
接続している。担持レール１及び連結部材並びにこれら
に固定されるフィルタ・ベンチレータユニットの配置構
成は公知である。
【００１０】連結部材２（図６ないし図１０）は、底部
側に貫通穴９を有している。貫通穴９はケーブルを貫通
させるため、またはいわゆるスプリンクラーを取り付け
るために用いることができる。特に図７と図８が示すよ
うに、貫通穴９は連結部材２の中心に設けられている。
３本の担持レール１を接続するため、これらの担持レー
ルは側部の延設部１０ないし１２に接続される。このた
め延設部１０ないし１２は、担持レールの異形横断面に
対応する異形横断面を持つように形成されている。貫通
穴９は、周回している環状壁１３によって境界づけられ
ている。本実施形態では、環状壁１３からは半径方向外
側へ四つの補強リブ１４ないし１７が対向する壁部分１
８ないし２０のほうへ延びている。補強リブ１４ないし
１７は、環状壁１３への接続領域に肉厚の接続部分２１
ないし２４を有している。接続部分２１ないし２４は円
形の横断面を有しているのが有利である。
【００１１】十字形の連結部材２ａの場合には、図１１
に示すように、貫通穴９ａは底部によって閉鎖されてい
てよい。底部は、横断面にて円弧状に下方へ湾曲し且つ
互いにＶ字状に延びている底面２５，２６を有してい
る。底面２５，２６は、貫通穴９ａの中心にある共通の
端部２７で終わっている。底面２５．２６の厚さは端部
部材２７を基点にして連続的に薄くなっており、その結
果環状壁１３ａへの移行部において最も薄くなってい
る。従って、必要な場合には底部を簡単に取り出すこと
ができる。このような底部は他の連結部材にも設けてよ
い。
【００１２】担持レール１は、長方形の中空体２８を有
している。中空体２８は半分の幅で、異形の担持レール
１の全長にわたって延びる中心細条部２９を有してい
る。中心細条部２９は、その下半分に、中空体２８の底
部３０から間隔を持って管状部分３１を有している。管
状部分３１は、天井担持構造体の取り付け位置では連結
部材２の対応する管体３２ないし３４と整列し（図
６）、例えば棒状の固定部品を受容するために用いる。
管状部分３１は中心細条部２９と一体に形成されてい
る。中空体２８の上部壁３５には、中心細条部２９に関
して対称に位置する受容部３６が設けられている。受容
部３６は、上部壁３５と一体に形成されている二つのＬ
字状の細条部３７，３８によって境界づけられている。
【００１３】細条部３７，３８の、屈曲して互いに向き
合っている脚部３９と４０は、貫通スリット４１を形成
している。貫通スリット４１は、取り付け位置において
は、担持レール１の連結部材２への接続位置に応じて連
結部材２の対応する受容部４２ないし４４と整列する。
【００１４】担持レール１の底部３０の下方には、別の
受容部４５が設けられている。受容部４５は前記受容部
３６と同一に形成されている。受容部３６，４５は、担
持レール１の縦中心面４６に関して対称に配置されてい
る。担持レール１の長手側側壁４７，４８は底部３０を
越えて下方へ延設されており、その結果その自由縁４
９，５０は、受容部４５の互いに向き合っている脚部５
１，５２と同じ高さにある。これらの脚部５１，５２も
貫通スリット５３を形成している。側壁４７，４８の延
設された部分５４，５５と受容部４５との間にはそれぞ
れ、これらから間隔を持って別の受容部５６，５７が設
けられている。両受容部は同一に構成されており、担持
レール１の縦中心面４６に関して対称に配置されてい
る。両受容部はそれぞれ長方形の輪郭を有しており、延
設された壁部分５４，５５に対向する側壁５８，５９に
貫通スリット６０，６１を有している。貫通スリット６
０，６１内には、天井構造の保持体８，８ａの肩部７，
７ａが突出している。受容部５６，５７は、それらの間
にある受容部４５と同じ高さを持ち、従って受容部４５
及び側壁４７，４８を越えて突出していない。
【００１５】フィルタ３，３ａは、フレーム状に形成さ
れたフィルタ担持体４，４ａで保持されている。フィル
タ担持体４，４ａは同一に構成されており、従って以下
ではフィルタ担持体４だけを説明する。
【００１６】フィルタ担持体（保持体）４は、図１に図
示した横断面を備える長方形のフレームとして形成され
ている。フィルタ担持体４は平坦な壁６２を有してい
る。壁６２の下部縁６３はＬ字状にフィルタ３の方向に
屈曲している。フィルタ３は、上方へ突出している縁端
６４に載置されている。上部縁６は下部縁６３とは逆の
方向に外側へ屈曲しており、フィルタ担持体４の壁６２
よりも厚い。フィルタ要素の取り付け位置においてフィ
ルタ担持体４はその屈曲した縁６により保持体８の肩部
７に載置される。
【００１７】壁６２からは、その上部縁６の下方にわず
かな間隔を持って、フィルタ３の方向に突出している水
平細条部６５が分岐している。水平細条部６５は、下部
縁６３の水平な脚部６６に平行に延びている。この水平
細条部６５の幅は脚部６６の幅に等しい。壁６２に平行
に、鉛直方向の担持壁６７が延びている。担持壁６７は
水平細条部６５に垂直に接続しており、水平細条部６５
から上下に突出している。担持壁６７は下方には比較的
わずかしか突出しておらず、他方上方には、水平細条部
６５を越え且つ担持レール１の底部３０の高さを越えて
突出している。また担持壁６７は担持レール１の横の領
域にわずかな間隔で位置している。底部３０のすぐ下方
の領域においては、担持壁６７から別の水平細条部６８
が突出している。水平細条部６８は、水平細条部６５よ
りもわずかに厚い。取り付け位置においては、フィルタ
３は担持壁６７の下部端面６９に接している。担持壁６
７は、水平細条部６５及びこの水平細条部の上にある壁
６２の壁部分とともに流体溝７０を形成している。流体
溝７０内には密封媒体が収容されている。他のフィルタ
担持体４ａは対応する流体溝７１を有している。両流体
溝７０，７１内には、下方へ底部３０を越えて突出して
いる、担持レール１の側部壁部分５４，５５が突出して
いる。これらの流体溝７０，７１により、フィルタ要素
を担持構造体に対して、特にその担持レール１に対して
申し分なく密封することが保証されている。
【００１８】保持体８，８ａはほぼ鏡対称に形成されて
いる。保持体８と８ａの違いは、保持体８の肩部７の自
由端７２が上方へ直角に屈曲しているのに対し、保持体
８ａの肩部７ａの自由端７３が下方へ直角に屈曲してい
る点にあるにすぎない。従って以下では保持体８につい
てだけ説明する。保持体８は、取り付け位置において鉛
直方向に延びる脚部７４を有している。脚部７４の上端
７５は上方へいくにしたがってわずかに肉厚になり、そ
の後Ｌ字状に屈曲した肩部７へ移行している。保持体８
の下端７６は、二つの締め付け脚部７７と７８を備えた
締め付け受容部として形成されている。締め付け脚部７
７と７８は、脚部７４よりもわずかに薄く、締め付け受
容部の基部において円弧状に丸くなって互いに移行して
いる。締め付け脚部７８は、下方へ他の脚部７７の方向
へ傾斜して延び、外側へ鈍角に湾曲した端部７９を有し
ている。保持体８ａの下端８０はこれに対応して形成さ
れている。保持体８は、その肩部７が受容部５６のスリ
ット６０を貫通して突出し、側壁５８の下部壁部分上に
載置されている。肩部７の、上方へ突出している自由端
７２は、側壁５８の上部壁部分８１に後方から係合して
いる。
【００１９】他の保持体８ａの場合、水平な肩部７ａは
受容部５７のスリット６１を貫通して突出し、側壁５９
の下部壁部分上に載置されている。肩部７ａの、下方へ
屈曲している自由端７３は、側壁５９の下部壁部分に後
方から係合している。このような構成により、両保持体
８，８ａは担持レールまたはその受容部５６と５７で申
し分なく固定されている。保持体８，８ａは受容部５
６，５７に沿って簡単に所望の取り付け位置に移動させ
ることができる。肩部７，７ａの自由端７２，７３の長
さは、これら自由端が受容部５６，５７の縦方向に対し
て交差する方向でスリット６０，６１から引き抜きでき
ないように選定されている。
【００２０】互いに対向しているフィルタ担持体４，４
ａによって形成される中空空間は、下部でカバー８２に
よって閉鎖される。カバー８２は底板８３を有してい
る。底板８３から上方へ、互いに間隔を持って位置する
二つの保持細条部８４と８５が突出している。保持細条
部８４，８５の自由端８６，８７は球状に肉厚に形成さ
れている。取り付け位置では、カバー８２は細条部８
４，８５を越えて側方へ突出しているその底部縁８８，
８９により担持体４，４ａのＬ字状の脚部６３と９０で
支持される。細条部８４，８５の肉厚の端部８６と８７
は、締め付け受容部として形成されている保持体８，８
ａの端部７６，８０内にある。底板８３の内面９３は、
底板の縦方向に対して交差する方向に波形に形成されて
いる。カバー８２はプラスチックから成るのが有利であ
る。保持体８，８ａの締め付け受容部７６，８０の脚部
７７，７８または９２，９３は弾性的に形成されてお
り、プレストレスの状態で細条部８４，８５の肉厚の端
部８６，８７に接している。締め付け受容部７６，８０
のフィルタ要素３，３ａ側の脚部７７，９３は、平らな
内面を有している。この内面には細条部８４，８５が面
接触している。締め付け受容部７６，８０の脚部７８，
９２の自由端７９または９４が屈曲しているので、また
細条部８４，８５の肉厚の端部８６，８７が円弧状の横
断面を持っているので、細条部８４，８５を簡単に受容
部に差し込むことができる。
【００２１】図２の実施形態が上記実施形態と異なって
いるのは、主に、カバーが二つの部分８２ａ，８２ｂに
よって形成され、これらの部分の間に、フィルタユニッ
トを越えて下方へ突出している壁９７のための差込貫通
穴９６が設けられていることである。壁９７は、多分割
された保持部９８，９９を介して担持レール１ａに固定
されている。保持部は、縦方向に延びている、横断面が
ほぼＵ字状の異形部分９８と、横断面がほぼ正方形の下
部の異形部分９９から成っている。異形部分９９は、延
設部１００によって上部の異形部分９８のスリット１０
１の中へ突出している。異形部分９８は、その底部１０
２が担持レール１ａの受容部５６ａと５７ａに接してお
り、且つ縦方向において互いに相前後して間隔を持って
位置し、中心に配置されている少なくとも一つの、有利
には複数個の底部側の開口部１０３を有している。この
開口部１０３を貫通して固定保持部分１０４が突出して
いる。固定保持部分１０４は好ましくはねじであり、そ
のねじ頭１０５は担持レール１ａの中心の受容部４５ａ
内にある。ねじ１０４は、座金１０７を介してナット１
０６を用いて異形部分底部１０２で支持されている。異
形部分９８の脚部１１０と１１１はその自由端１０８と
１０９の領域において拡大されており、受容部１１２と
１１３を備えている。受容部１１２と１１３にはそれぞ
れパッキン１１４または１１５が配置されている。パッ
キンはそれぞれ弾性脚部１１６または１１７を有してお
り、この弾性脚部１１６または１１７は、壁９７の取り
付け位置で、即ち異形部分９９を取り付けたときに、予
め弾性的に付勢されて異形部分９９の延設部１００で支
持され密封する。
【００２２】異形部分９９は、ほぼ正方形の輪郭を備え
た管部材として形成されており、保持部品またはこれに
類似する部品を受容するために管部材横断面内に突出す
る受容部１１８，１１９及び１２０，１２１を有してい
る。高さ方向において互いに対向している受容部１１８
と１１９は、横断面にて垂れぶた状に、ほぼ鍵穴状の開
口部１２２，１２３を備えている。両受容部１１８，１
１９は同一に形成されている。互いに対向している側方
の受容部１２０と１２１も同様に同一に形成され、壁９
７の鉛直面Ｅに関して鏡対象に位置している。受容部１
２０，１２１は、円弧状に湾曲している締め付け脚部１
２４，１２５及び１２６，１２７を有している。締め付
け脚部１２４，１２５及び１２６，１２７はそれぞれ挿
入スリット１２８または１２９を形成している。これら
の受容部では、連結棒またはこれに類似した部品を保持
させることができる。壁９７は、異形部分９９の下部の
壁１３０に固定されている。
【００２３】異形部分９９には、別個の異形部分として
形成するのが好ましい延設部１００が有利にはねじ止め
されている。延設部１００は横断面にてほぼＨ字状に形
成されており、脚部１３１，１３２を有している。脚部
１３１，１３２は、取り付け位置においては鉛直面Ｅに
平行に延び、且つ横細条部１３３を介して互いに結合さ
れている。脚部１３１，１３２は、板状の足部材１３
４，１３５から垂直に突出している。足部材１３４，１
３５は、異形部分９９の上部の壁１３６上に面接触して
載置されており、壁１３６にねじ止めされている。足部
材１３４，１３５は、脚部１３１，１３２の両側面を越
えて、鉛直面Ｅに対して横方向に突出している。
【００２４】図３の実施形態では、担持レール１ｂは担
持レール１ａと同一に形成されている。またフィルタ３
ｂ，３ｂａ、フィルタ担持体４ｂ，４ｂａ、及び保持体
８ｂ，８ｂａも図１及び図２の対応する部品と同一に形
成されている。カバー８２ｂも図１のカバー８２と同一
に形成されている。保持部８ｂの間の領域に形成されて
いるダクト１３７内には照明具１３８が配置されてい
る。照明具１３８はほぼ受容部７６ｂ，８０ｂの高さに
あり、カバー８２ｂの近くまで延びている。照明具１３
８は、担持レール１ｂに有利にはねじ止めされている。
担持レール１ｂの中央の受容部４５ｂ内には、保持体１
４１のヘッド１４０がある。保持体１４１は受容部４５
ｂから下方へダクト１３７内へ突出しており、保持体１
４１には担持体１３９が固定されている。
【００２５】照明具１３８が担持レール１ｂの横断面の
内部にしてフィルタ３ｂ，３ｂａの厚さ領域にあるの
で、格子天井の格子寸法に影響はなく、クリーンルーム
の部屋の高さを減少させない。
【００２６】図４の実施形態では、担持レール１ｃと保
持体８ｃ，８ｃａは図１の担持レール１と保持体８，８
ａと同一に形成されている。フィルタ担持体４を備えた
フィルタ３の代わりに、ブラインドフィルタが設けられ
ている。ブラインドフィルタはフィルタ担持体４ｃだけ
から成っている。フィルタ担持体４ｃは図１のフィルタ
担持体４と同一に形成されている。フィルタ３ａ及びフ
ィルタ担持体４ａ（図１）の代わりに盲板４ｃａが設け
られている。盲板４ｃａは鉛直方向の壁１４２を有し、
この壁１４２はフィルタ担持体４ｃの方向へ直角に曲げ
られた上部の縁１４３を備えている。縁１４３は壁１４
２と同一の厚さであるのが有利である。流体溝７０ｃの
下方の領域には、壁１４２に、横断面にてＺ字状の異形
部分１４４が固定され、有利には溶接されている。異形
部分１４４は、担持レール１ｃの側壁４８ｃの横にわず
かな間隔を持って延びている縦長の脚部１４５を有して
いる。脚部１４５は、横細条部１４６を介して、より短
い脚部１４７と結合されている。互いに平行な両脚部１
４５，１４７は、取り付け位置においては鉛直方向に位
置する。脚部１４７は、保持体８ｃとは逆の側で壁１４
２に接している。水平方向の横細条部１４６は、流体溝
７０ｃの底部を形成している。
【００２７】壁１４２の下縁には、横断面にてＬ字状の
レール部分１４８が固定され、有利には溶接されてい
る。レール部分１４８は、より短い鉛直方向の脚部１４
９を備えている。より長いほうの脚部１５０は、カバー
部分８２ｃの、隣接している突出縁８９ｃ上に載置され
ている。脚部１５０は、横断面にてＬ字状の接続部分１
５２の水平方向の脚部１５１まで延びている。接続部分
１５２は、鉛直方向の壁１５３に有利にはねじ止めされ
ている。脚部１５１に対して密封するため、脚部１５０
には密封ベルト１５４が固定されている。
【００２８】図５の実施形態では、担持レール１ｄ、フ
ィルタユニット３ｄ，４ｄ，３ｄａ，４ｄａ，保持体８
ｄ，８ｄａ、及びカバー部分８２ｄａ，８２ｄｂは、図
２の実施形態の対応する部分に対応している。但しカバ
ー部分８２ｄａ，８２ｄｂの間の開口部９６ｄには、鉛
直方向の壁９７の代わりに、担持体として用いられる異
形部分１５５が固定されている。異形部分１５５の下面
には、例えば搬送システムのような吊り下げ荷重体１５
６が固定されている。担持体１５５は、中央にヘッド１
５８のための受容室１５７を有している。ヘッド１５８
は、受容室の内部にある環状壁１５９で支持されてい
る。ヘッド１５８はねじピン１６０の一部である。ねじ
ピン１６０は異形部分１５５を越えて上方へ突出し、そ
のピンヘッド１６１は担持レール１ｄの中央の受容部４
５ｄ内にある。ねじピン１６０は保持体８ｄと８ｄａの
真ん中にあり、そのねじ部分１６２は異形部分１５５か
ら下方へ突出している。ねじ端１６２にはナット１６３
がねじ止めされている。ナット１６３は、座金１６４を
介して吊り下げ荷重体１５６の底部１６５に接してい
る。ナット１６３により吊り下げ荷重体１５６が異形部
分１５５に対して固定され、且つねじピン１６０は担持
レール１ｄに対して固定されている。異形部分１５５の
下面はカバー部分８２ｄａ，８２ｄｂの下面と面一であ
る。異形部分１５５は、担持レール１ｄの横断面幅範囲
内に収容されている。
【００２９】図１２の実施形態は、ほぼ図３の実施形態
に対応している。保持体８ｅ，８ｅａは下方へ延設され
ており、その結果締め付け受容部７６ｅ，８０ｅがフィ
ルタ担持体４ｅ下方の領域に設けられている。担持体１
３９ｅを固定した保持体１４１ｅも対応的に延設されて
おり、その結果照明具１３８ｅはカバー８２ｅに対して
わずかな間隔を持って位置している。照明具１３８ｅも
殆ど全部がフィルタ担持体４ｅ，４ｅａ下方の領域にあ
る。保持体７６ｅ，８０ｅは、互いに反対側にそれぞ
れ、外側へ突出する細条部１６６，１６７を有してい
る。これらの細条部は、フィルタ担持体４ｅ，４ｅａの
下縁に設けた水平方向の脚部６６ｅ，９０ｅに平行に位
置している。細条部１６６，１６７は、水平方向の脚部
６６ｅ，９０ｅの下方に間隔を持って配置されている。
細条部１６６，１６７の下面には、それぞれ穴付き板１
６８，１６９が固定されている。穴付き板１６８，１６
９は、細条部１６６，１６７から鉛直方向に下方へ延び
ており、その後水平方向へ屈曲している。穴付き板１６
８，１６９の鉛直方向部分から水平方向部分への移行部
には、カバー８２ｅがその縁８８ｅ，８９ｅによって接
している。カバー８２ｅは、空気貫流穴１７０を備えて
いる。
【００３０】フィルタ３ｅ，３ｅａを通って下方へ流動
する清浄空気は、穴付き板１６８，１６９に衝突する。
この穴付き板１６８，１６９を通って清浄空気はクリー
ンルーム内へ流出することができる。穴付き板１６８，
１６９は空気をわずかに塞き止め、その結果清浄空気は
カバー８２ｅの方向へも流動し、その穴１７０を通って
同様に下方へ流出してクリーンルーム内へ侵入すること
ができる。このようにして、カバー８２ｅの領域におい
ても清浄空気の貫流が行われ、即ち格子天井全体にわた
って清浄空気の貫流が行われる。さらに照明具１３８ｅ
は、カバー８２ｅの方向へ流動する空気により少なくと
も一部が冷却される。他の点ではこの実施形態は図３の
実施形態の構成と同一である。
【００３１】図１３の実施形態では、両フィルタ担持体
４ｆ，４ｆａの間のダクト１３７ｆ内に異形部分１７１
が収容されている。この異形部分１７１は長方形の横断
面を有し、水平方向の壁１７２によって二つのチャンバ
ー１７３と１７４に分割されている。図３において照明
具１３８に対して説明したように、異形部分１７１は保
持体１４１によってダクト１３７ｆ内に固定されてい
る。異形部分１７１内には電子送受信装置（図示せず）
を収納させることができる。
【００３２】異形部分１７１の下面には、担持体１７５
が有利には回動可能に支持されている。担持体１７５
は、少なくとも一つの送受信ダイオード１７６を有して
いる。担持体１７５は、送信信号を透過させるカバー１
７７の下方にある。カバー１７７は半円形に形成するの
が有利であり、開口部１７８を通ってカバー８２ｆの中
に突出している。カバー１７７は周回するフランジ１７
９を有している。フランジ１７９によりカバー１７７は
カバー８２ｆの背面に保持されている。ダイオード１７
６は赤外線ダイオードであるのが有利であり、異形部分
１７１内に収容されている電子送受信装置に接続されて
いる。送受信ユニットを用いると、クリーンルーム内に
ある機器、装置等を遠隔制御及び（または）データ処理
することができる。また、これらの機器、装置等から対
応する信号を送受信ユニットに送ることもできる。
【００３３】担持レール１ｆの受容部４５ｆ，５６ｆ，
５７ｆの下面には、ダクト１３７ｆ内に保持体１４１に
より中空異形部分１８０が固定されている。中空異形部
分１８０は担持レール１ｆに接しており、互いに間隔を
持って位置している二つのチャンバー１８１，１８２を
有している。チャンバー１８１，１８２は保持体１４１
の両側にあり、それぞれ長方形の横断面を有している。
両チャンバー１８１，１８２の間には細条部１８３が延
びている。細条部１８３は保持体１４１によって貫通さ
れており、同様に担持レール１ｆの下面に接している。
両チャンバー１８１，１８２は同一に構成されており、
データ及び（または）供給（例えば給電）ケーブルを収
容している。送受信ユニットは、チャンバー１８１，１
８２内に敷設されたケーブルを介して例えばコンピュー
タ、制御装置等に接続されている。
【００３４】チャンバー１８１，１８２は下方へ開口し
ており、それぞれ閉鎖部分１８４，１８５によって閉鎖
されている。閉鎖部分１８４，１８５は、互いに間隔を
持って突出している締め付けばね１８６，１８７を有し
ている。締め付けばね１８６，１８７はチャンバー１８
１，１８２内へ突出しており、閉鎖部分１８４，１８５
を締め付け保持する。必要な締め付け応力を生じさせる
ため、チャンバー１８１，１８２の側壁は下端付近に有
利には肉厚形成され、即ち内側へ突出している異形部を
備えており、その結果締め付けばね１８６，１８７は差
し込みの際に弾性的に内側へ湾曲する。
【００３５】他の点では図１３の実施形態は図３の実施
形態の場合と同一に構成され、同様に異形部分１８０が
設けられている。異形部分１８０は、図１，４，５，１
２の実施形態に設けてもよい。
【００３６】以上説明した実施形態では、流体溝７０，
７１，７０ｃはフィルタ担持体４または４ａ，４ｃａの
構成要素であり、従って流体溝はフィルタユニットの取
り付け位置では担持フレームの内側にある。これによ
り、担持レールと連結部材とによって形成される流体溝
用担持フレームを拡大させる必要がなく、その結果有効
ろ過面が縮小されない。むしろ有効ろ過面をさらに大き
くさせることができる。また、有効ろ過面が大きくなる
にもかかわらず、取り付け天井の下面を平坦に形成でき
るので有利である。さらに以上説明した実施形態の利点
として、照明具、吊り下げ荷重体、壁固定具等の組み付
け部品をフィルタ３と３ａの間に配置することが出来、
即ち異形フレームの中空空間内に配置させる必要がな
い。
【図面の簡単な説明】
【図１】本発明によるクリーンルームの天井の一部分
を、カバーを装着した状態で示した鉛直断面図である。
【図２】図１のクリーンルームの天井を、鉛直壁を取り
付けた状態で示した鉛直断面図である。
【図３】図１のクリーンルームの天井を、照明具を取り
付けた状態で示した図１に対応する図である。
【図４】図１のクリーンルームの天井を、ブラインドフ
ィルタと盲板とを取り付けた状態で示した図１に対応す
る図である。
【図５】図１のクリーンルームの天井を、吊り下げ荷重
体を取り付けた状態で示した図１に対応する鉛直断面図
である。
【図６】図１のクリーンルームの天井の担持装置の、Ｔ
型結節点として用いられる連結部材の拡大斜視図であ
る。
【図７】図６の連結部材の底面図である。
【図８】図６の連結部材の平面図である。
【図９】図６の線ＩＸ−ＩＸによる連結部材の断面図で
ある。
【図１０】図６の矢印Ｘ方向に見た図６の連結部材を示
す図である。
【図１１】十字結節点として形成された連結部材の図９
に対応する図である。
【図１２】本発明によるクリーンルームの天井の他の実
施形態の図１に対応する図である。
【図１３】本発明によるクリーンルームの天井の他の実
施形態の図１に対応する図である。
【符号の説明】
１；１ａないし１ｆ；２，２ａ 担持レール ３，３ａ フィルタ ４,４ａ;４ｂ,４ｂａ;４ｃ,４ｃａ;４ｄ,４ｄａ;４ｅ,
４ｅａ;４ｆ,４ｆａ フィルタ担持体 ８，８ａ;８ｂ,８ｂａ;８ｃ,８ｃａ;８ｄ,８ｄａ;８ｅ,
８ｅａ 保持体 ７０,７１;７０ｃ 流動溝
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 マンフレート レンツ ドイツ連邦共和国 デー・71254 ディッ ツィンゲン ホーエ ヴァルテ 21／１

Claims (43)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項１】天井担持装置内に配置されるフィルタユニ
    ットを備え、フィルタユニットが、担持フレームを備え
    たフィルタ要素を有し、フィルタ要素が、天井担持装置
    の保持体で支持され、且つ少なくとも一つの流体溝を介
    して天井担持装置に対して密封されているクリーンルー
    ムの天井において、流体溝（７０,７１;７０ｃ）がフィ
    ルタ要素側に設けられていることを特徴とするクリーン
    ルームの天井。
  2. 【請求項２】天井担持装置（１;１ａないし１ｆ;２,２
    ａ）が、少なくとも一つの細条部（５４,５５）によっ
    て流体溝（７０,７１;７０ｃ）内へ突出していることを
    特徴とする、請求項１に記載のクリーンルームの天井。
  3. 【請求項３】流体溝（７０,７１;７０ｃ）が担持フレー
    ム（４,４ａ;４ｂ,４ｂａ;４ｃ,４ｃａ;４ｄ,４ｄａ;４
    ｅ,４ｅａ;４ｆ,４ｆａ）に設けられていることを特徴
    とする、請求項１または２に記載のクリーンルームの天
    井。
  4. 【請求項４】担持フレーム（４,４ａ）が、フィルタ
    （３,３ａ）から離間する方向に向けられている細条部
    （６,６ａ）により天井担持装置（１,２）で支持されて
    いることを特徴とする、請求項１から３までのいずれか
    一つに記載のクリーンルームの天井。
  5. 【請求項５】流体溝（７０,７１;７０ｃ）が、担持フレ
    ーム（４,４ａ）の細条部（６,６ａ）とは逆の側に設け
    られていることを特徴とする、請求項４に記載のクリー
    ンルームの天井。
  6. 【請求項６】保持体（８,８ａ;８ｂ,８ｂａ;８ｃ,８ｃ
    ａ;８ｄ,８ｄａ;８ｅ,８ｅａ）が、天井担持装置（１;
    １ａないし１ｆ;２,２ａ）の担持レール（１;１ａない
    し１ｆ）の下面に設けた受容部（５６,５７;５６ａ,５
    ７ａ）内に固定されていることを特徴とする、請求項１
    から５までのいずれか一つに記載のクリーンルームの天
    井。
  7. 【請求項７】担持レール（１）が、その下面に、流体溝
    （７０,７１）内へ突出している細条部（５４,５５）に
    隣接するように、側部の受容部（５６,５７）を有して
    いることを特徴とする、請求項６に記載のクリーンルー
    ムの天井。
  8. 【請求項８】保持体（８,８ａ）が、担持レール（１）
    の側部の受容部（５６,５７）に吊るされていることを
    特徴とする、請求項１から７までのいずれか一つに記載
    のクリーンルームの天井。
  9. 【請求項９】側部の受容部（５６,５７）が、担持レー
    ル（１）の細条部（５４,５５）側に、保持体（８,８
    ａ）の細条部（７,７ａ）を貫通させるための開口部
    （６０,６１）を有していることを特徴とする、請求項
    １から８までのいずれか一つに記載のクリーンルームの
    天井。
  10. 【請求項１０】担持レール（１）が、側部の受容部（５
    ６,５７）の間に、有利にはその中央に配置され下方へ
    開口している貫通スリット（５３）を備えた別の受容部
    （４５）を有していることを特徴とする、請求項１から
    ９までのいずれか一つに記載のクリーンルームの天井。
  11. 【請求項１１】担持レール（１）の受容部（４５;５６,
    ５７）と細条部（５４,５５）が、担持レール（１）に
    設けた横断面にて有利には長方形の中空異形体（２８）
    の底部（３０）に設けられていることを特徴とする、請
    求項１から１０までのいずれか一つに記載のクリーンル
    ームの天井。
  12. 【請求項１２】中空異形体（２８）の底部（３０）に対
    向する天井（３５）に、有利には中空異形体（２８）の
    縦中心面（４６）に関して鏡対称に配置される受容部
    （３６）が設けられていることを特徴とする、請求項１
    １に記載のクリーンルームの天井。
  13. 【請求項１３】担持フレーム（４,４ａ）が、フィルタ
    （３,３ａ）のための差込穴（５）を有していることを
    特徴とする、請求項１から１２までのいずれか一つに記
    載のクリーンルームの天井。
  14. 【請求項１４】担持フレーム（４,４ａ）が、フィルタ
    （３,３ａ）から離間する方向に向けられる脚部（６）
    により保持体（８,８ａ）上に載置されていることを特
    徴とする、請求項１から１３までのいずれか一つに記載
    のクリーンルームの天井。
  15. 【請求項１５】保持体（８,８ａ）が、受容部（５６,５
    ７）内に支持される細条部（７,７ａ）により受容部
    （５６,５７）の壁部分（８１,５９）と後方から係合し
    ていることを特徴とする、請求項１から１４までのいず
    れか一つに記載のクリーンルームの天井。
  16. 【請求項１６】保持体の他端（７６,８０）が、弾性脚
    部（７７,７８;９２,９３）を備えた締付け受容部とし
    て形成されていることを特徴とする、請求項１から１５
    までのいずれか一つに記載のクリーンルームの天井。
  17. 【請求項１７】互いに対向している担持フレーム（４,
    ４ａ）の間に、有利には板状の少なくとも一つのカバー
    部分（８２）が設けられていることを特徴とする、請求
    項１から１６までのいずれか一つに記載のクリーンルー
    ムの天井。
  18. 【請求項１８】カバー部材（８２）が、有利には肉厚に
    形成した端部（８６,８７）を備えた保持細条部（８４,
    ８５）により保持体（８,８ａ）の締付け受容部（７６,
    ８０）内で保持されていることを特徴とする、請求項１
    ７に記載のクリーンルームの天井。
  19. 【請求項１９】二つのカバー（８２ａ,８２ｂ）が、互
    いに逆の側で壁部分（９７）に接続していることを特徴
    とする、請求項１７たは１８に記載のクリーンルームの
    天井。
  20. 【請求項２０】壁部分（９７）が保持部分（９８,９
    ９）により、有利には互いに結合され且つ上下に配置さ
    れる中空異形部分により担持レール（１ａ）で保持され
    ていることを特徴とする、請求項１９に記載のクリーン
    ルームの天井。
  21. 【請求項２１】少なくとも一つの保持部分（９８）が担
    持レール（１ａ）に直接固定され、有利にはねじ止めさ
    れていることを特徴とする、請求項２０に記載のクリー
    ンルームの天井。
  22. 【請求項２２】他の保持部分（９９）が、差込延設部
    （１００）により保持部分（９８）に固定されているこ
    とを特徴とする、請求項２１に記載のクリーンルームの
    天井。
  23. 【請求項２３】互いに隣接している保持体（８ｂ,８ｂ
    ａ）によって形成され、カバー（８２ｂ）によって下部
    を閉鎖されている空間（１３７）内に、少なくとも一つ
    の照明具（１３８）が配置されていることを特徴とす
    る、請求項１から２２までのいずれか一つに記載のクリ
    ーンルームの天井。
  24. 【請求項２４】照明具（１３８）が、担持レール（１
    ｂ）で保持されていることを特徴とする、請求項２３に
    記載のクリーンルームの天井。
  25. 【請求項２５】１つの担持フレーム（４ｃａ）が、盲板
    として形成されていることを特徴とする、請求項１から
    ２４までのいずれか一つに記載のクリーンルームの天
    井。
  26. 【請求項２６】担持フレーム（４ｃａ）の流体溝底部
    （１４６）が有利にはＺ字状の異形部分（１４４）によ
    って画成され、異形部分（１４４）が担持フレーム（４
    ｃａ）の壁（１４２）に固定され、有利には溶接されて
    いることを特徴とする、請求項２５に記載のクリーンル
    ームの天井。
  27. 【請求項２７】担持フレーム（４ｃａ）の壁（１４２）
    に別のレール状の異形部分（１４８）が固定され、有利
    には溶接され、この異形部分（１４８）にカバー（８２
    ｃ）の縁（８９ｃ）が接していることを特徴とする、請
    求項２６に記載のクリーンルームの天井。
  28. 【請求項２８】二つのカバー部分（８２ｄａ,８２ｄ
    ｂ）が、互いに逆の側で、吊り下げ荷重体（１５６）の
    ための担持部分に接続していることを特徴とする、請求
    項１から２７までのいずれか一つに記載のクリーンルー
    ムの天井。
  29. 【請求項２９】吊り下げ荷重体（１５６）が担持部分
    （１５５）にねじ止めされていることを特徴とする、請
    求項２８に記載のクリーンルームの天井。
  30. 【請求項３０】担持部分（１５５）が担持レール（１
    ｄ）に固定され、有利にはねじ止めされていることを特
    徴とする、請求項２８または２９に記載のクリーンルー
    ムの天井。
  31. 【請求項３１】流体溝（７０,７１）が、担持フレーム
    異形部分（４,４ａ）の横断面幅の範囲内にあることを
    特徴とする、請求項１から３０までのいずれか一つに記
    載のクリーンルームの天井。
  32. 【請求項３２】カバー部分（８２ｅ）が、担持フレーム
    （４ｅ,４ｅａ）の下方領域に配置されていることを特
    徴とする、請求項１７から３１までのいずれか一つに記
    載のクリーンルームの天井。
  33. 【請求項３３】カバー部分（８２ｅ）が空気貫通穴（１
    ７０）を備えていることを特徴とする、請求項３２に記
    載のクリーンルームの天井。
  34. 【請求項３４】カバー部分（８２ｅ）が延設された保持
    体（８ｅ,８ｅａ）に固定されていることを特徴とす
    る、請求項３２または３３に記載のクリーンルームの天
    井。
  35. 【請求項３５】カバー部分（８２ｅ）が、フィルタ（３
    ｅ,３ｅａ）の下方に間隔を持って配置されている穴付
    き板（１６８，１６９）に接続していることを特徴とす
    る、請求項３２から３４までのいずれか一つに記載のク
    リーンルームの天井。
  36. 【請求項３６】担持フレーム（４ｆ,４ｆａ）の間の領
    域に、少なくとも一つの送受信ユニットが収容されてい
    ることを特徴とする、請求項１から３５までのいずれか
    一つに記載のクリーンルームの天井。
  37. 【請求項３７】送受信ユニットが、少なくとも一つの送
    受信ダイオード（１７６）及び（または）データ無線伝
    送ユニットを有していることを特徴とする、請求項３６
    に記載のクリーンルームの天井。
  38. 【請求項３８】送受信ダイオード（１７６）が赤外線ダ
    イオードであることを特徴とする、請求項３７に記載の
    クリーンルームの天井。
  39. 【請求項３９】送受信ダイオード（１７６）が、信号を
    透過させるカバー（１７７）の下にあることを特徴とす
    る、請求項３７または３８に記載のクリーンルームの天
    井。
  40. 【請求項４０】カバー（１７７）がカバー部分（８２
    ｆ）で保持されていることを特徴とする、請求項３９に
    記載のクリーンルームの天井。
  41. 【請求項４１】担持フレーム（４ｆ,４ｆａ）の間の領
    域に、少なくとも一つの、有利には二つの異形部分（１
    ７１，１８０）が収容されていることを特徴とする、請
    求項１から４０までのいずれか一つに記載のクリーンル
    ームの天井。
  42. 【請求項４２】１つの異形部分（１７１）が電子送受信
    装置を収容していることを特徴とする、請求項４１に記
    載のクリーンルームの天井。
  43. 【請求項４３】他の異形部分（１８０）がデータ及び
    （または）供給ケーブルを収容していることを特徴とす
    る、請求項４１または４２に記載のクリーンルームの天
    井。
JP9271639A 1996-10-05 1997-10-03 クリーンルームの天井 Pending JPH10121641A (ja)

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