JPH10121247A5 - - Google Patents

Info

Publication number
JPH10121247A5
JPH10121247A5 JP1997220467A JP22046797A JPH10121247A5 JP H10121247 A5 JPH10121247 A5 JP H10121247A5 JP 1997220467 A JP1997220467 A JP 1997220467A JP 22046797 A JP22046797 A JP 22046797A JP H10121247 A5 JPH10121247 A5 JP H10121247A5
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
electrode plate
auxiliary electrode
vacuum chamber
guide bush
inner peripheral
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP1997220467A
Other languages
English (en)
Japanese (ja)
Other versions
JP3924051B2 (ja
JPH10121247A (ja
Filing date
Publication date
Application filed filed Critical
Priority to JP22046797A priority Critical patent/JP3924051B2/ja
Priority claimed from JP22046797A external-priority patent/JP3924051B2/ja
Publication of JPH10121247A publication Critical patent/JPH10121247A/ja
Publication of JPH10121247A5 publication Critical patent/JPH10121247A5/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP3924051B2 publication Critical patent/JP3924051B2/ja
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

JP22046797A 1996-08-15 1997-08-15 被膜形成用治具およびそれを用いてガイドブッシュの内周面に硬質カーボン膜を形成する方法 Expired - Fee Related JP3924051B2 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP22046797A JP3924051B2 (ja) 1996-08-15 1997-08-15 被膜形成用治具およびそれを用いてガイドブッシュの内周面に硬質カーボン膜を形成する方法

Applications Claiming Priority (7)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP21555996 1996-08-15
JP21555696 1996-08-15
JP8-215556 1996-08-19
JP8-215559 1996-08-19
JP8-217352 1996-08-19
JP21735296 1996-08-19
JP22046797A JP3924051B2 (ja) 1996-08-15 1997-08-15 被膜形成用治具およびそれを用いてガイドブッシュの内周面に硬質カーボン膜を形成する方法

Publications (3)

Publication Number Publication Date
JPH10121247A JPH10121247A (ja) 1998-05-12
JPH10121247A5 true JPH10121247A5 (enExample) 2005-06-02
JP3924051B2 JP3924051B2 (ja) 2007-06-06

Family

ID=27476740

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP22046797A Expired - Fee Related JP3924051B2 (ja) 1996-08-15 1997-08-15 被膜形成用治具およびそれを用いてガイドブッシュの内周面に硬質カーボン膜を形成する方法

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3924051B2 (enExample)

Families Citing this family (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP4957746B2 (ja) * 2009-04-13 2012-06-20 株式会社デンソー プラズマ発生装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US6056443A (en) Guide bush and method of forming film over guide bush
KR100261534B1 (ko) 가이드 부쉬 및 그 안둘레면으로의 경질 카본막 형성방법
US5922418A (en) Method of forming a DLC film over the inner surface of guide bush
US5879763A (en) Method of forming hard carbon film over inner surface of cylindrical member
JPH10121247A5 (enExample)
US5939152A (en) Method of forming hard carbon film over the inner surface of guide bush
JP3043674B2 (ja) ガイドブッシュの内周面への硬質カーボン膜形成方法
US6117496A (en) Method of forming a hard carbon film over an inner surface of a guide bush using a jig
JPWO1998006885A1 (ja) ガイドブッシュの内周面に形成された硬質カーボン膜の剥離方法
JP3924051B2 (ja) 被膜形成用治具およびそれを用いてガイドブッシュの内周面に硬質カーボン膜を形成する方法
CN1116451C (zh) 导衬的内周面上形成的硬质碳膜的剥离方法
JP3090430B2 (ja) ガイドブッシュへの被膜形成方法
JP2997215B2 (ja) 円筒状部材の内周面への被膜形成方法
JP3043670B2 (ja) ガイドブッシュの内周面に硬質カーボン膜を形成する方法
JPH11152568A (ja) 円筒状部材の内周面への硬質カーボン膜形成方法
JP2000071103A (ja) ガイドブッシュおよびガイドブッシュへのダイヤモンドライク・カ―ボン膜の形成方法
JPH11124671A (ja) ガイドブッシュ内周面への被膜形成方法
JPH10121248A (ja) ガイドブッシュおよびその内周面に硬質カーボン膜を形成する方法
JPH10110270A (ja) ガイドブッシュの内周面に硬質カーボン膜を形成する方法
JP3665247B2 (ja) ガイドブッシュ
JPH11117068A (ja) 円筒状部材の内周面への硬質カーボン膜形成方法
JPH11131234A (ja) 円筒状部材の内周面への硬質カーボン膜形成方法
JP3201773B2 (ja) ガイドブッシュの内周面への硬質カーボン膜形成方法
JP2000042802A (ja) ガイドブッシュおよびそのガイドブッシュへの被膜の形成方法
JPWO1996028270A1 (ja) ガイドブッシュおよびその内周面への硬質カーボン膜形成方法