JPH10105949A - Magnetic recording medium - Google Patents

Magnetic recording medium

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JPH10105949A
JPH10105949A JP25621796A JP25621796A JPH10105949A JP H10105949 A JPH10105949 A JP H10105949A JP 25621796 A JP25621796 A JP 25621796A JP 25621796 A JP25621796 A JP 25621796A JP H10105949 A JPH10105949 A JP H10105949A
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JP
Japan
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recording medium
magnetic recording
surface roughness
magnetic
layer
Prior art date
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Pending
Application number
JP25621796A
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Japanese (ja)
Inventor
Hirohide Mizunoya
博英 水野谷
Noriyuki Kitaori
典之 北折
Akira Shiga
章 志賀
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Kao Corp
Original Assignee
Kao Corp
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Publication date
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  • Manufacturing Of Magnetic Record Carriers (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magnetic recording medium which permits to sufficiently correspond to wave-length shortening and is excellent in running and output characteristics, by adopting a surface roughness except relative large swelling of a medium as a specific range. SOLUTION: This medium is a magnetic recording medium having a holder and a magnetic layer formed on the holder and a surface roughness (Ra) of 4-6nm measured by a laser microscope type interferometer but the surface roughness (RaF) is made to be read as 1-1.5nm when measured by the laser microscope type interferometer through a high-pass filter. The surface roughness through the high-pass filter is relative small irregularity excluding large swelling of the medium, and since a track width is small in such a short-wave recording as a shortest recording wavelength is 0.4μm or less, the surface roughness through the high-pass filter within the above-mentioned irregularity has a little influence and improves an output characteristic.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体に関
する。より詳しくは、走行性と出力特性に優れた磁気記
録媒体に関する。
[0001] The present invention relates to a magnetic recording medium. More specifically, the present invention relates to a magnetic recording medium having excellent running properties and output characteristics.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年の磁気記録は高密度記録化の方向に
あり、高周波数特性の優れた磁気記録媒体が要望されて
いる。従来は磁性粉を適当なバインダーに分散させて支
持体上に塗布したいわゆる塗布型の磁気記録媒体が主流
であり、高密度記録に対する要求を満たすために種々の
改善がなされているが、ほぼ限界に近づいている。
2. Description of the Related Art In recent years, magnetic recording is in the direction of high-density recording, and a magnetic recording medium having excellent high-frequency characteristics is demanded. Conventionally, a so-called coating type magnetic recording medium in which magnetic powder is dispersed in an appropriate binder and coated on a support is the mainstream, and various improvements have been made to meet the demand for high-density recording. Is approaching.

【0003】塗布型の磁気記録媒体を超える性能を期待
できる磁気記録媒体として、支持体に蒸着等により磁性
金属を付着させた磁性層を有するいわゆる金属薄膜型の
磁気記録媒体が開発されている。金属薄膜型の磁気記録
媒体は、磁性層にバインダーを含まないことから磁性材
料の密度を高められるため、高密度記録に有望であると
されている。金属薄膜型の磁性層としては、Co、Co
−Ni、Co−Ni−P、Co−O、Co−Ni−O、
Co−Cr、Co−Ni−Cr等が検討されている。金
属薄膜型の磁気記録媒体を実用化する際の製造法として
は、真空蒸着法が最も適しており、この方法でCo−N
i−Oからなる磁性層を形成したHi8方式VTR用テ
ープやCo−Oからなる磁性層を形成したDVC(デジ
タルビデオカセット)用テープが既に実用化されてい
る。
A so-called metal thin film type magnetic recording medium having a magnetic layer in which a magnetic metal is adhered to a support by vapor deposition or the like has been developed as a magnetic recording medium which can be expected to have a performance exceeding that of a coating type magnetic recording medium. Metal thin-film type magnetic recording media are considered to be promising for high-density recording because the magnetic layer does not contain a binder and can increase the density of a magnetic material. As the metal thin film type magnetic layer, Co, Co
-Ni, Co-Ni-P, Co-O, Co-Ni-O,
Co-Cr, Co-Ni-Cr and the like have been studied. A vacuum deposition method is most suitable as a manufacturing method when a metal thin film type magnetic recording medium is put into practical use.
Hi8 VTR tapes having a magnetic layer made of i-O and DVC (digital video cassette) tapes having a magnetic layer made of Co-O have already been put to practical use.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】金属薄膜型の磁気記録
媒体は、支持体上に金属材料を蒸着等により付着させる
ことで磁性層を形成するが、形成された磁性層表面には
微細な凹凸が存在する。このような磁性層の凹凸は、例
えばレーザー顕微鏡型干渉計により表面粗さとして測定
でき、磁気記録媒体の走行性や出力特性に影響する重要
な特性の一である。また、支持体は通常PETフィルム
等のプラスチックフィルムが用いられるが、使用するフ
ィルムの特性或いは形成される金属薄膜の応力により、
媒体全体に歪み(うねり)が生じるが、うねりが余りに
顕著であると、媒体の走行性や出力特性に影響を及ぼ
す。
In a magnetic recording medium of the metal thin film type, a magnetic layer is formed by depositing a metal material on a support by vapor deposition or the like. Exists. Such unevenness of the magnetic layer can be measured as surface roughness by, for example, a laser microscope-type interferometer, and is one of important characteristics that affect the traveling properties and output characteristics of the magnetic recording medium. In addition, a plastic film such as a PET film is usually used for the support, but depending on the characteristics of the film to be used or the stress of the formed metal thin film,
Distortion (undulation) occurs throughout the medium, but if the undulation is too noticeable, it affects the running properties and output characteristics of the medium.

【0005】このように、金属薄膜型磁気記録媒体の表
面粗さや歪みは走行性や出力特性に大きく寄与する因子
であり、両者を適正に保つことが良好な磁気記録を行う
上で重要であるが、このような観点からの検討は十分に
進められていない。特に、今後は更なる高密度記録を目
指して記録波長の短波長化が進められると考えられる
が、これに十分対応できる表面粗さやうねりを持つ磁気
記録媒体は知られていない。
As described above, the surface roughness and distortion of a metal thin film type magnetic recording medium are factors that greatly contribute to the running properties and output characteristics, and it is important to properly maintain both of them in order to perform good magnetic recording. However, studies from such a viewpoint have not been sufficiently advanced. In particular, it is thought that the recording wavelength will be shortened in order to achieve higher density recording in the future, but no magnetic recording medium having a surface roughness or undulation sufficient to cope with this is known.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記のよ
うな状況に鑑み、媒体の比較的大きなうねりを除いた表
面粗さを特定範囲とすることにより、短波長化に十分対
応でき走行性や出力特性に優れた磁気記録媒体が得られ
ることを見出し、本発明を完成するに至った。
In view of the above situation, the present inventors can sufficiently cope with the shortening of the wavelength by setting the surface roughness excluding a relatively large waviness of the medium to a specific range. The present inventors have found that a magnetic recording medium having excellent running properties and output characteristics can be obtained, and have completed the present invention.

【0007】すなわち本発明は、支持体と、該支持体上
に形成された磁性層とを有し、レーザー顕微鏡型干渉計
による表面粗さ(Ra)が4〜6nmである磁気記録媒
体であって、前記レーザー顕微鏡型干渉計により高域フ
ィルターをかけて測定した表面粗さ (RaF)が1〜1.
5nmであること特徴とする磁気記録媒体を提供するも
のである。
That is, the present invention relates to a magnetic recording medium having a support and a magnetic layer formed on the support, and having a surface roughness (Ra) of 4 to 6 nm measured by a laser microscope type interferometer. The surface roughness (Ra F ) measured by applying a high-pass filter with the laser microscope interferometer is 1 to 1.
A magnetic recording medium having a thickness of 5 nm is provided.

【0008】磁気記録媒体の表面粗さ(Ra)はレーザ
ー顕微鏡型干渉計(例えばZygo社製、モデル570
0)を用いて測定することができ、そのRaが4〜6n
mにある。本発明では更にレーザー顕微鏡型干渉計で高
域フィルター(Hi−Passフィルター)をかけて表
面粗さ (RaF)を測定し、その値が表面粗さが0.5〜
1.5nmの範囲にあることが必要である。高域フィル
ター有りの表面粗さは、媒体の大きなうねりを除いた比
較的小さな凹凸を測定するものである。最短記録波長が
0.4μm以下のような短波長記録ではトラック幅が小
さいため、高域フィルター有りの表面粗さが前記の範囲
にあれば凹凸の影響が極めて少なくなり、出力特性が良
好となる。レーザー顕微鏡型干渉計としてZygo社製
のモデル5700を用いる場合、対物レンズとして適当
な倍率のマイクロフィゾー対物レンズもしくはミラウ対
物レンズが用いられる。この装置において、フィルター
モードをOFFにして媒体の表面粗さ(Ra)が測定で
き、また高域フィルター(Hi−Passフィルター)
/FFT(高速フーリエ変換)モードとすることでフィ
ルター有りの表面粗さ(RaF)が測定できる。
The surface roughness (Ra) of the magnetic recording medium is measured by a laser microscope type interferometer (for example, model 570 manufactured by Zygo).
0), and Ra is 4-6n.
m. In the present invention, the surface roughness (Ra F ) is further measured by applying a high-pass filter (Hi-Pass filter) with a laser microscope-type interferometer, and the value is determined to be 0.5 to 0.5 μm.
It needs to be in the range of 1.5 nm. The surface roughness with the high-pass filter measures relatively small irregularities excluding a large waviness of the medium. In short wavelength recording where the shortest recording wavelength is 0.4 μm or less, since the track width is small, if the surface roughness with the high-pass filter is in the above range, the influence of the unevenness is extremely reduced, and the output characteristics are improved. . When a model 5700 manufactured by Zygo is used as a laser microscope type interferometer, a micro Fizeau objective lens or a Mirau objective lens having an appropriate magnification is used as an objective lens. In this apparatus, the surface roughness (Ra) of the medium can be measured by turning off the filter mode, and a high-pass filter (Hi-Pass filter)
By setting the mode to / FFT (fast Fourier transform) mode, the surface roughness (Ra F ) with a filter can be measured.

【0009】一方、媒体の走行性はある程度のうねりが
存在する方が望ましく、本発明ではフィルター無しで測
定した表面粗さ(Ra)が4〜6nmであれば十分な走
行性が確保できる。支持体にうねりを形成する方法とし
ては、例えば蒸着による成膜時に支持体に通常よりも大
きなテンションをかけて且つ支持体を加熱する方法が挙
げられる。
On the other hand, it is desirable for the running property of the medium to have a certain degree of undulation. In the present invention, sufficient running property can be secured if the surface roughness (Ra) measured without a filter is 4 to 6 nm. As a method of forming undulations on the support, for example, a method of applying a larger tension than usual to the support during film formation by vapor deposition and heating the support is used.

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】本発明の磁気記録媒体は、レーザ
ー顕微鏡型干渉計により測定した表面粗さRaが4〜6
nm、高域フィルターをかけて測定した表面粗さRaF
が0.5〜1.5nmの範囲にあるものであれば、磁性
層やその他の構成については特に限定はない。具体例を
下記に示す。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The magnetic recording medium of the present invention has a surface roughness Ra of 4 to 6 measured by a laser microscope type interferometer.
nm, surface roughness measured with a high-pass filter Ra F
Is in the range of 0.5 to 1.5 nm, the magnetic layer and other structures are not particularly limited. Specific examples are shown below.

【0011】本発明の磁気記録媒体においては、磁性層
は金属薄膜型のものが好ましい。金属薄膜は、通常の蒸
着やスパッタ等の方法により形成される。金属薄膜型の
磁性層を形成する磁性材料としては、通常の金属薄膜型
の磁気記録媒体の製造に用いられる強磁性金属材料が挙
げられ、例えばCo,Ni,Fe等の強磁性金属、ま
た、Fe−Co、Fe−Ni、Co−Ni、Fe−Co
−Ni、Fe−Cu、Co−Cu、Co−Au、Co−
Y、Co−La、Co−Pr、Co−Gd、Co−S
m、Co−Pt、Ni−Cu、Mn−Bi、Mn−S
b、Mn−Al、Fe−Cr、Co−Cr、Ni−C
r、Fe−Co−Cr、Ni−Co−Cr等の強磁性合
金が挙げられる。また、これら金属もしくは金属合金の
窒化物、炭化物、酸化物も好ましい。
In the magnetic recording medium of the present invention, the magnetic layer is preferably of a metal thin film type. The metal thin film is formed by a usual method such as evaporation or sputtering. Examples of the magnetic material for forming the metal thin film type magnetic layer include ferromagnetic metal materials used in the manufacture of ordinary metal thin film type magnetic recording media. For example, ferromagnetic metals such as Co, Ni, and Fe; Fe-Co, Fe-Ni, Co-Ni, Fe-Co
-Ni, Fe-Cu, Co-Cu, Co-Au, Co-
Y, Co-La, Co-Pr, Co-Gd, Co-S
m, Co-Pt, Ni-Cu, Mn-Bi, Mn-S
b, Mn-Al, Fe-Cr, Co-Cr, Ni-C
and ferromagnetic alloys such as r-Fe-Co-Cr and Ni-Co-Cr. Further, nitrides, carbides, and oxides of these metals or metal alloys are also preferable.

【0012】高密度記録のためには磁気記録媒体の磁性
層は、斜め蒸着により基材上に形成することが好まし
い。斜め蒸着の方法は特に限定されず、従来公知の方法
に準ずる。蒸着の際の真空度は10-4〜10-7Torr
程度である。蒸着による磁性層は単層構造でも多層構造
の何れでも良く、特に、酸化性ガスを導入して磁性層表
面に酸化物を形成することにより、耐久性の向上を図る
ことができる。
For high-density recording, the magnetic layer of the magnetic recording medium is preferably formed on a substrate by oblique evaporation. The method for oblique deposition is not particularly limited, and follows a conventionally known method. The degree of vacuum at the time of vapor deposition is 10 -4 to 10 -7 Torr
It is about. The magnetic layer formed by vapor deposition may have either a single layer structure or a multilayer structure. In particular, by introducing an oxidizing gas to form an oxide on the surface of the magnetic layer, the durability can be improved.

【0013】磁性層の厚さは媒体の全厚にもよるが、1
000〜3000Åが好ましく、より好ましくは150
0〜2000Åである。
The thickness of the magnetic layer depends on the total thickness of the medium.
000-3000 °, more preferably 150
0-2000 °.

【0014】更に、支持体の凹状湾曲面に更にバックコ
ート層を形成することができる。バックコート層はカー
ボンブラック等と結合剤とを分散させた塗料を0.3〜
1.0μm程度の厚さ(乾燥後)となるように塗布して
形成してもよい。その際、カーボンブラックに加えSi
2、Al23、CaCO3等のセラミックス微粒子を入
れてもよい。また、蒸着等により金属又は半金属を支持
体に付着させて形成してもよい。バックコート層として
付着する金属としては、いろいろ考えられるが、Al,
Cu,Zn,Sn,Ni,Agなど及びこれらの合金が
用いられ、Cu−Al合金が好適である。更に蒸着時に
酸化反応、炭化反応等をさせた酸化膜、炭化膜などのよ
うにセラミックス化したものも好適である。また、バッ
クコート層を形成する半金属としては、Si,Ge,A
s,Sc,Sbなどが用いられ、Siが好適である。金
属薄膜型のバックコート層の厚さは、0.05〜1.0
μm程度である。なお、金属薄膜型のバックコート層を
形成する際は、磁性層を形成する金属との剛性を考慮し
て、支持体のカッピングが生じないように留意する必要
がある。
Furthermore, a back coat layer can be further formed on the concave curved surface of the support. The back coat layer is coated with a coating material in which carbon black or the like and a binder are dispersed.
It may be formed by coating so as to have a thickness of about 1.0 μm (after drying). At that time, in addition to carbon black, Si
Ceramic fine particles such as O 2 , Al 2 O 3 , and CaCO 3 may be added. Alternatively, a metal or semimetal may be attached to a support by vapor deposition or the like. Various metals can be used as the back coat layer.
Cu, Zn, Sn, Ni, Ag and the like and alloys thereof are used, and a Cu-Al alloy is preferable. Further, ceramics such as an oxide film and a carbonized film which have been subjected to an oxidation reaction, a carbonization reaction, and the like at the time of vapor deposition are also suitable. Further, as the semimetal forming the back coat layer, Si, Ge, A
s, Sc, Sb, etc. are used, and Si is preferred. The thickness of the metal thin film type back coat layer is 0.05 to 1.0.
It is about μm. When the metal thin film type back coat layer is formed, it is necessary to take into consideration the rigidity with the metal forming the magnetic layer so as not to cause cupping of the support.

【0015】また、本発明の磁気記録媒体においては、
磁性層上に適当な保護層を形成してもよい。保護層とし
ては、ダイヤモンドライクカーボン、グラファイト、ダ
イヤモンド、酸化ケイ素、酸化アルミニウム、炭化ケイ
素、窒化炭素等からなるものが好ましい。特に金属薄膜
型の磁性層を形成する場合、ダイヤモンドライクカーボ
ン薄膜からなる保護層を形成することが好ましい。ダイ
ヤモンドライクカーボン薄膜は、RFプラズマCVD法
或いはECRプラズマCVD法等の汎用の手法により形
成できる。ダイヤモンドライクカーボン薄膜からなる保
護層の厚さは50〜200Åが好ましい。
In the magnetic recording medium of the present invention,
An appropriate protective layer may be formed on the magnetic layer. The protective layer is preferably made of diamond-like carbon, graphite, diamond, silicon oxide, aluminum oxide, silicon carbide, carbon nitride, or the like. In particular, when forming a metal thin film type magnetic layer, it is preferable to form a protective layer made of a diamond-like carbon thin film. The diamond-like carbon thin film can be formed by a general-purpose method such as an RF plasma CVD method or an ECR plasma CVD method. The thickness of the protective layer made of a diamond-like carbon thin film is preferably 50 to 200 °.

【0016】更に、本発明の磁気記録媒体においては、
磁性層又は保護層上に適当な潤滑剤からなる潤滑剤層を
形成してもよい。潤滑剤層は潤滑剤を適当な溶剤に溶解
させたものを塗布して形成してもよいし、真空中で潤滑
剤を噴霧する方法により形成してもよい。潤滑剤を噴霧
により形成する場合、超音波発振器を備えた噴霧器(以
下、超音波噴霧器という)により支持体上に形成された
磁性層上に噴霧するのが好ましい。潤滑剤としては、塗
布或いは噴霧いずれの場合も、パーフルオロポリエーテ
ル等のフッ素系潤滑剤が好ましく、具体的には、パーフ
ルオロポリエーテルとしては、分子量2000〜500
0のものが好適であり、例えば「FOMBLIN Z
DIAC」〔カルボキシル基変性、モンテカチーニ
(株) 製〕、「FOMBLIN Z DOL」〔アルコ
ール変性、モンテカチーニ (株) 製〕「デムナムSA」
(ダイキン工業製)の商品名で市販されているものが使
用できる。潤滑剤の噴霧量は、磁気記録媒体の用途や潤
滑剤の種類等を考慮して適宜決定すればよいが、形成さ
れた潤滑剤層の厚さは5〜100Å程度である。
Further, in the magnetic recording medium of the present invention,
A lubricant layer made of a suitable lubricant may be formed on the magnetic layer or the protective layer. The lubricant layer may be formed by applying a solution obtained by dissolving a lubricant in an appropriate solvent, or may be formed by spraying the lubricant in a vacuum. When the lubricant is formed by spraying, it is preferable to spray the lubricant onto the magnetic layer formed on the support with a sprayer equipped with an ultrasonic oscillator (hereinafter, referred to as an ultrasonic sprayer). As the lubricant, a fluorine-based lubricant such as perfluoropolyether is preferable in any case of coating or spraying. Specifically, the perfluoropolyether has a molecular weight of 2,000 to 500.
0 is preferable, for example, “FOMBLIN Z
DIAC] [Carboxyl group modification, Montecatini
Co., Ltd.), "FOMBLIN Z DOL" [alcohol-modified, Montecatini Co., Ltd.] "Demnum SA"
A product commercially available under the trade name of (Daikin Industries) can be used. The spray amount of the lubricant may be appropriately determined in consideration of the use of the magnetic recording medium, the type of the lubricant, and the like. The thickness of the formed lubricant layer is about 5 to 100 °.

【0017】本発明において、支持体の材料としては、
ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレンナフタレー
トのようなポリエステル;ポリエチレン、ポリプロピレ
ン等のポリオレフィン; セルローストリアセテート、セ
ルロースジアセテート等のセルロース誘導体;ポリカー
ボネート;ポリ塩化ビニル;ポリイミド;芳香族ポリア
ミド等のプラスチック等が使用される。支持体の厚さは
媒体の全厚にもよるが、2〜5.5μmが好適である。
In the present invention, the material of the support is
Polyesters such as polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate; polyolefins such as polyethylene and polypropylene; cellulose derivatives such as cellulose triacetate and cellulose diacetate; polycarbonates; polyvinyl chloride; polyimides; The thickness of the support depends on the total thickness of the medium, but is preferably 2 to 5.5 μm.

【0018】本発明の磁気記録媒体を製造方法の一例を
図1により説明する。図1は金属薄膜型の磁気記録媒体
を製造するための蒸着装置の要部概略図である。図1
中、1はフィルム、2は巻出ロール、3はキャンロー
ル、4は巻取ロール、5はボンバード処理手段、6,
6’はエクスパンダーロール、7は酸素ガス導入管、8
は金属蒸気の領域を規制する遮蔽板、9は電子銃、10
はルツボであり、Co、Fe等の磁性金属を収容してい
る。これらは図示しない真空容器内に配置されており、
該真空容器の内部は1×10-4〜5×10-7Torr程
度の真空度に保たれている。フィルム1は巻出ロール2
からキャンロール3上を経て巻取ロール4へ搬送され
る。電子銃9から電子ビームがルツボ10に収容された
磁性金属に照射され、磁性金属を気化し、キャンロール
3上を搬送されるフィルム1に磁性層を形成した。また
蒸着領域中に酸素ガス導入管7から酸素ガスを導入して
磁気特定のコントロール及び磁性金属の表面を酸化する
ことができる。
An example of a method for manufacturing the magnetic recording medium of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 1 is a schematic view of a main part of a vapor deposition apparatus for manufacturing a metal thin film type magnetic recording medium. FIG.
Among them, 1 is a film, 2 is an unwind roll, 3 is a can roll, 4 is a take-up roll, 5 is a bombarding means, 6,
6 'is an expander roll, 7 is an oxygen gas introduction pipe, 8
Is a shielding plate for regulating the area of metal vapor, 9 is an electron gun, 10
Denotes a crucible, which contains a magnetic metal such as Co or Fe. These are arranged in a vacuum vessel not shown,
The inside of the vacuum vessel is maintained at a degree of vacuum of about 1 × 10 −4 to 5 × 10 −7 Torr. Film 1 is unwinding roll 2
Is transported to a take-up roll 4 via a can roll 3. An electron beam was irradiated from an electron gun 9 onto a magnetic metal housed in a crucible 10 to vaporize the magnetic metal and form a magnetic layer on the film 1 conveyed on the can roll 3. Further, oxygen gas can be introduced from the oxygen gas introduction pipe 7 into the deposition region to control the specific magnetic properties and oxidize the surface of the magnetic metal.

【0019】本発明では、磁気記録媒体のうねりを調節
するために、フィルムに通常よりも大きな、例えば2倍
程度のテンションを懸け、キャンロールを100℃程度
に加熱して、蒸着を行う。これによりフィルムに大きな
うねりが生じる。この条件を変更することにより、うね
りの程度を調節できる。また最初からうねりのあるベー
スフィルムを用いてもよい。
In the present invention, in order to adjust the undulation of the magnetic recording medium, a film is applied with a tension larger than usual, for example, about twice, and the can roll is heated to about 100 ° C. to perform vapor deposition. This causes large undulations in the film. By changing this condition, the degree of undulation can be adjusted. Alternatively, a base film having undulation from the beginning may be used.

【0020】[0020]

【実施例】以下実施例にて本発明を説明するが、本発明
はこれらの実施例に限定されるものではない。
EXAMPLES The present invention will be described below with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples.

【0021】実施例1 (1)磁気テープの製造 厚さ6μmのPETフィルムを図1の装置にセットし、
酸素ガスを導入(350SCCM)しながら、Coを蒸
着して厚さ1600Åの磁性層を形成した。この時の蒸
着条件は、フィルム走行速度20m/分、電子銃パワー
40kWであり、キャンロールの温度は100℃、フィ
ルムテンションは8kgf/300mmとした。次い
で、この磁性層上にECRプラズマCVD法により厚さ
が100Åのダイヤモンドライクカーボン薄膜からなる
保護層を形成した。更に、この保護層上に極性基である
−OH基を持つパーフルオロポリエーテル〔ダイキン工
業社製:デムナムSA〕を厚さが20Åとなるように付
着して潤滑剤層を形成した。また、このフィルムの磁性
層形成面と反対の面に、バックコート層を形成した。バ
ックコート層は、20〜30nmの直径のカーボンを含
有するバインダーを乾燥後の厚さが0.5μmとなるよ
うにフィルムに塗布して乾燥して形成した。上記により
得られた、磁性層、ダイヤモンドライクカーボン保護
層、フッ素系潤滑層及びバックコート層が形成されたフ
ィルムを6.35mm巾に裁断し、カセットケースにロ
ーディングしビデオテープを得た。
Example 1 (1) Production of Magnetic Tape A PET film having a thickness of 6 μm was set in the apparatus shown in FIG.
While introducing oxygen gas (350 SCCM), Co was deposited to form a magnetic layer having a thickness of 1600 °. The deposition conditions at this time were a film running speed of 20 m / min, an electron gun power of 40 kW, a can roll temperature of 100 ° C., and a film tension of 8 kgf / 300 mm. Next, a protective layer made of a diamond-like carbon thin film having a thickness of 100 ° was formed on the magnetic layer by ECR plasma CVD. Further, a lubricant layer was formed by attaching a perfluoropolyether having a -OH group which is a polar group (manufactured by Daikin Industries, Ltd .: Demnum SA) on the protective layer so as to have a thickness of 20 °. A back coat layer was formed on the surface of the film opposite to the surface on which the magnetic layer was formed. The back coat layer was formed by applying a binder containing carbon having a diameter of 20 to 30 nm to a film so that the thickness after drying was 0.5 μm, and drying the film. The film obtained above, on which the magnetic layer, the diamond-like carbon protective layer, the fluorine-based lubricating layer and the back coat layer were formed, was cut into a width of 6.35 mm and loaded into a cassette case to obtain a video tape.

【0022】(2)性能評価 上記で得られたビデオテープについて、ヘッドテスター
法により出力の周波数特性と摩擦係数の測定を行った。
出力は後述の比較例2を基準(0dB)とする相対評価
とした。また、媒体の表面粗さについて、レーザー顕微
鏡型干渉計(Zygo社製、モデル5700、対物レン
ズ:マイクロフィゾー40倍)を用いてフィルター(H
i−Passフィルター、フィルタータイプ:FFT)
有りの表面粗さ(RaF) と、フィルター無しの表面粗さ
(Ra)の両方を測定した。各表面粗さは10ヵ所測定
した平均値である。これらの結果を表1に示す。
(2) Performance Evaluation The frequency characteristics and the friction coefficient of the output of the video tape obtained above were measured by the head tester method.
The output was a relative evaluation using Comparative Example 2 described later as a reference (0 dB). In addition, the surface roughness of the medium was measured using a filter (H) using a laser microscope interferometer (manufactured by Zygo, model 5700, objective lens: Micro Fizeau 40 ×).
i-Pass filter, filter type: FFT)
Both the surface roughness (Ra F ) with and without the filter (Ra) were measured. Each surface roughness is an average value measured at 10 locations. Table 1 shows the results.

【0023】実施例2 実施例1において、フィルムテンションを10kgf/
300mmとした以外は実施例1と同様にして6.35
mmテープを作製し、実施例1と同様の評価を行なっ
た。その結果を表1に示す。
Example 2 In Example 1, the film tension was changed to 10 kgf /
6.35 in the same manner as in Example 1 except that the distance was 300 mm.
mm tape was prepared and evaluated in the same manner as in Example 1. Table 1 shows the results.

【0024】実施例3 実施例1において、フィルム走行速度を35m/分、電
子銃パワーを40kW、酸素ガス導入量を530SCC
Mとし、厚さ900ÅのCo磁性層(下層)を形成した
後、フィルムを巻き取り側に巻き直し、同じ条件で当該
磁性層(下層)上に厚さ900ÅのCo磁性層を形成し
た。それ以外は実施例1と同様にして実施例1と同様の
評価を行なった。その結果を表1に示す。
Example 3 In Example 1, the film traveling speed was 35 m / min, the electron gun power was 40 kW, and the amount of introduced oxygen gas was 530 SCC.
After forming a Co magnetic layer (lower layer) having a thickness of 900 mm, the film was rewound around the winding side, and a Co magnetic layer having a thickness of 900 mm was formed on the magnetic layer (lower layer) under the same conditions. Otherwise, the same evaluation as in Example 1 was performed in the same manner as in Example 1. Table 1 shows the results.

【0025】実施例4 実施例1において、PETフィルムの厚さを4.5μm
とし、フィルムテンションを5kgf/300mmとし
た以外は実施例1と同様にして6.35mmテープを作
製し、実施例1と同様の評価を行なった。その結果を表
1に示す。
Example 4 In Example 1, the thickness of the PET film was set to 4.5 μm.
A 6.35 mm tape was produced in the same manner as in Example 1 except that the film tension was changed to 5 kgf / 300 mm, and the same evaluation as in Example 1 was performed. Table 1 shows the results.

【0026】比較例1 実施例1において、キャンロール温度を−20℃にした
以外は実施例1と同様にして6.35mmテープを作製
し、実施例1と同様の評価を行なった。その結果を表1
に示す。
Comparative Example 1 A 6.35 mm tape was produced in the same manner as in Example 1 except that the can roll temperature was changed to -20 ° C., and the same evaluation as in Example 1 was performed. Table 1 shows the results.
Shown in

【0027】比較例2 実施例1において、キャンロール温度を0℃にし、フィ
ルムテンションを2kgf/300mmとした以外は実
施例1と同様にして6.35mmテープを作製し、実施
例1と同様の評価を行なった。その結果を表1に示す。
Comparative Example 2 A 6.35 mm tape was produced in the same manner as in Example 1 except that the can roll temperature was set to 0 ° C. and the film tension was changed to 2 kgf / 300 mm. An evaluation was performed. Table 1 shows the results.

【0028】[0028]

【表1】 [Table 1]

【0029】[0029]

【発明の効果】本発明によれば、良好な出力特性と走行
性を示す磁気記録媒体が得られ、特に最短記録波長が
0.4μm以下のような高周波記録においてもその効果
が損なわれない。
According to the present invention, a magnetic recording medium exhibiting good output characteristics and running properties can be obtained, and its effect is not impaired even in high-frequency recording where the shortest recording wavelength is 0.4 μm or less.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の磁気記録媒体を製造するための蒸着装
置の例を示す概略図
FIG. 1 is a schematic view showing an example of a vapor deposition apparatus for manufacturing a magnetic recording medium of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 フィルム 3 キャンロール 9 電子ビーム銃 10 ルツボ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Film 3 Can roll 9 Electron beam gun 10 Crucible

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 支持体と、該支持体上に形成された磁性
層とを有し、レーザー顕微鏡型干渉計による表面粗さ
(Ra)が4〜6nmである磁気記録媒体であって、前
記レーザー顕微鏡型干渉計により高域フィルターをかけ
て測定した表面粗さ(RaF)が1〜1.5nmである
こと特徴とする磁気記録媒体。
1. A magnetic recording medium comprising a support and a magnetic layer formed on the support, wherein the surface roughness (Ra) of the magnetic recording medium measured by a laser microscope interferometer is 4 to 6 nm. A magnetic recording medium characterized by having a surface roughness (Ra F ) of 1 to 1.5 nm measured by a high-pass filter using a laser microscope interferometer.
【請求項2】 全厚が6μm以下である請求項1記載の
磁気記録媒体。
2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the total thickness is 6 μm or less.
【請求項3】 最短記録波長が0.4μm以下の磁気記
録システムに用いられる請求項1又は2記載の磁気記録
媒体。
3. The magnetic recording medium according to claim 1, which is used for a magnetic recording system having a minimum recording wavelength of 0.4 μm or less.
【請求項4】 前記磁性層が金属薄膜型の磁性層である
請求項1〜3の何れか1項記載の磁気記録媒体。
4. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein said magnetic layer is a metal thin film type magnetic layer.
【請求項5】 前記磁性層上に、保護層及び/又は潤滑
剤層を有する請求項1〜4の何れか1項記載の磁気記録
媒体。
5. The magnetic recording medium according to claim 1, further comprising a protective layer and / or a lubricant layer on the magnetic layer.
JP25621796A 1996-09-27 1996-09-27 Magnetic recording medium Pending JPH10105949A (en)

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