JPH09320043A - Magnetic recording medium - Google Patents

Magnetic recording medium

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JPH09320043A
JPH09320043A JP13648096A JP13648096A JPH09320043A JP H09320043 A JPH09320043 A JP H09320043A JP 13648096 A JP13648096 A JP 13648096A JP 13648096 A JP13648096 A JP 13648096A JP H09320043 A JPH09320043 A JP H09320043A
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JP
Japan
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magnetic
recording medium
layer
thickness
magnetic recording
Prior art date
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Application number
JP13648096A
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Japanese (ja)
Inventor
Noriyuki Kitaori
典之 北折
Katsumi Sasaki
克己 佐々木
Osamu Yoshida
修 吉田
Hirohide Mizunoya
博英 水野谷
Katsumi Endo
克巳 遠藤
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kao Corp
Original Assignee
Kao Corp
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To improve head touch performance and durability while maintaining output characteristics even in a magnetic recording medium of a shorter minimum recording wavelength, by setting the thickness of a protecting layer in a specific range according to the minimum recording wavelength of the magnetic recording medium. SOLUTION: The magnetic recording medium having a minimum recording wavelength of 0.45μm or smaller has a supporting body, a magnetic layer formed on the supporting body and a protecting layer formed on the magnetic layer. A thickness of the protecting layer is set to be 1/20-1/70 the minimum recording wavelength. More preferably, the protecting layer is formed of a carbon thin film or silicon thin film. Accordingly, even when the magnetic recording medium has the minimum recording wavelength shorter than 0.45μm, head touch performance and durability are improved while output characteristics are maintained.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、磁気記録媒体に関
し、更に詳しくは、出力特性と、ヘッドタッチ及び耐久
性の両方に優れた磁気記録媒体に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording medium, and more particularly to a magnetic recording medium excellent in both output characteristics and head touch and durability.

【0002】[0002]

【従来の技術】支持体上に真空中で金属を蒸着等により
付着させてなる、いわゆる金属薄膜型の磁気記録媒体
は、磁性層にバインダーを全く含まないことから磁性材
料の密度を高められるため、高密度記録に有望であると
されている。
2. Description of the Related Art A so-called metal thin film type magnetic recording medium in which a metal is deposited on a support in a vacuum in a vacuum or the like can increase the density of the magnetic material because the magnetic layer contains no binder at all. Is promising for high-density recording.

【0003】しかしながら、金属薄膜型の磁気記録媒体
の磁性層は、支持体上に金属が付着しているだけなの
で、そのままでは耐食性、耐久性が悪く、また、今日で
は更なる高密度記録が要求されており、磁気記録媒体と
ヘッドの相対速度は速くなっている。このような問題に
対応するために、磁性層上にカルボン酸系やリン酸系の
潤滑剤を塗布したり、磁性層上に非磁性金属の保護層を
設けたりすることが行われてきた。更に今日では、磁性
層上の保護層として、ダイヤモンドライクカーボンから
なる薄膜を形成する手法が注目されている。ダイヤモン
ドライクカーボン薄膜は非晶質炭素膜であり、グラファ
イト結合とダイヤモンド結合が混在する構造と考えら
れ、例えばRFプラズマCVD法、ECRプラズマCV
D法、スパッタリング法等の汎用の手法により形成でき
る。一方、今日では更なる高密度記録化が進められてお
り、それに伴い最短記録波長は短くなる傾向にある。
However, in the magnetic layer of the metal thin film type magnetic recording medium, since the metal is simply attached on the support, the corrosion resistance and durability are poor as they are, and today, higher density recording is required. Therefore, the relative speed between the magnetic recording medium and the head is increasing. In order to deal with such a problem, it has been practiced to apply a carboxylic acid-based or phosphoric acid-based lubricant on the magnetic layer or to provide a nonmagnetic metal protective layer on the magnetic layer. Further, a technique of forming a thin film made of diamond-like carbon as a protective layer on the magnetic layer has attracted attention today. The diamond-like carbon thin film is an amorphous carbon film, and is considered to have a structure in which graphite bonds and diamond bonds are mixed, for example, RF plasma CVD method, ECR plasma CV.
It can be formed by a general-purpose method such as D method or sputtering method. On the other hand, the higher recording density is being advanced today, and the shortest recording wavelength tends to be shortened accordingly.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】耐久性等を向上させる
ためには保護層を厚く形成することが望ましいが、それ
に伴いスペーシングロスが生じ、出力が低下する。ま
た、逆に保護層を薄く形成しすぎると、耐久性や走行安
定性(ヘッドタッチ)という保護層本来の性能が低下す
る。前記したように、今日では高密度記録を達成するた
めに最短記録波長は、より短くなる傾向にあるが、最短
記録波長を短くしても保護層として適切な厚さのものが
形成されていないと、十分な高密度記録が達成されない
ばかりか、保護層を形成して耐久性やヘッドタッチを改
善するという本来の目的も達成できなくなるおそれがあ
る。
In order to improve the durability and the like, it is desirable to form a thick protective layer, but with this, spacing loss occurs and the output decreases. On the other hand, if the protective layer is formed too thin, the original performance of the protective layer, such as durability and running stability (head touch), deteriorates. As described above, the shortest recording wavelength tends to be shorter to achieve high-density recording today, but even if the shortest recording wavelength is shortened, a protective layer having an appropriate thickness is not formed. Therefore, not only high density recording cannot be achieved, but also the original purpose of improving durability and head touch by forming a protective layer may not be achieved.

【0005】従来は、保護層の厚さと最短記録波長の相
関関係に着目して磁気記録媒体の性能を検討することは
行われておらず、特に記録波長が0.45μm以下の場
合においては、この両者を調節して磁気記録媒体の出力
特性と、耐久性及びヘッドタッチのバランスを改善する
方策は全く提案されていない。
Heretofore, the performance of the magnetic recording medium has not been examined by paying attention to the correlation between the thickness of the protective layer and the shortest recording wavelength. Especially, when the recording wavelength is 0.45 μm or less, No measures have been proposed to adjust both of these to improve the output characteristics of the magnetic recording medium and the balance between durability and head touch.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明者らは上記課題を
解決すべく磁気記録媒体の最短記録波長と保護層の厚さ
について鋭意研究した結果、最短記録波長が0.45μ
m以下という、より短い最短記録波長を用いる磁気記録
媒体において、これに形成する保護層の厚さを、当該最
短記録波長の1/20〜1/70とすることにより、十
分な出力特性を維持しつつ、良好な耐久性やヘッドタッ
チが得られることを見出し、本発明を完成するに至っ
た。
The inventors of the present invention have made earnest studies on the shortest recording wavelength of a magnetic recording medium and the thickness of a protective layer in order to solve the above-mentioned problems, and as a result, the shortest recording wavelength is 0.45 μm.
In a magnetic recording medium having a shorter minimum recording wavelength of m or less, a protective layer formed thereon has a thickness of 1/20 to 1/70 of the shortest recording wavelength to maintain sufficient output characteristics. At the same time, they found that good durability and head touch can be obtained, and completed the present invention.

【0007】すなわち本発明は、支持体と、該支持体上
に形成された磁性層と、該磁性層上に形成された保護層
とを有する最短記録波長が0.45μm以下の磁気記録
媒体において、前記保護層の厚さが前記最短記録波長の
1/20〜1/70であることを特徴とする特徴とする
磁気記録媒体を提供するものである。
That is, the present invention provides a magnetic recording medium having a support, a magnetic layer formed on the support, and a protective layer formed on the magnetic layer and having a shortest recording wavelength of 0.45 μm or less. The present invention provides a magnetic recording medium characterized in that the thickness of the protective layer is 1/20 to 1/70 of the shortest recording wavelength.

【0008】本発明の磁気記録媒体は、磁性層上に保護
層を有するものであるが、特に金属薄膜型の磁性層上
に、炭素薄膜もしくは珪素薄膜からなる保護層を形成す
るのが好ましい。ダイヤモンドライクカーボン薄膜は、
前記した公知の方法で形成することができ、ECRプラ
ズマCVD法が繁用される。なお、カーボンやダイヤモ
ンドライクカーボン膜中には、水素や窒素等の原子が5
0%以下含まれるものも本発明に使用できる。ECRプ
ラズマCVD法で炭素薄膜を形成する場合、原料化合物
としては、メタン、エタン等の低級アルカンやベンゼ
ン、アントラセン等の芳香族炭化水素が挙げられる。E
CRプラズマCVD法は、公知の方法に準じて行えばよ
く、一例を挙げると、マイクロ波の波長は2.45GH
z、出力は500W程度であり、真空度が10-1〜10
-4Torrとなるように原料化合物をガス化してプラズ
マ励起室へ導入するのがよい。また、珪素薄膜により保
護層を形成する方法としては、例えばSiをターゲット
として酸素ガスを流しながらスパッタする方法等が挙げ
られる。このような方法で形成される珪素薄膜はSiO
x で表される物質であると考えられる。この他、窒化ケ
イ素、窒化炭素、酸化アルミニウム、窒化ホウ素等のよ
うな酸化物、窒化物、炭化物及びそれらの複合物等が用
いられる。
The magnetic recording medium of the present invention has a protective layer on the magnetic layer, and it is particularly preferable to form a protective layer composed of a carbon thin film or a silicon thin film on the metal thin film type magnetic layer. Diamond-like carbon thin film
It can be formed by the known method described above, and the ECR plasma CVD method is often used. In the carbon or diamond-like carbon film, 5 atoms such as hydrogen and nitrogen are contained.
Those containing 0% or less can also be used in the present invention. When forming a carbon thin film by the ECR plasma CVD method, examples of raw material compounds include lower alkanes such as methane and ethane, and aromatic hydrocarbons such as benzene and anthracene. E
The CR plasma CVD method may be carried out according to a known method. For example, the microwave wavelength is 2.45 GH.
z, the output is about 500 W, and the degree of vacuum is 10 -1 to 10
It is preferable that the raw material compound is gasified so that the pressure becomes -4 Torr, and is introduced into the plasma excitation chamber. Further, as a method of forming the protective layer with a silicon thin film, for example, a method of sputtering with a target of Si while flowing an oxygen gas can be cited. The silicon thin film formed by such a method is SiO
It is considered to be a substance represented by x . In addition, oxides, nitrides, carbides such as silicon nitride, carbon nitride, aluminum oxide, boron nitride and the like, and composites thereof are used.

【0009】本発明の磁気記録媒体は最短記録波長が
0.45μm以下のものであり、上記ようにして形成さ
れる保護層の厚さは、得られる磁気記録媒体の最短記録
波長により決定される。即ち、保護層の厚さは最短記録
波長の1/20〜1/70となるように形成される。保
護層の厚さが最短記録波長の1/20よりも厚いと出力
が低下し、また逆に1/70よりも薄いと耐久性とヘッ
ドタッチが低下する。特に最短記録波長が0.35μm
以下の場合、保護層の厚さは最短記録波長の1/40〜
1/70とすることが好ましい。
The shortest recording wavelength of the magnetic recording medium of the present invention is 0.45 μm or less, and the thickness of the protective layer formed as described above is determined by the shortest recording wavelength of the obtained magnetic recording medium. . That is, the thickness of the protective layer is formed to be 1/20 to 1/70 of the shortest recording wavelength. If the thickness of the protective layer is thicker than 1/20 of the shortest recording wavelength, the output is lowered, and conversely, if it is thinner than 1/70, durability and head touch are lowered. Especially the shortest recording wavelength is 0.35 μm
In the following cases, the thickness of the protective layer is 1/40 of the shortest recording wavelength.
It is preferably 1/70.

【0010】本発明は、特に最短記録波長が0.45μ
m以下の磁気記録媒体において、保護層を形成した際の
出力と耐久性(ヘッドタッチ)のバランスの問題を解消
するために、最短記録波長に応じて保護層の厚さを調節
するものであり、具体的には、保護層を最短記録波長の
1/20〜1/70の厚さとすることが最適であること
を見出したものである。なお、最短記録波長が0.45
μmよりも大きい磁気記録媒体では、多少保護層が厚く
ても出力への影響が少なく、出力低下の問題もそれほど
懸念されない。
In the present invention, the shortest recording wavelength is 0.45 μ.
In a magnetic recording medium of m or less, the thickness of the protective layer is adjusted according to the shortest recording wavelength in order to solve the problem of balance between output and durability (head touch) when the protective layer is formed. Specifically, it has been found that it is optimum that the protective layer has a thickness of 1/20 to 1/70 of the shortest recording wavelength. The shortest recording wavelength is 0.45
In the case of a magnetic recording medium having a thickness larger than μm, even if the protective layer is somewhat thick, the effect on output is small, and the problem of output decrease is not so concerned.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】本発明の磁気記録媒体は、上記し
たように最短記録波長に応じて保護層を厚さを調節する
ことを特徴とするものであり、磁性層は塗布型でも金属
薄膜型でもよいが、特に金属薄膜型の場合に効果的であ
る。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The magnetic recording medium of the present invention is characterized in that the thickness of the protective layer is adjusted in accordance with the shortest recording wavelength as described above. Although it may be a mold, it is particularly effective in the case of a metal thin film type.

【0012】金属薄膜は、通常の蒸着やスパッタ等の方
法により形成される。金属薄膜型の磁性層を形成する磁
性材料としては、通常の金属薄膜型の磁気記録媒体の製
造に用いられる強磁性金属材料が挙げられ、例えばC
o、Ni、Fe等の強磁性金属、また、Fe−Co、F
e−Ni、Co−Ni、Fe−Co−Ni、Fe−C
u、Co−Cu、Co−Au、Co−Y、Co−La、
Co−Pr、Co−Gd、Co−Sm、Co−Pt、N
i−Cu、Mn−Bi、Mn−Sb、Mn−Al、Fe
−Cr、Co−Cr、Ni−Cr、Fe−Co−Cr、
Ni−Co−Cr等の強磁性合金が挙げられる。磁性層
としては鉄、コバルトの薄膜或いは鉄、コバルトを主体
とする強磁性合金の薄膜が好ましい。更に、鉄、コバル
ト、ニッケルを主体とする強磁性合金及びこれらの窒化
物もしくは炭化物から選ばれる少なくとも1種も好まし
い。
The metal thin film is formed by a usual method such as vapor deposition or sputtering. Examples of the magnetic material forming the metal thin film type magnetic layer include ferromagnetic metal materials used in the production of ordinary metal thin film type magnetic recording media.
Ferromagnetic metals such as o, Ni, Fe, Fe-Co, F
e-Ni, Co-Ni, Fe-Co-Ni, Fe-C
u, Co-Cu, Co-Au, Co-Y, Co-La,
Co-Pr, Co-Gd, Co-Sm, Co-Pt, N
i-Cu, Mn-Bi, Mn-Sb, Mn-Al, Fe
-Cr, Co-Cr, Ni-Cr, Fe-Co-Cr,
Examples include ferromagnetic alloys such as Ni-Co-Cr. As the magnetic layer, a thin film of iron or cobalt or a thin film of a ferromagnetic alloy mainly containing iron or cobalt is preferable. Further, at least one selected from ferromagnetic alloys mainly containing iron, cobalt and nickel and their nitrides or carbides is also preferable.

【0013】また、鉄の蒸着時に窒素イオン、酸素イオ
ン、炭素イオン等のイオンを供給する、いわゆるイオン
アシスト蒸着法により形成されたFe−N系、Fe−C
系、Fe−N−O系、Fe−C−O系、Fe−N−C−
O系の磁性層であってもよい。
Further, Fe-C and Fe-C, which are formed by a so-called ion-assisted deposition method of supplying ions such as nitrogen ions, oxygen ions and carbon ions during the deposition of iron.
System, Fe-NO system, Fe-CO system, Fe-NC-
It may be an O-based magnetic layer.

【0014】高密度記録のためには磁気記録媒体の磁性
層は、斜め蒸着により基材上に形成することが好まし
い。斜め蒸着の方法は特に限定されず、従来公知の方法
に準ずる。蒸着の際の真空度は10-4〜10-7Torr
程度である。蒸着による磁性層は単層構造でも多層構造
の何れでも良く、特に、酸化性ガスを導入して磁性層表
面に酸化物を形成することにより、耐久性の向上を図る
ことができる。金属薄膜型の磁性層の厚さは限定されな
いが、500〜5000Åが好ましく、特に800〜3
000Åが好ましい。また金属薄膜型の磁性層は一層で
も多層構造でもよい。
For high density recording, the magnetic layer of the magnetic recording medium is preferably formed on a substrate by oblique evaporation. The method for oblique deposition is not particularly limited, and follows a conventionally known method. The degree of vacuum at the time of vapor deposition is 10 -4 to 10 -7 Torr
It is a degree. The magnetic layer formed by vapor deposition may have either a single-layer structure or a multi-layer structure, and in particular, the durability can be improved by introducing an oxidizing gas to form an oxide on the surface of the magnetic layer. The thickness of the metal thin film type magnetic layer is not limited, but is preferably 500 to 5000 Å, and particularly 800 to 3
000Å is preferable. Further, the metal thin film type magnetic layer may have a single layer structure or a multilayer structure.

【0015】また、磁性層を塗布型とする場合は通常こ
の分野で用いられる磁性粉末と、通常使用されている各
種添加剤、例えば分散剤、研磨剤、潤滑剤などを適宜に
含む磁性塗料から磁性層を形成すればよい。特に好まし
い磁性粉末としては、鉄を主体とする針状金属粉末(メ
タル粉末)、針状コバルト被着酸化鉄及び六方晶強磁性
粉末が挙げられる。
When the magnetic layer is of a coating type, the magnetic powder usually used in this field and a magnetic coating material containing various additives usually used, such as a dispersant, an abrasive and a lubricant, are appropriately added. The magnetic layer may be formed. Particularly preferable magnetic powders include acicular metal powders containing iron as a main component (metal powders), acicular cobalt-coated iron oxides and hexagonal ferromagnetic powders.

【0016】更に、塗布型、金属薄膜型いずれの磁性層
を形成する場合も、支持体の磁性層を形成する面と反対
の面に更にバックコート層を形成することができる。バ
ックコート層はカーボンブラック及び/又はセラミック
ス微粒子等と結合剤とを分散させた塗料を0.3〜1.
0μm程度の厚さ(乾燥後)となるように塗布して形成
してもよいし、蒸着等により金属又は半金属を支持体に
付着させて形成してもよい。バックコート層として付着
する金属としては、いろいろ考えられるが、Al,C
u,Zn,Sn,Ni,Agなど及びこれらの合金が用
いられ、Cu−Al合金が好適である。更に蒸着時に酸
化、炭化並びに窒化などをさせることにより、酸化膜、
炭化膜、窒化膜及びそれらの複合物等のようにセラミッ
クス化したものは特に好適である。また、バックコート
層を形成する半金属としては、Si,Ge,As,S
c,Sbなどが用いられ、Siが好適である。金属薄膜
型のバックコート層の厚さは、0.05〜1.0μm程
度である。
Further, in forming either a coating type or a metal thin film type magnetic layer, a back coat layer can be further formed on the surface of the support opposite to the surface on which the magnetic layer is formed. The back coat layer is made of a coating material in which carbon black and / or ceramic fine particles and a binder are dispersed.
It may be formed by coating so as to have a thickness of about 0 μm (after drying), or may be formed by attaching a metal or semimetal to a support by vapor deposition or the like. There are various conceivable metals to be attached as the back coat layer, but Al, C
u, Zn, Sn, Ni, Ag and the like and alloys thereof are used, and Cu-Al alloy is preferable. Furthermore, by performing oxidation, carbonization and nitridation at the time of vapor deposition, an oxide film,
Ceramics such as a carbonized film, a nitrided film and a composite thereof are particularly suitable. Further, as the semimetal forming the back coat layer, Si, Ge, As, S
c, Sb, etc. are used, and Si is preferable. The thickness of the metal thin film type back coat layer is about 0.05 to 1.0 μm.

【0017】更に、本発明では保護層上に適当な潤滑剤
からなる潤滑剤層を形成してもよい。潤滑剤層は潤滑剤
を適当な溶剤に溶解させたものを塗布して形成してもよ
いし、真空中で潤滑剤を噴霧する方法により形成しても
よい。潤滑剤を噴霧により形成する場合、超音波発振器
を備えた噴霧器(以下、超音波噴霧器という)により支
持体上に形成された磁性層上に噴霧するのが好ましい。
潤滑剤としては、塗布或いは噴霧いずれの場合も、パー
フルオロポリエーテル等のフッ素系潤滑剤が好ましく、
具体的には、パーフルオロポリエーテルとしては、分子
量2000〜5000のものが好適であり、例えば「F
OMBLIN Z DIAC」〔カルボキシル基変性、
モンテカチーニ (株) 製〕、「FOMBLIN Z D
OL」〔アルコール変性、モンテカチーニ (株) 製〕
「デムナムSA」(ダイキン工業製)などの商品名で市
販されているものが使用できる。潤滑剤の噴霧量は、磁
気記録媒体の用途や潤滑剤の種類等を考慮して適宜決定
すればよいが、形成された潤滑剤層の厚さは5〜100
Å程度である。
Further, in the present invention, a lubricant layer made of a suitable lubricant may be formed on the protective layer. The lubricant layer may be formed by applying a solution obtained by dissolving a lubricant in an appropriate solvent, or may be formed by spraying the lubricant in a vacuum. When the lubricant is formed by spraying, it is preferable to spray the lubricant onto the magnetic layer formed on the support with a sprayer equipped with an ultrasonic oscillator (hereinafter, referred to as an ultrasonic sprayer).
As the lubricant, in either case of coating or spraying, a fluorine-based lubricant such as perfluoropolyether is preferable,
Specifically, as the perfluoropolyether, those having a molecular weight of 2,000 to 5,000 are suitable.
OMBLIN Z DIAC "[carboxyl group modified,
Montecatini Co., Ltd.], “FOMBLIN ZD
OL "[alcohol modified, Montecatini Co., Ltd.]
Commercially available products such as "Demnum SA" (manufactured by Daikin Industries) can be used. The amount of lubricant sprayed may be appropriately determined in consideration of the use of the magnetic recording medium, the type of lubricant, etc., but the thickness of the formed lubricant layer is 5 to 100.
It is about Å.

【0018】また、本発明の磁気記録媒体に用いられる
支持体としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエ
チレンナフタレートのようなポリエステル;ポリエチレ
ン、ポリプロピレン等のポリオレフィン; セルロースト
リアセテート、セルロースジアセテート等のセルロース
誘導体;ポリカーボネート;ポリ塩化ビニル;ポリイミ
ド;芳香族ポリアミド等のプラスチック等が使用され
る。これらの支持体の厚さは2.5〜50μm程度であ
る。
The support used in the magnetic recording medium of the present invention includes polyesters such as polyethylene terephthalate and polyethylene naphthalate; polyolefins such as polyethylene and polypropylene; cellulose derivatives such as cellulose triacetate and cellulose diacetate; polycarbonates; Polyvinyl chloride; polyimide; plastics such as aromatic polyamide are used. The thickness of these supports is about 2.5 to 50 μm.

【0019】[0019]

【実施例】以下に本発明の実施例を説明する。しかしな
がら、本発明はこれらの実施例に限定されるものではな
い。
Embodiments of the present invention will be described below. However, the invention is not limited to these examples.

【0020】実施例1 厚さ6.3μmのPETフィルム上に厚さ1000Åの
Coの磁性層を二層積層して二層構造の磁性層を形成し
た。ここで、磁性層は、図1に示される蒸着装置によ
り、一層ずつ形成した。図1中、1はフィルム、2は巻
出ロール、3はキャンロール、4は巻取ロール、5はボ
ンバード処理手段、6,6’はエクスパンダーロール、
7は酸素ガス導入管、8は金属蒸気の領域を規制する遮
蔽板、9は電子銃、10はルツボである。これらは図示
しない真空容器内に配置されており、該真空容器の内部
は1×10-4〜1×10-6Torr程度の真空度に保た
れている。フィルム1は巻出ロール2からキャンロール
3上を経て巻取ロール4へ搬送される(フィルムの走行
速度1.0m/分)。電子銃9から電子ビームをルツボ
10に収容されたCoに照射してCoを気化し、キャン
ロール3上を搬送されるフィルム1にCoからなる磁性
層を形成した。また蒸着領域中に酸素ガス導入管7から
酸素ガスを導入(40SCCM)してCo表面を酸化し
た。この操作を二回繰り返して二層構造の磁性層を形成
した。
Example 1 Two magnetic layers having a thickness of 1000 Å were laminated on a PET film having a thickness of 6.3 μm to form a two-layer magnetic layer. Here, the magnetic layers were formed one by one by the vapor deposition apparatus shown in FIG. In FIG. 1, 1 is a film, 2 is an unwind roll, 3 is a can roll, 4 is a take-up roll, 5 is a bombarding means, 6 and 6'is an expander roll,
Reference numeral 7 is an oxygen gas introduction tube, 8 is a shielding plate for restricting a metal vapor region, 9 is an electron gun, and 10 is a crucible. These are arranged in a vacuum vessel (not shown), and the inside of the vacuum vessel is maintained at a degree of vacuum of about 1 × 10 -4 to 1 × 10 -6 Torr. The film 1 is conveyed from the unwinding roll 2 through the can roll 3 to the winding roll 4 (traveling speed of the film is 1.0 m / min). An electron beam was irradiated from the electron gun 9 onto Co contained in the crucible 10 to vaporize Co, and a magnetic layer made of Co was formed on the film 1 conveyed on the can roll 3. Further, oxygen gas was introduced (40 SCCM) from the oxygen gas introduction pipe 7 into the vapor deposition region to oxidize the Co surface. This operation was repeated twice to form a two-layer magnetic layer.

【0021】次いで、この磁性層上にECRプラズマC
VD法により厚さが100Åのダイヤモンドライクカー
ボン薄膜からなる保護層を形成した。更に、この保護層
上に極性基である−OH基を持つパーフルオロポリエー
テル〔デムナムSA:ダイキン工業製〕を厚さが20Å
となるように付着して潤滑剤層を形成した。また、この
フィルムの磁性層形成面と反対の面に、バックコート層
を形成した。バックコート層は、20〜30nmの直径
のカーボンを含有するバインダーを乾燥後の厚さが0.
5μmとなるようにフィルムに塗布して乾燥して形成し
た。上記により得られた、磁性層、ダイヤモンドライク
カーボン保護層、フッ素系潤滑層及びバックコート層が
形成されたフィルムを8mm巾に裁断し、カセットケー
スにローディングし8mmビデオテープを得た。
Next, an ECR plasma C is formed on the magnetic layer.
A protective layer composed of a diamond-like carbon thin film having a thickness of 100 ° was formed by the VD method. Further, on this protective layer, a perfluoropolyether having a -OH group which is a polar group (Demnum SA: manufactured by Daikin Industries) is formed to a thickness of 20 mm.
To form a lubricant layer. A back coat layer was formed on the surface of this film opposite to the surface on which the magnetic layer was formed. The back coat layer has a thickness of 0.2 after drying a binder containing carbon having a diameter of 20 to 30 nm.
It was applied to a film so as to have a thickness of 5 μm and dried to form a film. The film obtained above, on which the magnetic layer, the diamond-like carbon protective layer, the fluorine-based lubricating layer and the back coat layer were formed, was cut into a width of 8 mm and loaded into a cassette case to obtain an 8 mm video tape.

【0022】(2)性能評価 上記で得られた8mmビデオテープについて、出力、
耐久性、及びヘッドタッチの指標としてエンベロー
プを以下の方法で評価した。その結果を表1に示す。 出力 出力は市販の8mmVTRを改造して測定した。Hi−
8VTR用のヘッドの代わりにヘッドギャップ10μm
のヘッドを用い、更にヘッドとテープの相対速度を変え
ることにより、0.45μm以下の任意の最短記録波長
を想定して相対的に評価することができる。本実施例1
では最短記録波長を0.38μmとした。なお、出力は
比較例1を基準(0dB)とする相対評価とした。 耐久性 耐久性は、市販の8mmVTRに上記の8mmテープを
セットし、5時間スチルモードで再生した後の、出力の
低下を試験前の出力に対する低下量で評価した。 エンベロープ エンベロープは、アドバンテスト社のTR4171型ス
ペクトラアナライザを用い、RBW=10kHz、VB
W=30kHz、周波数スパン=0MHz、スリープタ
イム=40ms、マイレージ=16回の条件で得られた
出力波形(エンベロープ)を測定し、図2に示すよう
に、出力波形の最大値Bと最小値Aから欠け量として下
記のように算出した。 欠け量(dB)=20log(A/B) 欠け量の小さいもの程ヘッドタッチが良好である。
(2) Performance evaluation Output of the 8 mm video tape obtained above
The envelope was evaluated by the following method as an index of durability and head touch. Table 1 shows the results. Output The output was measured by modifying a commercially available 8 mm VTR. Hi-
Head gap 10 μm instead of 8 VTR head
By using the above head and changing the relative speed between the head and the tape, it is possible to make a relative evaluation assuming an arbitrary shortest recording wavelength of 0.45 μm or less. Example 1
Then, the shortest recording wavelength was set to 0.38 μm. The output was a relative evaluation using Comparative Example 1 as a reference (0 dB). Durability Durability was evaluated by measuring the reduction in output after setting the above 8 mm tape on a commercially available 8 mm VTR and reproducing in still mode for 5 hours with respect to the output before the test. Envelope The envelope was measured using an advantest TR4171 type spectrum analyzer, RBW = 10 kHz, VB
The output waveform (envelope) obtained under the condition of W = 30 kHz, frequency span = 0 MHz, sleep time = 40 ms, mileage = 16 times was measured, and as shown in FIG. 2, the maximum value B and the minimum value A of the output waveform were measured. Then, the amount of chipping was calculated as follows. Chipping amount (dB) = 20 log (A / B) The smaller the chipping amount, the better the head touch.

【0023】実施例2 実施例1において、ダイヤモンドライクカーボン保護層
の厚さを45Åとした以外は実施例1と同様にして8m
mビテオテープを作製し、実施例1と同様の試験を行な
った。ただし、本実施例2では出力の評価は最短記録波
長を0.28μmに想定して行った。その結果を表1に
示す。
Example 2 In the same manner as in Example 1, except that the thickness of the diamond-like carbon protective layer was changed to 45 Å, 8 m was obtained.
An m-biteo tape was produced and the same test as in Example 1 was performed. However, in the second embodiment, the output was evaluated assuming that the shortest recording wavelength is 0.28 μm. Table 1 shows the results.

【0024】実施例3 実施例1において、ダイヤモンドライクカーボン保護層
の代わりに、SiOx薄膜からなる厚さ80Åの保護層
を形成した。ここでSiOx 薄膜は、Siをターゲット
とし酸素ガスを流しながら2.5kWの出力でスパッタ
して形成した。それ以外は実施例1と同様にして8mm
ビテオテープを作製し、実施例1と同様の試験を行なっ
た。ただし、本実施例3では出力の評価は最短記録波長
を0.32μmに想定して行った。その結果を表1に示
す。
Example 3 In Example 1, instead of the diamond-like carbon protective layer, a protective layer of SiO x thin film having a thickness of 80 Å was formed. Here, the SiO x thin film was formed by sputtering with a target of Si and an oxygen gas flow at an output of 2.5 kW. Otherwise, the same as in Example 1, 8 mm
A video tape was produced and the same test as in Example 1 was performed. However, in the third embodiment, the output was evaluated assuming that the shortest recording wavelength is 0.32 μm. Table 1 shows the results.

【0025】実施例4 実施例3において、酸素ガスの代わりに窒素ガスを通気
して窒素雰囲気下にてSiをターゲットとするスパッタ
を行った。これにより、窒化ケイ素からなる厚さ55Å
の保護層を形成した。それ以外は実施例1と同様にして
8mmビテオテープを作製し、実施例1と同様の試験を
行なった。本実施例4でも出力の評価は最短記録波長を
0.32μmに想定して行った。その結果を表1に示
す。
Example 4 In Example 3, sputtering was carried out in which a nitrogen gas was aerated instead of the oxygen gas and Si was used as a target in a nitrogen atmosphere. As a result, the thickness of silicon nitride is 55Å
Was formed. Otherwise, an 8 mm video tape was produced in the same manner as in Example 1, and the same test as in Example 1 was performed. Also in Example 4, the output was evaluated assuming that the shortest recording wavelength was 0.32 μm. Table 1 shows the results.

【0026】比較例1 実施例1において、ダイヤモンドライクカーボン保護層
の厚さを220Åとした以外は実施例1と同様にして8
mmビテオテープを作製し、実施例1と同様の試験を行
なった。その結果を表1に示す。
Comparative Example 1 8 was carried out in the same manner as in Example 1 except that the thickness of the diamond-like carbon protective layer was 220 Å.
A mm video tape was produced and the same test as in Example 1 was performed. Table 1 shows the results.

【0027】比較例2 実施例1において、ダイヤモンドライクカーボン保護層
の厚さを40Åとした以外は実施例1と同様にして8m
mビテオテープを作製し、実施例1と同様の試験を行な
った。その結果を表1に示す。
Comparative Example 2 8 m was prepared in the same manner as in Example 1 except that the diamond-like carbon protective layer had a thickness of 40 Å.
An m-biteo tape was produced and the same test as in Example 1 was performed. Table 1 shows the results.

【0028】[0028]

【表1】 [Table 1]

【0029】[0029]

【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、最
短記録波長がより短い磁気記録媒体においても、出力特
性を維持しつつヘッドタッチと耐久性を改善することが
できる。
As described above, according to the present invention, it is possible to improve the head touch and the durability while maintaining the output characteristics even in the magnetic recording medium having the shorter shortest recording wavelength.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の磁気記録媒体を製造するための蒸着装
置の例を示す概略図
FIG. 1 is a schematic view showing an example of a vapor deposition apparatus for manufacturing a magnetic recording medium of the present invention.

【図2】エンベロープ波形の最大値と最小値を示すモデ
ル図
FIG. 2 is a model diagram showing maximum and minimum values of an envelope waveform.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 フィルム 3 キャンロール 9 電子ビーム銃 10 ルツボ DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Film 3 Can roll 9 Electron beam gun 10 Crucible

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 水野谷 博英 栃木県芳賀郡市貝町赤羽2606 花王株式会 社研究所内 (72)発明者 遠藤 克巳 栃木県芳賀郡市貝町赤羽2606 花王株式会 社研究所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Hirohide Mizutani 2606 Akabane Kai, Haga-gun, Tochigi Prefecture Kao Stock Company Research Institute (72) Inventor Katsumi Endo 2606 Akabane Kai, Haga-gun, Tochigi Kao Stock Company Research Institute

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 支持体と、該支持体上に形成された磁性
層と、該磁性層上に形成された保護層とを有する最短記
録波長が0.45μm以下の磁気記録媒体において、前
記保護層の厚さが前記最短記録波長の1/20〜1/7
0であることを特徴とする特徴とする磁気記録媒体。
1. A magnetic recording medium having a support, a magnetic layer formed on the support, and a protective layer formed on the magnetic layer and having a shortest recording wavelength of 0.45 μm or less. The layer thickness is 1/20 to 1/7 of the shortest recording wavelength.
A magnetic recording medium characterized by being 0.
【請求項2】 前記保護層が炭素薄膜からなる請求項1
記載の磁気記録媒体。
2. The protective layer comprises a carbon thin film.
The magnetic recording medium described.
【請求項3】 前記最短記録波長が0.35μm以下で
あり、且つ前記保護層の厚さが当該最短記録波長の1/
40〜1/70である請求項1又は2記載の磁気記録媒
体。
3. The shortest recording wavelength is 0.35 μm or less, and the thickness of the protective layer is 1/100 of the shortest recording wavelength.
The magnetic recording medium according to claim 1 or 2, which has a thickness of 40 to 1/70.
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