JPH10106834A - Magnetic recording medium - Google Patents

Magnetic recording medium

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Publication number
JPH10106834A
JPH10106834A JP8256795A JP25679596A JPH10106834A JP H10106834 A JPH10106834 A JP H10106834A JP 8256795 A JP8256795 A JP 8256795A JP 25679596 A JP25679596 A JP 25679596A JP H10106834 A JPH10106834 A JP H10106834A
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JP
Japan
Prior art keywords
magnetic
recording medium
layer
magnetic recording
wavelength
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Pending
Application number
JP8256795A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Akira Shiga
章 志賀
Noriyuki Kitaori
典之 北折
Hirohide Mizunoya
博英 水野谷
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kao Corp
Original Assignee
Kao Corp
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Publication date
Application filed by Kao Corp filed Critical Kao Corp
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Publication of JPH10106834A publication Critical patent/JPH10106834A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To enable obtaining appropriate stiffness, by causing a change in reflectance to be substantially constant in the case where a light of a specified wavelength is radiated to a medium. SOLUTION: After a predetermined degree of vacuum is provided in a vacuum chamber 2, a non-magnetic support 4 is caused to travel from a supply reel 5 onto a cooling can roll 3. An electron beam is radiated toward a crucible 7 from an electron gun 8, and a cobalt metal in the crucible 7 is melted and evaporated, thus carrying out evaporation to the non-magnetic support 4. This evaporation is carried out in the presence of oxygen supplied from a nozzle 10. The non-magnetic support 4 processed in this manner is wound on a take-up roll 6. A change in reflectance in the case where a light of a wavelength of 200 to 300nm is radiated to a magnetic recording medium is substantially constant, and the difference in reflectance between the case where a light of a wavelength of 850nm is radiated to the magnetic recording medium and the case where a light of a wavelength of 250nm is radiated to the magnetic recording medium is not less than 30%.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は磁気記録媒体に関す
る。より詳しくは適正なステッフネスを得ることがで
き、それにより良好な走行性および良好なヘッドタッチ
が得られる磁気記録媒体に関する。
[0001] The present invention relates to a magnetic recording medium. More specifically, the present invention relates to a magnetic recording medium capable of obtaining appropriate stiffness, thereby obtaining good running properties and good head touch.

【0002】[0002]

【従来の技術】磁気記録媒体例えば磁気テープにおい
て、その高性能化には近年目覚しいものがある。磁気テ
ープではビデオテープを例にとるとVHS、8mmビデ
オテープ、DVCと小型化が進み、一方では高密度記録
化も進んでいる。ところで磁気記録媒体上の磁性層は、
その記録密度が低い時には酸化物系の磁性材料を塗布す
る方法によって形成されていた。しかし記録密度が高く
なるにつれ、磁性層の膜厚が厚いあるいは磁性層を形成
する磁性粒子が大きいといった点により塗布法による磁
性層では要求される性能を十分に満足できなくなった。
酸化物系磁性体に比較して良好な磁気特性を持つFe、
Co、Ni等の強磁性元素を主成分とする金属あるいは
合金系の磁性層を真空成膜法により支持体上に形成する
金属薄膜磁性層は酸化物系磁性体を塗布して磁性層とす
る場合よりも膜厚を薄くすることができ、またバインダ
ーを含まないため磁性材料の密度をあげることができる
ことにより、磁気記録媒体における磁性層の主流となっ
た。さらに金属薄膜磁性層は、支持体に対する垂直方向
の構造を容易に制御することができ、長手磁気記録と比
較して高密度記録やディジタル記録に適しているとして
注目されている。
2. Description of the Related Art In recent years, there has been a remarkable improvement in performance of a magnetic recording medium such as a magnetic tape. As for magnetic tapes, taking video tapes as an example, VHS, 8 mm video tapes, and DVCs have been reduced in size, while high-density recording has also been advanced. By the way, the magnetic layer on the magnetic recording medium
When the recording density is low, it is formed by a method of applying an oxide-based magnetic material. However, as the recording density increases, the performance required for the magnetic layer formed by the coating method cannot be sufficiently satisfied because the thickness of the magnetic layer is large or the magnetic particles forming the magnetic layer are large.
Fe, which has better magnetic properties than oxide-based magnetic materials,
A metal or alloy magnetic layer mainly composed of a ferromagnetic element such as Co or Ni is formed on a support by a vacuum film forming method. A metal thin film magnetic layer is formed by applying an oxide magnetic material to a magnetic layer. The thickness of the magnetic layer can be made smaller than that of the magnetic recording medium, and the density of the magnetic material can be increased because it does not contain a binder. Further, the metal thin film magnetic layer has attracted attention because it can easily control the structure in the direction perpendicular to the support, and is suitable for high-density recording and digital recording as compared with longitudinal magnetic recording.

【0003】一方磁気テープの小型化が進むにつれ、磁
気テープの支持体の厚さも薄くなってきた。例えばVH
S型のビデオテープで15.0μm程度、8mmビデオ
テープでは9.0μm程度、さらにDVCでは6.3μ
m程度である。支持体の厚さが薄くなると、支持体全体
としてのステッフネスが急激に低下し、ヘッドタッチ不
良による出力低下や走行性が悪化するといった問題が生
じるようになった。ところで金属薄膜磁性体はバインダ
ーを含まないために支持体に対して無視できない弾力性
を持つことが知られている。また最近では、従来塗布法
において問題とされていた導電性不良やゴミの付着等を
解決するために真空成膜法によるバックコート層の形成
がなされるようになってきたため、バックコート層も支
持体に対して無視できない弾力性を持つようになった。
このような状況下において、本件出願人によりバックコ
ート層を金属あるいは半金属の二層以上の膜とすること
により適度な表面性と弾力性を持たせる提案が特開平7
−98853号に、又炭素系の膜によりバックコート層
を形成することによりバックコート層に十分な硬度を持
たせる提案が特開平8−102044号にそれぞれなさ
れ、磁気テープ全体として適度なステッフネスを持たせ
ることにより、ヘッドタッチおよび走行性の改善が試み
られてきた。
On the other hand, as magnetic tapes have become smaller, the thickness of the magnetic tape support has also become smaller. For example, VH
About 15.0 μm for S type video tape, about 9.0 μm for 8 mm video tape, and 6.3 μm for DVC
m. When the thickness of the support is reduced, the stiffness of the support as a whole is sharply reduced, and problems such as a decrease in output due to a poor head touch and a deterioration in running performance are caused. By the way, it is known that a metal thin-film magnetic substance has a resilience which cannot be ignored with respect to a support, since it does not contain a binder. In recent years, the back coat layer has been formed by a vacuum film forming method in order to solve problems such as poor conductivity and adhesion of dust, which have been problems in the conventional coating method. It now has considerable elasticity to the body.
Under such circumstances, the applicant of the present invention has proposed that the back coat layer is made of two or more layers of metal or metalloid to provide appropriate surface properties and elasticity.
Japanese Patent Application Laid-open No. Hei 8-98853 and Japanese Patent Application Laid-Open No. H8-102444 each propose that a backcoat layer is formed of a carbon-based film so that the backcoat layer has sufficient hardness. By doing so, attempts have been made to improve head touch and running performance.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】今後より一層の高密度
記録化とともに小型化が磁気記録媒体特に磁気テープに
求められるものと考えられる。ところで磁気テープが良
好なヘッドタッチと良好な走行性を実現するためには、
磁気テープが適正なステッフネスを持たなければならな
い。上記の提案により磁気テープ全体としてのステッフ
ネスは改善されたが、未だ十分な性能を得るには至って
いない。一方支持体上に形成された磁性層表面の反射率
は、金属の配位数等に依存する。すなわち磁性層表面の
反射率は、磁性層表面の金属の配位数つまり磁性層表面
の金属の酸化の度合いに影響を受ける。酸化の度合いに
よりその磁性層の質や硬さが異なるので、支持体上の磁
性層表面の反射率は磁気テープ全体のステッフネスと密
接な関係がある。
It is considered that magnetic recording media, especially magnetic tapes, will be required to be further miniaturized together with higher recording density. By the way, in order for the magnetic tape to achieve good head touch and good runnability,
The magnetic tape must have proper stiffness. Although the stiffness of the magnetic tape as a whole has been improved by the above proposal, sufficient performance has not yet been obtained. On the other hand, the reflectance of the surface of the magnetic layer formed on the support depends on the coordination number of the metal and the like. That is, the reflectivity of the magnetic layer surface is affected by the coordination number of the metal on the magnetic layer surface, that is, the degree of oxidation of the metal on the magnetic layer surface. Since the quality and hardness of the magnetic layer differ depending on the degree of oxidation, the reflectivity of the surface of the magnetic layer on the support is closely related to the stiffness of the entire magnetic tape.

【0005】そこで本発明では、以上のような状況に鑑
み、200〜300nmの波長の光を媒体に当てた場合
の反射率の変化がほぼ一定であり、850nmの波長の
光を媒体に当てた場合の反射率と250nmの波長の光
を媒体に当てた場合の反射率との差を30%以上とする
ことにより、磁気テープ全体として適正なステッフネス
を得ることができ、良好な走行性と良好なヘッドタッチ
が得られる磁気記録媒体を得ることを目的とする。
Therefore, in the present invention, in view of the above situation, the change in reflectance when light having a wavelength of 200 to 300 nm is applied to the medium is substantially constant, and light having a wavelength of 850 nm is applied to the medium. By setting the difference between the reflectance in the case and the reflectance when the light having the wavelength of 250 nm is applied to the medium to 30% or more, it is possible to obtain an appropriate stiffness as the whole magnetic tape, and to achieve good running property and good running property. It is an object of the present invention to obtain a magnetic recording medium capable of obtaining a proper head touch.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明により得られる磁
気記録媒体は、200〜300nmの波長の光を媒体に
当てた場合の反射率の変化がほぼ一定であり、850n
mの波長の光を媒体に当てた場合の反射率と250nm
の波長の光を媒体に当てた場合の反射率との差を30%
以上とすることにより、適正なステッフネスを得ること
ができ、それにより良好な走行性と良好なヘッドタッチ
が実現できる磁気テープである。
The magnetic recording medium obtained according to the present invention has a substantially constant change in reflectance when light having a wavelength of 200 to 300 nm is applied to the medium.
The reflectance when light of wavelength m is applied to the medium and 250 nm
30% difference from reflectivity when light of wavelength
With the above, an appropriate stiffness can be obtained, whereby the magnetic tape can achieve good running properties and good head touch.

【0007】本発明に使用される非磁性支持体はポリエ
チレンテレフタレート(PET)が価格の点からは好ま
しい。しかし他にも、ポリエチレンナフタレートのよう
なポリエステル、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポ
リオレフィン、セルローストリアセテート、セルロース
ジアセテート等のセルロース誘導体、ポリカーボネー
ト、ポリ塩化ビニル、ポリイミド、芳香族ポリアミド等
のプラスチック等を使用することができる。これら非磁
性支持体の厚さは一般に50μm程度の厚さまで考えら
れるが、今後の実用的な観点からは6.3μm以下であ
ることが好ましい。
The nonmagnetic support used in the present invention is preferably polyethylene terephthalate (PET) from the viewpoint of cost. However, in addition, use of polyesters such as polyethylene naphthalate, polyolefins such as polyethylene and polypropylene, cellulose derivatives such as cellulose triacetate and cellulose diacetate, and plastics such as polycarbonate, polyvinyl chloride, polyimide, and aromatic polyamide. Can be. The thickness of these non-magnetic supports is generally considered to be about 50 μm, but is preferably 6.3 μm or less from a practical viewpoint in the future.

【0008】本発明において金属薄膜型磁性層は真空成
膜法により形成される。金属薄膜型磁性層を形成する磁
性材料としては、通常の金属薄膜型の磁気記録媒体の製
造に用いられる強磁性金属材料が挙げられる。例えばC
o、Ni、Fe等の強磁性金属、あるいはFe−Co、
Fe−Ni、Co−Ni、Fe−Co−Ni、Fe−C
u、Co−Cu、Co−Au、Co−Y、Co−La、
Co−Pr、Co−Gd、Co−Sm、Co−Pt、N
i−Cu、Mn−Bi、Mn−Sb、Mn−Al、Fe
−Cr、Co−Cr、Ni−Cr、Fe−Co−Cr、
Ni−Co−Cr等の強磁性合金が挙げられる。特に磁
気記録媒体に使用する磁性材料の磁気特性の点からは、
Co、Ni、Feを主体とする強磁性合金およびこれら
の窒化物もしくは炭化物から選ばれる少なくとも一種類
が好ましい。真空成膜の際に酸化性ガスを導入して磁性
層表面に酸化物層を形成することにより耐久性の向上を
図ることができる。真空成膜法による磁性層は一層でも
二層以上の多層でも良いが、高密度記録のためには多層
とすることが好ましく、実用的な範囲としては2〜3層
が適当である。また非磁性支持体上に斜め蒸着により磁
気記録媒体の磁性層が形成されることが好ましい。斜め
蒸着の方法は特に限定されず、従来よりの公知の方法に
準ずる。金属薄膜型磁性層の厚さは限定されないが、5
00〜5000Åが好ましく、特に実用範囲としては8
00〜3000Åが好ましい。なお二層の場合には、下
層が200〜2000Å程度、上層が100〜1000
Å程度が好ましく、三層の場合には下層が200〜20
00Å程度、中層が200〜2000Å程度、上層が1
00〜1000Å程度が好ましい。
In the present invention, the metal thin film type magnetic layer is formed by a vacuum film forming method. Examples of the magnetic material for forming the metal thin film type magnetic layer include ferromagnetic metal materials used for manufacturing a normal metal thin film type magnetic recording medium. For example, C
o, Ni, a ferromagnetic metal such as Fe, or Fe-Co,
Fe-Ni, Co-Ni, Fe-Co-Ni, Fe-C
u, Co-Cu, Co-Au, Co-Y, Co-La,
Co-Pr, Co-Gd, Co-Sm, Co-Pt, N
i-Cu, Mn-Bi, Mn-Sb, Mn-Al, Fe
-Cr, Co-Cr, Ni-Cr, Fe-Co-Cr,
Ferromagnetic alloys such as Ni-Co-Cr are exemplified. In particular, from the viewpoint of the magnetic properties of the magnetic material used for the magnetic recording medium,
At least one selected from ferromagnetic alloys mainly composed of Co, Ni, and Fe and nitrides or carbides thereof is preferable. The durability can be improved by introducing an oxidizing gas at the time of vacuum film formation to form an oxide layer on the surface of the magnetic layer. The magnetic layer formed by the vacuum film formation method may be a single layer or a multilayer of two or more layers, but is preferably a multilayer for high-density recording, and a practical range of two to three layers is appropriate. It is preferable that the magnetic layer of the magnetic recording medium is formed on the non-magnetic support by oblique evaporation. The method of oblique deposition is not particularly limited, and follows a conventionally known method. The thickness of the metal thin film type magnetic layer is not limited.
00 to 5000 ° is preferable, and particularly 8
00-3000 ° is preferred. In the case of two layers, the lower layer is about 200 to 2000 ° and the upper layer is 100 to 1000 °.
Å is preferred, and in the case of three layers, the lower layer is 200 to 20
About 00Å, middle layer about 200 ~ 2000Å, upper layer 1
It is preferably about 100 to 1000 °.

【0009】非磁性支持体の磁性層が形成される面とは
反対の面にバックコート層を形成しても良い。バックコ
ート層は、カーボンブラック等を適当な溶剤に分散させ
た液を塗布して形成しても良いし、金属または半金属を
物理的蒸着法特に熱蒸発法やスパッタリング法により蒸
着させて形成しても良い。バックコート層の厚さは特に
限定されないが、塗布により形成される場合には乾燥後
の厚さが0.4〜1.0μm、物理的蒸着法により形成
される場合には0.05〜1.0μm程度である。
[0009] A backcoat layer may be formed on the surface of the non-magnetic support opposite to the surface on which the magnetic layer is formed. The back coat layer may be formed by applying a liquid in which carbon black or the like is dispersed in an appropriate solvent, or by forming a metal or metalloid by physical vapor deposition, particularly thermal evaporation or sputtering. May be. Although the thickness of the back coat layer is not particularly limited, the thickness after drying is 0.4 to 1.0 μm when formed by coating, and 0.05 to 1 when formed by physical vapor deposition. It is about 0.0 μm.

【0010】また磁気記録媒体の耐久性および耐食性を
向上させる目的で、磁性層およびバックコート層の上に
高硬度薄膜の保護層を設けることができる。このような
保護層は、例えばダイヤモンドライクカーボン、炭化ホ
ウ素、炭化珪素、窒化ホウ素、窒化珪素、酸化珪素、酸
化アルミニウム等の炭化物、窒化物、酸化物のような非
磁性材料からなり、CVD法やPVD法により成膜され
る。保護層の厚さは保護層の機能の点から50〜300
Åであることが好ましい。
For the purpose of improving the durability and corrosion resistance of the magnetic recording medium, a protective layer of a high hardness thin film can be provided on the magnetic layer and the back coat layer. Such a protective layer is made of a non-magnetic material such as carbide, nitride, or oxide such as diamond-like carbon, boron carbide, silicon carbide, boron nitride, silicon nitride, silicon oxide, or aluminum oxide. The film is formed by the PVD method. The thickness of the protective layer is 50 to 300 in view of the function of the protective layer.
Å is preferred.

【0011】磁性層上の保護層とバックコート層の上あ
るいは磁性層上の保護層とバックコート層上の保護層の
上には、適当な潤滑剤からなる潤滑層を形成しても良
い。潤滑層は、潤滑剤を適当な溶剤に溶解させたものを
塗布して形成しても良いし、真空中で潤滑剤を噴霧する
方法により形成しても良い。潤滑剤としては、塗布ある
いは噴霧いずれの場合にも、パーフルオロポリエーテル
等のフッ素系潤滑剤が潤滑性の点から好ましく、例えば
パーフルオロポリエーテルとしては分子量2000〜5
000のものが好適である。潤滑剤の塗布量あるいは噴
霧量は、磁気記録媒体の用途や潤滑剤の種類により適宜
決定されるが、形成される潤滑層の厚さは5〜100Å
程度である。
A lubricating layer made of a suitable lubricant may be formed on the protective layer on the magnetic layer and the back coat layer or on the protective layer on the magnetic layer and the protective layer on the back coat layer. The lubricating layer may be formed by applying a solution obtained by dissolving a lubricant in an appropriate solvent, or may be formed by spraying the lubricant in a vacuum. As the lubricant, a fluorine-based lubricant such as perfluoropolyether is preferable from the viewpoint of lubricating property in either application or spraying. For example, the molecular weight of perfluoropolyether is 2,000 to 5,
000 are preferred. The amount of the lubricant to be applied or sprayed is determined as appropriate depending on the use of the magnetic recording medium and the type of the lubricant.
It is about.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】図1は、本発明の磁気記録媒体を
製造するのに適した蒸着装置1の一例を示している。こ
こには図示しない真空排気装置に接続された真空チャン
バ2と、真空チャンバ2内に設けられた冷却キャンロー
ル3と、この冷却キャンロール3上でPETフィルム等
の非磁性支持体4を走行させるための巻き出しロール5
および巻き取りロール6を含んでいる。冷却キャンロー
ル3の回転軸鉛直下方には蒸発源としてルツボ7が配置
され、このルツボ7内に磁性材料、例えば金属コバルト
が収容される。真空チャンバ2には電子銃8が配置さ
れ、ルツボ7に向け電子ビームを照射し、ルツボ7内の
金属コバルトを蒸発するようになっている。ルツボ7と
冷却キャンロール3の間には、電子ビームにより蒸発し
たルツボ7から冷却キャンロール3へ向かう金属コバル
ト蒸気の非磁性支持体4への最小入射角と最大入射角を
限定するための防着板9、9’が配置されている。また
防着板9と冷却キャンロール3との間には酸素ガスを供
給するためのノズル10が配置されている。ノズル10
のガス供給口の位置は次のように決められる。すなわち
金属蒸気が冷却キャンロール3に到達する際、金属蒸気
が最大入射角と最小入射角をなす冷却キャンロール3上
の位置をそれぞれ点Aおよび点Bとする。点Bから非磁
性支持体の進行方向にずれるのを正、非磁性支持体の進
行方向と逆方向にずれるのを負とする。そしてA−B間
の距離(AB)を基準にして点Bから特定の距離離れた
冷却キャンロール3上の点Cに向けてノズル10のガス
供給口からガスを流す。
FIG. 1 shows an example of a vapor deposition apparatus 1 suitable for manufacturing a magnetic recording medium according to the present invention. Here, a vacuum chamber 2 connected to a vacuum evacuation device (not shown), a cooling can roll 3 provided in the vacuum chamber 2, and a nonmagnetic support 4 such as a PET film running on the cooling can roll 3. Unwinding roll 5 for
And a take-up roll 6. A crucible 7 is disposed vertically below the rotation axis of the cooling can roll 3 as an evaporation source, and a magnetic material, for example, metallic cobalt is accommodated in the crucible 7. An electron gun 8 is arranged in the vacuum chamber 2 and irradiates the crucible 7 with an electron beam to evaporate metallic cobalt in the crucible 7. Between the crucible 7 and the cooling can roll 3, there is a protection for limiting the minimum incident angle and the maximum incident angle of the metallic cobalt vapor from the crucible 7 evaporated by the electron beam toward the cooling can roll 3 to the non-magnetic support 4. The landing plates 9 and 9 'are arranged. A nozzle 10 for supplying oxygen gas is disposed between the deposition preventing plate 9 and the cooling can roll 3. Nozzle 10
The position of the gas supply port is determined as follows. That is, when the metal vapor reaches the cooling can roll 3, the positions on the cooling can roll 3 where the metal vapor forms the maximum incident angle and the minimum incident angle are point A and point B, respectively. The deviation from the point B in the direction of travel of the nonmagnetic support is positive, and the deviation in the direction opposite to the direction of travel of the nonmagnetic support is negative. Then, the gas is flowed from the gas supply port of the nozzle 10 toward the point C on the cooling can roll 3 which is a specific distance away from the point B with reference to the distance (AB) between AB.

【0013】こうした蒸着装置1を用いて本発明による
磁気記録媒体を製造するには以下のとおりである。すな
わち、真空排気装置により真空チャンバ2内を所定の真
空度とした後、巻き出しロール5から非磁性支持体4を
冷却キャンロール3上へと走行させる。この時非磁性支
持体には、予めバックコートが支持性支持体上の磁性層
を形成する面とは反対の面に形成されていても、形成さ
れていなくてもどちらでも良い。電子銃8からルツボ7
に向け電子ビームを照射し、ルツボ7内の金属コバルト
を溶融蒸発させ、非磁性支持体4に対して蒸着を行う。
これはノズル10より供給される酸素の存在下において
行われる。このように処理された非磁性支持体4は巻き
取りロール6上に巻き取られる。この後さらに必要があ
れば非磁性支持体上の磁性層の上にECRプラズマCV
D法を用いてダイヤモンドライクカーボンからなる保護
層を形成し、塗布法によりパーフルポリエーテル系の潤
滑剤を塗布し潤滑層を形成しても良い。必要な各層の成
膜が終了した後、一般的な方法によりスリッティング、
巻き込み、カセット組み込み等が行われる。さらにドラ
ムテスターを用いて出力およびエンベロープの測定を、
Hi8VTRを改造しジッタメーターを接続した装置に
よりジッタの測定を、磁気記録媒体表面の反射率を分光
高度計により測定する。
The manufacture of a magnetic recording medium according to the present invention using such a vapor deposition apparatus 1 is as follows. That is, after the inside of the vacuum chamber 2 is evacuated to a predetermined degree by the vacuum exhaust device, the non-magnetic support 4 is run from the unwinding roll 5 onto the cooling can roll 3. At this time, the back coat may or may not be formed on the nonmagnetic support in advance on the surface opposite to the surface on which the magnetic layer is formed on the supportive support. Crucible 7 from electron gun 8
Is irradiated with an electron beam to melt and evaporate the metallic cobalt in the crucible 7, and vapor deposition is performed on the nonmagnetic support 4.
This is performed in the presence of oxygen supplied from the nozzle 10. The non-magnetic support 4 thus treated is wound on a take-up roll 6. Thereafter, if necessary, the ECR plasma CV is applied on the magnetic layer on the non-magnetic support.
A protective layer made of diamond-like carbon may be formed by the method D, and a lubricating layer may be formed by applying a perfluoropolyether-based lubricant by a coating method. After the formation of each required layer is completed, slitting,
Entrainment, cassette installation, etc. are performed. In addition, measure the output and envelope using a drum tester.
The Hi8VTR is modified and a jitter meter is connected to measure jitter, and the reflectance of the surface of the magnetic recording medium is measured with a spectroscopic altimeter.

【0014】[0014]

【実施例】【Example】

実施例1 図1の真空蒸着装置1を用いて厚さ6.3μmのPET
フィルムに対して単層の金属コバルト磁性層を2000
Å成膜した。成膜条件は電子銃の出力は30kV、フィ
ルム走行速さは毎分10m、ガスノズルより50SCC
Mで酸素ガスを導入した。ガス供給口の位置はB点とし
た。その後保護層としてECRプラズマCVD法により
ダイヤモンドライクカーボンを100Å成膜し、この保
護層の上にフッ素系潤滑剤を乾燥後の膜厚が20Åとな
るようにコーティングし、さらにPETフィルム上の磁
性層とは反対の面にアルミニウムからなるバックコート
層を2000Å、蒸着により付着させた。さらに8mm
幅に切り出し、8mmビデオカセットを作製した。
Example 1 PET having a thickness of 6.3 μm using the vacuum evaporation apparatus 1 of FIG.
2000 single metal cobalt magnetic layer per film
Å A film was formed. The deposition conditions were as follows: the output of the electron gun was 30 kV, the film traveling speed was 10 m / min, and 50 SCC from the gas nozzle.
At M, oxygen gas was introduced. The position of the gas supply port was point B. Thereafter, as a protective layer, diamond-like carbon is deposited to a thickness of 100 ° by ECR plasma CVD, and a fluorine-based lubricant is coated on the protective layer so that the thickness after drying becomes 20 °. A back coat layer made of aluminum was deposited on the surface opposite to the above by vapor deposition at 2000 °. 8 mm
An 8 mm video cassette was cut out to a width.

【0015】実施例2 実施例1と同様に実施例1で用いたPETフィルムに単
層の金属コバルト磁性層を2030Å成膜した。酸素ガ
ス導入量を52SCCM、ガス供給口の位置は非磁性支
持体の進行方向に3×(AB)/10ずれた点とした以
外の成膜条件は実施例1と同様とした。さらに保護層、
潤滑層、バックコート層を実施例1と同じく形成し、8
mm幅に切り出し、8mmビデオカセットを作製した。
Example 2 In the same manner as in Example 1, a single-layer metallic cobalt magnetic layer was formed on the PET film used in Example 1 by 2030 °. The film forming conditions were the same as in Example 1 except that the oxygen gas introduction amount was 52 SCCM and the position of the gas supply port was shifted by 3 × (AB) / 10 in the direction of travel of the nonmagnetic support. Further protective layer,
A lubricating layer and a back coat layer were formed in the same manner as in Example 1, and 8
An 8 mm video cassette was cut out to a width of 8 mm.

【0016】実施例3 実施例1と同様に実施例1で用いたPETフィルムに単
層の金属コバルト磁性層を1960Å成膜した。酸素ガ
ス導入量を45SCCM、ガス供給口の位置は非磁性支
持体の進行方向に(AB)/5ずれた点とした以外の成
膜条件は実施例1と同様とした。さらに保護層、潤滑
層、バックコート層を実施例1と同じく形成し、8mm
幅に切り出し、8mmビデオカセットを作製した。
Example 3 In the same manner as in Example 1, a single metallic cobalt magnetic layer was formed on the PET film used in Example 1 at 1960 °. The film forming conditions were the same as in Example 1 except that the oxygen gas introduction amount was 45 SCCM and the position of the gas supply port was shifted by (AB) / 5 in the direction of travel of the nonmagnetic support. Further, a protective layer, a lubricating layer, and a back coat layer were formed in the same manner as in Example 1, and 8 mm
An 8 mm video cassette was cut out to a width.

【0017】比較例1 実施例1と同様に実施例1で用いたPETフィルムに単
層の金属コバルト磁性層を1990Å成膜した。酸素ガ
ス導入量を48SCCM、ガス供給口の位置は非磁性支
持体の進行方向とは逆の方向に(AB)/5ずれた点と
した以外の成膜条件は実施例1と同様とした。さらに保
護層、潤滑層、バックコート層を実施例1と同じく形成
し、8mm幅に切り出し、8mmビデオカセットを作製
した。
Comparative Example 1 In the same manner as in Example 1, a single-layer metallic cobalt magnetic layer was formed on the PET film used in Example 1 by 1990 °. The film forming conditions were the same as in Example 1 except that the oxygen gas introduction amount was 48 SCCM and the position of the gas supply port was shifted by (AB) / 5 in the direction opposite to the direction of travel of the nonmagnetic support. Further, a protective layer, a lubricating layer, and a back coat layer were formed in the same manner as in Example 1 and cut out to a width of 8 mm to produce an 8 mm video cassette.

【0018】比較例2 実施例1と同様に実施例1で用いたPETフィルムに単
層の金属コバルト磁性層を2010Å成膜した。酸素ガ
ス導入量を51SCCM、ガス供給口の位置は非磁性支
持体の進行方向とは逆の方向に2×(AB)/5ずれた
点とした以外の成膜条件は実施例1と同様とした。さら
に保護層、潤滑層、バックコート層を実施例1と同じく
形成し、8mm幅に切り出し、8mmビデオカセットを
作製した。
Comparative Example 2 In the same manner as in Example 1, a single-layer metallic cobalt magnetic layer was formed on the PET film used in Example 1 by 2010 °. The deposition conditions were the same as in Example 1 except that the oxygen gas introduction amount was 51 SCCM, and the position of the gas supply port was shifted by 2 × (AB) / 5 in the direction opposite to the direction of travel of the nonmagnetic support. did. Further, a protective layer, a lubricating layer, and a back coat layer were formed in the same manner as in Example 1 and cut out to a width of 8 mm to produce an 8 mm video cassette.

【0019】性能評価 以上のようにして実施例および比較例において得られた
磁気記録媒体に対して以下の評価を行った。出力およ
びエンベロープの測定をドラムテスターを用いて行っ
た。ジッタの測定を市販のHi8VTRを改造しジッ
タメーターを接続した装置により測定した。磁気記録
媒体表面の反射率の測定を日立製分光高度計U3200
により行った。測定はテープ上にバックコート層、磁性
層、保護層、潤滑層が形成されている磁気テープの潤滑
層の上から行った。結果は表1、2、3に示すとおりで
ある。
Performance Evaluation The magnetic recording media obtained in the examples and comparative examples as described above were evaluated as follows. Output and envelope measurements were performed using a drum tester. The jitter was measured using a device modified from a commercially available Hi8 VTR and connected to a jitter meter. Measurement of the reflectance of the surface of the magnetic recording medium was performed using a spectrometer U3200 manufactured by Hitachi.
Was performed. The measurement was performed from above the lubricating layer of the magnetic tape in which the back coat layer, the magnetic layer, the protective layer, and the lubricating layer were formed on the tape. The results are as shown in Tables 1, 2, and 3.

【0020】[0020]

【表1】 [Table 1]

【0021】[0021]

【表2】 [Table 2]

【0022】[0022]

【表3】 [Table 3]

【0023】[0023]

【発明の効果】本発明によれば200〜300nmの波
長の光を媒体に当てた場合の反射率の変化がほぼ一定で
あり、850nmの波長の光を媒体に当てた場合と25
0nmの波長の光を媒体に当てた場合の反射率の差が3
0%以上とすることにより、適正なステッフネスを得る
ことができ、良好な走行性と良好なヘッドタッチが実現
できる磁気記録媒体を得ることができる。
According to the present invention, the change in reflectance when light having a wavelength of 200 to 300 nm is applied to the medium is almost constant, and the change in reflectance when light having a wavelength of 850 nm is applied to the medium is 25%.
The difference in reflectance when light having a wavelength of 0 nm is applied to the medium is 3
By setting it to 0% or more, it is possible to obtain an appropriate stiffness, and it is possible to obtain a magnetic recording medium capable of realizing good running performance and good head touch.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の磁気記録媒体の製造に使用することの
できる装置の一例を示す概略図である。
FIG. 1 is a schematic view showing an example of an apparatus that can be used for manufacturing a magnetic recording medium of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 真空蒸着装置 2 真空チャンバ 3 冷却キャンロール 4 非磁性支持体 5 巻き出しロール 6 巻き取りロール 7 ルツボ 8 電子銃 9、9’ 防着板 10 ガスノズル DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Vacuum vapor deposition apparatus 2 Vacuum chamber 3 Cooling can roll 4 Non-magnetic support 5 Unwind roll 6 Take-up roll 7 Crucible 8 Electron gun 9, 9 'Detachment-proof plate 10 Gas nozzle

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 FI H01F 41/20 H01F 41/20 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continued on the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code FI H01F 41/20 H01F 41/20

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 テープ状の非磁性支持体上に形成された
少なくとも一層の磁性層を有する磁気記録媒体におい
て、200〜300nmの波長の光を媒体に当てた場合
において、反射率の変化がほぼ一定であることを特徴と
する磁気記録媒体。
In a magnetic recording medium having at least one magnetic layer formed on a tape-shaped non-magnetic support, a change in reflectivity is substantially reduced when light having a wavelength of 200 to 300 nm is applied to the medium. A magnetic recording medium characterized by being constant.
【請求項2】 前記磁気記録媒体において、850nm
の波長の光を媒体に当てた場合の反射率と250nmの
波長の光を媒体に当てた場合の反射率との差が30%以
上である請求項1に記載の磁気記録媒体。
2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein
2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein a difference between the reflectance when the light having the wavelength of 250 nm is applied to the medium and the reflectance when the light having the wavelength of 250 nm is applied to the medium is 30% or more.
【請求項3】 前記磁気記録媒体において、200〜3
00nmの波長の光を媒体に当てた場合の反射率の変化
が3%以内である請求項1または2に記載の磁気記録媒
体。
3. The magnetic recording medium according to claim 2, wherein
3. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein a change in reflectance when light having a wavelength of 00 nm is applied to the medium is within 3%.
【請求項4】 前記磁性層が真空中で斜め蒸着法により
成膜される請求項1〜3のいずれか1項に記載の磁気記
録媒体。
4. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the magnetic layer is formed by oblique evaporation in a vacuum.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000311334A (en) * 1999-04-27 2000-11-07 Victor Co Of Japan Ltd Magnetic recording medium and method for evaluating characteristic of the same

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* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000311334A (en) * 1999-04-27 2000-11-07 Victor Co Of Japan Ltd Magnetic recording medium and method for evaluating characteristic of the same

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