JP2000048342A - Magnetic record medium - Google Patents

Magnetic record medium

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JP2000048342A
JP2000048342A JP10213054A JP21305498A JP2000048342A JP 2000048342 A JP2000048342 A JP 2000048342A JP 10213054 A JP10213054 A JP 10213054A JP 21305498 A JP21305498 A JP 21305498A JP 2000048342 A JP2000048342 A JP 2000048342A
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magnetic
magnetic recording
layer
recording medium
coercive force
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Japanese (ja)
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Takao Mori
敬郎 森
Seiichi Onodera
誠一 小野寺
Hitoshi Wakao
仁志 若生
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To ensure oxidation and corrosion resistances by imparting intrasurface angle dependency to the coercive force of a magnetic recording layer and specifying a range of the ratio of the max. value of the coercive force to the min. value. SOLUTION: The ratio of the max. value of the coercive force to the min. value is adjusted to >1 to 3.5. The max. value of the coercive force is preferably >=100 kA/m for a high density record medium and the upper limit of the coercive force is limited in accordance with the characteristics of a magnetic recording head and an erasing head. A protective layer preferably comprises a carbon material from the viewpoint of wear resistance and the thickness is preferably 3-20 nm from the viewpoint of oxidation or corrosion resistance and the viewpoint of spacing loss. A magnetic material used in the magnetic record layer is, e.g. a simple ferromagnetic metal such as Co, Fe or Ni or an alloy such as Co-Ni, Co-Ni-Pt, Co-Cr, Co-Cr-Ta or Co-Cr-Pt.

Description

【発明の詳細な説明】DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は磁気記録媒体に関
し、さらに詳しくは、真空薄膜形成技術により形成され
た磁気記録層および保護層を有する、耐蝕性に優れた磁
気記録媒体に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording medium, and more particularly, to a magnetic recording medium having a magnetic recording layer and a protective layer formed by a vacuum thin film forming technique and having excellent corrosion resistance.

【0002】[0002]

【従来の技術】オーディオ装置、ビデオ装置あるいはコ
ンピュータ装置等に付随する磁気記録装置は、近年ます
ます小型軽量化、高画質化、長時間化あるいはディジタ
ル記録化等が進展し、これら高性能磁気記録装置に用い
られる磁気記録媒体に対しても高密度記録化が強く要望
されるようになっている。この要望に応える磁気記録媒
体として、薄膜型の磁気記録層を用いたものが実用化さ
れている。これは、非磁性支持体上にCoやCo合金等
の強磁性金属薄膜をスパッタリング、蒸着、イオンプレ
ーティングあるいはめっき等の薄膜形成技術により被着
した、薄膜の磁気記録層を用いたものである。中でも非
磁性支持体(の厚さ方向)に対し、斜めに磁性粒子を入
射する斜め蒸着法による薄膜型磁気記録媒体の製造方法
は、工業的にも確立している。
2. Description of the Related Art In recent years, magnetic recording devices associated with audio devices, video devices, computer devices, and the like have been increasingly reduced in size and weight, improved in image quality, extended in time, or digitally recorded. There has been a strong demand for high-density recording for magnetic recording media used in devices. As a magnetic recording medium that meets this demand, a medium using a thin-film type magnetic recording layer has been put to practical use. This uses a thin magnetic recording layer in which a ferromagnetic metal thin film such as Co or a Co alloy is deposited on a non-magnetic support by a thin film forming technique such as sputtering, vapor deposition, ion plating or plating. . Above all, a method for producing a thin-film magnetic recording medium by oblique deposition in which magnetic particles are incident obliquely to a non-magnetic support (in the thickness direction) is industrially established.

【0003】薄膜型磁気記録媒体は、保磁力Hc、残留
磁束密度Brあるいは角型比Rs等の磁気特性に優れ
る。また磁気記録層中に結合剤等の非磁性成分を含まな
いので磁性材料の充填密度が高い。したがって磁気記録
層の厚さを例えば1μm以下と極めて薄くしても、磁気
記録媒体として必要とされる残留磁束Φrが確保され
る。これらの特性により、記録減磁や再生時の厚み損失
が小さく、高密度の磁気記録媒体として好適とされる。
[0003] Thin-film magnetic recording media are excellent in magnetic properties such as coercive force Hc, residual magnetic flux density Br and squareness ratio Rs. Since the magnetic recording layer does not contain a non-magnetic component such as a binder, the packing density of the magnetic material is high. Therefore, even if the thickness of the magnetic recording layer is extremely thin, for example, 1 μm or less, the residual magnetic flux Φr required for the magnetic recording medium can be secured. Due to these characteristics, the thickness loss at the time of recording demagnetization and reproduction is small, and it is suitable as a high-density magnetic recording medium.

【0004】しかしながら、高密度化の要請がさらに高
まり、磁気記録層の厚さもサブクォータミクロンのレベ
ルのものが使用されるものと考えられる。このような超
薄膜の磁気記録層においては、磁性金属の酸化や錆の発
生等による腐食が、再生信号欠落やドロップアウトの増
大等、致命的なエラーに直結する可能性が高まる。
[0004] However, the demand for higher density is further increased, and it is considered that a magnetic recording layer having a sub-quarter micron thickness is used. In such an ultra-thin magnetic recording layer, there is a high possibility that corrosion due to oxidation or rust of the magnetic metal is directly linked to a fatal error such as a loss of reproduced signal or an increase in dropout.

【0005】従来より金属薄膜型磁気記録媒体の耐蝕性
および耐久性向上のため、磁気記録層表面に保護層およ
びトップコート層を形成する技術が用いられている。こ
のトップコート層は潤滑剤および防錆剤等を含むもので
ある。また保護層には気相成長法によるDLC (Diamon
d Like Carbon)等のカーボン系材料が多く採用される。
この保護層の採用により、金属薄膜型磁気記録媒体の耐
久性、耐蝕性は大幅に向上した。
Conventionally, a technique of forming a protective layer and a top coat layer on the surface of a magnetic recording layer has been used to improve the corrosion resistance and durability of a metal thin film type magnetic recording medium. This top coat layer contains a lubricant, a rust inhibitor and the like. In addition, a DLC (Diamon
d-like Carbon) is often used.
By using this protective layer, the durability and corrosion resistance of the metal thin-film magnetic recording medium have been greatly improved.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】保護層に対する要求特
性として、スペーシングロス低減のためには磁気記録層
にも増して薄く形成することが要求される。一方、耐蝕
性向上のためには連続膜として形成されることが要求さ
れる。これらは相矛盾する要求である。特に磁気記録層
表面に凹凸や不連続部分があると、この部分に形成され
る保護層にも不連続部分が発生し、この保護層の欠落部
から磁気記録層が酸化され錆が発生する。
As a characteristic required for the protective layer, it is required that the magnetic recording layer be formed thinner in order to reduce spacing loss. On the other hand, in order to improve corrosion resistance, it is required to form a continuous film. These are conflicting requirements. In particular, if there are irregularities or discontinuities on the surface of the magnetic recording layer, discontinuities also occur in the protective layer formed in these portions, and the magnetic recording layer is oxidized from the missing portions of the protective layer, generating rust.

【0007】薄膜化された磁気記録層は、下地の非磁性
支持体の表面性が強く反映される。PET (Polyethlen
e Terephthalate)等の非磁性支持体表面には、製造工程
中で不可避的に発生する凹凸や、走行性向上のために故
意に形成した微小な凸部が存在する場合がある。このよ
うな非磁性支持体上に、斜め蒸着法により磁気記録層を
形成すると、凸部や凹部の影となる部分には磁性粒子が
入射されず、したがって磁気記録層に不連続部分が発生
する。このため、この不連続部分に形成される保護層に
も欠落部分が生じ、磁気記録層の酸化が進行する。
The thin magnetic recording layer strongly reflects the surface properties of the underlying nonmagnetic support. PET (Polyethlen
On the surface of a non-magnetic support such as e-terephthalate), there may be irregularities which are inevitably generated during the manufacturing process or minute convexes which are intentionally formed for improving the running property. When a magnetic recording layer is formed on such a non-magnetic support by an oblique deposition method, magnetic particles do not enter a portion that is a shadow of a convex portion or a concave portion, and thus a discontinuous portion is generated in the magnetic recording layer. . For this reason, a missing portion also occurs in the protective layer formed in the discontinuous portion, and oxidation of the magnetic recording layer proceeds.

【0008】本発明はかかる問題点に鑑み提案するもの
であり、薄膜化された磁気記録層および保護層であって
もその連続性を確保し、耐酸化性あるいは耐蝕性に優れ
た信頼性の高い磁気記録媒体を提供することを課題とす
る。
The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and has been proposed to ensure the continuity of a thin magnetic recording layer and a protective layer even if the magnetic recording layer and the protective layer are thin. It is an object to provide a high magnetic recording medium.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】本発明者は上述した課題
を解決するため、磁気記録層の保磁力の面内角度依存性
に着目し、その最大値と最小値の比を特定範囲内とした
ときに、耐酸化性あるいは耐蝕性を向上できることを見
出し、本発明を完成するに至った。
In order to solve the above-mentioned problems, the present inventor pays attention to the in-plane angle dependence of the coercive force of the magnetic recording layer, and sets the ratio between the maximum value and the minimum value to be within a specific range. Then, they found that oxidation resistance or corrosion resistance could be improved, and completed the present invention.

【0010】すなわち本発明の磁気記録媒体は、非磁性
支持体上に磁気記録層および保護層を有する磁気記録媒
体であって、この磁気記録層の保磁力が面内角度依存性
を有するとともに、保磁力の最大値と最小値の比が、1
を超え3.5以下であることを特徴とする。
That is, the magnetic recording medium of the present invention is a magnetic recording medium having a magnetic recording layer and a protective layer on a non-magnetic support, wherein the coercive force of the magnetic recording layer has an in-plane angle dependency. When the ratio between the maximum value and the minimum value of the coercive force is 1
And 3.5 or less.

【0011】この保磁力の最大値と最小値の比は、1を
超え2.5以下であることがさらに好ましい。
The ratio of the maximum value and the minimum value of the coercive force is more preferably more than 1 and not more than 2.5.

【0012】保磁力の最大値としては、高密度磁気記録
媒体の目的のためには100kA/m以上であることが
好ましい。保磁力の上限は、磁気記録ヘッドや消去ヘッ
ドの特性により制限される。
The maximum value of the coercive force is preferably 100 kA / m or more for the purpose of a high-density magnetic recording medium. The upper limit of the coercive force is limited by the characteristics of the magnetic recording head and the erasing head.

【0013】保護層は、耐磨耗性の観点からカーボン系
材料からなるものが好ましく採用される。保護層の厚さ
は、耐酸化性あるいは耐蝕性の観点、およびスペーシン
グロスの観点から、3nm以上20nm以下が好まし
い。
The protective layer is preferably made of a carbon-based material from the viewpoint of abrasion resistance. The thickness of the protective layer is preferably 3 nm or more and 20 nm or less from the viewpoints of oxidation resistance or corrosion resistance and spacing loss.

【0014】薄膜型磁気記録媒体の代表的な製造方法で
ある、斜め蒸着法による磁気記録媒体を例にとり、図1
〜図3を参照して本発明の作用を説明する。
FIG. 1 shows an example of a magnetic recording medium formed by oblique vapor deposition, which is a typical method of manufacturing a thin film type magnetic recording medium.
The operation of the present invention will be described with reference to FIGS.

【0015】図3は斜め蒸着法の原理図である。すなわ
ち、長尺の非磁性支持体1の長さ方向をy軸、幅方向を
x軸、垂直(厚さ)方向をz軸とした場合、y軸方向に
走行する非磁性支持体に対し、z軸方向からの入射角i
で磁性粒子ビーム5が入射し、磁気記録層6が形成され
る。入射角 (incident angle) iは磁気記録層6の磁気
特性を決定する重要な角度であり、通常、最小で40〜
50°前後の値が採用される。
FIG. 3 is a diagram showing the principle of the oblique deposition method. That is, when the length direction of the long non-magnetic support 1 is the y-axis, the width direction is the x-axis, and the vertical (thickness) direction is the z-axis, the non-magnetic support traveling in the y-axis direction is: Incident angle i from z-axis direction
Then, the magnetic particle beam 5 is incident, and the magnetic recording layer 6 is formed. The incident angle i is an important angle that determines the magnetic characteristics of the magnetic recording layer 6, and is usually 40 to
A value around 50 ° is adopted.

【0016】幅広の非磁性支持体1に形成される磁気記
録層の均一性を高めるために、磁性粒子ビーム5の発生
源として、やはり幅広のハース (Hearse) 中の溶融磁性
金属が用いられる。非磁性支持体1の中心線に対し、そ
の幅方向(x軸方向)から入射する磁性粒子ビームの入
射角θと、ハースの幅との関係を図1に示す。従来は、
図1(a)に示すようにハース3中の溶融磁性金属4の
幅は、非磁性支持体1の幅あるいは磁気記録層6の幅と
同等程度が選ばれる。このとき、非磁性支持体1の中心
線に対しその幅方向からの磁性粒子ビーム5の入射角θ
は、従来技術においては非磁性支持体1の中心線に対し
て最大40°以下程度が採用される。
In order to enhance the uniformity of the magnetic recording layer formed on the wide non-magnetic support 1, a molten magnetic metal in a wide Hearse is also used as a source of the magnetic particle beam 5. FIG. 1 shows the relationship between the angle of incidence θ of the magnetic particle beam incident from the width direction (x-axis direction) with respect to the center line of the nonmagnetic support 1 and the width of the hearth. conventionally,
As shown in FIG. 1A, the width of the molten magnetic metal 4 in the hearth 3 is selected to be approximately equal to the width of the nonmagnetic support 1 or the width of the magnetic recording layer 6. At this time, the incident angle θ of the magnetic particle beam 5 from the width direction with respect to the center line of the nonmagnetic support 1
In the prior art, a maximum of about 40 ° or less with respect to the center line of the nonmagnetic support 1 is employed.

【0017】このように、非磁性支持体1の幅方向から
の磁性粒子ビーム5の入射角θを狭く設定することによ
り、磁気記録層6のy軸方向の配向性が向上する。した
がって、磁気記録層6の保磁力の面内角度依存性は大き
く、保磁力の面内の最大値と最小値の比は4以上が得ら
れる。この比を4〜6に設定することにより、薄膜型磁
気記録媒体の電磁変換特性が向上することが例えば特開
平9−92533号公報に開示されている。
As described above, by setting the incident angle θ of the magnetic particle beam 5 from the width direction of the nonmagnetic support 1 to be narrow, the orientation of the magnetic recording layer 6 in the y-axis direction is improved. Therefore, the in-plane angle dependence of the coercive force of the magnetic recording layer 6 is large, and the ratio of the in-plane maximum and minimum values of the coercive force is 4 or more. JP-A-9-92533 discloses that the electromagnetic conversion characteristics of a thin-film magnetic recording medium can be improved by setting the ratio to 4 to 6.

【0018】しかしながら、非磁性支持体1の幅方向か
らの磁性粒子ビーム5の入射角θを狭く設定した場合に
は、図2(a)に示すように非磁性支持体1の表面に存
在する微小凸部2により、入射する磁性粒子ビーム5の
影2sが大きく発生する。この影2s部分には磁気記録
層は形成されない。したがって、この部分での保護層も
不連続となり、酸化や腐食が発生する。なお図2は、非
磁性支持体1のz軸方向からみた微小凸部2と磁性粒子
ビーム5の関係を示す平面図である。
However, when the incident angle θ of the magnetic particle beam 5 from the width direction of the non-magnetic support 1 is set to be small, it exists on the surface of the non-magnetic support 1 as shown in FIG. The minute projections 2 cause a large shadow 2 s of the incident magnetic particle beam 5. No magnetic recording layer is formed in the shadow 2s portion. Therefore, the protective layer in this portion also becomes discontinuous, and oxidation and corrosion occur. FIG. 2 is a plan view showing the relationship between the micro-projections 2 and the magnetic particle beam 5 as viewed from the z-axis direction of the non-magnetic support 1.

【0019】本発明においては、この入射する磁性粒子
ビーム5の影2sを小さくし、あるいは無くし、酸化や
腐食を防止することを骨子とする。すなわち図2(b)
に示すように、非磁性支持体1の幅方向からの磁性粒子
ビーム5の入射角θを広く設定することにより、影2s
の面積が実質的に問題とならない大きさとする。このた
めには、図1(b)に示すようにハース3およびハース
3中の溶融磁性金属4の幅を従来より広く選ぶことによ
り、非磁性支持体1の幅方向からの磁性粒子ビーム5の
入射角θを大きくすることができる。
In the present invention, the main point is to reduce or eliminate the shadow 2s of the incident magnetic particle beam 5 to prevent oxidation and corrosion. That is, FIG.
As shown in (2), by setting the incident angle θ of the magnetic particle beam 5 from the width direction of the non-magnetic support 1 to be wide, the shadow 2s
Is so large that the area does not substantially matter. For this purpose, as shown in FIG. 1 (b), the width of the hearth 3 and the width of the molten magnetic metal 4 in the hearth 3 are selected to be wider than in the prior art, so that the magnetic particle beam 5 from the width direction of the non-magnetic support 1 can be formed. The incident angle θ can be increased.

【0020】非磁性支持体1のx軸方向の中心線位置で
の幅方向からの磁性粒子ビーム5の入射角θを、45°
以上80°以下、好ましくは50°以上75°以下に設
定することが望ましい。このように入射角θを選ぶと、
保磁力の面内角度依存性は従来より小さくなり、その最
大値と最小値の比は1超3.5以下となる。3.5を超
えると影2sの発生が無視できなくなり、この値が1と
いうことは面内等方性磁気記録媒体ということになり、
図3で原理説明した斜め蒸着法による磁気異方性付与を
採る限り現実的な値でない。面内の保磁力の最大値と最
小値の比は、1超2.5以下とすることが、磁気記録層
の酸化や腐食効果をより確実なものとする。
The incident angle θ of the magnetic particle beam 5 from the width direction at the center line position in the x-axis direction of the non-magnetic support 1 is 45 °.
It is desirable that the angle is set to not less than 80 ° and preferably not more than 50 ° and not more than 75 °. When the incident angle θ is selected as described above,
The in-plane angle dependence of the coercive force is smaller than in the prior art, and the ratio of the maximum value to the minimum value is more than 1 to 3.5 or less. When the value exceeds 3.5, the generation of the shadow 2s cannot be ignored, and a value of 1 means an in-plane isotropic magnetic recording medium.
This is not a realistic value as long as magnetic anisotropy is imparted by the oblique deposition method explained in principle in FIG. When the ratio between the maximum value and the minimum value of the in-plane coercive force is set to be more than 1 and not more than 2.5, the effect of oxidation and corrosion of the magnetic recording layer is further ensured.

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】以下、本発明の磁気記録媒体を詳
しく説明する。最初に、本発明の磁気記録媒体を製造す
る際に用いた、ロールツーロール方式の真空蒸着装置
を、図4の概略断面図により説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, a magnetic recording medium according to the present invention will be described in detail. First, a roll-to-roll type vacuum evaporation apparatus used for manufacturing the magnetic recording medium of the present invention will be described with reference to a schematic sectional view of FIG.

【0022】真空蒸着装置のチャンバ11は、非磁性支
持体1を搬送する搬送系と、磁気記録層を形成する成膜
系に大別され、両者は隔壁により仕切られ、それぞれの
排気口12から不図示の真空ポンプにより差動排気で真
空引きされる。
The chamber 11 of the vacuum evaporation apparatus is roughly divided into a transport system for transporting the non-magnetic support 1 and a film-forming system for forming a magnetic recording layer, both of which are separated by partition walls. It is evacuated by differential evacuation by a vacuum pump (not shown).

【0023】搬送系のチャンバ11内には、サプライロ
ール13に巻回された長尺かつ幅広の非磁性支持体1が
冷却キャン14に巻き付けられつつ一定速度で送り出さ
れ、テイクアップロール15に再び巻回される。冷却キ
ャン14は内部に冷媒が循環して表面を冷却し、非磁性
支持体1の熱変形を防止する。符号16は非磁性支持体
1に一定のテンションを与えるガイドロールである。各
ロールはいずれも非磁性支持体1と略同等の幅を有す
る。また非磁性支持体1の送り速度およびテンション等
は、不図示の駆動手段および制御手段により管理され
る。
The long and wide non-magnetic support 1 wound around the supply roll 13 is sent out at a constant speed into the chamber 11 of the transfer system while being wound around the cooling can 14, and is returned to the take-up roll 15 again. It is wound. The cooling can 14 has a cooling medium circulated therein to cool the surface and prevent the nonmagnetic support 1 from being thermally deformed. Reference numeral 16 denotes a guide roll for applying a constant tension to the non-magnetic support 1. Each of the rolls has a width substantially equal to that of the nonmagnetic support 1. The feed speed and tension of the nonmagnetic support 1 are managed by a drive unit and a control unit (not shown).

【0024】成膜系のチャンバ11内には、冷却キャン
14の下部に幅広のハース3が配設されており、その内
部にはCoやCo合金等の溶融磁性金属4が収容されて
いる。溶融磁性金属4の液面には、電子ビーム発生源1
7から熱源としての電子ビーム18が照射され、溶融磁
性金属4を加熱するとともに蒸発させる。電子ビーム1
8は不図示の電磁石により偏向され、溶融磁性金属4の
液面の幅方向のほぼ全長をスキャンする。ハース3に
は、連続的に一定量の磁性金属のインゴットあるいはワ
イヤ(いずれも不図示)が供給され、溶融磁性金属4の
液面を常時一定に保持する。
In the chamber 11 of the film forming system, a wide hearth 3 is provided below the cooling can 14, and a molten magnetic metal 4 such as Co or a Co alloy is accommodated therein. The liquid surface of the molten magnetic metal 4 has an electron beam source 1
7 irradiates an electron beam 18 as a heat source to heat and evaporate the molten magnetic metal 4. Electron beam 1
Numeral 8 is deflected by an electromagnet (not shown), and scans substantially the entire length of the liquid surface of the molten magnetic metal 4 in the width direction. A constant amount of magnetic metal ingot or wire (both not shown) is continuously supplied to the hearth 3 to keep the liquid level of the molten magnetic metal 4 constant at all times.

【0025】蒸発した溶融磁性金属4は、磁性粒子ビー
ム5となって冷却キャン14に巻回された非磁性支持体
1に斜め入射しその表面に磁気記録層(不図示)を形成
する。磁性粒子ビーム5の入射領域および入射角度i
は、入射角制限マスク20により規制され、iの最小値
は40〜50°程度の範囲が選ばれる。なお本実施形態
例ではiの最小値は45°、最大値は90°すなわち、
磁性粒子ビーム5が冷却キャン14の接線となるように
した。また磁性粒子ビーム5が入射する非磁性支持体1
の近傍には、ガスノズル19の開口端が配設されてお
り、酸素等のガスを導入して磁気記録層の磁気特性、耐
久性あるいは耐候性等を向上することができる。
The evaporated molten magnetic metal 4 becomes a magnetic particle beam 5 and is obliquely incident on the non-magnetic support 1 wound around the cooling can 14 to form a magnetic recording layer (not shown) on the surface thereof. The incident area and the incident angle i of the magnetic particle beam 5
Is restricted by the incident angle limiting mask 20, and the minimum value of i is selected in the range of about 40 to 50 °. In the present embodiment, the minimum value of i is 45 ° and the maximum value is 90 °,
The magnetic particle beam 5 was set to be tangent to the cooling can 14. The non-magnetic support 1 on which the magnetic particle beam 5 is incident
The opening end of the gas nozzle 19 is provided in the vicinity of, and a gas such as oxygen can be introduced to improve the magnetic characteristics, durability, weather resistance, and the like of the magnetic recording layer.

【0026】さて、図4の真空蒸着装置の特徴部分は、
ハース3の幅(図の紙面方向の奥行き)である。ハース
3の幅は非磁性支持体1の幅より広く、したがってハー
ス3内に収容される溶融磁性金属4の幅も非磁性支持体
1の幅より広い。また電子ビーム18もこの溶融磁性金
属4の全幅にわたりスキャンすることができる。このた
めには、電子ビーム18を偏向する電磁石(不図示)を
変更してもよく、あるいは電子ビーム発生源17をハー
ス3の幅方向に複数個設け、分割してスキャンしてもよ
い。
Now, the features of the vacuum deposition apparatus shown in FIG.
The width of the hearth 3 (depth in the direction of the paper in the figure). The width of the hearth 3 is wider than the width of the nonmagnetic support 1, and therefore, the width of the molten magnetic metal 4 contained in the hearth 3 is also wider than the width of the nonmagnetic support 1. The electron beam 18 can also scan over the entire width of the molten magnetic metal 4. For this purpose, an electromagnet (not shown) for deflecting the electron beam 18 may be changed, or a plurality of electron beam sources 17 may be provided in the width direction of the hearth 3 and divided and scanned.

【0027】ハース3の幅と非磁性支持体1の幅との関
係を図5を参照してさらに詳しく説明する。図5はハー
ス3と冷却キャン14に巻回された非磁性支持体1、お
よび磁性粒子ビーム5の相対位置関係を示す概略斜視図
である。
The relationship between the width of the hearth 3 and the width of the nonmagnetic support 1 will be described in more detail with reference to FIG. FIG. 5 is a schematic perspective view showing a relative positional relationship between the hearth 3, the nonmagnetic support 1 wound around the cooling can 14, and the magnetic particle beam 5.

【0028】すなわち、ハース3およびここに収容され
る溶融磁性金属4の幅は、冷却キャン14に巻回される
非磁性支持体1の幅より広く構成されている。この構成
により、非磁性支持体1の幅方向から入射する磁性粒子
ビーム5の入射角度θは、非磁性支持体1の中心線位置
で45°以上80°以下に制御される。すなわち、溶融
磁性金属4の端部から入射する磁性粒子ビーム5が、非
磁性支持体1の幅方向から入射する角度が45°以上8
0°の範囲に設定される。
That is, the width of the hearth 3 and the molten magnetic metal 4 accommodated therein is wider than the width of the nonmagnetic support 1 wound around the cooling can 14. With this configuration, the incident angle θ of the magnetic particle beam 5 that enters from the width direction of the nonmagnetic support 1 is controlled to be 45 ° or more and 80 ° or less at the center line position of the nonmagnetic support 1. That is, the angle at which the magnetic particle beam 5 incident from the end of the molten magnetic metal 4 is incident from the width direction of the nonmagnetic support 1 is 45 ° or more.
It is set in the range of 0 °.

【0029】このように、非磁性支持体の幅方向の広い
範囲から磁性粒子ビーム5を入射することにより、図2
(b)で説明したように、非磁性支持体1上に凹凸が存
在しても、影2sが発生することなく、あるいは影2s
の面積が無視できる程小さなものとなる。したがって、
磁気記録層6に不連続部分や欠落部分が生じることな
く、この上に形成する保護層にも不連続部分や欠落部分
が発生せず、耐酸化性、耐蝕性に優れた磁気記録媒体を
提供することができる。
As described above, by injecting the magnetic particle beam 5 from a wide range in the width direction of the non-magnetic support, the magnetic particle beam 5 shown in FIG.
As described in (b), even if unevenness is present on the non-magnetic support 1, no shadow 2s is generated, or the shadow 2s
Is so small that it can be ignored. Therefore,
A magnetic recording medium having excellent oxidation resistance and corrosion resistance, with no discontinuous portions or missing portions in the magnetic recording layer 6 and no discontinuous or missing portions in the protective layer formed thereon. can do.

【0030】なお斜め蒸着の趣旨からして、図3にその
原理図を示した非磁性支持体1の厚さ(z軸)方向に対
する入射角iは、本発明でも40〜50°程度が採用さ
れ、本実施形態例では45°とした。
For the purpose of oblique deposition, the incident angle i with respect to the thickness (z-axis) direction of the non-magnetic support 1 whose principle is shown in FIG. 3 is about 40 to 50 ° in the present invention. In this embodiment, the angle is set to 45 °.

【0031】以上本発明の磁気記録媒体の実施形態例を
説明したが、磁性粒子ビーム5の発生源として電子ビー
ムを熱源とする蒸着法の他に、高周波誘導加熱や抵抗加
熱による蒸着法や、イオンプレーティング法、電界蒸着
法、あるいはスパッタリング法、レーザアブレーション
法等により磁気記録層を形成してもよい。
The embodiment of the magnetic recording medium of the present invention has been described above. In addition to the vapor deposition method using an electron beam as a heat source as a source of the magnetic particle beam 5, a vapor deposition method using high-frequency induction heating or resistance heating, The magnetic recording layer may be formed by an ion plating method, an electric field evaporation method, a sputtering method, a laser ablation method, or the like.

【0032】本発明の磁気記録媒体に用いる非磁性支持
体としては、通常の磁気記録媒体で用いられるものはい
ずれも使用可能であり、ポリエチレンテレフタレート、
ポリエチレン−2,6−ナフタレート等のポリエステル
類、ポリエチレン、ポリプロピレン等のポリオレフィン
類、セルローストリアセテート、セルロースダイアセテ
ート等のセルロース誘導体、ポリ塩化ビニル等のビニル
系樹脂、ポリ塩化ビニリデン等のビニリデン樹脂、ポリ
カーボネート、ポリアミドイミド、ポリイミド等の有機
高分子が例示される。これら非磁性支持体の表面には接
着性向上のために、有機バインダからなる下地材料層を
設けてもよい。
As the non-magnetic support used in the magnetic recording medium of the present invention, any of those used in ordinary magnetic recording media can be used, such as polyethylene terephthalate,
Polyesters such as polyethylene-2,6-naphthalate; polyolefins such as polyethylene and polypropylene; cellulose derivatives such as cellulose triacetate and cellulose diacetate; vinyl resins such as polyvinyl chloride; vinylidene resins such as polyvinylidene chloride; Organic polymers such as polyamide imide and polyimide are exemplified. A base material layer made of an organic binder may be provided on the surface of the nonmagnetic support to improve the adhesiveness.

【0033】また、この下地材料層中や非磁性支持体中
に、SiO2 やラテックス等のフィラーを含有させ、微
小な表面凸部を形成してもよい。一例として、非磁性支
持体上に、アクリル酸エステルを主成分とする水溶性ラ
テックスを分散させたエマルジョン溶液を塗布し、粒子
密度107 個/mm2 程度の表面凸部を有する下塗り層
を形成する。また非磁性支持体中にシリカ微粒子を内添
して表面突起を形成してもよい。
Further, a filler such as SiO 2 or latex may be contained in the base material layer or the nonmagnetic support to form minute surface projections. As an example, an undercoat layer having a surface density of about 10 7 particles / mm 2 is formed by applying an emulsion solution in which a water-soluble latex containing an acrylate ester as a main component is dispersed on a nonmagnetic support. I do. Alternatively, silica microparticles may be internally added to the non-magnetic support to form surface protrusions.

【0034】これら微小凸部は、金属磁性薄膜の表面性
を制御して、磁気記録テープの走行性の向上に寄与す
る。本発明では、このような微小凸部を形成した非磁性
支持体であっても、耐酸化性や耐蝕性を損ねる虞はな
い。
These minute projections control the surface properties of the metal magnetic thin film and contribute to improving the running properties of the magnetic recording tape. In the present invention, there is no possibility that the non-magnetic support having such minute projections may impair the oxidation resistance and corrosion resistance.

【0035】磁気記録層に用いる磁性材料としては、C
o、FeあるいはNi等の単体強磁性金属や、Co−N
i系合金、Co−Ni−Pt系合金、Co−Cr合金、
Co−Cr−Ta合金、Co−Cr−Pt合金等のCo
系合金、Fe−Co−Ni合金、Fe−Ni−B合金、
Fe−Co−B合金、Fe−Co−Ni−B合金等のF
e系合金等や、これら強磁性材料中や粒界に酸化物、窒
化物あるいは炭化物等が析出した構造からなるものが例
示される。磁気記録層は単層あるいは積層で形成され
る。積層の場合には、中間層として非磁性層を介在させ
てもよい。
The magnetic material used for the magnetic recording layer is C
a simple ferromagnetic metal such as o, Fe or Ni, or Co-N
i-based alloy, Co-Ni-Pt-based alloy, Co-Cr alloy,
Co such as Co-Cr-Ta alloy and Co-Cr-Pt alloy
System alloy, Fe-Co-Ni alloy, Fe-Ni-B alloy,
F such as Fe-Co-B alloy and Fe-Co-Ni-B alloy
Examples thereof include an e-based alloy or the like, or an alloy having a structure in which an oxide, a nitride, a carbide, or the like is precipitated in these ferromagnetic materials or at grain boundaries. The magnetic recording layer is formed as a single layer or a multilayer. In the case of lamination, a non-magnetic layer may be interposed as an intermediate layer.

【0036】磁気記録層上に形成する保護層の材料とし
ては例えばカーボン、グラファイト、DLC、Si
2 、Si3 4 、SiON、SiC、Al2 3 、A
lN、TiO2 、Cr2 3 、TiN、TiC、ZrO
2 、BC等が単独あるいは複合膜として使用される。さ
らにはポリパラキシリレン(商品名パリレン)やフッ素
樹脂等、真空薄膜形成技術を適用可能な有機高分子を用
いることもできる。これら材料を単層あるいは積層で用
いてもよい。なかでもDLCはその保護効果の高さから
好ましく採用される。DLCはイオンプレーティングや
スパッタリング法等のPVD (Physical Vapor Deposit
ion)法や、プラズマCVD法、ECR (Electron Cyclo
tron Resonance) プラズマCVD法、アークジェットC
VD法等の各種CVD(Chemical Vapor Deposition) 法
により薄膜として形成することができる。
As a material of the protective layer formed on the magnetic recording layer, for example, carbon, graphite, DLC, Si
O 2 , Si 3 N 4 , SiON, SiC, Al 2 O 3 , A
lN, TiO 2, Cr 2 O 3, TiN, TiC, ZrO
2 , BC, etc. are used alone or as a composite membrane. Further, an organic polymer to which a vacuum thin film forming technique can be applied, such as polyparaxylylene (trade name: parylene) or fluororesin, can also be used. These materials may be used in a single layer or a laminate. Among them, DLC is preferably employed because of its high protective effect. DLC is PVD (Physical Vapor Deposit) such as ion plating and sputtering.
ion) method, plasma CVD method, ECR (Electron Cyclo
tron Resonance) Plasma CVD method, arc jet C
It can be formed as a thin film by various CVD (Chemical Vapor Deposition) methods such as a VD method.

【0037】図6に保護層形成用のCVD装置の一例と
して、DLC形成用のプラズマCVD装置の概略断面図
を示す。図6のプラズマCVD装置では、図4に示した
真空蒸着装置と類似した機能を持つ構成部分には、同じ
符号を付している。
FIG. 6 is a schematic sectional view of a plasma CVD apparatus for forming a DLC as an example of a CVD apparatus for forming a protective layer. In the plasma CVD apparatus of FIG. 6, components having functions similar to those of the vacuum evaporation apparatus shown in FIG. 4 are denoted by the same reference numerals.

【0038】非磁性支持体1の一方の面に磁気記録層
を、他の面にバックコート層を形成した非磁性支持体1
を、サプライロール13から供給し、ガイドロール1
6、冷却キャン14、ガイドロール16を経由して走行
させ、テイクアップロール15に巻き取る。冷却キャン
14の軸方向の全長に渡り、その上部に開口を有する反
応管21が配設されている。反応管21の下部にはガス
ノズル19が連結され、ここから炭化水素系ガスを主成
分とする反応ガスが導入される。反応管21内にはDC
電源23からの+500〜2000VのDC電圧が印加
されるメッシュ状の電極22が収納されており、接地電
位の冷却キャン14との間で炭化水素系ガスのプラズマ
を生成し、走行する非磁性支持体1の磁気記録層表面に
連続的にDLCによる保護層を形成することができる。
これらの構成部材は、真空チャンバ11内に収容され、
チャンバ内を排気口12から不図示の真空ポンプにより
排気して所望の真空度に制御することが可能である。反
応ガスとしては、トルエン等の芳香族炭化水素、メタン
やアセチレン等の脂肪族炭化水素をキャリアガスで希釈
したものが用いられる。
A non-magnetic support 1 having a magnetic recording layer formed on one surface and a back coat layer formed on the other surface
Is supplied from the supply roll 13 and the guide roll 1
6. Run through the cooling can 14 and the guide roll 16 and wind it up on the take-up roll 15. A reaction tube 21 having an opening at an upper portion thereof is provided over the entire length of the cooling can 14 in the axial direction. A gas nozzle 19 is connected to a lower portion of the reaction tube 21, and a reaction gas containing a hydrocarbon-based gas as a main component is introduced from the gas nozzle 19. DC is contained in the reaction tube 21.
A mesh-shaped electrode 22 to which a DC voltage of +500 to 2000 V from a power supply 23 is applied is housed, and a plasma of a hydrocarbon-based gas is generated between the mesh-shaped electrode 22 and the cooling can 14 at the ground potential, and the non-magnetic supporting member travels. A protective layer of DLC can be continuously formed on the surface of the magnetic recording layer of the body 1.
These components are housed in a vacuum chamber 11,
The inside of the chamber can be evacuated from an exhaust port 12 by a vacuum pump (not shown) and controlled to a desired degree of vacuum. As the reaction gas, one obtained by diluting an aromatic hydrocarbon such as toluene or an aliphatic hydrocarbon such as methane or acetylene with a carrier gas is used.

【0039】保護層の表面に、潤滑や防錆等を目的とし
てトップコート層を形成してもよい。トップコート層
は、例えば潤滑剤および防錆剤等をアルコールやトルエ
ン等の溶媒に溶解したトップコート溶液を塗布すること
により形成される。使用可能な溶媒としては、メタノー
ル、エタノール、イソプロパノール等のアルコール系溶
剤、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイソブチル
ケトン、シクロヘキサノン等のケトン系溶剤、酢酸メチ
ル、酢酸エチル、酢酸ブチル、乳酸エチル、酢酸グリコ
ールモノエチルエステル等のエステル系溶剤、グリコー
ルジメチルエーテル、グリコールモノエチルエーテル、
ジオキサン等のエーテル系溶剤、ベンゼン、トルエン、
キシレン等の芳香族炭化水素系溶剤、メチレンクロライ
ド、エチレンクロライド、四塩化炭素、クロロホルム、
エチレンクロルヒドリン、ジクロロベンゼン等の有機塩
素化合物系溶剤等が例示される。さらにフッ素アルコー
ル系溶剤も使用可能である。
A top coat layer may be formed on the surface of the protective layer for the purpose of lubrication and rust prevention. The top coat layer is formed, for example, by applying a top coat solution in which a lubricant, a rust inhibitor and the like are dissolved in a solvent such as alcohol and toluene. Usable solvents include alcohol solvents such as methanol, ethanol, and isopropanol; ketone solvents such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, and cyclohexanone; methyl acetate, ethyl acetate, butyl acetate, ethyl lactate, and glycol monoethyl ester. Ester solvents such as glycol dimethyl ether, glycol monoethyl ether,
Ether solvents such as dioxane, benzene, toluene,
Aromatic hydrocarbon solvents such as xylene, methylene chloride, ethylene chloride, carbon tetrachloride, chloroform,
Organic chlorinated compound solvents such as ethylene chlorohydrin and dichlorobenzene are exemplified. Further, a fluorine alcohol-based solvent can also be used.

【0040】潤滑剤としては高級脂肪酸と高級アルコー
ルのエステル化合物、シリコーン系化合物あるいはフッ
素を含む炭化水素系化合物等が例示される。パーフルオ
ロポリエーテル化合物は好ましく用いることができる代
表例である。
Examples of the lubricant include ester compounds of higher fatty acids and higher alcohols, silicone compounds, and hydrocarbon compounds containing fluorine. A perfluoropolyether compound is a typical example that can be preferably used.

【0041】つぎに防錆剤としてはこれも磁気記録媒体
に従来用いられている防錆剤はいずれも使用することが
可能であり、例えば二価フェノール、アルキルフェノー
ル、ニトロフェノール等のフェノール類、ナフトール、
ニトロナフトール、ニトロソナフトール、アミノナフト
ール、ハロゲン置換ナフトール等のナフトール類、メチ
ルキノン、ヒドロキシキノン、アミノキノン、ニトロキ
ノン等のキノン類、ベンゾフェノンおよびその誘導体で
あるヒドロキシベンゾフェノン、アミノベンゾフェノン
等のジアリールケトンアクリジン、4−キノリノール、
キヌレン酸あるいはリボフラビン等の含窒素複素環化合
物、トコフェロールあるいはグアノシン等の含酸素複素
環化合物、スルホランスルホレンチオン等の含硫黄複素
環化合物、チオフェノール、ジチゾン、チオオキシン等
のメルカプト基を含む化合物、エンタチオ酸、ルベアン
酸等のチオカルボン酸およびその塩、ジアゾスルフィド
およびベンゾチアゾリン等のチアゾール系化合物等を例
示することができる。
As the rust preventive, any of the rust preventives conventionally used in magnetic recording media can be used, for example, phenols such as dihydric phenol, alkylphenol and nitrophenol, naphthol. ,
Naphthols such as nitronaphthol, nitrosonaphthol, aminonaphthol, and halogen-substituted naphthol; quinones such as methylquinone, hydroxyquinone, aminoquinone and nitroquinone; benzophenone and its derivatives hydroxyarylbenzophenone; ,
Nitrogen-containing heterocyclic compounds such as kynurenic acid or riboflavin; oxygen-containing heterocyclic compounds such as tocopherol or guanosine; sulfur-containing heterocyclic compounds such as sulfolansulforenthione; compounds containing a mercapto group such as thiophenol, dithizone, and thiooxin; Examples thereof include thiocarboxylic acids such as acids and rubeanic acids and salts thereof, and thiazole compounds such as diazosulfide and benzothiazoline.

【0042】また気化性防錆剤として、アミルアミン、
エタノールアミン、ナフチルアミン、シクロヘキシルア
ミン、ジシクロヘキシルアミン、イソプロピルアミン等
の有機アミン、亜硝酸の有機エステル、チオ亜硝酸の有
機エステル、亜硝酸トリメチルスルホニウム、亜硝酸ジ
イソプロピルアンモニウム、亜硝酸ジシクロヘキシルア
ンモニウム、シクロヘキシルアミン炭酸塩等が例示され
る。またこの他にも安息香酸、亜硝酸、ベンゾトリアゾ
ールおよびその誘導体も使用できる。上述した防錆剤は
本発明のトップコート溶液の溶質としていずれも単独あ
るいは混合して使用可能である。
As a vaporizable rust inhibitor, amylamine,
Organic amines such as ethanolamine, naphthylamine, cyclohexylamine, dicyclohexylamine, and isopropylamine; organic esters of nitrite; organic esters of thionitrite; trimethylsulfonium nitrite; diisopropylammonium nitrite; dicyclohexylammonium nitrite; cyclohexylamine carbonate Etc. are exemplified. In addition, benzoic acid, nitrous acid, benzotriazole and derivatives thereof can also be used. Any of the above rust preventives can be used alone or as a mixture as a solute of the top coat solution of the present invention.

【0043】さらに、より厳しい環境下での使用条件に
対処して潤滑効果を持続するため、潤滑剤あるいはその
組成物に対し重量比で30/70〜70/30程度の配
合比で極圧剤を併用してもよい。極圧剤は、境界潤滑領
域において部分的に金属接触を生じた際にこれに伴う摩
擦熱により金属面と反応し、反応生成物被膜を形成する
ことにより摩擦・磨耗防止作用を得る化合物であり、従
来公知のリン系極圧剤、硫黄系極圧剤、ハロゲン系極圧
剤、有機金属系極圧剤および複合系極圧剤のいずれも使
用することができる。
Further, in order to maintain the lubricating effect by coping with the use conditions in more severe environments, the extreme pressure agent is added to the lubricant or its composition in a mixing ratio of about 30/70 to 70/30 by weight. May be used in combination. An extreme pressure agent is a compound that, when partial metal contact occurs in the boundary lubrication area, reacts with the metal surface due to the frictional heat involved, and forms a reaction product film to obtain a friction / wear prevention effect. Any of conventionally known phosphorus-based extreme pressure agents, sulfur-based extreme pressure agents, halogen-based extreme pressure agents, organometallic extreme pressure agents and composite extreme pressure agents can be used.

【0044】本発明の磁気記録媒体において、トップコ
ート層の厚さすなわち形成密度は特に限定はされない
が、一例として0.3〜100mg/m2 が望ましく、
0.5〜20mg/m2 であることがさらに望ましい。
形成密度が0.3mg/m2 未満では充分な耐久性およ
び走行安定性が得られず、100mg/m2 を超えると
やはり耐久性が低下し、磁気ドラム等への貼り付き現象
が発生する。トップコート層の形成方法は特に限定され
ないが、例えばグラビアコーティング、ディップコーテ
ィング等の各種塗布方法が適用される。
In the magnetic recording medium of the present invention, the thickness of the top coat layer, that is, the formation density is not particularly limited, but is preferably 0.3 to 100 mg / m 2 as an example.
More preferably, it is 0.5 to 20 mg / m 2 .
If the formed density is less than 0.3 mg / m 2 , sufficient durability and running stability cannot be obtained. If the formed density exceeds 100 mg / m 2 , the durability also decreases, and a phenomenon of sticking to a magnetic drum or the like occurs. The method for forming the top coat layer is not particularly limited, but various application methods such as gravure coating and dip coating are applied.

【0045】非磁性支持体の他方の面に、塗布型あるい
は薄膜型のバックコート層を設けてもよい。バックコー
ト層の構成は特に限定されない。塗布バックコート層は
非磁性粒子を有機バインダ中に分散させて形成し、表面
粗度や導電性を制御するものであり、非磁性粒子の材料
としては例えばヘマタイト、ベーマイト、溶融アルミ
ナ、α,β,γ−アルミナ等の各種アルミナ、雲母、カ
オリン、タルク、粘土、シリカ、酸化マグネシウム、酸
化チタン(ルチルおよびアナターゼ)、酸化亜鉛、硫化
亜鉛、炭酸カルシウム、炭酸マグネシウム、炭酸バリウ
ム、硫酸バリウム、硫酸鉛、硫化タングステン等の無機
化合物、ポリエチレン、ポリ塩化ビニル、ポリイミド、
ポリテトラフルオロエチレン等の高分子樹脂、デンプ
ン、あるいは非磁性金属やカーボン等が例示される。非
磁性粒子は、平均粒子径0.05〜1μm、好ましくは
0.1〜0.7μmの大きさのものが使用され、有機バ
インダ100重量部に対して通常1〜20重量部の範囲
で添加される。また粒子形状は塗料適性や耐久性等の観
点から、略球形、略正多面体等の等方的な形状を有する
ものが好ましい。
On the other surface of the non-magnetic support, a coating type or thin film type back coat layer may be provided. The configuration of the back coat layer is not particularly limited. The coating back coat layer is formed by dispersing non-magnetic particles in an organic binder to control the surface roughness and conductivity. Examples of the material of the non-magnetic particles include hematite, boehmite, fused alumina, α, β Alumina, mica, kaolin, talc, clay, silica, magnesium oxide, titanium oxide (rutile and anatase), zinc oxide, zinc sulfide, calcium carbonate, magnesium carbonate, barium carbonate, barium sulfate, lead sulfate , Inorganic compounds such as tungsten sulfide, polyethylene, polyvinyl chloride, polyimide,
Examples thereof include polymer resins such as polytetrafluoroethylene, starch, nonmagnetic metals, carbon, and the like. The non-magnetic particles have a mean particle size of 0.05 to 1 μm, preferably 0.1 to 0.7 μm, and are usually added in an amount of 1 to 20 parts by weight based on 100 parts by weight of the organic binder. Is done. Further, from the viewpoint of paint suitability and durability, it is preferable that the particles have an isotropic shape such as a substantially spherical shape and a substantially regular polyhedron.

【0046】また塗布バックコート層に用いる有機バイ
ンダ材料としては、これも特に限定されないが、従来よ
り使用されている熱可塑性樹脂、熱硬化性樹脂、反応型
樹脂等のすべてが使用可能である。熱可塑性樹脂は、熱
硬化性樹脂や反応型樹脂等と混合して用いることが望ま
しい。樹脂の分子量としては、平均分子量5,000な
いし200,000のものが好適であり、10,000
ないし100,000のものがさらに好適である。熱可
塑性樹脂としては、例えば塩化ビニル樹脂、酢酸ビニル
樹脂、フッ化ビニル樹脂、塩化ビニル−酢酸ビニル共重
合体、塩化ビニル−塩化ビニリデン共重合体、塩化ビニ
ル−酢酸ビニル−ビニルアルコール共重合体、塩化ビニ
ル−アクリロニトリル共重合体、塩化ビニリデン−アク
リロニトリル共重合体、アクリル酸エステル−アクリル
ニトリル共重合体、アクリル酸エステル−塩化ビニル−
塩化ビニリデン共重合体、メタクリル酸エステル−塩化
ビニル共重合体、メタクリル酸エステル−塩化ビニリデ
ン共重合体、メタクリル酸エステル−エチレン共重合
体、アクリロニトリル−ブタジエン共重合体、スチレン
−ブタジエン共重合体、ポリウレタン樹脂、ポリエステ
ルポリウレタン樹脂、ポリエステル樹脂、ポリカーボネ
ートポリウレタン樹脂、ポリカーボネート樹脂、ポリア
ミド樹脂、ポリビニルブチラール樹脂、セルロース誘導
体(セルロースアセテートブチレート、セルロースダイ
アセテート、セルローストリアセテート、セルロースプ
ロピオネート、ニトロセルロース等)、スチレンブタジ
エン共重合体、ポリエステル樹脂、アミノ樹脂、各種合
成ゴム系等があげられる。また熱硬化性樹脂および反応
型樹脂の例としては、フェノール樹脂、エポキシ樹脂、
ポリウレタン硬化型樹脂、尿素ホルムアルデヒド樹脂、
メラミン樹脂、アルキッド樹脂、シリコーン樹脂、ポリ
アミン樹脂、高分子量ポリエステル樹脂とイソシアネー
トプレポリマの混合物、ポリエステルポリオールとポリ
イソシアネートの混合物、低分子量グリコールと高分子
量ジオールとイソシアネートの混合物等、およびこれら
樹脂の混合物が例示される。これらの樹脂のうち、柔軟
性を付与するとされるポリウレタン樹脂、ポリカーボネ
ート樹脂、ポリエステル樹脂、アクリロニトリル−ブタ
ジエン共重合体等の使用が好ましい。これらの樹脂は、
非磁性粒子の分散性を向上するために−SO3 M、−O
SO3 M、−COOM、あるいは −PO(OM’)2
等の極性官能基を含有していてもよい(但し、MはHま
たはLi、Ka、Na等のアルカリ金属、M’はHまた
はLi、Ka、Na等のアルカリ金属またはアルキル基
をあらわす)。極性官能基としてはこの他に−NR1
2 、−NR1 2 3 + - の末端基を有する側鎖型の
もの、>NR1 2 + - の主鎖型のもの等がある(こ
こでR1 、R2、R3 は水素原子または炭化水素基であ
り、X- はフッ素、塩素、臭素、ヨウ素等のハロゲンイ
オンあるいは無機、有機イオンをあらわす)。この他に
−OH、−SH、−CN、エポキシ基等の極性官能基で
あってもよい。これら極性官能基の含有量は10-1〜1
-8mol/gであり、好ましくは10-2〜10-6mo
l/gである。これら有機バインダは単独で用いること
も可能であるが、2種類以上を併用することも可能であ
る。塗布バックコート層中におけるこれら有機バインダ
の量は、非磁性粒子100重量部に対して1〜200重
量部、好ましくは10〜50重量部である。
The organic binder material used for the coating backcoat layer is not particularly limited, but any of conventionally used thermoplastic resins, thermosetting resins, and reactive resins can be used. It is desirable that the thermoplastic resin be used in combination with a thermosetting resin, a reactive resin, or the like. The resin preferably has an average molecular weight of 5,000 to 200,000, and 10,000.
To 100,000 are more preferred. As the thermoplastic resin, for example, vinyl chloride resin, vinyl acetate resin, vinyl fluoride resin, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, vinyl chloride-vinylidene chloride copolymer, vinyl chloride-vinyl acetate-vinyl alcohol copolymer, Vinyl chloride-acrylonitrile copolymer, vinylidene chloride-acrylonitrile copolymer, acrylate-acrylonitrile copolymer, acrylate-vinyl chloride-
Vinylidene chloride copolymer, methacrylic acid ester-vinyl chloride copolymer, methacrylic acid ester-vinylidene chloride copolymer, methacrylic acid ester-ethylene copolymer, acrylonitrile-butadiene copolymer, styrene-butadiene copolymer, polyurethane Resin, polyester polyurethane resin, polyester resin, polycarbonate polyurethane resin, polycarbonate resin, polyamide resin, polyvinyl butyral resin, cellulose derivative (cellulose acetate butyrate, cellulose diacetate, cellulose triacetate, cellulose propionate, nitrocellulose, etc.), styrene butadiene Copolymers, polyester resins, amino resins, various synthetic rubbers and the like can be mentioned. Examples of thermosetting resins and reactive resins include phenolic resins, epoxy resins,
Polyurethane curing resin, urea formaldehyde resin,
Melamine resins, alkyd resins, silicone resins, polyamine resins, mixtures of high molecular weight polyester resins and isocyanate prepolymers, mixtures of polyester polyols and polyisocyanates, mixtures of low molecular weight glycols, high molecular weight diols and isocyanates, and mixtures of these resins Is exemplified. Among these resins, it is preferable to use a polyurethane resin, a polycarbonate resin, a polyester resin, an acrylonitrile-butadiene copolymer, which is considered to impart flexibility. These resins are
In order to improve the dispersibility of non-magnetic particles, -SO 3 M, -O
SO 3 M, —COOM, or —PO (OM ′) 2
(Where M represents H or an alkali metal such as Li, Ka, or Na, and M ′ represents H or an alkali metal such as Li, Ka, or Na, or an alkyl group). Other polar functional groups include -NR 1 R
2 , -NR 1 R 2 R 3 + X side chain type having a terminal group, and> NR 1 R 2 + X main chain type (here, R 1 , R 2 , R 3 is a hydrogen atom or a hydrocarbon group, X - represents fluorine, chlorine, bromine, halogen ion or an inorganic iodine, the organic ions). In addition, a polar functional group such as —OH, —SH, —CN, or an epoxy group may be used. The content of these polar functional groups is 10 -1 to 1
0 -8 mol / g, preferably 10 -2 to 10 -6 mo
1 / g. These organic binders can be used alone or in combination of two or more. The amount of these organic binders in the applied back coat layer is 1 to 200 parts by weight, preferably 10 to 50 parts by weight, based on 100 parts by weight of the nonmagnetic particles.

【0047】上述した有機バインダを架橋硬化する硬化
剤として、例えばポリイソシアネート等を添加すること
が可能である。ポリイソシアネートとしては、トリメチ
ロールプロパンと2,4−トリレンジイソシアネート
(TDI)の付加体(例えば商品名コロネートL−5
0)が一般的であるが、4,4−ジフェニルメタンジイ
ソシアネート(MDI)やヘキサンジイソシアネート
(HDI)等のアルキレンジイソシアネートの付加体を
使用してもよい。この他、テトラグリシジルメタキシレ
ンジアミン、テトラグリシジル−1,3−ビスアミノメ
チルシクロヘキサン、テトラグリシジルアミノジフェニ
ルメタン、トリグリシジル−p−アミノフェノール等の
ポリグリシジルアミン化合物、2−ジブチルアミノ−
4,6−ジメルカプト置換トリアジン等のポリチオール
化合物、トリグリシジルイソシアヌレート等のエポキシ
化合物、エポキシ化合物とイソシアネート化合物の混合
物、エポキシ化合物とオキサゾリン化合物との混合物、
イミダゾール化合物とイソシアネート化合物の混合物、
無水メチルナジン酸等、従来より公知のものはいずれも
使用可能である。これら硬化剤の有機バインダへの配合
割合は、有機バインダ100重量部に対し5〜80重量
部、好ましくは10〜50重量部である。
As a curing agent for crosslinking and curing the above-mentioned organic binder, for example, polyisocyanate or the like can be added. As the polyisocyanate, an adduct of trimethylolpropane and 2,4-tolylene diisocyanate (TDI) (for example, trade name Coronate L-5)
Although 0) is generally used, an adduct of an alkylene diisocyanate such as 4,4-diphenylmethane diisocyanate (MDI) or hexane diisocyanate (HDI) may be used. In addition, polyglycidylamine compounds such as tetraglycidyl metaxylenediamine, tetraglycidyl-1,3-bisaminomethylcyclohexane, tetraglycidylaminodiphenylmethane, triglycidyl-p-aminophenol, and 2-dibutylamino-
Polythiol compounds such as 4,6-dimercapto-substituted triazines, epoxy compounds such as triglycidyl isocyanurate, mixtures of epoxy compounds and isocyanate compounds, mixtures of epoxy compounds and oxazoline compounds,
A mixture of an imidazole compound and an isocyanate compound,
Any conventionally known compounds such as methylnadic anhydride can be used. The mixing ratio of these curing agents to the organic binder is 5 to 80 parts by weight, preferably 10 to 50 parts by weight, based on 100 parts by weight of the organic binder.

【0048】塗布バックコート層と非磁性支持体との間
に、塗布バックコート層の接着性向上等の目的で、下部
塗布バックコート層を形成してもよい。下部塗布バック
コート層は、有機バインダ単独、あるいはカーボン粉末
および必要に応じて他の非磁性粉末および有機バインダ
を溶剤に溶解し塗料化し、これを非磁性支持体上に塗
布、乾燥することにより形成される。
A lower coating backcoat layer may be formed between the coating backcoat layer and the nonmagnetic support for the purpose of improving the adhesiveness of the coating backcoat layer. The lower coating backcoat layer is formed by dissolving an organic binder alone or a carbon powder and, if necessary, other nonmagnetic powder and an organic binder in a solvent to form a coating, coating this on a nonmagnetic support, and drying. Is done.

【0049】塗布バックコート層形成用の塗料に用いら
れる溶剤としては、アセトン、メチルエチルケトン、メ
チルイソブチルケトン、シクロヘキサノン等のケトン
類、メタノール、エタノール、プロパノール、ブタノー
ル等のアルコール類、酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プ
ロピル、酢酸ブチル、乳酸エチル、エチレングリコール
モノアセテート等のエステル類、ジエチレングリコール
ジメチルエーテル、グリコールモノエチルエーテル、ジ
オキサン、テトラヒドロフラン等のエーテル類、ベンゼ
ン、トルエン、キシレン等の芳香族炭化水素、メチレン
クロライド、エチレンクロライド、四塩化炭素、クロロ
ホルム、ジクロルベンゼン等のハロゲン化炭化水素等が
使用される。
Solvents used in the paint for forming the back coat layer include ketones such as acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone and cyclohexanone, alcohols such as methanol, ethanol, propanol and butanol, methyl acetate, ethyl acetate, and the like. Esters such as propyl acetate, butyl acetate, ethyl lactate, ethylene glycol monoacetate, ethers such as diethylene glycol dimethyl ether, glycol monoethyl ether, dioxane, tetrahydrofuran, aromatic hydrocarbons such as benzene, toluene, xylene, methylene chloride, ethylene Halogenated hydrocarbons such as chloride, carbon tetrachloride, chloroform and dichlorobenzene are used.

【0050】非磁性支持体上に塗布バックコート層を形
成するための塗布方法は特に限定されず、エアドクタコ
ート、ブレードコート、エアナイフコート、スクィズコ
ート、含浸コート、リバースロールコート、トランスフ
ァロールコート、グラビアコート、キスコート、キャス
トコート、エクストルージョンコート、スピンコート等
従来の方法はいずれも採用可能である。非磁性支持体上
に形成された塗布バックコート層は、加熱空気等により
乾燥して有機溶剤を除去し、必要に応じて硬化処理を施
す。
The coating method for forming the coating backcoat layer on the non-magnetic support is not particularly limited, and may be air doctor coat, blade coat, air knife coat, squeeze coat, impregnation coat, reverse roll coat, transfer roll coat, gravure Any of the conventional methods such as coat, kiss coat, cast coat, extrusion coat, and spin coat can be adopted. The coated back coat layer formed on the non-magnetic support is dried with heated air or the like to remove the organic solvent, and is subjected to a curing treatment if necessary.

【0051】薄膜バックコート層に採用される材料とし
ては、例えばカーボン、グラファイト、ダイアモンド状
カーボン、SiO2 、Si3 4 、SiON、SiC、
Al2 3 、AlN、TiO2 、Cr2 3 、TiN、
TiC、ZrO2 、MgO、BN、CoOあるいは非磁
性金属等が単独あるいは複合膜として使用される。さら
にはポリパラキシリレン(商品名パリレン)やフッ素樹
脂等、真空薄膜形成技術を適用可能な有機高分子を用い
ることもできる。これら材料を単層あるいは積層で用い
てもよい。
As the material used for the thin film back coat layer, for example, carbon, graphite, diamond-like carbon, SiO 2 , Si 3 N 4 , SiON, SiC,
Al 2 O 3 , AlN, TiO 2 , Cr 2 O 3 , TiN,
TiC, ZrO 2 , MgO, BN, CoO, a nonmagnetic metal or the like is used alone or as a composite film. Further, an organic polymer to which a vacuum thin film forming technique can be applied, such as polyparaxylylene (trade name: parylene) or fluororesin, can also be used. These materials may be used in a single layer or a laminate.

【0052】薄膜バックコート層の形成方法は、真空薄
膜形成法すなわちDCスパッタリング法、RFスパッタ
リング法、イオンビームスパッタリング法、マグネトロ
ンスパッタリング法、反応性スパッタリング法等の各種
スパッタリング法や、蒸着法、反応性蒸着法、イオンプ
レーティング法等が採用される。プラズマCVD法やE
CRプラズマCVD法、減圧CVD法等を採用してもよ
い。有機高分子薄膜の場合には、蒸着法や原料モノマガ
スのプラズマ重合により形成することができる。いずれ
の方法においても、非磁性支持体やこの上に設けられた
塗布バックコート層が熱変形しないように非磁性支持体
等を冷却しながら形成することが望ましい。
The method of forming the thin film back coat layer includes various sputtering methods such as a vacuum thin film forming method, ie, DC sputtering method, RF sputtering method, ion beam sputtering method, magnetron sputtering method, reactive sputtering method, vapor deposition method, and reactive sputtering method. An evaporation method, an ion plating method, or the like is employed. Plasma CVD or E
A CR plasma CVD method, a reduced pressure CVD method, or the like may be employed. In the case of an organic polymer thin film, it can be formed by an evaporation method or plasma polymerization of a raw material gas. In either method, it is desirable to form the non-magnetic support and the like while cooling the non-magnetic support and the like so as not to thermally deform the non-magnetic support and the coating backcoat layer provided thereon.

【0053】これらバックコート層にもトップコート層
を形成してもよい。塗布型バックコート層の場合には、
通常用いられる潤滑剤あるいは防錆剤を別途内添しても
よい。
A top coat layer may be formed on these back coat layers. In the case of a coating type back coat layer,
A commonly used lubricant or rust inhibitor may be separately added.

【0054】[0054]

【実施例】以下、本発明の磁気記録媒体につき、参考例
および比較例を交えつつさらに詳しく説明する。ただし
本発明は以下の実施例に何ら限定されることは無い。
EXAMPLES Hereinafter, the magnetic recording medium of the present invention will be described in more detail with reference to Reference Examples and Comparative Examples. However, the present invention is not limited to the following examples.

【0055】〔実施例1〕本実施例は、本発明をデジタ
ルビデオカセット用の磁気記録媒体に適用した例であ
る。
[Embodiment 1] This embodiment is an example in which the present invention is applied to a magnetic recording medium for a digital video cassette.

【0056】図4に示した連続巻き取り方式の真空蒸着
装置を用い、6μmのPETからなる非磁性支持体の一
主面上に磁気記録層を形成した。本実施例においては、
非磁性支持体の幅方向からの磁性粒子ビームの入射角θ
は、非磁性支持体の中心線位置において、最大50°と
なるようにした(図1(b)参照)。すなわち、電子ビ
ームをスキャンして、非磁性支持体の幅方向からの磁性
粒子ビームの入射角θが、非磁性支持体の中心線位置に
おいて、0°〜50°となるようにした。蒸着条件の一
例を下記に示す。 磁性金属 : Co 100 % 入射角i 45〜90 ° 走行速度 25 m/min 酸素導入量 0.6 slm 蒸着時真空度 2×10-2 Pa 膜厚 170 nm
A magnetic recording layer was formed on one main surface of a non-magnetic support made of 6 μm PET using a continuous winding type vacuum evaporation apparatus shown in FIG. In this embodiment,
Incident angle θ of magnetic particle beam from width direction of non-magnetic support
Was set to a maximum of 50 ° at the center line position of the non-magnetic support (see FIG. 1B). That is, the electron beam was scanned such that the incident angle θ of the magnetic particle beam from the width direction of the nonmagnetic support was 0 ° to 50 ° at the center line position of the nonmagnetic support. An example of the evaporation conditions is shown below. Magnetic metal: Co 100% Incident angle i 45 to 90 ° Traveling speed 25 m / min Oxygen introduction amount 0.6 slm Vacuum degree during vapor deposition 2 × 10 -2 Pa Film thickness 170 nm

【0057】次に非磁性支持体の他方の面(裏面)にバ
ックコート層を形成した。バックコート層用の塗料は、
一例として下記組成によった。 カーボン粒子 100 重量部 (旭カーボン社製 カーボンブラック#60) 有機バインダ 100 重量部 (ポリウレタンを主成分とする) 溶剤 250 重量部 (メチルエチルケトン/トルエン/シクロヘキサノン=
2/1/1) この組成物をボールミルで混合し、塗布直前に硬化剤
(コロネートL)を有機バインダに対して10重量部添
加した。この塗料を走行速度150m/secのグラビ
アコータにより、乾燥塗布厚が0.5μmとなるように
塗布した。
Next, a back coat layer was formed on the other surface (back surface) of the non-magnetic support. The paint for the back coat layer is
The following composition was used as an example. 100 parts by weight of carbon particles (Carbon black # 60 manufactured by Asahi Carbon Co.) 100 parts by weight of organic binder (mainly composed of polyurethane) Solvent 250 parts by weight (methyl ethyl ketone / toluene / cyclohexanone =
2/1/1) This composition was mixed by a ball mill, and a curing agent (Coronate L) was added to the organic binder by 10 parts by weight just before coating. The coating was applied by a gravure coater at a running speed of 150 m / sec so that the dry coating thickness was 0.5 μm.

【0058】つぎに磁気記録層6上にDLCからなる保
護層を形成した。この保護層は、図6に示したプラズマ
CVD装置によった。プラズマCVD条件の一例を下記
に示す。 導入ガス:キャリアガスで希釈したトルエン 反応圧力 10 Pa DC電圧 1.5 kV 保護層膜厚 10 nm
Next, a protective layer made of DLC was formed on the magnetic recording layer 6. This protective layer was formed by the plasma CVD apparatus shown in FIG. An example of the plasma CVD conditions is shown below. Introduced gas: toluene diluted with carrier gas Reaction pressure 10 Pa DC voltage 1.5 kV Protective layer thickness 10 nm

【0059】この後、保護層6上にパーフルオロポリエ
ーテル系化合物をトルエンに溶解したトップコート溶液
を、乾燥重量が3mg/m2 の面密度となるようにグラ
ビアコーティングした。乾燥後、これを6.35mm幅
に裁断し、カセットに収納して実施例1の磁気記録媒体
を完成した。
Thereafter, a top coat solution obtained by dissolving a perfluoropolyether compound in toluene was gravure coated on the protective layer 6 so that the dry weight was 3 mg / m 2 in areal density. After drying, this was cut into a 6.35 mm width and stored in a cassette to complete the magnetic recording medium of Example 1.

【0060】〔実施例2〕非磁性支持体の幅方向からの
磁性粒子ビームの入射角θを、非磁性支持体の中心線位
置において、最大60°となるようにした以外は、実施
例1に準じて磁気記録層を作成した。すなわち、電子ビ
ームをスキャンして、非磁性支持体の幅方向からの磁性
粒子ビームの入射角θが、非磁性支持体の中心線位置に
おいて、0°〜60°となるようにした。続けてバック
コート層、保護層およびトップコート層を形成し、6.
35mm幅に裁断し、カセットに収納して実施例2の磁
気記録媒体を完成した。
Example 2 Example 1 was the same as Example 1 except that the angle of incidence θ of the magnetic particle beam from the width direction of the non-magnetic support was 60 ° at the center line position of the non-magnetic support. A magnetic recording layer was formed according to the method described in Example 1. That is, the electron beam was scanned so that the incident angle θ of the magnetic particle beam from the width direction of the nonmagnetic support was 0 ° to 60 ° at the center line position of the nonmagnetic support. Subsequently, a back coat layer, a protective layer and a top coat layer are formed;
The sheet was cut into a width of 35 mm and housed in a cassette to complete the magnetic recording medium of Example 2.

【0061】〔実施例3〕非磁性支持体の幅方向からの
磁性粒子ビームの入射角θを、非磁性支持体の中心線位
置において、最大70°となるようにした以外は、実施
例1に準じて磁気記録層を作成した。すなわち、電子ビ
ームをスキャンして、非磁性支持体の幅方向からの磁性
粒子ビームの入射角θが、非磁性支持体の中心線位置に
おいて、0°〜70°となるようにした。続けてバック
コート層、保護層およびトップコート層を形成し、6.
35mm幅に裁断し、カセットに収納して実施例3の磁
気記録媒体を完成した。
Example 3 Example 1 was the same as Example 1 except that the angle of incidence θ of the magnetic particle beam from the width direction of the non-magnetic support was 70 ° at the center line position of the non-magnetic support. A magnetic recording layer was formed according to the method described in Example 1. That is, the electron beam was scanned so that the incident angle θ of the magnetic particle beam from the width direction of the nonmagnetic support was 0 ° to 70 ° at the center line position of the nonmagnetic support. Subsequently, a back coat layer, a protective layer and a top coat layer are formed;
The sheet was cut into a width of 35 mm and housed in a cassette to complete the magnetic recording medium of Example 3.

【0062】〔実施例4〕非磁性支持体の幅方向からの
磁性粒子ビームの入射角θを、非磁性支持体の中心線位
置において、最大70°となるようにし、また保護層の
厚さを4nmとした以外は、実施例1に準じて磁気記録
層を作成した。続けてバックコート層、保護層およびト
ップコート層を形成し、6.35mm幅に裁断し、カセ
ットに収納して実施例4の磁気記録媒体を完成した。
Example 4 The incident angle θ of the magnetic particle beam from the width direction of the non-magnetic support was set to be a maximum of 70 ° at the center line position of the non-magnetic support, and the thickness of the protective layer was The magnetic recording layer was formed in the same manner as in Example 1 except that the thickness was changed to 4 nm. Subsequently, a back coat layer, a protective layer, and a top coat layer were formed, cut to a width of 6.35 mm, and stored in a cassette to complete the magnetic recording medium of Example 4.

【0063】〔参考例1〕非磁性支持体の幅方向からの
磁性粒子ビームの入射角θを、非磁性支持体の中心線位
置において、最大70°となるようにし、また保護層の
厚さを2μmとした以外は、実施例1に準じて磁気記録
層を作成した。続けてバックコート層、保護層およびト
ップコート層を形成し、6.35mm幅に裁断し、カセ
ットに収納して参考例1の磁気記録媒体を完成した。
Reference Example 1 The incident angle θ of the magnetic particle beam from the width direction of the non-magnetic support was set to be 70 ° at the center line position of the non-magnetic support, and the thickness of the protective layer was The magnetic recording layer was formed in the same manner as in Example 1 except that the thickness was changed to 2 μm. Subsequently, a back coat layer, a protective layer and a top coat layer were formed, cut to a width of 6.35 mm, and stored in a cassette to complete the magnetic recording medium of Reference Example 1.

【0064】〔参考例2〕非磁性支持体のz軸方向から
の入射角i(図3参照)を25°、すなわち実施例より
垂直方向に近い入射角を選んだ。さらに、非磁性支持体
の幅方向からの磁性粒子ビームの入射角θを、非磁性支
持体の中心線位置において、最大70°となるようにし
た以外は、実施例1に準じて磁気記録層を作成した。続
けてバックコート層、保護層およびトップコート層を形
成し、6.35mm幅に裁断し、カセットに収納して参
考例2の磁気記録媒体を完成した。
Reference Example 2 An incident angle i (see FIG. 3) of the non-magnetic support from the z-axis direction was set to 25 °, that is, an incident angle closer to the vertical direction than in the example. Further, except that the incident angle θ of the magnetic particle beam from the width direction of the non-magnetic support was set to 70 ° at the center line position of the non-magnetic support, the magnetic recording layer was the same as in Example 1. It was created. Subsequently, a back coat layer, a protective layer and a top coat layer were formed, cut to a width of 6.35 mm, and stored in a cassette to complete the magnetic recording medium of Reference Example 2.

【0065】〔比較例1〕非磁性支持体の幅方向からの
磁性粒子ビームの入射角θを、非磁性支持体の中心線位
置において、最大40°となるようにした以外は、実施
例1に準じて磁気記録層を作成した。すなわち、電子ビ
ームをスキャンして、非磁性支持体の幅方向からの磁性
粒子ビームの入射角θが、非磁性支持体の中心線位置に
おいて、0°〜40°となるようにした。続けてバック
コート層、保護層およびトップコート層を形成し、6.
35mm幅に裁断し、カセットに収納して比較例1の磁
気記録媒体を完成した。
Comparative Example 1 Example 1 was repeated except that the incident angle θ of the magnetic particle beam from the width direction of the nonmagnetic support was 40 ° at the maximum at the center line position of the nonmagnetic support. A magnetic recording layer was formed according to the method described in Example 1. That is, the electron beam was scanned such that the incident angle θ of the magnetic particle beam from the width direction of the nonmagnetic support was 0 ° to 40 ° at the center line position of the nonmagnetic support. Subsequently, a back coat layer, a protective layer and a top coat layer are formed;
The sheet was cut into a width of 35 mm and stored in a cassette to complete the magnetic recording medium of Comparative Example 1.

【0066】以上作成した実施例1〜4、参考例1〜2
および比較例1の磁気記録媒体につき、磁気特性、耐久
性および電磁変換特性を測定した。
Examples 1-4 and Reference Examples 1-2 prepared above
The magnetic characteristics, durability, and electromagnetic conversion characteristics of the magnetic recording medium of Comparative Example 1 were measured.

【0067】〔磁気特性〕保磁力Hcおよび保磁力の面
内角度依存性は、試料振動型磁束計(東英工業製VS
M)により、印加磁界10kOe、スイープ速度3分/
10kOeの条件で測定した。
[Magnetic Characteristics] The coercive force Hc and the in-plane angle dependence of the coercive force were measured using a sample vibration type magnetometer (VS.
M), applied magnetic field 10 kOe, sweep speed 3 min /
It was measured under the condition of 10 kOe.

【0068】また保磁力の面内角度依存性は、6.35
mmに裁断前の磁気記録媒体シートから角度を変えて測
定試料を切り出し、測定に供した。この測定は、円形に
切り出した試料を用い、円形試料と印加磁界との相対角
度を変えつつ測定してもよい。実施例1の磁気記録媒体
の保磁力の面内角度依存性を図7に示す。横軸は角度を
示し、磁気記録媒体のy軸方向(長手方向)を0°、x
軸方向(幅方向)を90°にとっている。図7のグラフ
から、実施例1の磁気記録媒体の面内の保磁力の最大値
と最小値の比(Hcmax /Hcmin )は、3.5の値が
得られた。
The in-plane angle dependence of the coercive force is 6.35.
A measurement sample was cut out from the magnetic recording medium sheet before cutting at a different mm to change the angle, and used for measurement. This measurement may be performed using a sample cut into a circular shape while changing the relative angle between the circular sample and the applied magnetic field. FIG. 7 shows the in-plane angle dependence of the coercive force of the magnetic recording medium of the first embodiment. The horizontal axis indicates the angle, the y-axis direction (longitudinal direction) of the magnetic recording medium is 0 °, x
The axial direction (width direction) is set to 90 °. From the graph of FIG. 7, the ratio (Hc max / Hc min ) of the maximum value and the minimum value of the in-plane coercive force of the magnetic recording medium of Example 1 was 3.5.

【0069】〔耐久性〕磁気記録媒体の酸化や腐食に対
する耐久性の測定として、60°90%RHの高温高湿
環境下に磁気記録媒体を50日保存し、残留磁化Φrの
減少量を初期値で規格化して示した。さらに、この残留
磁化Φrの減少の加速試験から、標準環境において残留
磁化Φrが15%劣化するまでの推定寿命を算出した。
[Durability] As a measure of the durability of the magnetic recording medium against oxidation and corrosion, the magnetic recording medium was stored for 50 days in a high-temperature, high-humidity environment of 60 ° 90% RH, and the amount of decrease in the residual magnetization Φr was initially measured. The values are normalized by values. Further, from an accelerated test of the decrease in the residual magnetization Φr, an estimated life until the residual magnetization Φr was deteriorated by 15% in a standard environment was calculated.

【0070】〔電磁変換特性〕デジタルビデオレコーダ
(ソニー製改造機)により0.5μmの波長の信号を記
録し、その再生出力を測定した。測定値は市販のデジタ
ルビデオカセットの再生出力(同じ0.5μm記録波
長)を0dBに規格化して相対比較した。
[Electromagnetic Conversion Characteristics] A signal having a wavelength of 0.5 μm was recorded by a digital video recorder (a modified device manufactured by Sony), and the reproduced output was measured. The measured values were compared with each other by normalizing the reproduction output of a commercially available digital video cassette (the same recording wavelength of 0.5 μm) to 0 dB.

【0071】以上の測定方法により測定した実施例1〜
4、参考例1〜2および比較例1の磁気記録媒体の測定
結果を、〔表1〕にまとめて示す。
Examples 1 to 5 measured by the above measuring methods
4. Table 1 shows the measurement results of the magnetic recording media of Reference Examples 1 and 2 and Comparative Example 1.

【0072】[0072]

【表1】 [Table 1]

【0073】〔表1〕の測定結果を考察する。実施例1
〜3は入射角θの最大値を変更することにより、Hc
max /Hcminの値を3.5〜2.4の範囲に変化させ
た他は、同じ製造方法により製造した磁気記録媒体であ
る。これら一連の実施例では、Hcmax /Hcmin の値
が小さくなるほど、耐酸化性や耐腐食性、すなわち残留
磁束劣化量が低減する。すなわち、非磁性支持体の幅方
向からの入射角θを広く分散させ、非磁性支持体表面の
凸部や凹部による影の影響およびこれにより発生する磁
気記録層の欠落部分の面積を可及的に小さくすることに
より、磁気記録媒体の耐久性を向上できることが明らか
である。
Consider the measurement results in [Table 1]. Example 1
3 are obtained by changing the maximum value of the incident angle θ.
The magnetic recording medium was manufactured by the same manufacturing method except that the value of max / Hc min was changed in the range of 3.5 to 2.4. In these series of examples, as the value of Hc max / Hc min decreases, the oxidation resistance and corrosion resistance, that is, the amount of residual magnetic flux deterioration decreases. In other words, the incident angle θ from the width direction of the non-magnetic support is widely dispersed, and the influence of the shadow due to the protrusions and recesses on the surface of the non-magnetic support and the area of the missing portion of the magnetic recording layer caused by this are reduced as much as possible. It is clear that the durability of the magnetic recording medium can be improved by reducing the size.

【0074】実施例4は保護層厚のみ4μmと薄くした
他は、実施例3と同じ製造方法により製造した磁気記録
媒体である。この磁気記録媒体は、Hcmax /Hcmin
の値は実施例3とほぼ同じ2.5ではあるが、残留磁束
劣化量が34%とやや大きく、推定寿命は26年であ
る。データストリーマ用等、高信頼性を要求される磁気
記録媒体としては、この推定寿命は30年前後が要求さ
れるので、実施例4の磁気記録媒体は最低限の要求は満
たすものである。
Example 4 is a magnetic recording medium manufactured by the same manufacturing method as in Example 3, except that only the protective layer thickness was reduced to 4 μm. This magnetic recording medium is Hc max / Hc min
Is 2.5, which is almost the same as that of the third embodiment, but the residual magnetic flux deterioration amount is slightly large at 34%, and the estimated life is 26 years. For a magnetic recording medium requiring high reliability, such as for a data streamer, the estimated life is required to be around 30 years. Therefore, the magnetic recording medium of the fourth embodiment satisfies the minimum requirement.

【0075】参考例1は保護層厚のみ2μmと薄くした
他は、実施例3と同じ製造方法により製造した磁気記録
媒体である。この磁気記録媒体は、Hcmax /Hcmin
の値は実施例3と同じ2.4ではあるが、残留磁束劣化
量が40%と大きく、推定寿命は22年である。したが
って、データストリーマ用等、高信頼性を要求される磁
気記録媒体としては不向きである。
Reference Example 1 is a magnetic recording medium manufactured by the same manufacturing method as in Example 3, except that only the protective layer thickness is reduced to 2 μm. This magnetic recording medium is Hc max / Hc min
Is 2.4 which is the same as that of Example 3, but the residual magnetic flux deterioration amount is as large as 40%, and the estimated life is 22 years. Therefore, it is not suitable for a magnetic recording medium requiring high reliability, such as for a data streamer.

【0076】参考例2は入射角iの最小値を25°とし
た他は、実施例3と同じ製造方法によったものである。
保護層の厚さも10μmと同じである。この磁気記録媒
体は、磁気記録層を蒸着する際に、z軸方向からの斜め
蒸着角度が小さく、すなわち垂直により近い入射角iを
採用した。したがって、非磁性支持体表面の凸部による
影の影響およびこれにより発生する磁気記録層の欠落部
分の面積は小さく、磁気記録媒体の耐久性は向上でき
る。しかしながら、保磁力の値そのものが小さく、電磁
変換特性の出力は−4.0dBと低下する。
Reference Example 2 is based on the same manufacturing method as in Example 3 except that the minimum value of the incident angle i is 25 °.
The thickness of the protective layer is also the same as 10 μm. In this magnetic recording medium, when depositing the magnetic recording layer, an oblique deposition angle from the z-axis direction was small, that is, an incident angle i closer to the perpendicular was employed. Therefore, the influence of the shadow due to the projections on the surface of the nonmagnetic support and the area of the missing portion of the magnetic recording layer caused by the shadow are small, and the durability of the magnetic recording medium can be improved. However, the value of the coercive force itself is small, and the output of the electromagnetic conversion characteristics is reduced to -4.0 dB.

【0077】比較例1は入射角θの最大値を40°に設
定した他は、実施例1〜3と同じ製造方法により製造し
た磁気記録媒体である。すなわち、非磁性支持体の幅方
向からの入射角θを狭く設定したために、Hcmax /H
min の値が3.9と所定範囲外となっている。したが
って、非磁性支持体表面の凸部による影の影響およびこ
れにより発生する磁気記録層の欠落部分の面積は大き
く、残留磁束劣化量が38%と大きく、推定寿命は23
年である。この値は、保護層の厚さが10μmの時の値
であり、実施例4や参考例1のように保護層を薄くした
場合には、耐久性に関し規格外となる。
Comparative Example 1 is a magnetic recording medium manufactured by the same manufacturing method as in Examples 1 to 3, except that the maximum value of the incident angle θ is set to 40 °. That is, since the incident angle θ from the width direction of the non-magnetic support is set to be small, Hc max / H
The value of c min is 3.9, which is out of the predetermined range. Therefore, the influence of the shadow due to the convex portion on the surface of the non-magnetic support and the area of the missing portion of the magnetic recording layer caused by this are large, the residual magnetic flux deterioration amount is as large as 38%, and the estimated lifetime is 23.
Year. This value is a value when the thickness of the protective layer is 10 μm. When the thickness of the protective layer is reduced as in Example 4 or Reference Example 1, the durability is out of the standard.

【0078】以上、本発明の磁気記録媒体をデジタルビ
デオカセットテープを例に採り詳細な説明を加えたが、
これらは単なる例示であり、本発明はこれら実施例に何
ら限定されるものではない。すなわち、アナログ用のビ
デオカセットテープや、データ記録用の磁気記録媒体
等、薄膜型の磁気記録層を用いるものに広く適用するこ
とができる。
The magnetic recording medium of the present invention has been described in detail by taking a digital video cassette tape as an example.
These are merely examples, and the present invention is not limited to these examples. That is, the present invention can be widely applied to those using a thin film type magnetic recording layer, such as an analog video cassette tape and a magnetic recording medium for data recording.

【0079】[0079]

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の磁気記録媒体によれば、薄膜化された磁気記録層であ
ってもその欠落や不連続部分を減少し、またその上部に
形成する保護層の欠落や不連続部分も減少することがで
きる。したがって、磁気記録層の耐酸化性、耐腐食性等
の耐久性が向上し、信頼性の高い磁気記録媒体を提供す
ることが可能となる。
As is apparent from the above description, according to the magnetic recording medium of the present invention, even if the magnetic recording layer has a reduced thickness, the number of missing or discontinuous portions is reduced, and the magnetic recording layer is formed on the magnetic recording layer. The loss or discontinuity of the protective layer can also be reduced. Therefore, the durability of the magnetic recording layer such as oxidation resistance and corrosion resistance is improved, and a highly reliable magnetic recording medium can be provided.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】非磁性支持体の幅方向(x軸方向)から入射す
る磁性粒子ビームの入射角θと、ハースの幅との関係を
示す説明図である。
FIG. 1 is an explanatory diagram showing a relationship between an incident angle θ of a magnetic particle beam incident from a width direction (x-axis direction) of a nonmagnetic support and a width of a hearth.

【図2】非磁性支持体表面の微小凸部により、磁性粒子
ビームの影が発生する様子を示す概略平面図である。
FIG. 2 is a schematic plan view showing a state where a shadow of a magnetic particle beam is generated by minute projections on the surface of a nonmagnetic support.

【図3】斜め蒸着法の原理を示し、非磁性支持体の厚さ
(z軸)方向と磁性粒子ビームのなす入射角iを示す概
略斜視図である。
FIG. 3 is a schematic perspective view showing the principle of the oblique vapor deposition method and showing the thickness (z-axis) direction of a non-magnetic support and an incident angle i formed by a magnetic particle beam.

【図4】ロールツーロール方式の真空蒸着装置の概略断
面図である。
FIG. 4 is a schematic sectional view of a roll-to-roll type vacuum deposition apparatus.

【図5】ハースの幅と、磁気記録媒体の幅との関係を示
す斜視図である。
FIG. 5 is a perspective view showing the relationship between the width of a hearth and the width of a magnetic recording medium.

【図6】保護層を形成するプラズマCVD装置の一例の
概略断面図である。
FIG. 6 is a schematic sectional view of an example of a plasma CVD apparatus for forming a protective layer.

【図7】実施例1の磁気記録媒体の保磁力の面内角度依
存性を示すグラフである。
FIG. 7 is a graph showing the in-plane angle dependence of the coercive force of the magnetic recording medium of Example 1.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…非磁性支持体、2…微小凸部、2s…影、3…ハー
ス、4…溶融磁性金属、5…磁性粒子ビーム、6…磁気
記録層 11…チャンバ、12…排気口、13…サプライロー
ル、14…冷却キャン、15…テイクアップロール、1
6…ガイドロール、17…電子ビーム発生源、18…電
子ビーム、19…ガスノズル、20…入射角制限マス
ク、21…反応管、22…電極、23…DC電源
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Nonmagnetic support, 2 ... Micro convex part, 2s ... Shadow, 3 ... Hearth, 4 ... Molten magnetic metal, 5 ... Magnetic particle beam, 6 ... Magnetic recording layer 11 ... Chamber, 12 ... Exhaust port, 13 ... Supply Roll, 14: cooling can, 15: take-up roll, 1
6 Guide roll, 17 Electron beam source, 18 Electron beam, 19 Gas nozzle, 20 Incident angle limiting mask, 21 Reaction tube, 22 Electrode, 23 DC power supply

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 非磁性支持体上に磁気記録層および保護
層を有する磁気記録媒体であって、 前記磁気記録層の保磁力が面内角度依存性を有するとと
もに、該保磁力の最大値と最小値の比が、1を超え3.
5以下であることを特徴とする磁気記録媒体。
1. A magnetic recording medium having a magnetic recording layer and a protective layer on a non-magnetic support, wherein a coercive force of the magnetic recording layer has an in-plane angle dependency, and a maximum value of the coercive force. 2. The ratio of the minimum values exceeds 1 and
5. A magnetic recording medium, wherein the number is 5 or less.
【請求項2】 前記保磁力の最大値と最小値の比が、1
を超え2.5以下であることを特徴とする請求項1記載
の磁気記録媒体。
2. The method according to claim 1, wherein the ratio between the maximum value and the minimum value of the coercive force is 1
2. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the ratio is more than 2.5 and not more than 2.5.
【請求項3】 前記保磁力の最大値は、100kA/m
以上であることを特徴とする請求項1または2記載の磁
気記録媒体。
3. The maximum value of the coercive force is 100 kA / m.
3. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein:
【請求項4】 前記保護層は、カーボン系材料からなる
ことを特徴とする請求項1または2記載の磁気記録媒
体。
4. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein the protective layer is made of a carbon-based material.
【請求項5】 前記保護層の厚さは、3nm以上20n
m以下であることを特徴とする請求項1または2記載の
磁気記録媒体。
5. The protective layer has a thickness of 3 nm or more and 20 n or more.
3. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein m is equal to or less than m.
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