JPH10101463A - 硬質カーボン膜形成摺動セラミック材 - Google Patents
硬質カーボン膜形成摺動セラミック材Info
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- JPH10101463A JPH10101463A JP25657896A JP25657896A JPH10101463A JP H10101463 A JPH10101463 A JP H10101463A JP 25657896 A JP25657896 A JP 25657896A JP 25657896 A JP25657896 A JP 25657896A JP H10101463 A JPH10101463 A JP H10101463A
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- C04—CEMENTS; CONCRETE; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES
- C04B—LIME, MAGNESIA; SLAG; CEMENTS; COMPOSITIONS THEREOF, e.g. MORTARS, CONCRETE OR LIKE BUILDING MATERIALS; ARTIFICIAL STONE; CERAMICS; REFRACTORIES; TREATMENT OF NATURAL STONE
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-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
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- C04B41/00—After-treatment of mortars, concrete, artificial stone or ceramics; Treatment of natural stone
- C04B41/45—Coating or impregnating, e.g. injection in masonry, partial coating of green or fired ceramics, organic coating compositions for adhering together two concrete elements
- C04B41/52—Multiple coating or impregnating multiple coating or impregnating with the same composition or with compositions only differing in the concentration of the constituents, is classified as single coating or impregnation
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 硬質カーボン膜が摺動面に形成された密着強
度が高く、剥離寿命の長い、摺動セラミックス材を提供
することである。 【解決手段】 摺動セラミック材１の摺動面に、ＷＣを
主成分とし、これにケイ素化合物、アルミニウム化合
物、チタン金属、チタン化合物、又はニオブ化合物から
選ばれる成分を少なくとも１つを含有するＷＣ混合物か
らなる膜２を介して硬質カーボン膜３を被覆する。
度が高く、剥離寿命の長い、摺動セラミックス材を提供
することである。 【解決手段】 摺動セラミック材１の摺動面に、ＷＣを
主成分とし、これにケイ素化合物、アルミニウム化合
物、チタン金属、チタン化合物、又はニオブ化合物から
選ばれる成分を少なくとも１つを含有するＷＣ混合物か
らなる膜２を介して硬質カーボン膜３を被覆する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、摺動する部材の
少なくとも一方がセラミック製である摺動セラミック材
に関し、詳しくは、セラミック製の摺動部材の摺動面に
硬質カーボン膜（ダイヤモンドライクカーボン膜）を被
覆した摺動セラミック材に関する。
少なくとも一方がセラミック製である摺動セラミック材
に関し、詳しくは、セラミック製の摺動部材の摺動面に
硬質カーボン膜（ダイヤモンドライクカーボン膜）を被
覆した摺動セラミック材に関する。
【０００２】
【従来の技術】セラミックは高硬度で耐食性が良いが、
摺動部材として用いた場合、摺接面の摩擦係数が高いた
め、摺動部材同士の凝着、剥離が生じたり、スムーズな
摺動運動ができない場合が生じる。そこで、この摺動抵
抗を低減するため、セラミックス製部材の摺動面に硬質
カーボン膜を形成する方法が知られている。
摺動部材として用いた場合、摺接面の摩擦係数が高いた
め、摺動部材同士の凝着、剥離が生じたり、スムーズな
摺動運動ができない場合が生じる。そこで、この摺動抵
抗を低減するため、セラミックス製部材の摺動面に硬質
カーボン膜を形成する方法が知られている。
【０００３】しかし、直接セラミックス製部材に硬質カ
ーボン膜を形成した場合、その硬質カーボン膜の密着強
度に問題があるため、剥離寿命に大きなバラツキが生じ
る。
ーボン膜を形成した場合、その硬質カーボン膜の密着強
度に問題があるため、剥離寿命に大きなバラツキが生じ
る。
【０００４】このため、硬質カーボン膜と母材のセラミ
ックスとの間にＳｉＣ等の中間層を設けることにより、
硬質カーボン膜とセラミックスとの密着性を向上させる
ことが知られている。
ックスとの間にＳｉＣ等の中間層を設けることにより、
硬質カーボン膜とセラミックスとの密着性を向上させる
ことが知られている。
【０００５】また、混合水栓等のディスクバルブの素材
としてセラミックスが使用される場合は、セラミックス
摺動面に直接硬質カーボン膜を形成する以外に、摺動面
の中央部を凸状の中高形状とすることが知られている。
としてセラミックスが使用される場合は、セラミックス
摺動面に直接硬質カーボン膜を形成する以外に、摺動面
の中央部を凸状の中高形状とすることが知られている。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、硬質カ
ーボン膜と母材のセラミックスとの間にＳｉＣ等の中間
層を設ける場合は、このＳｉＣ等の中間層の耐久性が十
分でない。このため、Ａｌ2 Ｏ3 等のセラミックスと併
用して使用すると硬質カーボン膜の剥離が生じやすく、
また、Ａｌ2 Ｏ3 等のセラミックスを用いない場合は、
コスト的に問題が生じやすい。
ーボン膜と母材のセラミックスとの間にＳｉＣ等の中間
層を設ける場合は、このＳｉＣ等の中間層の耐久性が十
分でない。このため、Ａｌ2 Ｏ3 等のセラミックスと併
用して使用すると硬質カーボン膜の剥離が生じやすく、
また、Ａｌ2 Ｏ3 等のセラミックスを用いない場合は、
コスト的に問題が生じやすい。
【０００７】また、セラミックス摺動面の中央部を凸状
の中高形状とした場合、摺動面の中央部を外周縁より５
μｍ以上盛り上げる必要がある。このため、摺動面の密
着性が低下し、漏水が生じやすくなる。
の中高形状とした場合、摺動面の中央部を外周縁より５
μｍ以上盛り上げる必要がある。このため、摺動面の密
着性が低下し、漏水が生じやすくなる。
【０００８】そこで、この発明の課題は、硬質カーボン
膜が摺動面に形成された密着強度が高く、剥離寿命の長
い、摺動セラミックス材を提供することにある。
膜が摺動面に形成された密着強度が高く、剥離寿命の長
い、摺動セラミックス材を提供することにある。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
め、この発明は、摺動セラミック材の摺動面に、ＷＣを
主成分とし、これにケイ素化合物、アルミニウム化合
物、チタン金属、チタン化合物、又はニオブ化合物から
選ばれる成分を少なくとも１つを含有するＷＣ混合物か
らなる膜を介して硬質カーボン膜を被覆ことを特徴とす
る。
め、この発明は、摺動セラミック材の摺動面に、ＷＣを
主成分とし、これにケイ素化合物、アルミニウム化合
物、チタン金属、チタン化合物、又はニオブ化合物から
選ばれる成分を少なくとも１つを含有するＷＣ混合物か
らなる膜を介して硬質カーボン膜を被覆ことを特徴とす
る。
【００１０】また、上記ケイ素化合物、アルミニウム化
合物、チタン金属、チタン化合物又はニオブ化合物から
選ばれる成分を、ＳｉＣ、Ｓｉ3 Ｎ4 、Ａｌ2 Ｏ3 、Ｔ
ｉ、ＴｉＣ又はＮｂＮから選ばれる成分とすることがで
きる。
合物、チタン金属、チタン化合物又はニオブ化合物から
選ばれる成分を、ＳｉＣ、Ｓｉ3 Ｎ4 、Ａｌ2 Ｏ3 、Ｔ
ｉ、ＴｉＣ又はＮｂＮから選ばれる成分とすることがで
きる。
【００１１】摺動セラミック材の摺動面と硬質カーボン
膜の間に上記のＷＣ混合物からなる膜を介したので、硬
質カーボン膜の摺動セラミック材に対する密着性が向上
し、剥離寿命のばらつきも小さくなる。
膜の間に上記のＷＣ混合物からなる膜を介したので、硬
質カーボン膜の摺動セラミック材に対する密着性が向上
し、剥離寿命のばらつきも小さくなる。
【００１２】
【発明の実施の形態】以下、この発明の実施形態を図面
を参照して説明する。
を参照して説明する。
【００１３】この発明にかかる硬質カーボン膜形成摺動
セラミック材は、図１に示すように、摺動セラミック材
１の摺動面に、ＷＣ混合物からなる膜２を介して硬質カ
ーボン膜３を被覆したものである。
セラミック材は、図１に示すように、摺動セラミック材
１の摺動面に、ＷＣ混合物からなる膜２を介して硬質カ
ーボン膜３を被覆したものである。
【００１４】上記の摺動セラミック材１としては、Ａｌ
2 Ｏ3 、ＺｒＯ2 等の酸化物セラミックスや、ＳｉＣや
Ｓｉ3 Ｎ4 等のＳｉ化合物を主成分とする非酸化物セラ
ミックス等のセラッミックをあげることができる。
2 Ｏ3 、ＺｒＯ2 等の酸化物セラミックスや、ＳｉＣや
Ｓｉ3 Ｎ4 等のＳｉ化合物を主成分とする非酸化物セラ
ミックス等のセラッミックをあげることができる。
【００１５】上記のＷＣ混合物からなる膜２としては、
ＷＣを主成分とし、これにケイ素化合物、アルミニウム
化合物、チタン金属、チタン化合物、又はニオブ化合物
から選ばれる成分を少なくとも１つを含有するＷＣ混合
物からなる膜があげられる。
ＷＣを主成分とし、これにケイ素化合物、アルミニウム
化合物、チタン金属、チタン化合物、又はニオブ化合物
から選ばれる成分を少なくとも１つを含有するＷＣ混合
物からなる膜があげられる。
【００１６】上記のＷＣ混合物中の主成分としてのＷＣ
の含有量は、摺動セラミック材１と硬質カーボン膜３の
密着性を向上させ、剥離寿命を向上させる点から、５０
重量％を越えれば特に限定されるものではない。上記の
ケイ素化合物、アルミニウム化合物、チタン金属、チタ
ン化合物、又はニオブ化合物から選ばれる成分をＷＣに
加えると、密着性や剥離寿命をさらに向上させるので、
ＷＣ混合物中のＷＣの含有率は、５０重量％を越え、９
５％以下が好ましい。
の含有量は、摺動セラミック材１と硬質カーボン膜３の
密着性を向上させ、剥離寿命を向上させる点から、５０
重量％を越えれば特に限定されるものではない。上記の
ケイ素化合物、アルミニウム化合物、チタン金属、チタ
ン化合物、又はニオブ化合物から選ばれる成分をＷＣに
加えると、密着性や剥離寿命をさらに向上させるので、
ＷＣ混合物中のＷＣの含有率は、５０重量％を越え、９
５％以下が好ましい。
【００１７】また、上記のケイ素化合物、アルミニウム
化合物、チタン金属、チタン化合物、又はニオブ化合物
の含有量は、主成分たるＷＣの密着性や剥離寿命の向上
の効果を生かし、かつ、その密着性や剥離寿命をさらに
向上させるため、ＷＣ混合物に対して、上記各化合物単
独で、又は含有させる数種類の化合物の合計で５重量％
以上５０％未満が好ましい。
化合物、チタン金属、チタン化合物、又はニオブ化合物
の含有量は、主成分たるＷＣの密着性や剥離寿命の向上
の効果を生かし、かつ、その密着性や剥離寿命をさらに
向上させるため、ＷＣ混合物に対して、上記各化合物単
独で、又は含有させる数種類の化合物の合計で５重量％
以上５０％未満が好ましい。
【００１８】ケイ素化合物としては、ＳｉＣ、Ｓｉ3 Ｎ
4 等があげられ、アルミニウム化合物としては、Ａｌ2
Ｏ3 等があげられる。また、チタン金属やチタン化合物
としては、Ｔｉ、ＴｉＣ等があげられ、ニオブ化合物と
しては、ＮｂＮ等があげられる。
4 等があげられ、アルミニウム化合物としては、Ａｌ2
Ｏ3 等があげられる。また、チタン金属やチタン化合物
としては、Ｔｉ、ＴｉＣ等があげられ、ニオブ化合物と
しては、ＮｂＮ等があげられる。
【００１９】上記硬質カーボン膜３は、ダイヤモンドラ
イクカーボン（ＤＬＣ）の膜であり、炭素又は炭化水素
系ガスを蒸着源とするＰＣＤ法（物理蒸着法、例えば、
高周波スパッタ、マグネトロンスパッタ法、イオンプレ
ーティング法、イオン注入法）やＣＶＤ法（化学蒸着
法、例えば、プラスマＣＶＤ法）等により形成すること
ができる。
イクカーボン（ＤＬＣ）の膜であり、炭素又は炭化水素
系ガスを蒸着源とするＰＣＤ法（物理蒸着法、例えば、
高周波スパッタ、マグネトロンスパッタ法、イオンプレ
ーティング法、イオン注入法）やＣＶＤ法（化学蒸着
法、例えば、プラスマＣＶＤ法）等により形成すること
ができる。
【００２０】上記のＷＣ混合物からなる膜２は、摺動セ
ラミック材１に硬質カーボン膜３を密着させるために設
けられるので、これらの密着性や剥離寿命を向上させる
ため、この膜２の厚みは、０．１〜１μｍがよい。膜２
の厚みが０．１μｍ以下では、密着性や剥離寿命が十分
でなく、また、１μｍを越えると、時間やコストがかか
るという問題が生じる場合がある。
ラミック材１に硬質カーボン膜３を密着させるために設
けられるので、これらの密着性や剥離寿命を向上させる
ため、この膜２の厚みは、０．１〜１μｍがよい。膜２
の厚みが０．１μｍ以下では、密着性や剥離寿命が十分
でなく、また、１μｍを越えると、時間やコストがかか
るという問題が生じる場合がある。
【００２１】このＷＣ混合物からなる膜２は、高周波ス
パッタ法、マグネトロンスパッタ法又はイオンプレーテ
ィング法により形成することができる。
パッタ法、マグネトロンスパッタ法又はイオンプレーテ
ィング法により形成することができる。
【００２２】イオンプレーティング法による膜形成方法
は、真空容器内に、蒸着源として炭素又は炭化水素系ガ
スを導入し、基板（ターゲット）に直流電圧を印加して
グロー放電を発生させ、その放電下で基板上に硬質カー
ボン膜を形成させることにより行われる。
は、真空容器内に、蒸着源として炭素又は炭化水素系ガ
スを導入し、基板（ターゲット）に直流電圧を印加して
グロー放電を発生させ、その放電下で基板上に硬質カー
ボン膜を形成させることにより行われる。
【００２３】また、マグネトロンスパッタ法による膜形
成方法は、真空容器内に蒸発源として炭素又は炭化水素
系ガスを導入し、基板に高周波電源を印加してグロー放
電を発生させ、その放電下で基板上に硬質カーボン膜を
形成させることにより行われる。
成方法は、真空容器内に蒸発源として炭素又は炭化水素
系ガスを導入し、基板に高周波電源を印加してグロー放
電を発生させ、その放電下で基板上に硬質カーボン膜を
形成させることにより行われる。
【００２４】
〔ＷＣ混合膜の形成〕φ３５ｍｍのディスク型のＡｌ2
Ｏ3 摺動セラミックス材の表面に、ＷＣを粉体を主成分
（５５ｗｔ％）とし、ＳｉＣ粉体、ＮｂＮ粉体、（それ
ぞれ４５ｗｔ％）をそれぞれ混合した粉体をマクネトロ
ンスパッタ装置（処理時の入力電力５０〜４００Ｗ）で
被膜処理して、膜厚０．１μｍ以下のＷＣ混合膜の中間
層を形成した。
Ｏ3 摺動セラミックス材の表面に、ＷＣを粉体を主成分
（５５ｗｔ％）とし、ＳｉＣ粉体、ＮｂＮ粉体、（それ
ぞれ４５ｗｔ％）をそれぞれ混合した粉体をマクネトロ
ンスパッタ装置（処理時の入力電力５０〜４００Ｗ）で
被膜処理して、膜厚０．１μｍ以下のＷＣ混合膜の中間
層を形成した。
【００２５】〔イオンプレーティング法による硬質カー
ボン膜の形成〕上記の中間層の上に、イオンプレーティ
ング装置で、アセチレンガスを用いて、膜厚０．５μｍ
前後の硬質カーボン膜を形成した。このときの処理時の
電圧は、−１．２ｋＶであった。これを下記の方法にし
たがって、耐久性試験を行った。結果を図２に示す。
ボン膜の形成〕上記の中間層の上に、イオンプレーティ
ング装置で、アセチレンガスを用いて、膜厚０．５μｍ
前後の硬質カーボン膜を形成した。このときの処理時の
電圧は、−１．２ｋＶであった。これを下記の方法にし
たがって、耐久性試験を行った。結果を図２に示す。
【００２６】〔マグネトロンスパッタ法による硬質カー
ボン膜の形成〕上記の中間層の上に、マグネトロンスパ
ッタ装置で、アセチレンガスを用いて、膜厚０．５μｍ
前後の硬質カーボン膜を形成した。このときの処理時の
入力電圧は、５０〜４００Ｗであった。これを下記の方
法にしたがって、耐久性試験を行った。結果を図２に示
す。
ボン膜の形成〕上記の中間層の上に、マグネトロンスパ
ッタ装置で、アセチレンガスを用いて、膜厚０．５μｍ
前後の硬質カーボン膜を形成した。このときの処理時の
入力電圧は、５０〜４００Ｗであった。これを下記の方
法にしたがって、耐久性試験を行った。結果を図２に示
す。
【００２７】〔耐久性試験〕上記の方法により硬質カー
ボン膜を形成したセラミック材を用いて、表１に記載の
条件にて、リングオンディスク試験機を用いて、硬質カ
ーボン膜（ＤＣＬ膜）が剥離する時間を測定した。
ボン膜を形成したセラミック材を用いて、表１に記載の
条件にて、リングオンディスク試験機を用いて、硬質カ
ーボン膜（ＤＣＬ膜）が剥離する時間を測定した。
【００２８】また、上記のＷＣ混合膜と比較するため、
中間層としてＳｉＣ膜、及び有機シリコン化合物による
ＳｉＣ膜をＡｌ2 Ｏ3 摺動セラミックス材の表面に形成
したものについて、同様に硬質カーボン膜を形成し、リ
ングオンディスク試験機を用いて、硬質カーボン膜（Ｄ
ＣＬ膜）が剥離する時間を測定した。その結果を図２に
示す。
中間層としてＳｉＣ膜、及び有機シリコン化合物による
ＳｉＣ膜をＡｌ2 Ｏ3 摺動セラミックス材の表面に形成
したものについて、同様に硬質カーボン膜を形成し、リ
ングオンディスク試験機を用いて、硬質カーボン膜（Ｄ
ＣＬ膜）が剥離する時間を測定した。その結果を図２に
示す。
【００２９】なお、上記のＳｉＣ膜は、マグネトロンス
パッタ法により形成した。
パッタ法により形成した。
【００３０】さらに、試験中の動摩擦係数〔μ〕を測定
し、試験完了前又は膜はがれ前の動摩擦係数を表２に示
した。
し、試験完了前又は膜はがれ前の動摩擦係数を表２に示
した。
【００３１】
【表１】
【００３２】
【表２】
【００３３】結果 図２から明らかなように、マグネトロンスパッタ装置で
ＤＣＬ膜処理をした場合、中間層がＳｉＣ、有機シリコ
ン化合物によるＳｉＣの場合、１１７５ｍｉｎ、１１０
０ｍｉｎでＤＣＬ膜の剥がれが生じたのに対し、中間層
がＷＣ＋ＳｉＣ、ＷＣ＋ＮｂＮでは１２００ｍｉｎ打ち
切り時においてもＤＣＬ膜の剥がれが認められなかっ
た。この結果の傾向は、イオンプレーティング処理品の
場合も同様であった。
ＤＣＬ膜処理をした場合、中間層がＳｉＣ、有機シリコ
ン化合物によるＳｉＣの場合、１１７５ｍｉｎ、１１０
０ｍｉｎでＤＣＬ膜の剥がれが生じたのに対し、中間層
がＷＣ＋ＳｉＣ、ＷＣ＋ＮｂＮでは１２００ｍｉｎ打ち
切り時においてもＤＣＬ膜の剥がれが認められなかっ
た。この結果の傾向は、イオンプレーティング処理品の
場合も同様であった。
【００３４】また、ＷＣ＋ＳｉＣ及びＷＣ＋ＮｂＮの摩
擦係数〔μ〕は、表２に示すように、０．０２及び０．
１６と、ＳｉＣの０．２と比較しても摩擦係数が小さい
ことがわかった。
擦係数〔μ〕は、表２に示すように、０．０２及び０．
１６と、ＳｉＣの０．２と比較しても摩擦係数が小さい
ことがわかった。
【００３５】
【発明の効果】この発明によれば、摺動セラミック材の
摺動面と硬質カーボン膜の間に上記のＷＣ混合物からな
る膜を介したので、硬質カーボン膜の摺動セラミック材
に対する密着性が向上し、剥離寿命のばらつきも小さく
なる。また、高荷重における耐久性も向上する。
摺動面と硬質カーボン膜の間に上記のＷＣ混合物からな
る膜を介したので、硬質カーボン膜の摺動セラミック材
に対する密着性が向上し、剥離寿命のばらつきも小さく
なる。また、高荷重における耐久性も向上する。
【図１】この発明にかかる硬質カーボン膜形成摺動セラ
ミック材の部分断面図
ミック材の部分断面図
【図２】耐久試験の結果を示す図表
１ 摺動セラミック材 ２ ＷＣ混合膜 ３ 硬質カーボン膜
Claims (5)
- 【請求項１】 摺動セラミック材の摺動面に、ＷＣを主
成分とし、これにケイ素化合物、アルミニウム化合物、
チタン金属、チタン化合物、又はニオブ化合物から選ば
れる成分を少なくとも１つを含有するＷＣ混合物からな
る膜を介して硬質カーボン膜を被覆した硬質カーボン膜
形成摺動セラミック材。 - 【請求項２】 上記ケイ素化合物、アルミニウム化合
物、チタン金属、チタン化合物又はニオブ化合物から選
ばれる成分が、ＳｉＣ、Ｓｉ3 Ｎ4 、Ａｌ2 Ｏ3 、Ｔ
ｉ、ＴｉＣ又はＮｂＮから選ばれる成分である請求項１
に記載の硬質カーボン膜形成摺動セラミック材。 - 【請求項３】 上記ＷＣ混合物からなる膜の厚み、が
０．１〜１μｍである請求項１又は２のいずれかに記載
の硬質カーボン膜形成摺動セラミック材。 - 【請求項４】 上記硬質カーボン膜が、炭素又は炭化水
素系ガスを蒸着源とし、高周波スパッタ、マグネトロン
スパッタ、イオンプレーティング又はイオン注入法によ
り形成される硬質カーボン膜である請求項１〜３のいず
れか１項に記載の硬質カーボン膜形成摺動セラミック
材。 - 【請求項５】 上記ＷＣ混合物からなる膜が、高周波ス
パッタ、マグネトロンスパッタ又はイオンプレーティン
グにより形成される膜である請求項１〜４のいずれか１
項に記載の硬質カーボン膜形成摺動セラミック材。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25657896A JPH10101463A (ja) | 1996-09-27 | 1996-09-27 | 硬質カーボン膜形成摺動セラミック材 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP25657896A JPH10101463A (ja) | 1996-09-27 | 1996-09-27 | 硬質カーボン膜形成摺動セラミック材 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH10101463A true JPH10101463A (ja) | 1998-04-21 |
Family
ID=17294587
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP25657896A Pending JPH10101463A (ja) | 1996-09-27 | 1996-09-27 | 硬質カーボン膜形成摺動セラミック材 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH10101463A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006009991A (ja) * | 2004-06-28 | 2006-01-12 | Kyocera Corp | 摺動部材、ディスクバルブ及びそれを用いた混合栓 |
-
1996
- 1996-09-27 JP JP25657896A patent/JPH10101463A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2006009991A (ja) * | 2004-06-28 | 2006-01-12 | Kyocera Corp | 摺動部材、ディスクバルブ及びそれを用いた混合栓 |
| JP4638181B2 (ja) * | 2004-06-28 | 2011-02-23 | 京セラ株式会社 | 摺動部材、ディスクバルブ及びそれを用いた混合栓 |
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