JPH0996901A - Photosensitive resin composition and printed circuit board using same - Google Patents

Photosensitive resin composition and printed circuit board using same

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JPH0996901A
JPH0996901A JP7276977A JP27697795A JPH0996901A JP H0996901 A JPH0996901 A JP H0996901A JP 7276977 A JP7276977 A JP 7276977A JP 27697795 A JP27697795 A JP 27697795A JP H0996901 A JPH0996901 A JP H0996901A
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JP
Japan
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photosensitive resin
resin composition
curing agent
ndh
insulating layer
Prior art date
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JP7276977A
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Japanese (ja)
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Utsukoku Uma
蔚国 馬
Taketo Tsukamoto
健人 塚本
Jiro Watanabe
二郎 渡辺
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Toppan Printing Co Ltd
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Publication date
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  • Epoxy Resins (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To increase the glass transition temp. of the insulating layer of a printed circuit board produced by a built-up method and to improve the peeling resistance of the plating layer by using a specified compd. as a curing agent. SOLUTION: In this photosensitive resin compsn. contg. epoxy acrylate resin, a photopolymerizable monomer, a photopolymn. initiator, a curing agent and a solvent, the curing agent contains 2,6-naphthalene-dicarboxylic acid dihydrazide(NDH) represented by the formula. Since this NDH is used, the glass transition temp. of an insulating layer formed from the photosensitive resin compsn. rises and the peeling resistance of a plating layer on the insulating layer is improved. Terminal active hydrogen of each molecule of the NDH reacts with the epoxy groups, etc., of the epoxy acrylate resin and the NDH is incorporated into the polymer matrix of the insulating layer. The NDH is crystal powder having a high m.p. of >=300 deg.C and the glass transition temp. of the insulating layer with the incorporated NDH rises.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、ビルドアップ法に
よるプリント配線板の絶縁層を形成する場合に特に適し
た感光性樹脂組成物及びそれに用いるエポキシ樹脂用硬
化剤並びにそれを用いたプリント配線板に関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to a photosensitive resin composition particularly suitable for forming an insulating layer of a printed wiring board by a build-up method, a curing agent for an epoxy resin used therein, and a printed wiring board using the same. Regarding

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体チップ搭載用基板等の高密度のプ
リント配線板の主要な製造方法として、基材上に絶縁層
と配線層とを交互に積み上げて行く方式のビルドアップ
法が従来より広く採用されている。
2. Description of the Related Art As a main manufacturing method for a high-density printed wiring board such as a substrate for mounting a semiconductor chip, a build-up method in which an insulating layer and a wiring layer are alternately stacked on a base material is widely used. Has been adopted.

【0003】従来のビルドアップ法によるプリント配線
板の絶縁層は、ガラスクロスなどの芯材に絶縁性樹脂を
含浸させて形成されたものではなく、芯材を使用するこ
となく感光性樹脂組成物を基材上に塗工し、光硬化させ
ることにより形成されている。
The insulating layer of a printed wiring board according to the conventional build-up method is not formed by impregnating a core material such as glass cloth with an insulating resin, and a photosensitive resin composition without using the core material. Is formed on the base material by photo-curing.

【0004】このような感光性樹脂組成物としては、エ
ポキシアクリレート樹脂、光重合性モノマー、光重合開
始剤、エポキシ樹脂用の硬化剤及び溶剤等からなる組成
物が使用されている(特開平6−317905号公報
等)。ここで、エポキシ樹脂用の硬化剤としては、2−
エチル−4−メチルイミダゾールなどのイミダゾール系
硬化剤やベンジルジメチルアミンなどのアミン系硬化剤
が一般に使用されている。
As such a photosensitive resin composition, a composition comprising an epoxy acrylate resin, a photopolymerizable monomer, a photopolymerization initiator, a curing agent for an epoxy resin, a solvent and the like is used (Japanese Patent Laid-Open Publication No. 6-58242). -317905 publication). Here, as the curing agent for the epoxy resin, 2-
Imidazole-based curing agents such as ethyl-4-methylimidazole and amine-based curing agents such as benzyldimethylamine are generally used.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】一般に、プリント配線
板の絶縁層においては、そのガラス転移点を境にして動
粘弾性率、熱膨脹率、誘電率等の性質が大きく変化す
る。従って、絶縁層がガラス転移点を超えて加熱される
と、基材と絶縁層との層間あるいは絶縁層と配線層との
間で層間剥離が生ずることが懸念される。また、電気的
特性が大きく変化することも懸念される。
In general, in an insulating layer of a printed wiring board, properties such as kinematic viscoelasticity coefficient, thermal expansion coefficient and dielectric constant greatly change at the glass transition point. Therefore, when the insulating layer is heated above the glass transition point, delamination may occur between the base material and the insulating layer or between the insulating layer and the wiring layer. In addition, there is concern that the electrical characteristics may change significantly.

【0006】ところで、ビルトアップ法により作製され
たプリント配線板に半導体チップをワイヤボンディング
法により実装する場合、ボンディング部が一時的にでは
あるが150℃以上の温度に加熱される。また、場合に
より、実装した半導体チップを樹脂封止することが行わ
れるが、その場合には封止部が180℃以上に温度の溶
融樹脂に接触する。更に、半導体チップ搭載用高密度プ
リント配線板をマザーボードに接合する場合にハンダを
使用することがあるが、その場合には高密度プリント配
線板の接続部が240℃程度の温度にさらされる。
By the way, when a semiconductor chip is mounted on the printed wiring board manufactured by the built-up method by the wire bonding method, the bonding portion is temporarily heated to a temperature of 150 ° C. or higher. In some cases, the mounted semiconductor chip is resin-sealed. In that case, the sealing portion comes into contact with the molten resin having a temperature of 180 ° C. or higher. Further, solder may be used when joining a high density printed wiring board for mounting a semiconductor chip to a mother board, in which case the connection portion of the high density printed wiring board is exposed to a temperature of about 240 ° C.

【0007】従って、半導体チップ搭載用等の高密度の
プリント配線板の絶縁層に対しては、そのガラス転移点
が少なくとも実用的には約160℃以上であることが求
められている。
Therefore, the glass transition point of the insulating layer of a high-density printed wiring board for mounting semiconductor chips or the like is required to be at least about 160 ° C. practically.

【0008】また、ビルトアップ法により作製されたプ
リント配線板の絶縁層上のほとんどの配線層あるいは絶
縁層に形成されたビアホール内面の導電層はメッキ法に
より形成されているが、絶縁層の熱履歴によってメッキ
層が剥離しないようにするために、絶縁層上のメッキ層
のピール強度が実用的には600g/cm以上であるこ
とが求められている。
Further, most of the wiring layers on the insulating layer of the printed wiring board manufactured by the built-up method or the conductive layer on the inner surface of the via hole formed in the insulating layer is formed by the plating method. In order to prevent the plated layer from peeling off due to history, the peel strength of the plated layer on the insulating layer is required to be practically 600 g / cm or more.

【0009】しかしながら、従来の感光性樹脂組成物を
用いてビルトアップ法により作製されたプリント配線板
の場合、その絶縁層のガラス転移点は150℃程度にし
かならず、また、絶縁層上のメッキ層のピール強度が4
00g/cm程度となり、上述の要請を満たすことがで
きないという問題があった。
However, in the case of a printed wiring board produced by the built-up method using the conventional photosensitive resin composition, the glass transition point of the insulating layer is only about 150 ° C., and the plating layer on the insulating layer is Has a peel strength of 4
It was about 00 g / cm, and there was a problem that the above requirements could not be satisfied.

【0010】本発明は、上述の従来技術の問題を解決し
ようとするものであり、ビルドアップ法により作製され
るプリント配線板の絶縁層のガラス転移点を高め、更に
メッキ層のピール強度を向上させることを課題とする。
The present invention is intended to solve the above-mentioned problems of the prior art, and raises the glass transition point of the insulating layer of the printed wiring board produced by the build-up method and further improves the peel strength of the plating layer. The task is to let them do it.

【0011】[0011]

【課題を解決するための手段】本発明者は、硬化剤とし
て特定の化合物を使用することにより上述の課題を解決
できることを見出し、本発明を完成させるに至った。
The present inventors have found that the above-mentioned problems can be solved by using a specific compound as a curing agent, and have completed the present invention.

【0012】即ち、本発明の第1の態様によれば、エポ
キシアクリレート樹脂、光重合性モノマー、光重合開始
剤、硬化剤及び溶剤を含んでなる感光性樹脂組成物にお
いて、硬化剤が式(1)
That is, according to the first aspect of the present invention, in the photosensitive resin composition containing an epoxy acrylate resin, a photopolymerizable monomer, a photopolymerization initiator, a curing agent and a solvent, the curing agent is of the formula ( 1)

【0013】[0013]

【化2】 の2,6−ナフタレンジカルボン酸ジヒドラジッド(以
下NDHと略称する。)を含有することを特徴とする感
光性樹脂組成物が提供される。
Embedded image A 2,6-naphthalenedicarboxylic acid dihydrazide (hereinafter abbreviated as NDH) is provided.

【0014】また、本発明の第2の態様によれば、その
感光性樹脂組成物に使用するためのエポキシ樹脂硬化剤
であって、NDHを含有することを特徴とするエポキシ
樹脂硬化剤が提供される。
According to a second aspect of the present invention, there is provided an epoxy resin curing agent for use in the photosensitive resin composition, which is characterized by containing NDH. To be done.

【0015】また、本発明の第3の態様によれば、絶縁
性基板上に、配線層と絶縁層とが交互に形成されている
プリント配線板において、絶縁層が上述の感光性絶縁樹
脂組成物から構成されていることを特徴とするプリント
配線板が提供される。
According to a third aspect of the present invention, in a printed wiring board in which wiring layers and insulating layers are alternately formed on an insulating substrate, the insulating layer has the above-mentioned photosensitive insulating resin composition. Provided is a printed wiring board, which is characterized in that it is made of a product.

【0016】[0016]

【発明の実施の形態】以下、本発明を詳細に説明する。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention will be described in detail below.

【0017】まず、本発明の第1の態様の感光性樹脂組
成物から説明する。
First, the photosensitive resin composition according to the first aspect of the present invention will be described.

【0018】この感光性樹脂組成物においては、硬化剤
の主成分として式(1)のNDHを使用する。NDHを
使用することにより、感光性樹脂組成物から形成される
絶縁層のガラス転移点が上昇し、また、絶縁層上のメッ
キ層のピール強度が向上する。NDHを使用することに
よりガラス転移点が上昇する理由と絶縁層上のメッキ層
のピール強度が向上する理由とは、明確ではないが、次
のように考えることができる。
In this photosensitive resin composition, NDH of the formula (1) is used as the main component of the curing agent. By using NDH, the glass transition point of the insulating layer formed from the photosensitive resin composition rises and the peel strength of the plating layer on the insulating layer improves. The reason why the glass transition point is increased and the peel strength of the plating layer on the insulating layer is improved by using NDH is not clear, but it can be considered as follows.

【0019】即ち、このNDHは、その分子末端の活性
水素がエポキシアクリレート樹脂のエポキシ基等と反応
して、絶縁層のポリマーマトリックス中に取り込まれる
という性質を有する。ここで、このNDHは300℃以
上の非常に高い融点を有する結晶粉末である。従って、
NDHが取り込まれた絶縁層のガラス転移点が向上する
ものと考えられる。
That is, the NDH has a property that active hydrogen at the molecular end thereof is reacted with the epoxy group of the epoxy acrylate resin and taken into the polymer matrix of the insulating layer. Here, this NDH is a crystal powder having a very high melting point of 300 ° C. or higher. Therefore,
It is considered that the glass transition point of the insulating layer incorporating NDH is improved.

【0020】また、NDHは、ほとんどの溶媒に不溶な
粉末であるので有機フィラーとしても機能する。従っ
て、絶縁層の表面が粗化され、そのためにメッキ層のピ
ール強度が向上するものと考えられる。この場合、粒子
の内部は硬化反応に寄与していないと考えられる。
Since NDH is a powder insoluble in most solvents, it also functions as an organic filler. Therefore, it is considered that the surface of the insulating layer is roughened, which improves the peel strength of the plating layer. In this case, it is considered that the inside of the particles did not contribute to the curing reaction.

【0021】本発明の第1の態様の感光性樹脂組成物中
におけるNDHの使用量は、少な過ぎると本発明の効果
が十分に得られず、多過ぎると解像度が低下するので、
エポキシアクリレート樹脂100重量部に対して好まし
くは1〜8重量部、より好ましくは2〜4重量部とす
る。
When the amount of NDH used in the photosensitive resin composition of the first aspect of the present invention is too small, the effect of the present invention is not sufficiently obtained, and when it is too large, the resolution is lowered.
The amount is preferably 1 to 8 parts by weight, more preferably 2 to 4 parts by weight, based on 100 parts by weight of the epoxy acrylate resin.

【0022】なお、NDHは、前述したようにほとんど
の溶媒に不溶であるために、粒子状の形態で感光性樹脂
組成物に配合されて有機フィラーとしても機能してい
る。この場合、粒子の平均粒径は、小さ過ぎるとガラス
転移点が低くなる傾向があり、大き過ぎると感光性樹脂
組成物の感光時の解像度が低下するので、好ましくは
0.25〜5.0μm、より好ましくは0.25〜0.
5μmとする。
Since NDH is insoluble in most solvents as described above, it is also blended in the photosensitive resin composition in the form of particles to function as an organic filler. In this case, if the average particle size of the particles is too small, the glass transition point tends to be low, and if it is too large, the resolution of the photosensitive resin composition at the time of exposure is lowered, and therefore, it is preferably 0.25 to 5.0 μm. , And more preferably 0.25 to 0.
5 μm.

【0023】なお、NDHのみを硬化剤として使用して
もよいが、硬化温度を下げ、更に硬化時間を短縮するた
めに、従来公知のエポキシ樹脂用の硬化剤と併用しても
よい。このような公知のエポキシ樹脂用の硬化剤として
は、ベンジルジメチルアミン等のアミン系硬化剤、2−
メチルイミダゾール、2−エチル−4−メチルイミダゾ
ール、2,4−ジアミノ−6−(2−ウンデシル−1−
イミダゾリルエチル)−1,3,5−トリアジン、1−
シアノエチル−2−エチル−4−メチルイミダゾールト
リメリテート、1−シアノエチル−2−メチルイミダゾ
ールトリメリテート、1−シアノエチル−2−フェニル
イミダゾールトリメリテート等のイミダゾール系硬化
剤、その他にジシアンジアミド、第3アミン塩、イミダ
ゾール塩、アミンイミド等を挙げることができる。中で
も、硬化温度が低く、また、入手コストも低く、しかも
感光性樹脂組成物の電気的特性を向上させることのでき
るイミダゾール系硬化剤を好ましく使用することができ
る。この場合、イミダゾール系硬化剤の配合量は、ND
H100重量部に対し、少な過ぎると硬化温度を充分に
下げることができず、多過ぎると樹脂硬化が進みすぎて
脆くなるので、好ましくは0.5〜1.5重量部、より
好ましくは0.8〜1.2重量部とする。
Although only NDH may be used as a curing agent, it may be used in combination with a conventionally known curing agent for epoxy resin in order to lower the curing temperature and further shorten the curing time. Examples of such known curing agents for epoxy resins include amine-based curing agents such as benzyldimethylamine, 2-
Methylimidazole, 2-ethyl-4-methylimidazole, 2,4-diamino-6- (2-undecyl-1-
Imidazolylethyl) -1,3,5-triazine, 1-
Imidazole-based curing agents such as cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole trimellitate, 1-cyanoethyl-2-methylimidazole trimellitate, 1-cyanoethyl-2-phenylimidazole trimellitate, dicyandiamide, third Examples thereof include amine salts, imidazole salts, amine imides and the like. Among them, an imidazole-based curing agent, which has a low curing temperature, is low in acquisition cost, and can improve the electrical characteristics of the photosensitive resin composition, can be preferably used. In this case, the blending amount of the imidazole-based curing agent is ND
If the amount is too small, the curing temperature cannot be lowered sufficiently, and if the amount is too large, the curing of the resin proceeds too much to make the composition brittle, so that it is preferably 0.5 to 1.5 parts by weight, more preferably 0. 8 to 1.2 parts by weight.

【0024】本発明の第1の態様の感光性樹脂組成物に
おいて使用するエポキシアクリレート樹脂としては、従
来の感光性樹脂組成物において使用されている公知のも
のを使用することができ、例えば、フェノールノボラッ
ク型エポキシアクリレート、クレゾールノボラック型エ
ポキシアクリレート、ジシクロペンタジエン変性エポキ
シアクリレート、ナフタレン型エポキシアクリレート、
ビスフェノールA型エポキシアクリレート、テトラグリ
シジルアミノフェニルメタン等を使用することができ
る。
As the epoxy acrylate resin used in the photosensitive resin composition of the first aspect of the present invention, known epoxy acrylate resins used in conventional photosensitive resin compositions can be used, for example, phenol. Novolac type epoxy acrylate, cresol novolac type epoxy acrylate, dicyclopentadiene modified epoxy acrylate, naphthalene type epoxy acrylate,
Bisphenol A type epoxy acrylate, tetraglycidyl aminophenyl methane, etc. can be used.

【0025】これらのエポキシアクリレート樹脂の平均
分子量は、少な過ぎると指触乾燥性が低下して露光時な
どの作業性が低下し、大き過ぎると所定の粘度(例えば
200ps)にまで調整するために多量の溶剤を添加し
なければならず、そのため固形分率が低下して塗布膜厚
が薄くなり、意図した膜厚を確保できなくなるので、好
ましくは400〜1500、より好ましくは500〜1
000とする。
If the average molecular weight of these epoxy acrylate resins is too low, the dryness to the touch is reduced and the workability during exposure is reduced, and if it is too high, the viscosity is adjusted to a predetermined viscosity (for example, 200 ps). A large amount of solvent has to be added, which lowers the solid content and reduces the coating film thickness, making it impossible to secure the intended film thickness. Therefore, 400 to 1500 is preferable, and 500 to 1 is more preferable.
000.

【0026】また、エポキシアクリレート樹脂のアクリ
ル化率は、小さ過ぎると解像度が悪くなり、大き過ぎる
とエポキシ基が少なくなるので熱硬化特性が不十分とな
り、しかもアクリレート基が増加し、無電解銅メッキに
悪影響がでるので、好ましくは30〜80%、より好ま
しくは40〜60%とする。
If the acrylate ratio of the epoxy acrylate resin is too small, the resolution will be poor, and if it is too large, the epoxy group will be small and the thermosetting property will be insufficient. Moreover, the acrylate group will increase, and electroless copper plating will occur. Therefore, it is preferably 30 to 80%, more preferably 40 to 60%.

【0027】エポキシアクリレート樹脂の感光性樹脂組
成物中の配合量は、少な過ぎると作業性が低下し、しか
も絶縁性の低下や誘電率の増大などの膜特性が低下し、
多過ぎると成膜性が低下し、膜質も脆くなり、しかも密
着性も低下するので、好ましくは30〜70重量%、よ
り好ましくは40〜60重量%とする。
If the blending amount of the epoxy acrylate resin in the photosensitive resin composition is too small, the workability is lowered, and further, the film properties such as the lowered insulating property and the increased dielectric constant are lowered,
When the amount is too large, the film forming property is deteriorated, the film quality becomes brittle, and the adhesion is also deteriorated.

【0028】次に、光重合性モノマーとしては、従来の
感光性樹脂組成物において使用されている公知の2官能
以上のモノマーを使用することができる。例えば、1,
6−ヘキサンジオールジアクリレート、エチレングリコ
ールジアクリレート、ネオペンチルグリコールジアクリ
レート、トリエチレングリコールジアクリレートなどの
2官能アクリレート、トリメチロールプロパントリアク
リレート、ペンタエリストールトリアクリレート、トリ
ス(2−ヒドロキシエチル)イソシアネートなどの3官
能アクリレート、ジトリメチロールプロパンテトラアク
リレートなどの4官能アクリレート、ジペンタエリスリ
トールペンタアクリレートなどの5官能アクリレート、
ジペンタエリスリトールヘキサアクリレートなどの6官
能アクリレートなどを使用することができる。
Next, as the photopolymerizable monomer, known bifunctional or higher functional monomers used in conventional photosensitive resin compositions can be used. For example, 1,
Bifunctional acrylates such as 6-hexanediol diacrylate, ethylene glycol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, pentaerythritol triacrylate, tris (2-hydroxyethyl) isocyanate, etc. , Trifunctional acrylates such as ditrimethylolpropane tetraacrylate, and pentafunctional acrylates such as dipentaerythritol pentaacrylate,
A hexafunctional acrylate such as dipentaerythritol hexaacrylate can be used.

【0029】光重合性モノマーの使用量は、少な過ぎる
と解像度が十分でなく、多過ぎると銅メッキ強度などに
悪影響が及ぶので、好ましくはエポキシアクリレート樹
脂100重量部に対し5〜20重量部、より好ましくは
8〜15重量部とする。
If the amount of the photopolymerizable monomer used is too small, the resolution is not sufficient, and if it is too large, the copper plating strength is adversely affected. Therefore, it is preferably 5 to 20 parts by weight per 100 parts by weight of the epoxy acrylate resin. It is more preferably 8 to 15 parts by weight.

【0030】光重合開始剤としては、従来の感光性樹脂
組成物において使用されている公知の光重合開始剤を使
用することができる。ジアゾ化合物、アジド化合物、ア
セトフェノン、ベンジルジメチルケタール、ベンゾフェ
ノン系化合物等を使用することができる。
As the photopolymerization initiator, known photopolymerization initiators used in conventional photosensitive resin compositions can be used. Diazo compounds, azido compounds, acetophenones, benzyl dimethyl ketals, benzophenone compounds, etc. can be used.

【0031】光重合開始剤の使用量は、少な過ぎると解
像度が不十分となり、大き過ぎてもそれ以上の添加効果
が望めないだけでなく、絶縁性や解像度などの膜特性が
低下するので、好ましくはエポキシアクリレート樹脂と
光重合性モノマーとの合計100重量部に対し5〜20
重量部、より好ましくは7〜15重量部とする。
If the amount of the photopolymerization initiator used is too small, the resolution becomes insufficient, and if it is too large, not only the effect of addition cannot be expected, but also the film properties such as insulation and resolution deteriorate. It is preferably 5 to 20 with respect to 100 parts by weight of the total of the epoxy acrylate resin and the photopolymerizable monomer.
By weight, more preferably 7 to 15 parts by weight.

【0032】なお、感光性樹脂組成物において使用する
溶剤としては、ブチルセロソルブ、エチルセロソルブ、
カルビトール、石油ソルベント、メチルエチルケトン、
シクロヘキサノン、ジグライム、トルエン、キシレン、
エチルセロソルブアセテート等を単独であるいは適宜混
合して使用することができる。
The solvent used in the photosensitive resin composition is butyl cellosolve, ethyl cellosolve,
Carbitol, petroleum solvent, methyl ethyl ketone,
Cyclohexanone, diglyme, toluene, xylene,
Ethyl cellosolve acetate and the like can be used alone or in an appropriate mixture.

【0033】本発明の第1の態様の感光性樹脂組成物に
は、光硬化時の収縮を抑制して絶縁層の基材からの剥離
を防止するために、無機フィラーを更に添加することが
好ましい。このような無機フィラーとしては、従来より
感光性樹脂組成物に添加されているものと同様のものを
使用することができ、例えば、シリカ、アルミナ、タル
ク、硫酸バリウムなどを使用することができる。
An inorganic filler may be further added to the photosensitive resin composition of the first aspect of the present invention in order to suppress shrinkage during photocuring and prevent peeling of the insulating layer from the base material. preferable. As such an inorganic filler, those similar to those conventionally added to the photosensitive resin composition can be used, and for example, silica, alumina, talc, barium sulfate, etc. can be used.

【0034】このような無機フィラーの平均粒径は、小
さ過ぎると入手コストが上昇し、大き過ぎると解像度が
低下するので、好ましくは0.3〜10.0μm、より
好ましくは0.5〜3.0μmとする。また、無機フィ
ラーの使用量は、少な過ぎると成膜性が不十分となり、
膜質も脆くなり、しかも密着性も低下し、多過ぎると作
業性が低下し、しかも絶縁性の低下や誘電率の増大など
の膜特性が低下するので、エポキシアクリレート樹脂1
00重量部に対し、好ましくは10〜50重量部、より
好ましくは20〜40重量部とする。
If the average particle size of such an inorganic filler is too small, the acquisition cost will increase, and if it is too large, the resolution will decrease, so 0.3 to 10.0 μm is preferable, and 0.5 to 3 is more preferable. 0.0 μm. Further, if the amount of the inorganic filler used is too small, the film forming property becomes insufficient,
Since the film quality becomes brittle, and the adhesiveness also deteriorates, if it is too much, the workability deteriorates, and further, the film properties such as the deterioration of the insulating property and the increase of the dielectric constant are deteriorated.
The amount is preferably 10 to 50 parts by weight, more preferably 20 to 40 parts by weight, based on 00 parts by weight.

【0035】ところで、ビルトアップ法により作製され
たプリント配線板の絶縁層に対し、配線パターンを流れ
る電気信号の遅延を抑制するために、絶縁層の誘電率が
実用的には4.0以下となることが要請されている。従
って、本発明の感光性樹脂組成物には、絶縁層の誘電率
を低下させるために有機フィラーを含有させることが好
ましい。ここで、前述したようにNDHは有機フィラー
としても機能するので、NDHを使用することにより絶
縁層の誘電率を低下させることができる。
By the way, in order to suppress the delay of the electric signal flowing through the wiring pattern, the dielectric constant of the insulating layer is practically 4.0 or less with respect to the insulating layer of the printed wiring board manufactured by the built-up method. Is required to be. Therefore, the photosensitive resin composition of the present invention preferably contains an organic filler in order to reduce the dielectric constant of the insulating layer. Here, as described above, since NDH also functions as an organic filler, the use of NDH can reduce the dielectric constant of the insulating layer.

【0036】なお、他の有機フィラーとしては、ポリメ
チルメタクリル酸微粒子、シリコーン樹脂微粒子等を好
ましく挙げられる。
Preferred examples of other organic fillers include polymethylmethacrylic acid fine particles and silicone resin fine particles.

【0037】このような有機フィラーが添加された絶縁
層は、過マンガン酸カリウム水溶液で表面処理すると、
十分にその表面が粗化される。よって、その上に形成さ
れるメッキ層のピール強度を向上させることができる。
When the insulating layer having such an organic filler added thereto is surface-treated with an aqueous potassium permanganate solution,
The surface is sufficiently roughened. Therefore, the peel strength of the plated layer formed thereon can be improved.

【0038】このような有機フィラーの平均粒径は、小
さ過ぎると製造コストが高くなり、大き過ぎると解像度
が低下するので、好ましくは0.1〜5.0μm、より
好ましくは0.5〜1.0μmとする。また、有機フィ
ラーの使用量は、少な過ぎると誘電率の充分な低下と表
面粗化効果とが望めず、エポキシアクリレート樹脂10
0重量部に対し、膜質が脆くなり、密着性も低下するの
で、好ましくは1〜10重量部、より好ましくは3〜5
重量部とする。
If the average particle size of such an organic filler is too small, the manufacturing cost will be high, and if it is too large, the resolution will be lowered, so that it is preferably 0.1 to 5.0 μm, more preferably 0.5 to 1 μm. 0.0 μm. If the amount of the organic filler used is too small, the dielectric constant cannot be sufficiently reduced and the surface roughening effect cannot be expected.
With respect to 0 parts by weight, the film quality becomes brittle and the adhesiveness also deteriorates.
Parts by weight.

【0039】更に、感光性樹脂組成物には、公知の添加
剤を配合することができ、例えば、熱重合防止剤、顔
料、発色剤、塗工性改良剤、消泡剤、密着性改良剤、レ
ベリング剤等を適宜添加することができる。
Further, known additives may be added to the photosensitive resin composition, for example, a thermal polymerization inhibitor, a pigment, a color former, a coatability improving agent, a defoaming agent, an adhesion improving agent. , Leveling agents and the like can be added as appropriate.

【0040】本発明の第1の態様の感光性樹脂組成物
は、常法により製造することができ、各成分を均一に混
合することにより製造することができる。この場合、硬
化剤以外の成分を均一に混合した後、使用直前に硬化剤
を混合してもよい。
The photosensitive resin composition of the first aspect of the present invention can be manufactured by a conventional method, and can be manufactured by uniformly mixing the respective components. In this case, after the components other than the curing agent are uniformly mixed, the curing agent may be mixed immediately before use.

【0041】このような感光性樹脂組成物は、ビルトア
ップ法によりプリント基板の絶縁層を形成する場合に好
ましく適用することができる。
Such a photosensitive resin composition can be preferably applied when the insulating layer of the printed board is formed by the build-up method.

【0042】次に、本発明の第2の態様のエポキシ樹脂
用硬化剤について説明する。
Next, the curing agent for epoxy resin according to the second aspect of the present invention will be described.

【0043】このエポキシ樹脂用硬化剤は、NDHを含
有することを特徴としている。NDHを含有することに
より、前述したように、エポキシ樹脂の成形物のガラス
転移点を向上させることができる。
The curing agent for epoxy resin is characterized by containing NDH. By containing NDH, as described above, the glass transition point of the epoxy resin molded article can be improved.

【0044】なお、エポキシ樹脂用硬化剤をNDHのみ
から構成してもよいが、前述したように、硬化温度を下
げ、更に硬化時間を短縮するために、従来公知のエポキ
シ樹脂用の硬化剤と併用してもよい。このような公知の
エポキシ樹脂用の硬化剤の具体例と配合量については、
本発明の第1の態様の感光性樹脂組成物についての説明
中で述べた通りである。
The epoxy resin curing agent may be composed of only NDH. However, as described above, in order to lower the curing temperature and further shorten the curing time, a conventional curing agent for epoxy resin may be used. You may use together. For specific examples and blending amounts of such known curing agents for epoxy resins,
It is as described in the description of the photosensitive resin composition of the first aspect of the present invention.

【0045】このエポキシ樹脂用硬化剤の製造は、ND
Hが一般的な溶媒に溶解しないという点から、NDHと
必要に応じて他の硬化剤と希釈剤、例えばアクリル化度
が100%のエポキシアクリレート樹脂などと、更に溶
剤とを混合すればよい。
This epoxy resin curing agent is manufactured by
Since H does not dissolve in a general solvent, NDH, if necessary, other curing agent and a diluent, for example, an epoxy acrylate resin having a degree of acrylate of 100% may be mixed with a solvent.

【0046】次に、本発明の第3の態様のプリント配線
板について説明する。
Next, a printed wiring board according to the third aspect of the present invention will be described.

【0047】このプリント配線板は、絶縁性基板上に、
配線層と絶縁層とが交互に形成されているプリント配線
板において、絶縁層が、既に説明した本発明の第1の態
様の感光性樹脂組成物から構成されていることを特徴と
している。このように、本発明の第1の態様の感光性樹
脂組成物から構成される絶縁層を有するプリント配線板
は、絶縁層のガラス転移点が高いので耐熱性に優れてお
り、しかも各層間のピール強度が高いという利点を有す
る。
This printed wiring board is formed on an insulating substrate,
In a printed wiring board in which a wiring layer and an insulating layer are alternately formed, the insulating layer is formed of the photosensitive resin composition of the first aspect of the present invention described above. As described above, the printed wiring board having the insulating layer composed of the photosensitive resin composition according to the first aspect of the present invention is excellent in heat resistance because the insulating layer has a high glass transition point, and moreover, between the layers. It has the advantage of high peel strength.

【0048】なお、このプリント配線板の絶縁層以外の
発明の構成については、従来のプリント基板と同様とす
ることができる。また、プリント配線板の製造も、従来
のビルトアップ法により好ましく行うことができる。
The structure of the invention other than the insulating layer of the printed wiring board can be the same as that of the conventional printed circuit board. Further, the printed wiring board can be preferably manufactured by the conventional build-up method.

【0049】[0049]

【実施例】以下、本発明を実施例により具体的に説明す
る。
The present invention will be described below in more detail with reference to examples.

【0050】実施例1 表1の各成分を均一に混合することにより感光性樹脂組
成物を調製した。
Example 1 A photosensitive resin composition was prepared by uniformly mixing the components shown in Table 1.

【0051】[0051]

【表1】 成分 重量部 エポキシアクリレート樹脂 (リホ゜キシSPB-50(アクリル化率50%),昭和高分子社製) 100 光重合性モノマー (M−400,東亜合成社製) 4.5 (3002A,共栄社化学社製) 3.5 光重合開始剤 (DETX,日本火薬社製) 3.5 (イルガキュア907、チバガイギー社製) 7.5 硬化剤 (NDH(平均粒径0.5μm) 2.0 (2−エチル−4−メチルイミダゾール) 1.0 溶剤 (ソルベントナフサ) 40 (ブチルセロソルブ) 12 無機フィラー (タルク(ミクロエースL−1,日本タルク工業社製)) 20 (硫酸バリウム(B−34,堺化学社製) 20 [Table 1] Ingredients by weight Epoxy acrylate resin (Ripoxy SPB-50 (Acrylation rate 50%), Showa High Polymer Co., Ltd.) 100 Photopolymerizable monomer (M-400, Toa Gosei Co., Ltd.) 4.5 (3002A, Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) 3.5 Photoinitiator (DETX, Nippon Kayaku Co., Ltd.) 3.5 (Irgacure 907, Ciba Geigy Co., Ltd.) 7.5 Curing agent (NDH (average particle size 0.5 μm) 2.0 ( 2-Ethyl-4-methylimidazole) 1.0 Solvent (solvent naphtha) 40 (Butyl cellosolve) 12 Inorganic filler (talc (Microace L-1, manufactured by Nippon Talc Industry Co., Ltd.)) 20 (Barium sulfate (B-34, Sakai) (Chemical company) 20

【0052】実施例2 溶剤のブチルセロソルブを14重量部使用し、平均粒径
0.5μmのNDHに代えて平均粒径0.25μmのN
DHを4重量部使用する以外は実施例1と同様にして感
光性樹脂組成物を調製した。
Example 2 14 parts by weight of a solvent butyl cellosolve was used, and NHD having an average particle size of 0.25 μm was used in place of NDH having an average particle size of 0.5 μm.
A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that 4 parts by weight of DH was used.

【0053】実施例3 溶剤のブチルセロソルブを16重量部使用し、NDHを
8重量部使用する以外は実施例1と同様にして感光性樹
脂組成物を調製した。
Example 3 A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that 16 parts by weight of the solvent butyl cellosolve and 8 parts by weight of NDH were used.

【0054】実施例4 溶剤のブチルセロソルブを12重量部使用し、平均粒径
0.5μmのNDHに代えて平均粒径0.35μmのN
DHを2重量部使用する以外は実施例1と同様にして感
光性樹脂組成物を調製した。
Example 4 12 parts by weight of butyl cellosolve as a solvent was used, and NHD having an average particle size of 0.35 μm was used in place of NDH having an average particle size of 0.5 μm.
A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that 2 parts by weight of DH was used.

【0055】実施例5 溶剤のブチルセロソルブを14重量部使用し、平均粒径
0.5μmのNDHに代えて平均粒径0.35μmのN
DHを4重量部使用する以外は実施例1と同様にして感
光性樹脂組成物を調製した。
Example 5 14 parts by weight of a solvent butyl cellosolve was used, and N having an average particle size of 0.35 μm was used in place of NDH having an average particle size of 0.5 μm.
A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that 4 parts by weight of DH was used.

【0056】実施例6 溶剤のブチルセロソルブを16重量部使用し、平均粒径
0.5μmのNDHに代えて平均粒径0.35μmのN
DHを8重量部使用する以外は実施例1と同様にして感
光性樹脂組成物を調製した。
Example 6 16 parts by weight of butyl cellosolve as a solvent was used, and NHD having an average particle size of 0.35 μm was used in place of NDH having an average particle size of 0.5 μm.
A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that 8 parts by weight of DH was used.

【0057】実施例7 平均粒径0.5μmのNDHに代えて平均粒径0.25
μmのNDHを2重量部使用する以外は実施例1と同様
にして感光性樹脂組成物を調製した。
Example 7 Instead of NDH having an average particle size of 0.5 μm, an average particle size of 0.25
A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that 2 parts by weight of NDH of μm was used.

【0058】実施例8 溶剤のブチルセロソルブを14重量部使用し、平均粒径
0.5μmのNDHに代えて平均粒径0.25μmのN
DHを4重量部使用する以外は実施例1と同様にして感
光性樹脂組成物を調製した。
Example 8 14 parts by weight of butyl cellosolve as a solvent was used, and NHD having an average particle size of 0.25 μm was used in place of NDH having an average particle size of 0.5 μm.
A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that 4 parts by weight of DH was used.

【0059】実施例9 溶剤のブチルセロソルブを16重量部使用し、平均粒径
0.5μmのNDHに代えて平均粒径0.25μmのN
DHを8重量部使用する以外は実施例1と同様にして感
光性樹脂組成物を調製した。
Example 9 16 parts by weight of butyl cellosolve as a solvent was used, and NHD having an average particle size of 0.25 μm was used in place of NDH having an average particle size of 0.5 μm.
A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that 8 parts by weight of DH was used.

【0060】実施例10 まず、表2の各成分を均一に混合して、感光性樹脂組成
物の前駆組成物を調製した。
Example 10 First, the components shown in Table 2 were uniformly mixed to prepare a precursor composition for a photosensitive resin composition.

【0061】[0061]

【表2】 成分 重量部 エポキシアクリレート樹脂 (リホ゜キシSPB-50(アクリル化率50%),昭和高分子社製) 95 光重合性モノマー (M−400,東亜合成社製) 4.5 (3002A,共栄社化学社製) 3.5 光重合開始剤 (DETX,日本火薬社製) 3.5 (イルガキュア907、チバガイギー社製) 7.5 溶剤 (ソルベントナフサ) 40 (ブチルセロソルブ) 12 無機フィラー (タルク(ミクロエースL−1,日本タルク工業社製)) 20 (硫酸バリウム(B−34,堺化学社製) 20 次に、表3の各成分を均一に混合することによりエポキ
シ樹脂用硬化剤を調製した。
[Table 2] Ingredients by weight Epoxy acrylate resin (lipoxy SPB-50 (50% acrylate), Showa High Polymer Co., Ltd.) 95 Photopolymerizable monomer (M-400, Toa Gosei Co., Ltd.) 4.5 (3002A, Kyoeisha Chemical Co., Ltd.) 3.5 Photopolymerization initiator (DETX, Nippon Kayaku Co., Ltd.) 3.5 (Irgacure 907, Ciba Geigy Co., Ltd.) 7.5 Solvent (solvent naphtha) 40 (Butyl cellosolve) 12 Inorganic filler (talc (micro) Ace L-1, manufactured by Nippon Talc Industry Co., Ltd.)) 20 (barium sulfate (B-34, manufactured by Sakai Chemical Co., Ltd.) 20 Next, a curing agent for epoxy resin was prepared by uniformly mixing the components shown in Table 3. .

【0062】[0062]

【表3】 成分 重量部 2−エチル−4−メチルイミダゾール 1.0 NDH(平均粒径0.5μm) 2.0 希釈剤(エホ゜キシアクリレート樹脂(アクリル化率100%)) 5.0 (リポキシSPB−50,昭和高分子社製)ブチルセロソルブ 1.5 次に、表2の組成物と表3の硬化剤とを混合することに
より感光性樹脂組成物を調製した。
[Table 3] Ingredients By weight 2-Ethyl-4-methylimidazole 1.0 NDH (average particle size 0.5 μm) 2.0 Diluent (epoxy acrylate resin (acrylicization rate 100%)) 5.0 (lipoxy SPB -50, Showa High Polymer Co., Ltd.) Butyl Cellosolve 1.5 Next, a photosensitive resin composition was prepared by mixing the composition of Table 2 and the curing agent of Table 3.

【0063】比較例1 溶剤のブチルセロソルブの使用量を10重量部とし、N
DHを使用しない以外は実施例1と同様にして感光性樹
脂組成物を調製した。
Comparative Example 1 The amount of butyl cellosolve used as a solvent was 10 parts by weight, and N
A photosensitive resin composition was prepared in the same manner as in Example 1 except that DH was not used.

【0064】(評価)得られた感光性樹脂組成物につい
て、以下に示すように「ピール強度」、「比誘電率」、
「ガラス転移点」及び「解像度」の評価を行った。
(Evaluation) Regarding the obtained photosensitive resin composition, "peeling strength", "relative permittivity",
"Glass transition point" and "resolution" were evaluated.

【0065】(1) ピール強度試験 実施例2及び比較例1の組成物を、それぞれガラスエポ
キシ基板上に銅箔が貼着された片面銅張積層板に、スク
リーン印刷法により塗布し、100℃で30分間仮乾燥
した。その後、超高圧水銀灯により800mJ/cm
の光量の光を全面に照射した。その後、180℃で60
分間ベーキングすることにより、厚さ40μmの絶縁層
を形成した。
(1) Peel Strength Test The compositions of Example 2 and Comparative Example 1 were applied by a screen printing method to a single-sided copper-clad laminate in which a copper foil was attached to a glass epoxy substrate, and the composition was heated to 100 ° C. It was temporarily dried for 30 minutes. After that, 800mJ / cm 2 by ultra-high pressure mercury lamp
The entire surface was irradiated with the light amount of Then, at 180 ℃ 60
By baking for minutes, an insulating layer having a thickness of 40 μm was formed.

【0066】次に、この絶縁層の表面を500番のサン
ドペーパーで研磨した後、洗浄し、過マンガン酸で表面
粗化処理を行った後に無電解銅メッキを行い、更に電解
銅メッキを行うことにより、絶縁層上に35μm厚の銅
層を形成した。その後、水洗し、150℃で120分間
のベーキングを行うことによりプリント配線板を作製し
た。
Next, the surface of this insulating layer is polished with No. 500 sandpaper, washed, and surface-roughened with permanganate, followed by electroless copper plating and electrolytic copper plating. Thus, a copper layer having a thickness of 35 μm was formed on the insulating layer. Then, it was washed with water and baked at 150 ° C. for 120 minutes to prepare a printed wiring board.

【0067】このようにして得られたプリント配線板の
絶縁層上の銅層のピール強度試験を次のようにして行っ
た。
The peel strength test of the copper layer on the insulating layer of the printed wiring board thus obtained was conducted as follows.

【0068】即ち、銅層に1cm幅に切断線を入れ、ピ
ール強度を測定した。
That is, a cutting line having a width of 1 cm was put in the copper layer and the peel strength was measured.

【0069】その結果、実施例2の感光性樹脂組成物の
場合には、700g/cmという高いピール強度を示し
たが、比較例1のピール強度は400g/cmであっ
た。
As a result, the photosensitive resin composition of Example 2 exhibited a high peel strength of 700 g / cm, while the peel strength of Comparative Example 1 was 400 g / cm.

【0070】(2) 比誘電率の測定 実施例2及び比較例1の感光性樹脂組成物について、J
IS C 6481に従って誘電率の測定を行った。そ
の結果、実施例2の場合には誘電率が4.0と低い数値
を示したが、一方、比較例1の場合にはそれよりも高い
4.3という数値を示した。
(2) Measurement of relative permittivity For the photosensitive resin compositions of Example 2 and Comparative Example 1, J
The dielectric constant was measured according to IS C 6481. As a result, the dielectric constant of Example 2 was as low as 4.0, while the dielectric constant of Comparative Example 1 was 4.3, which was higher than that.

【0071】(3) ガラス転移点の測定 実施例1〜9及び比較例1の感光性樹脂組成物を、前述
のピール強度試験の場合と同様の操作でテフロン板上に
塗布し硬化させて、20μm厚の絶縁フィルムを作製し
た。この絶縁フィルムをテフロン板から剥離し、幅1.
0cmで長さ2.0cmの短冊形状に切断した。この切
断した短冊を、動的粘弾性測定法に従って動的粘弾性測
定装置(RHEOLOGRAPH SOLID,東洋精
機製作所製)でガラス転移点を測定した。その結果を表
4に示す。
(3) Measurement of glass transition point The photosensitive resin compositions of Examples 1 to 9 and Comparative Example 1 were applied on a Teflon plate and cured by the same operation as in the peel strength test described above, An insulating film having a thickness of 20 μm was produced. This insulating film was peeled off from the Teflon plate to give a width of 1.
It was cut into a strip shape having a length of 0 cm and a length of 2.0 cm. The glass transition point of the cut strip was measured by a dynamic viscoelasticity measuring device (RHEOLOGRAPH SOLID, manufactured by Toyo Seiki Seisakusho Ltd.) according to the dynamic viscoelasticity measuring method. The results are shown in Table 4.

【0072】[0072]

【表4】 表4からわかるように、実施例1〜9の感光性絶縁組成
物はいずれも160℃以上のガラス転移点を示している
が、比較例1の組成物のガラス転移点は150℃であっ
た。
[Table 4] As can be seen from Table 4, all of the photosensitive insulating compositions of Examples 1 to 9 showed a glass transition point of 160 ° C or higher, but the composition of Comparative Example 1 had a glass transition point of 150 ° C. .

【0073】(5) 解像度試験 まず、1mm厚のガラスエポキシ基板とその片面に貼着
された18μm厚の銅箔とからなる片面銅張積層板の当
該銅箔を、フォトリソグラフ法により配線パターンに加
工した。
(5) Resolution Test First, the copper foil of a single-sided copper-clad laminate consisting of a 1 mm-thick glass epoxy substrate and an 18 μm-thick copper foil attached to one side thereof was formed into a wiring pattern by photolithography. processed.

【0074】次に、実施例1、4及び7の感光性樹脂組
成物、並びに表5に示すような配合量と平均粒径とのN
DHを使用する以外は実施例1と同様の配合の感光性樹
脂組成物(実施例11〜16)を、粘度が150psと
なるようにブチルセロソルブで調整し、それを片面銅張
積層板の配線パターン上にスクリーン印刷法により2回
塗布し、90℃で30分間プリベイクした後、80μm
径、90μm径又は120μm径のバイアホールパター
ンを20個有するマスクを介して、2000mJ/cm
の光量で露光した。そして、γ−ブチロラクトンで現
像処理することによりバイアホール部分の樹脂を除去
し、水洗した後に180℃で60分間ベーキングするこ
とにより硬化させた。そして、その状態でのバイアホー
ルの形状を調べ、以下の評価基準に従って解像度を評価
した。
Next, the photosensitive resin compositions of Examples 1, 4 and 7 and N of the compounding amount and the average particle diameter as shown in Table 5 were used.
A photosensitive resin composition (Examples 11 to 16) having the same composition as in Example 1 except that DH was used was adjusted with butyl cellosolve so that the viscosity was 150 ps, and the wiring pattern of the single-sided copper-clad laminate was prepared. It was applied twice by screen printing on top, prebaked at 90 ° C for 30 minutes, and then 80 μm
Diameter, 90 μm diameter or 120 μm diameter via a mask having 20 via hole patterns, 2000 mJ / cm
It was exposed with a light amount of 2 . Then, the resin in the via hole portion was removed by developing with γ-butyrolactone, washed with water, and then baked at 180 ° C. for 60 minutes to be cured. Then, the shape of the via hole in that state was examined, and the resolution was evaluated according to the following evaluation criteria.

【0075】 解像度評価基準 ランク 状態 ○: 20個すべてのバイアホールの形状が良好である場合 ×: 配線層に達していないバイアホールが一つでもある場合又は一つで も形状の不良なバイアホールがある場合 Resolution Evaluation Criteria Rank State O: When all 20 via holes are in good shape. X: When there is at least one via hole that does not reach the wiring layer, or even one of them has a bad shape. If there is

【0076】[0076]

【表5】 表5に挙げた実施例の感光性樹脂組成物の解像度はいず
れも良好な結果を示した。
[Table 5] The photosensitive resin compositions of the examples listed in Table 5 all showed good results.

【0077】実施例17 (多層プリント配線板の製造例)1mm厚のガラスエポ
キシ基板とその片面に貼着された18μm厚の銅箔とか
らなる片面銅張積層板の当該銅箔を、フォトリソグラフ
法により配線パターンに加工した。
Example 17 (Production Example of Multilayer Printed Wiring Board) The copper foil of a single-sided copper-clad laminate consisting of a glass epoxy substrate of 1 mm thickness and a copper foil of 18 μm attached to one side thereof was subjected to photolithography. Processed into a wiring pattern.

【0078】次に、実施例1の感光性樹脂組成物を、粘
度が200psとなるようにブチルセロソルブで調整
し、それを片面銅張積層板の配線パターン上にスクリー
ン印刷法により2回塗布し、90℃で30分間プリベイ
クした後、80μm径のバイアホールパターンのマスク
を介して、2000mJ/cmの光量で露光した。そ
して、γ−ブチロラクトンで現像処理することによりバ
イアホール部分の樹脂を除去し、水洗した後に180℃
で60分間ベーキングすることにより硬化させて絶縁膜
を形成した。
Next, the photosensitive resin composition of Example 1 was adjusted with butyl cellosolve so that the viscosity was 200 ps, and it was applied twice on the wiring pattern of the single-sided copper-clad laminate by screen printing, After prebaking at 90 ° C. for 30 minutes, exposure was performed with a light amount of 2000 mJ / cm 2 through a mask having a via hole pattern having a diameter of 80 μm. Then, the resin in the via hole portion is removed by developing with γ-butyrolactone, and after washing with water, the temperature is 180 ° C.
And baked for 60 minutes to cure and form an insulating film.

【0079】この絶縁膜の表面を、800番から240
0番程度の粗さのバフを順次用いて研磨し、配線パター
ンの存在部位と非存在部位との凹凸によって生じる絶縁
膜の凹凸を平滑化するとともに表面を微細に粗化した。
このようにして形成された絶縁膜の膜厚は約40μmで
あった。
The surface of this insulating film is numbered from 800 to 240.
Polishing was sequentially performed using a buff having a roughness of about 0 to smooth the unevenness of the insulating film caused by the unevenness of the existence portion and the non-existence portion of the wiring pattern and finely roughen the surface.
The thickness of the insulating film thus formed was about 40 μm.

【0080】次に、絶縁膜が形成された基板を、70℃
に保持されたKMnO(70g/l)とNaOH(4
0g/l)とを含有する溶液に1〜10分間浸漬し、そ
の表面を粗化させた。
Next, the substrate on which the insulating film is formed is heated to 70 ° C.
KMnO 4 (70 g / l) and NaOH (4
0 g / l) was dipped in a solution containing 1 to 10 minutes to roughen the surface.

【0081】次に、その表面粗化処理済み基板に対し、
無電解銅メッキ、引き続き電解銅メッキを行い、10μ
m厚の銅層を絶縁層上に形成した。
Next, for the surface-roughened substrate,
Electroless copper plating, then electrolytic copper plating, 10μ
An m-thick copper layer was formed on the insulating layer.

【0082】次に、銅層上に、40μm厚のドライフィ
ルムを貼着し、所望の配線パターンを有するマスクを介
して露光し、続いて現像を行った。
Next, a 40 μm-thick dry film was attached onto the copper layer, exposed through a mask having a desired wiring pattern, and subsequently developed.

【0083】次に、塩化銅エッチング液で銅層のエッチ
ングを行うことにより配線パターンを形成し、アルカリ
水溶液にてドライフィルムを剥離した。
Next, a wiring pattern was formed by etching the copper layer with a copper chloride etchant, and the dry film was peeled off with an alkaline aqueous solution.

【0084】更に、上記の操作を繰り返すこと(ビルド
アップ法)により、複数の絶縁層と配線パターンとが交
互に積層されたプリント配線板が得られた。
Further, by repeating the above operation (build-up method), a printed wiring board in which a plurality of insulating layers and wiring patterns were alternately laminated was obtained.

【0085】得られたプリント配線板に対し、ワイアボ
ンディング性の評価を行ったところ。良好なボンディン
グ特性を示した。
The wire bonding property of the obtained printed wiring board was evaluated. It showed good bonding characteristics.

【0086】[0086]

【発明の効果】本発明によれば、ガラス転移温度が高
く、メッキのピール強度も良好な絶縁層を有するプリン
ト配線板が得られる。
According to the present invention, a printed wiring board having an insulating layer having a high glass transition temperature and good peel strength of plating can be obtained.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G03F 7/031 G03F 7/031 7/032 501 7/032 501 H05K 3/28 H05K 3/28 D ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Internal reference number FI Technical display location G03F 7/031 G03F 7/031 7/032 501 7/032 501 H05K 3/28 H05K 3/28 D

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 エポキシアクリレート樹脂、光重合性モ
ノマー、光重合開始剤、硬化剤及び溶剤を含んでなる感
光性樹脂組成物において、硬化剤が式(1) 【化1】 の2,6−ナフタレンジカルボン酸ジヒドラジッドを含
有することを特徴とする感光性樹脂組成物。
1. A photosensitive resin composition comprising an epoxy acrylate resin, a photopolymerizable monomer, a photopolymerization initiator, a curing agent and a solvent, wherein the curing agent is represented by the formula (1): 2. A photosensitive resin composition containing 2,6-naphthalenedicarboxylic acid dihydrazide.
【請求項2】 2,6−ナフタレンジカルボン酸ジヒド
ラジッドの配合量が、エポキシアクリレート樹脂100
重量部に対し、1〜8重量部である請求項1記載の感光
性樹脂組成物。
2. The compounding amount of 2,6-naphthalenedicarboxylic acid dihydrazide is 100% by weight of epoxy acrylate resin.
The photosensitive resin composition according to claim 1, which is 1 to 8 parts by weight with respect to parts by weight.
【請求項3】 硬化剤中に2,6−ナフタレンジカルボ
ン酸ジヒドラジッドが粒子の状態で含有されている請求
項1又は2記載の感光性樹脂組成物。
3. The photosensitive resin composition according to claim 1 or 2, wherein the curing agent contains 2,6-naphthalenedicarboxylic acid dihydrazide in the form of particles.
【請求項4】 2,6−ナフタレンジカルボン酸ジヒド
ラジッドの平均粒径が0.25〜0.5μmである請求
項3記載の感光性樹脂組成物。
4. The photosensitive resin composition according to claim 3, wherein the 2,6-naphthalenedicarboxylic acid dihydrazide has an average particle diameter of 0.25 to 0.5 μm.
【請求項5】 硬化剤がイミダゾール系硬化剤を更に含
有する請求項1〜4のいずれかに記載の感光性樹脂組成
物。
5. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein the curing agent further contains an imidazole curing agent.
【請求項6】 2,6−ナフタレンジカルボン酸ジヒド
ラジッドを含有することを特徴とするエポキシ樹脂用硬
化剤。
6. A curing agent for an epoxy resin, which comprises 2,6-naphthalenedicarboxylic acid dihydrazide.
【請求項7】 イミダゾール系硬化剤を更に含有する請
求項6記載のエポキシ樹脂用硬化剤。
7. The epoxy resin curing agent according to claim 6, further comprising an imidazole curing agent.
【請求項8】 絶縁性基板上に、配線層と絶縁層とが交
互に形成されているプリント配線板において、絶縁層が
請求項1〜4のいずれかに記載の感光性樹脂組成物から
構成されていることを特徴とするプリント配線板。
8. In a printed wiring board in which wiring layers and insulating layers are alternately formed on an insulating substrate, the insulating layer is composed of the photosensitive resin composition according to any one of claims 1 to 4. A printed wiring board characterized by being provided.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010008639A (en) * 2008-06-26 2010-01-14 Sumitomo Bakelite Co Ltd Photosensitive resin composition, adhesive film and light receiving device
WO2013042614A1 (en) * 2011-09-21 2013-03-28 日本化薬株式会社 Novel hydrazide compound and resin composition using same

Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63311A (en) * 1986-06-19 1988-01-05 Sumitomo Bakelite Co Ltd Liquid epoxy resin composition
JPH02223954A (en) * 1989-02-24 1990-09-06 Nippon Synthetic Chem Ind Co Ltd:The Photosensitive resin composition
JPH07157460A (en) * 1993-12-07 1995-06-20 Nippon Hidorajin Kogyo Kk New production method of dihydrazides using hydrazine clathrate complex
JPH07304968A (en) * 1994-03-15 1995-11-21 Toray Ind Inc Microencapsulated curing agent, production thereof, thermosetting resin composition, prepreg, and fiber-reinforced composite material
JPH07330869A (en) * 1994-06-03 1995-12-19 Nippon Hidorajin Kogyo Kk Heat-resistant epoxy resin composition having excellent normal-temperature stability and curing agent for epoxy resin
JPH093021A (en) * 1995-06-16 1997-01-07 Otsuka Chem Co Ltd Fine powdery hydrazine compound

Patent Citations (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS63311A (en) * 1986-06-19 1988-01-05 Sumitomo Bakelite Co Ltd Liquid epoxy resin composition
JPH02223954A (en) * 1989-02-24 1990-09-06 Nippon Synthetic Chem Ind Co Ltd:The Photosensitive resin composition
JPH07157460A (en) * 1993-12-07 1995-06-20 Nippon Hidorajin Kogyo Kk New production method of dihydrazides using hydrazine clathrate complex
JPH07304968A (en) * 1994-03-15 1995-11-21 Toray Ind Inc Microencapsulated curing agent, production thereof, thermosetting resin composition, prepreg, and fiber-reinforced composite material
JPH07330869A (en) * 1994-06-03 1995-12-19 Nippon Hidorajin Kogyo Kk Heat-resistant epoxy resin composition having excellent normal-temperature stability and curing agent for epoxy resin
JPH093021A (en) * 1995-06-16 1997-01-07 Otsuka Chem Co Ltd Fine powdery hydrazine compound

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010008639A (en) * 2008-06-26 2010-01-14 Sumitomo Bakelite Co Ltd Photosensitive resin composition, adhesive film and light receiving device
WO2013042614A1 (en) * 2011-09-21 2013-03-28 日本化薬株式会社 Novel hydrazide compound and resin composition using same
JP2013067569A (en) * 2011-09-21 2013-04-18 Nippon Kayaku Co Ltd Novel hydrazide compound and resin composition using the same

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