JPH0992498A - 挿入光源装置用磁気回路 - Google Patents
挿入光源装置用磁気回路Info
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- JPH0992498A JPH0992498A JP27194595A JP27194595A JPH0992498A JP H0992498 A JPH0992498 A JP H0992498A JP 27194595 A JP27194595 A JP 27194595A JP 27194595 A JP27194595 A JP 27194595A JP H0992498 A JPH0992498 A JP H0992498A
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- magnetic
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 従来より大きな磁場強度を得る。
【解決手段】 １周期を構成する４個の永久磁石１１
Ａ、１２Ａ、１３Ａ、１４Ａが複数周期分配列されてな
る磁石列１０Ａと４個の永久磁石１１Ｂ、１２Ｂ、１３
Ｂ、１４Ｂが複数周期分配列されてなる磁石列１０Ｂが
所定間隔Ｇを置いて対向するように設けられ、永久磁石
１１Ａ、１１Ｂは−ｙ方向、永久磁石１２Ａ、１４Ｂは
−ｚ方向、１２Ｂ、１４Ａは＋ｚ方向、１３Ａ、１３Ｂ
は＋ｙ方向、１２Ｂ、１４Ａは＋ｚ方向にそれぞれ磁化
され、磁石列１０Ａ、１０Ｂの各々の外側に磁性体２０
Ａ、２０Ｂを設ける。
Ａ、１２Ａ、１３Ａ、１４Ａが複数周期分配列されてな
る磁石列１０Ａと４個の永久磁石１１Ｂ、１２Ｂ、１３
Ｂ、１４Ｂが複数周期分配列されてなる磁石列１０Ｂが
所定間隔Ｇを置いて対向するように設けられ、永久磁石
１１Ａ、１１Ｂは−ｙ方向、永久磁石１２Ａ、１４Ｂは
−ｚ方向、１２Ｂ、１４Ａは＋ｚ方向、１３Ａ、１３Ｂ
は＋ｙ方向、１２Ｂ、１４Ａは＋ｚ方向にそれぞれ磁化
され、磁石列１０Ａ、１０Ｂの各々の外側に磁性体２０
Ａ、２０Ｂを設ける。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、光速に近い速度を
持つ電子の蛇行により放射光を発生させる挿入光源装置
に用いられる磁気回路に関する。さらに詳しくは、放射
光の波長チューニング範囲が大きな挿入光源装置用磁気
回路に関する。
持つ電子の蛇行により放射光を発生させる挿入光源装置
に用いられる磁気回路に関する。さらに詳しくは、放射
光の波長チューニング範囲が大きな挿入光源装置用磁気
回路に関する。
【０００２】
【従来の技術】加速器中を周回する光速に近い速度を持
つ電子を、該２極磁場により蛇行運動を行わせると、各
蛇行点から放射光を生じることが知られている。この原
理を利用して、永久磁石あるいは電磁石を用いて正弦波
周期磁場を発生する磁気回路中を光速に近い速度で運動
する電子が蛇行しながら通過する際に強い放射光（赤外
線からＸ線までの特定の光）を発生させる装置が挿入光
源装置（アンジュレータ）である。
つ電子を、該２極磁場により蛇行運動を行わせると、各
蛇行点から放射光を生じることが知られている。この原
理を利用して、永久磁石あるいは電磁石を用いて正弦波
周期磁場を発生する磁気回路中を光速に近い速度で運動
する電子が蛇行しながら通過する際に強い放射光（赤外
線からＸ線までの特定の光）を発生させる装置が挿入光
源装置（アンジュレータ）である。
【０００３】挿入光源装置は、永久磁石を複数個配列し
た２本の磁石列を対向させて空隙が形成されるように配
置して構成される。この磁気回路は電子蓄積リングの直
線部に真空チャンバーを挟む形で挿入されてなり、磁気
回路の空隙内に正弦波周期磁場を発生する。この挿入光
源装置の一つとして、永久磁石のみで構成されたハルバ
ック型がある。
た２本の磁石列を対向させて空隙が形成されるように配
置して構成される。この磁気回路は電子蓄積リングの直
線部に真空チャンバーを挟む形で挿入されてなり、磁気
回路の空隙内に正弦波周期磁場を発生する。この挿入光
源装置の一つとして、永久磁石のみで構成されたハルバ
ック型がある。
【０００４】図７及び８は、ハルバック型の磁気回路の
一例を示す。この装置では、磁石列１０Ａ及び１０Ｂが
空隙Ｇを介して上下に平行に配列されており、各磁石列
は、磁化方向の異なる長方形の永久磁石が複数個配置さ
れている。例えば４個の永久磁石で構成される１周期分
を見れば、磁石列１０Ａにおいては、磁化方向がそれぞ
れ−ｙ、−ｚ、＋ｙ、＋ｚである永久磁石１１Ａ、１２
Ａ、１３Ａ、１４Ａが空隙Ｇの軸線方向に隣り合って配
置されて１周期を構成し、磁石列１０Ｂにおいては、磁
化方向がそれぞれ−ｙ、＋ｚ、＋ｙ、−ｚである永久磁
石１１Ｂ、１２Ｂ、１３Ｂ、１４Ｂが空隙Ｇの軸線方向
に隣り合って配置されて１周期を構成する。このような
配列がＮ（Ｎは２以上の整数である。）周期繰り返して
配列され、磁気回路を構成している。上記構成の磁気回
路においては、閉塞した矢印で示すような磁束の流れが
生じ、空隙Ｇ内に周期磁場を発生する。
一例を示す。この装置では、磁石列１０Ａ及び１０Ｂが
空隙Ｇを介して上下に平行に配列されており、各磁石列
は、磁化方向の異なる長方形の永久磁石が複数個配置さ
れている。例えば４個の永久磁石で構成される１周期分
を見れば、磁石列１０Ａにおいては、磁化方向がそれぞ
れ−ｙ、−ｚ、＋ｙ、＋ｚである永久磁石１１Ａ、１２
Ａ、１３Ａ、１４Ａが空隙Ｇの軸線方向に隣り合って配
置されて１周期を構成し、磁石列１０Ｂにおいては、磁
化方向がそれぞれ−ｙ、＋ｚ、＋ｙ、−ｚである永久磁
石１１Ｂ、１２Ｂ、１３Ｂ、１４Ｂが空隙Ｇの軸線方向
に隣り合って配置されて１周期を構成する。このような
配列がＮ（Ｎは２以上の整数である。）周期繰り返して
配列され、磁気回路を構成している。上記構成の磁気回
路においては、閉塞した矢印で示すような磁束の流れが
生じ、空隙Ｇ内に周期磁場を発生する。
【０００５】挿入光源装置は物理、化学等の各種分野に
おいて物質のミクロな構造や化学反応のプロセス等を解
析するために利用され、放射光の波長を変えてスキャン
することでより多くの知見が得られる。特に波長のく強
度の大きい放射光を用いることにより、より微細な構造
の解析を行うことができる。
おいて物質のミクロな構造や化学反応のプロセス等を解
析するために利用され、放射光の波長を変えてスキャン
することでより多くの知見が得られる。特に波長のく強
度の大きい放射光を用いることにより、より微細な構造
の解析を行うことができる。
【０００６】挿入光源装置で発生させる放射光の波長
は、磁石の周期長あるいは磁場強度に依存するが、一般
には磁場強度を変化して放射光の波長を変えている。磁
場強度の変化には磁石列の間隔（ギャップ）を変化する
ことにより行われる。すなわち、ギャップを小さくすれ
ば磁場が強くなる。
は、磁石の周期長あるいは磁場強度に依存するが、一般
には磁場強度を変化して放射光の波長を変えている。磁
場強度の変化には磁石列の間隔（ギャップ）を変化する
ことにより行われる。すなわち、ギャップを小さくすれ
ば磁場が強くなる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記のように挿入光源
装置においては、従来はギャップを変化することにより
磁場強度を変えて放射光の波長を変えていた。しかし、
ギャップの最小幅は装置構成によって制限されるので、
広い波長のチューニング範囲を得るには一定の限界があ
る。すなわち、ギャップ内には真空ダクトが挿入される
ので、真空ダクトの外（径）寸法によってギャップの最
小幅が制限され、一般には２０ｍｍ程度である。従っ
て、装置構成上の制限から、磁場強度の上限も制限さ
れ、得られる放射光の最大波長も制限が生じる。すなわ
ち、放射光の波長のチューニング範囲も狭くなる。
装置においては、従来はギャップを変化することにより
磁場強度を変えて放射光の波長を変えていた。しかし、
ギャップの最小幅は装置構成によって制限されるので、
広い波長のチューニング範囲を得るには一定の限界があ
る。すなわち、ギャップ内には真空ダクトが挿入される
ので、真空ダクトの外（径）寸法によってギャップの最
小幅が制限され、一般には２０ｍｍ程度である。従っ
て、装置構成上の制限から、磁場強度の上限も制限さ
れ、得られる放射光の最大波長も制限が生じる。すなわ
ち、放射光の波長のチューニング範囲も狭くなる。
【０００８】そこで、真空ダクト内に磁石を設置して短
いギャップを実現する試みもなされているが、真空ダク
ト内に磁石を設置する構成では、製造が困難で製造コス
トも上昇するという問題点があった。また、磁石を真空
ダクト内に設置するので、電子線により磁石が劣化し磁
力が落ちたり、磁石からガスが発生し真空度が下がる恐
れもある。
いギャップを実現する試みもなされているが、真空ダク
ト内に磁石を設置する構成では、製造が困難で製造コス
トも上昇するという問題点があった。また、磁石を真空
ダクト内に設置するので、電子線により磁石が劣化し磁
力が落ちたり、磁石からガスが発生し真空度が下がる恐
れもある。
【０００９】そこで本発明は、従来より大きな磁場強度
が得られ、且つ製造が容易で製造コストも比較的安く済
む挿入光源装置用磁気回路を提供することを目的とす
る。
が得られ、且つ製造が容易で製造コストも比較的安く済
む挿入光源装置用磁気回路を提供することを目的とす
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本願の請求項１記載の発
明は、１周期を構成する第１ないし第４の隣り合う４個
の永久磁石が複数周期分配列されてなる第１及び第２の
磁石列が所定間隔を置いて対向するように設けられ、各
磁石列において、前記第１の永久磁石は磁石列の軸方向
に対して垂直な一の向きに磁化され、前記第２の永久磁
石は磁石列の軸方向に対して水平な一の向きに磁化さ
れ、前記第３の永久磁石は磁石列の軸方向に対して垂直
で且つ前記第１の永久磁石の磁化方向と逆向きに磁化さ
れ、前記第４の永久磁石は軸方向に対して水平で且つ前
記第２の永久磁石の磁化方向と逆向きに磁化されてな
り、該第１及び第２の磁石列の間に周期磁場を発生させ
るハルバック型の挿入光源装置用磁気回路において、該
第１及び第２の磁石列の各々の外側に磁性体を設けたこ
とを特徴とする挿入光源装置用磁気回路を提供する。
明は、１周期を構成する第１ないし第４の隣り合う４個
の永久磁石が複数周期分配列されてなる第１及び第２の
磁石列が所定間隔を置いて対向するように設けられ、各
磁石列において、前記第１の永久磁石は磁石列の軸方向
に対して垂直な一の向きに磁化され、前記第２の永久磁
石は磁石列の軸方向に対して水平な一の向きに磁化さ
れ、前記第３の永久磁石は磁石列の軸方向に対して垂直
で且つ前記第１の永久磁石の磁化方向と逆向きに磁化さ
れ、前記第４の永久磁石は軸方向に対して水平で且つ前
記第２の永久磁石の磁化方向と逆向きに磁化されてな
り、該第１及び第２の磁石列の間に周期磁場を発生させ
るハルバック型の挿入光源装置用磁気回路において、該
第１及び第２の磁石列の各々の外側に磁性体を設けたこ
とを特徴とする挿入光源装置用磁気回路を提供する。
【００１１】本願の請求項２記載の発明は、前記磁性体
が、前記各磁石列の前記第２及び第４の永久磁石底部の
下部に空隙が設けられていることを特徴とする請求項１
記載の挿入光源装置用磁気回路を提供する。
が、前記各磁石列の前記第２及び第４の永久磁石底部の
下部に空隙が設けられていることを特徴とする請求項１
記載の挿入光源装置用磁気回路を提供する。
【００１２】本願の請求項３記載の発明は、前記磁性体
が鉄からなることを特徴とする請求項１又は請求項２記
載の挿入光源装置用磁気回路を提供する。
が鉄からなることを特徴とする請求項１又は請求項２記
載の挿入光源装置用磁気回路を提供する。
【００１３】本願の請求項１記載の発明においては、２
個の磁石列の各々の外側に磁性体を設けたことにより、
第１又は第２の永久磁石から磁石列の外側に漏れ出た磁
束が磁性体を介して第２又は第１の永久磁石に還元され
るので、磁石列の内側のギャップ側における磁場強度が
上がる。
個の磁石列の各々の外側に磁性体を設けたことにより、
第１又は第２の永久磁石から磁石列の外側に漏れ出た磁
束が磁性体を介して第２又は第１の永久磁石に還元され
るので、磁石列の内側のギャップ側における磁場強度が
上がる。
【００１４】本願の請求項２記載の発明においては、前
記磁性体が、前記各磁石列の前記第２及び第４の永久磁
石底部の下部に空隙が設けられていることにより、磁性
体を介した第１の永久磁石から第３の永久磁石への磁束
とは逆向きで且つギャップ側における磁場強度の向上に
寄与しない第２の永久磁石の底部側で自己ループで流れ
る磁束を抑制することができる。
記磁性体が、前記各磁石列の前記第２及び第４の永久磁
石底部の下部に空隙が設けられていることにより、磁性
体を介した第１の永久磁石から第３の永久磁石への磁束
とは逆向きで且つギャップ側における磁場強度の向上に
寄与しない第２の永久磁石の底部側で自己ループで流れ
る磁束を抑制することができる。
【００１５】本願の請求項３記載の発明においては、前
記磁性体が特に鉄または飽和磁束密度の高い鉄・コバル
ト合金からなるので、磁性体を設けたことによる効果が
より大きくなる。
記磁性体が特に鉄または飽和磁束密度の高い鉄・コバル
ト合金からなるので、磁性体を設けたことによる効果が
より大きくなる。
【００１６】
【実施例】次に、本発明を実施例を挙げてさらに詳細に
説明する。
説明する。
【００１７】図１は本発明の挿入光源装置用磁気回路の
一実施例を示す部分側断面図である。本実施例の磁気回
路は、空隙Ｇに面して対向して対をなす磁石列１０Ａ及
び１０Ｂを備えている点では従来技術と同じであるが、
本実施例においては両磁石列１０Ａ及び１０Ｂの外側に
それぞれ鉄製の磁性体２０Ａ及び２０Ｂを備えている。
一実施例を示す部分側断面図である。本実施例の磁気回
路は、空隙Ｇに面して対向して対をなす磁石列１０Ａ及
び１０Ｂを備えている点では従来技術と同じであるが、
本実施例においては両磁石列１０Ａ及び１０Ｂの外側に
それぞれ鉄製の磁性体２０Ａ及び２０Ｂを備えている。
【００１８】すなわちこの装置では、磁石列１０Ａ及び
１０Ｂが空隙Ｇを介して上下に平行に配列されており、
各磁石列は、磁化方向の異なる長方形の永久磁石が複数
個配置されている。例えば４個の永久磁石で構成される
１周期分を見れば、磁石列１０Ａにおいては、磁化方向
がそれぞれ−ｙ、−ｚ、＋ｙ、＋ｚである永久磁石１１
Ａ、１２Ａ、１３Ａ、１４Ａが空隙Ｇの軸線方向に隣り
合って配置されて１周期を構成し、磁石列１０Ｂにおい
ては、磁化方向がそれぞれ−ｙ、＋ｚ、＋ｙ、−ｚであ
る永久磁石１１Ｂ、１２Ｂ、１３Ｂ、１４Ｂが空隙Ｇの
軸線方向に隣り合って配置されて１周期を構成する。こ
のような配列がＮ（Ｎは２以上の整数である。）周期繰
り返して配列され、磁気回路を構成している。そして、
両磁石列１０Ａ及び１０Ｂの外側（空隙Ｇ側と反対側）
の近接した位置に棒状の鉄製磁性体２０Ａ及び２０Ｂが
設けられている。
１０Ｂが空隙Ｇを介して上下に平行に配列されており、
各磁石列は、磁化方向の異なる長方形の永久磁石が複数
個配置されている。例えば４個の永久磁石で構成される
１周期分を見れば、磁石列１０Ａにおいては、磁化方向
がそれぞれ−ｙ、−ｚ、＋ｙ、＋ｚである永久磁石１１
Ａ、１２Ａ、１３Ａ、１４Ａが空隙Ｇの軸線方向に隣り
合って配置されて１周期を構成し、磁石列１０Ｂにおい
ては、磁化方向がそれぞれ−ｙ、＋ｚ、＋ｙ、−ｚであ
る永久磁石１１Ｂ、１２Ｂ、１３Ｂ、１４Ｂが空隙Ｇの
軸線方向に隣り合って配置されて１周期を構成する。こ
のような配列がＮ（Ｎは２以上の整数である。）周期繰
り返して配列され、磁気回路を構成している。そして、
両磁石列１０Ａ及び１０Ｂの外側（空隙Ｇ側と反対側）
の近接した位置に棒状の鉄製磁性体２０Ａ及び２０Ｂが
設けられている。
【００１９】本実施例の構成によれば、例えば、＋ｙ方
向に磁化された永久磁石１３Ａから外側に漏れ出した磁
束は磁性体２０Ａに入った後、−ｙ方向に磁化された永
久磁石１１Ａに還元され、ギャップＧ内の磁場強度に寄
与する。
向に磁化された永久磁石１３Ａから外側に漏れ出した磁
束は磁性体２０Ａに入った後、−ｙ方向に磁化された永
久磁石１１Ａに還元され、ギャップＧ内の磁場強度に寄
与する。
【００２０】図２は本発明の挿入光源装置用磁気回路の
他の実施例を示す部分断面図である。本実施例の基本構
成は図１と同じであるが、本実施例では、磁性体２０Ａ
及び２０Ｂのそれぞれが、−ｚ方向に磁化された永久磁
石１２Ａ、１４Ｂと＋ｚ方向に磁化された永久磁石１２
Ｂ、１４Ａに近接する部分に凹部２１Ａ及び２１Ｂが設
けられている。
他の実施例を示す部分断面図である。本実施例の基本構
成は図１と同じであるが、本実施例では、磁性体２０Ａ
及び２０Ｂのそれぞれが、−ｚ方向に磁化された永久磁
石１２Ａ、１４Ｂと＋ｚ方向に磁化された永久磁石１２
Ｂ、１４Ａに近接する部分に凹部２１Ａ及び２１Ｂが設
けられている。
【００２１】凹部２１Ａ及び２１Ｂを設ける理由は以下
の通りである。すなわち、磁性体２０Ａ及び２０Ｂ内を
通る磁束は、磁性体２０Ａに関しては、＋ｙ方向に磁化
された永久磁石１３Ａから−ｙ方向に磁化された永久磁
石１１Ａに向う磁束の他に、−ｚ方向に磁化された永久
磁石１２Ａ又は＋ｚ方向に磁化された永久磁石１４Ａに
よって微弱ではあるが逆方向の磁束が生じ得る。この磁
束は磁性体２０Ａ、２０Ｂを設けたことによる効果を小
さくし得るものである。そこで、凹部２１Ａ及び２１Ｂ
を設けることにより、このような逆方向の磁束がなくな
り、磁場強度をより強くすることができる。
の通りである。すなわち、磁性体２０Ａ及び２０Ｂ内を
通る磁束は、磁性体２０Ａに関しては、＋ｙ方向に磁化
された永久磁石１３Ａから−ｙ方向に磁化された永久磁
石１１Ａに向う磁束の他に、−ｚ方向に磁化された永久
磁石１２Ａ又は＋ｚ方向に磁化された永久磁石１４Ａに
よって微弱ではあるが逆方向の磁束が生じ得る。この磁
束は磁性体２０Ａ、２０Ｂを設けたことによる効果を小
さくし得るものである。そこで、凹部２１Ａ及び２１Ｂ
を設けることにより、このような逆方向の磁束がなくな
り、磁場強度をより強くすることができる。
【００２２】次に、本発明の実施例の挿入光源装置用磁
気回路について磁場分布を調べた。ここで、磁石周期長
λuは８０ｍｍ、周期数Ｎuは５．５、１個の永久磁石の
高さｈは２０ｍｍで幅ｗは１００ｍｍ、永久磁石の残留
磁束密度Ｂrは１．２１Т（テスラ）、永久磁石の保磁
力ｂＨｃは１１．６ｋＯｅである。ピーク磁場は永久磁
石１１Ａと１１Ｂのそれぞれの中心線を結ぶ線上（ｚ＝
０）のギャップに生じ、上記ｚ＝０の位置からｚが＋方
向の磁束密度の分布を調べた。
気回路について磁場分布を調べた。ここで、磁石周期長
λuは８０ｍｍ、周期数Ｎuは５．５、１個の永久磁石の
高さｈは２０ｍｍで幅ｗは１００ｍｍ、永久磁石の残留
磁束密度Ｂrは１．２１Т（テスラ）、永久磁石の保磁
力ｂＨｃは１１．６ｋＯｅである。ピーク磁場は永久磁
石１１Ａと１１Ｂのそれぞれの中心線を結ぶ線上（ｚ＝
０）のギャップに生じ、上記ｚ＝０の位置からｚが＋方
向の磁束密度の分布を調べた。
【００２３】表１及び図３は、図１及び２に示した挿入
光源装置用磁気回路（実施例１、２）と図７又は８に示
した磁性体を設けていない従来の挿入光源装置用磁気回
路（比較例）とでギャップが３０ｍｍの場合の磁気分布
を示したものである。
光源装置用磁気回路（実施例１、２）と図７又は８に示
した磁性体を設けていない従来の挿入光源装置用磁気回
路（比較例）とでギャップが３０ｍｍの場合の磁気分布
を示したものである。
【００２４】表２は、上記実施例２及び比較例の挿入光
源装置用磁気回路について、それぞれギャップが２０ｍ
ｍ、３０ｍｍ及び５０ｍｍの場合のピーク磁場（ｚ＝
０）を示し、図１０〜１２は各ギャップの場合の磁場分
布を示す。
源装置用磁気回路について、それぞれギャップが２０ｍ
ｍ、３０ｍｍ及び５０ｍｍの場合のピーク磁場（ｚ＝
０）を示し、図１０〜１２は各ギャップの場合の磁場分
布を示す。
【００２５】
【表１】
【００２６】
【表２】
【００２７】
【発明の効果】以上説明した通り本発明によれば、製造
が容易で製造コストも安く済み、且つ磁場強度を大きく
することができ、より長い波長の放射光を得ることがで
きる。
が容易で製造コストも安く済み、且つ磁場強度を大きく
することができ、より長い波長の放射光を得ることがで
きる。
【図１】本発明の挿入光源装置用磁気回路の一実施例を
示す部分側断面図である。
示す部分側断面図である。
【図２】本発明の挿入光源装置用磁気回路の他の実施例
を示す部分側断面図である。
を示す部分側断面図である。
【図３】実施例１、２及び比較例の挿入光源装置用磁気
回路におけるギャップが３０ｍｍの場合の磁束密度分布
を示す図である。
回路におけるギャップが３０ｍｍの場合の磁束密度分布
を示す図である。
【図４】実施例２及び比較例の挿入光源装置用磁気回路
におけるギャップが２０ｍｍの場合の磁束密度分布を示
す図である。
におけるギャップが２０ｍｍの場合の磁束密度分布を示
す図である。
【図５】実施例２及び比較例の挿入光源装置用磁気回路
におけるギャップが３０ｍｍの場合の磁束密度分布を示
す図である。
におけるギャップが３０ｍｍの場合の磁束密度分布を示
す図である。
【図６】実施例２及び比較例の挿入光源装置用磁気回路
におけるギャップが５０ｍｍの場合の磁束密度分布を示
す図である。
におけるギャップが５０ｍｍの場合の磁束密度分布を示
す図である。
【図７】従来のハルバック型挿入光源装置用磁気回路の
一例を示す部分斜視図である。
一例を示す部分斜視図である。
【図８】従来のハルバック型挿入光源装置用磁気回路の
一例を示す部分断面図である。
一例を示す部分断面図である。
１０Ａ，１０Ｂ 磁石列 １１Ａ，１１Ｂ，１２Ａ，１２Ｂ，１３Ａ，１３Ｂ，１
４Ａ，１４Ｂ 永久磁石 ２０Ａ，２０Ｂ 磁性体 ２１Ａ，２１Ｂ 凹部
４Ａ，１４Ｂ 永久磁石 ２０Ａ，２０Ｂ 磁性体 ２１Ａ，２１Ｂ 凹部
Claims (3)
- 【請求項１】 １周期を構成する第１ないし第４の隣り
合う４個の永久磁石が複数周期分配列されてなる第１及
び第２の磁石列が所定間隔を置いて対向するように設け
られ、各磁石列において、前記第１の永久磁石は磁石列
の軸方向に対して垂直な一の向きに磁化され、前記第２
の永久磁石は磁石列の軸方向に対して水平な一の向きに
磁化され、前記第３の永久磁石は磁石列の軸方向に対し
て垂直で且つ前記第１の永久磁石の磁化方向と逆向きに
磁化され、前記第４の永久磁石は軸方向に対して水平で
且つ前記第２の永久磁石の磁化方向と逆向きに磁化され
てなり、該第１及び第２の磁石列の間に周期磁場を発生
させるハルバック型の挿入光源装置用磁気回路におい
て、該第１及び第２の磁石列の各々の外側に磁性体を設
けたことを特徴とする挿入光源装置用磁気回路。 - 【請求項２】 前記磁性体は、前記各磁石列の前記第２
及び第４の永久磁石底部の下部に空隙が設けられている
ことを特徴とする請求項１記載の挿入光源装置用磁気回
路。 - 【請求項３】 前記磁性体は鉄または飽和磁束密度の高
い鉄・コバルト合金からなることを特徴とする請求項１
又は請求項２記載の挿入光源装置用磁気回路。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27194595A JPH0992498A (ja) | 1995-09-26 | 1995-09-26 | 挿入光源装置用磁気回路 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP27194595A JPH0992498A (ja) | 1995-09-26 | 1995-09-26 | 挿入光源装置用磁気回路 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0992498A true JPH0992498A (ja) | 1997-04-04 |
Family
ID=17507021
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP27194595A Pending JPH0992498A (ja) | 1995-09-26 | 1995-09-26 | 挿入光源装置用磁気回路 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0992498A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007019127A (ja) * | 2005-07-06 | 2007-01-25 | Yaskawa Electric Corp | 周期磁界発生装置およびそれを用いたリニアモータ |
| JP2007110822A (ja) * | 2005-10-13 | 2007-04-26 | Yaskawa Electric Corp | 周期磁界発生装置とその製造方法およびこの周期磁界発生装置を用いたリニアモータ |
| WO2011048652A1 (ja) * | 2009-10-19 | 2011-04-28 | 三菱電機株式会社 | 着磁装置、永久磁石式電動機の製造方法 |
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| WO2013143490A1 (zh) * | 2012-03-30 | 2013-10-03 | 仁维国际股份有限公司 | 电磁诱导装置 |
| CN104953784A (zh) * | 2015-06-25 | 2015-09-30 | 金陵科技学院 | 一种低速筒形双动子永磁直线发电机 |
| JPWO2016199836A1 (ja) * | 2015-06-12 | 2018-02-01 | 新日鐵住金株式会社 | 渦電流式減速装置 |
-
1995
- 1995-09-26 JP JP27194595A patent/JPH0992498A/ja active Pending
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| US8541912B2 (en) | 2007-05-25 | 2013-09-24 | Etel S.A. | Planar motor for positioning a load along a plane |
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| JP5409800B2 (ja) * | 2009-10-19 | 2014-02-05 | 三菱電機株式会社 | 永久磁石式電動機の製造方法 |
| WO2013143490A1 (zh) * | 2012-03-30 | 2013-10-03 | 仁维国际股份有限公司 | 电磁诱导装置 |
| CN103368284A (zh) * | 2012-03-30 | 2013-10-23 | 仁维国际股份有限公司 | 电磁诱导装置 |
| JPWO2016199836A1 (ja) * | 2015-06-12 | 2018-02-01 | 新日鐵住金株式会社 | 渦電流式減速装置 |
| US10756612B2 (en) | 2015-06-12 | 2020-08-25 | Nippon Steel & Sumitomo Metal Corporation | Eddy current deceleration device |
| CN104953784A (zh) * | 2015-06-25 | 2015-09-30 | 金陵科技学院 | 一种低速筒形双动子永磁直线发电机 |
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