JPH0985537A - 放電加工装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 微粉末混入加工液の使用において加工槽内に
微粉末が沈澱し難くし、微粉末混入加工液の粉末濃度が
低下することを抑制すること。 【解決手段】 加工槽１の下部に加工液出口６１を設
け、加工槽１には、加工槽１における加工液の液面高さ
を検出する液面高さ検出手段（下限フロート１０７、上
限フロート１０９）と、液面高さ検出手段により検出さ
れる液面高さに基づいて加工液出口６１より排出される
加工液の流量を可変制御し、加工槽１における加工液の
液面高さを所定の値に維持する流量制御手段（小開口開
閉扉１０３、大開口開閉扉１０５）とを設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明が属する技術分野】本発明は、放電加工装置に関
わり、特に微粉末を混入した微粉末混入加工液をを使用
する放電加工装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】図６は放電加工装置の従来例を示してい
る。放電加工装置は、加工槽１と、加工槽１内に配置さ
れて被加工物Ｗを載置される加工テーブル３と、加工テ
ーブル３上の被加工物Ｗに対して対向配置された工具電
極５とを有し、加工槽１内に充填された加工液の液中で
放電加工を行う。

【０００３】加工槽１内の一方の側には加工槽液面高さ
を設定する堰７が設けられており、堰７によって加工槽
１内が加工テーブル３を含む加工液充填部分１ａと、加
工液排出口９と直接連通する加工液排出通路部１ｂとに
区分されている。加工液充填部分１ａの両側下部には噴
射パイプ１１、１３が各々固定配置されている。

【０００４】放電加工装置には、加工液供給処理部とし
て、仕切り板１５によって汚液槽１７ａと清液槽１７ｂ
とに区分されて粉末物質を含まない油系の加工液を貯容
する加工液タンク１７と、金属あるいは半導体の微粉末
を混入された加工液を貯容する加工液タンク１９と、加
工液冷却器２１と、加工液タンク１７の清液槽１７ｂよ
り加工液を吸い上げる加工液供給ポンプ２３と、加工液
供給ポンプ２３より加工液冷却器２１へ加工液を送る加
工液供給通路２５の途中に設けられた開閉弁２７と、加
工液タンク１９より微粉末混入加工液を吸い上げる微粉
末混入加工液供給ポンプ２９と、微粉末混入加工液供給
ポンプ２９より加工液冷却器２１へ微粉末混入加工液を
送る加工液供給通路３１の途中に設けられた開閉弁３３
と、加工液冷却器２１より噴射パイプ１１、１３へ加工
液を送る加工液供給通路３４、３５の途中に設けられた
開閉弁３７、３９と、加工槽１の加工液排出口９より排
出される加工液を加工液タンク１７の汚液槽１７ａに戻
す加工液戻し通路４１の途中に設けられた開閉弁４３
と、加工槽１の加工液排出口２７より排出される微粉末
混入加工液を加工液タンク１９に戻す加工液戻し通路４
５の途中に設けられた開閉弁４７とが付随して設けられ
ている。

【０００５】また加工液タンク１７には、汚液槽１７ａ
より加工液を吸い上げるフィルタポンプ４９と、フィル
タポンプ４９より加工液を与えられ、加工屑排除のため
に加工液を濾過してこれを清液槽１７ｂに戻すフィルタ
５１とが設けられている。

【０００６】また加工液タンク１９には、加工液タンク
１９より微粉末混入加工液を吸い上げる攪拌・フィルタ
ポンプ５３と、加工液タンク１９の底部に配置されて攪
拌・フィルタポンプ５３より加工液を与えられ、これを
加工液タンク１９内に噴出する加工液攪拌用の噴射パイ
プ５５と、開閉弁５７によって攪拌・フィルタポンプ５
３より加工液を選択的に与えられ、微粉末分離のために
加工液を濾過してこれを加工液タンク１３に戻すフィル
タ５９とが設けられている。

【０００７】次に動作について説明する。荒加工時に
は、開閉弁２７、３７、３９を開いて開閉弁３３を閉
じ、加工液供給ポンプ２３によって加工液タンク１７の
清液槽１７ｂの加工液を加工液冷却器２１を通して噴射
パイプ１１、１３より加工槽１の加工液充填部分１ａに
供給する。加工液充填部分１ａにおける加工液の液位が
堰７の上縁に達すると、加工液は、図７（ａ）、（ｂ）
に示されているように、堰７を越えて加工液排出通路１
ｂへ溢流する。荒加工時には開閉弁４３が開いて開閉弁
４７が閉じられていることにより、加工液排出通路１ｂ
の加工液、即ち排液は加工液排出口９より汚液槽１７ａ
に戻る。

【０００８】荒加工中は汚液槽１７ａの加工液はフィル
タポンプ４９によってフィルタ５１へ送られ、加工屑を
フィルタ５１によって濾過除去されて清液槽１７ｂに貯
留される。

【０００９】仕上げ加工時には、開閉弁２７を閉じて開
閉弁３３、３７、３９を開き、微粉末混入加工液供給ポ
ンプ２９によって加工液タンク１９の微粉末混入加工液
を冷却器２１を通して噴射パイプ１１、１３より加工槽
１の加工液充填部分１に供給する。加工液充填部分１ａ
における加工液の液位が堰７の上縁に達すると、加工液
は、図７（ａ）、（ｂ）に示されているように、堰７を
越えて加工液排出通路１ｂへ溢流する。仕上げ加工時に
は開閉弁４３が閉じて開閉弁４７が開かれていることに
より、加工液排出通路１ｂの排液は加工液排出口９より
加工液タンク１９に戻る。

【００１０】仕上げ加工中は、加工液タンク１９の底部
に微粉末が沈澱しないように、攪拌・フィルタポンプ５
３によって加工液タンク１９の加工液を噴射パイプ５５
へ送り、加工液を噴射パイプ５５より加工液タンク１９
内に噴出する。なお、このときには開閉弁５７は閉じて
おく。

【００１１】加工液に混入されている微粉末に使用寿命
がきた場合には、微粉末の交換のために、開閉弁５７を
開き、攪拌・フィルタポンプ５３によって加工液タンク
１９の微粉末混入加工液をフィルタ５９へ送り、フィル
タ５９によって微粉末混入加工液中の微粉末を濾過除去
し、その後に新しい粉末物質を加工液タンク１９に投入
する。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】従来の放電加工装置で
は、加工槽１の下部に固定配置されている噴射パイプ１
１、１３より加工槽１の加工液充填部分１ａに供給され
た加工液は、堰７を越えて加工液排出通路１ｂへオーバ
ーフローするから、噴射パイプ１１、１３より噴出した
加工液は、図７（ａ）、（ｂ）に示されているように、
対向する面に当たり、上昇する。上昇に際しては流速が
遅くなっている上に、重力に逆らって流れるため、微粉
末を混入した加工液では加工液充填部分１ａ内に微粉末
の沈澱部ｄが発生する。このように、微粉末が沈澱する
と、粉末濃度が低下した加工液が堰堰７を越えて排出さ
れ、加工液タンク１９に回収されるようになる。

【００１３】特に図７（ｂ）に示されているように、噴
射パイプ１１による噴射位置と堰７の位置とが同じ側
（図にて右側）にあると、その反対側（図にて左側）に
微粉末の沈澱部ｄが発生し易い。

【００１４】また従来の放電加工装置では、噴射パイプ
１１、１３が加工槽１の下部に固定設置されているた
め、工具電極５と被加工物Ｗとの間の放電加工部（加工
極間）に対応する液面高位では加工液の粉末濃度が低
く、所要の粉末濃度を有する加工液によって放電加工が
行われないことがある。

【００１５】また従来の放電加工装置では、開閉弁２
７、３３より加工槽１側の配管、特に加工液冷却器２１
を二種類の加工液が共用するため、これの領域で二種類
の加工液が混じり合い、微粉末混入加工液では粉末濃度
が低下するという問題が生じる点である。また加工液タ
ンク１７、１９では、相互に液温が異なるため、一つの
加工液冷却器２１では加工液タンク１７と１９のそれぞ
れよりの加工液の温度を適正温度に制御することが難し
いという問題も生じる。

【００１６】この発明は、上述のような問題点を解決す
るためになされたもので、微粉末混入加工液の使用にお
いて加工槽内に微粉末が沈澱し難くし、また加工極間に
高粉末濃度の加工液を効率よく与え、また二種類の加工
液が混じり合うことによって微粉末混入加工液の粉末濃
度が低下することを抑制し、併せて各加工液の温度制御
を安定して行うことができる放電加工装置を得ることを
目的としている。

【００１７】

【課題を解決するための手段】上述の目的を達成するた
めに、この発明による放電加工装置の加工液処理装置
は、下部に加工液出口を有する加工槽と、前記加工槽に
おける加工液の液面高さを検出する液面高さ検出手段
と、前記液面高さ検出手段により検出される液面高さに
基づいて前記加工液出口より排出される加工液の流量を
可変制御し、前記加工槽における加工液の液面高さを所
定の値に維持する流量制御手段とを有している。

【００１８】したがって、この発明による放電加工装置
では、液面高さ検出手段により検出される液面高さに基
づいて流量制御手段により加工液出口より排出される加
工液の流量が可変制御され、この流量制御により加工液
出口より加工液を常時排出した状態で加工槽における加
工液の液面高さが所定値に維持される。加工液出口は加
工槽の下部にあるから、この加工液の排出は重力に逆ら
うことなく行われ、重力の方向に従って効率よく行われ
る。

【００１９】次の発明による放電加工装置は、前記液面
高さ検出手段が上限／下限フロート機構により構成さ
れ、流量制御手段は、上限検出時には流量を増大し、下
限検出時には流量を減少するものである。

【００２０】したがって、この発明による放電加工装置
では、上限／下限フロート機構により加工槽における加
工液の液面高さの上限と下限とが検出され、上限検出時
には流量制御手段により加工液出口よりの加工液の排出
流量が増大し、下限検出時には流量制御手段により加工
液出口よりの加工液の排出流量が減少する。これにより
加工槽における加工液の液面高さは上限高さと下限高さ
との間に維持される。

【００２１】次の発明による放電加工装置は、前記加工
液出口の配置位置に対向する側に加工槽内の加工液を噴
出する加工液噴出パイプが設けられている。

【００２２】したがって、この発明による放電加工装置
では、加工液噴出パイプより加工槽内に噴出された加工
液は加工液出口の配置位置に対向する側より加工液出口
へ加工槽内を横切って流れ、加工液が加工液出口とは反
対側へ流れることがなく、加工液の流れが最適化する。

【００２３】次の発明による放電加工装置は、前記加工
液噴出パイプが上下動可能に設けられ、当該加工液噴出
パイプを任意の高さ位置に駆動する駆動装置を有してい
る。

【００２４】したがって、この発明による放電加工装置
では、駆動手段により加工液噴出パイプが任意の高さ位
置に駆動され、この高さ位置調整により加工液噴出パイ
プよりの加工液の噴射高さ位置を最適化でき、加工極間
に高濃度の粉末混入加工液を供給することが可能にな
る。

【００２５】次の発明による放電加工装置は、微粉末を
含まない加工液と微粉末を混入された微粉末混入加工液
とを切り換えて使用する放電加工装置において、微粉末
を含まない加工液を貯留する加工液タンクより加工液を
加工槽へ導く加工液通路の途中と、微粉末を混入された
微粉末混入加工液を貯留する加工液タンクより加工液を
加工槽へ導く加工液通路の途中に各々加工液冷却器が設
けられ、その各加工液冷却器が微粉末を含まない加工液
と微粉末を混入された微粉末混入加工液とを個別に冷却
するものである。

【００２６】したがって、この発明による放電加工装置
では、微粉末を含まない加工液と微粉末を混入された微
粉末混入加工液とが個別の加工液冷却器により冷却さ
れ、各加工液の温調が個別に安定して行われ、併せて加
工液冷却器にて二種類の加工液が混じり合うことが回避
される。

【００２７】

【発明の実施の形態】以下に添付の図を参照してこの発
明を実施例について詳細に説明する。なお、この発明の
実施例において上述の従来例と同一構成の部分は、上述
の従来例に付した符号と同一の符号を付してその説明を
省略する。

【００２８】図１〜図４はこの発明の放電加工装置の実
施例を示している。図１に示されているように、加工槽
１の堰７の下端に加工液出口６１が開口しており、加工
液出口６１によって加工液充填部分１ａと加工液排出通
路部１ｂとが連通している。

【００２９】加工液充填部分１ａ内には、加工液出口６
１の配置位置（図１にて右側）に対向する側（図１にて
左側）に上下二本の加工液噴出パイプ６３、６５が設け
られている。下側の噴出パイプ６３は水平状態で固定さ
れ、上側の加工液噴出パイプ６５は水平状態で上下動可
能になっている。

【００３０】加工液タンク１７の加工液供給ポンプ２３
は配管６７によって加工液冷却器６９に接続され、加工
液冷却器６９は配管７１、開閉弁２７によって共用配管
７３に接続されている。加工液タンク１７の微粉末混入
加工液供給ポンプ２９は配管７５によって加工液冷却器
７７に接続され、加工液冷却器７７は配管７９、開閉弁
２７によって共用配管７３に接続されている。

【００３１】共用配管７３は途中にノズル開閉弁８１を
有するノズル配管８３によって上下の加工液噴出パイプ
６３、６５に接続され、また途中に急速供給開閉弁８５
を有する急速供給用配管８７を接続されている。急速供
給用配管８７は加工槽１の加工液充填部分１ａに連通接
続されている。

【００３２】図２、図３は加工液噴出パイプ６５の上下
動機構の具体的構成例を示している。加工液噴出パイプ
６５は、固定壁板８９のスライドガイド９１により上下
動可能に保持されたスライド板９３に取り付けられ、加
工液供給用の可撓性ホース９５を接続されている。この
可撓性ホース９５は上述のノズル配管８３の一部をな
す。

【００３３】スライドガイド９１には送りナット９７が
固定されており、送りナット９７には鉛直方向に設けら
れた送りねじ９９がねじ係合している。送りねじ９９
は、図示されていない支持機構により上下方向には移動
できない態様で、自身の中心軸線周りに回転可能に支持
され、上端に電動機１０１を連結されている。送りねじ
９９は、電動機１０１により回転駆動されることによ
り、送りナット９９とのねじ係合によってスライドガイ
ド９１と共に加工液噴出パイプ６５を任意の高さ位置に
駆動する。

【００３４】加工槽１には、図４（ａ）、（ｂ）に示さ
れているように、加工液出口６１を第一の開口面積をも
って選択的に開口する小開口開閉扉１０３と、加工液出
口６１を第二の開口面積をもって選択的に開口する大開
口開閉扉１０５が設けられている。第一の開口面積は加
工液噴出パイプ６３、６５より供給される加工液の流量
より少ない排出流量を設定する開口面積に設定され、第
二の開口面積は加工液噴出パイプ６３、６５より供給さ
れる加工液の流量より多い排出流量を設定する開口面積
に設定されている。

【００３５】図４（ａ）、（ｂ）に模式的に示されてい
るように、加工槽１には下限フロート１０７と上限フロ
ート１０９とが設けられている。下限フロート１０７と
上限フロート１０９とは実際にはスライド板９３に設け
られており、下限フロート１０７は加工液噴出パイプ６
５より上方に配置され、上限フロート１０９は下限フロ
ート１０７より上方に配置されている。

【００３６】下限フロート１０７と上限フロート１０９
の信号線（図示省略）は小開口開閉扉９７と大開口開閉
扉９９の駆動制御部（図示省略）に接続され、上限フロ
ート１０３による上限検出時には小開口開閉扉１０３を
閉じて大開口開閉扉１０５を開き、下限フロート１０７
による下限検出時には小開口開閉扉１０３を開いて大開
口開閉扉１０５を閉じる。

【００３７】次に動作について説明する。荒加工時に
は、開閉弁２７、４３を開いて開閉弁３１、４７を閉
じ、加工液供給ポンプ２３によって加工液タンク１７よ
り加工液を加工液冷却器６９を通して加工槽１へ供給
し、仕上げ加工時に時には、開閉弁２７、４３を閉じて
開閉弁３１、４７を開き、微粉末混入加工液供給ポンプ
２３によって加工液タンク１９より微粉末混入加工液を
加工液冷却器７７を通して加工槽１へ供給する。

【００３８】加工液タンク１７の加工液と加工液タンク
１９の微粉末混入加工液は各々個別の加工液冷却器６
９、７７により冷却されるから、この各加工液の温調が
個別に安定して行われる。なお、加工液冷却器６９、７
７の（各加工液の温調の基準となる）室温センサは同じ
温度の所に設置することが望ましい。

【００３９】また大きな容量を持つ加工液冷却器６９、
７７を共用配管部から除くことが可能になり、共用配管
部の容量が減少するので、加工液の入れ換え時に二種類
の加工液が混じり合う量が低減し、微粉末混入加工液の
粉末濃度の低下が大幅に減少する。

【００４０】また開閉弁２７、３３の配置位置を加工槽
１に極力近づけ、共用配管７３の管路長を短くすること
により、共用配管部の容量を更に減少することができ、
このことによっても加工液の入れ換え時に二種類の加工
液が混じり合う量を更に低減することができる。

【００４１】次に加工槽１における加工液の液面制御シ
ーケンスについて図５を参照して説明する。なお、この
液面制御シーケンスは、荒加工時と仕上げ加工時とで同
様に行われてよい。

【００４２】空の加工槽１に対する加工液の供給開始時
（状態１）には、小開口開閉扉９７と大開口開閉扉９９
とを閉じ、ノズル開閉弁８１を閉じて急速供給開閉弁８
５を開き、急速供給用配管８７によって加工液を加工槽
１の加工液充填部分１ａに急速充填する。

【００４３】下限フロート１０７まで液面が上昇すれば
（状態２）、小開口開閉扉９７を開き、ノズル開閉弁８
１を開いて急速供給開閉弁８５を閉じ、上下の噴射パイ
プ６３、６５より加工液を加工槽１の加工液充填部分１
ａに噴射供給する。この状態では、噴射パイプ６３、６
５よる加工液の供給流量と小開口開閉扉９７により開か
れた加工液排出口６１よりの加工液の排出流量との差に
より加工液充填部分１ａの液面が徐々に上昇していく。

【００４４】上限フロート１０９まで液面が上昇すれば
（状態３）、小開口開閉扉９７を閉じて大開口開閉扉９
９を開く。この状態では、噴射パイプ６３、６５よる加
工液の供給流量と大開口開閉扉９９により開かれた加工
液排出口６１よりの加工液の排出流量との差により加工
液充填部分１ａの液面が徐々に下降していく（状態
４）。

【００４５】下限フロート１０７まで液面が下降すれば
（状態５）、小開口開閉扉９７を開いて大開口開閉扉９
９を閉じる。これにより再び液面が徐々に上昇し、状態
２へ移行する。これより以降、状態２〜５が繰り返さ
れ、加工液充填部分１ａにおける加工液の液面は高さ
は、小開口開閉扉９７あるいは大開口開閉扉９９により
開かれた加工液排出口６１よりの加工液の常時排出のも
とに下限高さと上限高さとの間に維持される。

【００４６】なお、下限フロート１０７が上側の噴射パ
イプ６５よりも上方にあるから、下限時にも噴射パイプ
６５は液面下にあり、噴射パイプ６５より噴射される加
工液が槽外部へ跳ね出ることがない。

【００４７】加工液出口６１は加工槽１の下部にあるか
ら、この加工液の排出は重力に逆らうことなく行われ、
重力の方向に従って効率よく行われる。これにより微粉
末混入加工液の使用時に、その微粉末混入加工液中の微
粉末が加工槽１の底部に沈澱することが防止され、微粉
末の沈澱によって微粉末混入加工液の粉末濃度が低減す
ることが抑制される。

【００４８】加工液噴出パイプ６３、６５は加工液出口
６１の配置位置とは反対側（対向する側）にあるから、
加工液噴出パイプ６３、６５より加工槽１内に噴出され
た加工液は、図１に矢印線により示されているように、
加工液出口６１の配置位置に対向する側より加工液出口
６１へ加工槽１（加工液充填部分１ａ）内を横切って流
れ、加工液が加工液出口６１とは反対側へ流れることが
なく、加工液の流れが最適化する。

【００４９】このことによっても微粉末混入加工液の使
用時に、その微粉末混入加工液中の微粉末が加工槽１の
底部に沈澱することが防止され、微粉末の沈澱によって
微粉末混入加工液の粉末濃度が低減することが抑制され
る。

【００５０】電動機１０１による送りねじ９９の回転に
より、スライド板９３と共に噴射パイプ６５が任意の高
さ位置に駆動されることにより、噴射パイプ６５より任
意高さに加工液を噴射することができる。

【００５１】従って被加工物Ｗの高さに合わせて噴射パ
イプ６５の高さ位置を最適設定することで、被加工物上
面に対して高濃度の粉末混入加工液を直接的に供給でき
る。これにより被加工物上面から加工極間に高濃度の粉
末混入加工液が供給され、粉末混入加工液を使用した放
電加工が効果的に行われるようになる。

【００５２】なお、加工液出口６１よりの加工液の排出
流量の制御は、本実施例に示したように大小２枚の開閉
扉による以外に１枚の開閉扉の開閉高さ位置を定量的に
変えることでも可能である。また加工液入れ換え時の全
排出用にもっと大きな扉を設けることも望ましい。

【００５３】

【発明の効果】以上の説明より明かなように、この発明
による放電加工装置においては、加工液出口より排出さ
れる加工液の流量制御により、加工液出口より加工液を
常時排出した状態で加工槽における加工液の液面高さが
所定値に維持され、加工液出口が加工槽の下部にあるか
ら、この加工液の排出は重力に逆らうことなく重力の方
向に従って効率よく行われ、微粉末混入加工液中の微粉
末が加工槽の底部に沈澱することが防止される。これに
より微粉末の沈澱による微粉末混入加工液の粉末濃度が
低減することが抑制される。

【００５４】次の発明による放電加工装置では、加工槽
における加工液の液面高さは上限高さと下限高さとの間
に維持されるから、簡単な構成で、加工槽における加工
液の液面高さが常に必要高さ範囲内に維持される。

【００５５】次の発明による放電加工装置では、加工液
噴出パイプより加工槽内に噴出された加工液は加工液出
口の配置位置に対向する側より加工液出口へ加工槽内を
横切って流れ、加工液が加工液出口とは反対側へ流れる
ことがなく、加工液の流れが最適化されるから、微粉末
混入加工液中の微粉末が加工槽の底部に沈澱することが
防止され、これによっても微粉末の沈澱による微粉末混
入加工液の粉末濃度が低減することが抑制される。

【００５６】次の発明による放電加工装置では、駆動手
段により加工液噴出パイプが任意の高さ位置に駆動さ
れ、この高さ位置調整により加工液噴出パイプよりの加
工液の噴射高さ位置を最適化できるから、加工極間に高
濃度の粉末混入加工液を供給することが可能になり、粉
末混入加工液を使用した放電加工が効果的に行われるよ
うになる。

【００５７】次の発明による放電加工装置では、微粉末
を含まない加工液と微粉末を混入された微粉末混入加工
液とが個別の加工液冷却器により冷却され、各加工液の
温調が個別に安定して行われ、併せて加工液冷却器にて
二種類の加工液が混じり合うことが回避されるから、加
工液の入れ換え時に二種類の加工液が混じり合う量が低
減し、微粉末混入加工液の粉末濃度低下が大幅に減少す
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 本発明による放電加工装置の一実施例を示す
全体構成図である。

【図２】 本発明による放電加工装置における噴射パイ
プ上下動機構の一実施例を示す平面図である。

【図３】 本発明による放電加工装置における噴射パイ
プ上下動機構の一実施例を示す正面図である。

【図４】 （ａ）は本発明による放電加工装置における
小開口開閉扉部分を、（ｂ）は本発明による放電加工装
置における大開口開閉扉部分を各々示す構成図である。

【図５】 本発明による放電加工装置における加工液の
液面制御シーケンスを示す説明図である。

【図６】 従来の放電加工装置を示す全体構成図であ
る。

【図７】 （ａ）、（ｂ）は従来の放電加工装置におけ
る加工液の排出流れを示す説明図である。

【符号の説明】

１ 加工槽，３ 加工テーブル，５ 工具電極，７
堰，９ 加工液排出口，１７、１９ 加工液タンク，２
３ 加工液供給ポンプ，２７ 開閉弁，２９ 微粉末混
入加工液供給ポンプ，３３ 開閉弁，４１ 加工液戻し
通路，４３ 開閉弁，４５ 加工液戻し通路，４７ 開
閉弁，４９ フィルタポンプ，５１ フィルタ，５３
攪拌・フィルタポンプ，５５ 噴射パイプ，５７ 開閉
弁，５９フィルタ，６１ 加工液出口，６３、６５ 加
工液噴出パイプ，６９ 加工液冷却器，７３ 共用配
管，７７ 加工液冷却器，８１ ノズル開閉弁，８３
ノズル配管，８５ 急速供給開閉弁，８７ 急速供給用
配管，８９ 固定壁板，９１スライドガイド，９３ ス
ライド板，９５ 可撓性ホース，９７ 送りナット，９
９ 送りねじ，１０１ 電動機，１０３ 小開口開閉
扉，１０５ 大開口開閉扉，１０７ 下限フロート，１
０９ 上限フロート

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 下部に加工液出口を有する加工槽と、 前記加工槽における加工液の液面高さを検出する液面高
   さ検出手段と、 前記液面高さ検出手段により検出される液面高さに基づ
   いて前記加工液出口より排出される加工液の流量を可変
   制御し、前記加工槽における加工液の液面高さを所定の
   値に維持する流量制御手段と、 を有していることを特徴とする放電加工装置。
2. 【請求項２】 前記液面高さ検出手段は上限／下限フロ
   ート機構により構成され、流量制御手段は、上限検出時
   には流量を増大し、下限検出時には流量を減少すること
   を特徴とする請求項１に記載の放電加工装置。
3. 【請求項３】 前記加工液出口の配置位置に対向する側
   に加工槽内の加工液を噴出する加工液噴出パイプが設け
   られていることを特徴とする請求項１または２に記載の
   放電加工装置。
4. 【請求項４】 前記加工液噴出パイプが上下動可能に設
   けられ、当該加工液噴出パイプを任意の高さ位置に駆動
   する駆動装置を有していることを特徴とする請求項１〜
   ３の何れかに記載の放電加工装置。
5. 【請求項５】 微粉末を含まない加工液と微粉末を混入
   された微粉末混入加工液とを切り換えて使用する放電加
   工装置において、 微粉末を含まない加工液を貯留する加工液タンクより加
   工液を加工槽へ導く加工液通路の途中と、微粉末を混入
   された微粉末混入加工液を貯留する加工液タンクより加
   工液を加工槽へ導く加工液通路の途中に各々加工液冷却
   器が設けられ、その各加工液冷却器が微粉末を含まない
   加工液と微粉末を混入された微粉末混入加工液とを個別
   に冷却することを特徴とする放電加工装置。