JPH0985168A

JPH0985168A - 慣性型電磁加振装置

Info

Publication number: JPH0985168A
Application number: JP24753695A
Authority: JP
Inventors: Toshio Onuma; 俊雄大沼; Hiroshi Konuma; 浩小沼; Toshiyuki Honda; 利行本多
Original assignee: Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Current assignee: Mitsubishi Heavy Industries Ltd
Priority date: 1995-09-26
Filing date: 1995-09-26
Publication date: 1997-03-31

Abstract

(57)【要約】【課題】振動発生に用いられる慣性型電磁加振装置に
関し、電磁石を分割し、可動質量の振幅を確保し、周波
数特性の低下を防ぎ加振力を増大させる。【解決手段】ケーシング１内には電磁石３を上下に対
称に取付けた電磁石支持板２が固定してあり、又電磁石
３を囲むように口型形状の磁性材料からなる可動質量４
が支持コイルばね（図示省略）でケーシング１内に支持
される。４個のギャップセンサ６からのモニタ信号７が
コントローラ５に入り、コントローラ５はこれら信号に
基づいて可動質量４と電磁石３間の傾きがなくなるよう
な電流を各電磁石３に流して上下の電磁石３を交互に励
磁し、可動質量４を加振するのでインダクタンスを小さ
く抑え、周波数特性を向上し、加振力の低下を防止す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、振動試験設備の振
動発生部として使用される慣性型電磁加振装置に関す
る。

【０００２】

【従来の技術】図１５は、従来の慣性型電磁加振装置の
斜視図、図１６は図１５における矢視Ｆ−Ｆの平面図、
図１７は図１６におけるＧ−Ｇ矢視図であり、又、図１
６は図１７の矢視ＧＧ−ＧＧに相当する。これら図にお
いて、４１はケーシング、４２は電磁石支持板であり、
電磁石４３を上下に支持し、ケーシング４１に両端が固
定されている。電磁石４３はＥ型コア４９に銅線５０が
巻かれた構造であり、後述する本発明の実施の形態にお
いて示す図２と同じ構造である。

【０００３】４４は磁性材料からなる可動質量で電磁石
４３を所定の隙間を保って囲む形状をして支持コイルバ
ネ５２でケーシング４１に支持されている。４６はギャ
ップセンサで後述のように４ケ所に設けられ、可動質量
４４と電磁石４３とのギャップを検出する。４８は電磁
石４３のＥ型コア４９の断面で、磁路断面となってい
る。

【０００４】このような構成で電磁石４３の銅線５０に
電流を流し、電磁石４３を励磁して可動質量４４を図１
７の矢印で示すように上下に加振するが、従来の加振装
置は、前述のように電磁石支持板４２の上下両側各々に
１個ずつ１枚のみの電磁石４３を配置しており、発生で
きる最大電磁力の大きさを調整するためには、付加する
電流の大きさと、コイル（銅線）５０の巻き数及び可動
質量４４の中立時の電磁石４３とのギャップ（以下中立
時ギャップと記す）が不変の条件では、電磁石磁路断面
４８の面積の大きさを変えていた。

【０００５】図１８は図１５乃至図１７に示す従来の加
振装置の制御ブロック図であり、ギャップセンサ４６
は、ＧＳ１，ＧＳ２，ＧＳ３，ＧＳ４の４ケ所に取付け
られ、これらの検出信号４７は５４で加算され、５５で
平均化されて平均値５３がコントローラ４５に入力す
る。コントローラ４５は電磁石４３を励磁する入力電流
５１を出力し、適正な加振となるように電磁石４３を励
磁し、可動質量４４を加振する。

【０００６】このように従来は、加振装置停止時に可動
質量４４を、図１７に示すように上下に配置された支持
バネ５２により往復運動の中立位置にセットするときの
み４個のギャップセンサ４６を各々モニタしており、加
振装置稼働時の可動質量４４の往復運動のモニタには、
４個のギャップセンサ４６の信号の平均値５３をコント
ローラ４５に入力して、上下の電磁石４３に流す電流５
１を調整していた。従って、片側に付いている電磁石４
３は１個だけであり、１対の電磁石４３のみで可動質量
４４を加振していた。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】従来の加振装置では、
前述のように付加電流の大きさ、コイル巻き数、中立時
ギャップが不変の条件では、電磁石４３の蒸路断面積４
８を変えることで、発生できる最大電磁石の大きさを調
整していた。この方法の場合、断面積４８を大きくすれ
ば最大電磁石の値も大きくなるが、電磁石４３のインダ
クタンスＬも増加するため、最大電磁力を発生できる周
波数範囲が狭くなる。即ち、高周波側のカットオフ周波
数ｆｃが断面積が大きくなるに従って低くなるため、全
体としての周波数特性が低下する。（図２１参照）。

【０００８】これらを数式で示すと、次の（１）式のよ
うになり、カットオフ周波数ｆｃはＳを大きくすれば低
くなる。

【０００９】

【数１】

【００１０】又、従来のギャップセンサ４６でのギャッ
プ検出方法では、加振装置稼働時に可動質量４４の動き
をモニタするのに全てのギャップセンサ４６の信号の平
均値５３を用いて、１対の電磁石４３のみで制御してい
たため、図１９に示すように可動質量４４が傾斜した場
合に電磁石４３と平行に修正することができない。その
ために、可動質量４４と電磁石４３のギャップが狭い所
が生じ、可動質量４４が往復運動する時に十分な振幅を
とることができず、出力できる加振力が低下する。

【００１１】図２０はこの状態を示すグラフで、可動質
量４４の平行状態からの傾き角と、出力できる最大加振
力との関係を示しており、傾き角が大きくなると、最大
加振力の出力できる値が小さくなることを示している。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明はこのような課題
を解決するために、ケーシング内に電磁石支持板を固定
し、この支持板に電磁石を上下対称に取付け、あるいは
ケーシング内に電磁石を上下対称に直接取付けて、コン
トローラで電磁石へ流れる電流を制御して弾性支持した
可動質量を加振する慣性型電磁加振装置において、電磁
石を複数に分割する構成を提供し、更に、複数のギャッ
プセンサの信号をコントローラに入力し、電磁石へ流す
電流を調整して可動質量と電磁石の平行度を保つような
構成も提供する。

【００１３】即ち、本発明は、（１）箱状のケーシン
グ、同ケーシング内で両端を固定した電磁石支持板、同
電磁石支持板の上下両面に対称に取付けられた電磁石、
同電磁石に所定の間隙を保って囲み、断面が口型で磁性
材料からなり、前記ケーシング内に弾性支持された可動
質量及び同可動質量を所定の振幅で上下に往復運動させ
ることにより慣性力を得るために前記上下の電磁石に交
互に電流を流して電磁力を発生させるコントローラを備
えた慣性型電磁加振装置において、前記上下の電磁石を
複数に分割し、前記電磁石支持板の上下両面に対称に配
置したことを特徴とする慣性型電磁加振装置を提供す
る。

【００１４】（２）又、箱状のケーシング、同ケーシン
グ内で上下両面に対称に取付けられた電磁石、同上下の
電磁石の間に所定の間隙を保って配置された磁性材料か
らなり、前記ケーシング内に弾性支持された可動質量及
び同可動質量を所定の振幅で上下に往復運動させること
により慣性力を得るために前記上下の電磁石に交互に電
流を流して電磁力を発生させるコントローラを備えた慣
性型電磁加振装置において、前記上下の電磁石を複数に
分割し、前記ケーシング内の上下両面に対称に配置した
ことを特徴とする慣性型電磁加振装置を提供する。

【００１５】（３）更に、上記の（１）又は（２）にお
いて、前記ケーシングの上面には複数のギャップセンサ
を配置し、前記コントローラは同ギャップセンサからの
各信号を入力し、各ギャップセンサの位置での前記可動
質量上面までの距離の差異をもとに、前記各電磁石に流
す電流の大きさを調整して、前記可動質量と前記各電磁
石端面が平行度を保つように制御することを特徴とする
慣性型電磁加振装置も提供する。

【００１６】本発明はこのような構成により、その
（１）においては、電磁石を複数に分割しており、分割
すると各電磁石の磁路断面積（Ｓ）が小さくなる。電磁
石のインダクタンス（Ｌ）はこの磁路断面積（Ｓ）に比
例するのでインダクタンス（Ｌ）を小さく抑えることが
できる。最大電磁力のカットオフ周波数は、このインダ
クタンス（Ｌ）に反比例し、従って、磁路断面積に反比
例することになり、そのため電磁石を分割するとカット
オフ周波数が高くなり、周波数が高周波域まで広がり、
周波数特性が向上する。

【００１７】このように、より大きな電磁力を得るため
には、分割した後の電磁石１個を１ユニットとし、その
数を増やしていくことで対応できる。この方法であれ
ば、カットオフ周波数が変わることなく、すなわち周波
数特性を落とすことなく最大電磁力を大きくすることが
できる。

【００１８】（２）においては、電磁石支持板を用いず
に電磁石が直接ケーシングに分割して取付けられている
ので、上記の（１）と同様の作用、効果を奏すると共に
電磁石取付板のケーシングへの取付が不要であり、構造
も簡素化できる。

【００１９】更に、（３）においては、（１）又は
（２）の慣性型電磁加振装置において、加振装置稼動時
に可動質量の動きをモニタする際、複数のギャップセン
サ信号を各々別個にコントローラに入力して、その各信
号の差異に基づいて各複数の電磁石に流す電流の大きさ
を調整して電磁吸引力を制御し、可動質量と電磁石の平
行度を保つようにするので、上記（１）又は（２）と同
様の作用、効果を奏すると共に、加えて、可動質量の往
復運動の振幅を十分に確保することができ、出力できる
加振力の設計値からの低下を防ぐことができる。

【００２０】

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面に基づいて具体的に説明する。図１は本発明の実
施の第１形態に係る慣性型電磁加振装置の全体の斜視
図、図２はその電磁石の構造を示す斜視図である。又、
図３は図１における矢視Ａ−Ａの平面図、図４は図３に
おけるＢ−Ｂ矢視図であり、又、図３は図４のＢＢ−Ｂ
Ｂ矢視図に相当する。

【００２１】これらの図において、１はケーシング、２
は電磁石支持板であり、電磁石３を各々４個上下対称に
支持し、後述するようにケーシング１に固定される。電
磁石３は図２に示すようにＥ型コア９にコイル（銅線）
１０が巻かれており、磁路断面８を形成する構造であ
る。４は可動質量で、電磁石３を囲むように磁性材料か
らなる口型断面をしており、支持コイルばね１２でケー
シング１に支持されている。６はギャップセンサであ
り、後述するように４ケ所に設けられ、可動質量４と電
磁石３との間のギャップを検出する。

【００２２】図５は図１に示す第１形態においてケーシ
ング１の上下蓋を外し、電磁石支持板２のみを図示した
平面図、図６は図５におけるＣ−Ｃ断面図である。これ
らの図において、ケーシング１には取付部１４が溶接さ
れ、この取付部１４に電磁石支持板２がボルト１３で固
定されている。

【００２３】図７はケーシング１の外側を示す斜視図、
図８はケーシング内部の配線を示す電磁石の平面図であ
り、両図に示すように、ケーシング１にはコネクタ１５
−１、１５−２が設けられ、外部のコントローラに接続
される。コネクタ１５−１、１５−２からの給電ケーブ
ル１６はケーシング１内の電磁石３にそれぞれ配線され
ている。

【００２４】このように電磁石支持板２の両側に各々同
数（４個）の電磁石３が配置されており、その周囲を囲
むように磁性材料からなる口型断面の可動質量４がセッ
トされ、それを箱状のケーシング１が覆っている構造で
あり、このような構造において、上下両側の電磁石３の
コイル１０に交互に電流を流して、両側交互に電磁力を
発生させ可動質量４を往復運動させることにより、可動
質量４の往復運動方向に慣性力が発生する。

【００２５】その慣性力は電磁石支持板２、電磁石支持
板２が固定されたケーシング１を介して、ケーシング１
が取り付けられた被加振物体へと伝わる。

【００２６】図９は図１に示す第１形態の電磁石分割型
の慣性型電磁加振装置で電磁石の数を増やしていったと
きに、出力できる最大加振力の大きさの変化を示した図
である。この図において、電磁石支持板２片側の電磁石
を１個、２個、４個と増加するにつれて加振力が大きく
なってゆき、加振力が大きくなってもカットオフ周波数
ｆｃは一定であり、その周波数特性は変化しないことを
示している。

【００２７】図１０は本発明の実施の第１形態に係る慣
性型電磁加振装置の制御ブロック図である。図において
ギャップセンサ６は４個が配置され、それぞれ４個の電
磁石３に対応して電磁石３と可動質量４との間のギャッ
プを検出する。それらのモニタ信号７はコントローラ５
に入力し、コントローラ５がこれらのモニタ信号７に基
づいて演算し、適正な各電磁石３への入力電流１１を出
力する。

【００２８】このように、第１形態の加振装置は、電磁
石支持板２の上下両側に各々４個の電磁石３が付いてお
り、上下の電磁石３に交互に電流を流して電磁力を発生
させて、磁性材からなる可動質量４を上下（図では紙面
と垂直方向）に往復運動させて加振力を得る。

【００２９】４個の各電磁石３（図１０中ではＭＥと表
記）には、それぞれ同じ番号のギャップセンサ６（図中
ではＧＳと表記）が対応している。各ギャップセンサの
信号７は別個にコントローラ５でモニタされ、４個の各
電磁石３と可動質量４の間のギャップが把握される。

【００３０】コントローラ５内では各電磁石３と可動質
量４の間のギャップの差異をもとに、可動質量４と電磁
石３を平行に保つために、各電磁石３に流す電流の大き
さの最適値を後述のように計算し、各電磁石３にそれぞ
れ求めた値の電流１１を付加する。可動質量４は以上の
様な制御により電磁石３と平行に保たれる。

【００３１】次に、ギャップセンサ３のモニタ信号を入
力し、電磁石３に与える最適な電磁吸引力を演算するコ
ントローラ５での演算内容について具体的に説明する。
電磁石３の出力する電磁吸引力Ｆ〔Ｎ〕は次の（２）式
で表される。

【００３２】

【数２】

【００３３】従って、所望の電磁吸引力Ｆ₀を出力する
ために要する電流は次の（３）式で表わされる。

【００３４】

【数３】

【００３５】図１０に示すように、各々のギャップセン
サ（ＧＳ）は同じ番号の電磁石（ＥＭ）に対応してい
る。今、ギャップセンサ６で計測しているのは、ギャッ
プセンサ６と可動質量４とのギャップであるため、各々
のギャップセンサで検出したその値から、同じ番号の電
磁石と可動質量４との間のギャップを換算する。

【００３６】可動質量と電磁石ＥＭ１とのギャップをδ
₁、ＥＭ２とのギャップをδ₂、ＥＭ３とのギャップを
δ₃、ＥＭ４とのギャップをδ₄とすると、所望の電磁
吸引力を出力するのに各々の電磁石が要する電流は次の
（４）式となる。

【００３７】

【数４】

【００３８】しかし、この電流値では各々の電磁石３が
同じ吸引力を出力するので、可動質量４の姿勢を修正す
るために以下の様にギャップで各々の電磁石３に重みを
つける。一例として各ギャップが、δ₁＞δ₂＞δ₄＞
δ₃、のように計測された場合について説明する。

【００３９】各ギャップの平均値をδ_Mとすると、δ_M
＝（δ₁＋δ₂＋δ₃＋δ₄）／４となり、この結果に
基づいて各電流値を次の（５）式のように補正する。

【００４０】

【数５】

【００４１】この（５）式の補正を行うことにより、各
電磁石３の電磁吸引力が、Ｆ_EM1＞Ｆ_EM2＞Ｆ_EM4＞Ｆ
_EM3、の順に補正され、可動質量４の姿勢が修正され
る。

【００４２】このように、コントローラ５はギャップセ
ンサＧＳ１〜ＧＳ４のモニタ信号７を入力し、前述の
（５）式の演算結果に基づいて各電磁石３への入力電流
１１を出力して可動質量４の傾きを修正し、電磁加振力
を与える。

【００４３】図１１は本発明の実施の第２形態に係る慣
性型電磁加振装置のケーシング内部の平面図、図１２は
図１１におけるＤ−Ｄ矢視図であり、又、図１１は図１
２におけるＤＤ−ＤＤ矢視図に相当する。両図におい
て、２１はケーシング、２２は４角形状をした電磁石支
持板、２３は電磁石支持板２２の４面に２個づつ取付け
た電磁石、２４は可動質量、２８は磁路断面、２９は支
持コイルばねであり、これらの機能は図１乃至図４に示
す実施の第１形態と同じ機能を有するものである。その
他の、コネクタ、配線、ギャップセンサ、コントローラ
の機能、等は、配置、数等で多少の変化はあるものの、
第１形態と同様の構成、作用、効果を奏するので説明は
省略する。

【００４４】この実施の第２形態は、電磁石２３を２個
ずつ４角形状をした電磁石支持板２２の各直交する４面
に取付けてあるので、可動質量２４を２軸方向に加振で
きる構造の電磁石分割型の慣性型電磁加振装置である。
詳しい説明は省略するが、同じ要領で、電磁石が対抗す
る軸を増やすことにより、３軸方向加振タイプも可能で
ある。

【００４５】図１３は本発明の実施の第３形態に係る慣
性型電磁加振装置のケーシング内部の平面図、図１４は
図１３におけるＥ−Ｅ矢視図であり、又図１３は図１４
のＥＥ−ＥＥ矢視図に相当する。両図において、３１は
ケーシング、３３はケーシングの上下に取付けられた電
磁石、３４は上下の電磁石３３の間に配置された可動質
量、３８は磁路断面、３９は可動質量３４の支持コイル
ばねであり、これらの機能は形状、数量が多少異るが第
１形態と同様のものである。又、当然、コネクタ、配
線、ギャップセンサ、コントローラの機能、等も配置、
数量等が多少の変化はあるものの、第１形態と同様の構
成、作用、機能を奏するので説明は省略する。

【００４６】この実施の第３形態は、電磁石支持板を省
略し、ケーシング３１内部の両側にそれぞれ４個の電磁
石３３を対抗して取り付け、その間にＨ型断面の可動質
量３４をセットした型の慣性型電磁加振装置であり、こ
のような構成にしても、実施の第１形態と同様の作用、
効果を奏するものである。

【００４７】以上、説明の実施の第１乃至第３形態は、
電磁石を図３、４又は図１３、１４に示すように上下に
同数に分割して、両側対称に配置する。又、図１１、１
２に示すように直角な４面に対称に配置する。分割した
場合の全電磁石の磁路断面積の総和は、分割する前の電
磁石の磁路断面積に等しくし、また分割する前と後では
各々１個の電磁石につき付加する電流の大きさ、コイル
巻き数及び中立時ギャップは不変とすれば、個々の電磁
石の磁路断面積が小さくなるのでインダクタンスＬを小
さく抑えることができ、最大電磁力のカットオフ周波数
ｆｃが高くなるため、周波数特性が向上する。

【００４８】このように、より大きな電磁力を得るため
には、分割した後の電磁石１個を１ユニットとし、その
数を増やしていくことで対応できる。この方法によれ
ば、カットオフ周波数ｆｃが変わることなく、すなわち
周波数特性を落とすことなく最大電磁力を大きくするこ
とができる。

【００４９】又、加振装置稼動時に可動質量の動きをモ
ニタする際、図１０に示すように複数のギャップセンサ
ＧＳ１〜ＧＳ４の信号を各々別個にコントローラ５に入
力して、その各信号の差異をもとに複数個配置された各
電磁石３に流す電流の大きさを調整して電磁吸引力を制
御し、可動質量４と電磁石３の平行度を保つことによ
り、可動質量４の往復運動の振幅を十分に確保すること
ができ、図２０にも示すように傾き角を少くして出力で
きる加振力の設計値からの低下を防ぐことができる。

【００５０】なお、上記した説明の本発明の慣性型電磁
加振装置は振動試験設備の振動発生部のみならず、振動
を発する機械から伝わる振動を低減する能動振動制御の
アクチュエータとしても適用できる。

【００５１】

【発明の効果】以上、具体的に説明したように、本発明
は、ケーシング内に電磁石支持板を固定し、この支持板
に電磁石を上下対称に取付け、あるいはケーシング内に
電磁石を上下対称に直接取付けて、コントローラで電磁
石へ流れる電流を制御して弾性支持した可動質量を加振
する慣性型電磁加振装置において、電磁石を複数に分割
する構成を提供し、更に、複数のギャップセンサの信号
をコントローラに入力し、電磁石へ流す電流を調整して
可動質量と電磁石の平行度を保つような構成も提供する
ので次のような効果を奏する。

【００５２】（１）電磁石の個数を増やすことで、加振
力の周波数特性を低下させることなく、最大加振力の大
きさを増すことができる。

【００５３】（２）電磁石をケーシング内に直接取付け
るようにすれば、電磁石支持板が不要となり、構造を簡
素化して、同様に周波数特性を低下することなく、加振
力を増すことができる。

【００５４】（３）電磁石と可動質量との平行度を保つ
ことで、可動質量の往復運動の振幅を十分に確保するこ
とができ、出力できる加振力の設計値からの低下を防ぐ
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の第１形態に係る慣性型電磁加振
装置の斜視図である。

【図２】図１における電磁石の詳細な斜視図である。

【図３】図１におけるＡ−Ａ矢視図である。

【図４】図３におけるＢ−Ｂ矢視図である。

【図５】本発明の実施の第１形態に係る慣性型電磁加振
装置の電磁石支持板の平面図である。

【図６】図５におけるＣ−Ｃ断面図である。

【図７】本発明の実施の第１形態に係る慣性型電磁加振
装置のケーシングの斜視図である。

【図８】本発明の実施の第１形態に係る慣性型電磁加振
装置の電磁石への配線要領を示す平面図である。

【図９】本発明の慣性型電磁石加振装置における電磁石
の増加と最大加振力の周波数特性との関係を示す図であ
る。

【図１０】本発明の実施の第１形態に係る制御ブロック
図である。

【図１１】本発明の実施の第２形態に係る慣性型電磁加
振装置の電磁石の配置を示す平面図である。

【図１２】図１１におけるＤ−Ｄ矢視図である。

【図１３】本発明の実施の第３形態に係る慣性型電磁加
振装置の電磁石の配置を示す平面図である。

【図１４】図１３におけるＥ−Ｅ矢視図である。

【図１５】従来の慣性型電磁加振装置の斜視図である。

【図１６】図１５におけるＦ−Ｆ矢視の平面図である。

【図１７】図１６におけるＧ−Ｇ矢視図である。

【図１８】従来の慣性型電磁加振装置の制御ブロック図
である。

【図１９】従来の慣性型電磁加振装置の可動質量が傾い
た場合の側面図である。

【図２０】慣性型電磁加振装置の可動質量の傾き角と最
大加振力との関係を示すグラフである。

【図２１】従来の慣性型電磁加振装置における磁路断面
積の増加と加振力の周波数特性を示す図である。

【符号の説明】

１，２１，３１ケーシング２，２２電磁石支持板３，２３，３３電磁石４，２４，３４可動質量５コントローラ６ギャップセンサ７モニタ信号８，２８，３８電磁石磁路断面９Ｅ型コア１０銅線１１入力電流１２，２９，３９支持コイルばね１３ボルト１４取付部１６給電ケーブル

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】箱状のケーシング、同ケーシング内で両
端を固定した電磁石支持板、同電磁石支持板の上下両面
に対称に取付けられた電磁石、同電磁石に所定の間隙を
保って囲み、断面が口型で磁性材料からなり、前記ケー
シング内に弾性支持された可動質量及び同可動質量を所
定の振幅で上下に往復運動させることにより慣性力を得
るために前記上下の電磁石に交互に電流を流して電磁力
を発生させるコントローラを備えた慣性型電磁加振装置
において、前記上下の電磁石を複数に分割し、前記電磁
石支持板の上下両面に対称に配置したことを特徴とする
慣性型電磁加振装置。
【請求項２】箱状のケーシング、同ケーシング内で上
下両面に対称に取付けられた電磁石、同上下の電磁石の
間に所定の間隙を保って配置された磁性材料からなり、
前記ケーシング内に弾性支持された可動質量及び同可動
質量を所定の振幅で上下に往復運動させることにより慣
性力を得るために前記上下の電磁石に交互に電流を流し
て電磁力を発生させるコントローラを備えた慣性型電磁
加振装置において、前記上下の電磁石を複数に分割し、
前記ケーシング内の上下両面に対称に配置したことを特
徴とする慣性型電磁加振装置。
【請求項３】前記ケーシングの上面には複数のギャッ
プセンサを配置し、前記コントローラは同ギャップセン
サからの各信号を入力し、各ギャップセンサの位置での
前記可動質量上面までの距離の差異をもとに、前記各電
磁石に流す電流の大きさを調整して、前記可動質量と前
記各電磁石端面が平行度を保つように制御することを特
徴とする請求項１又は２記載の慣性型電磁加振装置。