JPH097540A - 質量分析装置 - Google Patents
質量分析装置Info
- Publication number
- JPH097540A JPH097540A JP7180880A JP18088095A JPH097540A JP H097540 A JPH097540 A JP H097540A JP 7180880 A JP7180880 A JP 7180880A JP 18088095 A JP18088095 A JP 18088095A JP H097540 A JPH097540 A JP H097540A
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- Japan
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- pattern
- mass
- electron flow
- specimen
- sample
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- Pending
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 マスパターン補正のためのパラメータを増や
し、より多様なマスパターン補正を可能にする。 【構成】 既知試料のマスパターンをその既知試料の標
準マスパターンに合わせるための調整を行なう際に、イ
オン化部における電子流のトラップ電流、加速電圧又は
トータル電流を変化させる。 【効果】 未知試料の同定がより容易且つ正確となる。
し、より多様なマスパターン補正を可能にする。 【構成】 既知試料のマスパターンをその既知試料の標
準マスパターンに合わせるための調整を行なう際に、イ
オン化部における電子流のトラップ電流、加速電圧又は
トータル電流を変化させる。 【効果】 未知試料の同定がより容易且つ正確となる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、電子流を用いて試料を
イオン化する質量分析装置に関する。
イオン化する質量分析装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】質量分析装置で試料の分析を行なう場
合、まず、イオン化部で試料をイオン化し、これをイオ
ンレンズで集束して質量分析部に送り込む。質量分離部
では所定の質量数（質量／電荷比、ｍ／ｚ）を有するイ
オンのみを通過させ、イオン検出部でそれを検出する。
合、まず、イオン化部で試料をイオン化し、これをイオ
ンレンズで集束して質量分析部に送り込む。質量分離部
では所定の質量数（質量／電荷比、ｍ／ｚ）を有するイ
オンのみを通過させ、イオン検出部でそれを検出する。
【０００３】ここで、電子衝撃法（ＥＩ＝Electron Imp
act）を用いてイオン化する場合、試料分子全体がイオ
ン化される他、試料分子が開裂して娘イオンが生成す
る。この開裂の態様は各試料について独自であるため、
質量分離部において通過イオンの質量数を走査し、イオ
ン検出部において図２に示すようなマスパターンを得る
ことにより、試料の同定を行なうことができる。
act）を用いてイオン化する場合、試料分子全体がイオ
ン化される他、試料分子が開裂して娘イオンが生成す
る。この開裂の態様は各試料について独自であるため、
質量分離部において通過イオンの質量数を走査し、イオ
ン検出部において図２に示すようなマスパターンを得る
ことにより、試料の同定を行なうことができる。
【０００４】しかし、同じ試料であっても、マスパター
ンは質量分析部の種類（四重極型であるか磁場型である
か等）により多少変化する。そこで従来の質量分析装置
では、未知試料の分析を行なう前に既知の試料について
マスパターンを測定し、それが予めライブラリに保持さ
れているその既知試料の標準マスパターンと一致するよ
うに、質量数毎の補正係数を定めていた。補正係数の一
例を図２に示す。その後、この補正係数を未知試料につ
いて測定されるマスパターンに乗じ、ライブラリの各マ
スパターンと比較することにより、未知試料の同定を行
なっていた。
ンは質量分析部の種類（四重極型であるか磁場型である
か等）により多少変化する。そこで従来の質量分析装置
では、未知試料の分析を行なう前に既知の試料について
マスパターンを測定し、それが予めライブラリに保持さ
れているその既知試料の標準マスパターンと一致するよ
うに、質量数毎の補正係数を定めていた。補正係数の一
例を図２に示す。その後、この補正係数を未知試料につ
いて測定されるマスパターンに乗じ、ライブラリの各マ
スパターンと比較することにより、未知試料の同定を行
なっていた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】上記の通り、従来のマ
スパターンの補正はイオン検出器の出力信号に適当な補
正係数を乗ずることによってのみ行なわれており、イオ
ン化部で生成されるマスパターンそのものを補正するも
のではなかった。このため、或る既知試料について補正
係数を導出したとしても、その補正係数では他の既知試
料については実測マスパターンと標準マスパターンが十
分に一致するとは限らず、十分な補正が行なえないとい
う問題があった。
スパターンの補正はイオン検出器の出力信号に適当な補
正係数を乗ずることによってのみ行なわれており、イオ
ン化部で生成されるマスパターンそのものを補正するも
のではなかった。このため、或る既知試料について補正
係数を導出したとしても、その補正係数では他の既知試
料については実測マスパターンと標準マスパターンが十
分に一致するとは限らず、十分な補正が行なえないとい
う問題があった。
【０００６】本発明はこのような課題を解決するために
成されたものであり、その目的とするところは、マスパ
ターン補正のためのパラメータを増やし、より多様なマ
スパターン補正を可能にすることにより、未知試料の同
定を正確に行ない得るようにした質量分析装置を提供す
ることにある。
成されたものであり、その目的とするところは、マスパ
ターン補正のためのパラメータを増やし、より多様なマ
スパターン補正を可能にすることにより、未知試料の同
定を正確に行ない得るようにした質量分析装置を提供す
ることにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】上記課題を解決するため
に成された本発明は、電子流を用いて試料をイオン化す
るイオン化部を備えた質量分析装置において、既知試料
のマスパターンをその既知試料の標準マスパターンに合
わせるための調整を行なう際に、イオン化部における電
子流を調整することを特徴とするものである。
に成された本発明は、電子流を用いて試料をイオン化す
るイオン化部を備えた質量分析装置において、既知試料
のマスパターンをその既知試料の標準マスパターンに合
わせるための調整を行なう際に、イオン化部における電
子流を調整することを特徴とするものである。
【０００８】
【作用及び効果】ここで言う電子流の調整には、電子流
のトータル電流やトラップ電流、或いは電子流の加速電
圧を含む。これらパラメータのうちのいずれか１つ又は
それらを組み合わせて変化させることにより、試料分子
の開裂の態様が変化し、マスパターン自体を変化させる
ことができる。このため、より多くの既知試料について
実測マスパターンを標準パターンにより近づけることが
できるようになる。これにより、未知試料の同定がより
容易且つ確実に行なえるようになる。
のトータル電流やトラップ電流、或いは電子流の加速電
圧を含む。これらパラメータのうちのいずれか１つ又は
それらを組み合わせて変化させることにより、試料分子
の開裂の態様が変化し、マスパターン自体を変化させる
ことができる。このため、より多くの既知試料について
実測マスパターンを標準パターンにより近づけることが
できるようになる。これにより、未知試料の同定がより
容易且つ確実に行なえるようになる。
【０００９】
【実施例】本発明の一実施例であるＥＩイオン化部１１
を備えた質量分析装置１０を図１により説明する。本質
量分析装置１０の動作の概略は次の通りである。試料導
入口２１から試料ガスをイオン化部１１に導入すると、
試料ガスの一部は電子流により開裂してイオンとなり、
一部は分子のままイオン化される。これら複数種のイオ
ンが混合したガスは、引き出し電極１２によりイオン化
部１１から引き出され、イオンレンズ１３により四重極
１４に送り込まれる。四重極１４では、構成電極に印加
する高周波電圧及び直流電圧の重畳電圧（ＲＦ／ＤＣ）
を所定の関係で変化させることにより、通過させるイオ
ンの質量数（ｍ／ｚ）を走査する。四重極１４を通過す
るイオンの数（強度）をイオン検出器１５で検出し、質
量数に対してプロットすることにより、図２に示される
ようなマスパターン（マススペクトル）が得られる。こ
のマスパターンをライブラリ（データベース）に格納さ
れている各種化合物の標準マスパターンと照合すること
により、試料を同定することができる。
を備えた質量分析装置１０を図１により説明する。本質
量分析装置１０の動作の概略は次の通りである。試料導
入口２１から試料ガスをイオン化部１１に導入すると、
試料ガスの一部は電子流により開裂してイオンとなり、
一部は分子のままイオン化される。これら複数種のイオ
ンが混合したガスは、引き出し電極１２によりイオン化
部１１から引き出され、イオンレンズ１３により四重極
１４に送り込まれる。四重極１４では、構成電極に印加
する高周波電圧及び直流電圧の重畳電圧（ＲＦ／ＤＣ）
を所定の関係で変化させることにより、通過させるイオ
ンの質量数（ｍ／ｚ）を走査する。四重極１４を通過す
るイオンの数（強度）をイオン検出器１５で検出し、質
量数に対してプロットすることにより、図２に示される
ようなマスパターン（マススペクトル）が得られる。こ
のマスパターンをライブラリ（データベース）に格納さ
れている各種化合物の標準マスパターンと照合すること
により、試料を同定することができる。
【００１０】本質量分析装置１０を構成する上記各部
は、それぞれの駆動回路により駆動される。例えばイオ
ン化部１１においては、電子源であるフィラメント２２
の加熱電流Ｉh、電子流のトラップ電流Ｉtr（トラップ
電極２３を流れる電流）、トータル電流ＩT（トラップ
電極２３及びイオン化部１１の筐体を流れる電流の合
計）及び加速電圧Ｖaはイオン化部駆動回路１６により
制御される。引き出し電極１２及びイオンレンズ１３の
各電極板に印加される電圧は、レンズ駆動回路１７から
与えられる。質量数走査のための四重極１４のＲＦ／Ｄ
Ｃ電圧の変化は、四重極駆動回路１８により制御され
る。そして、イオン検出器１５の駆動及びイオン検出信
号の増幅等の処理は検出器駆動回路１９により行なわれ
る。そして、これらの駆動回路１６〜１９は全て制御回
路２０に接続され、それにより制御され又はそれに信号
を送る。
は、それぞれの駆動回路により駆動される。例えばイオ
ン化部１１においては、電子源であるフィラメント２２
の加熱電流Ｉh、電子流のトラップ電流Ｉtr（トラップ
電極２３を流れる電流）、トータル電流ＩT（トラップ
電極２３及びイオン化部１１の筐体を流れる電流の合
計）及び加速電圧Ｖaはイオン化部駆動回路１６により
制御される。引き出し電極１２及びイオンレンズ１３の
各電極板に印加される電圧は、レンズ駆動回路１７から
与えられる。質量数走査のための四重極１４のＲＦ／Ｄ
Ｃ電圧の変化は、四重極駆動回路１８により制御され
る。そして、イオン検出器１５の駆動及びイオン検出信
号の増幅等の処理は検出器駆動回路１９により行なわれ
る。そして、これらの駆動回路１６〜１９は全て制御回
路２０に接続され、それにより制御され又はそれに信号
を送る。
【００１１】化合物のマスパターンは質量分析装置の各
種設定によっても変化するため、ライブラリの標準マス
パターンと正しく照合することのできるマスパターンを
得るためには、既知試料を用いて予めこれら設定の調整
を行なっておく必要がある。従来の質量分析装置では、
このための設定としてはイオンレンズ１３の調整のみが
行なわれ、イオンレンズ１３の調整が終了した後は、イ
オン検出器１５の出力信号に所定の補正係数（図２）を
乗ずるという信号処理が行なわれるのみであった。
種設定によっても変化するため、ライブラリの標準マス
パターンと正しく照合することのできるマスパターンを
得るためには、既知試料を用いて予めこれら設定の調整
を行なっておく必要がある。従来の質量分析装置では、
このための設定としてはイオンレンズ１３の調整のみが
行なわれ、イオンレンズ１３の調整が終了した後は、イ
オン検出器１５の出力信号に所定の補正係数（図２）を
乗ずるという信号処理が行なわれるのみであった。
【００１２】本発明に係る質量分析装置１０ではこれら
に加え、イオン化部１１における電子流をも調整する。
その手順を図３により説明する。なお、以下の調整は、
制御回路２０に予め格納されたプログラムにより自動的
に実行される。まず、電子流及びイオンレンズ１３を初
期設定する（ステップＳ１）。具体的には、イオン化部
１１のトラップ電流Ｉtr及び加速電圧Ｖaを初期値に設
定し、イオンレンズ１３の各電極板の印加電圧を初期値
に設定する。トラップ電流Ｉtrの代わりにトータル電流
ＩTで設定してもよい。次に、試料導入口２１から既知
試料を導入し、イオン検出器１５の出力よりマスパター
ンを作成する（ステップＳ２）。そして、この実測マス
パターンをその既知試料の標準マスパターンと比較し
（ステップＳ４）、その差が第１の許容範囲内に収まっ
ているか否かを判定する（ステップＳ５）。両者の差が
許容範囲を外れている場合はステップＳ３に戻り、差が
第１許容範囲内に入るまでイオンレンズ１３の調整を繰
り返す。なお、イオンレンズ１３の調整を何度か繰り返
しても差が第１許容範囲内に入らない場合は、ステップ
Ｓ５からＳ３に戻ることなく、ステップＳ６の電子流調
整に進むようにしてもよい。
に加え、イオン化部１１における電子流をも調整する。
その手順を図３により説明する。なお、以下の調整は、
制御回路２０に予め格納されたプログラムにより自動的
に実行される。まず、電子流及びイオンレンズ１３を初
期設定する（ステップＳ１）。具体的には、イオン化部
１１のトラップ電流Ｉtr及び加速電圧Ｖaを初期値に設
定し、イオンレンズ１３の各電極板の印加電圧を初期値
に設定する。トラップ電流Ｉtrの代わりにトータル電流
ＩTで設定してもよい。次に、試料導入口２１から既知
試料を導入し、イオン検出器１５の出力よりマスパター
ンを作成する（ステップＳ２）。そして、この実測マス
パターンをその既知試料の標準マスパターンと比較し
（ステップＳ４）、その差が第１の許容範囲内に収まっ
ているか否かを判定する（ステップＳ５）。両者の差が
許容範囲を外れている場合はステップＳ３に戻り、差が
第１許容範囲内に入るまでイオンレンズ１３の調整を繰
り返す。なお、イオンレンズ１３の調整を何度か繰り返
しても差が第１許容範囲内に入らない場合は、ステップ
Ｓ５からＳ３に戻ることなく、ステップＳ６の電子流調
整に進むようにしてもよい。
【００１３】イオンレンズ１３の調整により差が第１許
容範囲内に入った後、或いは、所定回数のイオンレンズ
１３の調整によっても差が第１許容範囲内に入らない場
合は、ステップＳ６に進んでイオン化部１１の電子流の
調整を行なう。上記の通り、電子流の調整とはトラップ
電流Ｉtr、加速電圧Ｖa又はトータル電流ＩTを変化させ
ることであり、これによりイオンの開裂の態様を変化さ
せ、マスパターンを変化させる。トラップ電流Ｉtr、加
速電圧Ｖa又はトータル電流ＩTを増加させると、試料分
子はより開裂されやすくなるため、マスパターンの低質
量側の強度を増加させることができる。
容範囲内に入った後、或いは、所定回数のイオンレンズ
１３の調整によっても差が第１許容範囲内に入らない場
合は、ステップＳ６に進んでイオン化部１１の電子流の
調整を行なう。上記の通り、電子流の調整とはトラップ
電流Ｉtr、加速電圧Ｖa又はトータル電流ＩTを変化させ
ることであり、これによりイオンの開裂の態様を変化さ
せ、マスパターンを変化させる。トラップ電流Ｉtr、加
速電圧Ｖa又はトータル電流ＩTを増加させると、試料分
子はより開裂されやすくなるため、マスパターンの低質
量側の強度を増加させることができる。
【００１４】電子流の調整によりマスパターンを変化さ
せた後、それを標準マスパターンと比較して、上記第１
許容範囲よりも狭い第２許容範囲内に入っているか否か
を判定する（ステップＳ７、Ｓ８）。未だ第２許容範囲
内に入っていない場合はステップＳ６に戻り、電子流を
再調整する。差が第２許容範囲内に入った時点で本処理
を終える。なお、所定回数の電子流の調整を繰り返して
も差が第２許容範囲内に入らない場合は、イオンレンズ
の設定を変化させた後、再び電子流の調整を行なうよう
にしてもよい。或いは、これらの処理を打ち切り、最後
に従来と同様に補正係数による補正を行なうようにして
もよい。
せた後、それを標準マスパターンと比較して、上記第１
許容範囲よりも狭い第２許容範囲内に入っているか否か
を判定する（ステップＳ７、Ｓ８）。未だ第２許容範囲
内に入っていない場合はステップＳ６に戻り、電子流を
再調整する。差が第２許容範囲内に入った時点で本処理
を終える。なお、所定回数の電子流の調整を繰り返して
も差が第２許容範囲内に入らない場合は、イオンレンズ
の設定を変化させた後、再び電子流の調整を行なうよう
にしてもよい。或いは、これらの処理を打ち切り、最後
に従来と同様に補正係数による補正を行なうようにして
もよい。
【００１５】なお、上記実施例ではイオンレンズの調整
を先にしたが、電子流の調整を先に行なってもよい。ま
た、両調整を交互に何度か繰り返して、より正確なマス
パターンの一致を追求するようにしてもよい。
を先にしたが、電子流の調整を先に行なってもよい。ま
た、両調整を交互に何度か繰り返して、より正確なマス
パターンの一致を追求するようにしてもよい。
【図１】 本発明の一実施例であるＥＩイオン化部を備
えた質量分析装置の概略構成図。
えた質量分析装置の概略構成図。
【図２】 マスパターンと補正係数の一例を示すグラ
フ。
フ。
【図３】 実施例の質量分析装置で行なう調整処理のフ
ローチャート。
ローチャート。
１０…質量分析装置 １１…イオン化部 １２…引き出し電極 １３…イオンレンズ １４…四重極 １５…イオン検出器 １６、１７、１８、１９…各部駆動回路 ２０…制御回路
Claims (1)
- 【請求項１】 電子流を用いて試料をイオン化するイオ
ン化部を備えた質量分析装置において、 既知試料のマスパターンをその既知試料の標準マスパタ
ーンに合わせるための調整を行なう際に、イオン化部に
おける電子流を調整することを特徴とする質量分析装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7180880A JPH097540A (ja) | 1995-06-22 | 1995-06-22 | 質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7180880A JPH097540A (ja) | 1995-06-22 | 1995-06-22 | 質量分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH097540A true JPH097540A (ja) | 1997-01-10 |
Family
ID=16090958
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7180880A Pending JPH097540A (ja) | 1995-06-22 | 1995-06-22 | 質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH097540A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007511064A (ja) * | 2003-11-12 | 2007-04-26 | サーモ フィッシャー サイエンティフィック インク | カーボンナノチューブ電子イオン化装置 |
-
1995
- 1995-06-22 JP JP7180880A patent/JPH097540A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2007511064A (ja) * | 2003-11-12 | 2007-04-26 | サーモ フィッシャー サイエンティフィック インク | カーボンナノチューブ電子イオン化装置 |
| JP4644679B2 (ja) * | 2003-11-12 | 2011-03-02 | サーモ フィッシャー サイエンティフィック インク | カーボンナノチューブ電子イオン化装置 |
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