JPH0972863A - 簡易型高分解能ｘ線透過自動検査装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 低コストで分解能の優れたプリント基板の撮
像が得られ、かつＸ線源のメインテナンスや交換を容易
ならしめるコンパクトな簡易型高分解能Ｘ線透過自動検
査装置を提供する。 【解決手段】 プリント基板Ｐを取込む搬入口１ｉと、
検査済みのプリント基板Ｐを搬出ラインＬｏに搬出する
搬出口１ｏを有し、上にＸ線源２が設けられたシールド
ボックス１内に、プリント基板Ｐを搬入口１ｉ側から搬
出口１ｏ側に位相する機能を有する昇降台５をプリント
基板Ｐの受取位置と、その下方の撮像面６の位置との間
で昇降させる構成とすれば、径が５０μｍ以上のフォー
カスサイズＦを有する比較的低コストのＸ線源２でも分
解能の優れた撮像が得られ、またシールドボックス１の
高さが低くなるので、Ｘ線透過自動検査装置をコンパク
トにすることができ、かつＸ線源２のメインテナンスや
交換が容易になる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、Ｘ線透過自動検査
装置の改善に係り、より詳しくは、フォーカスサイズの
径が５０μｍ以上の通常サイズからサブミリサイズのＸ
線源を活用することにより、低コストで撮像の分解能が
優れると共に、コンパクトでメインテナンスを容易なら
しめるようにした簡易型高分解能Ｘ線透過自動検査装置
の技術分野に属するものである。

【０００２】

【従来の技術】周知のように、プリント基板のベアボー
ドや部品実装後の製品は、マイクロ化が進んでいる。従
って、目視や光学的手法では検査できないプリント基板
のベアボードや部品実装製品の部位（隠れた部位等）で
は、Ｘ線透過像によって検査している。このようなＸ線
透過像を用いる検査では、上記のとおり、被検査物のマ
イクロ化が進んでいる関係上、撮像の高分解能が要求さ
れる。ところで、分解能を問題にしない被検査物の一般
的な画像の撮り方は、図７（ａ）に示すように、フォー
カスサイズＦの径が５０〜１０００μｍのＸ線源５１
と、撮像面５２との間に被検査物５３を配設し、撮像面
５２に被検査物５３の画像を投影している。しかしなが
ら、このような方法では、前記フォーカスサイズＦのＸ
線源５１と被検査物５３、撮像面５２の配置から幾何学
ボケを生じてしまうので画像に所定の分解能が得られな
い。

【０００３】そこで、被検査物の画像の幾何学ボケの発
生を防止するために、図７（ｂ）に示すように、Ｘ線源
６１のフォーカスサイズＦの径を１０〜２０μｍに絞る
ことにより撮像面６２への被検査物６３の撮像の分解能
を向上させている。その他には、図７（ｃ）に示すよう
に、撮像面７２の接近した位置に被検査物７３を配設す
ると共に、この被検査物７３から離れた上方位置にフォ
ーカスサイズＦの径が５０〜１０００μｍのＸ線源７１
を位置させて幾何学ボケの発生を防止するようにしたも
のもある。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上記従来例に係るＸ線
源を用いて被検査物の隠れた部位を検査するＸ線透過検
査装置は極めて有用である。ところで、Ｘ線透過検査装
置のＸ線源は径が３００μｍ程度のフォーカスサイズを
境として、Ｘ線源の製作精度が変わり、そのコストも大
きく変わる。例えば、フォーカスサイズの径が３００μ
ｍ以下になると、Ｘ線源のコストはフォーカスサイズの
径が３００μｍを超えるものに比較して構造が極めて精
密になるため、３００〜５０μｍで数倍、５０μｍ未満
のフォーカスサイズでは約１桁アップし、Ｘ線透過検査
装置全体が高コストになるという経済上の解決すべき課
題がある。

【０００５】また、撮像面に接近した位置に被検査物を
配設し、この被検査物から離れた上方位置に、径が５０
〜１０００μｍのフォーカスサイズのＸ線源を配設する
図７（ｃ）に示すＸ線透過検査装置では、被検査物７３
の高分解能像を撮像面７２に完全に投影できないという
欠点がある。また、図７（ｃ）に示すＸ線透過検査装置
では、例えば被検査物７３がプリント基板の場合には、
その搬出入レベルは、グランドレベルよりも９００ｍｍ
程度上方位置にあるのが一般的であるため、Ｘ線透過検
査装置の高さが２ｍを越えるというように極めて大型と
なり、ライン管理者がプリント基板製造ラインの全体を
見渡すことができず、Ｘ線透過検査装置の管理がしにく
いだけでなく、Ｘ線源の交換作業も危険で安全上好まし
くないという操業上の解決すべき課題がある。

【０００６】さらに、Ｘ線源のフォーカスサイズはター
ゲット材の熱膨張による変形等により、使用時間に伴っ
て経時的にフォーカスサイズが拡大するので、高分解能
を確保するフォーカスサイズ管理のために、頻繁にター
ゲット材またはＸ線管球を交換しなければならない。ま
た、一般的なターゲット材の冷却方法である油冷却法に
よるＸ線源の場合、絶縁性確保のために交換油内への空
気混入防止が必要で、冷却油を入れる前に１週間程度の
真空引きを要するので、Ｘ線透過検査装置のメインテナ
ンスコストが嵩み、かつメインテナンス時間を要すると
いう経済効率面の解決すべき課題も生じる。

【０００７】従って、本発明の目的とするところは、サ
ブミリフォーカスサイズのＸ線源の活用を可能ならしめ
ることにより、低コストで分解能が優れると共に、コン
パクトであって、しかもメインテナンスの容易な簡易型
高分解能Ｘ線透過自動検査装置を提供するにある。

【０００８】

【課題を解決するための手段】本発明は、上記実情に鑑
みてなされたものであって、従って上記課題を解決する
ために、本発明の請求項１に係る簡易型高分解能Ｘ線透
過自動検査装置が採用した主たる手段は、フロア面より
数十センチ以上上方の高さレベルで被検査物が搬送され
るＸ線透過自動検査装置において、フォーカスサイズの
径が５０μｍ以上のＸ線源と、該Ｘ線源が上部に配設さ
れると共に、被検査物の搬入・搬出口よりも下側の内側
位置に被検査物の画像を撮像する撮像面が配設されるシ
ールドボックスと、該シールドボックス内の撮像場所に
て、前記搬入・搬出口の高さレベルと撮像面の高さレベ
ルとの間で昇降し、前記搬入口で受取った被検査物を支
持して前記撮像面の上側の検査レベルまで下降し、かつ
撮像済の被検査物を支持して搬出口の高さレベルまで上
昇する被検査物の水平移送機能を持つ昇降台を設けたこ
とを特徴とする。

【０００９】本発明の請求項２に係る簡易型高分解能Ｘ
線透過自動検査装置が採用した主たる手段は、請求項１
に記載の簡易型高分解能のＸ線透過自動検査装置におい
て、前記シールドボックスの被検査物の搬入口および搬
出口を有しない一方側の内壁に前記昇降台を昇降させる
昇降台駆動装置を付設し、前記内壁の他方側に開閉自在
な扉を設けたことを特徴とする。

【００１０】本発明の請求項３に係る簡易型高分解能Ｘ
線透過自動検査装置が採用した主たる手段は、請求項２
に記載の簡易型高分解能のＸ線透過自動検査装置におい
て、前記昇降台駆動装置が昇降台を上下方向に案内する
リニアガイドレールと、昇降台を昇降させるロッドレス
シリンダとからなることを特徴とする。

【００１１】本発明の請求項４に係る簡易型高分解能Ｘ
線透過自動検査装置が採用した主たる手段は、請求項１
に記載の簡易型高分解能Ｘ線透過自動検査装置におい
て、前記シールドボックスの内側の相反する内壁のそれ
ぞれに沿ってリニアガイドレールを設け、これら一対の
リニアガイドレールにより前記昇降台を昇降可能に案内
すると共に、該昇降台を昇降させる前記昇降台駆動装置
を、該昇降台の相反する端部付近それぞれの上下に連結
され、前記シールドボックスの内側に設けた水平滑車や
垂直滑車に順次掛け回されると共に、前記シールドボッ
クス内に設けたロッドレスシリンダを介して無端状に形
成されてなるワイヤーロープからなる構成にしたことを
特徴とする。

【００１２】本発明の請求項５に係る簡易型高分解能Ｘ
線透過自動検査装置が採用した主たる手段は、請求項４
に記載の簡易型高分解能Ｘ線透過自動検査装置におい
て、前記昇降台の相反する端部付近のそれぞれに、圧縮
ばねと、該圧縮ばねの内側に遊嵌状態で挿通されるロー
プ連結部材と、該ロープ連結部材の両端部に設けられ、
該ロープ連結部材の上下動により前記圧縮ばねの上下端
に当接する当接部材とからなるワイヤロープの伸び吸収
機構を設け、該伸び吸収機構のロープ連結部材を介して
前記ワイヤロープを無端状にしたことを特徴とする。

【００１３】

【発明の実施の形態】本発明に係る簡易型高分解能Ｘ線
透過自動検査装置は、下記のように考えてなしたもので
ある。即ち、フォーカスサイズの径が５０μｍ以上のＸ
線源を用いれば、Ｘ線源は比較的低コストであるからＸ
線透過自動検査装置を安価にすることができ、しかも撮
像面より上方の搬入口で受取った被検査物を昇降台で水
平移動させ、かつ撮像面の上側の検査位置まで下降させ
て被検査物の画像を撮像すれば、例えフォーカスサイズ
の径が５０μｍ以上の比較的低コストのＸ線源であって
も、分解能の優れたほぼ等倍の撮像を得ることができる
ので、Ｘ線透過自動検査装置に高分解能を付与すること
が可能になる。

【００１４】そして、撮像済の被検査物を昇降台で搬送
レベルに上昇させ、かつ水平移動で搬出口まで搬送する
構成とすれば、シールドボックスの高さを従来よりも低
くすることができ、Ｘ線透過自動検査装置の重心が下が
り装置の安定性の向上が可能になるのに加えて、前記シ
ールドボックスの被検査物の搬入口および搬出口を有し
ない一方側の内壁に前記昇降台を昇降させる昇降台駆動
装置を付設すれば、前記内壁の他方側に開閉自在な扉を
設けることができ、昇降台や昇降台駆動装置を容易にメ
インテナンスすることができる。

【００１５】

【実施例】以下、本発明の実施例に係る簡易型高分解能
Ｘ線透過自動検査装置を、その正面断面図の図１（ａ）
と、その側面断面図の図１（ｂ）と、その平面断面図の
図１（ｃ）と、簡易型高分解能のＸ線透過自動検査装置
によるプリント基板の検査状況説明図の図２とを参照し
ながら説明する。

【００１６】図１（ａ），図１（ｂ）および図１（ｃ）
に示す符号１はシールドボックスであり、このシールド
ボックス１の一方側には、図１（ａ）に示すように、搬
入ラインＬｉで搬送されてきた被検査物であるプリント
基板Ｐを搬入するための搬入口１ｉが、他方側には、撮
像済みのプリント基板Ｐを搬出ラインＬｏに搬出するた
めの搬出口１ｏが設けられている。また、このシールド
ボックス１の上部には、通常サイズ、即ち５０μｍ以上
の径のフォーカスサイズＦを有するＸ線発生装置２ａが
内設されてなるＸ線源２が設けられている。さらに、シ
ールドボックス１の１面には、図１（ｃ）に示すよう
に、開閉自在な扉１ｄが設けられている。なお、フォー
カスサイズＦの径を５０μｍ以上としたのは、コストと
ぼけの程度とを勘案して決定したもので、実際には３０
０μｍのフォーカスサイズのものを使用している。

【００１７】このシールドボックス１の内側の前記扉１
ｄの配設位置の相対する壁面には垂直な一対のリニアガ
イドレール３，３が設けられていて、この一対のリニア
ガイドレール３，３の間に垂直に設けられた昇降台駆動
装置であるロッドレスシリンダ４によって後述する構成
になる昇降台５が前記リニアガイドレール３，３に案内
されて昇降作動されるように構成されている。このよう
に、リニアガイドレール３，３を用いることにより、昇
降、停止位置の如何を問わず昇降台５を水平状態でに維
持することができる。

【００１８】前記昇降台５は、前記搬入口１ｉと搬出口
１ｏとの向きの平行な一対のガイドプレート５ａ，５ａ
の相反する側のそれぞれに設けられた駆動モータ５ｍ，
５ｍで駆動される一対ずつの駆動プーリ５ｂ，５ｂと、
従動プーリ５ｃ，５ｃとが設けられており、これら駆動
プーリ５ｂ，５ｂと、従動プーリ５ｃ，５ｃとにはベル
ト５ｄ，５ｄが掛装されている。つまり、これがプリン
ト基板Ｐの水平移送機構であり、搬入口Ｌｉで受取った
プリント基板Ｐを検査位置に移送し、この検査位置にお
いて停止すると共に、撮像による検査終了後に検査済み
のプリント基板Ｐを搬出口Ｌｏ側に移送するものであ
る。さらに、昇降台５の下方位置にはプリント基板Ｐの
画像を撮像する撮像面６が配設される。なお、前記シー
ルドボックス１に扉１ｄを設けたのは、扉１ｄを開くこ
とによりシールドボックス１内の昇降台５等の内部機構
および搬入したプリント基板Ｐの取出しといったメイン
テナンス性を向上させるためと、このＸ線透過自動検査
装置の組立の容易化のためとであって、例えば着脱自在
なカバーでも良く、必ずしも扉である必要はない。

【００１９】以下、上記構成の簡易型高分解能のＸ線透
過自動検査装置の使用態様を、図２を参照しながら説明
すると、搬入ラインＬｉで搬送されてきたプリント基板
Ｐは搬入口１ｉから上昇されている昇降台５の上に載荷
され、載荷されたプリント基板Ｐは駆動モータ５ｍ，５
ｍの駆動で昇降台５の中央位置に移送される。次いで、
ロッドレスシリンダ４の作動で撮像面６の上方の検査位
置まで昇降台５が下降されて停止される。そして、この
位置において、Ｘ線源２からＸ線がプリント基板Ｐに照
射され、撮像面６にプリント基板Ｐのほぼ等倍の画像が
撮像される。このようにしてプリント基板Ｐの撮像・検
査が終了すると、今度は昇降台５が上昇される。上昇さ
れたプリント基板Ｐは駆動モータ５ｍ，５ｍの駆動によ
り搬出口１ｏ側に移送されると共に、搬出口１ｏから搬
出ラインＬｏに移されて、一連の動作が終了する。

【００２０】この簡易型高分解能のＸ線透過自動検査装
置は、上記のとおり、フォーカスサイズＦの径が１００
μｍ以上の比較的低コストのＸ線源２を用いているの
で、このＸ線透過自動検査装置は比較的低コストであ
り、しかも撮像面６より上方の搬入口１ｉで受取ったプ
リント基板Ｐを昇降台５で撮像面６の上側の検査位置ま
で下降させると共に、検査位置に水平移動させてプリン
ト基板Ｐの画像を撮像するので、分解能の優れたほぼ等
倍の撮像を得ることができる。

【００２１】そして、撮像済のプリント基板Ｐを昇降台
５で搬出口１ｏまで上昇させるので、従来であれば２ｍ
以上であったシールドボックス１の高さを１．５ｍにす
ることができた。このように、シールドボックス１の高
さが低いので、プリント基板製造ラインの管理者がライ
ン全体を見渡すことができ、ライン状況の観察が容易に
なると共に、Ｘ線源２のメインテナンスや交換が安全に
行える。さらに、シールドボックス１の高さが低くなる
ことによりＸ線透過自動検査装置の安定性が増し、装置
高さを低くできることで装置自体のコンパクト化が図れ
る。勿論、シールドボックス１の扉１ｄを開くことによ
り、昇降台５やロッドレスシリンダ４等の内部機構のメ
インテナンスも容易に行える。

【００２２】次に、本発明の他の実施例に係る簡易型高
分解能のＸ線透過自動検査装置を、その正面断面図の図
３（ａ）と、その側面断面図の図３（ｂ）と、図３
（ａ）のＡ−Ａ線断面図の図４と、図３（ｂ）のＢ部拡
大図の図５と、図５のＣ部拡大図の図６とを参照しなが
ら、上記実施例と同一のもの並びに同一機能を有するも
のを同一符号を以て説明する。但し、本実施例が上記実
施例と相違するところは、主として昇降台５の昇降を案
内するリニアガイドレールの配設構造と、昇降台駆動装
置の構成の相違にあるから、その相違する点についてだ
け説明する。

【００２３】即ち、図３（ｂ）に示すように、シールド
ボックス１の前後の内壁のそれぞれに沿ってリニアガイ
ドレール３，３が垂直に配設されており、これらリニア
ガイドレール３，３によって昇降台５が昇降可能に案内
されるように構成されると共に、この昇降台５は、後述
する構成になる昇降台駆動装置によって昇降作動される
ようになっている。

【００２４】前記昇降台駆動装置は、図４に示すよう
に、シールドボックス１の前側の内側に設けられるロッ
ドレスシリンダ４と、図３（ａ）、図３（ｂ）、図４お
よび図５に示すように、昇降台５の相反する端部付近の
それぞれに設けられた後述する構成になる伸び吸収機構
４４の上下に連結され、シールドボックス１内に設けら
れた複数の水平滑車４１や垂直滑車４２に順次掛け回さ
れると共に、前記ロッドレスシリンダ４を介して無端状
に形成されるワイヤーロープ４３とから構成されてい
る。つまり、昇降台５は、ロッドレスシリンダ４の上昇
によりプリント基板Ｐの搬入・搬出口１ｉ，１ｏ位置か
ら撮像位置まで下降される一方、ロッドレスシリンダ４
の下降により撮像位置から搬入・搬出口１ｉ，１ｏ位置
まで上昇されるように構成されている。

【００２５】前記伸び吸収機構４４は図５と図６とに示
すように構成されている。即ち、昇降台５の端部付近そ
れぞれに貫通穴５ｈ，５ｈが設けられており、これら貫
通穴５ｈ，５ｈの位置のそれぞれには、ばね収容室４４
ｂを有するばね収容ケーシング４４ａが、その下側に設
けられたフランジ部がボルト、ナット（図示省略）によ
り締結されることによって固着されている。このばね収
容ケーシング４４ａのばね収容室４４ｂには、上側から
平座金４４ｃ、圧縮コイルばね４４ｄ，平座金４４ｃの
順に収容されており、上側の平座金４４ｃの上面はばね
収容ケーシング４４ａの底部の下面に、下側の平座金４
４ｃの下面は昇降台５の上板部材の上面にそれぞれ当接
し得るようになっている。そして、平座金４４ｃ、圧縮
コイルばね４４ｄ，平座金４４ｃには、前記貫通穴５
ｈ，５ｈを通過し得、かつ両端面部に前記ワイヤーロー
プ４３の端部が連結されるロープ連結部材であるねじロ
ッド４４ｅが遊嵌状態で挿通されると共に、これらねじ
ロッド４４ｅの両端のそれぞれには前記ワイヤーロープ
４３が通されるロープ通し穴を有すると共に、ワイヤー
ロープ４３の先端が連結されてなる先端金具４３ａを収
容して、ワイヤーロープ４３をねじロッド４４ｅに連結
するキャップナット４４ｆが螺着されている。

【００２６】そこで、図５において、例えば右側のワイ
ヤーロープ４３に伸びが発生した場合を考える。ロッド
レスシリンダ４を下降させて長さの相違するワイヤーロ
ープ４３，４３を引き上げて昇降台５を上昇させると、
この昇降台５の左側が先にストッパー（図示省略）に当
接して停止する。このように、昇降台５の左側が上限ま
で上昇しているにもかかわらず右側が上限まで上昇して
いないと、プリント基板Ｐの搬送不良を起こす恐れがあ
るので、昇降台５の右側も上限まで上昇させなければな
らない。そのためには、昇降台５の右側が昇降してスト
ッパに当接するまで一対のワイヤーロープ４３，４３の
それぞれをロッドレスシリンダ４を下降させることによ
りさらに引き上げる必要があるが、その際に左側の伸び
吸収機構４４の圧縮コイルばね４４ｄがキャップナット
４４ｆ，平座金４４ｃを介して圧縮されて、前記右側の
ワイヤーロープ４３の伸びが吸収されるので、昇降台５
の左側が上昇されずに停止していても左側のワイヤーロ
ープ４３のみの引き上げが可能になる。一方、上記とは
逆に、左側のワイヤーロープ４３に伸びが発生した場合
には、右側の伸び吸収機構４４により左側のワイヤーロ
ープ４３の伸びが吸収されることになる。なお、前記昇
降台５が撮像位置に下降された場合も、前記伸び吸収機
構４４は上記と同様の働きをし、撮像位置においてこの
昇降台５を水平に維持するものである。

【００２７】ところで、昇降台５を搬入・搬出口１ｉ，
１ｏ位置と撮像位置とに正常に停止させるためには、ワ
イヤーロープ４３をターンバックルを介して連結すると
いうようなワイヤーロープ４３の伸び調整機構を設けれ
ば良く、短期的な観点からすれば、必ずしも前記のよう
な伸び吸収機構４４，４４を設ける必要はないものであ
る。但し、昇降台５にこのような伸び吸収機構４４，４
４を設けることにより、ワイヤーロープ４３の伸びに係
る定期点検並びにワイヤーロープ４３の伸び調整作業が
不要になるので、Ｘ線透過自動検査装置の稼働率の向上
に寄与することができるという優れた効果がある。

【００２８】なお、図３（ａ）と図４とに示すように、
シールドボックス１の搬出口１ｏの外方に設けられてな
るものは搬出ラインＬｏに設けられた基板搬出コンベア
７であり、また基板搬出コンベア７の下方位置に設けら
れてなるものは、撮像位置にある昇降台５により移動さ
れた撮像済のフィルムを受取り、受取った撮像済のフィ
ルムのＸ線画像を読み取るＸ線画像読取装置８であり、
さらに、図３（ｂ）と図４とに示すように、シールドボ
ックス１の後部側に設けられてなるものは、前記Ｘ線画
像読取装置８による画像読み取り後のフィルムを受取
り、受取ったフィルムに蛍光を照射してＸ線画像を消去
した後、Ｘ線画像を消去したフィルムを再びシールドボ
ックス１内の撮像位置にある昇降台５上に搬入するＸ線
画像消去コンベア９である。

【００２９】以下、上記構成になるＸ線透過自動検査装
置の作用態様を説明すると、ロッドレスシリンダ４の昇
降によるワイヤーロープ４３の押し引きにより、昇降台
５をプリント基板Ｐの搬入・搬出口１ｉ，１ｏ位置から
撮像位置まで下降させる一方、撮像位置から搬入・搬出
口１ｉ，１ｏ位置まで上昇させることができるので、本
実施例は上記実施例と同効である。但し、上記実施例が
リニアガイドレールにより昇降台５を片持ち支持したの
に対して、本実施例では昇降台が両持ち支持としたの
で、上記実施例に比較して昇降台５をを低剛性にするこ
とができ、Ｘ線透過自動検査装置自体の重量軽減と、昇
降台５の駆動源を小能力化によるランニングコスト低減
とに寄与することができる。

【００３０】

【発明の効果】以上詳述したように、本発明の請求項
１，２，３または４に係る簡易型高分解能Ｘ線透過自動
検査装置によれば、フォーカスサイズの径が５０μｍ以
上の比較的低コストのＸ線源を用いることで、このＸ線
透過自動検査装置を低コストにすることができる。しか
も、撮像面よりも上方の搬入口で受取った被検査物を昇
降台により撮像面の上側の検査位置まで下降させると共
に、水平移送機能により検査位置に水平移動させて画像
を撮像するので、分解能の優れたほぼ等倍の撮像を得る
ことができ、また撮像済の被検査物を昇降台で搬出口ま
で上昇させるので、シールドボックスの高さを従来より
も低くすることができ、このＸ線透過自動検査装置自体
の安定性が増する。そのため、被検査物製造ラインの管
理者によるラインの観察が容易になり、かつＸ線源のメ
インテナンスや交換を容易かつ低コストで行えるのに加
えて、このＸ線透過自動検査装置をコンパクトにするこ
とができるという多大な効果がある。

【図面の簡単な説明】

【図１】図１（ａ）は本発明の実施例に係る簡易型高分
解能Ｘ線透過自動検査装置の正面断面図、図１（ｂ）は
その側面断面図、図１（ｃ）はその平面断面図である。

【図２】本発明の実施例に係る簡易型高分解能Ｘ線透過
自動検査装置によるプリント基板の検査状況説明図であ
る。

【図３】図３（ａ）は本発明の他の実施例に係る簡易型
高分解能Ｘ線透過自動検査装置の正面断面図、図３
（ｂ）はその側面断面図である。

【図４】図３（ａ）のＡ−Ａ線断面図である。

【図５】図３（ｂ）のＢ部拡大図である。

【図６】図５のＣ部拡大図である。

【図７】図７（ａ），７（ｂ），７（ｃ）は、何れも従
来例に係るＸ線透過検査装置の模式的構成説明図であ
る。

【符号の説明】

１…シールドボックス，１ｄ…扉，１ｉ…搬入口，１ｏ
…搬出口 ２…Ｘ線源，２ａ…Ｘ線発生装置 ３…リニアガイドレール ４…ロッドレスシリンダ，４１…水平滑車，４２…垂直
滑車，４３…ワイヤーロープ，４３ａ…先端金具，４４
…伸び吸収機構，４４ａ…ばね収容ケーシング，４４ｂ
…ばね収容室，４４ｃ…平座金，４４ｄ…圧縮コイルば
ね，４４ｅ…ねじロッド，４４ｆ…キャップナット ５…昇降台，５ａ…ガイドプレート，５ｂ…駆動プー
リ，５ｃ…従動プーリ，５ｄ…ベルト，５ｈ…貫通穴，
５ｍ…駆動モータ ６…撮像面 ７…基板搬出コンベア ８…Ｘ線画像読取装置 ９…Ｘ線画像消去コンベア Ｆ…フォーカスサイズ Ｌｉ…搬入ライン Ｌｏ…搬出ライン Ｐ…プリント基板

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 フロア面より数十センチ以上上方の高さ
   レベルで被検査物が搬送されるＸ線透過自動検査装置に
   おいて、フォーカスサイズの径が５０μｍ以上のＸ線源
   と、該Ｘ線源が上部に配設されると共に、被検査物の搬
   入・搬出口よりも下側の内側位置に被検査物の画像を撮
   像する撮像面が配設されるシールドボックスと、該シー
   ルドボックス内の撮像場所にて、前記搬入・搬出口の高
   さレベルと撮像面の高さレベルとの間で昇降し、前記搬
   入口で受取った被検査物を支持して前記撮像面の上側の
   検査レベルまで下降し、かつ撮像済の被検査物を支持し
   て搬出口の高さレベルまで上昇する被検査物の水平移送
   機能を持つ昇降台を設けたことを特徴とする簡易型高分
   解能Ｘ線透過自動検査装置。
2. 【請求項２】 前記シールドボックスの被検査物の搬入
   口および搬出口を有しない一方側の内壁に前記昇降台を
   昇降させる昇降台駆動装置を付設し、前記内壁の他方側
   に開閉自在な扉を設けたことを特徴とする請求項１に記
   載の簡易型高分解能Ｘ線透過自動検査装置。
3. 【請求項３】 前記昇降台駆動装置が昇降台を上下方向
   に案内するリニアガイドレールと、昇降台を昇降させる
   ロッドレスシリンダとからなることを特徴とする請求項
   ２に記載の簡易型高分解能Ｘ線透過自動検査装置。
4. 【請求項４】 前記シールドボックスの内側の相反する
   内壁のそれぞれに沿ってリニアガイドレールを設け、こ
   れら一対のリニアガイドレールにより前記昇降台を昇降
   可能に案内すると共に、該昇降台を昇降させる前記昇降
   台駆動装置を、該昇降台の相反する端部付近それぞれの
   上下に連結され、前記シールドボックスの内側に設けた
   水平滑車や垂直滑車に順次掛け回されると共に、前記シ
   ールドボックス内に設けたロッドレスシリンダを介して
   無端状に形成されてなるワイヤーロープからなる構成に
   したことを特徴とする請求項１に記載の簡易型高分解能
   Ｘ線透過自動検査装置。
5. 【請求項５】 前記昇降台の相反する端部付近のそれぞ
   れに、圧縮ばねと、該圧縮ばねの内側に遊嵌状態で挿通
   されるロープ連結部材と、該ロープ連結部材の両端部に
   設けられ、該ロープ連結部材の上下動により前記圧縮ば
   ねの上下端に当接する当接部材とからなるワイヤロープ
   の伸び吸収機構を設け、該伸び吸収機構のロープ連結部
   材を介して前記ワイヤロープを無端状にしたことを特徴
   とする請求項４に記載の簡易型高分解能Ｘ線透過自動検
   査装置。