JPH0971440A - 機能性を高めたガラス板 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 簡単な膜構成等で、透視性とミラー性並びに
断熱性を効果的にバランスよく持たせて同時に満足し、
プライバシ−保護性に優れ、明所側から暗所側を視認し
易いガラス板を得る。 【解決手段】 透明なガラス基板の一方の表面に、ガラ
ス面側から第１層目として膜厚が40nm以上70nm以下であ
るSnの酸化物薄膜、第１層の上に第２層目として膜厚が
15nm以上35nm以下であるTiの窒化物薄膜、さらに第２層
の上に膜厚が５nm以上15nm以下であるSnの酸化物薄膜を
被覆積層した積層膜からなり、ガラス面側からの反射光
の可視光線波長域での刺激純度が12％以下でかつ膜面側
からの反射光の可視光線波長域での刺激純度が10％以下
であって、該ガラスの透過色調がニュ−トラル系色調で
あり、さらにガラス面側からと膜面側からとの反射光の
可視光線波長域での反射率差を20％以上とした機能性を
高めたガラス板。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、簡単な３層の積層
膜を被膜し、透視色がニュートラルでシルバー系の膜面
反射色調を呈し、ガラス板の透視性とミラー効果をバラ
ンスよく持たせ、同時に満足しうるものとすることで、
人や環境に優しくかつプライバシ−性と視認性を発現せ
しめ、通常のプライバシ−ガラスより特異なものとして
より機能を高めたガラス板であって、例えば明るい室内
側から暗い廊下側を見易く、逆に暗い廊下側から明るい
室内側を見難くするようにすることができる機能性を高
めたガラス板に関する。

【０００２】建築用窓材としてはもちろん、ビルディン
グ、病院等の間仕切り材、ドア窓材など各種の用途にお
いてその機能を活かすことができる機能性や居住性や環
境性に優れたガラス板を提供するものである。

【０００３】

【従来の技術】従来からプライバシ−を保護し守るため
のガラス板または窓ガラスが求められ種々の提案があ
る。なかでも最近は病院用や自動車用の各種窓ガラスに
おいても切望されつつある。

【０００４】例えば、特開平6-80441 号公報には、熱処
理可能なスパッタ被覆されたガラス製品およびその形成
方法が記載されており、a)スズ、亜鉛、チタンおよびそ
れらの合金からなるグル−プから選択された金属の酸化
物からなる第１の層と；b)ニッケルおよび少なくとも約
50重量％ニッケルを有するニッケル合金からなるグル−
プから選択された金属の酸化物または窒化物からなる第
２の層と；c)ニッケルおよび少なくとも約50重量％ニッ
ケルを有するニッケル合金からなるグル−プから選択さ
れた金属からなる第３の層と；d)ニッケルおよび少なく
とも約50重量％ニッケルを有するニッケル合金からなる
グル−プから選択された金属の酸化物または窒化物から
なる第４の層と；e)スズ、亜鉛、チタンおよびそれらの
合金からなるグル−プから選択された金属の酸化物から
なる第５の層と；を含むコ−ティングをその上に有する
ガラス基板からなるものが開示されている。

【０００５】そのなかで、ガラス基板／SnO₂(1〜1000
Å) ／ハイネス214(5 〜100 Å,Ni の酸化物) ／Ni(20
〜250 Å) ／ハイネス214(5 〜100 Å,Ni の酸化物) ／
SnO₂(20 〜1000Å) であり、例えばグリ−ン着色フロ−
トガラスでガラス側からは無彩灰色を呈しまたコ−ティ
ング側からは金色を呈し、約22〜23％の可視透過率と約
11〜12％のガラス側の可視反射率と約31〜33％のフイル
ム側の可視反射率とを有する車両用プライバシ−窓等が
開示されている。

【０００６】また例えば、特開平6-321580号公報には、
耐摩耗性低透過率ガラスが記載されており、ガラス表面
に熱線遮蔽膜、この熱線遮蔽膜面に第１の透明保護膜、
この第１の透明保護膜面に第２の透明保護膜を順次積層
した耐摩耗性低透過率ガラスであって、前記第２の透明
保護膜の厚みが２〜20nmであり、かつ前記第１の透明保
護膜と前記第２の透明保護膜との厚みの和が25nm以下で
あり、前記耐摩耗性低透過率ガラスの可視光線透過率が
40％以下であり、かつ前記耐摩耗性低透過率ガラスのガ
ラス面の可視光線反射率が30％以下であるものが開示さ
れている。

【０００７】そのなかで具体的には例えば、ガラス板／
CrNx(26nm)／SnO₂(10nm)／Ta₂O₅(5nm)、またはガラス板
／TiN₂(60nm)／SnO₂(5nm) ／ZrO₂(5nm) 等の膜構成でな
り、従来のプライバシ−ガラスより優れた耐摩耗性およ
び化学的耐久性を有し、自動車ドア用ガラス等の過酷な
条件でも使用できることが開示されている。

【０００８】さらに例えば、特開平5-10079 号公報に
は、光遮蔽窓材および光遮蔽方法が記載されており、ガ
ラス板、アクリル板、ポリカ−ボネ−ト板等の透明な窓
材支持体の片面に偏光板を添設してなるもの、ならびに
該光遮蔽窓材を、隣接または対向する窓にその偏光軸が
互いに直交するように組み合わせて用いることが開示さ
れている。

【０００９】そのなかで具体的には例えば、ガラス基材
／接着層／偏光素子／接着層／ガラス基材の構成によ
り、車両や建築物の内部からは外部が見え、双方の窓か
らは他の車両や建築物の内部が見えず、お互いにプライ
バシ−の保護および侵害を防止するようにしたことが開
示されている。

【００１０】また例えば、特開平1-127786号公報には、
病室の扉が記載されており、患者のベット近傍部と、ナ
−スステ−ションでオン、オフ操作が可能な瞬間調光ガ
ラスをとりつけたことが開示されている。

【００１１】そのなかで具体的には例えば、ブラインド
に替えて、２枚の透明ガラス間に液晶シ−トをはさみ込
んだ合わせガラスからなる瞬間調光ガラスを用い、電圧
をかけると一定方向に整列する液晶の特質を利用して、
ガラスの透視性をコントロ−ルするもので、常時は不透
明であり、通電状態で透明となり、患者も簡単な操作で
プライバシ−を守れ、ナ−スステ−ション側からも操作
できて、すばやく対応できることが開示されている。

【００１２】

【発明が解決しようとする課題】上記した従来の例えば
特開平6-80441 号公報に記載されている熱処理可能なス
パッタ被覆されたガラス製品およびその形成方法では、
例えば可視光透過率を抑えることにより透視性を低減す
ることでプライバシ−性を発現しようとするものであ
り、その膜構成が５層であって必ずしも簡便で容易とは
言い難く、しかも透視性が充分とは言い難く視認し難い
ものである。

【００１３】また例えば特開平6-321580号公報に記載の
耐摩耗性低透過率ガラスでは、例えば可視光透過率を抑
えることにより透視性を低減することでプライバシ−性
を発現しようとするものであって、住宅やビルにおいて
外より室内の方が明るい夜間などはどうしても外から室
内が見えてしまい、その膜構成と膜厚等からは膜面側か
らの可視光反射率を低減することは困難であり、到底明
るい所側から暗い室内を見え易くするような条件を満た
すようなのものとは成し難いものである。

【００１４】また例えば、特開平5-10079 号公報に記載
の光遮蔽窓材および光遮蔽方法では、前記した具体例で
も明らかなように、従来のプライバシ−ガラスの技術的
事項を脱するものではなく、しかも光遮蔽窓材を、隣接
または対向する窓にその偏光軸が互いに直爻するように
組み合わせて用いることが必要である等、必ずしも簡便
な構成とは到底言い難いものである。

【００１５】さらに例えば、特開平1-127786号公報に記
載の病室の扉では、２枚の透明ガラス間に液晶シ−トを
はさみ込んだ合わせガラスからなる瞬間調光ガラスを用
い、電気的操作でもってブラインドの開閉の代わりとし
て用い、室内側および室外側の両方から所望に応じて内
部が見透せたり、あるいは見透せなかったりすることが
できるというものであり、明暗の室内外等から常時見る
ことができるなかでの透視性や視認性を有するものとは
到底成し難いものである。

【００１６】

【課題を解決するための手段】本発明は、従来のかかる
問題点に鑑みてなしたものであって、特定した簡単な３
層の膜構成とその膜厚の組み合わせでなり、ガラス面側
ならびに膜面側からの反射光の可視光線波長域での刺激
純度をそれぞれ特定し、ニュ−トラル系の透過色調を有
し、ガラス面側からと膜面側からとの反射光の可視光線
波長域での反射率差を特定したものとしたことで、ガラ
ス面側の低反射性と膜面側の高反射性を特異に持たしめ
つつ、ガラスの可視光透過率を視認できる最適値とし、
膜面側からの反射光色調をシルバ−系色調であるものと
なって、透視感と存在観、意匠性ならびに透視性とミラ
ー性および断熱性を発現するなかで、バランスよい光学
特性を有し、耐薬品性、耐候性あるいは耐摩耗性等耐久
性を備え、しかもソフトな淡いグリーン色系あるいはピ
ンク系ガラス面反射色調を呈せしめ、人や環境に優し
く、プライバシ−ガラスでありながら従来にない特異な
光学特性を発揮せしめ、機能性を高めたガラス板を安価
に提供することができる。

【００１７】すなわち本発明は、透明なガラス基板の一
方の表面に、ガラス面側から第１層目として膜厚が40nm
以上70nm以下であるSnの酸化物薄膜、第１層の上に第２
層目として膜厚が15nm以上35nm以下であるTiの窒化物薄
膜、さらに第２層の上に膜厚が５nm以上15nm以下である
Snの酸化物薄膜を被覆積層した積層膜からなり、ガラス
面側からの反射光の可視光線波長域での刺激純度が12％
以下でかつ膜面側からの反射光の可視光線波長域での刺
激純度が10％以下であって、該ガラスの透過色調がニュ
−トラル系色調であり、さらにガラス面側からと膜面側
からとの反射光の可視光線波長域での反射率差を20％以
上としたことでなることを特徴とする機能性を高めたガ
ラス板。

【００１８】ならびに、前記機能性を高めたガラス板に
おいて、該ガラスのガラス面側からの可視光線反射率が
12％以下であることを特徴とする上述した機能性を高め
たガラス板。

【００１９】さらに、前記機能性を高めたガラス板にお
いて、該ガラスの膜面側からの可視光線反射率が30％以
上であることを特徴とする上述した機能性を高めたガラ
ス板。

【００２０】さらにまた、前記機能性を高めたガラス板
において、該ガラスの可視光透過率が30〜50％であるこ
とを特徴とする上述した機能性を高めたガラス板。さら
にまた、前記機能性を高めたガラス板において、該ガラ
スの膜面側からの反射光色調がシルバ−系色調であるこ
とを特徴とする上述した機能性を高めたガラス板。

【００２１】またさらに、前記機能性を高めたガラス板
について、高反射である膜面側を暗所側とし、低反射で
あるガラス面側を明所側とするように用いることを特徴
とする上述した機能性を高めたガラス板をそれぞれ提供
するものである。

【００２２】

【発明の実施の形態】ここで、透明なガラス基板の一方
の表面に、ガラス面側から第１層目として膜厚が40nm以
上70nm以下であるSnの酸化物薄膜、第１層の上に第２層
目として膜厚が15nm以上35nm以下であるTiの窒化物薄
膜、さらに第２層の上に膜厚が５nm以上15nm以下である
Snの酸化物薄膜を被覆積層した積層膜からなり、ガラス
面側からの反射光の可視光線波長域での刺激純度が12％
以下でかつ膜面側からの反射光の可視光線波長域での刺
激純度が10％以下であって、該ガラスの透過色調がニュ
−トラル系色調であり、さらにガラス面側からと膜面側
からとの反射光の可視光線波長域での反射率差を20％以
上としたことでなることを特徴とする機能性を高めたガ
ラス板を実施するにあたっては次のようにする。

【００２３】先ず、透明なガラス基板としては、例えば
建築用窓材としてはもちろん、ビルディング等各種のガ
ラス板状体等に用いられる市販のソーダライムガラスで
ある無機質ガラス板状体、ことにフロートガラスが最適
であり、またポリカーボネートやアクリルなどである有
機質からなる所謂ガラス板状体等であってもよく、クリ
アガラスが最もよいことはもちろんグリ−ンガラス等の
着色ガラス、紫外線や熱線吸収性ガラスでもよく、平板
状あるいは曲げ板ガラス、さらに強化ガラス、合わせガ
ラス、複層ガラスならびに表面処理ガラス等各種加工処
理ガラスまたは各種用途ガラスであってもよい。また、
該ガラス板の形状としては、とくに限定するものではな
いが、長辺と短辺でなる略四辺形でなるものが最も好ま
しく採用できるものである。なお、前記透明ガラス基板
の板厚については特に限定するものではない。

【００２４】また、前記透明なガラス基板の一方の表面
に、ガラス面側から第１層目として膜厚が40nm以上70nm
以下であるSnの酸化物薄膜、第１層の上に第２層目とし
て膜厚が15nm以上35nm以下であるTiの窒化物薄膜、さら
に第２層の上に膜厚が５nm以上15nm以下であるSnの酸化
物薄膜を被覆積層した積層膜からなるものとしたのは、
第１層目のSnOx（１＜ｘ≦２）薄膜については、ガラス
の屈折率より高く、生産性に優れた透明誘電体膜である
ため選出し、この第１層目の膜厚により反射特性が決定
されることとなり、またガラス基板を低屈折率材料の代
替としたことにより基本的には該第１層目で低反射率化
が可能となる。また第３層目のSnOx（１＜ｘ≦２）薄膜
については、反射増加膜として作用するため低反射化の
観点から考えると積層することは好ましくないものの、
膜全体の耐久性を向上させるためには必要不可欠であ
り、このため、干渉と耐久性のバランスからかかる範囲
程度が好ましい。

【００２５】さらに、第２層目のTiNx（x は、スパッタ
時のArガスとN₂ガスの流量比で決まる。例えば x＝0.5
〜1.0 ）薄膜については、透過率を制御するための膜材
料であり、また第１層目と第３層目のSnOx薄膜との組み
合わせによって、低反射面（ガラス面）の色調を淡いグ
リ−ン系あるいはピンク系の色調と高反射面（膜面）の
色調をシルバ−系の色調とすることができ、さらに膜自
体の耐摩耗性が高いため、第３層目の保護膜の膜厚を薄
くすることが可能となる。

【００２６】また、上述した各薄膜の成膜については、
大きさ300mm ×300mm 、厚さ６mmのフロートクリアガラ
ス(Fl6) を中性洗剤、水すすぎ、イソプロピルアルコー
ルで順次洗浄し、乾燥した後、DCマグネトロンスパッタ
リング装置の真空槽内にセットしてあるSnとTiのターゲ
ットに対向して上方を往復できるようセットし、次に前
記槽内を真空ポンプで約５×10^-6Torrまでに脱気した
後、該真空槽内にO₂ガスとArガス〔但し、ArガスとO₂ガ
スのガス流量比はO₂／(Ar+O₂) の値が0.5 〜1.0（な
お、該1.0 の値の際はArガス流量が零である）の範囲で
あればよい。〕、あるいはN₂ガスとArガス〔但し、Arガ
スとN₂ガスのガス流量比はN₂／(Ar+N₂) の値が0.5 〜1.
0 （なお、該1.0 の値の際はArガス流量が零である）の
範囲であればよい。〕を導入し、真空度を約２×10^-3To
rrに保持し、前記SnあるいはTiのターゲットに約1.0kw
の電力を印加し、前記混合ガスによるDCマグネトロン反
応スパッタの中を、前記SnあるいはTiのターゲット上方
において必要膜厚に応じたスピードで前記板ガラスを搬
送することによって必要厚さのSnOx（１＜ｘ≦２）薄膜
あるいはTiNx（例えば、x が0.8 程度）を上述したよう
に順次成膜した。

【００２７】なお、成膜法としては、スパッタ法が最適
であるが、常用されている他の成膜法、例えば CVD法、
蒸着法、印刷法、スプレ−法、各種ロ−ルコ−ト法、フ
ロ−コ─ト法あるいはフレキソ法等も適宜採用しうるも
のである。

【００２８】さらに、前記薄膜の積層膜が特定した膜厚
でTiNxの薄膜をSnOxの薄膜で挟み込むよう組み合わせ、
ガラス面側からの反射光の可視光線波長域での刺激純度
が12％以下でかつ膜面側からの反射光の可視光線波長域
での刺激純度が10％以下であって、該ガラスの透過色調
がニュ−トラル系色調であり、さらにガラス面側からと
膜面側からとの反射光の可視光線波長域での反射率差を
20％以上としたのは、ガラス面側からの反射光の可視光
線波長域での反射率を低減するとガラス面側からの反射
光の可視光線波長域での刺激純度が次第に高くなり、ギ
ラツキ感が発現して美観を損ね、反射色調も青紫〜紫系
色調となって広く好まれるとは言い難くなることとな
り、フロ−トガラス等の基板を低屈折率膜の代替とする
ことでガラス面側からの可視光反射率がフロ−トガラス
と同等以下、例えば約８％以下の低反射率を実現し、ガ
ラス面側からの反射光の可視光線波長域での刺激純度が
12％以下と低くし、かつ淡い上品なグリーン色ないしは
ピンク色がかった色合いを呈せしめ、これまでにない優
れた美観を発現するガラス面反射色調を実現でき、明所
側からのより有効な暗所透視機能が発現することとな
る。

【００２９】一方、膜面側からの反射光の可視光線波長
域での反射率を高めると膜面側からの反射光の可視光線
波長域での刺激純度が次第に高くなるのを防ぎ、膜面側
からの反射光の可視光線波長域での刺激純度を10％以下
とすることで、ギラツキ感を弱め、かつシルバ−系色合
いを呈せしめるようにすることで、違和感を低減し、暗
所側からのより有効な明所透視遮蔽機能が発現すること
となる。

【００３０】また、該ガラスの透過色調がニュ−トラル
系色調であって、ガラス面側からと膜面側からとの反射
光の可視光線波長域での反射率差を20％以上であるた
め、透視性と視認性とミラー効果を適宜適当にもたらす
ようにでき、ギラツキ感が発現し難く、違和感が生じ難
く、人や環境に優しいものとなし、明所側からのより有
効な暗所透視機能と暗所側からのより有効な明所透視遮
蔽機能を最適に発現にすることができる。

【００３１】さらに、下地とする前記SnOx薄膜層の膜厚
を40nm以上70nm以下とし、中間となるTiNx薄膜層の膜厚
を15nm以上35nm以下とし、被覆する前記SnOx薄膜層の膜
厚を５nm以上15nm以下としたのは、下地の薄膜層の膜厚
が40nm未満で中間の薄膜層の膜厚が15nm未満かつ被覆す
る保護の薄膜層の膜厚が５nm未満であれば、例えば可視
光透過率が50％を超え透視性が強くなってしまい、ガラ
ス面側の低反射を実現し難くなり、かつ充分な耐久性が
与えられなくなる等、その機能が充分ではなくなり、ま
た前記下地の薄膜層の膜厚が70nmを超え中間の薄膜層の
膜厚が35nmを超えかつ被覆保護の薄膜層の膜厚が15nmを
超えれば、例えばことに可視光透過率が30％より低くな
り透視性が弱くなってしまい、可視光反射率も高くなり
過ぎ、例えばガラス面側からの可視光反射率が12％以上
と高くなり、またガラス面側からの反射色調が青紫から
紫色系となり、到底めざす所期の機能性を高めたガラス
板とは言えないものとなるためである。

【００３２】さらに、ガラス面の可視光線反射率を12％
以下であるものとしまたは／および膜面の可視光反射率
を30％以上であるものとしたのは、前記したガラス面側
からと膜面側からとの反射光の可視光線波長域での反射
率差を20％以上とするなかで、該両者の値を実現するこ
とでめざす所期のミラ−効果等の光学特性が発現できる
からである。さらにまた、可視光透過率を30〜50％の範
囲であるものとしたのは、この範囲内の値にある場合に
おいて、最も適度の透視性や視認性を有するものとなる
ためであり、明所側からのより有効な暗所透視機能と暗
所側からのより有効な明所透視遮蔽機能を最適に発現に
することができることとなるからである。

【００３３】なお、前記ガラス板の日射透過率が約40％
程度以下であって、充分な断熱性を併せて付与すること
となり、より多機能性を有するものとすることができ
る。一般に光学的特性は透過率、反射率、吸収率の組み
合わせであり、そのバランスにより異なる面もあるが、
上述の範囲内にあれば、透過性と反射性すなわちミラー
性ならびに断熱性が同時にバランスよく、人や環境に優
しいものとなってより居住性をも満足せしめることがで
きる。

【００３４】またさらに、前記機能性を高めたガラス板
について、高反射である膜面側を暗所側とし、低反射で
あるガラス面側を明所側とするように用いることとした
のは、明所側からのより有効な暗所透視機能と暗所側か
らのより有効な明所透視遮蔽機能を最適に発現すること
ができ、ことに室内外等での明度差が比較的大きくない
ような状態での使用において本発明の機能性を高めたガ
ラス板の本領を最も有効にかつ充分に発揮できるからで
あり、特に建築物の内部、例えばナ−スステ−ション等
の窓用や扉用のガラス板として特に有用である。

【００３５】

【実施例】以下、実施例により本発明を具体的に説明す
る。ただし本発明は係る実施例に限定されるものではな
い。

【００３６】実施例１ 大きさ300 ×300mm²、厚さ６mmのフロートクリアガラス
(Fl6) を中性洗剤、水すすぎ、イソプロピルアルコール
で順次洗浄し、乾燥した後、DCマグネトロンスパッタリ
ング装置の真空槽内にセットしてあるSnとTiのターゲッ
トに対向して上方を往復できるようセットし、次に前記
槽内を真空ポンプで約５×10^-6Torrまでに脱気した後、
該真空槽内にO₂ガスとArガス〔但し、ArガスとO₂ガスの
ガス流量比はO₂／(Ar+O₂) の値が0.5 〜1.0 （なお、該
1.0 の値の際はArガス流量が零である）の範囲であれば
よい。〕を導入して真空度を約２×10^-3Torrに保持し、
前記Snのターゲットに約1.0kw の電力を印加し、前記混
合ガスによるDCマグネトロン反応スパッタの中を、前記
Snのターゲット上方においてスピード約109mm ／min で
前記板ガラスを搬送することによって約40nm厚さのSnOx
（１＜ｘ≦２）薄膜を第１層として成膜した。成膜が完
了した後、Snターゲットへの印加を停止した。

【００３７】次いで、前記板ガラスを前記真空槽中にお
いたまま、前記槽内を真空ポンプで約５×10^-6Torrまで
に脱気した後、該真空槽内にN₂ガスとArガス〔但し、Ar
ガスとN₂ガスのガス流量比はN₂／(Ar+N₂) の値が0.5 〜
1.0 （なお、該1.0 の値の際はArガス流量が零である）
の範囲であればよい。〕を導入して真空度を約２×10 ^-3
Torrに保持し、前記Tiのターゲットに約1.0kw の電力を
印加し、前記混合ガスによるDCマグネトロン反応スパッ
タの中を、前記Tiのターゲット上方においてスピード約
54mm／min で前記板ガラスを搬送することによって前記
板ガラスのSnOx薄膜表面上に約25nm厚さのTiNx（例え
ば、x が0.8 程度）薄膜を第２層として積層成膜した。
成膜が完了した後、Tiターゲットへの印加を停止した。

【００３８】続いて、前記板ガラスを前記真空槽中にお
いたまま、前記槽内を真空ポンプで約５×10^-6Torrまで
に脱気した後、該真空槽内にO₂ガスとArガス〔但し、Ar
ガスとO₂ガスのガス流量比はO₂／(Ar+O₂) の値が0.5 〜
1.0 （なお、該1.0 の値の際はArガス流量が零である）
の範囲であればよい。〕を導入して真空度を約２×10 ^-3
Torrに保持し、前記Snのターゲットに約1.0kw の電力を
印加し、前記混合ガスによるDCマグネトロン反応スパッ
タの中を、前記Snのターゲット上方においてスピード約
872mm ／min で前記板ガラスを搬送することによって約
５nm厚さのSnOx（１＜ｘ≦２）薄膜を第３層として成膜
した。成膜が完了した後、Snターゲットへの印加を停止
した。

【００３９】得られた３層でなる積層薄膜付き板ガラス
について、可視光透過率（Tv：380〜780nm ）、可視光
反射率（Rv：380 〜780nm ）、可視光反射率差、刺激純
度（Pv：380 〜780nm ）ならびに日射透過率（Ts：340
〜1800nm）と日射反射率（Rs：340 〜1800nm）等につい
ては340 型自記分光光度計（日立製作所製）により測定
し、所定の波長毎の透過率、反射率の各データとJIS Z
8722、JIS R 3106によってそれぞれその光学的特性（光
源：D₆₅ 2°視野）を求め、その一部を表１、２および
３に可視光透過率、可視光反射率、可視光反射率差、日
射透過率および主波長、刺激純度等について示した。

【００４０】また、耐久性としては、JIS R 3221に基づ
いて、耐薬品性テストについては、酸とアルカリの各１
規定、25℃溶液に約６時間浸漬後の可視光透過率の変化
量（△Tv, ％）で評価し、例えば△Tvが4.0 ％以下であ
れば合格とした。さらに、テーバー試験については、摩
耗輪（CS-10F）、荷重 500ｇ、300 回回転後の可視光透
過率の変化量（△Tv, ％）およびヘイズ値の変化量（△
Ｈ, ％）で評価し、例えば△Tvが約3.0 ％以下、△Ｈが
2.0 ％以下であれば合格とした。なおJIS R 3221におけ
るテーバー試験では100 回回転後の△Tvと△Ｈの値とも
4.0 ％以下となっている。

【００４１】さらに、生産性等を加味したコスト上良好
なもの、および上述した各特性ならびに外観上等から所
期の機能性を高めたガラス板となったものを総合的な評
価をした。

【００４２】その結果、G(ガラス) ／SnOx（40nm）／Ti
Nx（25nm）／SnOx（５nm）と３層膜の構成でなる積層薄
膜付き板ガラスは、表１、表２および表３に示すよう
に、可視光透過率（Tv）が36.3％、ガラス面側からの可
視光反射率（Rg）が11.3％、膜面側からの可視光反射率
（Rf）が34.8％、ガラス面と膜面の可視光反射率差（△
Rv）が23.5％であって、可視光透過の刺激純度も6.1 ％
でかつガラス面からの可視光反射の刺激純度も6.0 ％で
かつ膜面からの可視光反射の刺激純度も5.6 ％であり、
透明性とミラー効果をバランスよく持ち、人や環境に対
して優しく、しかも日射透過率（Ts）が29.6％である等
断熱性を持ち、例えば冷房負荷軽減効果も大きく発揮す
るものである。

【００４３】さらに、耐久性も例えば耐薬品性およびテ
ーバーのテストでの可視光透過率の変化量（△Tv）も約
2.3 ％またヘ−ズ値の変化量（△H ）も約1.3 ％と合格
するものであり、酸やアルカリ等耐薬品性も優れ、ガラ
ス面側からの反射色調が淡いグリ−ン色系でかつ膜面か
らの反射色調がシルバ−色系であり、所期の機能性を高
めたガラス板であった。

【００４４】実施例２〜９ 実施例１と同様に厚さ６mmのフロートクリアガラス(Fl
6) を用い、実施例１と同様の膜構成であって、膜厚の
み表１に示すような値に変化させ、積層薄膜付き板ガラ
スを得た。

【００４５】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表１、２
および３に示すようになり、実施例１と同様に可視光透
過率、可視光反射率、可視光反射率差および主波長、刺
激純度等の各光学特性はもちろん、日射透過率による熱
的性能、色調も含めいずれもめざす範囲内にあり、めざ
す所期の機能性を高めたガラス板であった。

【００４６】

【表１】

【００４７】

【表２】

【００４８】

【表３】

【００４９】比較例１ 実施例１と同様に厚さ６mmのフロートクリアガラス(Fl
6) を用い、実施例１と同様にして、膜構成および膜厚
を表４に示すように変化させ、積層薄膜付き板ガラスを
得た。

【００５０】すなわち、実施例１と同様に、先ずDCマグ
ネトロンスパッタリング装置で、Snタ−ゲットを用い、
前記O₂ガスとArガスを導入し、約1.0kw の電力を印加
し、板ガラスの搬送スピード約145mm ／min で約30nm厚
さのSnOx薄膜を第１層として成膜した。成膜が完了した
後、Snターゲットへの印加を停止した。

【００５１】次いで、Tiのターゲットを用い、前記N₂ガ
スとArガスを導入し、約1.0kw の電力を印加し、板ガラ
スの搬送スピード約54mm／min でもって約25nm厚さのTi
Nx薄膜を第２層として成膜した。成膜が完了した後、Ti
ターゲットへの印加を停止した。

【００５２】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表４、５
および６に示すようになり、実施例１と膜構成及び膜厚
の相異することはもとより、ガラス面側からの反射光の
可視光線波長域での刺激純度が14.3％と本発明の値の範
囲外であり、該ガラスの透過の色調がイエロ−系色調で
あり、しかも耐アルカリ性が悪く耐薬品性に劣り、テ−
バ−試験における△Tvが3.1 ％とやや悪い等、めざす所
期の機能性を高めたガラス板とは到底言い難いものであ
った。

【００５３】比較例２ 比較例１の２層膜と同様にして、表４、５および表６に
示すように、先ずCrのターゲットを用い、前記N₂ガスと
Arガスを導入し、約0.5kw の電力を印加し、板ガラスの
搬送スピード約136mm ／min でもって約15nm厚さのCrNx
薄膜を第１層として成膜した。成膜が完了した後、Crタ
ーゲットへの印加を停止した。

【００５４】次いで、Tiのターゲットを用い、前記O₂ガ
スとArガスを導入し、約3.0kw の電力を印加し、板ガラ
スの搬送スピード約47mm／min でもって約30nm厚さのTi
Ox薄膜を第２層として成膜した。成膜が完了した後、Ti
ターゲットへの印加を停止した。

【００５５】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表４、５
および６に示すようになり、実施例１と膜構成及び膜厚
の相異することはもとより、ガラス面側と膜面側からの
反射光の可視光線波長域での刺激純度が12.1％と13.1％
とそれぞれ本発明の値の範囲外であり、ガラス面側と膜
面側からの反射光の可視光線波長域での反射率が33.3％
と25.0％と本発明の値の範囲外であり、しかもガラス面
側からと膜面側からとの反射光の可視光線波長域での反
射率差が8.3 ％と本発明の値の範囲外であり、さらに該
ガラスの膜面側からの反射色調がイエロ−系色調であっ
てシルバ−系色調ではない等、めざす所期の機能性を高
めたガラス板とは到底言い難いものであった。

【００５６】比較例３ 比較例２と第２層で膜厚を変えかつ第３層の膜成分およ
び膜厚をオ−バ−コ−トして表４に示すように、G(ガラ
ス) ／CrNx（15nm）／TiOx（25nm）／SnOx（20nm）と３
層膜の構成でなる積層薄膜付き板ガラスを得た。なお、
SnOx（10nm）薄膜は上記したと同様にして、板ガラスの
搬送スピードのみ約218mm ／min に変えて行った。

【００５７】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表４、５
および６に示すようになり、実施例１と膜構成及び膜厚
の相異することはもとより、膜面側からの反射光の可視
光線波長域での刺激純度が13.1％と本発明の値の範囲外
であり、ガラス面側と膜面側からの反射光の可視光線波
長域での反射率が32.3％と16.5％と本発明の値の範囲外
であり、しかもガラス面側からと膜面側からとの反射光
の可視光線波長域での反射率差が15.8％と本発明の値の
範囲外であり、さらに該ガラスの膜面側からの反射色調
がピンク系色調であってシルバ−系色調ではない等、め
ざす所期の機能性を高めたガラス板とは到底言い難いも
のであった。

【００５８】比較例４ 実施例１と同様にして第１層の膜厚ならびに第２層の膜
成分とその膜厚を変え、表４に示すように、G(ガラス)
／SnOx（70nm）／CrNx（15nm）／SnOx（10nm）と３層膜
の構成でなる積層薄膜付き板ガラスを得た。

【００５９】得られた積層薄膜付き板ガラスについて実
施例１と同様に各機器を用いて各測定を行い評価した。
その結果、得られた積層薄膜付き板ガラスは、表４、５
および６に示すようになり、実施例１と膜構成及び膜厚
の相異することはもとより、ガラス面側からの反射光の
可視光線波長域での刺激純度が20.3％と高く、膜面側か
らの反射光の可視光線波長域での刺激純度が10.6％とや
や高くいずれも範囲外にあり、テ−バ−試験における△
Tvが4.1 ％、△Ｈが2.1 ％と悪い等、到底めざす所期の
機能性を高めたガラス板とは言い難いものであった。

【００６０】

【表４】

【００６１】

【表５】

【００６２】

【表６】

【００６３】

【発明の効果】以上前述したように、本発明によれば、
簡便な３層でなる積層薄膜層を表面に形成したガラス板
の膜構成ならびにその膜厚、ガラス面側からと膜面側か
らとの反射光の可視光線波長域での刺激純度を特定し、
ガラスの透過色調をニュ−トラル系とし、さらにガラス
面側からと膜面側からとの反射光の可視光線波長域での
反射率差を20％以上としたことにより、従来のプライバ
シイ−ガラスでは暗所透視性と明所透視遮蔽性の両立が
不可能であったものを、前記反射率差によって暗所側の
膜面を高反射にして乱視的効果をもたらし明所側の景観
を見えにくくし、明所側のガラス面を低反射にして乱視
的効果を起こらなくし膜面側の景観を見え易くすること
ができる等、プライバシ─ガラスをより機能化すること
ができた機能性を高めたガラス板を簡単な膜構成等で安
価に提供することができ、建築用窓材、特に屋内用とし
て、事務所や病院等における各種の用途にその機能を発
揮することができる、居住性と環境性も備えたガラス板
を提供するものである。

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 透明なガラス基板の一方の表面に、ガラ
   ス面側から第１層目として膜厚が40nm以上70nm以下であ
   るSnの酸化物薄膜、第１層の上に第２層目として膜厚が
   15nm以上35nm以下であるTiの窒化物薄膜、さらに第２層
   の上に膜厚が５nm以上15nm以下であるSnの酸化物薄膜を
   被覆積層した積層膜からなり、ガラス面側からの反射光
   の可視光線波長域での刺激純度が12％以下でかつ膜面側
   からの反射光の可視光線波長域での刺激純度が10％以下
   であって、該ガラスの透過色調がニュ−トラル系色調で
   あり、さらにガラス面側からと膜面側からとの反射光の
   可視光線波長域での反射率差を20％以上としたことでな
   ることを特徴とする機能性を高めたガラス板。
2. 【請求項２】 前記機能性を高めたガラス板において、
   該ガラスのガラス面側からの可視光線反射率が12％以下
   であることを特徴とする請求項１記載の機能性を高めた
   ガラス板。
3. 【請求項３】 前記機能性を高めたガラス板において、
   該ガラスの膜面側からの可視光線反射率が30％以上であ
   ることを特徴とする請求項１乃至２記載の機能性を高め
   たガラス板。
4. 【請求項４】 前記機能性を高めたガラス板において、
   該ガラスの可視光透過率が30〜50％であることを特徴と
   する請求項１乃至３記載の機能性を高めたガラス板。
5. 【請求項５】 前記機能性を高めたガラス板において、
   該ガラスの膜面側からの反射光色調がシルバ−系色調で
   あることを特徴とする請求項１乃至４記載の機能性を高
   めたガラス板。
6. 【請求項６】 前記機能性を高めたガラス板について、
   高反射である膜面側を暗所側とし、低反射であるガラス
   面側を明所側とするように用いることを特徴とする請求
   項１乃至５記載の機能性を高めたガラス板。