JPH0971404A - 過酸化水素の精製法 - Google Patents
過酸化水素の精製法Info
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- JPH0971404A JPH0971404A JP22667595A JP22667595A JPH0971404A JP H0971404 A JPH0971404 A JP H0971404A JP 22667595 A JP22667595 A JP 22667595A JP 22667595 A JP22667595 A JP 22667595A JP H0971404 A JPH0971404 A JP H0971404A
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- hydrogen peroxide
- ozone
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- purity
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- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
- Separation Using Semi-Permeable Membranes (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【構成】過酸化水素をオゾンに接触させて精製を行う。
【効果】イオン交換樹脂等による精製では効率の低い不
純物が除去され高純度に精製された過酸化水素を得るこ
とができる。
純物が除去され高純度に精製された過酸化水素を得るこ
とができる。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は過酸化水素液中に含有す
る不純物を除去する過酸化水素の精製法に関する。本発
明を用いて高純度に精製された過酸化水素は、特にシリ
コンウエハ等の半導体基板の洗浄に好適に用いられる。
る不純物を除去する過酸化水素の精製法に関する。本発
明を用いて高純度に精製された過酸化水素は、特にシリ
コンウエハ等の半導体基板の洗浄に好適に用いられる。
【０００２】
【従来の技術】一般に過酸化水素は蒸留法やイオン交換
樹脂等によって有機及び無機不純物の除去を行い精製が
行われている。一般的には蒸留法または吸着樹脂等によ
って有機不純物が除去され、イオン交換樹脂によって無
機不純物（金属等）が除去されている。また、蒸留法に
よって得られた不純物含量の低い過酸化水素を吸着樹脂
やイオン交換樹脂等に通液することによって、更に高純
度の過酸化水素が得られている。このようにして精製さ
れた高純度の過酸化水素はシリコンウエハ等の洗浄にお
いて塩基性もしくは酸性の過酸化水素として広く使用さ
れており、最近の集積回路の高密度化に伴い、さらに高
い精製度が要求されつつある。
樹脂等によって有機及び無機不純物の除去を行い精製が
行われている。一般的には蒸留法または吸着樹脂等によ
って有機不純物が除去され、イオン交換樹脂によって無
機不純物（金属等）が除去されている。また、蒸留法に
よって得られた不純物含量の低い過酸化水素を吸着樹脂
やイオン交換樹脂等に通液することによって、更に高純
度の過酸化水素が得られている。このようにして精製さ
れた高純度の過酸化水素はシリコンウエハ等の洗浄にお
いて塩基性もしくは酸性の過酸化水素として広く使用さ
れており、最近の集積回路の高密度化に伴い、さらに高
い精製度が要求されつつある。
【０００３】
【発明が解決しようとする問題点】しかし、現状の精製
技術では今後要求が予想されるより高純度の過酸化水素
を製造するのは難しく、例えば有機不純物についてはそ
の除去が極めて困難である。これらの不純物がシリコン
ウエハに残留した場合の影響については現在のところま
だ明確ではないが、半導体の高集積化に伴いこれらの不
純物を除去する従来以上の精製技術が要望されている。
技術では今後要求が予想されるより高純度の過酸化水素
を製造するのは難しく、例えば有機不純物についてはそ
の除去が極めて困難である。これらの不純物がシリコン
ウエハに残留した場合の影響については現在のところま
だ明確ではないが、半導体の高集積化に伴いこれらの不
純物を除去する従来以上の精製技術が要望されている。
【０００４】
【問題を解決するための手段】本発明者らは上記の問題
を解決すべく鋭意検討した結果、過酸化水素にオゾンを
接触させることが極めて有効であることを見いだし本発
明を完成するに至った。即ちオゾンを過酸化水素と接触
させることによって過酸化水素液中の有機不純物が酸化
分解され炭酸ガスとなって空気中に放出されるため、過
酸化水素中の有機不純物の除去が可能となる。過酸化水
素にオゾンを接触させる方法に関しては特に制限はない
が、高濃度、高純度のオゾンガスを吹き込み攪拌等を行
うのが好ましい。ここで攪拌に関しては特に制限はない
が、強攪拌によるオゾンガスとの効率的接触がより好ま
しい。また、超純水等に溶解させた高濃度のオゾン水を
過酸化水素水の希釈に用いる方法も好ましい。これらの
操作で過酸化水素中に溶解したオゾンは自然に分解して
しまうため、その後の処理で設備等に悪影響を及ぼすこ
とはない。
を解決すべく鋭意検討した結果、過酸化水素にオゾンを
接触させることが極めて有効であることを見いだし本発
明を完成するに至った。即ちオゾンを過酸化水素と接触
させることによって過酸化水素液中の有機不純物が酸化
分解され炭酸ガスとなって空気中に放出されるため、過
酸化水素中の有機不純物の除去が可能となる。過酸化水
素にオゾンを接触させる方法に関しては特に制限はない
が、高濃度、高純度のオゾンガスを吹き込み攪拌等を行
うのが好ましい。ここで攪拌に関しては特に制限はない
が、強攪拌によるオゾンガスとの効率的接触がより好ま
しい。また、超純水等に溶解させた高濃度のオゾン水を
過酸化水素水の希釈に用いる方法も好ましい。これらの
操作で過酸化水素中に溶解したオゾンは自然に分解して
しまうため、その後の処理で設備等に悪影響を及ぼすこ
とはない。
【０００５】オゾンを接触させる過酸化水素水には特に
制限はなく、精製の最終段階の過酸化水素でも良く、ま
た製造で出来た不純物濃度の高い過酸化水素でも良い。
また、このときの過酸化水素の濃度に特に制限はないが
好ましくは１〜７０重量％が良い。また、従来、蒸留法
やイオン交換樹脂による精製で除去出来なかった不純物
が、オゾンによって処理することによって、その後の蒸
留法やイオン交換樹脂等の精製でより効率的に除去が可
能となる。例えば、通常蒸留法で除去出来なかった有機
不純物は、まずオゾンによる酸化で炭酸ガスとして空気
中に放出され減少する。この時オゾンによる酸化が不十
分で炭酸ガスへと分解されなかった有機不純物は蟻酸、
酢酸等の低分子脂肪酸として過酸化水素中に存在する。
これらの低分子脂肪酸はその後蒸留法やイオン交換樹脂
による精製によって容易に除去することが可能となる。
制限はなく、精製の最終段階の過酸化水素でも良く、ま
た製造で出来た不純物濃度の高い過酸化水素でも良い。
また、このときの過酸化水素の濃度に特に制限はないが
好ましくは１〜７０重量％が良い。また、従来、蒸留法
やイオン交換樹脂による精製で除去出来なかった不純物
が、オゾンによって処理することによって、その後の蒸
留法やイオン交換樹脂等の精製でより効率的に除去が可
能となる。例えば、通常蒸留法で除去出来なかった有機
不純物は、まずオゾンによる酸化で炭酸ガスとして空気
中に放出され減少する。この時オゾンによる酸化が不十
分で炭酸ガスへと分解されなかった有機不純物は蟻酸、
酢酸等の低分子脂肪酸として過酸化水素中に存在する。
これらの低分子脂肪酸はその後蒸留法やイオン交換樹脂
による精製によって容易に除去することが可能となる。
【０００６】このオゾンを過酸化水素に接触させた後の
精製に関しては特に制限はなく過酸化水素中の不純物を
除去する精製法であれば良いが、特に蒸留法、イオン交
換樹脂、キレート樹脂、吸着樹脂、逆浸透膜、限外濾過
膜による精製が効果的である。また、これらの精製法は
組み合わせて使用することによってより高純度な過酸化
水素を得ることができる。例えば、オゾンを接触させた
過酸化水素をまず蒸留法で精製し、吸着樹脂、アニオン
交換樹脂、カチオン交換樹脂、逆浸透膜の順序でカラム
法による通液を行うとかなり高純度の過酸化水素を得る
事が出来る。この組み合わせ方、組み合わせの数に関し
てはより高純度の過酸化水素を得る方法であれば特に制
限はない。
精製に関しては特に制限はなく過酸化水素中の不純物を
除去する精製法であれば良いが、特に蒸留法、イオン交
換樹脂、キレート樹脂、吸着樹脂、逆浸透膜、限外濾過
膜による精製が効果的である。また、これらの精製法は
組み合わせて使用することによってより高純度な過酸化
水素を得ることができる。例えば、オゾンを接触させた
過酸化水素をまず蒸留法で精製し、吸着樹脂、アニオン
交換樹脂、カチオン交換樹脂、逆浸透膜の順序でカラム
法による通液を行うとかなり高純度の過酸化水素を得る
事が出来る。この組み合わせ方、組み合わせの数に関し
てはより高純度の過酸化水素を得る方法であれば特に制
限はない。
【０００７】
実施例１ 有機不純物（ＴＯＣ）として５０ｐｐｍを含む３１重量
％の過酸化水素８００ｍｌに２００ｍｇ／ｌのオゾンガ
スを０．８ｌ／ｍｉｎで吹き込みながら１０ｍｉｎ攪拌
を行った。処理後の有機不純物濃度を測定したところ２
９ｐｐｍであった。
％の過酸化水素８００ｍｌに２００ｍｇ／ｌのオゾンガ
スを０．８ｌ／ｍｉｎで吹き込みながら１０ｍｉｎ攪拌
を行った。処理後の有機不純物濃度を測定したところ２
９ｐｐｍであった。
【０００８】実施例２ 有機不純物（ＴＯＣ）として５０ｐｐｍを含む３１重量
％の過酸化水素８００ｍｌに２００ｍｇ／ｌのオゾンガ
スを０．８ｌ／ｍｉｎで吹き込みながら１０ｍｉｎ攪拌
を行った。得られた過酸化水素を蒸留精製したところ、
精製過酸化水素中の有機不純物は１９ｐｐｍであった。
％の過酸化水素８００ｍｌに２００ｍｇ／ｌのオゾンガ
スを０．８ｌ／ｍｉｎで吹き込みながら１０ｍｉｎ攪拌
を行った。得られた過酸化水素を蒸留精製したところ、
精製過酸化水素中の有機不純物は１９ｐｐｍであった。
【０００９】実施例３ 有機不純物（ＴＯＣ）として５０ｐｐｍを含む３１重量
％の過酸化水素８００ｍｌに２００ｍｇ／ｌのオゾンガ
スを０．８ｌ／ｍｉｎで吹き込みながら１０ｍｉｎ攪拌
を行った。得られた過酸化水素をカチオン交換樹脂であ
るアンバーライトＩＲ−１２０Ｂ（Ｈ型、オルガノ
（株）製）２０ｍｌを充填した内径１５ｍｍ、長さ３０
ｃｍのテフロン製カラムに空間速度ＳＶ１０ｈｒ-1に通
液した。次いで、アニオン交換樹脂であるアンバーライ
トＩＲＡ−４００（重炭酸型、オルガノ（株）製）２０
ｍｌを充填した内径１５ｍｍ、長さ３０ｃｍのテフロン
製カラムに空間速度ＳＶ１０ｈｒ-1に通液し、精製し
た。得られた精製過酸化水素中の有機不純物は、１６ｐ
ｐｍであった。
％の過酸化水素８００ｍｌに２００ｍｇ／ｌのオゾンガ
スを０．８ｌ／ｍｉｎで吹き込みながら１０ｍｉｎ攪拌
を行った。得られた過酸化水素をカチオン交換樹脂であ
るアンバーライトＩＲ−１２０Ｂ（Ｈ型、オルガノ
（株）製）２０ｍｌを充填した内径１５ｍｍ、長さ３０
ｃｍのテフロン製カラムに空間速度ＳＶ１０ｈｒ-1に通
液した。次いで、アニオン交換樹脂であるアンバーライ
トＩＲＡ−４００（重炭酸型、オルガノ（株）製）２０
ｍｌを充填した内径１５ｍｍ、長さ３０ｃｍのテフロン
製カラムに空間速度ＳＶ１０ｈｒ-1に通液し、精製し
た。得られた精製過酸化水素中の有機不純物は、１６ｐ
ｐｍであった。
【００１０】比較例１ 有機不純物（ＴＯＣ）として５０ｐｐｍを含む３１重量
％の過酸化水素８００ｍｌを蒸留精製行った。得られた
過酸化水素中の有機不純物は４４ｐｐｍであった。
％の過酸化水素８００ｍｌを蒸留精製行った。得られた
過酸化水素中の有機不純物は４４ｐｐｍであった。
【００１１】
【発明の効果】本発明によれば、不純物を高い効率で除
去することができ、特に吸着樹脂、イオン交換樹脂等で
精製効率の低い有機不純物を効率よく除去することがで
きる。本発明により得られた高純度の過酸化水素はシリ
コンウエハの洗浄に好適に使用し得るものである。
去することができ、特に吸着樹脂、イオン交換樹脂等で
精製効率の低い有機不純物を効率よく除去することがで
きる。本発明により得られた高純度の過酸化水素はシリ
コンウエハの洗浄に好適に使用し得るものである。
Claims (3)
- 【請求項１】 過酸化水素をオゾンと接触させることを
特徴とする過酸化水素の精製法。 - 【請求項２】 後処理として、蒸留することを特徴とす
る請求項１記載の過酸化水素の精製法。 - 【請求項３】 後処理として、イオン交換樹脂、吸着樹
脂、キレート樹脂、逆浸透膜、限外濾過膜のいずれか一
つ以上に接触させることを特徴とする請求項１記載の過
酸化水素の精製法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22667595A JP3794040B2 (ja) | 1995-09-04 | 1995-09-04 | 過酸化水素の精製法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22667595A JP3794040B2 (ja) | 1995-09-04 | 1995-09-04 | 過酸化水素の精製法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0971404A true JPH0971404A (ja) | 1997-03-18 |
| JP3794040B2 JP3794040B2 (ja) | 2006-07-05 |
Family
ID=16848902
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22667595A Expired - Fee Related JP3794040B2 (ja) | 1995-09-04 | 1995-09-04 | 過酸化水素の精製法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3794040B2 (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1520839A1 (en) * | 2003-10-02 | 2005-04-06 | SOLVAY (Société Anonyme) | Process for the purification of aqueous peroxygen solutions, solutions obtainable thereby and their use |
| CN113636526A (zh) * | 2021-06-16 | 2021-11-12 | 江阴润玛电子材料股份有限公司 | 一种超净高纯过氧化氢的生产工艺 |
-
1995
- 1995-09-04 JP JP22667595A patent/JP3794040B2/ja not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1520839A1 (en) * | 2003-10-02 | 2005-04-06 | SOLVAY (Société Anonyme) | Process for the purification of aqueous peroxygen solutions, solutions obtainable thereby and their use |
| WO2005033005A1 (en) * | 2003-10-02 | 2005-04-14 | Solvay (Société Anonyme) | Process for the purification of aqueous peroxygen solutions, solutions obtainable thereby and their use |
| JP2007507411A (ja) * | 2003-10-02 | 2007-03-29 | ソルヴェイ | 水性過酸化物溶液の精製方法、それによって得られる溶液及びそれらの使用 |
| US7473412B2 (en) | 2003-10-02 | 2009-01-06 | Solvay (Société Anonyme) | Process for the purification of aqueous peroxygen solutions, solutions obtainable thereby and their use |
| CN113636526A (zh) * | 2021-06-16 | 2021-11-12 | 江阴润玛电子材料股份有限公司 | 一种超净高纯过氧化氢的生产工艺 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3794040B2 (ja) | 2006-07-05 |
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