JPH0969422A - Metallic magnetic material and its manufacturing method - Google Patents

Metallic magnetic material and its manufacturing method

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JPH0969422A
JPH0969422A JP7222941A JP22294195A JPH0969422A JP H0969422 A JPH0969422 A JP H0969422A JP 7222941 A JP7222941 A JP 7222941A JP 22294195 A JP22294195 A JP 22294195A JP H0969422 A JPH0969422 A JP H0969422A
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JP
Japan
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magnetic
phase
metal
substrate
magnetic material
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP7222941A
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Japanese (ja)
Inventor
Akifusa Takamura
昭房 高村
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Fujitsu Sinter Ltd
Original Assignee
Fujitsu Sinter Ltd
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Publication date
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide the title metallic magnetic material having excellent mass productivity and reliability without losing magnetic phase even if repeatedly exposed to heating and cooling steps. SOLUTION: An Sn-Ag eutectic alloy is melt-junctioned on the surface of a base substance made of austenite stainless steel to be annealed after heating at the temperature of 800-1200 deg.C. Through these procedures, the Sn diffused and infiltrated part of the austenite phase is transformed into ferrite phase thereby enabling magnetic parts 2 to be formed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、非磁性部分と磁性
部分とを有し、ブラシレスモータ、電磁弁及び磁気を利
用した識別標識や各種センサ等に使用される金属磁性材
及びその製造方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a metallic magnetic material having a non-magnetic portion and a magnetic portion and used for a brushless motor, an electromagnetic valve, an identification mark using magnetism, various sensors and the like, and a method for manufacturing the same. .

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、ブラシレスモータのディスクとし
て、ほぼ円板状の基体と、この基体の表面に周方向に配
列された磁性部とにより構成された金属磁性材が使用さ
れている。この金属磁性材は、非磁性体の基体の表面
に、磁性部として磁性体を接合することにより形成され
ている。
2. Description of the Related Art Conventionally, as a disk of a brushless motor, a metal magnetic material composed of a substantially disk-shaped base body and magnetic portions arranged in the circumferential direction on the surface of the base body has been used. This metallic magnetic material is formed by joining a magnetic body as a magnetic portion to the surface of a non-magnetic base body.

【0003】しかし、このように磁性体を接合して形成
された金属磁性材は、製造が煩雑であると共に、磁性体
が剥がれるおそれがあり信頼性が低いという欠点があ
る。このため、従来から、接合によらないで非磁性材の
表面に選択的に磁性部を形成した金属磁性材が要望され
ており、また、このような金属磁性材の製造方法が検討
されている。
However, the metal magnetic material formed by joining the magnetic bodies in this way has the drawbacks that the production is complicated and the magnetic body may peel off, resulting in low reliability. Therefore, conventionally, there has been a demand for a metal magnetic material in which a magnetic portion is selectively formed on the surface of a non-magnetic material without using bonding, and a method for producing such a metal magnetic material has been studied. .

【0004】例えば、従来、非磁性(オーステナイト)
相と磁性(フェライト)相とが微細に混在する組織を有
する二相金属として、二相ステンレス鋼が開発されてい
る。しかし、この二相ステンレス鋼は全体として強磁性
を示し、非磁性部と磁性部とを任意に配置することがで
きない。また、常温で非磁性を示すオーステナイトステ
ンレス鋼に加工応力を加え、マルテンサイト組織を誘起
させて強磁性を得る方法もある。しかし、この方法にお
いては、マルテンサイト組織の発生量を制御しにくいと
いう欠点がある。また、この方法では、強磁性が比較的
低温で消滅してしまうという問題点もある。
For example, conventionally, non-magnetic (austenite)
Duplex stainless steel has been developed as a duplex metal having a structure in which a phase and a magnetic (ferrite) phase are finely mixed. However, this duplex stainless steel exhibits ferromagnetism as a whole, and the nonmagnetic portion and the magnetic portion cannot be arbitrarily arranged. There is also a method of applying a processing stress to austenitic stainless steel that is non-magnetic at room temperature to induce a martensitic structure and obtain ferromagnetism. However, this method has a drawback that it is difficult to control the generation amount of the martensite structure. Further, this method has a problem that the ferromagnetism disappears at a relatively low temperature.

【0005】更に、特開昭57−203747号公報に
は、所定量のMn及びCoを含有すると共にSi含有量
を規制し、残部がFeからなる合金が提案されている。
この合金は、レーザ又は電子ビームで部分的に加熱した
後、焼鈍することにより、部分的に磁性相を得ることが
できる。
Further, Japanese Patent Application Laid-Open No. 57-203747 proposes an alloy containing a predetermined amount of Mn and Co, controlling the Si content, and the balance being Fe.
The alloy can be partially heated by a laser or an electron beam and then annealed to partially obtain a magnetic phase.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、特開昭
57−203747号に記載された合金は、磁性相を得
るのにレーザ装置又は電子ビーム装置等の大掛かりな装
置が必要であり、煩雑であるという問題点がある。ま
た、この合金は、非磁性相から磁性相への相変態が可逆
的であり、加熱・冷却を繰り返し受ける環境において使
用すると、磁性相が消滅することがあるという欠点があ
る。更に、この合金は、一箇所づつレーザ又は電子ビー
ムを照射する必要があり、量産性が悪いという欠点もあ
る。
However, the alloy described in JP-A-57-203747 is complicated because it requires a large-scale device such as a laser device or an electron beam device to obtain a magnetic phase. There is a problem. In addition, this alloy has a drawback that the phase transformation from a non-magnetic phase to a magnetic phase is reversible, and the magnetic phase may disappear when used in an environment where heating and cooling are repeatedly performed. Further, this alloy has a drawback that it is necessary to irradiate a laser or an electron beam one by one, and mass productivity is poor.

【0007】本発明は、上記の従来例の問題点に鑑みて
創作されたものであり、レーザ装置又は電子ビーム装置
等の大掛かりな装置が不要であり、量産性が優れている
と共に、加熱・冷却を繰り返し受けても磁性相が消える
ことがなく信頼性が高い金属磁性材及びその製造方法を
提供することを目的とするものである。
The present invention was created in view of the above-mentioned problems of the conventional example, does not require a large-scale device such as a laser device or an electron beam device, is excellent in mass productivity, and can be heated and heated. It is an object of the present invention to provide a highly reliable metal magnetic material in which the magnetic phase does not disappear even after repeated cooling and a method for manufacturing the same.

【0008】[0008]

【課題を解決するための手段】上記した課題は、Feを
含有する非磁性金属からなる基体の表層に磁性相を選択
的に形成した金属磁性材であって、前記基体は、常温で
オーステナイト相を有し、前記磁性相は前記基体の表層
に非磁性元素を選択的に導入して該基体の表層のオース
テナイト相をフェライト相に変態させたものであること
を特徴とする金属磁性材により解決する。
The above-mentioned problem is a metal magnetic material in which a magnetic phase is selectively formed on the surface layer of a base made of a non-magnetic metal containing Fe, and the base has an austenite phase at room temperature. And the magnetic phase is obtained by selectively introducing a non-magnetic element into the surface layer of the substrate to transform the austenite phase of the surface layer of the substrate into a ferrite phase. To do.

【0009】なお、前記基体は、オーステナイトステン
レス鋼又はオーステナイト相とフェライト相との混合組
織を有する二相金属であってもよい。また、前記非磁性
元素としては、Snを使用することができる。第2に、
Feを含有し、常温でオーステナイト相を有する非磁性
金属からなる基体の表面にSnを付着又は溶着させる工
程と、該基体を800乃至1200℃に加熱して前記S
nを該基体の表層に拡散(浸透を含む)させる工程と、
その後、徐冷する工程とを有することを特徴とする金属
磁性材の製造方法により解決する。
The substrate may be austenitic stainless steel or a two-phase metal having a mixed structure of an austenite phase and a ferrite phase. In addition, Sn can be used as the non-magnetic element. Second,
A step of depositing or welding Sn onto the surface of a base body containing a nonmagnetic metal containing Fe and having an austenite phase at room temperature; and heating the base body to 800 to 1200 ° C.
d diffusing (including permeating) n into the surface layer of the substrate,
After that, it is solved by a method for producing a metal magnetic material, which comprises a step of gradually cooling.

【0010】本発明に係る金属磁性材は、オーステナイ
ト相を有する非磁性金属からなる基体の表層にSn等の
非磁性元素を導入し、この非磁性元素を導入した部分の
基体表層のオーステナイト相をフェライト相に変態させ
て、基体表層に磁性相を選択的に形成したものである。
非磁性元素の導入は、例えばSn又はSn合金を基体表
面に印刷又は溶融接合等により付着又は溶着させ、その
後、800〜1200℃に加熱することにより行う。ま
た、いわゆるセメンテート法によりSn又はSn合金粉
末を基体に付着させ、高温に加熱することによりSnを
基体表面に拡散させてもよい。そして、加熱後、徐冷す
ることにより、非磁性元素が導入した部分のオーステナ
イト相がフェライト相に変態して、磁性を示すようにな
る。このようにして、非磁性金属からなる基体の表層に
磁性相を選択的に形成することができる。
In the metallic magnetic material according to the present invention, a nonmagnetic element such as Sn is introduced into the surface layer of a substrate made of a nonmagnetic metal having an austenite phase, and the austenite phase in the surface layer of the substrate in the portion where the nonmagnetic element is introduced is changed. The magnetic phase is selectively formed on the surface layer of the substrate by transforming into the ferrite phase.
The nonmagnetic element is introduced by, for example, depositing or welding Sn or a Sn alloy on the surface of the substrate by printing, fusion bonding, or the like, and then heating to 800 to 1200 ° C. Further, Sn or Sn alloy powder may be attached to the substrate by a so-called cementate method, and the Sn may be diffused on the substrate surface by heating to a high temperature. Then, by heating and then gradually cooling, the austenite phase in the portion into which the non-magnetic element is introduced is transformed into a ferrite phase and becomes magnetic. In this way, the magnetic phase can be selectively formed on the surface layer of the substrate made of a non-magnetic metal.

【0011】この場合に、オーステナイト相からフェラ
イト相への変態は不可逆的であり、加熱・冷却を繰り返
しても、磁性相が消滅することがない。また、熱処理に
より磁性相を形成するため、複数の基材を同時に処理す
ることが可能であり、量産性が優れている。なお、前記
熱処理の際の温度が800℃未満の場合は、オーステナ
イト相からフェライト相への変態が充分でなく、磁性相
を得ることができない。また、熱処理の温度が1200
℃を超えると、金属材が変形してしまう。このため、熱
処理の温度は800乃至1200℃とすることが必要で
ある。
In this case, the transformation from the austenite phase to the ferrite phase is irreversible, and the magnetic phase does not disappear even if heating and cooling are repeated. Further, since the magnetic phase is formed by heat treatment, it is possible to treat a plurality of base materials at the same time, and mass productivity is excellent. When the temperature during the heat treatment is less than 800 ° C., the transformation from the austenite phase to the ferrite phase is not sufficient and the magnetic phase cannot be obtained. Also, the heat treatment temperature is 1200
If the temperature exceeds ℃, the metal material will be deformed. Therefore, it is necessary to set the heat treatment temperature to 800 to 1200 ° C.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て、添付の図面を参照して説明する。 (第1の形態)図1は本発明に係る金属磁性材の第1の
形態を示す平面図である。なお、本形態は、本発明を自
動車用ABS(アンチロックブレーキングシステム)装
置のセンサ部に適用した例を示す。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. (First Embodiment) FIG. 1 is a plan view showing a first embodiment of a metal magnetic material according to the present invention. The present embodiment shows an example in which the present invention is applied to a sensor unit of an automobile ABS (anti-lock braking system) device.

【0013】基体1はSUS316ステンレス鋼により
円板状に形成されており、その表面には、ほぼ矩形状の
磁性部2が周方向に一定のピッチで配列されている。こ
の磁性部2は、基体1の表面にSnを拡散させて、基体
1の表層のオーステナイト相をフェライト相に変態させ
ることにより磁性相としたものである。ABS装置のセ
ンサ部は、タイヤホイールと共に回転するように取り付
けられた基体1と、車体側に取り付けられた磁気検出用
のホール素子とにより構成される。このように構成され
たABS装置において、タイヤホイールが回転している
間はホール素子から回転数に応じたパルス信号が出力さ
れ、ブレーキをかけてホイールがロックするとこのパル
ス信号が停止する。ABS装置は、ホール素子の出力に
応じてブレーキ力を制御し、自動車を安全に停止させ
る。
The substrate 1 is made of SUS316 stainless steel in the shape of a disk, and on the surface thereof, substantially rectangular magnetic portions 2 are arranged at a constant pitch in the circumferential direction. The magnetic part 2 is made to be a magnetic phase by diffusing Sn on the surface of the substrate 1 and transforming the austenite phase of the surface layer of the substrate 1 into a ferrite phase. The sensor unit of the ABS device is composed of a base body 1 mounted so as to rotate together with a tire wheel, and a Hall element for magnetic detection mounted on the vehicle body side. In the ABS device configured as described above, while the tire wheel is rotating, the hall element outputs a pulse signal corresponding to the number of revolutions. When the brake is applied to lock the wheel, the pulse signal is stopped. The ABS device controls the braking force according to the output of the hall element to stop the vehicle safely.

【0014】このABS装置のセンサ部は、ブレーキン
グの際に発生する熱により加熱されたときでも、磁性部
2がオーステナイト相からフェライト相への変態により
形成されたものであるので相変態が可逆的ではなく、加
熱・冷却を繰り返しても磁性相が消滅するおそれがな
い。このため、本形態に係る金属磁性材は信頼性が高
い。
In the sensor part of this ABS device, the magnetic part 2 is formed by the transformation from the austenite phase to the ferrite phase even when heated by the heat generated during braking, so the phase transformation is reversible. The magnetic phase does not disappear even if heating and cooling are repeated. Therefore, the metallic magnetic material according to this embodiment has high reliability.

【0015】以下、本形態に係る金属磁性材の製造方法
について説明する。まず、基体1として、円板状のオー
ステナイトステンレス鋼(SUS316)を用意する。
そして、この基体1の表面の磁性相とすべき部分に、S
n−Ag共晶合金を溶融接合する。なお、Sn−Ag共
晶合金の溶融接合に替えて、印刷法等により、基体1の
表面にSnを含有するペースト等を付着又は溶着させて
もよい。
The method of manufacturing the metallic magnetic material according to this embodiment will be described below. First, as the substrate 1, a disk-shaped austenitic stainless steel (SUS316) is prepared.
Then, in the portion of the surface of the substrate 1 that is to be the magnetic phase, S
The n-Ag eutectic alloy is melt-bonded. Note that, instead of the melt-bonding of the Sn-Ag eutectic alloy, a paste or the like containing Sn may be attached or welded to the surface of the substrate 1 by a printing method or the like.

【0016】次に、基体1を約850℃の温度で約15
分間加熱し、基体1の表層にSnを拡散浸透させる。そ
の後、5〜10℃/分程度の冷却速度で徐冷する。これ
により、Snが拡散浸透した部分の基体1表層のオース
テナイト相がフェライト相に変態して磁性を有するよう
になり、本形態の金属磁性材が完成する。本製造方法に
よれば、Sn−Ag共晶合金を円板状の基体1の表面に
溶融接合した後、加熱炉内で熱処理すればよいので、レ
ーザ装置又は電子ビーム装置等の大掛かりな装置が不要
であると共に、多数の金属磁性材を同時に製造すること
が容易であり、量産性が優れている。また、前記オース
テナイト相からフェライト相への変態が不可逆的である
ので、加熱・冷却を繰り返しても磁性相が消えてしまう
ことがなく、信頼性が高い。
Next, the substrate 1 is heated at a temperature of about 850 ° C. for about 15 minutes.
After heating for a minute, Sn is diffused and permeated into the surface layer of the substrate 1. After that, it is gradually cooled at a cooling rate of about 5 to 10 ° C./minute. As a result, the austenite phase of the surface layer of the substrate 1 at the portion where Sn diffuses and diffuses is transformed into a ferrite phase and becomes magnetic, and the metallic magnetic material of the present embodiment is completed. According to this manufacturing method, after the Sn—Ag eutectic alloy is melt-bonded to the surface of the disk-shaped substrate 1, heat treatment may be performed in a heating furnace, so that a large-scale device such as a laser device or an electron beam device can be used. In addition to being unnecessary, it is easy to manufacture a large number of metal magnetic materials at the same time, and mass productivity is excellent. Further, since the transformation from the austenite phase to the ferrite phase is irreversible, the magnetic phase does not disappear even if heating and cooling are repeated, and the reliability is high.

【0017】(第2の形態)図2は本発明の第2の形態
を示す平面図である。本形態は、本発明をブラシレスモ
ータのディスクに適用した例を示す。基体11はSUS
316ステンレス鋼からなり、円板状に形成されてい
る。また、基体11の表面には、周方向に沿って扇状の
磁性部12が設けられている。これら磁性部12は、そ
の周方向の幅が一定の間隔で大→小→大というように段
階的に変化している。
(Second Embodiment) FIG. 2 is a plan view showing a second embodiment of the present invention. This embodiment shows an example in which the present invention is applied to a disk of a brushless motor. The base 11 is SUS
It is made of 316 stainless steel and is formed into a disc shape. A fan-shaped magnetic portion 12 is provided on the surface of the base 11 along the circumferential direction. The widths of the magnetic portions 12 in the circumferential direction are gradually changed from a large size to a small size to a large size at regular intervals.

【0018】本形態の金属磁性材は、第1の形態と同様
に、円板状の基体11の表面にSnを拡散浸透させて、
基体11の表面のオーステナイト相をフェライト相に変
態させることにより形成されている。本形態において
は、第1の形態と同様の効果を得ることができるのに加
えて、基体11の周方向における磁性部の幅が段階的に
変化しているので、モータの回転がスムーズであるとい
う効果を奏する。
In the metallic magnetic material of this embodiment, Sn is diffused and permeated into the surface of the disk-shaped substrate 11 as in the first embodiment,
It is formed by transforming the austenite phase on the surface of the base 11 into a ferrite phase. In this embodiment, the same effect as in the first embodiment can be obtained, and in addition, since the width of the magnetic portion in the circumferential direction of the base 11 is changed stepwise, the rotation of the motor is smooth. Has the effect.

【0019】なお、本発明は、磁気特性がほぼ連続的に
変化するいわゆる傾斜特性部材として上述のブラシレス
モータのディスク以外にも適用することができる。以
下、本発明に係る金属磁性材を実際に製造し、その特性
を調べた結果について説明する。先ず、非磁性のオース
テナイトステンレス鋼(SUS316)の焼結金属材を
基体とし、この基体の表面の所望の領域にSn−Ag共
晶合金(非磁性)を溶融接合した。その後、この基体を
850〜1200℃に加熱して、Sn及びAgを基体中
に拡散浸透させる熱処理を行った。
The present invention can be applied as a so-called tilt characteristic member whose magnetic characteristics change substantially continuously, other than the above-mentioned disk of the brushless motor. Hereinafter, the results of actually manufacturing the metal magnetic material according to the present invention and examining its characteristics will be described. First, a nonmagnetic austenitic stainless steel (SUS316) sintered metal material was used as a substrate, and a Sn-Ag eutectic alloy (nonmagnetic) was melt-bonded to a desired region on the surface of the substrate. After that, this substrate was heated to 850 to 1200 ° C., and heat treatment was performed to diffuse and permeate Sn and Ag into the substrate.

【0020】次いで、熱処理後の基体を、約5〜10℃
/分の冷却速度で室温まで徐冷した。これにより、非磁
性元素が浸透した部分は常温で強磁性のフェライト相に
変態し、磁性相を得ることができた。なお、基体内部の
非磁性元素が浸透していない部分は非磁性のままであ
る。図3は表層に非磁性元素を拡散浸透させる処理を施
した金属材(以下、実施の形態という)の断面における
金属組織を示す写真(倍率:50倍)、図4は同じく実
施の形態の断面における金属組織を示す写真(倍率:2
00倍)、図5は表層に非磁性元素を拡散浸透させる処
理を施していない金属材(以下、比較例という)の断面
における金属組織を示す写真(倍率:50倍)である。
この図3〜図5から明らかなように、非磁性元素が拡散
浸透した部分は、結晶状態が変化していることがわか
る。なお、図3〜図5において、無数の黒点は焼結金属
に存在する空孔である。
Then, the substrate after the heat treatment is heated to about 5 to 10 ° C.
It was gradually cooled to room temperature at a cooling rate of / min. As a result, the portion where the non-magnetic element penetrated was transformed into a ferromagnetic ferrite phase at room temperature, and a magnetic phase could be obtained. It should be noted that the portion of the base body where the non-magnetic element has not penetrated remains non-magnetic. FIG. 3 is a photograph (magnification: 50 times) showing a metal structure in a cross section of a metal material (hereinafter, referred to as an embodiment) which has been subjected to a treatment of diffusing and permeating a nonmagnetic element into the surface layer, and FIG. 4 is a cross section of the same embodiment. Photograph showing the metallographic structure (magnification: 2
FIG. 5 is a photograph (magnification: 50 times) showing a metal structure in a cross section of a metal material (hereinafter, referred to as a comparative example) which is not subjected to a treatment for diffusing and permeating a non-magnetic element into the surface layer.
As is clear from FIGS. 3 to 5, it can be seen that the crystal state is changed in the portion where the non-magnetic element is diffused and permeated. In addition, in FIGS. 3 to 5, innumerable black dots are holes existing in the sintered metal.

【0021】図6は、X線回折装置を使用して、実施の
形態及び比較例の金属材表面の結晶構造を調べた結果を
示す図である。この図から明らかなように、実施の形態
の金属材についてはBCC(体心立方格子)による回折
ピークと若干のFCC(面立方格子)の(111)結晶
構造による回折ピークが検出された。また、非処理品に
ついては、FCC回折ピークのみが検出された。このこ
とから、実施の形態の金属材については、強磁性の相が
形成されていることを確認できた。
FIG. 6 is a diagram showing the results of examining the crystal structures of the surfaces of the metal materials of the embodiment and the comparative example using the X-ray diffractometer. As is clear from this figure, for the metal material of the embodiment, a diffraction peak due to BCC (body centered cubic lattice) and a slight diffraction peak due to the (111) crystal structure of FCC (face cubic lattice) were detected. Further, for the untreated product, only the FCC diffraction peak was detected. From this, it was confirmed that a ferromagnetic phase was formed in the metal material of the embodiment.

【0022】次に、振動試料型磁気測定装置(VSM)
を使用して、同一の焼結材から切り出した基体を使用し
て形成された実施の形態及び比較例の常温磁気特性を測
定した。その結果を、下記表1に示す。
Next, a vibrating sample type magnetometer (VSM)
Was used to measure the room temperature magnetic characteristics of the embodiment and the comparative example formed by using the substrate cut out from the same sintered material. The results are shown in Table 1 below.

【0023】[0023]

【表1】 [Table 1]

【0024】図7,8は、横軸に磁場の強さをとり、縦
軸に磁束密度をとって、振動試料型磁気測定装置を使用
して実施の形態(図7)及び比較例(図8)の磁化特性
を調べた結果を示す図である。この図7,8及び上記表
1に示すように、実施の形態の磁化及び飽和磁束密度
は、比較例の約100倍であった。
In FIGS. 7 and 8, the horizontal axis represents magnetic field strength and the vertical axis represents magnetic flux density, and the vibration sample type magnetic measurement apparatus is used for the embodiment (FIG. 7) and the comparative example (FIG. 7). It is a figure which shows the result of having investigated the magnetization characteristic of 8). As shown in FIGS. 7 and 8 and Table 1 above, the magnetization and saturation magnetic flux density of the embodiment were about 100 times that of the comparative example.

【0025】[0025]

【発明の効果】以上のように、本発明によれば、Feを
含有する非磁性金属の表層に非磁性元素を導入してオー
ステナイト相をフェライト相に変態させることにより磁
性相を形成しているので、加熱・冷却を繰り返しても磁
性相が消えてしまうおそれがなく、信頼性が高い。
As described above, according to the present invention, a magnetic phase is formed by introducing a nonmagnetic element into the surface layer of a nonmagnetic metal containing Fe and transforming the austenite phase into a ferrite phase. Therefore, the magnetic phase does not disappear even if heating and cooling are repeated, and the reliability is high.

【0026】また、本発明方法においては、オーステナ
イト相を有する非磁性金属からなる基体の表面にSnを
付着させた後、熱処理により前記Snを拡散させて、基
体の表層のオーステナイト相をフェライト相に変態させ
ることにより磁性相を形成するので、レーザ装置又は電
子ビーム装置等の大掛かりな装置が不要であると共に、
多数の基体を同時に処理することができて、量産性が優
れているという効果を奏する。
Further, in the method of the present invention, Sn is adhered to the surface of a substrate made of a non-magnetic metal having an austenite phase, and then the Sn is diffused by heat treatment to convert the austenite phase of the surface layer of the substrate into a ferrite phase. Since the magnetic phase is formed by transformation, a large-scale device such as a laser device or an electron beam device is unnecessary, and
Since a large number of substrates can be processed at the same time, the mass productivity is excellent.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の形態を示す平面図である。FIG. 1 is a plan view showing a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第2の形態を示す平面図である。FIG. 2 is a plan view showing a second embodiment of the present invention.

【図3】実施の形態の金属組織を示す写真(倍率:50
倍)である。
FIG. 3 is a photograph showing the metal structure of the embodiment (magnification: 50).
Times).

【図4】同じく実施の形態の金属組織を示す写真(倍
率:200倍)である。
FIG. 4 is a photograph (magnification: 200 times) showing the metal structure of the same embodiment.

【図5】比較例の金属組織を示す写真(倍率:50倍)
である。
FIG. 5 is a photograph showing a metal structure of a comparative example (magnification: 50 times).
It is.

【図6】実施の形態及び比較例の表面の結晶構造をX線
回折装置を使用して調べた結果を示す図である。
FIG. 6 is a diagram showing the results of examining the crystal structures of the surfaces of the embodiment and the comparative example using an X-ray diffractometer.

【図7】実施の形態の磁化特性を調べた結果を示す図で
ある。
FIG. 7 is a diagram showing a result of examining the magnetization characteristic of the embodiment.

【図8】比較例の磁化特性を調べた結果を示す図であ
る。
FIG. 8 is a diagram showing a result of examining magnetization characteristics of a comparative example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,11 基体 2,12 磁性部 1,11 Base 2,12 Magnetic part

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 Feを含有する非磁性金属からなる基体
の表層に磁性相を選択的に形成した金属磁性材であっ
て、 前記基体は、常温でオーステナイト相を有し、 前記磁性相は前記基体の表層に非磁性元素を選択的に導
入して該基体の表層のオーステナイト相をフェライト相
に変態させたものであることを特徴とする金属磁性材。
1. A metal magnetic material in which a magnetic phase is selectively formed on a surface layer of a base made of a non-magnetic metal containing Fe, wherein the base has an austenite phase at room temperature, and the magnetic phase is A metal magnetic material characterized in that a non-magnetic element is selectively introduced into the surface layer of a substrate to transform the austenite phase of the surface layer of the substrate into a ferrite phase.
【請求項2】 前記基体は、オーステナイトステンレス
鋼からなることを特徴とする請求項1に記載の金属磁性
材。
2. The magnetic metal material according to claim 1, wherein the substrate is made of austenitic stainless steel.
【請求項3】 前記基体は、オーステナイト相とフェラ
イト相との混合組織を有する二相金属からなることを特
徴とする請求項1に記載の金属磁性材。
3. The metal magnetic material according to claim 1, wherein the base is made of a two-phase metal having a mixed structure of an austenite phase and a ferrite phase.
【請求項4】 前記非磁性元素はSnであることを特徴
とする請求項1乃至3のいずれかに記載の金属磁性材。
4. The metal magnetic material according to claim 1, wherein the non-magnetic element is Sn.
【請求項5】 Feを含有し、常温でオーステナイト相
を有する非磁性金属からなる基体の表面にSnを付着又
は溶着させる工程と、 該基体を800乃至1200℃に加熱して前記Snを該
基体の表層に拡散させる工程と、 その後、徐冷する工程とを有することを特徴とする金属
磁性材の製造方法。
5. A step of adhering or fusing Sn to the surface of a substrate made of a nonmagnetic metal containing Fe and having an austenite phase at room temperature, and heating the substrate to 800 to 1200 ° C. 2. A method for producing a metal magnetic material, comprising: a step of diffusing into the surface layer of 1. and a step of gradually cooling thereafter.
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2009120046A3 (en) * 2008-03-28 2010-01-14 백명호 Direct current brushless vibration motor
KR100979954B1 (en) * 2008-03-28 2010-09-03 백명호 Bracket of Vibrator motor for Brushless Direct Current and menufacturing method of the same

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