JPH0964069A - Apparatus and method for mounting chip - Google Patents

Apparatus and method for mounting chip

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JPH0964069A
JPH0964069A JP21028095A JP21028095A JPH0964069A JP H0964069 A JPH0964069 A JP H0964069A JP 21028095 A JP21028095 A JP 21028095A JP 21028095 A JP21028095 A JP 21028095A JP H0964069 A JPH0964069 A JP H0964069A
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chip
display panel
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rotation means
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Yasuto Onizuka
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an apparatus and a method for mounting a chip capable of accurately mounting the chip at a high speed on the electrodes of the edges of a plurality of sizes of a display panel. SOLUTION: A display panel 1 is held at a holder 28. A roughly rotating motor 32 for largely rotating the holder 28 at the axial line as a center at a high speed, a belt 34 and a large pulley are provided. A motor 42 for horizontally oscillating an oscillating member 31 is provided. The member 31 is integral with the holder 28. When the motor 42 is driven, the holder 28 is accurately rotated at an infinitesimal angle. The panel 1 is mounted at the holder 28, and chips are bonded to the edges of the three sides, and the correction of the θ direction of the electrodes of the panel 1 and the other leads of the chip is conducted by precisely rotating the holder 28 by driving the motor 42. When the panel 1 is rotated at 90 deg. to alter the direction, the holder 28 is rotated at a high speed by the motor 32.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、回路基板や表示パネル
等の基板の縁部の電極上にチップをボンディングするチ
ップの実装装置および実装方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a chip mounting apparatus and a chip mounting method for bonding a chip onto an electrode at an edge of a substrate such as a circuit board or a display panel.

【0002】[0002]

【従来の技術】電子機器のディスプレイとして用いられ
る表示パネルは、透明板を2枚貼り合わせ、その縁部に
設けられた電極上に、そのドライバであるチップのアウ
ターリードをボンディングして組み立てられる。表示パ
ネルの電極やチップのアウターリードは極細狭ピッチで
形成されており、したがって高いボンディング精度が要
求される。また表示パネルには、一般にその3辺の縁部
に多数個のチップをボンディングするものであり、した
がってボンディング速度の高速性も要求される。
2. Description of the Related Art A display panel used as a display for electronic equipment is assembled by bonding two transparent plates and bonding the outer leads of a chip, which is the driver, onto electrodes provided on the edges of the transparent plates. The electrodes of the display panel and the outer leads of the chip are formed with an extremely fine and narrow pitch, and therefore high bonding accuracy is required. Further, a display panel is generally one in which a large number of chips are bonded to the edges of its three sides, and therefore a high bonding speed is also required.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】以上のように表示パネ
ルへのチップのボンディングには高精度と高速性が要求
されるが、この2つの要求を満足する技術は未だ確立さ
れておらず、表示パネル組立ての生産性があがらない実
情にあった。
As described above, the bonding of the chip to the display panel requires high precision and high speed, but the technology for satisfying these two requirements has not been established yet. The reality was that the productivity of panel assembly did not rise.

【0004】そこで本発明は、表示パネルの複数の辺の
縁部の電極上にチップを高精度・高速度でボンディング
できるチップの実装装置および実装方法を提供すること
を目的とする。
Therefore, it is an object of the present invention to provide a chip mounting apparatus and mounting method capable of bonding a chip onto electrodes on edges of a plurality of sides of a display panel with high accuracy and high speed.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】このために本発明は、基
板を位置決めするテーブル部と、このテーブル部に位置
決めされた基板の縁部にチップを搭載する搭載部とを備
えたチップの実装装置において、前記テーブル部が、前
記基板を水平方向に直線的に移動させる直線移動テーブ
ル部と、この直線移動テーブル部上にあって前記基板を
水平回転させる回転テーブル部とを備え、前記回転テー
ブル部が、前記基板を保持する保持部と、この保持部を
その軸心線を中心に大角度回転させる荒回転手段と、前
記荒回転手段と一体の揺動部材を水平方向に揺動させる
ことにより前記保持部を微小角度回転させる精密回転手
段とから成るものである。
To this end, the present invention provides a chip mounting apparatus having a table portion for positioning a substrate and a mounting portion for mounting a chip on the edge portion of the substrate positioned on the table portion. In the table, the table section includes a linear movement table section that linearly moves the substrate in the horizontal direction, and a rotary table section that horizontally rotates the substrate on the linear movement table section. However, by holding a holding part for holding the substrate, a rough rotating means for rotating the holding part at a large angle about its axis, and a swinging member integrated with the rough rotating means in a horizontal direction. It comprises a precision rotating means for rotating the holding portion by a minute angle.

【0006】また基板を保持部に位置決めし、また搭載
ヘッドに保持されたチップをこの基板の一辺の縁部に形
成された電極の近傍に位置させ、その状態でカメラによ
りチップを観察してこれらのX方向、Y方向、θ方向の
相対的な位置ずれを検出する工程と、前記基板が載置さ
れたXテーブルとYテーブルを駆動することによりX方
向およびY方向の位置ずれを補正するとともに、前記荒
回転手段と一体の揺動部材を揺動させることによりθ方
向の位置ずれを補正する工程と、前述の工程を繰り返す
ことにより前記基板の一辺の縁部に複数個のチップを搭
載した後、荒回転手段により前記基板を90°または1
80°水平回転させてその向きを変えた後、基板の他の
辺の縁部に前記各工程と同じ手順によりチップを搭載す
る工程とからチップの実装方法を構成した。
Further, the substrate is positioned on the holding portion, and the chip held by the mounting head is positioned in the vicinity of the electrode formed on the edge of one side of the substrate, and the chip is observed by a camera in this state to Detecting relative displacement in the X, Y, and θ directions, and correcting the displacement in the X and Y directions by driving the X table and the Y table on which the substrate is placed. , A step of correcting the positional deviation in the θ direction by rocking a rocking member integrated with the rough rotation means, and a plurality of chips are mounted on the edge of one side of the substrate by repeating the above-mentioned steps. Then, the substrate is rotated 90 ° or 1 by rough rotation means.
After a horizontal rotation of 80 ° to change its orientation, a chip mounting method was constituted by a step of mounting a chip on the edge portion of the other side of the substrate by the same procedure as the above steps.

【0007】[0007]

【作用】上記構成において、基板とチップの回転方向の
位置補正を行うときは、精密回転手段を駆動して基板を
微小角度精密に回転させる。また基板の1つの辺に対す
るチップのボンディングが終了し、90°あるいは18
0°の大角度水平回転させて他の辺に対するチップのボ
ンディングに移行するときは、荒回転手段を駆動して基
板を大角度高速回転させる。
In the above structure, when the positional correction of the substrate and the chip in the rotational direction is performed, the precision rotation means is driven to rotate the substrate with a fine angle precision. Also, the bonding of the chip to one side of the substrate is completed, and 90 ° or 18
When horizontally rotating at a large angle of 0 ° and shifting to the bonding of the chip to the other side, the rough rotating means is driven to rotate the substrate at a large angle at a high speed.

【0008】[0008]

【実施例】次に、本発明の実施例を図面を参照しながら
説明する。図1は本発明の一実施例のチップの実装装置
の斜視図、図2は同テーブル部の斜視図、図3は同テー
ブル部の平面図、図4は同テーブル部の断面図、図5は
同駆動系のブロック図、図6、図7、図8は同動作のフ
ローチャートである。
Embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings. 1 is a perspective view of a chip mounting apparatus according to an embodiment of the present invention, FIG. 2 is a perspective view of the table portion, FIG. 3 is a plan view of the table portion, FIG. 4 is a sectional view of the table portion, and FIG. Is a block diagram of the drive system, and FIGS. 6, 7, and 8 are flowcharts of the same operation.

【0009】図1において、1は表示パネルであり、そ
の3つの辺の縁部に狭ピッチで形成された電極2上に
は、後に詳述するようにチップのアウターリードがボン
ディングされる。3は基台であり、その上面中央にはテ
ーブル部4が設置されており、テーブル部4上に表示パ
ネル1が載置されている。図2に示すように、表示パネ
ル1は透明板1a、1bを2枚貼り合わせて組み立てら
れており、その電極2上には異方性導電テープ(以下、
ACFという)9が貼着されている。ACF9はチップ
のアウターリードを電極2にボンディングするためのも
のであり、その貼着方法の説明は省略する。
In FIG. 1, reference numeral 1 is a display panel, and outer leads of a chip are bonded on electrodes 2 formed on the edges of three sides thereof with a narrow pitch, as will be described later. A base 3 has a table portion 4 installed at the center of the upper surface thereof, and the display panel 1 is placed on the table portion 4. As shown in FIG. 2, the display panel 1 is assembled by laminating two transparent plates 1a and 1b, and an anisotropic conductive tape (hereinafter,
ACF) 9 is attached. The ACF 9 is for bonding the outer lead of the chip to the electrode 2, and a description of the method of attaching the same is omitted.

【0010】図1において、基台3の上面一側部には支
柱5が立設されており、支柱5上には水平な移動軸部6
が架設されている。移動軸部6には第1のアーム7と第
2のアーム8がその長手方向へ移動自在に保持されてい
る。この第1のアーム7と第2のアーム8は表示パネル
1の搬送手段であって、第1のアーム7は表示パネル1
をテーブル部4上へ搬入する。また第2のアーム8はチ
ップのボンディングが終了した表示パネル1をテーブル
部4上から次の工程へ向って搬出する。
In FIG. 1, a column 5 is erected on one side of the upper surface of the base 3, and a horizontal moving shaft 6 is provided on the column 5.
Has been erected. A first arm 7 and a second arm 8 are held on the moving shaft portion 6 so as to be movable in the longitudinal direction. The first arm 7 and the second arm 8 are means for transporting the display panel 1, and the first arm 7 is the display panel 1.
Are loaded onto the table unit 4. Further, the second arm 8 carries out the display panel 1 on which the chip bonding is completed from the table portion 4 toward the next step.

【0011】基台3の上面他側部には門型のフレーム1
1が立設されている。フレーム11の上部中央には搭載
ヘッド部12が取り付けられている。搭載ヘッド部12
はその下面に複数個のヘッド13が装着されている。各
々のヘッド13はノズル13aを有している。また搭載
ヘッド部12の背後にはトレイ型のチップ供給部14が
設置されている。搭載ヘッド部12はその垂直な軸心線
を中心にピッチ回転して何れかのヘッド13をチップ供
給部14の先端部上に位置させ、チップ供給部14に備
えられたチップ10をそのノズル13aの下端部に真空
吸着してピックアップし、表示パネル1の電極2上に移
送搭載する。
A gate-shaped frame 1 is provided on the other side of the upper surface of the base 3.
1 is erected. A mounting head portion 12 is attached to the center of the upper portion of the frame 11. Mounting head part 12
The head has a plurality of heads 13 mounted on its lower surface. Each head 13 has a nozzle 13a. A tray type chip supply unit 14 is installed behind the mounting head unit 12. The mounting head unit 12 is rotated by pitch about the vertical axis to position any one of the heads 13 on the tip of the chip supply unit 14, and the chip 10 provided in the chip supply unit 14 is mounted on the nozzle 13a. The lower end of the display panel 1 is vacuum-adsorbed, picked up, and transferred and mounted on the electrode 2 of the display panel 1.

【0012】次に、図2〜図4を参照してテーブル部4
の構造を詳細に説明する。20はXテーブルであり、X
モータ21に駆動される。22はXテーブル20上に搭
載されたYテーブルであり、Yモータ23に駆動され
る。Xテーブル20が駆動すると表示パネル1はX方向
へ直線的に水平移動し、Yテーブル22が駆動するとY
方向へ直線的に駆動する。すなわち、Xテーブル20と
Yテーブル22は、直進移動テーブル部となっている。
Next, referring to FIGS. 2 to 4, the table portion 4
The structure of will be described in detail. 20 is an X table, and X
It is driven by the motor 21. A Y table 22 is mounted on the X table 20, and is driven by a Y motor 23. When the X table 20 is driven, the display panel 1 is linearly moved horizontally in the X direction, and when the Y table 22 is driven, Y is moved.
Drive linearly in the direction. That is, the X table 20 and the Y table 22 are a linear movement table unit.

【0013】Yテーブル22上にはベース板24が設け
られている。ベース板24上には断面L字形の台板25
が設けられている。図4に示すように、台板25の先端
部上面には管体26が立設されている。管体26の内部
には回転軸27が配設されており、回転軸27の上端部
に保持部28が設けられている。保持部28のセンター
に形成された孔部29は、回転軸27の中心を通り、台
板25の下部に配設されたパイプ30に連通している。
パイプ30は吸引系(図示せず)に接続されている。し
たがって吸引系が作動すると、保持部28上に載置され
た表示パネル1は保持部28に真空吸着されて固定され
る。
A base plate 24 is provided on the Y table 22. A base plate 25 having an L-shaped cross section is provided on the base plate 24.
Is provided. As shown in FIG. 4, a tube body 26 is erected on the upper surface of the tip portion of the base plate 25. A rotary shaft 27 is arranged inside the tubular body 26, and a holding portion 28 is provided at an upper end portion of the rotary shaft 27. The hole 29 formed in the center of the holding portion 28 passes through the center of the rotary shaft 27 and communicates with the pipe 30 arranged below the base plate 25.
The pipe 30 is connected to a suction system (not shown). Therefore, when the suction system operates, the display panel 1 placed on the holding unit 28 is vacuum-adsorbed and fixed to the holding unit 28.

【0014】図2および図4において、管体26の上部
にはプレート状の揺動部材31がベアリング26aを介
して回転自在に装着されている。揺動部材31の下面中
央には荒回転用のモータ32が装着されている。荒回転
用のモータ32の回転は、小プーリ33、ベルト34、
大プーリ35に減速して伝達される。大プーリ35は回
転軸27に装着されており、したがって荒回転用のモー
タ32が駆動すると、保持部28上の表示パネル1は水
平回転する。この荒回転用のモータ32は、表示パネル
1を90°あるいは180°の大角度を高速度で回転さ
せる。すなわち、荒回転用のモータ32、小プーリ3
3、ベルト34、大プーリ35は、荒回転手段を構成し
ている。図4において、36は荒回転用の荒回転用のモ
ータ32の回転軸33aに装着されたエンコーダ、37
は検出器であり、荒回転用のモータ32の回転量を検出
する。
In FIGS. 2 and 4, a plate-shaped swing member 31 is rotatably mounted on the upper portion of the tube body 26 via a bearing 26a. A motor 32 for rough rotation is attached to the center of the lower surface of the rocking member 31. The rotation of the motor 32 for rough rotation is performed by the small pulley 33, the belt 34,
It is decelerated and transmitted to the large pulley 35. The large pulley 35 is attached to the rotary shaft 27, and therefore, when the motor 32 for rough rotation is driven, the display panel 1 on the holding portion 28 rotates horizontally. The motor 32 for rough rotation rotates the display panel 1 at a large angle of 90 ° or 180 ° at a high speed. That is, the motor 32 for rough rotation and the small pulley 3
3, the belt 34, and the large pulley 35 constitute rough rotation means. In FIG. 4, reference numeral 36 denotes an encoder mounted on the rotary shaft 33a of the rough rotation motor 32 for rough rotation, and 37
Is a detector that detects the rotation amount of the motor 32 for rough rotation.

【0015】図2〜図4において、台板25上にはケー
ス40が設けられている。ケース40の内部にはX方向
の送りねじ41が収納されている。送りねじ41はモー
タ42に駆動されて回転する。送りねじ41にはナット
43が螺着されている。ナット43の上部にはスライダ
44が結合されている。またスライダ44には、揺動部
材31の先端部下面に設けられた係合体45が係合して
いる。係合体45の上端部はベアリング45aを介して
揺動部材31に回転自在に連結されている。したがって
モータ43が駆動して送りねじ41が回転すると、ナッ
ト43は送りねじ41に沿って摺動する。すると係合体
45はスライダ44にけん引されてX方向へ移動し、こ
れにより揺動部材31は回転軸27を中心に矢印N方向
(図3)へ水平回転する。すると回転軸27および保持
部28は、その軸心を中心に水平回転する。
2 to 4, a case 40 is provided on the base plate 25. An X-direction feed screw 41 is housed in the case 40. The feed screw 41 is driven by a motor 42 to rotate. A nut 43 is screwed onto the feed screw 41. A slider 44 is coupled to the upper portion of the nut 43. An engaging body 45 provided on the lower surface of the tip end of the swinging member 31 is engaged with the slider 44. The upper end of the engagement body 45 is rotatably connected to the swing member 31 via a bearing 45a. Therefore, when the motor 43 drives and the feed screw 41 rotates, the nut 43 slides along the feed screw 41. Then, the engagement body 45 is pulled by the slider 44 and moves in the X direction, whereby the swinging member 31 horizontally rotates about the rotation shaft 27 in the arrow N direction (FIG. 3). Then, the rotating shaft 27 and the holding unit 28 horizontally rotate about their axes.

【0016】ここで、揺動部材31のY方向の長さ、す
なわち回転軸27と送りねじ41の間の距離を長くとる
ことにより、ナット43の送りねじ41に沿う移動量に
比して、回転軸27と保持部28を精密に微小角度回転
させることができる。すなわち、揺動部材31、送りね
じ41、モータ42、ナット43などは、保持部28を
微小角度精密に回転させる精密回転手段となっている。
なお図4において、荒回転用のモータ32などの荒回転
手段は揺動部材31の下面に保持されており、モータ4
3が駆動して揺動部材31が揺動すると、荒回転用のモ
ータ32も揺動部材31と一体的に揺動する。
Here, by making the length of the swinging member 31 in the Y direction, that is, the distance between the rotary shaft 27 and the feed screw 41 longer, as compared with the amount of movement of the nut 43 along the feed screw 41, The rotary shaft 27 and the holding portion 28 can be precisely rotated by a minute angle. That is, the swinging member 31, the feed screw 41, the motor 42, the nut 43, and the like are precision rotating means for rotating the holding portion 28 with a minute angle precision.
In FIG. 4, the rough rotation means such as the rough rotation motor 32 is held on the lower surface of the swing member 31, and
When the rocking member 31 rocks due to the driving of the motor 3, the rough rotation motor 32 rocks integrally with the rocking member 31.

【0017】次に、図4を参照して、保持部28に上下
動作を行わせるための機構を説明する。ベース板24上
にはレール51が設けられている。レール51上にはく
さび形の移動子52があり、その下面に装着されたスラ
イダ53はレール51に嵌合している。また台板25の
下面にはくさび形のブロック54が設けられており、そ
の下面に装着されたスライダ55には移動子52の上面
に装着されたレール56が嵌合している。移動子52に
はシリンダ57のロッド58が結合されている。また台
板25の側部には垂直なレール59が設けられており、
レール59にはスライダ60が嵌合している。38はス
ライダ60が固定された台座である。このレール59と
スライダ60は、台板25の上下動作を案内する。した
がってシリンダ57のロッド58が突出すると、移動子
52は左方へ前進し、台板25は押し上げられる。また
シリンダ57のロッド58が右方へ後退すると、台板2
5は下降する。これにより、台板25上に設けられた保
持部28などの要素は上下動作を行う。
Next, with reference to FIG. 4, a mechanism for causing the holding portion 28 to move up and down will be described. Rails 51 are provided on the base plate 24. A wedge-shaped moving element 52 is provided on the rail 51, and a slider 53 mounted on the lower surface of the wedge-shaped moving element 52 is fitted to the rail 51. A wedge-shaped block 54 is provided on the lower surface of the base plate 25, and a rail 56 mounted on the upper surface of the mover 52 is fitted to a slider 55 mounted on the lower surface thereof. A rod 58 of a cylinder 57 is connected to the mover 52. A vertical rail 59 is provided on the side of the base plate 25,
A slider 60 is fitted on the rail 59. 38 is a pedestal to which the slider 60 is fixed. The rail 59 and the slider 60 guide the vertical movement of the base plate 25. Therefore, when the rod 58 of the cylinder 57 projects, the mover 52 advances to the left and the base plate 25 is pushed up. When the rod 58 of the cylinder 57 moves backward to the right, the base plate 2
5 descends. As a result, the elements such as the holding portion 28 provided on the base plate 25 move up and down.

【0018】図1において、基台3の上面には門型の下
受け61が設けられている。図4に示すように、この下
受け61は、チップ10がボンディングされる透明板1
aの縁部を下方から支持する。下受け61の直下には鏡
筒62が設けられている。また鏡筒62の端部にはカメ
ラ63が設けられている。ヘッド13がチップ10を表
示パネル1の縁部上へ移送してくると、カメラ63は下
受け61の透光部61aを通してチップ10のアウター
リード10aや表示パネル1の電極2を観察し、両者の
X方向、Y方向、θ方向の相対的な位置ずれを検出す
る。なお図4において、表示パネル1の電極2上に貼着
されたACF9は省略している。
In FIG. 1, a gate-shaped lower support 61 is provided on the upper surface of the base 3. As shown in FIG. 4, the lower support 61 is a transparent plate 1 to which the chip 10 is bonded.
The edge of a is supported from below. A lens barrel 62 is provided immediately below the lower receiver 61. A camera 63 is provided at the end of the lens barrel 62. When the head 13 transfers the chip 10 onto the edge of the display panel 1, the camera 63 observes the outer lead 10a of the chip 10 and the electrode 2 of the display panel 1 through the transparent portion 61a of the lower receiver 61, Relative positional deviations in the X, Y, and θ directions are detected. In FIG. 4, the ACF 9 attached on the electrode 2 of the display panel 1 is omitted.

【0019】図5において、上述した各部は駆動回路7
0に接続されている。駆動回路70は、CPU、RO
M、RAMなどの素子を有する制御部71に接続されて
いる。またカメラ63は画像認識回路72を介して制御
部71に接続されている。
In FIG. 5, each of the above-mentioned parts is a drive circuit 7.
Connected to 0. The drive circuit 70 includes a CPU and RO
It is connected to a control unit 71 having elements such as M and RAM. The camera 63 is also connected to the control unit 71 via the image recognition circuit 72.

【0020】このチップの実装装置は上記のような構成
より成り、次に図6〜図8のフローチャートを参照して
全体の動作を説明する。まず、表示パネル1の第1の辺
を搭載ヘッド部12側に向けて、表示パネル1を保持部
28に保持させる(ステップ1)。次に第1の辺を下受
け61の上方へ移動させたあと、下降させて表示パネル
1の縁部を図4に示すように下受け61上に着地させる
(ステップ2)。次にヘッド13はチップ供給部14か
らピックアップして保持するチップ10を第1の辺のチ
ップ搭載位置に仮位置決めする(ステップ3)。
The mounting device of this chip has the above-mentioned structure. Next, the entire operation will be described with reference to the flow charts of FIGS. First, the display panel 1 is held by the holding portion 28 with the first side of the display panel 1 facing the mounting head portion 12 side (step 1). Next, the first side is moved above the lower support 61 and then lowered to land the edge portion of the display panel 1 on the lower support 61 as shown in FIG. 4 (step 2). Next, the head 13 temporarily positions the chip 10 picked up and held from the chip supply unit 14 at the chip mounting position on the first side (step 3).

【0021】次にカメラ62でチップ10とチップ搭載
位置を観察し、チップ10のアウターリード10aと表
示パネル1の電極2の相対的なXYθ方向の位置ずれを
検出する(ステップ4、5)。次にステップ6で、Xモ
ータ21、Yモータ23を駆動して表示パネル1をX方
向、Y方向に移動させて、X方向とY方向の位置ずれを
補正し、またモータ42を駆動して揺動部材31を揺動
させることにより、θ方向の位置ずれを補正する。この
θ方向の補正は、上述した精密回転手段を駆動して精密
に行われる。
Next, the camera 10 observes the chip 10 and the chip mounting position, and detects the relative positional deviation between the outer lead 10a of the chip 10 and the electrode 2 of the display panel 1 in the XYθ directions (steps 4 and 5). Next, in step 6, the X motor 21 and the Y motor 23 are driven to move the display panel 1 in the X direction and the Y direction to correct the positional deviation between the X direction and the Y direction, and to drive the motor 42. By oscillating the oscillating member 31, the positional deviation in the θ direction is corrected. The correction in the θ direction is precisely performed by driving the above-described precision rotating means.

【0022】次にヘッド13を下降させて、チップ10
を表示パネル1に搭載する(ステップ7)。この場合、
上述したようにX方向、Y方向、θ方向の位置ずれを補
正したことにより、アウターリード10aは電極2に正
確に位置合わせされる。なお位置合わせされたアウター
リード10aには熱圧着子(図外)が押し付けられ、ア
ウターリード10aは電極2にボンディングされる。以
下、ステップ3〜7と同様の手順を繰り返すことによ
り、第1の辺にチップ10を次々に搭載していく(ステ
ップ8)。
Next, the head 13 is lowered and the chip 10 is
Is mounted on the display panel 1 (step 7). in this case,
By correcting the positional deviations in the X direction, the Y direction, and the θ direction as described above, the outer lead 10a is accurately aligned with the electrode 2. A thermocompression bonding element (not shown) is pressed against the aligned outer leads 10a, and the outer leads 10a are bonded to the electrodes 2. Thereafter, the chips 10 are sequentially mounted on the first side by repeating the same procedure as steps 3 to 7 (step 8).

【0023】以上のようにして表示パネル1の第1の辺
に対するチップ10の搭載が終了したならば、表示パネ
ル1を上昇させて下受け61から離した後、荒回転用の
モータ32を駆動して表示パネル1を90°水平回転さ
せ、第2の辺を下受け61の上方に位置させる(ステッ
プ9)。次にステップ10で表示パネル1を下降させて
下受け61上に着地させ、ステップ3〜8と同様の手順
でチップ10を表示パネル1に搭載していく(ステップ
11)。
When the mounting of the chip 10 on the first side of the display panel 1 is completed as described above, the display panel 1 is lifted and separated from the lower support 61, and then the motor 32 for rough rotation is driven. Then, the display panel 1 is horizontally rotated by 90 ° to position the second side above the lower support 61 (step 9). Next, in step 10, the display panel 1 is lowered to land on the lower support 61, and the chip 10 is mounted on the display panel 1 in the same procedure as in steps 3 to 8 (step 11).

【0024】以下、ステップ12〜15で上述と同様の
動作を繰り返すことにより、表示パネル1の3つの辺に
チップ10を搭載する。搭載がすべて終了したならば、
第2のアーム8に表示パネル1を受け渡し、表示パネル
1を次の工程へ搬出する。
Thereafter, by repeating the same operations as described above in steps 12 to 15, the chips 10 are mounted on the three sides of the display panel 1. When all loading is finished,
The display panel 1 is transferred to the second arm 8 and the display panel 1 is carried out to the next step.

【0025】[0025]

【発明の効果】本発明によれば、チップのアウターリー
ドと基板の電極のθ方向の補正を精密回転手段を駆動す
ることにより高精度で行うことができる。また荒回転手
段を駆動することにより、基板を大角度高速回転させて
その向きを変え、チップが搭載される辺を搭載ヘッド側
へ素早く向けることができる。したがって本発明によれ
ば、チップの高精度・高速度での実装を実現できる。
According to the present invention, the outer lead of the chip and the electrode of the substrate can be corrected in the θ direction with high precision by driving the precision rotation means. Further, by driving the rough rotation means, the substrate can be rotated at a large angle and at a high speed to change its direction, and the side on which the chip is mounted can be quickly directed to the mounting head side. Therefore, according to the present invention, mounting of a chip with high accuracy and high speed can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例のチップの実装装置の斜視図FIG. 1 is a perspective view of a chip mounting apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施例のチップの実装装置のテーブ
ル部の斜視図
FIG. 2 is a perspective view of a table portion of a chip mounting apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図3】本発明の一実施例のチップの実装装置のテーブ
ル部の平面図
FIG. 3 is a plan view of a table portion of a chip mounting apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図4】本発明の一実施例のチップの実装装置のテーブ
ル部の断面図
FIG. 4 is a sectional view of a table portion of a chip mounting apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図5】本発明の一実施例のチップの実装装置の駆動系
のブロック図
FIG. 5 is a block diagram of a drive system of a chip mounting apparatus according to an embodiment of the present invention.

【図6】本発明の一実施例のチップの実装装置の動作の
フローチャート
FIG. 6 is a flowchart of the operation of the chip mounting apparatus according to the embodiment of the present invention.

【図7】本発明の一実施例のチップの実装装置の動作の
フローチャート
FIG. 7 is a flowchart of the operation of the chip mounting apparatus according to the embodiment of the present invention.

【図8】本発明の一実施例のチップの実装装置の動作の
フローチャート
FIG. 8 is a flowchart of the operation of the chip mounting apparatus according to the embodiment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 表示パネル 2 電極 4 テーブル部 10 チップ 10a アウターリード 12 搭載ヘッド部 14 チップ供給部 20 Xテーブル 22 Yテーブル 28 保持部 31 揺動部材 32 荒回転用のモータ 41 送りねじ 42 モータ 43 ナット 1 display panel 2 electrode 4 table part 10 chip 10a outer lead 12 mounting head part 14 chip supply part 20 X table 22 Y table 28 holding part 31 rocking member 32 motor for rough rotation 41 feed screw 42 motor 43 nut

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】基板を位置決めするテーブル部と、このテ
ーブル部に位置決めされた基板の縁部にチップを搭載す
る搭載部とを備えたチップの実装装置であって、前記テ
ーブル部が、前記基板を水平方向に直線的に移動させる
直線移動テーブル部と、この直線移動テーブル部上にあ
って前記基板を水平回転させる回転テーブル部とを備
え、 前記回転テーブル部が、前記基板を保持する保持部と、
この保持部をその軸心線を中心に大角度回転させる荒回
転手段と、前記荒回転手段と一体の揺動部材を水平方向
に揺動させることにより前記保持部を微小角度回転させ
る精密回転手段とから成ることを特徴とするチップの実
装装置。
1. A chip mounting apparatus comprising: a table portion for positioning a substrate; and a mounting portion for mounting a chip on an edge of the substrate positioned on the table portion, wherein the table portion is the substrate. A linear movement table section for linearly moving the substrate in a horizontal direction, and a rotary table section for horizontally rotating the substrate on the linear movement table section, wherein the rotary table section holds the substrate. When,
Rough rotation means for rotating the holding portion at a large angle about its axis, and precision rotation means for rotating the holding portion by a small angle by horizontally swinging a swinging member integrated with the rough rotation means. A chip mounting device comprising:
【請求項2】前記荒回転手段が前記揺動部材に保持され
てこの揺動部材と一体的に揺動することを特徴とする請
求項1記載のチップの実装装置。
2. The chip mounting apparatus according to claim 1, wherein the rough rotation means is held by the swing member and swings integrally with the swing member.
【請求項3】基板を保持部に位置決めし、また搭載ヘッ
ドに保持されたチップをこの基板の一辺の縁部に形成さ
れた電極の近傍に位置させ、その状態でカメラによりチ
ップを観察してこれらのX方向、Y方向、θ方向の相対
的な位置ずれを検出する工程と、 前記基板が載置されたXテーブルとYテーブルを駆動す
ることによりX方向およびY方向の位置ずれを補正する
とともに、前記荒回転手段と一体の揺動部材を揺動させ
ることによりθ方向の位置ずれを補正する工程と、 前述の工程を繰り返すことにより前記基板の一辺の縁部
に複数個のチップを搭載した後、荒回転手段により前記
基板を90°または180°水平回転させてその向きを
変えた後、基板の他の辺の縁部に前記各工程と同じ手順
によりチップを搭載する工程と、を含むことを特徴とす
るチップの実装方法。
3. A substrate is positioned on a holding portion, and a chip held by a mounting head is positioned in the vicinity of an electrode formed on the edge of one side of the substrate, and the chip is observed by a camera in that state. The step of detecting the relative positional deviations in the X direction, the Y direction, and the θ direction, and the positional deviations in the X direction and the Y direction are corrected by driving the X table and the Y table on which the substrate is placed. At the same time, the step of correcting the positional deviation in the θ direction by swinging the swinging member integrated with the rough rotation means, and the above steps are repeated to mount a plurality of chips on the edge of one side of the substrate. After that, the substrate is horizontally rotated by 90 ° or 180 ° by the rough rotation means to change its orientation, and then a chip is mounted on the edge portion of the other side of the substrate by the same procedure as each of the above steps. To include Characteristic chip mounting method.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2008187172A (en) * 2007-01-29 2008-08-14 Suss Microtec Test Systems Gmbh Method for electronic components and test apparatus for carring out this method
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