JPH0959759A

JPH0959759A - 成膜マスク装置

Info

Publication number: JPH0959759A
Application number: JP24673895A
Authority: JP
Inventors: Hiroshi Nasu; 博志奈須
Original assignee: Daishinku Corp
Current assignee: Daishinku Corp
Priority date: 1995-06-16
Filing date: 1995-08-30
Publication date: 1997-03-04

Abstract

(57)【要約】【目的】作業性、信頼性の高い成膜マスク装置を提供
することを目的とするものである。【構成】水晶板Ｂを複数個収納する収納孔４１を形成
したスペーサ４と、このスペーサの上下面に密着配置さ
れるマスクパターン５１，３１が形成された上部マスク
５・下部マスク３と、これら上下部マスクのそれぞれの
上下面に密着配置され、各マスクに形成された各マスク
パターンを露出させる開口部６１，１１を有する上下の
マスク押さえ板６，１を具備してなる成膜マスク装置に
おいて、少なくとも、前記上下マスク、スペーサには各
々目印４２，４５，５２，５５，３２，３５が設けら
れ、前記上下マスクの目印とスペーサの目印との位置合
わせを行うことによりスペーサの収容孔と上下マスクの
マスクパターンとをずれなく重ね合わせられるように構
成した。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は水晶片、セラミック片等
に電極材料を形成する成膜マスク装置に関するものであ
る。

【０００２】

【従来の技術】例えば、音叉型水晶振動子の電極形成工
程において、電極用の金属材料の物理蒸着を行う場合、
機械的マスク装置を用いて真空蒸着法、スパッタリング
法により水晶片の必要な部分に電極を形成していた。こ
の機械的マスク装置を用いる蒸着方法は、音叉型水晶片
を収納するスペーサ、上下のマスク板、その他の補助治
具等複数のマスク等の板体を重ねて、ねじ止め、あるい
は磁力等により一体化して使用したり、必要なマスク構
成部分をスポット溶接により一体化し、２以上の一体化
物をねじ止め等により組み立てる構成が一般的であっ
た。このように分割可能な状態でマスク板等を使用する
理由は、マスク板等に付着した蒸着電極材料（銀、金、
アルミニウム等）を剥離除去する作業が必要であるから
である。この剥離除去作業は特定の洗浄液に浸漬するこ
とにより行う。そして、上記電極形成工程を行う前に、
前記スペーサ、上下のマスク板、その他の補助治具等複
数のマスク等の板体を重ねて再び一体化する。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】このような一体化作業
において、スペーサと上下のマスク板との重ねる場合に
正確な位置合わせを行わないと、音叉型水晶片に蒸着さ
れる電極がずれて、絶縁不良や断線不良を引き起こす原
因となっていた。そして、前記板体の組立作業における
スペーサと上下のマスク板の大まかな位置合わせは、ス
ペーサ、上下マスクに設けられたねじ穴、あるいは、ガ
イドピン等により行っているが、これだけでは不十分で
あるため、顕微鏡で上下のマスクパターンとスペーサの
収納孔とを認識しながら行うのが最終的な微調整であっ
た。しかし、この方法では、非常に手間が掛かるばかり
でなく見間違いなどによる位置ずれを招くため、作業
性、信頼性の面で問題があった。

【０００４】本発明は、成膜マスク装置の組立作業を容
易にするとともに、スペーサと上下のマスク板の位置ず
れによる絶縁不良や断線不良をなくし、作業性、信頼性
の高い成膜マスク装置を提供することを目的とするもの
である。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、本発明による成膜マスク装置は、被成膜形成体を
複数個収納する収納孔を形成し、被成膜形成体をこの収
納孔に収納したスペーサと、このスペーサの上面に密着
配置され、成膜形成用の上部マスクパターンが形成され
た上部マスクと、このスペーサの下面に密着配置され、
成膜形成用の下部マスクパターンが形成された下部マス
クと、これら上下部マスクのそれぞれの上下面に密着配
置され、各マスクに形成された各マスクパターンを露出
させる開口部を有する上下のマスク押さえ板を具備して
なる成膜マスク装置において、少なくとも、前記上下マ
スク、スペーサには各々目印が設けられ、前記上下マス
クの目印とスペーサの目印との位置合わせを行うことに
よりスペーサの収容孔と上下マスクのマスクパターンと
をずれなく重ね合わせられるように構成した。

【０００６】また、被成膜形成体を複数個収納する収納
孔を形成し、被成膜形成体をこの収納孔に収納したスペ
ーサと、このスペーサの上面に密着配置され、成膜形成
用の上部マスクパターンが形成された上部マスクと、こ
のスペーサの下面に密着配置され、成膜形成用の下部マ
スクパターンが形成された下部マスクと、これら上下部
マスクのそれぞれの上下面に密着配置され、各マスクに
形成された各マスクパターンを露出させる開口部を有す
る上下のマスク押さえ板を具備してなる成膜マスク装置
において、少なくとも、前記各マスクには覗き部が設け
られ、かつ、前記覗き部に接する目印とが設けられてい
る。そして、少なくとも、前記スペーサにも目印が設け
られている。そして、前記各マスクの覗き部を前記スペ
ーサの目印に重ね合わせ、前記覗き部を介して、前記ス
ペーサ目印と前記マスクの目印と合致させる。以上によ
りスペーサの収容孔と上下マスクのマスクパターンとを
ずれなく重ね合わせられるように構成されたことを特徴
とする成膜マスク装置。

【０００７】

【作用】請求項１により、手軽に前記スペーサの収納孔
と各マスクのマスクパターンとをずれなく重ねることが
できるため、成膜マスク装置の組立作業を容易にすると
ともに、被成膜形成体の絶縁不良や断線不良をなくすこ
とができる。

【０００８】請求項２により、手軽に前記スペーサの収
納孔と各マスクのマスクパターンとをずれなく重ねるこ
とができるため、成膜マスク装置の組立作業を容易にす
るとともに、被成膜形成体の絶縁不良や断線不良をなく
すことができる。

【０００９】

【実施例】本発明による実施例を、音叉型水晶振動子の
電極形成を例にとり、図面とともに説明する。図１は本
発明の実施例による成膜マスク装置を示す分解斜視図で
ある。そして、図２はスペーサの底面図であり、図３は
下部マスクの底面図であり、図４はスペーサに下部マス
クを重ね合わせた場合の底面図である。そして、図５は
マスク押さえ下板の底面図であり、図６はスペーサと下
部マスクにマスク押さえ下板を重ね合わせた場合の底面
図である。

【００１０】成膜マスク装置は最下部から、マスク押さ
え下板１、下部マスク３、スペーサ４、上部マスク５、
マスク押さえ上板６からなる。最下部のマスク押さえ下
板１は例えば厚さ１．５mmで、ＳＵＳ−３０４等の金属
板からなる。このマスク押さえ下板１には後述の各一体
化物を位置決め固定する雌ねじ部１３，１４が長手方向
の両端に設けられるとともに、上述の下部マスクの下部
マスクパターンを露出させる開口部１１とが複数個形成
され、かつ、このマスク押さえ下板の外面側（底面）に
は覗き穴１２と前記覗き穴の重心で交差する略十文字の
目印１５とが複数個形成されている（図５参照）。この
下部押さえ板１の上面には例えばその厚さ０．０５mm
で、ＳＵＳ−３０４等の金属板からなる下部マスク３が
密着して配置されている。下部マスク３には後述の複数
の水晶片Ｂの所定の位置に対応する下部マスクパターン
３１が水晶片個々に対応して複数個形成されているとと
もに、ねじ穴部３３，３４が長手方向の両端に設けら
れ、かつ、この下部マスクの外面側（底面）には覗き穴
３２と前記覗き穴の重心で交差する略十文字の目印３５
とが複数個形成されている（図３参照）。この下部マス
ク３の上面にはスペーサ４が密着して配置されている。
スペーサ４は例えばその厚さ０．１５mmで、ＳＵＳ−３
０４等の金属板からなり、水晶片Ｂを所定の間隔で複数
個位置決め収納する開口部４１が設けられているととも
に、ねじ穴部４３，４４が長手方向の両端に設けられ、
かつ、このスペーサの両面には十文字の目印４２，４５
とが各々複数個形成されている（図２参照）。このスペ
ーサ４の上面には例えばその厚さ０．０５mmで、金属板
からなる上部マスク５が密着配置されている。上部マス
ク５には前述の水晶片Ｂの所定の位置に対応する上部マ
スクパターン５１が水晶片個々に対応して複数個形成さ
れているとともに、ねじ穴部５３，５４が長手方向の両
端に設けられ、かつ、この上部マスクの外面側（上面）
には覗き穴５２と前記覗き穴の重心で交差する略十文字
の目印５５とが複数個形成されている。最上部には厚さ
１．０mmで、金属板からなるマスク押さえ上板６が配置
されている。このマスク押さえ上板６には、後述の各一
体化物を位置決め固定するねじ部６３，６４が長手方向
の両端に設けられるとともに、上述の上部マスクの上部
マスクパターンを露出させる開口部６１とが複数個形成
され、かつ、このマスク押さえ上板の外面側（上面）に
は覗き穴６２と前記覗き穴の重心で交差する略十文字の
目印６５とが複数個形成されている。

【００１１】また、前記スペーサの収納孔をなす開口部
４１と、上下部マスクのマスクパターン５１、３１、及
びマスクの押さえ上下板とのマスクパターンを露出させ
る開口部６１、１１とがずれなく重なる位置において、
上下部のマスクの略十文字の目印５５、３５を含む覗き
穴５２、３２、及びマスクの押さえ上下板の略十文字の
目印６５、１５を含む覗き穴６２、１２と、スペーサの
十文字の目印４２、４５とが重なり十文字を完成できる
ように予め設定されている。尚、各々の構成物のうち、
いづれかがずれて重ね合わされた場合には図７に示され
るように十文字は完成されない。

【００１２】そして、最初にスペーサ４と下部マスク３
とを重ね合わせて、下部マスクの覗き穴３２からスペー
サ４の十文字の目印４５を露出させた後、前記下部マス
クの略十文字の目印３５と前記十文字の目印４５との位
置合わせを行い十文字をを完成させ（図４参照）、シリ
コンなどの接合材（図示せず）により固定し、続いて、
前記一体化させた下部マスク３とマスク押さえ下板１と
を重ね合わせて、マスク押さえ下板の覗き穴１２からス
ペーサ４の十文字の目印４５を露出させた後、前記マス
ク押さえ下板の略十文字の目印１５と前記十文字の目印
４５との位置合わせを行い十文字を完成させて、シリコ
ンなどの接合材（図示せず）により固定し、これら３つ
の構成物を一体化する（図６参照）。そしてマスク押さ
え上板６と上部マスク５とスペーサ４についても同様の
作業を行うことにより一体化する。次に、下部側の一体
化物のスペーサの開口部内に被成膜形成体である音叉型
水晶片Ｂを収容し、同一体化物の十文字の目印４２を上
部側の一体化物の覗き穴６２から露出させて位置合わせ
を行い十文字を完成させ、続いて、雄ねじ２，２を各ね
じ穴部３３，４３，５３，６３、並びにねじ穴部３４，
４４，５４，６４を貫通させ締め付けて一体化させる。
これによりマスキングを行うことができる。このような
成膜マスク装置を真空蒸着法、スパッタリング法等によ
り物理蒸着を行うことにより、所望の成膜パターンの成
膜形成体（水晶片）を得ることができる。

【００１３】なお、上記実施例では、位置合わせ用の目
印として十文字形状のものを説明したが、これらに限定
されるものではなく、例えば、図８（本発明の第２の実
施例を示すスペーサと下部マスクにマスク押さえ下板を
重ね合わせた場合の底面図である。）に示すような目印
７，８，９，１０であってもよい。

【００１４】また、上記実施例では、覗き部として覗き
穴によるものを説明したが、これらに限定されるもので
はなく例えば図９（本発明の第３の実施例を示す覗き部
の拡大図である。）に示すような切り欠き１６、３６を
設けてもよい。そして、スペーサ４の目印を中心にし
て、マスク３の覗き部である切り欠き３６を設け、か
つ、前記切り欠き１６より若干広く押さえ板１の覗き部
である切り欠き１６を設けることにより、組み立て作業
がより一層効率的に行える。これは中心のスペーサから
外側に向かうに従って覗き部をより広くすることによ
り、外見で全ての覗き穴の状況が把握できるためであ
る。これは、図１０（本発明の第４の実施例を示す覗き
部の拡大図である。）に示すように他の覗き部（例えば
覗き穴）にも適用でき、同様の効果がある。また、図１
０の場合、上面側のみから見て位置合わせを行うことが
できるように、下側の押さえ板１から上側の押さえ板６
に向かうに従って、覗き部としての覗き穴を次第に広く
設けた。（１８は下側の押さえ板に設けられた目印であ
り、３７は下部マスクの覗き穴、３８は下部マスクの目
印、４７はスペーサの覗き穴、４８はスペーサの目印、
５７は上部マスクの覗き穴、５８は上部マスクの目印、
６７は上側の押さえ板の覗き穴、６８は上側の押さえ板
の目印である。）

【００１５】また、上記実施例では、覗き部を別途に設
け、各目印を合致させる構成のものを説明したが、上下
マスクパターン部やスペーサ開口部の一部に各目印とし
ての切り欠きや突起を同時に形成した構成であってもよ
い。すなわち、図１１（本発明の第５の実施例を示すマ
スクパターン部分の拡大図である。）に示すように、上
部マスク、スペーサ、下部マスクの順に、三角形状の切
り欠き３５１、４５１、５５１を設けたり、あるいは、
三角形状の突起３５２、４５２、５５２を設けた構成で
ある。また、同じ図１１に示すように、三角形状に限ら
ず、円形状の切り欠き３５３、４５３、５５３に線上の
目印を形成したり、あるいは円形状の突起３５４、４５
４、５５４に線状の目印を形成した構成であってもよ
い。このように、曲線、直線、あるいはこれらの組合せ
からなる切り欠きや突起を、少なくとも上下マスクパタ
ーン部やスペーサ開口部の一部として形成すれば、位置
合わせする部分を別途設ける必要がなく、省スペース化
がはかれる。

【００１６】なお、上記各実施例では、被成膜形成体を
水晶片とし、音叉型水晶振動子を例にとって説明した
が、他の圧電振動子であってもよく、電子部品の電極形
成等幅広く成膜形成体に適用できるものである。

【００１７】

【発明の効果】請求項１により、手軽に前記スペーサの
収納孔と各マスクのマスクパターンとをずれなく重ねる
ことができるため、成膜マスク装置の組立作業を容易に
するとともに、被成膜形成体の絶縁不良や断線不良をな
くし、作業性、信頼性の高い成膜マスク装置を提供する
ことができる。

【００１８】請求項２により、手軽に前記スペーサの収
納孔と各マスクのマスクパターンとをずれなく重ねるこ
とができるため、成膜マスク装置の組立作業を容易にす
るとともに、被成膜形成体の絶縁不良や断線不良をなく
し、作業性、信頼性の高い成膜マスク装置を提供するこ
とができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施例による成膜マスク装置を示す分
解斜視図である。

【図２】本発明のスペーサの底面図である。

【図３】本発明の下部マスクの底面図である。

【図４】本発明のスペーサに下部マスクを重ね合わせた
場合の底面図である。

【図５】本発明のマスク押さえ下板の底面図である。

【図６】本発明のスペーサと下部マスクにマスク押さえ
下板を重ね合わせた場合の底面図である。

【図７】ずれて重ね合わされた場合の覗き穴と十文字の
拡大図である。

【図８】本発明の第２の実施例を示すスペーサと下部マ
スクにマスク押さえ下板を重ね合わせた場合の底面図で
ある。

【図９】本発明の第３の実施例を示す覗き部の拡大図で
ある。

【図１０】本発明の第４の実施例を示す覗き部の拡大図
である。

【図１１】本発明の第５の実施例を示すマスクパターン
部分の拡大図である。

【符号の説明】

１マスク押さえ下板２雄ねじ３下部マスク４スペーサ５上部マスク６マスク押さえ上板７，８，９，１０目印

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被成膜形成体を複数個収納する収納孔を
形成し、被成膜形成体をこの収納孔に収納したスペーサ
と、このスペーサの上面に密着配置され、成膜形成用の
上部マスクパターンが形成された上部マスクと、このス
ペーサの下面に密着配置され、成膜形成用の下部マスク
パターンが形成された下部マスクと、これら上下部マス
クのそれぞれの上下面に密着配置され、各マスクに形成
された各マスクパターンを露出させる開口部を有する上
下のマスク押さえ板を具備してなる成膜マスク装置にお
いて、少なくとも、前記上下マスク、スペーサには各々
目印が設けられ、前記上下マスクの目印とスペーサの目
印との位置合わせを行うことによりスペーサの収容孔と
上下マスクのマスクパターンとをずれなく重ね合わせら
れるように構成されたことを特徴とする成膜マスク装
置。
【請求項２】被成膜形成体を複数個収納する収納孔を
形成し、被成膜形成体をこの収納孔に収納したスペーサ
と、このスペーサの上面に密着配置され、成膜形成用の
上部マスクパターンが形成された上部マスクと、このス
ペーサの下面に密着配置され、成膜形成用の下部マスク
パターンが形成された下部マスクと、これら上下部マス
クのそれぞれの上下面に密着配置され、各マスクに形成
された各マスクパターンを露出させる開口部を有する上
下のマスク押さえ板を具備してなる成膜マスク装置にお
いて、少なくとも、前記各マスクには覗き部が設けられ、か
つ、前記覗き部に接する目印とが設けられている、少なくとも、前記スペーサにも目印が設けられてい
る、前記各マスクの覗き部を前記スペーサの目印に重ね合
わせ、前記覗き部を介して、前記スペーサ目印と前記マ
スクの目印と合致させる、以上によりスペーサの収容孔
と上下マスクのマスクパターンとをずれなく重ね合わせ
られるように構成されたことを特徴とする成膜マスク装
置。