JPH0957937A - Manufacture of metal mask for screen printing - Google Patents
Manufacture of metal mask for screen printingInfo
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- JPH0957937A JPH0957937A JP7234764A JP23476495A JPH0957937A JP H0957937 A JPH0957937 A JP H0957937A JP 7234764 A JP7234764 A JP 7234764A JP 23476495 A JP23476495 A JP 23476495A JP H0957937 A JPH0957937 A JP H0957937A
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- Manufacturing Of Printed Wiring (AREA)
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば電子機器に
回路部品を実装し、半田付けするときに回路基板上等に
クリーム半田などの印刷ペーストをスクリーン印刷する
ときに使用されるスクリーン印刷用メタルマスクの製造
方法に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a screen-printing metal used for screen-printing a printing paste such as cream solder on a circuit board when mounting a circuit component on an electronic device and soldering it. The present invention relates to a mask manufacturing method.
【0002】[0002]
【従来の技術】スクリーン印刷用メタルマスクは、クリ
ーム半田ペーストや導電性インキ等を印刷するための細
孔によるパターンを有するが、このようなスクリーン印
刷用メタルマスクの従来における最も一般的な製造方法
は、エッチング法である。このエッチング法では、ステ
ンレス等の金属板上にエッチングフォトレジストによる
画像を形成した後、エッチング液により両面エッチング
を行い、細孔によるパターンを形成するという方法であ
る。2. Description of the Related Art A metal mask for screen printing has a pattern of pores for printing a cream solder paste, a conductive ink or the like. The conventional most common method for producing such a metal mask for screen printing. Is an etching method. In this etching method, an image is formed by an etching photoresist on a metal plate such as stainless steel, and then double-sided etching is performed with an etching solution to form a pattern of pores.
【0003】また、近年のCAD・CAM技術の普及と
レーザー加工機の普及に伴い、これらの特徴を生かした
金属の微細加工技術が向上し、レーザー加工法によるス
クリーン印刷用メタルマスクの製造の検討及び、導入が
図られている。このレーザー加工法によるスクリーン印
刷用メタルマスクの製造では、レーザー装置と自動XY
テーブルをNC制御することで、CADデータから直接
的に細孔を加工形成する方法である。これは、CADに
より得られるデータから直接レーザー加工することによ
り、加工精度の向上と工期の短縮化を図ることができ、
有効な製造方法として期待されている。In addition, with the recent spread of CAD / CAM technology and the spread of laser processing machines, the fine processing technology of metal utilizing these characteristics has been improved, and the examination of the production of a metal mask for screen printing by the laser processing method has been improved. And, it is being introduced. In the production of screen printing metal masks by this laser processing method, laser equipment and automatic XY
This is a method in which the pores are directly processed and formed from CAD data by performing NC control on the table. This is because by directly laser processing from the data obtained by CAD, the processing accuracy can be improved and the construction period can be shortened.
It is expected as an effective manufacturing method.
【0004】前記レーザー加工法により製造されたスク
リーン印刷用メタルマスクにおいて、金属板1に穿孔さ
れた細孔3の断面形状の例を図5(a)に示す。ここ
で、金属板1のレーザー光の入射面側1aと反対側、つ
まりレーザー光出射側1bの細孔3の開口部周辺に突出
物ができる。これは、レーザー加工により生じる金属屑
が細孔3の開口部周辺に溶着してできたドロスと呼ばれ
る溶融付着物である。このドロス2は、印刷時に印刷性
を損なうので、金属板1の表面1bを研磨し、図5
(b)に示すように、そのドロス2を除去することがな
されている。こうして得られたスクリーン印刷用メタル
マスクは、一般的には金属板1のレーザー光入射側1a
の面が印刷時にプリント基板の印刷面に接し、他方の面
がスキージに接するよう使用される。FIG. 5 (a) shows an example of the cross-sectional shape of the pores 3 perforated in the metal plate 1 in the screen printing metal mask manufactured by the laser processing method. Here, a protrusion is formed on the side opposite to the laser beam incident surface side 1a of the metal plate 1, that is, around the opening of the pore 3 on the laser beam emitting side 1b. This is a molten deposit called dross formed by welding metal scraps generated by laser processing around the openings of the pores 3. Since the dross 2 impairs printability during printing, the surface 1b of the metal plate 1 is polished,
As shown in (b), the dross 2 is removed. The screen-printing metal mask thus obtained is generally provided on the laser beam incident side 1a of the metal plate 1.
Is used to contact the printing surface of the printed circuit board during printing and the other surface to contact the squeegee.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、これま
でのレーザー加工法によるスクリーン印刷用メタルマス
クにおいては、レーザー光の照射により形成される金属
板1の細孔3の壁面の面粗度(平均粗さ:高さ)が大き
い。また、レーザー光の照射に形成された細孔3の壁面
にレーザー加工時に生じる微細な溶融物が付着する。こ
の結果、印刷時におけるクリーム半田等の印刷ペースト
の細孔3の通過性が悪く、これが印刷品質、印刷精度を
低下させる原因となっていた。本発明は、このような従
来のレーザー加工法によるスクリーン印刷用メタルマス
クの製造方法の課題に鑑み、面粗度が小さく、また微細
溶融物の付着のない壁面を持った細孔が形成でき、これ
により高い印刷品質と印刷精度が実現できるスクリーン
印刷用メタルマスクを製造することが可能な印刷方法を
提供する。However, in the conventional metal mask for screen printing by the laser processing method, the surface roughness (average roughness) of the wall surface of the pores 3 of the metal plate 1 formed by the irradiation of the laser beam is averaged. S: Height) is large. In addition, a fine melt generated during laser processing adheres to the wall surface of the pores 3 formed by the irradiation of laser light. As a result, the passability of the printing paste such as cream solder in the pores 3 during printing is poor, which has been a cause of lowering printing quality and printing accuracy. The present invention, in view of the problems of the method for producing a metal mask for screen printing by such a conventional laser processing method, the surface roughness is small, it is possible to form pores having a wall surface without adhesion of fine melt, This provides a printing method capable of manufacturing a metal mask for screen printing capable of realizing high printing quality and printing accuracy.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明では、このような
目的を達成するため、金属板1にレーザー光7を照射し
て形成した微細な細孔3に粒状研磨材を吹き付け、研磨
することとし、そのときに金属板1の板面に対する粒状
研磨材の吹き付け方向を同金属板1の板面に対して斜め
にした。これにより、ドロスの除去だけでなく、細孔3
の壁面の面粗度を小さくすると共に、細孔3の壁面に付
着した微細な溶融物を除去するようにした。According to the present invention, in order to achieve such an object, a fine abrasive grain 3 formed by irradiating a metal plate 1 with a laser beam 7 is sprayed with a granular abrasive to polish it. At that time, the spraying direction of the granular abrasives on the plate surface of the metal plate 1 was made oblique with respect to the plate surface of the metal plate 1. As a result, not only the dross is removed but also the pores 3
The surface roughness of the wall surface of No. 3 was reduced, and the fine melt adhered to the wall surface of the pores 3 was removed.
【0007】すなわち、本発明によるスクリーン印刷用
メタルマスクの製造方法では、金属板1にレーザー光7
を照射して金属板1に微細な細孔3からなるからパター
ンを形成した後、金属板1の板面に対して斜めから同金
属板1を粒状研磨材を吹き付けてサンドブラスト研磨す
る。ここで、粒状研磨材は金属板1の表面側、つまり金
属板1の印刷ペーストが付与される側から吹き付けられ
るのがよい。また、金属板1に粒状研磨材を吹き付ける
ときは、金属板1が傾斜して保持された状態で行うとよ
い。この場合に使用される粒状研磨材は、#100〜#
1500のアルミナ系もしくはカーボン系研磨材が一般
的である。That is, in the method for manufacturing a metal mask for screen printing according to the present invention, the laser light 7 is applied to the metal plate 1.
After forming a pattern by irradiating the metal plate 1 with fine pores 3, the metal plate 1 is sandblasted by obliquely spraying a granular abrasive onto the plate surface of the metal plate 1. Here, the granular abrasive is preferably sprayed from the surface side of the metal plate 1, that is, the side of the metal plate 1 to which the printing paste is applied. Further, when the granular abrasive is sprayed on the metal plate 1, it is preferable to perform it while the metal plate 1 is inclined and held. The granular abrasives used in this case are # 100- #
An alumina-based or carbon-based abrasive of 1500 is common.
【0008】このような本発明によるスクリーン印刷用
メタルマスクの製造方法では、金属板1の板面に対して
斜めから粒状研磨材を吹き付けて研磨するので、金属板
1にレーザー光7を照射して形成した微細な細孔3の周
壁に粒状研磨材が直接衝突し、細孔3の壁面が研磨され
る。このため、その細孔3の開口部周辺に付着したドロ
スが除去されるだけでなく、細孔3の壁面が研磨され、
その面粗度が小さくなると共に、細孔3の壁面に付着し
た微細な溶融物も同時に除去される。このため、細孔3
の壁面が平滑化し、印刷ペーストの通過性が良くなり、
印刷品質、印刷精度の向上が図れる。In such a method for producing a metal mask for screen printing according to the present invention, since the granular abrasive is sprayed obliquely to the plate surface of the metal plate 1, the metal plate 1 is irradiated with the laser beam 7. The granular abrasive material directly collides with the peripheral wall of the fine pores 3 thus formed, and the wall surface of the pores 3 is polished. Therefore, not only the dross attached to the periphery of the opening of the pore 3 is removed, but also the wall surface of the pore 3 is polished,
As the surface roughness decreases, the fine melt adhered to the walls of the pores 3 is also removed at the same time. Therefore, the pores 3
The wall surface of the
Print quality and print accuracy can be improved.
【0009】このスクリーン印刷用メタルマスクの製造
方法において、粒状研磨材の吹付速度は400〜100
0m/secとするのが好ましい。これは、粒状研磨材
の吹付速度が400より低いと、十分な研磨効果が得ら
れないからであり、また、粒状研磨材の吹付速度が10
00m/secより高いと、メタルマスクの変形や開口
部のエッジの欠落等が生じ、所望のパターンの印刷が困
難となるからである。In this method for producing a metal mask for screen printing, the spray rate of the granular abrasive is 400-100.
It is preferably 0 m / sec. This is because if the spray rate of the granular abrasive is lower than 400, a sufficient polishing effect cannot be obtained, and the spray rate of the granular abrasive is 10 or less.
If it is higher than 00 m / sec, the metal mask may be deformed or the edge of the opening may be missing, making it difficult to print a desired pattern.
【0010】[0010]
【発明の実施の形態】次に、図面を参照しながら、本発
明の実施の形態について具体的且つ詳細に説明する。図
4にスクリーン印刷用メタルマスクの外観を示す。この
メタルマスクは、メッシュ状のスクリーン紗5に張力を
与えながら、これを正方形の額縁状のスクリーン枠4に
沙張りし、さらに周縁部にエポキシ樹脂系接着剤を塗布
した薄い正方形のステンレス板(SUS304板)等の
金属板1を前記スクリーン沙4の中央部に重ねて接着
し、接着剤を硬化させた後、前記金属板1の周辺部を除
く部分に重なっているスクリーン沙5を切除したもので
ある。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Next, embodiments of the present invention will be described specifically and in detail with reference to the drawings. FIG. 4 shows the appearance of the metal mask for screen printing. This metal mask stretches the mesh-shaped screen gauze 5 on the screen frame 4 having a square frame shape while applying tension to the screen gauze 5, and further has a thin square stainless plate coated with an epoxy resin adhesive at the peripheral edge ( A metal plate 1 such as a SUS304 plate) is overlapped and adhered to the central portion of the screen plate 4 and the adhesive is cured, and then the screen plate 5 overlapping with the peripheral portion of the metal plate 1 is cut off. It is a thing.
【0011】このスクリーン印刷用メタルマスクを図1
(a)で示すように保持治具8に保持し、これをレーザ
ー加工機にセットする。すなわち、スクリーン枠4を保
持治具8で両側から挟持し、この保持治具8を図示して
ない自動XYテーブル上に載せ、スクリーン沙5に貼ら
れた金属板1を水平に保持する。この自動XYテーブル
の上にはYAGレーザー等を用いたレーザーヘッド6が
配置されており、NC制御により前記自動XYテーブル
上の金属板1をX方向及びY方向移動しながら、レーザ
ーヘッド6からレーザー光7を金属板1に照射し、金属
板1の所定の位置に多数の細孔3を穿孔し、所要のパタ
ーンを形成する。このレーザー加工機のレーザー発振器
としては、例えばパルス発振形式のもの等が使用され
る。This metal mask for screen printing is shown in FIG.
As shown in (a), it is held by a holding jig 8 and set in a laser processing machine. That is, the screen frame 4 is sandwiched by holding jigs 8 from both sides, the holding jigs 8 are placed on an automatic XY table (not shown), and the metal plate 1 attached to the screen 5 is held horizontally. A laser head 6 using a YAG laser or the like is arranged on the automatic XY table. The laser head 6 moves a laser beam while moving the metal plate 1 on the automatic XY table in the X and Y directions by NC control. The metal plate 1 is irradiated with light 7 to form a large number of pores 3 at predetermined positions on the metal plate 1 to form a required pattern. As the laser oscillator of this laser processing machine, for example, a pulse oscillation type or the like is used.
【0012】次に、このようにして細孔3によるパター
ンが形成された金属板1のレーザー光出射側1bの面
を、#1500程度の研磨材にて平面研磨し、細孔3の
開口部周囲にあるドロス2を除去する。次に、このよう
にして研磨したスクリーン印刷用メタルマスクを、図1
(b)で示すように保持治具11に保持し、これをサン
ドブラスト研磨機にセットする。すなわち、スクリーン
枠4を保持治具11で両側から挟持し、この保持治具1
1を図示してないサンドブラスト研磨機のテーブル上に
載せ、前記レーザー加工時とは上下面を反対にして、す
なわちレーザー光出射側1bを上にしてスクリーン沙5
に貼られた金属板1を傾斜させて保持する。この時の金
属板1の傾斜角度θ1 は10°以上、望ましくは30°
以上とする。例えば、図1(b)の例では45°の傾斜
角度で保持されている。Next, the surface of the metal plate 1 on which the pattern of the pores 3 is formed on the laser beam emitting side 1b is surface-polished with an abrasive material of about # 1500 to open the openings of the pores 3. Remove the surrounding dross 2. Next, the metal mask for screen printing polished in this manner was used as shown in FIG.
As shown in (b), it is held by a holding jig 11 and set in a sandblast polishing machine. That is, the screen frame 4 is sandwiched by the holding jigs 11 from both sides, and the holding jigs 1
1 is placed on a table of a sandblasting machine (not shown), and the upper and lower surfaces thereof are opposite to those at the time of laser processing, that is, the laser beam emitting side 1b is facing up.
The metal plate 1 attached to is tilted and held. At this time, the inclination angle θ 1 of the metal plate 1 is 10 ° or more, preferably 30 °
Above. For example, in the example of FIG. 1B, it is held at an inclination angle of 45 °.
【0013】このように保持され金属板1の上にはブラ
ストノズル9が配置され、ここから水などの流体である
媒体と共に、粒状研磨材10が400m/sec〜10
00m/sec、さらに好ましくは600m/sec〜
900m/secの速度で金属板1に吹き付けられる。
このブラストノズル9は、金属板1の板面に対する角度
θ2 を30°以上、望ましくは45°以上の斜め方向に
向けて設置するのがよい。例えば、図1(b)の例では
θ2 =60°の角度で設置されている。A blast nozzle 9 is arranged on the metal plate 1 held in this manner, and from there, a granular abrasive 10 is added in a range of 400 m / sec to 10 along with a medium such as water.
00 m / sec, more preferably 600 m / sec-
The metal plate 1 is sprayed at a speed of 900 m / sec.
The blast nozzle 9 is preferably installed so that the angle θ 2 with respect to the plate surface of the metal plate 1 is 30 ° or more, preferably 45 ° or more. For example, in the example of FIG. 1 (b), it is installed at an angle of θ 2 = 60 °.
【0014】粒状研磨材としては、#100〜#150
0、より好ましくは#400〜#800のアルミナ系も
しくはカーボン系研磨材が使用される。例えば、金属板
1がステンレスからなる場合、#100以下の粒状研磨
材では、研磨力が強すぎるため、細孔3の形状変化が起
こりやすく、また、#1500以上の粒状研磨材では、
研磨力が弱すぎるため、細孔3の壁面の面粗度の低減、
微細溶融物の除去等がされにくい。As the granular abrasive, # 100 to # 150
0, more preferably # 400 to # 800 alumina-based or carbon-based abrasives are used. For example, when the metal plate 1 is made of stainless steel, the abrasive force of # 100 or less is too strong to easily change the shape of the pores 3, and the granular abrasive of # 1500 or more,
Since the polishing power is too weak, the surface roughness of the wall surface of the pores 3 is reduced,
It is difficult to remove fine melts.
【0015】このようにして、金属板1の板面に対して
傾斜した角度で粒状研磨材を金属板1の表面に吹き付
け、サンドブラスト研磨したときの細孔3の部分の模式
図を図2に示す。θ1 は金属板1の傾斜角であり、θ2
は金属板1に対するブラストノズル9の傾斜角である。
このようにして、細孔3を有する金属板1をサンドブラ
スト研磨することにより、粒状研磨材10が金属板1の
細孔3の壁面に直接衝突する。その結果、図3に示すよ
うに、金属板1のパターンを構成する細孔3の壁面が平
滑化させ、その面粗度が小さくなる。また、細孔3の壁
面に付着した溶融物も除去される。In this way, a schematic view of the portion of the pores 3 when the granular abrasive is sprayed on the surface of the metal plate 1 at an angle inclined with respect to the plate surface of the metal plate 1 and sandblasted is shown in FIG. Show. θ 1 is the inclination angle of the metal plate 1, and θ 2
Is an inclination angle of the blast nozzle 9 with respect to the metal plate 1.
By sandblasting the metal plate 1 having the pores 3 in this manner, the granular abrasive 10 directly collides with the wall surface of the pores 3 of the metal plate 1. As a result, as shown in FIG. 3, the wall surfaces of the pores 3 forming the pattern of the metal plate 1 are smoothed, and the surface roughness is reduced. Further, the melt adhered to the wall surface of the pore 3 is also removed.
【0016】[0016]
【実施例】次に、本発明の具体例について、具体的数値
をあげながら説明する。 (実施例1)図4に示すように、メッシュ状のスクリー
ン紗5に一定の張力を与えながら、これを縦横各320
mmの正方形の額縁状のスクリーン枠4に沙張りした。
さらに金属板として縦横各240mm、厚さ150μm
の正方形のステンレス板(SUS304板)を用い、こ
の金属板1の周縁部にエポキシ樹脂系接着剤を塗布した
後、この金属板1を前記スクリーン沙4の中央部に重
ね、この状態で約6時間程放置して接着剤を乾燥、硬化
させ、接着した。その後、前記金属板1の外形から10
mm内側の部分に重なるスクリーン沙5を部分的に切り
除いた。EXAMPLES Next, specific examples of the present invention will be described by giving specific numerical values. (Embodiment 1) As shown in FIG. 4, while applying a constant tension to a mesh-shaped screen cloth 5, the mesh screen cloth 5 is set to 320 in length and width.
It was stretched on the screen frame 4 in the form of a square frame of mm.
Furthermore, as a metal plate, each length and width is 240 mm, thickness 150 μm
Using a square stainless steel plate (SUS304 plate), an epoxy resin adhesive is applied to the peripheral edge of the metal plate 1, and then the metal plate 1 is overlaid on the center of the screen 4, and in this state about 6 The adhesive was left to stand for about an hour to dry, cure, and bond. Then, from the outer shape of the metal plate 1, 10
A part of the screen 5 overlapping the inner part of mm was cut off.
【0017】次に、このスクリーン印刷用メタルマスク
を図1(a)で示すように保持治具8に保持し、これを
レーザー加工機にセットした。そして、NC制御により
前記自動XYテーブル上の金属板1をX方向及びY方向
移動しながら、レーザーヘッド6から、出力10W、レ
ーザー光7のスポット径40μm、焦点距離30mm、
焦点位置と金属板1のレーザー入射側1aの板面のとの
距離±0mmでレーザー光7を金属板1に照射し、金属
板1の所定の位置に細孔3を穿孔し、所要のパターンを
形成した。このレーザー加工機のレーザー発振器として
パルス発振形式のものを使用した。Next, the screen printing metal mask was held by a holding jig 8 as shown in FIG. 1A, and this was set in a laser beam machine. Then, while moving the metal plate 1 on the automatic XY table by NC control, the laser head 6 outputs 10 W, the spot diameter of the laser light 7 is 40 μm, and the focal length is 30 mm.
The metal plate 1 is irradiated with laser light 7 at a distance of ± 0 mm between the focal position and the plate surface of the metal plate 1 on the laser incident side 1a, and the pores 3 are perforated at predetermined positions of the metal plate 1 to form a desired pattern. Was formed. As the laser oscillator of this laser processing machine, a pulse oscillation type was used.
【0018】次に、このようにして細孔3によるパター
ンが形成された金属板1のレーザー光出射側1bの面を
#1500の研磨材にて平面研磨し、細孔3の開口部周
囲にあるドロス2を除去した。次に、このようにして研
磨したスクリーン印刷用メタルマスクを、図1(b)で
示すように保持治具11に保持し、これをサンドブラス
ト研磨機にセットした。金属板1はそのレーザー光出射
側1bを上向きとし、傾斜角度θ1 =45°で保持し
た。このように保持された金属板1の上に、同金属板1
の板面に対する傾斜角θ2 =60°でノズル口径4.4
mmのブラストノズル9を配置し、このブラストノズル
9から水に分散した#600のアルミナ系研磨材を80
0m/secの速度で金属板1に吹き付け、サンドブラ
スト研磨をした。なお、ブラストノズル9は、金属板1
の板面と平行に1sec/cm2 の速度で移動すると共
に、金属板1の板面に対する傾斜角θ2 =60°を維持
しながら金属板1への粒状研磨の噴射方向を変え、同金
属板1の上下左右方向から粒状研磨材を吹き付けた。Next, the surface of the metal plate 1 on which the pattern of the pores 3 is formed on the laser beam emitting side 1b is ground by a # 1500 abrasive material, and the periphery of the openings of the pores 3 is polished. A dross 2 was removed. Next, the metal mask for screen printing polished in this manner was held by a holding jig 11 as shown in FIG. 1B, and this was set in a sandblasting grinder. The metal plate 1 was held at an inclination angle θ 1 = 45 ° with its laser beam emitting side 1b facing upward. On the metal plate 1 held in this way, the metal plate 1
Of the nozzle diameter 4.4 at an inclination angle of θ 2 = 60 ° with respect to the plate surface
mm blast nozzle 9 is arranged, and the # 600 alumina-based abrasive dispersed in water is discharged from the blast nozzle 9 to 80 mm.
The metal plate 1 was sprayed at a speed of 0 m / sec and sandblasted. In addition, the blast nozzle 9 is the metal plate 1
While moving at a speed of 1 sec / cm 2 parallel to the plate surface of the metal plate 1 and changing the spray direction of the granular polishing to the metal plate 1 while maintaining the inclination angle θ 2 = 60 ° with respect to the plate surface of the metal plate 1. The granular abrasive was sprayed from the top, bottom, left and right directions of the plate 1.
【0018】このようにして得られたスクリーン印刷用
メタルマスクの金属板1のパターンを構成している細孔
3の壁面の面粗度を三次元形状解析装置により測定、分
析した結果、面粗度は、前記レーザー加工直後でサンド
ブラスト研磨前にRzにて3.5μmだったのが、Rz
にて1.0μmとなったことが確認された。また、前記
レーザー加工直後でサンドブラスト研磨前に細孔3の壁
面に付着した溶融物も同時に除去されていることが確認
された。さらに、このスクリーン印刷用メタルマスクに
ついて、印刷機により印刷性を確認したところ、金属板
1の厚みと同じ直径の150μmの細孔3にて良好な印
刷ペーストの通過性が確認された。The surface roughness of the wall surface of the pores 3 forming the pattern of the metal plate 1 of the metal mask 1 for screen printing thus obtained was measured and analyzed by a three-dimensional shape analyzer. The degree of Rz was 3.5 μm immediately after the laser processing and before sandblasting.
Was confirmed to be 1.0 μm. It was also confirmed that the melt adhered to the wall surface of the pores 3 was removed at the same time immediately after the laser processing and before sandblasting. Further, the printability of this screen printing metal mask was confirmed by a printing machine. As a result, good passability of the printing paste was confirmed in the pores 3 of 150 μm having the same diameter as the thickness of the metal plate 1.
【0019】(実施例2)前記実施例1において、粒状
研磨材10として、#600のカーボン系サンドブラス
トを使用し、同様にしてスクリーン印刷用メタルマスク
を製作したところ、同様の結果が得られた。(Example 2) A similar result was obtained when a metal mask for screen printing was produced in the same manner as in Example 1 except that # 600 carbon sandblast was used as the granular abrasive 10. .
【0020】[0020]
【発明の効果】以上説明した通り、本発明によれば、レ
ーザー加工法により製造されるスクリーン印刷用メタル
マスクにおいて、面粗度が小さく、また微細溶融物の付
着のない壁面を持った細孔3が形成できる。これによ
り、印刷ペーストの印刷性が良好となり、印刷品質、印
刷精度の向上を図ることができる。As described above, according to the present invention, in the metal mask for screen printing manufactured by the laser processing method, the surface roughness is small and the pores having the wall surface on which the fine melt is not adhered. 3 can be formed. As a result, the printability of the print paste is improved, and the print quality and print accuracy can be improved.
【図1】本発明の実施例によるスクリーン印刷用メタル
マスクの製造方法におけるレーザー加工工程とサンドブ
ラスト研磨工程とを示す要部縦断側面図である。FIG. 1 is a vertical cross-sectional side view of essential parts showing a laser processing step and a sandblast polishing step in a method of manufacturing a metal mask for screen printing according to an example of the present invention.
【図2】同実施例によるスクリーン印刷用メタルマスク
の製造方法におけるサンドブラスト研磨工程を示す金属
板の細孔付近の要部拡大縦断側面図である。FIG. 2 is an enlarged vertical cross-sectional side view of essential parts near pores of a metal plate showing a sandblast polishing step in the method for manufacturing a metal mask for screen printing according to the example.
【図3】本発明実施例により製造されたスクリーン印刷
用メタルマスクの細孔断図を示す要部拡大断面図であ
る。FIG. 3 is an enlarged sectional view of an essential part showing a cross-sectional view of pores of a metal mask for screen printing manufactured according to an example of the present invention.
【図4】同実施例に使用されたスクリーン印刷用メタル
マスクの平面図とそのA−A線断面図である。FIG. 4 is a plan view and a cross-sectional view taken along the line AA of the metal mask for screen printing used in the same example.
【図5】レーザー加工法により得られたスクリーン印刷
用メタルマスクのレーザー加工直後の金属板の細孔断面
形状と、そのレーザー光出射側を平面研磨し、ドロスを
除去した状態の細孔断面形状を示す要部拡大断面図であ
る。FIG. 5 is a cross-sectional pore shape of a metal plate immediately after laser processing of a metal mask for screen printing obtained by a laser processing method, and a cross-sectional shape of pores in a state in which dross is removed by planarly polishing the laser light emission side thereof. FIG.
1 金属板 1a 金属板のレーザー光入射側 1b 金属板のレーザー光出射側 2 ドロス 3 金属板の細孔 4 スクリーン枠 5 スクリーン紗 6 レーザーヘッド 7 レーザー光 8 保持治具 9 ブラストノズル 10 粒状研磨材 1 metal plate 1a laser light incident side of metal plate 1b laser light emitting side of metal plate 2 dross 3 pores of metal plate 4 screen frame 5 screen mesh 6 laser head 7 laser light 8 holding jig 9 blast nozzle 10 granular abrasive
Claims (5)
して金属板(1)に微細な細孔(3)からなるからパタ
ーンを形成してなるスクリーン印刷用メタルマスクを製
造する方法において、金属板(1)にレーザー光(7)
を照射して金属板(1)に微細な細孔(3)からなるか
らパターンを形成した後、金属板(1)の板面に対して
斜めから同金属板(1)に粒状研磨材を吹き付けてサン
ドブラスト研磨することを特徴とするスクリーン印刷用
メタルマスクの製造方法。1. A metal mask for screen printing, which is formed by irradiating a metal plate (1) with a laser beam (7) to form a pattern of fine pores (3) on the metal plate (1). In the method, laser light (7) is applied to the metal plate (1).
And then a pattern is formed on the metal plate (1) with fine pores (3), and then a granular abrasive is obliquely applied to the metal plate (1) with respect to the plate surface of the metal plate (1). A method for producing a metal mask for screen printing, which comprises spraying and sandblasting.
(7)が照射されたのと反対側の面から吹き付けられる
ことを特徴とする請求項1に記載のスクリーン印刷用メ
タルマスクの製造方法。2. The metal mask for screen printing according to claim 1, wherein the granular abrasive is sprayed from the surface of the metal plate (1) opposite to the surface irradiated with the laser beam (7). Production method.
でそれに粒状研磨材が吹き付けられることを特徴とする
請求項1または2に記載のスクリーン印刷用メタルマス
クの製造方法。3. The method for producing a metal mask for screen printing according to claim 1, wherein the granular abrasive is sprayed onto the metal plate (1) held in an inclined state.
材が#100〜#1500のアルミナ系もしくはカーボ
ン系研磨材であることを特徴とする請求項1〜3の何れ
かに記載のスクリーン印刷用メタルマスクの製造方法。4. The screen printing according to claim 1, wherein the granular abrasive material sprayed onto the metal plate (1) is # 100 to # 1500 alumina-based or carbon-based abrasive. For manufacturing metal masks for automobiles.
0m/secであることを特徴とする請求項1〜4の何
れかに記載のスクリーン印刷用メタルマスクの製造方
法。5. The spraying speed of the granular abrasive is 400 to 100.
It is 0 m / sec, The manufacturing method of the metal mask for screen printing in any one of Claims 1-4 characterized by the above-mentioned.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7234764A JPH0957937A (en) | 1995-08-21 | 1995-08-21 | Manufacture of metal mask for screen printing |
Applications Claiming Priority (1)
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JP7234764A JPH0957937A (en) | 1995-08-21 | 1995-08-21 | Manufacture of metal mask for screen printing |
Publications (1)
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JPH0957937A true JPH0957937A (en) | 1997-03-04 |
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ID=16975998
Family Applications (1)
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JP7234764A Pending JPH0957937A (en) | 1995-08-21 | 1995-08-21 | Manufacture of metal mask for screen printing |
Country Status (1)
Country | Link |
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JP (1) | JPH0957937A (en) |
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1995
- 1995-08-21 JP JP7234764A patent/JPH0957937A/en active Pending
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