JPH0950601A - 磁気抵抗センサの感磁特性試験装置および感磁特性試験方法 - Google Patents
磁気抵抗センサの感磁特性試験装置および感磁特性試験方法Info
- Publication number
- JPH0950601A JPH0950601A JP7198390A JP19839095A JPH0950601A JP H0950601 A JPH0950601 A JP H0950601A JP 7198390 A JP7198390 A JP 7198390A JP 19839095 A JP19839095 A JP 19839095A JP H0950601 A JPH0950601 A JP H0950601A
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- Japan
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- magnetic field
- magnetic
- magnetoresistive sensor
- resistance sensor
- gauss meter
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 測定効率の良い磁気抵抗センサの感磁特性試
験装置を得る。 【解決手段】 シーケンサ８によって磁界印加電源４か
ら発生する磁界の大きさを徐々に上昇させそのときヘル
ムホルツコイル２から発生する磁気抵抗センサ１の感磁
特性および磁気抵抗センサ１付近の磁界をガウスメータ
プローブで検出してガウスメータ７によって測定し、そ
れらをシーケンサ８に取り込んで磁界に対する感磁特性
の変化を測定する。
験装置を得る。 【解決手段】 シーケンサ８によって磁界印加電源４か
ら発生する磁界の大きさを徐々に上昇させそのときヘル
ムホルツコイル２から発生する磁気抵抗センサ１の感磁
特性および磁気抵抗センサ１付近の磁界をガウスメータ
プローブで検出してガウスメータ７によって測定し、そ
れらをシーケンサ８に取り込んで磁界に対する感磁特性
の変化を測定する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気抵抗センサ等
の受動デバイスセンサの感磁特性を測定する磁気抵抗セ
ンサの感磁特性試験装置に関するものである。
の受動デバイスセンサの感磁特性を測定する磁気抵抗セ
ンサの感磁特性試験装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、メカトロニスク等に用いる磁気抵
抗センサの外部磁界に対する測定は図２に示すように、
磁気抵抗センサ１を２つのヘルムホルツコイル２の対向
空間に配設し、そのヘルムホルツコイル２を直列接続し
た上で電流計３を介して磁界印加電源４に接続する。こ
のように構成した上でヘルムホルツコイル２への供給電
流を電流計３によって読み取り、磁気抵抗センサ１の電
流値に対するオンあるいはオフの状態を磁気抵抗センサ
測定器５で判定し、そのときの電流値を磁界強度に換算
して個々の磁気抵抗センサ１の感磁特性を測定してい
た。
抗センサの外部磁界に対する測定は図２に示すように、
磁気抵抗センサ１を２つのヘルムホルツコイル２の対向
空間に配設し、そのヘルムホルツコイル２を直列接続し
た上で電流計３を介して磁界印加電源４に接続する。こ
のように構成した上でヘルムホルツコイル２への供給電
流を電流計３によって読み取り、磁気抵抗センサ１の電
流値に対するオンあるいはオフの状態を磁気抵抗センサ
測定器５で判定し、そのときの電流値を磁界強度に換算
して個々の磁気抵抗センサ１の感磁特性を測定してい
た。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】しかしながらこのよう
な従来の方法は、磁界印加電源の電圧を手動で上昇させ
て、そのときどきの電流値を読み取り、電流値を磁界強
度に換算しなければならず、測定効率が悪いという課題
を有していた。
な従来の方法は、磁界印加電源の電圧を手動で上昇させ
て、そのときどきの電流値を読み取り、電流値を磁界強
度に換算しなければならず、測定効率が悪いという課題
を有していた。
【０００４】本発明はこのような状況に鑑みてなされた
もので、測定効率を向上させるようにしたものである。
もので、測定効率を向上させるようにしたものである。
【０００５】
【課題を解決するための手段】このような目的を達成す
るために本発明は、供給される電圧に対応した磁界を発
生するヘルムホルツコイルと、ヘルムホルツコイルに磁
界発生用の電圧を供給する磁界印加電源と、ヘルムホル
ツコイルによって発生する磁界中に置かれた磁気抵抗セ
ンサ付近の磁界の大きさを検出するガウスメータプロー
ブと、ガウスメータプローブで検出した磁界を測定する
ガウスメータと、磁界印加電源の電圧を徐々に上昇制御
すると共にその制御に対応して変化する磁界による磁気
抵抗センサの感磁特性およびガウスメータで測定した磁
界の大きさを同時に検出するシーケンサとを備えたもの
である。また、シーケンサによって磁界印加電源から発
生する磁界の大きさを徐々に上昇させそのときの磁気抵
抗センサの感磁特性および磁気抵抗センサ付近の磁界を
シーケンサに取り込んで磁界に対する感磁特性の変化を
測定するようにしたものである。
るために本発明は、供給される電圧に対応した磁界を発
生するヘルムホルツコイルと、ヘルムホルツコイルに磁
界発生用の電圧を供給する磁界印加電源と、ヘルムホル
ツコイルによって発生する磁界中に置かれた磁気抵抗セ
ンサ付近の磁界の大きさを検出するガウスメータプロー
ブと、ガウスメータプローブで検出した磁界を測定する
ガウスメータと、磁界印加電源の電圧を徐々に上昇制御
すると共にその制御に対応して変化する磁界による磁気
抵抗センサの感磁特性およびガウスメータで測定した磁
界の大きさを同時に検出するシーケンサとを備えたもの
である。また、シーケンサによって磁界印加電源から発
生する磁界の大きさを徐々に上昇させそのときの磁気抵
抗センサの感磁特性および磁気抵抗センサ付近の磁界を
シーケンサに取り込んで磁界に対する感磁特性の変化を
測定するようにしたものである。
【０００６】
【発明の実施の形態】図１は本発明の一実施例を示す図
であり、図２と同様にヘルムホルツコイル２の対向空間
に磁気抵抗センサ１を配設し、ヘルムホルツコイル２は
直列接続した上で磁界印加電源４ａから電源が供給され
るようになっている。そして磁気抵抗センサ１の試験台
９下部中央付近にくり貫かれた凹部空間９ａの最奥部付
近にガウスメータプローブ６が挿入されている。なお、
磁気抵抗センサ１はガウスメータプローブ６の最も近い
位置となるように配設している。
であり、図２と同様にヘルムホルツコイル２の対向空間
に磁気抵抗センサ１を配設し、ヘルムホルツコイル２は
直列接続した上で磁界印加電源４ａから電源が供給され
るようになっている。そして磁気抵抗センサ１の試験台
９下部中央付近にくり貫かれた凹部空間９ａの最奥部付
近にガウスメータプローブ６が挿入されている。なお、
磁気抵抗センサ１はガウスメータプローブ６の最も近い
位置となるように配設している。
【０００７】ガウスメータプローブ６はその付近の磁界
の大きさを検出しそれに対応した出力信号をガウスメー
タ７に供給するようになっており、ガウスメータ７は供
給された信号によって磁気抵抗センサ１付近の磁界強度
を測定する。そのガウスメータ７はシーケンサ８のＡ／
Ｄ信号端子に接続されており、シーケンサ８はＤ／Ａ端
子から出力する信号に応じて磁界印加電源４ａを制御し
てヘルツホルムコイルに供給する電源電圧を調整するよ
うになっている。
の大きさを検出しそれに対応した出力信号をガウスメー
タ７に供給するようになっており、ガウスメータ７は供
給された信号によって磁気抵抗センサ１付近の磁界強度
を測定する。そのガウスメータ７はシーケンサ８のＡ／
Ｄ信号端子に接続されており、シーケンサ８はＤ／Ａ端
子から出力する信号に応じて磁界印加電源４ａを制御し
てヘルツホルムコイルに供給する電源電圧を調整するよ
うになっている。
【０００８】このように構成された装置において、シー
ケンサ８はＤ／Ａ信号端子から磁界印加電源４ａを制御
してそこから出力する電圧を徐々に上昇させるように調
整する。この電圧はヘルムホルツコイル２に供給され、
磁気抵抗センサ１に供給される磁界は電圧の上昇と共に
徐々に大きくなり、磁気抵抗センサ１付近の磁界はガウ
スメータプローブ６によって検出され、それがガウスメ
ータ７に供給され磁界の大きさが測定され、測定された
値はシーケンサ４のＡ／Ｄ信号端子に供給される。
ケンサ８はＤ／Ａ信号端子から磁界印加電源４ａを制御
してそこから出力する電圧を徐々に上昇させるように調
整する。この電圧はヘルムホルツコイル２に供給され、
磁気抵抗センサ１に供給される磁界は電圧の上昇と共に
徐々に大きくなり、磁気抵抗センサ１付近の磁界はガウ
スメータプローブ６によって検出され、それがガウスメ
ータ７に供給され磁界の大きさが測定され、測定された
値はシーケンサ４のＡ／Ｄ信号端子に供給される。
【０００９】磁気抵抗センサ１は磁界の大きさによって
感磁特性が変わる特性を有しており磁界の大きさによっ
て変化するオンあるいはオフ状態が変化するので、その
変化がシーケンサ８に取り込まれる。これにより、シー
ケンサ８は磁気抵抗センサ１の感磁特性がオフからオン
に変化する時点のガウスメータ７によって検出される磁
界を監視し、磁気抵抗センサ１の外部磁界に対する特性
を詳細に測定する。
感磁特性が変わる特性を有しており磁界の大きさによっ
て変化するオンあるいはオフ状態が変化するので、その
変化がシーケンサ８に取り込まれる。これにより、シー
ケンサ８は磁気抵抗センサ１の感磁特性がオフからオン
に変化する時点のガウスメータ７によって検出される磁
界を監視し、磁気抵抗センサ１の外部磁界に対する特性
を詳細に測定する。
【００１０】
【発明の効果】以上説明したように本発明は、シーケン
サによってヘルムホルツコイルに供給する電源を調整
し、そのときの磁気抵抗センサ付近の磁気抵抗センサの
感磁特性および、その磁界に対する感磁特性を同時に測
定するようにしたので、測定効率が良くなると言う効果
を有する。
サによってヘルムホルツコイルに供給する電源を調整
し、そのときの磁気抵抗センサ付近の磁気抵抗センサの
感磁特性および、その磁界に対する感磁特性を同時に測
定するようにしたので、測定効率が良くなると言う効果
を有する。
【図面の簡単な説明】
【図１】 本発明の一実施例の構成を示すブロック図で
ある。
ある。
【図２】 従来の方法の構成を示すブロック図である。
１…磁気抵抗センサ、２…ヘルムホルツコイル、５…試
験台、６…ガウスメータプローブ、７…ガウスメータ、
４…シーケンサ。
験台、６…ガウスメータプローブ、７…ガウスメータ、
４…シーケンサ。
Claims (2)
- 【請求項１】 供給される電圧に対応した磁界を発生す
るヘルムホルツコイルと、 前記ヘルムホルツコイルに磁界発生用の電圧を供給する
磁界印加電源と、 前記ヘルムホルツコイルによって発生する磁界中に置か
れた磁気抵抗センサ付近の磁界の大きさを検出するガウ
スメータプローブと、 前記ガウスメータプローブで検出した磁界を測定するガ
ウスメータと、 前記磁界印加電源の電圧を徐々に上昇制御すると共にそ
の制御に対応して変化する磁界による磁気抵抗センサの
感磁特性およびガウスメータで測定した磁界の大きさを
同時に検出するシーケンサとを備えたことを特徴とする
磁気抵抗センサの感磁特性試験装置。 - 【請求項２】 請求項１の装置を用いた磁気抵抗センサ
の感磁特性試験方法において、 シーケンサによって磁界印加電源から発生する磁界の大
きさを徐々に上昇させそのときの磁気抵抗センサの感磁
特性および磁気抵抗センサ付近の磁界をシーケンサに取
り込んで磁界に対する感磁特性の変化を測定する磁気抵
抗センサの感磁特性試験方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7198390A JPH0950601A (ja) | 1995-08-03 | 1995-08-03 | 磁気抵抗センサの感磁特性試験装置および感磁特性試験方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7198390A JPH0950601A (ja) | 1995-08-03 | 1995-08-03 | 磁気抵抗センサの感磁特性試験装置および感磁特性試験方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0950601A true JPH0950601A (ja) | 1997-02-18 |
Family
ID=16390338
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7198390A Pending JPH0950601A (ja) | 1995-08-03 | 1995-08-03 | 磁気抵抗センサの感磁特性試験装置および感磁特性試験方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0950601A (ja) |
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100702087B1 (ko) * | 2004-07-09 | 2007-04-02 | 야마하 가부시키가이샤 | 자기 센서를 테스트하기 위한 프로브 카드 및 방법 |
| JP2008232930A (ja) * | 2007-03-22 | 2008-10-02 | Hitachi Ltd | 磁界発生装置 |
| JP2009069005A (ja) * | 2007-09-13 | 2009-04-02 | Fujikura Ltd | 磁界校正方法 |
| JP2009192510A (ja) * | 2008-02-18 | 2009-08-27 | Fujikura Ltd | 磁界校正方法 |
| US7843193B2 (en) * | 2007-09-21 | 2010-11-30 | Research In Motion Limited | System for testing magnetic sensitivity of Hall-effect switch |
| JP2016114296A (ja) * | 2014-12-15 | 2016-06-23 | 株式会社ハーマン | 加熱調理器用検出装置の検査方法 |
| CN107643499A (zh) * | 2016-07-22 | 2018-01-30 | 深圳长城开发科技股份有限公司 | 一种高斯计和用于测量磁场强度的微控制器及控制方法 |
-
1995
- 1995-08-03 JP JP7198390A patent/JPH0950601A/ja active Pending
Cited By (9)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100702087B1 (ko) * | 2004-07-09 | 2007-04-02 | 야마하 가부시키가이샤 | 자기 센서를 테스트하기 위한 프로브 카드 및 방법 |
| US7345470B2 (en) | 2004-07-09 | 2008-03-18 | Yamaha Corporation | Probe card and method for testing magnetic sensor |
| JP2008232930A (ja) * | 2007-03-22 | 2008-10-02 | Hitachi Ltd | 磁界発生装置 |
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| CN107643499B (zh) * | 2016-07-22 | 2020-04-07 | 深圳长城开发科技股份有限公司 | 一种高斯计和用于测量磁场强度的微控制器及控制方法 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
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| S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
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| R360 | Written notification for declining of transfer of rights |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R360 |
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| R371 | Transfer withdrawn |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R371 |
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Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
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