JPH0944913A - 電鋳装置 - Google Patents
電鋳装置Info
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- JPH0944913A JPH0944913A JP19224195A JP19224195A JPH0944913A JP H0944913 A JPH0944913 A JP H0944913A JP 19224195 A JP19224195 A JP 19224195A JP 19224195 A JP19224195 A JP 19224195A JP H0944913 A JPH0944913 A JP H0944913A
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- electroforming
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Abstract
(57)【要約】
【課題】光ディスク用スタンパを製造する際の電鋳装置
の陽極の不溶解成分の付着物による電鋳板の機械特性の
悪化を防ぐ。 【解決手段】陽極６に振動子１８を設置し、振動子１８
を震わし超音波を放射することでペレット状のニッケル
やニッケルの断片７の付着物をよく落とし、洗浄時専用
フィルタ１９で取り除くことで電鋳板の機械特性の悪化
を防ぐ。
の陽極の不溶解成分の付着物による電鋳板の機械特性の
悪化を防ぐ。 【解決手段】陽極６に振動子１８を設置し、振動子１８
を震わし超音波を放射することでペレット状のニッケル
やニッケルの断片７の付着物をよく落とし、洗浄時専用
フィルタ１９で取り除くことで電鋳板の機械特性の悪化
を防ぐ。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電鋳装置に関し、
特に、光記録媒体製造用スタンパの電鋳装置に関する。
特に、光記録媒体製造用スタンパの電鋳装置に関する。
【０００２】
【従来の技術】光ビ−ムの照射によって、光学特性を変
化させて、情報の記録・再生を行う光記録媒体の製造で
は、先に記録する情報ピットや案内溝の凹凸パタ−ンを
形成した原盤から、凹凸パタ−ンを転写したスタンパ
を、例えば特開平４−２３８１２９号公報で示されてい
る電鋳装置を用いて製造する。
化させて、情報の記録・再生を行う光記録媒体の製造で
は、先に記録する情報ピットや案内溝の凹凸パタ−ンを
形成した原盤から、凹凸パタ−ンを転写したスタンパ
を、例えば特開平４−２３８１２９号公報で示されてい
る電鋳装置を用いて製造する。
【０００３】従来の電鋳装置について図３を参照して詳
細に説明する。
細に説明する。
【０００４】図３は従来の電鋳装置を示す断面図であ
る。
る。
【０００５】ポリプロピレンや塩化ビニ−ルなどの樹脂
性の電鋳槽１中に濃度４５０ｇ／Ｌ〜４８０ｇ／Ｌのス
ルファミン酸ニッケルに濃度３５ｇ／Ｌ〜４０ｇ／Ｌの
ほう酸、各種添加物が溶解した電鋳液２が充たされてい
る。電鋳液２中の回転軸３の先の陰極４に先に導電化処
理を施した記録する情報や案内溝の凹凸を刻んだ原盤５
を取付けて、陰極と対向した位置に設置した陽極６から
ニッケルイオンを電鋳液２中に電解させ、ニッケルイオ
ンを原盤に電析させる。
性の電鋳槽１中に濃度４５０ｇ／Ｌ〜４８０ｇ／Ｌのス
ルファミン酸ニッケルに濃度３５ｇ／Ｌ〜４０ｇ／Ｌの
ほう酸、各種添加物が溶解した電鋳液２が充たされてい
る。電鋳液２中の回転軸３の先の陰極４に先に導電化処
理を施した記録する情報や案内溝の凹凸を刻んだ原盤５
を取付けて、陰極と対向した位置に設置した陽極６から
ニッケルイオンを電鋳液２中に電解させ、ニッケルイオ
ンを原盤に電析させる。
【０００６】陽極６からのニッケルイオン供給のため、
陽極６自身を籠状の形状のバスケットにし、その中にペ
レット状のニッケルやニッケルの断片７を入れ、通電し
た際にニッケルイオンを電鋳液２中に電解させる。
陽極６自身を籠状の形状のバスケットにし、その中にペ
レット状のニッケルやニッケルの断片７を入れ、通電し
た際にニッケルイオンを電鋳液２中に電解させる。
【０００７】ここで、電鋳液２は液面を規定する排出口
８から排出され、配管２２を通り、液温制御部１０を有
する配管系を通る。ポンプ１１により電鋳液２を送り出
し、不純物をろ過するフィルタ１２を通り、吹き出し口
２３から電鋳槽１に還流するような液循環をしている。
８から排出され、配管２２を通り、液温制御部１０を有
する配管系を通る。ポンプ１１により電鋳液２を送り出
し、不純物をろ過するフィルタ１２を通り、吹き出し口
２３から電鋳槽１に還流するような液循環をしている。
【０００８】累積電鋳時間が増えるに従い、陽極６のペ
レット状のニッケルやニッケルの断片７に不溶解性の金
属ゴミ（スライム，スラッジ）が発生し、表面に付着す
る。付着することで陽極６、陰極４間の通電効率が低下
し、且つ原盤５を電鋳した後の電鋳板の径方向の板厚分
布が意図しない分布傾向を示したり、反りが生じたり、
電鋳板の表面硬度及び裏面硬度が硬くなったり、電鋳板
裏面の表面粗度が粗くなるなどの電鋳板の機械特性が悪
化する傾向がある。陽極６のペレット状のニッケルやニ
ッケルの断片７に不溶解性の金属ゴミ（スライム，スラ
ッジ）が付着したら、例えば陽極６のような場所に固定
した振動子１８から陽極６内のペレット状のニッケルや
ニッケルの断片７へ超音波を放射し所定時間洗浄を行っ
ていた。
レット状のニッケルやニッケルの断片７に不溶解性の金
属ゴミ（スライム，スラッジ）が発生し、表面に付着す
る。付着することで陽極６、陰極４間の通電効率が低下
し、且つ原盤５を電鋳した後の電鋳板の径方向の板厚分
布が意図しない分布傾向を示したり、反りが生じたり、
電鋳板の表面硬度及び裏面硬度が硬くなったり、電鋳板
裏面の表面粗度が粗くなるなどの電鋳板の機械特性が悪
化する傾向がある。陽極６のペレット状のニッケルやニ
ッケルの断片７に不溶解性の金属ゴミ（スライム，スラ
ッジ）が付着したら、例えば陽極６のような場所に固定
した振動子１８から陽極６内のペレット状のニッケルや
ニッケルの断片７へ超音波を放射し所定時間洗浄を行っ
ていた。
【０００９】
【発明が解決しようとする課題】上述した従来の電鋳装
置は、陽極のペレット状のニッケルやニッケルの断片の
付着物を振動子により陽極内のペレット状のニッケルや
ニッケルの断片へ超音波を放射し所定時間洗浄を行う
と、フィルタやフィルタ部近辺に不溶解性の金属ゴミ
（スライム、スラッジ）が付着して、振動子の放射時間
に従い付着量が増加する。電鋳液の循環により、付着し
た不溶解性の金属ゴミ（スライム，スラッジ）が電鋳液
中に混ざり、吹き出し口から原盤に直接電鋳液が浴びる
こととなる。このような電鋳液中の不溶解性の金属ゴミ
（スライム，スラッジ）により、従来の電鋳装置では、
電鋳した後の電鋳板の径方向の板厚分布が意図しない分
布傾向を示したり、反りが生じたり、電鋳板の表面硬度
及び裏面硬度が硬くなったり、電鋳板裏面の表面粗度が
粗くなるなどの電鋳板の機械特性が悪化するという欠点
がある。
置は、陽極のペレット状のニッケルやニッケルの断片の
付着物を振動子により陽極内のペレット状のニッケルや
ニッケルの断片へ超音波を放射し所定時間洗浄を行う
と、フィルタやフィルタ部近辺に不溶解性の金属ゴミ
（スライム、スラッジ）が付着して、振動子の放射時間
に従い付着量が増加する。電鋳液の循環により、付着し
た不溶解性の金属ゴミ（スライム，スラッジ）が電鋳液
中に混ざり、吹き出し口から原盤に直接電鋳液が浴びる
こととなる。このような電鋳液中の不溶解性の金属ゴミ
（スライム，スラッジ）により、従来の電鋳装置では、
電鋳した後の電鋳板の径方向の板厚分布が意図しない分
布傾向を示したり、反りが生じたり、電鋳板の表面硬度
及び裏面硬度が硬くなったり、電鋳板裏面の表面粗度が
粗くなるなどの電鋳板の機械特性が悪化するという欠点
がある。
【００１０】
(1) 本発明の電鋳装置は、陽極に超音波を放射する振動
子と、この振動子によって陽極を超音波洗浄する際に電
鋳液を電鋳液を導く専用バイパスと、この専用バイパス
内に設けられ陽極からの金属ゴミを専用に除去する洗浄
時専用フィルタとを含んで構成されることを特徴として
いる。 (2) 本発明の電鋳装置は、上記(1) の振動子が、石英か
ら成ることを特徴としている。 (3) 本発明の電鋳装置は、上記(2) の石英からなる振動
子の表面にＳＵＳ３１６を付けたことを特徴としてい
る。
子と、この振動子によって陽極を超音波洗浄する際に電
鋳液を電鋳液を導く専用バイパスと、この専用バイパス
内に設けられ陽極からの金属ゴミを専用に除去する洗浄
時専用フィルタとを含んで構成されることを特徴として
いる。 (2) 本発明の電鋳装置は、上記(1) の振動子が、石英か
ら成ることを特徴としている。 (3) 本発明の電鋳装置は、上記(2) の石英からなる振動
子の表面にＳＵＳ３１６を付けたことを特徴としてい
る。
【００１１】
【発明の実施の形態】次に、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して説明する。
て図面を参照して説明する。
【００１２】図１は本発明の電鋳装置の一実施の形態の
構成を示す断面図である。
構成を示す断面図である。
【００１３】ポリプロピレンや塩化ビニ−ルなどの樹脂
性の電鋳槽１中に濃度４５０ｇ／Ｌ〜４８０ｇ／Ｌのス
ルファミン酸ニッケルに濃度３５ｇ／Ｌ〜４０ｇ／Ｌの
ほう酸、各種添加物が溶解した電鋳液２が充たされてい
る。電鋳液２中の回転軸３の先の陰極４に先に導電化処
理を施した記録する情報や案内溝の凹凸を刻んだ原盤５
を取付けて、陰極４と対向した位置に設置した陽極６か
らニッケルイオンを電鋳液２中に電解させ、ニッケルイ
オンを原盤に電析させる。
性の電鋳槽１中に濃度４５０ｇ／Ｌ〜４８０ｇ／Ｌのス
ルファミン酸ニッケルに濃度３５ｇ／Ｌ〜４０ｇ／Ｌの
ほう酸、各種添加物が溶解した電鋳液２が充たされてい
る。電鋳液２中の回転軸３の先の陰極４に先に導電化処
理を施した記録する情報や案内溝の凹凸を刻んだ原盤５
を取付けて、陰極４と対向した位置に設置した陽極６か
らニッケルイオンを電鋳液２中に電解させ、ニッケルイ
オンを原盤に電析させる。
【００１４】陽極６からのニッケルイオン供給のため、
陽極６自身を籠状の形状のバスケットにし、その中にペ
レット状のニッケルやニッケルの断片７を入れ、通電し
た際にニッケルイオンを電鋳液２中に電解させる。
陽極６自身を籠状の形状のバスケットにし、その中にペ
レット状のニッケルやニッケルの断片７を入れ、通電し
た際にニッケルイオンを電鋳液２中に電解させる。
【００１５】ここで、電鋳液２は液面を規定する排出口
８から排出され、配管９を通り、液温制御部１０を有す
る配管系を通る。ポンプ１１により電鋳液２を送り出
し、不純物をろ過するフィルタ１２を通り、吹き出し口
１３から電鋳槽１に還流するような液循環をしている。
８から排出され、配管９を通り、液温制御部１０を有す
る配管系を通る。ポンプ１１により電鋳液２を送り出
し、不純物をろ過するフィルタ１２を通り、吹き出し口
１３から電鋳槽１に還流するような液循環をしている。
【００１６】累積電鋳時間が増えるに従い、陽極６のペ
レット状のニッケルやニッケルの断片等７に不溶解性の
金属ゴミ（スライム，スラッジ）が発生し、表面に付着
する。付着した不溶解性の金属ゴミ（スライム，スラッ
ジ）は洗浄する必要がある。
レット状のニッケルやニッケルの断片等７に不溶解性の
金属ゴミ（スライム，スラッジ）が発生し、表面に付着
する。付着した不溶解性の金属ゴミ（スライム，スラッ
ジ）は洗浄する必要がある。
【００１７】電鋳していないとき、バルブ１４を開け、
バルブ１５を閉じ、バイパス１６を通して電鋳液２を循
環させ、陽極６に固定された振動子１８から陽極６内の
ペレット状のニッケルやニッケルの断片７へ超音波を放
射し所定時間洗浄を行う。
バルブ１５を閉じ、バイパス１６を通して電鋳液２を循
環させ、陽極６に固定された振動子１８から陽極６内の
ペレット状のニッケルやニッケルの断片７へ超音波を放
射し所定時間洗浄を行う。
【００１８】このときペレット状のニッケルやニッケル
の断片７に付着している不溶解性の金属ゴミ（スライ
ム，スラッジ）は振動子１８からの超音波によって電鋳
液２中に浮遊し、電鋳液２の循環によってバイパス１６
を通り、洗浄時専用フィルタ１７でろ過される。
の断片７に付着している不溶解性の金属ゴミ（スライ
ム，スラッジ）は振動子１８からの超音波によって電鋳
液２中に浮遊し、電鋳液２の循環によってバイパス１６
を通り、洗浄時専用フィルタ１７でろ過される。
【００１９】振動子の配置は、ペレット状のニッケルや
ニッケルの断片７の洗浄効果を高めるために陽極６のバ
スケットの表裏面，側面，上下面，内部に設置する。陰
極４との対向面はニッケルイオンの伝搬、上面はメンテ
ナンス時のペレット状のニッケルやニッケルの断片７の
出し入れのため、設置面積及び設置場所は制限される。
振動子の個数が多い程洗浄効果が高まるが、費用面のこ
とも考え、裏面，内部に設置するだけでも充分効果があ
る。
ニッケルの断片７の洗浄効果を高めるために陽極６のバ
スケットの表裏面，側面，上下面，内部に設置する。陰
極４との対向面はニッケルイオンの伝搬、上面はメンテ
ナンス時のペレット状のニッケルやニッケルの断片７の
出し入れのため、設置面積及び設置場所は制限される。
振動子の個数が多い程洗浄効果が高まるが、費用面のこ
とも考え、裏面，内部に設置するだけでも充分効果があ
る。
【００２０】振動子の材質は、電鋳液２による腐食、ニ
ッケルの電着を防止するために石英を使用する。バスケ
ット内部に設置する振動子は、ペレット状のニッケルや
ニッケルの断片と直接接触するためＳＵＳ３１６等の金
属を表面に付け、破損を防止する。
ッケルの電着を防止するために石英を使用する。バスケ
ット内部に設置する振動子は、ペレット状のニッケルや
ニッケルの断片と直接接触するためＳＵＳ３１６等の金
属を表面に付け、破損を防止する。
【００２１】発振条件は、発振周波数５０ｋＨｚ、発振
出力３００Ｗ、発振時間５分〜１０分で実施し、電鋳液
２の循環は発振終了後１時間程度行い、充分不溶解性の
金属ゴミ（スライム、スラッジ）がろ過できた。
出力３００Ｗ、発振時間５分〜１０分で実施し、電鋳液
２の循環は発振終了後１時間程度行い、充分不溶解性の
金属ゴミ（スライム、スラッジ）がろ過できた。
【００２２】次に、このろ過後の洗浄を図２を参照しな
がら詳細に説明する。
がら詳細に説明する。
【００２３】図２は図１の電鋳装置の洗浄時専用フィル
タの断面図である。
タの断面図である。
【００２４】バルブ１４を閉じ、バイパス１６にバルブ
１４で閉ざされた区間を作り、洗浄時専用フィルタハウ
ジング１７の洗浄時専用フィルタハウジング蓋２０を取
り外し、中から洗浄時専用フィルタ１９を取り出す。洗
浄時専用フィルタ１９は、洗浄時専用フィルタハウジン
グ１７規定の本数取り付けられており、耐酸性のポアサ
イズ１０μｍのものを使用している。バルブ１４は三方
向のボ−ルバルブを使用し、前述のバイパス１６の閉ざ
された区間の液が外に出るようにバルブ１４を開ける。
バイパス１６の閉ざされた区間の内壁及び洗浄時専用フ
ィルタハウジング１７の内壁を弱酸性の溶液２１を入れ
ることで洗浄する。弱酸性の溶液２１は、１規定の塩酸
を用いる。洗浄時間は１０分程度行う。
１４で閉ざされた区間を作り、洗浄時専用フィルタハウ
ジング１７の洗浄時専用フィルタハウジング蓋２０を取
り外し、中から洗浄時専用フィルタ１９を取り出す。洗
浄時専用フィルタ１９は、洗浄時専用フィルタハウジン
グ１７規定の本数取り付けられており、耐酸性のポアサ
イズ１０μｍのものを使用している。バルブ１４は三方
向のボ−ルバルブを使用し、前述のバイパス１６の閉ざ
された区間の液が外に出るようにバルブ１４を開ける。
バイパス１６の閉ざされた区間の内壁及び洗浄時専用フ
ィルタハウジング１７の内壁を弱酸性の溶液２１を入れ
ることで洗浄する。弱酸性の溶液２１は、１規定の塩酸
を用いる。洗浄時間は１０分程度行う。
【００２５】
【発明の効果】以上説明したように、本発明の電鋳装置
は、超音波を放射し陽極のバスケットに入ったペレット
状のニッケルやニッケルの断片を振動させる方法を用い
ることにより、ペレット状のニッケルやニッケルの断片
を弱酸性の溶液及び純水で洗浄しただけでは完全にはお
ちなかった付着物を落すことができ、通電効率を向上
し、電鋳板の径方向の板厚分布，反り，表面硬度及び裏
面硬度，電鋳板裏面の表面粗度などの電鋳板機械特性の
安定性を増すことができるという効果がある。
は、超音波を放射し陽極のバスケットに入ったペレット
状のニッケルやニッケルの断片を振動させる方法を用い
ることにより、ペレット状のニッケルやニッケルの断片
を弱酸性の溶液及び純水で洗浄しただけでは完全にはお
ちなかった付着物を落すことができ、通電効率を向上
し、電鋳板の径方向の板厚分布，反り，表面硬度及び裏
面硬度，電鋳板裏面の表面粗度などの電鋳板機械特性の
安定性を増すことができるという効果がある。
【００２６】従来、超音波を放射し陽極のバスケットに
入ったペレット状のニッケルやニッケルの断片を振動さ
せる方法を用いると、フィルタやフィルタ部近辺に不溶
解性の金属ゴミ（スライム、スラッジ）が付着して、電
鋳液の循環により、付着した不溶解性の金属ゴミ（スラ
イム、スラッジ）が電鋳液中に混ざることにより、電鋳
板の径方向の板厚分布，反り，表面硬度及び裏面硬度，
電鋳板裏面の表面粗度などの電鋳板機械特性の劣化が起
きていた。本発明の電鋳装置は、陽極からの金属ゴミを
専用に除去する洗浄時専用フィルタを具備することによ
り、不溶解性の金属ゴミ（スライム，スラッジ）が付着
して再び電鋳液中に混ざることを防止し、前述の電鋳板
機械特性劣化を防止し、電鋳板機械特性の安定性を増す
ことができるという効果がある。
入ったペレット状のニッケルやニッケルの断片を振動さ
せる方法を用いると、フィルタやフィルタ部近辺に不溶
解性の金属ゴミ（スライム、スラッジ）が付着して、電
鋳液の循環により、付着した不溶解性の金属ゴミ（スラ
イム、スラッジ）が電鋳液中に混ざることにより、電鋳
板の径方向の板厚分布，反り，表面硬度及び裏面硬度，
電鋳板裏面の表面粗度などの電鋳板機械特性の劣化が起
きていた。本発明の電鋳装置は、陽極からの金属ゴミを
専用に除去する洗浄時専用フィルタを具備することによ
り、不溶解性の金属ゴミ（スライム，スラッジ）が付着
して再び電鋳液中に混ざることを防止し、前述の電鋳板
機械特性劣化を防止し、電鋳板機械特性の安定性を増す
ことができるという効果がある。
【図１】本発明の電鋳装置の一実施の形態を示す断面図
である。
である。
【図２】図１の電鋳装置の洗浄時専用フィルタの断面図
である。
である。
【図３】従来の電鋳装置を示す断面図である。
１ 電鋳槽 ２ 電鋳液 ３ 回転軸 ４ 陰極 ５ 原盤 ６ 陽極 ７ ペレット状のニッケルやニッケルの断片 ８ 排出口 ９ 配管 １０ 温度制御部 １１ ポンプ １２ フィルタ １３ 吹き出し口 １４ バルブ １５ バルブ １６ バイパス １７ 洗浄時専用フィルタハウジング １８ 振動子 １９ 洗浄時専用フィルタ ２０ 洗浄時専用フィルタハウジング蓋 ２１ 弱酸性溶液 ２２ 配管 ２３ 吹き出し口
Claims (3)
- 【請求項１】 陽極に超音波を放射する振動子と、この
振動子によって前記陽極を超音波洗浄する際に電鋳液を
導く専用バイパスと、この専用バイパス内に設けられ前
記陽極からの金属ゴミを専用に除去する洗浄時専用フィ
ルタとを含んで構成されることを特徴とする電鋳装置。 - 【請求項２】 前記振動子が、石英から成ることを特徴
とする請求項１記載の電鋳装置。 - 【請求項３】 前記石英からなる振動子の表面にＳＵＳ
３１６を付けたことを特徴とする請求項２記載の電鋳装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7192241A JP2845172B2 (ja) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | 電鋳装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7192241A JP2845172B2 (ja) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | 電鋳装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0944913A true JPH0944913A (ja) | 1997-02-14 |
| JP2845172B2 JP2845172B2 (ja) | 1999-01-13 |
Family
ID=16288013
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7192241A Expired - Lifetime JP2845172B2 (ja) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | 電鋳装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2845172B2 (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012041600A (ja) * | 2010-08-18 | 2012-03-01 | Morioka Seiko Instruments Inc | 電鋳部品の製造方法 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5163308A (ja) * | 1974-10-11 | 1976-06-01 | Siderurgie Fse Inst Rech | |
| JPH0440436A (ja) * | 1990-06-06 | 1992-02-10 | Yasuhiro Wakita | 液晶シャッター |
-
1995
- 1995-07-27 JP JP7192241A patent/JP2845172B2/ja not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5163308A (ja) * | 1974-10-11 | 1976-06-01 | Siderurgie Fse Inst Rech | |
| JPH0440436A (ja) * | 1990-06-06 | 1992-02-10 | Yasuhiro Wakita | 液晶シャッター |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2012041600A (ja) * | 2010-08-18 | 2012-03-01 | Morioka Seiko Instruments Inc | 電鋳部品の製造方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2845172B2 (ja) | 1999-01-13 |
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