JPH0943558A - 導波路型偏光コンペンセータ並びにそれを用いた導波路型リング共振器および導波路型マッハツェンダ干渉計 - Google Patents
導波路型偏光コンペンセータ並びにそれを用いた導波路型リング共振器および導波路型マッハツェンダ干渉計Info
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- JPH0943558A JPH0943558A JP19149195A JP19149195A JPH0943558A JP H0943558 A JPH0943558 A JP H0943558A JP 19149195 A JP19149195 A JP 19149195A JP 19149195 A JP19149195 A JP 19149195A JP H0943558 A JPH0943558 A JP H0943558A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】導波路の複屈折を補償して、導波路型リング共
振器のｘ偏光とｙ偏光の共振点を一致させ、入力光の偏
光状態に応じて出力パワが変動しないようにする。 【解決手段】導波路は石英ガラス基板１８上に形成され
たコア１７の周囲をクラッド１６で埋め込んだ構造とす
る。リング導波路１０の一部に導波路型偏光コンペンセ
ータ２０を形成する。このコンペンセータ２０は、リン
グ導波路１０を構成するコア１７のエバネッセント領域
に周期的に屈折率を変えた多層膜２１を形成する。多層
膜２１はＴｉＯ2 、ＳｉＯ2 の交互の層を用いる。導波
路型偏光コンペンセータ２０の長さを、ｌ＝Δβ0 ・π
ｒ／Δβ（Δβ0 ；リング導波路のｘ偏光とｙ偏光の伝
搬定数差、Δβ；コンペンセータを形成した導波路部分
を伝搬するｘ偏光とｙ偏光の伝搬定数差、ｒ；リング半
径）とする。これによりΔβ0 とΔβとが相殺される。
振器のｘ偏光とｙ偏光の共振点を一致させ、入力光の偏
光状態に応じて出力パワが変動しないようにする。 【解決手段】導波路は石英ガラス基板１８上に形成され
たコア１７の周囲をクラッド１６で埋め込んだ構造とす
る。リング導波路１０の一部に導波路型偏光コンペンセ
ータ２０を形成する。このコンペンセータ２０は、リン
グ導波路１０を構成するコア１７のエバネッセント領域
に周期的に屈折率を変えた多層膜２１を形成する。多層
膜２１はＴｉＯ2 、ＳｉＯ2 の交互の層を用いる。導波
路型偏光コンペンセータ２０の長さを、ｌ＝Δβ0 ・π
ｒ／Δβ（Δβ0 ；リング導波路のｘ偏光とｙ偏光の伝
搬定数差、Δβ；コンペンセータを形成した導波路部分
を伝搬するｘ偏光とｙ偏光の伝搬定数差、ｒ；リング半
径）とする。これによりΔβ0 とΔβとが相殺される。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、導波路型偏光コン
ペンセータ並びにそれを用いた導波路型リング共振器お
よび導波路型マッハツェンダ干渉計に関するものであ
る。
ペンセータ並びにそれを用いた導波路型リング共振器お
よび導波路型マッハツェンダ干渉計に関するものであ
る。
【０００２】
【従来の技術】図２（ａ）に従来の導波路型リング共振
器の一例を示す。このリング共振器は、入力ポート１
２、２つのカプラ１１、リング導波路１０、ヒータ１４
および、出力ポート１３より構成される。
器の一例を示す。このリング共振器は、入力ポート１
２、２つのカプラ１１、リング導波路１０、ヒータ１４
および、出力ポート１３より構成される。
【０００３】図２（ｂ）は図１のａ−ａ’断面図を示し
たものである。石英ガラス基板１８上のクラッド１６に
埋め込んだコア１７内を光は伝搬していく。
たものである。石英ガラス基板１８上のクラッド１６に
埋め込んだコア１７内を光は伝搬していく。
【０００４】入力ポート１２より入射された光は、カプ
ラ１１によりリング導波路１０に結合する。この光は、
リング導波路１０の共振条件を満たす時のみ、出力ポー
ト１３より出射する。出力ポート１３より出射する光パ
ワＰout は、次式で示される。
ラ１１によりリング導波路１０に結合する。この光は、
リング導波路１０の共振条件を満たす時のみ、出力ポー
ト１３より出射する。出力ポート１３より出射する光パ
ワＰout は、次式で示される。
【０００５】 Ｐout ／Ｐin＝Ｔ2 ／｛（１−Ｒ）2 ＋４Ｒｓｉｎ2 （βπｒ）｝ (1) Ｔ＝Ｋ2 ｅｘｐ（−απｒ） (2) Ｒ＝（１−Ｋ2 ）ｅｘｐ（−２απｒ） (3) ここで ｒ；リング半径 α；リング部の損失 Ｋ；カプラ１１の振幅結合係数 β；導波路の伝搬定数 ヒータ１４に電流を流すと、導波路を形成するガラスの
熱光学効果により、屈折率が変化する。これにより式
（１）中のβが変化するため、図２（ｃ）に示す様に、
ある電流値で共振条件を満たし、出力ポート１３より光
が出射する。
熱光学効果により、屈折率が変化する。これにより式
（１）中のβが変化するため、図２（ｃ）に示す様に、
ある電流値で共振条件を満たし、出力ポート１３より光
が出射する。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、導波路は、
コア断面形状が正方形あるいは真円であってもクラッド
やコアを形成するガラスの熱膨張係数差により、若しく
はコア断面形状が長方形あるいは、楕円となると複屈折
を持ち、ｘ偏光とｙ偏光の伝搬定数βが異なり、図２
（ｃ）に示す様に、ｘ偏光とｙ偏光の共振点が分離す
る。
コア断面形状が正方形あるいは真円であってもクラッド
やコアを形成するガラスの熱膨張係数差により、若しく
はコア断面形状が長方形あるいは、楕円となると複屈折
を持ち、ｘ偏光とｙ偏光の伝搬定数βが異なり、図２
（ｃ）に示す様に、ｘ偏光とｙ偏光の共振点が分離す
る。
【０００７】現在の光通信システムで用いられている単
一モード光ファイバは、ｘ偏光とｙ偏光の両偏光が伝搬
可能であり、その両偏光はわずかな応力等により容易に
結合し、ｘ，ｙ偏光のパワは、時々刻々と変化する。そ
のため、導波路型リング共振器がｘ，ｙ偏光で特性が異
なると、単一モード光ファイバの偏光状態に応じて出力
パワが変動し、光通信システムに適用できない。なお、
この問題は導波路型マッハツェンダ干渉計型にも共通す
る。
一モード光ファイバは、ｘ偏光とｙ偏光の両偏光が伝搬
可能であり、その両偏光はわずかな応力等により容易に
結合し、ｘ，ｙ偏光のパワは、時々刻々と変化する。そ
のため、導波路型リング共振器がｘ，ｙ偏光で特性が異
なると、単一モード光ファイバの偏光状態に応じて出力
パワが変動し、光通信システムに適用できない。なお、
この問題は導波路型マッハツェンダ干渉計型にも共通す
る。
【０００８】本発明の目的は、前記した従来技術の欠点
を解消し、複屈折を補償できる導波路型偏光コンペンセ
ータを提供することにある。
を解消し、複屈折を補償できる導波路型偏光コンペンセ
ータを提供することにある。
【０００９】また、本発明の目的は、偏光方向によって
特性が変化しない実用的な導波路型リング共振器および
マッハツェンダ干渉計型を提供することにある。
特性が変化しない実用的な導波路型リング共振器および
マッハツェンダ干渉計型を提供することにある。
【００１０】
【課題を解決するための手段】本発明は、石英基板上ま
たはＳｉ基板上に形成された断面矩形状あるいは断面円
形状のコアを持ち、その周囲をコアよりも屈折率の低い
クラッドで埋め込んだ石英系ガラス導波路において、コ
ア内を伝搬する光のエバネッセント領域に、周期的に屈
折率を変えた多層膜を形成したものである。
たはＳｉ基板上に形成された断面矩形状あるいは断面円
形状のコアを持ち、その周囲をコアよりも屈折率の低い
クラッドで埋め込んだ石英系ガラス導波路において、コ
ア内を伝搬する光のエバネッセント領域に、周期的に屈
折率を変えた多層膜を形成したものである。
【００１１】ここで断面形状の「矩形」とは正方形、長
方形であり、また「円形」とは真円、楕円であり、いず
れの場合もそれらの形状からわずかに変形した類似の形
状をも含むものである。
方形であり、また「円形」とは真円、楕円であり、いず
れの場合もそれらの形状からわずかに変形した類似の形
状をも含むものである。
【００１２】多層膜にはＴｉＯ2 、ＳｉＯ2 の交互の層
を用いることが好ましい。通常、コアはＳｉＯ2 −Ｔｉ
Ｏ2 で形成されており、これと同一材料で多層膜を形成
するとクラッドを伝搬するエバネッセント波が多層膜と
相互作用し、導波路を伝搬するｘ方向とｙ方向の伝搬定
数差を大きく変化させることができるからである。
を用いることが好ましい。通常、コアはＳｉＯ2 −Ｔｉ
Ｏ2 で形成されており、これと同一材料で多層膜を形成
するとクラッドを伝搬するエバネッセント波が多層膜と
相互作用し、導波路を伝搬するｘ方向とｙ方向の伝搬定
数差を大きく変化させることができるからである。
【００１３】また、本発明の導波路型リング共振器は、
上述した導波路型偏光コンペンセータを共振器のリング
導波路に形成したものである。この場合において、リン
グ導波路に形成した導波路型偏光コンペンセータの長さ
が、ｌ＝Δβ0 ・πｒ／Δβ（ただし、Δβ0 ；リング
導波路のｘ偏光とｙ偏光の伝搬定数差、Δβ；コンペン
セータを形成した導波路部分を伝搬するｘ偏光とｙ偏光
の伝搬定数差、ｒ；リング半径）であることが好まし
い。
上述した導波路型偏光コンペンセータを共振器のリング
導波路に形成したものである。この場合において、リン
グ導波路に形成した導波路型偏光コンペンセータの長さ
が、ｌ＝Δβ0 ・πｒ／Δβ（ただし、Δβ0 ；リング
導波路のｘ偏光とｙ偏光の伝搬定数差、Δβ；コンペン
セータを形成した導波路部分を伝搬するｘ偏光とｙ偏光
の伝搬定数差、ｒ；リング半径）であることが好まし
い。
【００１４】また、本発明の導波路型マッハツェンダ干
渉計は、上述した導波路型偏光コンペンセータを干渉計
の光合分波器に形成したものである。
渉計は、上述した導波路型偏光コンペンセータを干渉計
の光合分波器に形成したものである。
【００１５】次に本発明の作用を説明する。
【００１６】コア内を伝搬する光のエバネッセント領域
に、周期的に屈折率を変えた多層膜を形成すると、この
多層膜を形成した部分の導波路を伝搬するｘ方向とｙ方
向の光のフィールドは、多層膜の影響を受け、多層膜を
形成しない部分の導波路におけるｘ方向とｙ方向の伝搬
定数差とは異なる伝搬定数差Δβが生じる。したがって
Δβの値を決めてやることによって、この多層膜を形成
しなかった場合の導波路における複屈折を補償すること
ができ、導波路型偏光コンペンセータを実現できる。
に、周期的に屈折率を変えた多層膜を形成すると、この
多層膜を形成した部分の導波路を伝搬するｘ方向とｙ方
向の光のフィールドは、多層膜の影響を受け、多層膜を
形成しない部分の導波路におけるｘ方向とｙ方向の伝搬
定数差とは異なる伝搬定数差Δβが生じる。したがって
Δβの値を決めてやることによって、この多層膜を形成
しなかった場合の導波路における複屈折を補償すること
ができ、導波路型偏光コンペンセータを実現できる。
【００１７】また、この導波路型偏光コンペンセータを
導波路型リング共振器のリング導波路に形成すると、リ
ング導波路の複屈折が補償でき、ｘ偏光とｙ偏光の共振
点と近づけることができる。特に、Δβがリング導波路
のｘ偏光とｙ偏光の伝搬定数差Δβ0 を相殺するように
多層膜の長さｌを上式のように決めてやると、ｘ偏光と
ｙ偏光のピークを一致させることができる。
導波路型リング共振器のリング導波路に形成すると、リ
ング導波路の複屈折が補償でき、ｘ偏光とｙ偏光の共振
点と近づけることができる。特に、Δβがリング導波路
のｘ偏光とｙ偏光の伝搬定数差Δβ0 を相殺するように
多層膜の長さｌを上式のように決めてやると、ｘ偏光と
ｙ偏光のピークを一致させることができる。
【００１８】なお、導波路型マッハツェンダ干渉計の光
合分波器に形成しても、同じ理由で偏光による特性変動
を解消できる。
合分波器に形成しても、同じ理由で偏光による特性変動
を解消できる。
【００１９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施例を説明す
る。図１（ａ）は本実施例による導波路型偏光コンペン
セータを用いた導波路型リング共振器、図１（ｂ）は導
波路型リング共振器に用いられている導波路型偏光コン
ペンセータの断面構造を示したものである。
る。図１（ａ）は本実施例による導波路型偏光コンペン
セータを用いた導波路型リング共振器、図１（ｂ）は導
波路型リング共振器に用いられている導波路型偏光コン
ペンセータの断面構造を示したものである。
【００２０】図１（ｂ）に示すように、導波路は高純度
の石英ガラス基板１８上に形成された断面矩形状（ここ
では正方形）のコア１７の周囲をクラッド１６で埋め込
んだ構造としている。ここで、コア１７はＳｉＯ2 −Ｔ
ｉＯ2 で形成され、クラッド１６はＳｉＯ2 −Ｂ2 Ｏ3
−Ｐ2 Ｏ5 で形成される。このためコア１７の屈折率は
周囲のクラッド１６、石英ガラス基板１８の屈折率より
高くなっており、光はコア１７内に閉じ込められながら
伝搬していく。
の石英ガラス基板１８上に形成された断面矩形状（ここ
では正方形）のコア１７の周囲をクラッド１６で埋め込
んだ構造としている。ここで、コア１７はＳｉＯ2 −Ｔ
ｉＯ2 で形成され、クラッド１６はＳｉＯ2 −Ｂ2 Ｏ3
−Ｐ2 Ｏ5 で形成される。このためコア１７の屈折率は
周囲のクラッド１６、石英ガラス基板１８の屈折率より
高くなっており、光はコア１７内に閉じ込められながら
伝搬していく。
【００２１】この石英ガラス基板１８上に形成された断
面矩形状のコア１７の近傍に周期的に屈折率を変えた多
層膜２１を装荷する。多層膜２１の装荷は、コア１７上
のクラッド表面を一部除去することでコアのエバネッセ
ント領域に溝を形成し、その溝に多層膜２１を形成する
ことによって行なう。ｘ偏波とｙ偏波に有効な複屈折を
与えるため多層膜２１には、伝搬する光の波長の約１／
１０程度の厚さを持つＴｉＯ2 、ＳｉＯ2 の交互の層が
適切である。
面矩形状のコア１７の近傍に周期的に屈折率を変えた多
層膜２１を装荷する。多層膜２１の装荷は、コア１７上
のクラッド表面を一部除去することでコアのエバネッセ
ント領域に溝を形成し、その溝に多層膜２１を形成する
ことによって行なう。ｘ偏波とｙ偏波に有効な複屈折を
与えるため多層膜２１には、伝搬する光の波長の約１／
１０程度の厚さを持つＴｉＯ2 、ＳｉＯ2 の交互の層が
適切である。
【００２２】この様な断面構造の導波路を伝搬するｘ方
向とｙ方向の光のフィールドＥｘ、Ｅｙは、装荷された
多層膜の影響を受け、ｘ方向とｙ方向の伝搬定数差Δβ
（＝βX −βy ）が生じる。そこで、リング導波路１０
に沿う多層膜２１の長さｌを、次式(4) で規定する。
向とｙ方向の光のフィールドＥｘ、Ｅｙは、装荷された
多層膜の影響を受け、ｘ方向とｙ方向の伝搬定数差Δβ
（＝βX −βy ）が生じる。そこで、リング導波路１０
に沿う多層膜２１の長さｌを、次式(4) で規定する。
【００２３】 ｌ＝Δβ0 ・πｒ／Δβ (4) ただし Δβ0 ；リング導波路のｘ偏光とｙ偏光の伝搬定数差 この式の条件を満たす長さｌの多層膜２１をコア上に形
成すると、リング導波路に関する導波路型偏光コンペン
セータを実現できる。すなわち、ｘ方向とｙ方向の伝搬
定数差Δβが、リング導波路のｘ偏光とｙ偏光の伝搬定
数差Δβ0 を相殺するように多層膜の長さを決めてやる
と、ｘ，ｙ偏光の特性を補償できる。
成すると、リング導波路に関する導波路型偏光コンペン
セータを実現できる。すなわち、ｘ方向とｙ方向の伝搬
定数差Δβが、リング導波路のｘ偏光とｙ偏光の伝搬定
数差Δβ0 を相殺するように多層膜の長さを決めてやる
と、ｘ，ｙ偏光の特性を補償できる。
【００２４】図１（ｂ）は、この導波路型偏光コンペン
セータ２０を用いた導波路型リング共振器を示したもの
である。この導波路型リング共振器は、入力ポート１
２、リング導波路１０、出力ポート１３、入力ポートに
つながる導波路８および出力ポート１３につながる導波
路９とリング導波路１０とをそれぞれ結合するカプラ１
１、リング導波路１０の一部を加熱する薄膜状のヒータ
１５より構成される。
セータ２０を用いた導波路型リング共振器を示したもの
である。この導波路型リング共振器は、入力ポート１
２、リング導波路１０、出力ポート１３、入力ポートに
つながる導波路８および出力ポート１３につながる導波
路９とリング導波路１０とをそれぞれ結合するカプラ１
１、リング導波路１０の一部を加熱する薄膜状のヒータ
１５より構成される。
【００２５】上記リング導波路１０の中間部の２ケ所
に、導波路型偏光コンペンセータ２０を形成する。多層
膜を式(4) の条件を満足した長さｌに規定することによ
りリング導波路１０の複屈折を補償できる。
に、導波路型偏光コンペンセータ２０を形成する。多層
膜を式(4) の条件を満足した長さｌに規定することによ
りリング導波路１０の複屈折を補償できる。
【００２６】この結果、図１（ｃ）に示す様に、ヒータ
印加電流に対する入出力パワ比Ｐout ／Ｐinにおけるｘ
偏光とｙ偏光のピークを一致させることができる。この
ため、単一モード光ファイバの偏光状態に応じても出力
パワは変動せず、光通信システムへの適用が可能とな
る。特にコヒーレント通信用ＦＤＭ（周波数分割多重）
に適用するとメリット大である。
印加電流に対する入出力パワ比Ｐout ／Ｐinにおけるｘ
偏光とｙ偏光のピークを一致させることができる。この
ため、単一モード光ファイバの偏光状態に応じても出力
パワは変動せず、光通信システムへの適用が可能とな
る。特にコヒーレント通信用ＦＤＭ（周波数分割多重）
に適用するとメリット大である。
【００２７】なお、上記実施例では導波路型偏光コンペ
ンセータを導波路型リング共振器に適用した場合につい
て述べたが、本発明はこれに限定されず、例えば導波路
型マッハツェンダ干渉計型の光合分波器等、偏光依存性
に敏感な導波路型光部品にも適用できる。
ンセータを導波路型リング共振器に適用した場合につい
て述べたが、本発明はこれに限定されず、例えば導波路
型マッハツェンダ干渉計型の光合分波器等、偏光依存性
に敏感な導波路型光部品にも適用できる。
【００２８】
(1) 請求項１および２に記載の導波路型偏光コンペンセ
ータによれば、本来の導波路の伝搬定数差と異なる伝搬
定数差を生じさせることができるので、複屈折を補償で
きる。
ータによれば、本来の導波路の伝搬定数差と異なる伝搬
定数差を生じさせることができるので、複屈折を補償で
きる。
【００２９】(2) 請求項３および５に記載の導波路型リ
ング共振器および導波路型マッハツェンダ干渉計によれ
ば、ｘ偏光とｙ偏光の共振点を近づけることができるの
で、偏光による特性変動を解消でき、実用的な導波路型
光部品を実現できる。
ング共振器および導波路型マッハツェンダ干渉計によれ
ば、ｘ偏光とｙ偏光の共振点を近づけることができるの
で、偏光による特性変動を解消でき、実用的な導波路型
光部品を実現できる。
【図１】本発明の導波路型偏光コンペンセータを用いた
導波路型リング共振器の一実施例を示す説明図であっ
て、（ａ）は平面図、（ｂ）はａ−ａ′断面図、（ｃ）
はヒータ印加電流に対する入出力パワ比特性図。
導波路型リング共振器の一実施例を示す説明図であっ
て、（ａ）は平面図、（ｂ）はａ−ａ′断面図、（ｃ）
はヒータ印加電流に対する入出力パワ比特性図。
【図２】従来の導波路型リング共振器例を示す説明図で
あって、（ａ）は平面図、（ｂ）はａ−ａ′断面図、
（ｃ）ヒータ印加電流に対する入出力パワ比特性図。
あって、（ａ）は平面図、（ｂ）はａ−ａ′断面図、
（ｃ）ヒータ印加電流に対する入出力パワ比特性図。
８ 導波路 ９ 導波路 １０ リング導波路 １１ カプラ １２ 入力ポート １３ 出力ポート １５ ヒータ １６ クラッド １７ コア １８ 石英ガラス基板 ２０ 導波路型偏光コンペンセータ ２１ 多層膜
Claims (5)
- 【請求項１】石英基板上またはＳｉ基板上に形成された
断面矩形状あるいは断面円形状のコアを持ち、その周囲
を該コアよりも屈折率の低いクラッドで埋め込んだ石英
系ガラス導波路において、上記コア内を伝搬する光のエ
バネッセント領域に、周期的に屈折率を変えた多層膜を
形成したことを特徴とする導波路型偏光コンペンセー
タ。 - 【請求項２】請求項１に記載の導波路型偏光コンペンセ
ータにおいて、上記多層膜にＴｉＯ2 、ＳｉＯ2 の交互
の層を用いたことを特徴とする導波路型偏光コンペンセ
ータ。 - 【請求項３】請求項１または２に記載の導波路型偏光コ
ンペンセータをリング導波路の一部に形成したことを特
徴とする導波路型リング共振器。 - 【請求項４】請求項３に記載の導波路型リング共振器に
おいて、上記リング導波路の一部に形成した導波路型偏
光コンペンセータの長さが ｌ＝Δβ0 ・πｒ／Δβ ただし、 Δβ0 ；リング導波路のｘ偏光とｙ偏光の伝搬定数差 Δβ；コンペンセータを形成した導波路部分を伝搬する
ｘ偏光とｙ偏光の伝搬定数差（〓１．このように定義し
ました。） ｒ；リング半径 であることを特徴とする導波路型リング共振器。 - 【請求項５】請求項１または２に記載の導波路型偏光コ
ンペンセータを光合分波器に形成したことを特徴とする
導波路型マッハツェンダ干渉計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19149195A JPH0943558A (ja) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | 導波路型偏光コンペンセータ並びにそれを用いた導波路型リング共振器および導波路型マッハツェンダ干渉計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19149195A JPH0943558A (ja) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | 導波路型偏光コンペンセータ並びにそれを用いた導波路型リング共振器および導波路型マッハツェンダ干渉計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0943558A true JPH0943558A (ja) | 1997-02-14 |
Family
ID=16275533
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19149195A Pending JPH0943558A (ja) | 1995-07-27 | 1995-07-27 | 導波路型偏光コンペンセータ並びにそれを用いた導波路型リング共振器および導波路型マッハツェンダ干渉計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0943558A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6847772B2 (en) | 2002-02-14 | 2005-01-25 | Fujitsu Limited | Planar optical waveguide device |
| US6873361B1 (en) | 1999-01-28 | 2005-03-29 | Takeharu Etoh | Image sensor having a plurality of chips |
| CN106461869A (zh) * | 2014-12-11 | 2017-02-22 | 华为技术有限公司 | 一种微环谐振器 |
-
1995
- 1995-07-27 JP JP19149195A patent/JPH0943558A/ja active Pending
Cited By (6)
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