JPH0935268A

JPH0935268A - 光ディスク原盤露光装置

Info

Publication number: JPH0935268A
Application number: JP7181479A
Authority: JP
Inventors: Tomoyuki Hiroki; 知之廣木
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1995-07-18
Filing date: 1995-07-18
Publication date: 1997-02-07

Abstract

(57)【要約】【課題】ディスク周方向においてミラー部を介してラ
ンドとグルーブが連続する光ディスクの原盤を作製する
ことができる光ディスク原盤露光装置を提供する。【解決手段】ガラス原盤５０を回転する回転機構（デ
ィスク押え５１、ターンテーブル５２、スピンドルモー
タ５３）と、レーザ光を照射する露光系と、回転機構を
横送りする横送り機構（横送りネジ５５、横送りモータ
５６）とを備えた光ディスク原盤露光装置において、レ
ーザ光強度を２値に変調するＡＯＭ４２と、ガラス原盤
５０の回転周期Ｔを得るロータリエンコーダ５４と、回
転周期Ｔを基に所定パルス幅のパルス信号（ａ）を出力
する分周回路５７と、パルス信号（ａ）を基に回転周期
Ｔの２倍の周期のクロック（ｂ）を出力するトグルフリ
ップフロップ５９と、パルス信号（ａ）を反転したもの
とクロック（ｂ）との論理積をとったものをＡＯＭ４２
の動作クロックとして出力するゲート回路６０とを有す
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、光学的に情報を記
録する光ディスクの原盤を作製する光ディスク原盤露光
装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来、光学的に情報を記録、再生する技
術として種々のものが知られており、それらを媒体に関
して情報記録および再生方式により大きく分類すると、
ＲＯＭ（再生専用）型、ＷＯＲＭ（追記）型、Ｒ／Ｗ
（書き換え可能）型の三種類がある。これら媒体は、い
ずれもガラスまたはポリカーボネートのような透明な材
料を基板としており、この基板上に塗布、成膜される材
料の違いにより種類分けされる。即ち、基板上にＡｌの
ように反射率が高く熱安定性が高い物質を用いるとＲＯ
Ｍ型、有機色素のように熱によって不可逆反応を起こす
材料を用いるとＷＯＲＭ型、磁性材料や相変化（結晶及
び非晶質の状態を取り得る）材料のように熱的、磁気的
に可逆反応を生じる材料を用いるとＲ／Ｗ型に分類され
る。

【０００３】また、光学的情報記録媒体はその形状によ
り、ディスク型、カード型、テープ型に大きく分類され
る。これら各型の光学的情報記録媒体にはそれぞれ特長
があり、用途によって使い分けられるが、中でもディス
ク型は情報転送の高速性に優れているために、最も一般
的となっている。

【０００４】ディスク上に記録されるデータはディスク
周方向に渡って所定量に連続して形成され、一般にこれ
をトラックと呼ぶ。ディスク型の情報記録媒体の場合、
データトラックは同心円的、あるいは螺旋状に形成する
ことが可能であるが、データ転送の連続性から螺旋状に
トラックを形成した方が大量のデータを扱う場合には有
利である。

【０００５】図９は螺旋状にトラックを形成したディス
ク型の光学的情報記録媒体の一例を示す図である。

【０００６】図９において、１００はディスク、１０３
ａ〜１０３ｃはディスク１００の記録面上に螺旋状に形
成された案内溝であるグルーブ、１０２ａおよび１０２
ｂはグルーブ１０３ａ〜１０３ｃ間に形成されたランド
である。

【０００７】この光学的情報記録媒体では、グルーブあ
るいはグルーブ間（ランド）をデータトラックとし、情
報記録再生用の光ビームをデータトラックに沿って進ま
せながら情報を記録再生することで大量のデータを連続
して扱うことができる。最近では、さらに大量のデータ
を取り扱うことができるように、ランド／グルーブ記録
と呼ばれる技術が開発されている。これは、ランド及び
グルーブの双方にデータを記録するというものであり、
これによって記録容量を２倍にすることができる。

【０００８】以下、上述のような螺旋状にグルーブが形
成された光学的情報記録媒体の原盤を作製する光ディス
ク原盤露光装置について説明する。

【０００９】光ディスク原盤露光装置の概略構成は、フ
ォトレジストが塗布されたディスク状のガラス原盤を固
定するターンテーブルとこれを回転させるスピンドルモ
ータとからなる回転機構と、Ｈｅ−Ｃｄレーザからのレ
ーザ光をガラス原盤上に照射して溝を形成する光学系
と、ガラス原盤と照射されたレーザ光のスポットとの相
対位置をディスク半径方向に移動できるように回転機構
を横送りする横送り機構とからなる。

【００１０】この光ディスク原盤露光装置では、ガラス
基板を一定の回転速度で回転させ、横送り機構による回
転機構の移動を一定速度で行いながら、レーザ光をガラ
ス原盤上に照射することにより、ディスクの外周または
内周から螺旋状に溝が形成される。このようにして溝が
形成されたガラス原盤をマスターディスクとしてディス
クを作製すれば、図９に示すような構成の光ディスクが
得られる。

【００１１】ところで、図９に示す光学的情報記録媒体
においては、ランド／グルーブの双方に対して情報の記
録再生を行う場合は、例えば、２分割フォトディテクタ
（もしくは４分割フォトディテクタ）の各センサ部の出
力を基にトラッキングエラー信号を生成してトラッキン
グを行うといったプッシュプル方式が用いられる。この
場合、生成されたトラッキングエラー信号はランドとグ
ルーブ間で極性が反転することから、情報を記録再生す
る場合は、記録再生するトラックがランドかグルーブか
によってトラッキングエラー信号の極性を切り替えてト
ラッキングが行われる。このため、情報の記録再生を行
うに当たり、以下のような問題がある。

【００１２】ディスクの外周側（あるいは内周側）から
詰めて記録を行う場合は、例えば、トラッキングサーボ
をオフした後、トラッキングの極性をランド側の極性に
切り替え、光ヘッドをランド１０２ａに移動し、移動後
トラッキングサーボをオンとしてデータを記録し、続い
てトラッキングサーボをオフした後、トラッキングの極
性を切り替え、光ヘッドをグルーブ１０３ｂに移動し、
移動後トラッキングサーボをオンとしてデータを記録す
るというように、トラックジャンプ動作を伴いながらラ
ンドとグルーブに交互に情報が記録される。このよう
に、トラック一本分あるいはディスク一周分記録する毎
に、グルーブ／ランドの極性切替動作およびトラックジ
ャンプ動作が入る記録方法においては、記録動作の連続
性は著しく損なわれてしまう。

【００１３】上記のような記録動作の連続性を損なわな
い方法としては、ランド１０２ａに続けてランド１０２
ｂ，・・・という順序でトラックジャンプ動作を行わず
に記録を行い、ランド部分が一杯になるとグルーブ側に
極性を切り換えて、グルーブ１０３ａ，グルーブ１０３
ｂ・・・という順序で記録を行う方法がある。しかし、
この場合には、最後に記録したランドと最初に記録する
グルーブの半径位置が大きく異なるため、グルーブとラ
ンドの切り替えの際に、光ヘッドを大きく移動させなけ
ればならず、装置の高速性が損なわれてしまうことにな
る。

【００１４】そこで、記録動作中にトラックジャンプ動
作を伴うことがなく、ランドとグルーブに交互にデータ
を記録することができる光学的情報記録媒体として、図
３に示すような構成の記録媒体が開発されている。以下
に、その構成を簡単に説明する。

【００１５】図３において、グルーブ３ａ〜３ｃとラン
ド２ａ〜２ｃはそれぞれデータを記録可能なトラックで
あり、ミラー部４を介してディスク周方向においてグル
ーブとランドが連続して形成されており、螺旋状のトラ
ックを形成している。このような構成とすることによ
り、情報の書き込み動作および読み出し動作のいずれも
トラックジャンプ動作を伴うことなく連続して行うこと
ができ、さらにはミラー部を検出した信号をトリガーと
して用いてトラッキングエラー信号の極性切替を行うこ
とができるので、記録再生動作の連続性が損なわれた
り、装置の高速性が損なわれたりするといった問題を解
決することができる。

【００１６】なお、上述の光学的情報記録媒体において
は、これまでに提案されてきた記録媒体と異なり、ピッ
トの形成されることのないミラー部が設けられた構成と
なっているため、この光学的情報記録媒体に関連する技
術の開発が種々検討されている。

【００１７】

【発明が解決しようとする課題】図９に示すようなグル
ーブが螺旋状に形成された光ディスクの原盤を作製する
光ディスク原盤露光装置は、ガラス原盤上に単に螺旋状
の溝を形成する構成となっており、原盤を一定の回転速
度で回転させ、一定の速度で横送りしながらレーザ光を
照射し、レーザ光の光強度をその回転に同期させながら
変調するといったことはできないため、ディスク周方向
においてミラー部を介してランドとグルーブが連続する
光ディスク（例えば、上述の図３に示すような光学的情
報記録媒体）の原盤を作製することはできない。また、
このディスク周方向においてミラー部を介してランドと
グルーブが連続する光ディスク自体が新規な構成のた
め、この光ディスクの原盤を作製することができる光デ
ィスク原盤露光装置は、これまでになく、この光ディス
ク原盤露光装置の開発が望まれていた。

【００１８】本発明の目的は、ディスク周方向において
ミラー部を介してランドとグルーブが連続する光ディス
ク（例えば、上述の図３に示すような光学的情報記録媒
体）の原盤を作製することができる光ディスク原盤露光
装置を提供することにある。

【００１９】

【課題を解決するための手段】本発明の光ディスク原盤
露光装置は、感光材が塗布されたガラス原盤を回転させ
る回転機構と、前記ガラス原盤にレーザ光を照射して感
光させる露光系と、前記ガラス原盤上におけるレーザス
ポット位置がディスク半径方向に移動するように前記露
光系もしくは前記回転機構を横送りする横送り機構とを
備え、前記ガラス原盤を一定の回転速度で回転させ、一
定の速度で横送りしながらレーザ光を照射してガラス原
盤上に溝を形成する光ディスク原盤露光装置において、
前記レーザ光の光強度を２値に変調する変調回路と、前
記回転機構におけるガラス原盤の回転周期Ｔに基づい
て、前記変調回路におけるレーザ光の光強度の変調周期
Ｆを決定する手段と、を有し、前記変調回路におけるレ
ーザ光の光強度の変調周期Ｆを、Ｆ＝２Ｔ／（２ｎ−１）（ｎは自然数）とし、レーザ光を照射する時間をＦ／２未満とすること
を特徴とする。

【００２０】上記の場合、変調周期Ｆを決定する手段
を、回転機構におけるガラス原盤の回転周期Ｔを検出す
るロータリエンコーダと、前記ロータリエンコーダにて
検出された回転周期Ｔに基づいて、所定パルス幅のパル
ス信号を出力する分周回路と、前記分周回路から出力さ
れたパルス信号に基づいて、前記回転周期Ｔの２倍の周
期のクロックを出力するトグルフリップフロップと、前
記分周回路から出力されたパルス信号を反転したものを
一方の入力、前記トグルフリップフロップから出力され
たクロックを他方の入力とし、これらの論理積をとった
ものを変調回路のゲート信号として出力するゲート回路
と、から構成してもよい。

【００２１】また、上記とは異なる構成として、変調周
期Ｆを決定する手段を、回転機構におけるガラス原盤の
回転周期Ｔを検出するロータリエンコーダと、前記ロー
タリエンコーダにて検出された回転周期Ｔに基づいて、
第１のパルス信号を出力する分周回路と、前記分周回路
から出力された第１のパルス信号に基づいて、前記回転
周期Ｔの２倍の周期の第１のクロックを出力するトグル
フリップフロップと、内部に発振器を有し、前記トグル
フリップフロップから出力された第１のクロックと位相
の同期した所望の周波数の第２のクロックを出力するＰ
ＬＬ回路と、前記ＰＬＬ回路から出力された第２のクロ
ックに基づいて、所定パルス幅の第２のパルス信号を出
力するパルス発生器と、前記パルス発生器から出力され
た第２のパルス信号を反転したものを一方の入力、前記
ＰＬＬ回路から出力された第２のクロックを他方の入力
とし、これらの論理積とったものを変調回路のゲート信
号として出力するゲート回路と、から構成し、前記ＰＬ
Ｌ回路の内部発振器の周波数を前記トグルフリップフロ
ップから出力された第１のクロックの周波数の（２ｎ−
１）倍（ｎは自然数）に設定してもよい。

【００２２】

【作用】上記のように構成される本発明の光ディスク原
盤露光装置では、変調回路におけるレーザ光の光強度の
変調周期Ｆが、Ｆ＝２Ｔ／（２ｎ−１）（ｎは自然数）で与えられ、レーザ光を照射する時間がＦ／２未満とさ
れるので、レーザ光を照射する時間はＴ／（２ｎ−１）
より短くなり、その短くなった時間分だけ照射しない時
間がＴ／（２ｎ−１）より長くなる。すなわち、グルー
ブとなる部分を形成する時間がＴ／（２ｎ−１）よりも
短くなり、ランドとなる部分を形成する時間がその短く
なった時間分だけＴ／（２ｎ−１）より長くなる。よっ
て、この変調周期Ｆに基づいて形成されたランドとなる
部分は、周方向の長さがグルーブとなる部分の長さより
両者の時間差分だけ長いものとなり、このランドとなる
部分の両周端（すなわち、グルーブとなる部分との境
界）部において長くなった分がミラー部となる部分とな
る。このミラー部となる部分は、変調周期ＦがＦ＝２Ｔ
／（２ｎ−１）で与えられることから、ディスク１周当
たりに奇数個形成され、各形成された部分はディスク半
径方向に揃ったものとなる。

【００２３】また、本発明のうち、分周回路から出力さ
れたパルス信号を反転したものとトグルフリップフロッ
プから出力された第１のクロックとの論理積をとったも
のを変調回路のゲート信号とするものにおいては、ゲー
ト信号の１周期のうちのハイレベルの時間（すなわち、
レーザ光を照射する時間）はロウレベルの時間より分周
回路から出力されたパルス信号のパルス幅分の時間を２
倍した時間分だけ短くなる。したがって、このゲート信
号に基づいて形成されるランドとなる部分は、周方向の
長さがグルーブとなる部分の長さより両者の時間差分
（分周回路から出力されたパルス信号のパルス幅分の時
間を２倍した時間分）だけ長いものとなり、このランド
となる部分の両周端部において長くなった分がミラー部
となる部分とされる。この場合、ミラー部となる部分の
周方向の長さは、分周回路から出力されたパルス信号の
パルス幅により決る。

【００２４】また、本発明のうち、パルス発生器から出
力された第２のパルス信号を反転したものとＰＬＬ回路
から出力された第２のクロックとの論理積をとったもの
を変調回路のゲート信号とするものにおいては、ゲート
信号の１周期のうちのハイレベルの時間（すなわち、レ
ーザ光を照射する時間）はロウレベルの時間よりパルス
発生器から出力された第２のパルス信号のパルス幅分の
時間を２倍した時間分だけ短くなる。したがって、この
ゲート信号に基づいて形成されるランドとなる部分は、
周方向の長さがグルーブとなる部分の長さより両者の時
間差分（パルス発生器から出力された第２のパルス信号
のパルス幅分の時間を２倍した時間分）だけ長いものと
なり、このランドとなる部分の両周端部において長くな
った分がミラー部となる部分とされる。この場合、ミラ
ー部となる部分の周方向の長さは、パルス発生器から出
力された第２のパルス信号のパルス幅により決る。ま
た、本発明では、ＰＬＬ回路の内部発振器の周波数をト
グルフリップフロップから出力された第１のクロックの
周波数の（２ｎ−１）倍（ｎは自然数）に設定すること
により、ディスク１周当たりに奇数個のミラー部を形成
でき、かつ、各ミラー部をディスク半径方向に揃えるこ
とができる。

【００２５】

【発明の実施の形態】次に、本発明の実施例について図
面を参照して説明する。

【００２６】図１は、本発明の第１の実施例の光ディス
ク原盤露光装置の概略構成を示すブロック図である。

【００２７】図１において、５０は感光材としてフォト
レジストが塗布されたディスク状のガラス原盤で、ディ
スク押え５１によりターンテーブル５２上に固定されて
いる。ターンテーブル５２にはスピンドルモータ５３が
設けられており、固定されたガラス原盤５０とともに回
転される。これらにより、ガラス原盤５０を回転させる
回転機構が構成されている。なお、スピンドルモータ５
３にはロータリーエンコーダ５４が設けられており、ロ
ータリエンコーダ５４の出力に基づいて図示しない回転
制御回路によって回転が制御され、一定の回転速度でタ
ーンテーブル５２を回転させることが可能となってい
る。

【００２８】上記回転機構には、フォトレジストを感光
させて溝を形成する際のレーザスポットとガラス原盤５
０との相対位置が記録面においてディスク半径方向に移
動できるように、該回転機構を横方向に移動するための
横送りネジ５５とこれに回転駆動を与える横送りモータ
５６が設けられている。なお、ここでは、横送りネジ５
５および横送りモータ５６より構成される横送り機構に
より回転機構が移動する構成としたが、この横送り機構
の目的はガラス原盤５０とレーザスポットとの相対位置
をディスク半径方向に移動させることにあるので、以下
に説明する光学系、すなわちガラス原盤５０上にフォト
レジストを感光させるためのレーザビームを照射する露
光系を移動させる構成としてもよい。

【００２９】４１はガラス原盤５０の記録面上にトラッ
ク案内溝を形成するための光源で、ここではＨｅ−Ｃｄ
レーザが使用される。このＨｅ−Ｃｄレーザ４１から射
出したビームの進行方向には、ＡＯＭ（acoustic-optic
al modulator ：音響光学変調器）４２、ビームエキス
パンダ４３、ハーフミラー４４が順次配置されており、
該ハーフミラー４４にて反射されたビームの進行方向に
対物レンズ４５が配置されている。ここで、ＡＯＭ４２
は、外部入力信号に基づいて、Ｈｅ−Ｃｄレーザ４１か
ら射出されたレーザ光の光強度を変調するもので、本実
施例では、このＡＯＭ４２によってレーザ光強度を２値
変調することにより、ガラス原盤５０上の所望の場所に
溝を形成することができる。

【００３０】上記の光学系では、Ｈｅ−Ｃｄレーザ４１
から射出したビームはＡＯＭ４２で光強度変調され、ビ
ームエキスパンダ４３にてビーム径が拡げられた後、ハ
ーフミラー４４で反射されて対物レンズ４５によってガ
ラス原盤５０上に収束される。このとき、対物レンズ４
５は、後述するフォーカッシング用の光学系を用いたフ
ォーカッシング制御により、Ｈｅ−Ｃｄレーザ４１から
のレーザ光がガラス原盤５０上に常に合焦するように位
置制御されている。

【００３１】フォーカッシング用の光学系は、光源にＨ
ｅ−Ｎｅレーザ４６を使用しており、このＨｅ−Ｎｅレ
ーザ４６から射出したビームの進行方向にハーフミラー
４７が配置されている。このハーフミラー４７にて反射
されたビームの進行方向には上記ハーフミラー４４およ
び対物レンズ４５が順次配置されており、ビームはこれ
らを通過してガラス原盤５０上に収束される。ガラス原
盤５０から反射し、対物レンズ４５、ハーフミラー４
４、ハーフミラー４７を順次通過したビームの進行方向
には、シリンドリカルレンズ４０、集光レンズ４８、セ
ンサ４９が順次配置されている。ここで、センサ４９は
受光面が４分割されており、シリンドリカルレンズ４０
にて受光面に集光されたビームに基づいて、公知の非点
収差法によるフォーカスエラー信号の検出が行われる。
このセンサ４９から得られるフォーカスエラー信号に基
づいて、図示しないフォーカスサーボ回路により対物レ
ンズ４５の位置制御が行われ、Ｈｅ−Ｃｄレーザ４１か
らのレーザ光がガラス原盤５０上に常に合焦される。

【００３２】上記のＡＯＭ４２に入力される外部入力信
号を生成する回路、すなわち、ＡＯＭ４２の変調周期を
決定する回路は、上述のロータリエンコーダ５４と、以
下に説明する分周回路５７、トグルフリップフロップ５
９、ゲート回路６０，６１により構成されている。

【００３３】分周回路５７は、カウンタ等により構成さ
れるものであって、ロータリーエンコーダ５４の出力を
カウントし、図２に示すように周期Ｔ毎に所定のパルス
幅ｔ ₁ のパルス信号（ａ）を発生する。本実施例では、
周期Ｔはガラス原盤の回転周期と一致しており、パルス
幅ｔ₁ は、ｔ₁ ＝（１×１０^-6）／Ｖ〜（１００×１０^-6）／Ｖ［Ｓ］（ただし、Ｖはレーザスポット位置におけるガラス原盤
の線速度）で与えられるものとする。この分周回路５７
の出力は、コントローラ５８へ入力されるとともに、ト
グルフリップフロップ５９のクロック信号となってい
る。さらに、この分周回路５７の出力は、ゲート回路６
０の一方の入力端子に反転入力されている。

【００３４】トグルフリップフロップ５９は、分周回路
５７にて発生したパルス信号（ａ）をクロック信号と
し、図２に示すようにガラス原盤５０の回転周期の２倍
の周期で、レベルがディスク１回転毎に「１」と「０」
に切り替わる出力信号（ｂ）を生成する。

【００３５】ゲート回路６０は、一方の入力端子に分周
回路５７にて発生したパルス信号（ａ）が反転入力さ
れ、他方の入力端子にトグルフリップフロップ５９の出
力信号（ｂ）が入力されており、これらの論理積をとっ
て図２に示すような出力信号（ｃ）を出力する。このゲ
ート回路６０の出力信号（ｃ）がＡＯＭ４２の外部入力
信号であり、レーザ光強度の変調がこの出力信号（ｃ）
の周期で行われる。本実施例では、図２に示すように、
出力信号（ｃ）は出力信号（ｂ）に対して、「１」のレ
ベルの時間がパルス信号（ａ）のパルス幅ｔ₁ の時間分
短く、「０」のレベルの時間がパルス信号（ａ）のパル
ス幅ｔ₁ の時間分長くなっている。したがって、出力信
号（ｃ）の周期がガラス原盤５０の回転周期の２倍の周
期であれば、「１」のレベルでレーザ光による溝の形成
を行うことにより、図３に示す光学的情報記録媒体のよ
うなグルーブの溝を形成することができる。

【００３６】ゲート回路６１は上記ゲート回路６０の出
力信号（ｃ）のＡＯＭ４２への出力を制御するために設
けられたもので、一方の入力端子にゲート回路６０の出
力信号（ｃ）が入力され、他方の入力端子にコントロー
ラ５８からの信号が入力されており、これらの論理積を
とった信号を外部入力信号としてＡＯＭ４２へ出力す
る。このゲート回路６１では、コントローラ５８からの
信号に応じてゲート回路６０の出力信号（ｃ）のＡＯＭ
４２への出力が制御される。

【００３７】コントローラ５８は、分周回路５７にて発
生したパルス信号（ａ）と同期をとりながら全体の動作
を管理するもので、横送りモータ５６による横送りを一
定速度で行わせるよう制御したり、ゲート回路６１のゲ
ートのオン・オフを制御してゲート回路６０の出力信号
（ｃ）のＡＯＭ４２への入力を制御したりする。通常
は、横送りモータ５６が横送りを開始して安定動作に移
り、定速移動となってからゲート回路６１のゲートをオ
ンとし、ＡＯＭ４２によるレーザ光強度の変調を開始さ
せ、ガラス原盤５０に溝を形成させる。

【００３８】次に、上述のように構成される光ディスク
原盤露光装置の動作について説明する。

【００３９】この光ディスク原盤露光装置では、まず、
スピンドルモータ５３が駆動され、ガラス原盤５０が固
定されたターンテーブル５２が所定の回転速度で回転さ
れる。すると、分周回路５７が、ロータリーエンコーダ
５４の出力に基づいて、ガラス原盤の回転周期に応じた
パルス信号（ａ）を発生する。回転が定常速度に達する
と、対物レンズ４５を駆動し、フォーカスサーボをかけ
る。

【００４０】パルス信号（ａ）が発生すると、トグルフ
リップフロップ５９から、そのパルス信号（ａ）を基に
ガラス原盤５０の回転周波数の２分の１の周波数の出力
信号（ｂ）が出力され、ゲート回路６０から、ＡＯＭ４
２の外部入力信号となる出力信号（ｃ）が出力される。
このときは、コントローラ５８からゲート回路６１への
信号はオフレベルであり、ＡＯＭ４２には信号は伝わら
ないので、原盤には何も記録されない。

【００４１】続いて、横送りモータ５６が駆動されて横
送りが開始される。横送りが定速移動となると、ゲート
回路６１のゲートがオン状態にされ、ゲート回路６０か
ら出力された出力信号（ｃ）がゲート回路６１を通して
ＡＯＭ４２へ入力される。

【００４２】出力信号（ｃ）がＡＯＭ４２へ入力される
と、ＡＯＭ４２では、入力された出力信号（ｃ）に基づ
いてＨｅ−Ｃｄレーザ４１からのレーザ光の光強度変調
が行われる。すると、出力信号（ｃ）に応じて溝が形成
され、図３に示す光学的情報記録媒体のようなグルーブ
の溝が、ガラス原盤５０上に形成される。

【００４３】上述のように、一定速度でレーザスポット
をディスク半径方向に移動させながら、出力信号（ｃ）
に基づいてレーザ光の光強度変調を行って溝を形成した
ガラス原盤５０をマスターディスクとして光ディスクを
作製すれば、図３に示す光学的情報記録媒体を得ること
ができる。

【００４４】本実施例の光ディスク原盤露光装置では、
図２に示すパルス信号（ａ）のパルス幅ｔ₁ によって図
３に示すミラー部４の周方向の長さが決定される。この
ミラー部４の周方向の長さは、ガラス原盤上で２〜２０
０μｍとすることが望ましい。以下に、その理由につい
て説明する。

【００４５】まず、図４を参照して、図３に示す光学的
情報記録媒体に対して情報の記録再生を行う情報記録再
生装置について説明する。

【００４６】図４において、１００は図３に示した光学
的情報記録媒体である。ここでは、ランド及びグルーブ
の双方にデータが記録され、その記録された情報が読み
取られる。

【００４７】対物レンズ１２１はディスク１００の記録
面に対向して配置されるピックアップレンズであり、図
示しないフォーカスサーボ回路及びフォーカスアクチュ
エータにより、この対物レンズ１２１から出射された光
がディスク１００の記録面上に常に合焦するようその位
置が制御されている。

【００４８】光学系１２２は、光源（不図示）および光
を電気信号に変換するセンサ（不図示）を備えている。
この光学系１２２では、光源から射出した光は上記の対
物レンズ１２１を介してディスク１００の記録面上に所
定径の光スポットに集光され、その反射光が再び対物レ
ンズ１２１を介してセンサに集光されて電気信号に変換
される。

【００４９】ＡＴエラー信号生成回路１２３は、上記光
学系１２２の各センサから出力された電気信号を基にト
ラッキングエラー信号（ａ）を生成する。なお、光学系
１２２は、公知のプッシュプル法などのトラッキング方
式に対応しており、このＡＴエラー信号生成回路１２６
におけるトラッキングエラー信号の生成は、その光学系
１２２におけるトラッキング方式に対応して生成され
る。

【００５０】極性切替器１２８は、上記ＡＴエラー信号
生成回路１２３にて生成されたトラッキングエラー信号
（ａ）の極性の切り替えを行うものである。

【００５１】位相補償器１２９は、上記の極性切替器１
２８にて極性が切り替えられたトラッキングエラー信号
（ｆ）に対して、サーボを安定させるために位相補償を
行うものである。この位相補償器１２９の出力ライン
は、スイッチ１３０を介して加算回路１３２の一方の端
子に入力されている。このスイッチ１３０のスイッチの
制御はコントロール回路１３１により行われる。

【００５２】加算回路１３２は、一方の入力端子に上記
位相補償器１２９の出力ラインがスイッチ１３０を介し
て接続されており、他方の入力端子にはコントロール回
路１３１の出力ラインが接続され、その出力はアクチュ
エータドライバ１３３に入力されている。

【００５３】アクチュエータドライバ１３３は、加算回
路１３２から入力される信号を電流信号に変換し、対物
レンズ１２１の移動を行うＡＴアクチュエータ１３４を
駆動する。

【００５４】和信号生成回路１２４、ピークホールド回
路１２５、分圧抵抗１２６ａ，１２６ｂ、２値化回路１
２７はディスク上のミラー部４を検出してミラー部検出
信号を出力するミラー部検出手段である。これら各部
は、以下のような構成となっている。

【００５５】和信号生成回路１２４は、光学系１２２の
センサから出力された電気信号を基に和信号（ｂ）を生
成する。この和信号生成回路１２４における和信号の生
成は、光学系１２２におけるトラッキング方式に対応し
て生成される。例えば、プッシュプル法の場合は、２分
割フォトディテクタ（もしくは４分割フォトディテク
タ）の各センサ部の出力の和をとる。この和信号生成回
路１２４から出力された和信号（ｂ）は、ピークホール
ド回路１２５に入力されるとともに２値化回路１２７の
一方の入力となっている。

【００５６】ピークホールド回路１２５は、入力される
和信号のピーク値をホールドする回路で、その出力は分
圧抵抗１２６ａ，１２６ｂを介して２値化回路１２７の
他方の入力となっている。分圧抵抗１２６ａは一端がピ
ークホールド回路１２５の出力ラインと接続されてお
り、他端が２値化回路１２７の他方の入力ラインと接続
されるとともに分圧抵抗１２６ｂの一端に接続されてい
る。分圧抵抗１２６ｂの他端は接地されている。このピ
ークホールド回路１２５から出力された和信号のピーク
ホールド値は、これら分圧抵抗１２６ａ，１２６ｂによ
って適当に分圧されてＤＣレベル信号（ｃ）となり、こ
れが２値化回路１２７に入力されている。

【００５７】２値化回路１２７は、和信号生成回路１２
４から出力された和信号（ｂ）を一方の入力とし、ピー
クホールド回路１２５から分圧抵抗１２６ａ，１２６ｂ
を介して出力されたＤＣレベル信号（ｃ）を他方入力と
し、これらを比較してトグルフリップフロップ１３５の
トリガとなる２値化信号（ｄ）、すなわちミラー部検出
信号を出力するものである。

【００５８】上述のミラー部検出手段から出力されるミ
ラー部検出信号、すなわち２値化回路１２７から出力さ
れた２値化信号（ｄ）は、トグルフリップフロップ１３
５へ出力されている。

【００５９】トグルフリップフロップ１３５は、２値化
回路１２７から出力された２値化信号（ｄ）をトリガと
して上述の極性切替器１２８における極性切替を制御す
るための極性切替制御信号（ｅ）を生成するものであ
る。このトグルフリップフロップ１３５から出力された
極性切替制御信号（ｅ）を基に極性切替器１２８におけ
る極性切替が制御される。

【００６０】コントロール回路１３１は通常その構成に
ＣＰＵを含んでおり、トラッキングサーボのオンオフを
制御したり、目標トラックへの対物レンズ１２１の移動
を制御したりする他、極性切替器１２８を制御して、実
際に記録再生しようとする情報トラックの位置を基にそ
のトラックがグルーブであるのか、ランドであるのかを
判定してトラッキングエラー信号の極性切替も行うこと
もできる。トラッキングサーボのオンオフを制御する場
合は、スイッチ１３０のオン・オフを制御することによ
り行い、目標トラックへの対物レンズ１２１の移動を制
御する場合は、スイッチ１３０をオフにした状態で目標
トラックに対物レンズ１２１を移動させるための加速パ
ルスを発生させ、これを加算器１３２へ出力することに
より行う。

【００６１】上述のように構成される情報記録再生装置
における動作において、最も重要なことは、ミラー部４
における反射率が他の部分よりも大きく、それが和信号
レベルに反映されてミラー部４の検出に利用できるとい
うことである。以下、この装置の動作について簡単に説
明する。

【００６２】図５は図４に示す情報記録再生装置の動作
を説明するための図で、（ａ）はフォーカシングサーボ
のみ作動し、トラッキングサーボは作動していない状態
で、ディスク１の外周から内周方向に、あるグルーブ３
ａからはじまりグルーブ３ｄまで光スポットがランド及
びグルーブを横切った状態を示す図、（ｂ）は（ａ）に
示す光スポットの移動に応じたトラッキングエラー信号
（ａ）、和信号（ｂ）、ＤＣレベル信号（ｃ）、２値化
信号（ｄ）、極性切替制御信号（ｅ）、およびトラッキ
ングエラー信号（ｆ）の波形を示した図である。

【００６３】まず、光スポットがスポットからスポッ
トまで単にランド／グルーブをディスク半径方向に横
切る場合の各出力信号について説明する。

【００６４】ＡＴエラー信号生成回路１２３から出力さ
れたトラッキングエラー信号（ａ）は、スポットで立
ち上がりゼロクロスし、スポットで立ち下がりゼロク
ロスし、再びスポットで立ち上がりゼロクロスし、ス
ポットで立ち下がりゼロクロスするといった周期的な
波形（正弦波状）となる。また、和信号生成回路１２４
から出力された和信号（ｂ）は、上記トラッキングエラ
ー信号（ａ）の立ち上がりゼロクロスの時点で最小値、
立ち下がりゼロクロスの時点で最大値となる正弦波とな
る。この間、上記の和信号（ｂ）の値はピークホールド
回路１２５から出力され分圧抵抗１２６ａ，１２６ｂに
より分圧されたＤＣレベル信号（ｃ）の値より常に小さ
な値となっており、２値化回路１２７からは２値化信号
（ｄ）として「０」が出力される。２値化回路１２７か
ら出力された２値化信号（ｄ）が「０」のため、トグル
フリップフロップ１３５から出力される極性切替制御信
号（ｅ）は「０」に保たれる。

【００６５】上記のようにトグルフリップフロップ１３
５から出力される極性切替制御信号（ｅ）が「０」に保
たれた状態では、極性切替器１２８では極性の切り替え
は行われず（現在の極性に維持されている）、トラッキ
ングエラー信号（ｆ）としてＡＴエラー信号生成回路１
２３から出力されたトラッキングエラー信号（ａ）がそ
のまま出力される。

【００６６】次に、光スポットがスポットからミラー
部４を通過してスポットへ移動した場合について説明
する。

【００６７】ＡＴエラー信号生成回路１２３から出力さ
れたトラッキングエラー信号（ａ）は、ミラー部４を通
過するときにトラッキングエラー信号（ａ）のレベルが
０になると共に、その前後ではランド間の位相のずれに
したがってトラッキングエラー信の位相も１８０度反転
する。したがって、図５（ａ）に示すようなミラー部４
の前後で位相が１８０度反転した波形となる。

【００６８】また、光スポットがミラー部４を通過する
場合、その光スポットがグルーブにかかることはないの
で、和信号生成回路１２４から出力された和信号（ｂ）
は、上述のスポット，スポット（このスポットで
は、光スポットの一部はそのランドの両側に隣接するグ
ルーブにかかった状態となっている）における和信号
（ｂ）よりも回折の影響がない分大きく、ピークホール
ド回路１２５から出力され分圧抵抗１２６ａ，１２６ｂ
により分圧されたＤＣレベル信号（ｃ）の値を越えるも
のとなる。したがって、図５（ｂ）に示すようにミラー
部４においてのみＤＣレベル信号（ｃ）の値を越え、ミ
ラー部４通過後は、上記トラッキングエラー信号（ａ）
の立ち上がりゼロクロスの時点で最小値、立ち下がりゼ
ロクロスの時点で最大値となる正弦波となる。

【００６９】和信号生成回路１２４から上記和信号
（ｂ）が出力されると、２値化回路１２７からは次のよ
うな２値化信号（ｄ）が出力される。光スポットがミラ
ー部４を通過している間は、和信号（ｂ）の値がＤＣレ
ベル信号（ｃ）の値を越えることとなるため、２値化信
号（ｄ）として「１」が出力され、光スポットがミラー
部４を通過した後は和信号（ｂ）の値はＤＣレベル信号
（ｃ）の値より常に小さなものとなるため、２値化信号
（ｄ）として「０」が出力される。

【００７０】２値化回路１２７から上記の２値化信号
（ｄ）が出力されると、トグルフリップフロップ１３５
では、その２値化信号（ｄ）のクロックの立上りをトリ
ガとし、極性切替制御信号（ｅ）が「０」から「１」に
切り替わる。

【００７１】トグルフリップフロップ１３５から極性切
替制御信号（ｅ）として「１」が出力されると、極性切
替器１２８では極性の切替が行われ、トラッキングエラ
ー信号（ｆ）としてＡＴエラー信号生成回路１２３から
出力されたトラッキングエラー信号（ａ）を反転したも
のが出力される。一度、極性が切り替えられると、その
状態は２値化信号（ｄ）として「１」が再び出力される
まで維持される。この結果、図５（ｂ）に示すような、
ミラー部４の前後でも位相が連続したトラッキングエラ
ー信号（ｆ）が得られることとなる。

【００７２】以上は、説明のためにトラッキングサーボ
が掛かっていない場合についての各部信号を述べたが、
通常のトレース動作状態ではトラッキングサーボも掛か
っており、この場合も全く同様の回路を用いてミラー部
の検出を行うことができ、ミラー部においてトラッキン
グエラー信号の極性を切り換えることにより、ランドか
らグルーブ、グルーブからランドへの移行が滑らかに行
える。

【００７３】以上のように、図３に示した光学的情報記
録媒体に対して情報の記録再生を行う場合は、ミラー部
４を検出し、その検出した信号をトリガーとしてトラッ
キングエラー信号の極性切替が行われて情報の記録再生
が行われることから、ミラー部４は、その周方向の長さ
がトラッキングサーボが外れない程度の長さで、かつピ
ックアップ光のスポットが十分収まる（スポットがグル
ーブにかかることのない）長さに形成されていることが
必要とされる。このことから、ミラー部４の周方向の長
さは、ガラス原盤上で２〜２００μｍとすることが望ま
しい。

【００７４】＜他の実施例＞図６は、本発明の第２の実
施例の光ディスク原盤露光装置の概略構成を示すブロッ
ク図である。

【００７５】本実施例の光ディスク原盤露光装置は、ト
グルフリップフロップ５９から出力された信号に基づい
てＡＯＭ４２の外部入力信号を構成する回路が異なる以
外は、前述の第１の実施例の光ディスク原盤露光装置の
構成と同様の構成のものである。すなわち、図１に示す
ゲート回路６０に代えて、ＰＬＬ（phase-locked loop
）回路６２、単安定マルチバイブレータ（ＭＳＭＶ）
６３、およびゲート回路６４が設けられている。なお、
図中、同じ構成部については同じ動作をするものとし、
同じ符号を付してある。

【００７６】ＰＬＬ回路６２は、内部に発信器を有し、
所望の周波数の信号を外部クロック信号に同期させて出
力させるものである。本実施例では、ＰＬＬ回路６２は
トグルフリップフロップ５９の出力を入力としており、
内部発振器の周波数が入力信号（トグルフリップフロッ
プ５９の出力）の（２ｎ−１）倍（ｎは自然数）に設定
されている。このＰＬＬ回路６２では、同期状態におい
て出力される出力信号（ｄ）は図７に示すような波形と
なり、ガラス原盤５０の回転周波数の（（２ｎ−１）／
２）倍の周波数で、かつ、ガラス原盤５０の回転に同期
した信号が得られる。このＰＬＬ回路６２からの出力信
号（ｄ）は、単安定マルチバイブレータ６３のトリガー
信号とされるとともに、ゲート回路６４の一方の入力と
されている。

【００７７】単安定マルチバイブレータ６３は、ＰＬＬ
回路６２からの出力信号（ｄ）をトリガーとして、図７
に示すようなパルス幅ｔ₂ のパルス信号（ｅ）を出力す
る。この単安定マルチバイブレータ６３の出力は、ゲー
ト回路６４の他方の入力となっている。ここで、単安定
マルチバイブレータ６３の働きは、信号（ｄ）をトリガ
として、パルス幅ｔ₂ の信号（ｅ）を発生させることに
あるので、同様の作用を持つ回路、例えばカウンタ回路
などに置き換えても差し支えない。

【００７８】ゲート回路６４は、ＰＬＬ回路６２からの
出力信号（ｄ）を一方の入力、単安定マルチバイブレー
タ６３からのパルス信号（ｅ）の反転出力を他方の入力
とし、これらの論理積をとって図７に示すような出力信
号（ｆ）を出力する。このゲート回路６４の出力信号
（ｆ）がＡＯＭ４２の外部入力信号であり、レーザ光強
度の変調がこの出力信号（ｆ）の周期で行われる。本実
施例では、図７に示すように、出力信号（ｆ）は出力信
号（ｄ）に対して、「１」のレベルの時間がパルス信号
（ａ）のパルス幅ｔ₂ の時間分短く、「０」のレベルの
時間がパルス信号（ａ）のパルス幅ｔ₂ の時間分長くな
っている。

【００７９】本実施例では、出力信号（ｅ）の「１」の
レベルでレーザ光による溝の形成を行うこととし、単安
定マルチバイブレータ６３から出力されるパルス信号
（ｅ）のパルス幅ｔ₂ を、ｔ₂ ＝（１×１０^-6）／Ｖ〜（１００×１０^-6）／Ｖ［Ｓ］（ただし、Ｖはレーザスポット位置におけるガラス原盤
の線速度）で与えれば、前述の第１の実施例の光ディス
ク原盤露光装置のようにミラー部を形成することができ
る。この場合、ミラー部は図８に示すように周方向に複
数設けることができ、各ミラー部はディスク半径方向に
揃ったものとなる。

【００８０】本実施例の光ディスク原盤露光装置では、
図７に示すパルス信号（ｅ）のパルス幅ｔ₂ によって図
８に示すミラー部の周方向の長さが決定される。このミ
ラー部４の周方向の長さは、前述した理由から第１の実
施例の場合と同様にガラス原盤上で２〜２００μｍとす
ることが望ましい。

【００８１】なお、本実施例の光ディスク原盤露光装置
では、ＰＬＬ回路６２の内部発振器の周波数は入力信号
（トグルフリップフロップ５９の出力）の（２ｎ−１）
倍（ｎは自然数）に設定されているが、ｎ＝１とした場
合には、ＰＬＬ回路６２を省略してその入出力を短絡し
ても動作は全く同じものとなる。この場合、作製された
基板は第１の実施例の光ディスク原盤露光装置により作
製された基板と全く同じ形態となる。

【００８２】また、一般的に図３または図８に示すよう
な記録媒体を扱う場合は、記録領域全体を数百バイトか
ら数キロバイトの小領域に分けたセクタと称する領域を
設け、実際の情報記録再生に当たってはセクタ毎に行う
ことにより記録情報の管理を容易にしている。本実施例
の光ディスク原盤露光装置では、１周の中でのセクタ数
を（２ｎ−１）個に設定して、ＰＬＬ回路６２の内部発
信器の周波数をセクタ数に合わせることにより、セクタ
毎にミラー部を設けることができる。

【００８３】以上、第１および第２の実施例にて説明し
た光ディスク原盤露光装置は、いずれもＡＯＭ４２にお
けるレーザ光の光強度の変調周期を、ガラス原盤の回転
に同期した状態で１周期におけるレーザ光が照射される
時間が照射されない時間より短くなるようにすることを
特徴としている。すなわち、レーザ光の光強度の変調周
期をＦとした場合に、変調周期ＦをＦ＝２Ｔ／（２ｎ−１）（ｎは自然数、Ｔはガラス原
盤の回転周期）で与え、レーザ光を照射する時間をＦ／２未満とし、こ
れによりミラー部を形成している。

【００８４】なお、上述の第１および第２の実施例で
は、ＡＯＭ４２の変調周期を決定する回路が異なるもの
について説明しているが、その構成は図示された構成に
限定されるものではなく、ＡＯＭ４２におけるレーザ光
の光強度の変調周期がガラス原盤の回転に同期した状態
で１周期におけるレーザ光が照射される時間が照射され
ない時間より短くなるようにできればよい。

【００８５】また、本発明の光ディスク原盤露光装置で
は、対象となる光学的情報記録媒体には、ＷＯＲＭ型
（追記）型、Ｒ／Ｗ（書き換え可能）型を用いることが
でき、ＣＡＶ（Constant Angular Velocity；回転数一
定）方式、またはディスク半径方向にいくつかのゾーン
に分け、外周側のゾーンほど回転速度を遅くするＺＣＡ
Ｖ（Zoned CAV）方式において、特長を最大限に引き出
すことができる。

【００８６】

【発明の効果】本発明は以上説明したように構成されて
いるので、以下に記載するような効果を奏する。

【００８７】請求項１に記載のものにおいては、ランド
となる部分の両周端（すなわち、グルーブとなる部分と
の境界部）にミラー部が形成されるので、ディスク周方
向においてミラー部を介してランドとグルーブが連続す
る光ディスク、例えば、図３および図８に示すような光
学的情報記録媒体の原盤を作製でき、大容量の光ディス
クを提供することができるという効果がある。

【００８８】請求項２および請求項３に記載のものにお
いては、上記効果を奏する光ディスク原盤露光装置を実
現することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１の実施例の光ディスク原盤露光装
置の概略構成を示すブロック図である。

【図２】図１に示す光ディスク原盤露光装置のＡＯＭ４
２の変調周期を説明するためのもので、分周回路５７、
トグルフリップフロップ５９、およびゲート回路６０の
各出力信号の波形を示した図である。

【図３】ディスク周方向においてミラー部を介してラン
ドとグルーブが連続する光学的情報記録媒体の構成の一
例を示す図である。

【図４】図３に示す光学的情報記録媒体に対して情報の
記録再生を行う情報記録再生装置の概略構成を示すブロ
ック図である。

【図５】図４に示す情報記録再生装置の動作を説明する
ための図で、（ａ）はフォーカシングサーボのみ作動
し、トラッキングサーボは作動していない状態で、ディ
スク１の外周から内周方向に、あるグルーブ３ａからは
じまりグルーブ３ｄまで光スポットがランド及びグルー
ブを横切った状態を示す図、（ｂ）は（ａ）に示す光ス
ポットの移動に応じたトラッキングエラー信号（ａ）、
和信号（ｂ）、ＤＣレベル信号（ｃ）、２値化信号
（ｄ）、極性切替制御信号（ｅ）、およびトラッキング
エラー信号（ｆ）の波形を示した図である。

【図６】本発明の第２の実施例の光ディスク原盤露光装
置の概略構成を示すブロック図である。

【図７】図６に示す光ディスク原盤露光装置におけるＡ
ＯＭ４２の変調周期を説明するためのもので、分周回路
５７、トグルフリップフロップ５９、ＰＬＬ回路６２、
ＭＳＭＶ６３、およびゲート回路６４の各出力信号の波
形を示した図である。

【図８】ディスク周方向においてミラー部を介してラン
ドとグルーブが連続し、１周当たりにミラー部が複数形
成された光学的情報記録媒体の構成の一例を示す図であ
る。

【図９】螺旋状にトラックを形成したディスク型の光学
的情報記録媒体の一例を示す図である。

【符号の説明】

２ａ，２ｂランド３ａ，３ｂ，３ｃグルーブ４ミラー部４０シリンドリカルレンズ４１Ｈｅ−Ｃｄレーザ４２ＡＯＭ（音響光学変調器）４３ビームエキスパンダ４４，４７ハーフミラー４５対物レンズ４６Ｈｅ−Ｎｅレーザ４８集光レンズ４９センサ５０ガラス原盤５１ディスク押え５２ターンテーブル５３スピンドルモータ５４ロータリエンコーダ５５横送りネジ５６横送りモータ５７分周回路５８コントローラ５９トグルフリップフロップ６０，６１，６４ゲート回路６２ＰＬＬ回路６３単安定マルチバイブレータ（ＭＳＭＶ）

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】感光材が塗布されたガラス原盤を回転さ
せる回転機構と、前記ガラス原盤にレーザ光を照射して
感光させる露光系と、前記ガラス原盤上におけるレーザ
スポット位置がディスク半径方向に相対的に移動するよ
うに前記露光系もしくは前記回転機構を横送りする横送
り機構とを備え、前記ガラス原盤を一定の回転速度で回
転させ、一定の速度で横送りしながらレーザ光を照射し
てガラス原盤上に溝を形成する光ディスク原盤露光装置
において、前記レーザ光の光強度を２値に変調する変調回路と、前記回転機構におけるガラス原盤の回転周期Ｔに基づい
て、前記変調回路におけるレーザ光の光強度の変調周期
Ｆを決定する手段と、を有し、前記変調回路におけるレーザ光の光強度の変調周期Ｆ
を、Ｆ＝２Ｔ／（２ｎ−１）（ｎは自然数）とし、レーザ光を照射する時間をＦ／２未満とすること
を特徴とする光ディスク原盤露光装置。
【請求項２】請求項１に記載の光ディスク原盤露光装
置において、変調周期Ｆを決定する手段は、回転機構におけるガラス原盤の回転周期Ｔを検出するロ
ータリエンコーダと、前記ロータリエンコーダにて検出
された回転周期Ｔに基づいて、所定パルス幅のパルス信
号を出力する分周回路と、前記分周回路から出力されたパルス信号に基づいて、前
記回転周期Ｔの２倍の周期のクロックを出力するトグル
フリップフロップと、前記分周回路から出力されたパルス信号を反転したもの
を一方の入力、前記トグルフリップフロップから出力さ
れたクロックを他方の入力とし、これらの論理積をとっ
たものを変調回路のゲート信号として出力するゲート回
路と、から構成されていることを特徴とする光ディスク
原盤露光装置。
【請求項３】請求項１に記載の光ディスク原盤露光装
置において、変調周期Ｆを決定する手段は、回転機構におけるガラス原盤の回転周期Ｔを検出するロ
ータリエンコーダと、前記ロータリエンコーダにて検出された回転周期Ｔに基
づいて、第１のパルス信号を出力する分周回路と、前記分周回路から出力された第１のパルス信号に基づい
て、前記回転周期Ｔの２倍の周期の第１のクロックを出
力するトグルフリップフロップと、内部に発振器を有し、前記トグルフリップフロップから
出力された第１のクロックと位相の同期した所望の周波
数の第２のクロックを出力するＰＬＬ回路と、前記ＰＬＬ回路から出力された第２のクロックに基づい
て、所定パルス幅の第２のパルス信号を出力するパルス
発生器と、前記パルス発生器から出力された第２のパルス信号を反
転したものを一方の入力、前記ＰＬＬ回路から出力され
た第２のクロックを他方の入力とし、これらの論理積と
ったものを変調回路のゲート信号として出力するゲート
回路と、から構成され、前記ＰＬＬ回路の内部発振器の周波数が前記トグルフリ
ップフロップから出力された第１のクロックの周波数の
（２ｎ−１）倍（ｎは自然数）に設定されていることを
特徴とする光ディスク原盤露光装置。