JPH0933558A - 衝撃センサ - Google Patents

衝撃センサ

Info

Publication number
JPH0933558A
JPH0933558A JP7203813A JP20381395A JPH0933558A JP H0933558 A JPH0933558 A JP H0933558A JP 7203813 A JP7203813 A JP 7203813A JP 20381395 A JP20381395 A JP 20381395A JP H0933558 A JPH0933558 A JP H0933558A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
substrate
impact
impact sensor
sensor according
shock
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP7203813A
Other languages
English (en)
Inventor
Takeshi Nakamura
村 武 中
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP7203813A priority Critical patent/JPH0933558A/ja
Priority to EP96111524A priority patent/EP0754952B1/en
Priority to DE69608617T priority patent/DE69608617T2/de
Publication of JPH0933558A publication Critical patent/JPH0933558A/ja
Priority to US08/929,735 priority patent/US6053045A/en
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/02Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses
    • G01P15/08Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values
    • G01P15/09Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up
    • G01P15/0922Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration by making use of inertia forces using solid seismic masses with conversion into electric or magnetic values by piezoelectric pick-up of the bending or flexing mode type
    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01PMEASURING LINEAR OR ANGULAR SPEED, ACCELERATION, DECELERATION, OR SHOCK; INDICATING PRESENCE, ABSENCE, OR DIRECTION, OF MOVEMENT
    • G01P15/00Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration
    • G01P15/18Measuring acceleration; Measuring deceleration; Measuring shock, i.e. sudden change of acceleration in two or more dimensions

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Force Measurement Appropriate To Specific Purposes (AREA)
  • Measurement Of Mechanical Vibrations Or Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】 1つで全ての方向の衝撃を検知することがで
きる無指向性の衝撃センサを得る。 【解決手段】 円板状の基板12の一方主面に、圧電素
子14を形成する。基板12の中心線状に、連結糸22
を用いて重り20を固定する。連結糸22は、たとえば
金属,ナイロン,テフロンなどの糸で形成される。連結
糸22は、柔軟性を有し、引張り力に対して伸びたりし
ないが、圧縮に対して弛むように形成される。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】この発明は衝撃センサに関
し、特にたとえば、自動車事故が発生したときなどにそ
の衝撃を検知するための衝撃センサに関する。
【0002】
【従来の技術】従来、たとえば種々の加速度センサなど
が、衝撃センサとして用いられている。これらの加速度
センサを衝撃センサとして用いる場合としては、たとえ
ば自動車事故が発生したときに、自動車に加わる衝撃を
検知することが考えられる。そして、自動車に加わる衝
撃を検知してドアロックを解除すれば、自動車内に閉じ
込められた人を救助することが容易となる。
【0003】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
加速度センサなどは指向性があり、1つの向きの衝撃し
か検知することができない。そのため、全ての向きの衝
撃を検知しようとすれば、直交する3つの軸方向に、そ
れぞれ加速度センサを配置しなければならない。したが
って、3つの加速度センサを用いて無指向性の衝撃セン
サを作製すると、大型化するとともに、製造コストが高
くなり、また衝撃センサの取り付けに方向性があるなど
の問題があった。
【0004】それゆえに、この発明の主たる目的は、1
つだけで全ての方向の衝撃を検知することができる無指
向性の衝撃センサを提供することである。
【0005】
【課題を解決するための手段】この発明は、基板と、基
板の変形を検出するための検出手段と、基板の中央部と
基板の中心線上に固定される連結手段と、前記連結手段
のほぼ中央部に配置される重りを含む、衝撃センサであ
る。この衝撃センサにおいて、連結手段は柔軟性を有す
る線状材であることが望ましい。また、連結手段とし
て、剛性を有する棒状材を用いてもよい。この場合、棒
状材には、スプリング性が与えられることが望ましい。
検出手段としては、たとえば圧電素子を用いることがで
きる。また、検出手段としては、強誘電薄膜,抵抗薄
膜,磁性薄膜などを用いた検出素子を使用することがで
きる。さらに、基板を圧電体で形成し、かつ検出手段と
して基板に発生する電荷を検出するための電極を基板の
面上に形成してもよい。また、基板の形状としては、回
転対称形に形成されることが望ましい。その中で、最も
好ましい基板の形状は円板状である。
【0006】重りに衝撃が加わると、その衝撃がどの方
向であっても、連結手段を介して基板の中央部に力が加
わる。この力によって基板が変形し、基板の変形に対応
して、検出手段から信号が出力される。この検出手段と
して圧電素子を用いた場合、基板の変形に応じて圧電素
子に電荷が発生する。したがって、圧電素子に発生する
電圧を測定することによって、衝撃を検知することがで
きる。また、圧電素子を励振しておけば、基板の変形に
応じてその共振周波数やインピーダンスが変化する。し
たがって、共振周波数やインピーダンスの変化を測定す
れば、衝撃を検知することができる。このように、電圧
や共振周波数やインピーダンスの変化を測定するために
は、基板自体を圧電体で形成し、その面上に電極を形成
したものを用いてもよい。さらに、検出手段として強誘
電薄膜を用いた検出素子を使用した場合、基板の変形に
よってその静電容量が変化する。したがって、検出素子
の静電容量を測定することによって、衝撃を検知するこ
とができる。同様に、抵抗薄膜を用いた検出素子を使用
した場合、検出素子の抵抗変化を測定することによっ
て、衝撃を検知することができる。また、磁性薄膜を用
いた検出素子を使用した場合、検出素子の磁性インダク
タンスの変化を測定することによって、衝撃を検知する
ことができる。
【0007】基板と重りとを連結するために、柔軟性を
有する線状材を用いることにより、線状材に平行する方
向の衝撃に対して、重りの変位を十分に基板に伝えるこ
とができる。つまり、全方向の衝撃に対して、重りの自
由度がほぼ等しくなる。したがって、全方向の衝撃に対
して、衝撃センサの感度をほぼ等しくすることができ
る。また、連結手段として、剛性を有する棒状材を用い
てもよい。この場合、棒状材の中間部をコイル状などに
形成することにより、棒状材にスプリング性が与えられ
る。このような連結手段を用いても、棒状材の平行する
方向の衝撃に対して、重りの変位が抑えられない。さら
に、基板の形状としては、回転対称形に形成することに
より、基板の端部の複数箇所を支持したときに、基板の
中央部から支持部までの距離を等しくすることができ
る。そのため、基板の中央部に力が加わったとき、基板
の変形を最大にすることができる。このような基板の形
状としては、中心点から端部までの距離が全て等しい円
板状が最適である。
【0008】
【発明の効果】この発明によれば、全ての方向の衝撃を
検知することができる無指向性の衝撃センサを得ること
ができる。しかも、基板の形状を回転対称形にしたり、
連結手段に柔軟性を与えることによって、感度が良好
で、全ての方向の衝撃に対してほぼ等しい感度を有する
衝撃センサを得ることができる。
【0009】この発明の上述の目的,その他の目的,特
徴および利点は、図面を参照して行う以下の実施例の詳
細な説明から一層明らかとなろう。
【0010】
【発明の実施の形態】図1はこの発明の衝撃センサの一
例を示す斜視図であり、図2はその断面図である。衝撃
センサ10は、たとえば円板状の基板12を含む。基板
12は、たとえば薄い金属板で形成される。基板12の
一方面上には、検出手段としての圧電素子14が形成さ
れる。圧電素子14は、円板状の圧電体層16を含み、
圧電体層16の両面に電極18a,18bが形成され
る。圧電体層16の材料としては、たとえば圧電セラミ
ックなどが用いられる。そして、一方の電極18bが、
基板12に接着される。この衝撃センサ10の例では、
圧電素子14の直径は、基板12の直径より小さくなる
ように形成されている。
【0011】基板12の他方主面側には、重り20が配
置される。重り20は、連結手段としての連結糸22に
よって基板12に連結される。連結糸22は、たとえば
金属,ナイロン,テフロンなどの糸で形成される。重り
20の一端が連結糸22によって基板12の中央部に連
結され、さらに重り20の他端が連結糸22によってケ
ースなどに固定される。このとき、重り20は、基板1
2の中心線方向に配置される。つまり、連結糸22は、
基板12の他方面の中央部から、基板12に直交する方
向に延びるように取り付けられる。連結糸22は、柔軟
性を有し、引張り力に対して伸びたりしないが、圧縮に
対して弛むように形成される。
【0012】衝撃センサ10は、図3に示すように、た
とえば円柱状のケース30に収納される。ケース30
は、内部ケース32および外部ケース34を含む。内部
ケース32は円柱状に形成され、内部に空洞部36が形
成される。この内部ケース32の外径は、基板12の直
径とほぼ同じとなるように形成される。また、外部ケー
ス34は、内部ケース32の外径とほぼ等しい内径を有
する円柱状に形成される。また、外部ケース34の内側
には段差部38が形成され、段差部38の内側は内部ケ
ース32の内径とほぼ等しい内径となるように形成され
る。これらの段差部38の内側および内部ケース32の
内径は、圧電素子14の直径より大きくなるように形成
される。
【0013】衝撃センサ10をケース30内に収納する
には、内部ケース32上に基板12が載置される。この
状態で、外部ケース34を被せることによって、基板1
2が内部ケース32と外部ケース34とで挟まれ、基板
12は固定される。このとき、外部ケース34に段差部
38が形成されていることによって、基板12の変位の
ための空間が確保される。さらに、連結糸22は、内部
ケース32の底部の中央部に固定される。
【0014】この衝撃センサ10に、基板12に平行な
方向の衝撃が加わると、図4に示すように、重り20が
基板12に平行する方向に変位する。そのため、基板1
2の中央部が引っ張られ、基板12に撓みが生じる。こ
の撓みによって、基板12に接着された圧電素子14も
変形し、この変形に応じて電荷が発生する。したがっ
て、圧電素子14の出力電圧を測定することによって、
衝撃センサ10に衝撃が加わったことが検知される。
【0015】また、図5に示すように、基板12に直交
する方向に衝撃が加わった場合でも、基板12に力が加
わる。このとき、連結糸22に柔軟性が与えられている
ため、連結糸22に平行する方向に力が加わっても、連
結糸22によって重り20の変位が抑えられない。した
がって、重り20は基板12に直交する方向に自由に変
位可能であり、基板12に力を伝えることができる。
【0016】このように、衝撃センサ10にどの方向か
ら衝撃が加わっても、基板12を同じように変形させる
ことができる。また、連結糸22に柔軟性を与えること
により、重りの自由度が全ての方向でほぼ同じとなる。
そのため、全ての方向の同じ程度の大きさの衝撃に対し
て、基板の変形量をほぼ同じにすることができる。した
がって、全ての方向の衝撃に対して、衝撃センサ10の
感度がほぼ一定となるようにすることができる。
【0017】このように、この発明の衝撃センサ10
は、全ての方向の衝撃を検知できる無指向性のセンサで
あり、しかも全ての方向の衝撃に対してほぼ一定の感度
を有するセンサである。したがって、この衝撃センサ1
0を自動車などに搭載すれば、自動車事故などの衝撃を
検知することができる。そして、衝撃を検知することに
よって、ドアロックを解除すれば、自動車内に閉じ込め
られた人の救出が容易となる。
【0018】なお、衝撃を検出するための手段として
は、圧電素子14を発振させ、その共振周波数やインピ
ーダンスを測定してもよい。この場合、衝撃が加わるこ
とによって基板12が変形すると、圧電素子14も変形
し、共振周波数やインピーダンスが変化する。したがっ
て、圧電素子14の出力信号を測定すれば、その共振周
波数やインピーダンスの変化から衝撃を検知することが
できる。このような電圧や共振周波数やインピーダンス
の変化を測定するためには、図6に示すように、基板1
2自体を圧電体材料で形成してもよい。そして、基板1
2の両面に、電極40a,40bが形成される。このよ
うな衝撃センサ10を用いても、基板12の変形によ
り、出力電圧や共振周波数が変化し、衝撃を検知するこ
とができる。
【0019】また、図7に示すように、強誘電薄膜42
の両面に電極44a,44bを形成した検出素子46を
用いてもよい。この検出素子46では、基板12が変形
することにより、検出素子46の静電容量が変化する。
したがって、検出素子46の静電容量を測定することに
より、衝撃を検知することができる。また、強誘電薄膜
42に代えて、抵抗薄膜や磁性薄膜をもちいてもよい。
このような検出素子を使用すれば、基板12が変形する
ことにより、抵抗や磁性インダクタンスが変化する。し
たがって、これらの検出素子の抵抗や磁性インダクタン
スの変化を測定することにより、衝撃を検知することが
できる。
【0020】また、図8に示すように、連結手段として
は、たとえば剛性を有する金属材料などで連結棒24を
形成してもよい。この場合、連結棒24の中間部にコイ
ル状部26などが形成され、連結棒24にスプリング性
が与えられる。このように、連結棒24にスプリング性
を与えることによって、連結棒24に平行する方向の衝
撃による重り20の変位が抑えられない。したがって、
全ての方向の衝撃に対して、衝撃センサ10の感度がほ
ぼ一定となるようにすることができる。
【0021】さらに、基板12の形状としては、正3角
形や正4角形など、正多角形状に形成してもよい。この
場合、正多角形の頂点となる部分を支持すれば、基板1
2の中央部から支持部までの距離を等しくすることがで
きる。このように、基板12の中央部と支持部との距離
を等しくすれば、衝撃に対する基板12の変形量を最大
にすることができる。したがって、衝撃センサ10の感
度を良好にすることができる。このような効果を得るた
めには、基板12を回転対称形にすればよい。たとえ
ば、図9に示すように、基板12は、等角度で3つの方
向に延びるような形状であってもよい。もちろん、基板
12の中央部と端部との距離が全て等しい円板状である
ことが、基板12の形状としては最適である。
【0022】また、衝撃によって基板12が変形しやす
いように、基板12に複数の孔を形成してもよい。ま
た、円板状の基板12の内側に、たとえば渦巻状の孔を
形成すれば、小さい衝撃でも基板12が大きく変形し、
大きい出力信号を得ることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】この発明の衝撃センサの一例を示す斜視図であ
る。
【図2】図1に示す衝撃センサの断面図である。
【図3】図1に示す衝撃センサをケースに収納した状態
を示す図解図である。
【図4】図1に示す衝撃センサにおいて、基板に平行な
衝撃が加わったときの状態を示す図解図である。
【図5】図1に示す衝撃センサにおいて、基板に直交す
る衝撃が加わったときの状態を示す図解図である。
【図6】この発明の衝撃センサの他の例を示す断面図で
ある。
【図7】この発明の衝撃センサのさらに他の例を示す断
面図である。
【図8】この発明の衝撃センサの別の例を示す斜視図で
ある。
【図9】この発明の衝撃センサに用いられる基板の変形
例を示す平面図である。
【符号の説明】
10 衝撃センサ 12 基板 14 圧電素子 20 重り 22 連結糸 24 コイル状部 42 強誘電薄膜 46 検出素子

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 基板、 前記基板の変形を検出するための検出手段、 前記基板の中央部と前記基板の中心線上に固定される連
    結手段、および前記連結手段のほぼ中央部に配置される
    重りを含む、衝撃センサ。
  2. 【請求項2】 前記連結手段は柔軟性を有する線状材で
    ある、請求項1に記載の衝撃センサ。
  3. 【請求項3】 前記連結手段は剛性を有する棒状材であ
    り、前記棒状材にスプリング性が与えられた、請求項1
    に記載の衝撃センサ。
  4. 【請求項4】 前記検出手段は圧電素子である、請求項
    1ないし請求項3のいずれかに記載の衝撃センサ。
  5. 【請求項5】 前記検出手段は強誘電薄膜を用いた検出
    素子である、請求項1ないし請求項3のいずれかに記載
    の衝撃センサ。
  6. 【請求項6】 前記検出手段は抵抗薄膜を用いた検出素
    子である、請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の
    衝撃センサ。
  7. 【請求項7】 前記検出手段は磁性薄膜を用いた検出素
    子である、請求項1ないし請求項3のいずれかに記載の
    衝撃センサ。
  8. 【請求項8】 前記基板は圧電体で形成され、かつ前記
    検出手段として前記基板に発生する電荷を検出するため
    の電極が前記基板の面上に形成された、請求項1ないし
    請求項3のいずれかに記載の衝撃センサ。
  9. 【請求項9】 前記基板は回転対称形に形成される、請
    求項1ないし請求項8のいずれかに記載の衝撃センサ。
  10. 【請求項10】 前記基板は円板状に形成される、請求
    項9に記載の衝撃センサ。
JP7203813A 1995-07-17 1995-07-17 衝撃センサ Pending JPH0933558A (ja)

Priority Applications (4)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7203813A JPH0933558A (ja) 1995-07-17 1995-07-17 衝撃センサ
EP96111524A EP0754952B1 (en) 1995-07-17 1996-07-17 Impact sensor
DE69608617T DE69608617T2 (de) 1995-07-17 1996-07-17 Aufprallsensor
US08/929,735 US6053045A (en) 1995-07-17 1997-09-15 Impact sensor

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP7203813A JPH0933558A (ja) 1995-07-17 1995-07-17 衝撃センサ

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPH0933558A true JPH0933558A (ja) 1997-02-07

Family

ID=16480156

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP7203813A Pending JPH0933558A (ja) 1995-07-17 1995-07-17 衝撃センサ

Country Status (4)

Country Link
US (1) US6053045A (ja)
EP (1) EP0754952B1 (ja)
JP (1) JPH0933558A (ja)
DE (1) DE69608617T2 (ja)

Families Citing this family (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
IT1318295B1 (it) * 2000-07-31 2003-07-28 Abb Ricerca Spa Dispositivo per la misura della pressione di un fluido
JP2002174556A (ja) * 2000-12-08 2002-06-21 Mitsubishi Electric Corp 乗員検知装置
KR20020091919A (ko) * 2001-06-01 2002-12-11 엘지전자 주식회사 충격감지 장치
US6744354B2 (en) * 2002-09-23 2004-06-01 Ford Global Technologies, Llc System for sensing whether an object struck in a collision is a pedestrian
US20080197988A1 (en) * 2007-02-15 2008-08-21 Lear Corporation Vehicle with piezo firing spring assembly
DE102008002680A1 (de) * 2008-06-26 2009-12-31 Robert Bosch Gmbh Biegewandlereinrichtung zum Erzeugen elektrischer Energie aus Verformungen und Schaltungsmodul
KR101295670B1 (ko) * 2009-12-11 2013-08-14 한국전자통신연구원 압전 발전기
US9380961B2 (en) 2013-08-08 2016-07-05 BlackBox Biometrics, Inc. Devices, systems and methods for detecting and evaluating impact events
USD743822S1 (en) * 2013-12-26 2015-11-24 BlackBox Biometrics, Inc. Device for detecting an impact event
US10587209B2 (en) * 2017-03-08 2020-03-10 Natural Gas Solutions North America, Llc Generating power for electronics on a gas meter
CN107167277B (zh) * 2017-07-26 2023-04-25 中国工程物理研究院总体工程研究所 单压电片压电换能的万向触发冲击引信传感器
CN108872633B (zh) * 2018-05-24 2024-05-31 张飞 一种碰撞指示装置
US10729067B2 (en) * 2018-10-20 2020-08-04 Deere & Company Biomass impact sensor having a conformal encasement enveloping a pressure sensitive film

Family Cites Families (12)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3713343A (en) * 1957-07-30 1973-01-30 Sperry Rand Corp Device for measuring accelerations
US4315433A (en) * 1980-03-19 1982-02-16 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Polymer film accelerometer
DE3703630A1 (de) * 1987-02-06 1988-08-18 Bosch Gmbh Robert Beschleunigungsaufnehmer
US4809552A (en) * 1987-11-23 1989-03-07 Allied-Signal, Inc. Multidirectional force-sensing transducer
JPH0736569B2 (ja) * 1988-07-23 1995-04-19 九州電機製造株式会社 振幅偏移変調信号の復調方式
JPH0274868A (ja) * 1988-09-09 1990-03-14 Nissan Motor Co Ltd 圧電型力学量センサ
JPH02234065A (ja) * 1989-03-08 1990-09-17 Mitsubishi Electric Corp 加速度検出器
JPH02119784U (ja) * 1989-03-08 1990-09-27
US5209119A (en) * 1990-12-12 1993-05-11 Regents Of The University Of Minnesota Microdevice for sensing a force
WO1992012543A1 (en) * 1991-01-11 1992-07-23 Pcb Piezotronics, Inc. Flexure-type piezoelectric transducer
FR2689642A1 (fr) * 1992-04-03 1993-10-08 Commissariat Energie Atomique Capteur d'accélération du type capacitif omnidirectionnel dans un plan principal.
JP3391841B2 (ja) * 1993-05-26 2003-03-31 松下電工株式会社 半導体加速度センサ

Also Published As

Publication number Publication date
EP0754952B1 (en) 2000-05-31
US6053045A (en) 2000-04-25
DE69608617T2 (de) 2001-02-22
EP0754952A2 (en) 1997-01-22
DE69608617D1 (de) 2000-07-06
EP0754952A3 (en) 1997-04-23

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPH0933558A (ja) 衝撃センサ
US10742190B2 (en) Piezoelectric micromechanical resonator
JP5020618B2 (ja) 電子システムをタイヤに固定するためのパッチ
US5767405A (en) Comb-drive micromechanical tuning fork gyroscope with piezoelectric readout
JP4635996B2 (ja) 超音波センサ
KR101145999B1 (ko) 변환기 및 변환기 제조 방법
US7185541B1 (en) MEMS magnetic device and method
US6311557B1 (en) Magnetically tunable resonance frequency beam utilizing a stress-sensitive film
CN110726498B (zh) 用于检测诸如冲击、加速度、旋转力等平面内的力的集成压电传感器
US7181977B2 (en) Sensor assembly with lead attachment
WO1996038732A1 (fr) Detecteur d'acceleration
US20060251928A1 (en) Multilayer force sensor and method for determining a force
US6960911B2 (en) Strain sensor
US5869761A (en) Impact sensor
US5583291A (en) Micromechanical anchor structure
US10178472B1 (en) Omnidirectional acoustic sensor
US6145383A (en) Pressure sensor
EP2201387B1 (en) Flexural pivot for micro-sensors
US11313875B1 (en) Compact dual beam vector sensor
US4797863A (en) Underwater acoustical transducer
US5135312A (en) Temperature transducer
JP2939922B2 (ja) 加速度変換器
JP2000292294A (ja) 密閉容器の内部圧力検出用センサ
WO1996031361A2 (en) Means of determining seat occupancy
JPH09257830A (ja) 振動型加速度センサ