JPH0933368A

JPH0933368A - 光圧力センサ装置

Info

Publication number: JPH0933368A
Application number: JP21643495A
Authority: JP
Inventors: Toshihiko Yoshino; 俊彦芳野
Original assignee: Individual
Current assignee: Individual
Priority date: 1995-07-24
Filing date: 1995-07-24
Publication date: 1997-02-07

Abstract

(57)【要約】【課題】２つの光ファイバの先端にコーナープリズム
と加圧体を設け、一方の光ファイバの入射光と他方の光
ファイバの出力光との位相差を測定して、加圧体部分に
加わる圧力を精度良く測定する。【解決手段】レーザ１，２から発射された波長λ_１，
λ_２の各光は光ファイバ３の中を伝送して４５°偏光子
１６を透過した後、コーナープリズム４に入力される。
ここで２回反射されて同じ面から出力された光は加圧体
５を透過してから光ファイバ６の中を伝送された後に、
受光素子７，８により波長λ_１，λ_２の光が別々に検出
される。従来の１／４波長板の代わりにコーナープリズ
ム４を用いるので、コストが安くなる。加圧体５は全周
に圧力が加わっても光の透過方向のみに圧力変化が加わ
るので、１方向の圧力を検出できる。２つの波長の光の
出力の比を求めれば、光量変化の補償ができる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】この発明は、光弾性効果を利
用して圧力を測定する光圧力センサ装置に関するもので
ある。

【０００２】

【従末の技術】電気ノイズが多い雰囲気中で圧力を遠隔
測定するような場合に、従来より、光ファイバで圧力の
測定位置（遠隔点）と測定値を検出するための検出位置
（中央点）を接続し、測定位置に光弾性効果素子を配置
してこの素子に圧力を加え、素子を透過する光にこの圧
力に応じた光学変化を与え、検出位置でこの光信号を電
気信号に変換して圧力を測定する装置が知られている。
検出位置以外の個所は光信号だけしか流れないので、電
気ノイズに全く影響されることがない。また、導電性の
材料を使用していないので絶縁性が高く、高電圧のとこ
ろで測定する場合にも最適である。

【０００３】このような測定装置は、圧力の測定位置に
おいて光ファイバから出力された光を４５゜偏光子で偏
光して２つの直交する直線偏光を発生させ、この偏光を
光弾性効果を有するガラスブロックに透過させる。この
ガラスブロックは固定台の上に載せてあり、そのガラス
ブロック上から荷重を加えるとガラスブロックの内部で
光学的な変化（複屈折）が生じ、２つの偏光に圧力に比
例した位相差が生じる。この偏光をほぼ９０゜の位相差
をつけるための１／４波長板に透過させて円偏光にし、
さらに検光子を透過させて位相差を光の強度変化に変換
し、この光を光ファイバで検出位置に導いて電気信号に
変換する。この電気信号は光の強度、すなわちガラスブ
ロックに加えられた圧力に応じた値になるので、電流値
から圧力値を測定できる。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うな従来の測定装置においては、各偏光に９０°の位相
差をつけるために１／４波長板を使用しているため、コ
ストの高いものとなっていた。１／４波長板は透過する
光の波長の１／４波長の厚さに加工するため、極めて粘
度の高い技術が必要でありコストは必然的に高いものと
なる。また、ガラスブロックにおいて、１つの加圧軸に
対して１つの対応した光学軸か定まるので、測定できる
圧力はガラスブロックの１つの方向に加えられる圧力だ
けであるが、例えばガラスブロックを加圧流体中に保持
すると、このガラスブロックの全面に全方向から流体圧
力が加えられるために、圧力を検出することができなか
った。

【０００５】また、被測定圧力の強さを最終的には光の
強さに変換して測定するため、光の透過経路中に光の強
さを変化させるような要素が発生すると、例えば経時変
化なとで光の透過経路中のいずれかで光の減衰を生じさ
せるようなことが起こると、それが直接的に圧力測定の
誤差となってしまう。この発明は、従来のこのような各
問題を解決することができる光圧力センサをそれぞれ提
供することを目的とするものである。

【０００６】

【課題を解決するための手段】本発明は、所定の波長
（λ_１）の光を発光する発光源（１）と、この発光源か
ら出力された光を測定位置まで導く往路導光路（３）
と、この往路導光路で導かれた光を偏光して直交偏光成
分を生成する偏光子（１６）と、この偏光子から出力さ
れた直交偏光成分を透過し各成分に波長のほぼ１／４の
位相差を生成させるバイアス素子（４）と、このバイア
ス素子から出力された光を透過させ、被測定圧力を受け
て透過する各偏光成分の位相差を変化させる光弾性効果
を有する加圧体（５）と、この加圧体から出力された各
偏光成分の位相差を光の強さに変換する検光子（１７）
と、この出力光を検出位置まで導く復路導光路（６）
と、検出位置に設けられこの復路導光路から出力された
光を入力して光の強さに応じた電気信号を出力する受光
素子（７）とを備え、このバイアス素子をコーナープリ
ズムで構成したものである。コーナープリズムに入射し
た光は、１回目の反射で位相差が４５°生じ、２回目の
反射でさらに位相差が４５°生じ、入射光と並行な光と
なって９０゜（１／４波長の位相差をもって出力され
る。

【０００７】また、加圧体を、両側面に空間部が形成さ
れた加圧板がその側面と直角の方向から圧力を受けるよ
うに構成したものである。さらに、加圧体を、角材に隣
接して２つの角柱または円柱状の穴をあけ、その両穴の
間の部分に加圧板を形成するように構成したものであ
る。加圧体を流体中に保持して全面から加圧体に流体圧
力を受けた場合、空間部（穴）のある方向からは加圧板
には力は加わらないため、加圧板は側面と直角の方向か
らだけ圧力を受ける。

【０００８】また、偏光子で偏光されないまたは検光子
で検光されない第２の波長（λ_２）の光を出力する第２
発光源を設け、この第２の波長の光を波長（λ_１）の光
と同じ光路を透過させ、波長（λ_１）の光出力の光路に
よる影響を補償するものである。波長λ_２の光からは圧
力に関係ない光の通路の減衰量だけに応じた情報が得ら
れるので、２つの波長の光の電気信号の比をとると、光
の通路の状態に影響されない正確な圧力値が測定でき
る。

【０００９】

【発明の実施の形態】以下、図を用いて本発明に係る光
圧力センサ装置を詳細に説明する。図１は、本発明の一
実施形態の構成図である。１は波長０．６３μｍ
（λ_１）のレーザ光を発光するＨｅ−Ｎｅレーザからな
る発光源、２は波長１．３μ（λ_２）のレーザ光を発光
する半導体レーザからなる発光源、１１は発光源１から
出力されたレーザ光を収光するレンズ、１２はレンズ１
１から出力された光を光結合器１３に導く光ファイバ、
１４は発光源２から出力されたレーザ光を光結合器１３
に導く光ファイバ、３は中央部の検出位置に配置された
光結合器１３から出力された光をこの検出位置から離れ
た圧力を測定する測定位置に配置され圧力センサ１０に
導くための往路導光路としての光ファイバ、６は圧力セ
ンサ１０から出力された光を検出位置に導く復路導光路
としての光ファイバである。光ファイバ３は、コア径５
０μｍ，クラッド径１２５μｍのマルチモード光ファイ
バを使用し、光ファイバ６は、コア径２００μｍ，クラ
ッド径２２０μｍのマルチモード光ファイバを使用して
いる。

【００１０】圧力センサ１０は、次のような部品が一体
に取り付けられて構成されている。１５は光ファイバ３
から供給された光を入力するセルフォックレンズ、１６
はセルフォックレンズ１５から出力された光を透過しほ
ぼ４５°の偏光を与えて２つの直交偏光成分の光を出力
する４５°偏光子、４はバイアス素子としてのコーナー
プリズム、４ａはコーナープリズム４の光入射面、４ｂ
は同じく光入射面４ａと４５゜の角度で形成された第１
反射面、４ｃは同じく第１反射面４ｂと９０°の角度で
形成された第２反射面、５は溶融石英からなり能動的光
弾性素子として作用する加圧体、１７は加圧体５から出
力された各偏光を検光する検光子、１８は検光子１７を
透過した光を入力し光ファイバ６に出力するセルフォッ
クレンズである。光の干渉を防ぐために、コーナープリ
ズム４と加圧体５はカナダバルサムによって接着されて
いる。

【００１１】１９は検出位置に配置され光ファイバ６に
より圧力センサ１０から伝送された光を入力するセルフ
ォックレンズ、２０はセルフォックレンズ１９から出力
された光のうち波長λ_１の光を透過させ波長λ_２の光を
反射するビームスプリッタとして作用するフィルタ、７
はフィルク２０を透過した波長λ_１の光の強度を検出す
る受光素子、８はフィルタ２０で反射された波長λ_２の
光の強度を検出する受光素子である。発光源１から出力
された波長λ_１のレーザ光は、レンズ１１，光ファイバ
１２，光結合器１３，光ファイバ３，セルフォックレン
ズ１５，４５°偏光子１６，コーナープリズム４，加圧
体５，検光子１７，セルフォックレンズ１８，光ファイ
バ６，セルフォックレンズ１９，フィルタ２０を経て受
光素子７で受光される。発光源２から出力された波長λ
_２のレーザ光は、光ファイバ１４，光結合器１３，光フ
ァイバ３，圧力センサ１０，光ファイバ６，セルフォッ
クレンズ１９，フィルタ２０を経て受光素子８で受光さ
れる。

【００１２】発光源１から出力された波長λ_１のレーザ
光は、４５°偏光子１６で４５°直線偏光された結果２
つの直交偏光成分となり、この各偏光成分はコーナープ
リズム４内で２回反射されることにより、その位相差が
９０゜（＝４５°×２）になる。すなわち、コーナープ
リズム４は１／４波長板として作用する。なお、２つの
偏光成分に９０゜の位相差を与えるのは位相差の測定感
度を上げるためである。すなわち、位相差と検出する光
の強さとの関係を示すと、図８のように余弦波形とな
る。位相差が０の近辺で変化するとその変化率は低くな
ってしまうが、９０゜近辺の直線部分で変化させると位
相差の変化に対する光の強さの変化を大きくとれ、かつ
直線範囲も広くとれる。したがって、この位相差の９０
゜は厳密に決める必要はなく、９０°およびその近辺で
あればよく、透過する２つの偏光成分に波長のほぼ１／
４の位相差を生成させるものであればよい。

【００１３】コーナープリズム４により位相差が９０°
になった２つの直交偏光成分は加圧体５を透過する。こ
の加圧体５には被測定圧力が加えられるようになってお
り、その加えられた圧力によって２つの直交偏光成分の
位相差が変化する。この位相差の量は加えれる圧力の値
に比例する。加圧体５から出力された所定の位相差を有
する２つの直交偏光成分は、検光子１７によってその位
相差に応じて強度が変化する光に変換され、光ファイバ
６に供給される。すなわち、圧力センサ１０からは被測
定圧力に比例した強さの光が出力されることになる。こ
の光は受光素子７で受光され、出力される電気信号から
被測定圧力を測定することができる。

【００１４】一方、発光源２から出力された波長λ_２の
レーザ光は、この波長λ_２が４５°偏光子１６で偏光さ
れないような値に設定されているので、そのまま偏光さ
れずに４５゜偏光子１６を透過し、さらにコーナープリ
ズム４，加圧体５，検光子１７もそのままの状態で何も
光学的変化を受けずに透過する。したがって、この波長
λ_２のレーザ光は、圧力センサ１０に入力し、その内部
において光路の通過による一定の減衰を受けただけでそ
のまま出力される。このため、この波長λ_２のレーザ光
の出力を観察すれば、圧力センサ１０および各導光路の
時間経過などによる光の減衰量を検出することができ
る。

【００１５】図２は、コーナープリズム４の光の透過状
態を示す説明図である。入力面４ａに入射角θ_０で入射
した入射光２１は、入力面４ａにおいて空気とコーナー
プリズム４の屈折率に基づく角度で屈折し、さらに第１
反射面４ｂに入射角θ_１で入射して全反射した後、第２
反射面４ｃに入射角θ_２で入射して全反射し、入力面４
ａから出射角θ_０の出射光２２となって出射する。この
ように、コーナープリズム４に入射した２つの偏光は、
第１反射面の全反射で位相差が４５°生じて楕円偏光に
なり、さらに第２反射面の全反射で位相差が４５゜生じ
て円偏光になり、２回の反射で１／４波長（９０°）の
位相差が生じる。上記のように、コーナープリズム４
は、透過する直交偏光成分がほぼ９０°の位相差か生じ
るように形成されていれば十分である。

【００１６】また、入射光は入力面４ａに対してどのよ
うな角度で入射しても、必ず同じ角度で出射する。すな
わち、入射光と出射光は平行になる。このように、コー
ナープリズム４は入射光と出射光が平行になるために、
このプリズムの取付精度を上げなくてもよい。従来の１
／４波長板は入射面に入射光か垂直に入るように精度良
く取り付ける必要があったが、コーナープリズムではそ
の必要がなくなる。また、従来の１／４波長板ではその
厚さを精度良く研磨しなけれぼならなかったが、コーナ
ープリズムでは各面の角度さえ正確に作れば、そのほか
の精度は不要となり、安価に提供できる。

【００１７】図３は、加圧体５の斜視図である。光弾性
効果を有する溶融石英の角材に、壁を介して隣接する２
つの角柱形の貫通穴を穿孔して形成する。したがって、
加圧体５は、両側面に空間部５ｂと５ｃが形成された加
圧板５ａを有している。言い方を変えれば、角材に隣接
して２つの角柱状の穴をあけ、その両穴の間の部分に加
圧板５ａを形成したものである。そして、加圧板５ａの
ほぼ中央部に空間部５ｂ，５ｃの形成方向に平行に点線
で示したレーザ光Ｌが透過するように構成されている。
加圧板５ａ端面の小さな丸５ｄは、入射面におけるレー
ザ光の入射部を示す。

【００１８】加圧体５を加圧流体内に設置した場合、加
圧体５には上下方向から圧力Ｆ_Ｕ，Ｆ_Ｄが加わり、横力
向から圧力Ｆ_Ｌ，Ｆ_Ｒが加わる。ここで、横方向からの
圧力Ｆ_Ｌ，Ｆ_Ｒは、空間部５ｂ，５ｃが存在するために
加圧板５ａには作用しないが、上下方向からの圧力
Ｆ_Ｕ，Ｆ_Ｄは、加圧板５ａに作用しこれを上下から押
す。すなわち、加圧板５ａは、その側面に対して直角の
方向（図で上下方向）からだけ圧力を受けるように構成
されている。この加圧板５ａに加わる圧力（静水圧な
ど）に応じて、この加圧板５ａを透過する２つの偏光の
位相差は変化する。したがって、この実施例では、加圧
体は全周から圧力を受けても、簡単な構造によって所定
の１方向の圧力だけを検出することができる。

【００１９】図４は、加圧体および加圧状態の他の実施
形態の説明図を示す。図４（ａ）は図３と同様に加圧体
を加圧流体内に設置して使用する場合の例である。図３
の実施例が角材に壁を介して２つの角柱形の貫通穴を穿
孔して形成したが、図４（ａ）に正面図をを示した実施
例の加圧体５１は、２つの円柱形の貫通穴の空間部５１
ｂ，５１ｃを穿孔して加圧板５１ａを形成している。な
お、５１ｄは加圧板５１ａの入射面におけるレーザ光の
入射部を示す。図４（ｂ）は、流体でなく通常の荷重を
受ける加圧体の実施形態の正面図である。加圧体５２
は、加圧体５や５１のように空間部を有するものでも、
あるいは有しないものでもよい。台の上に設置された加
圧体５２に対して、荷重６２が加圧体５２の上面になる
べく均等に接触するように、荷重６２と加圧体５２の間
に木材６１を介在させたものである。

【００２０】図４（ｃ）は、図３や図４（ａ）と同様に
加圧流体内に加圧体を設置して使用する場合の例である
が、これらの例に用いた空間部を使用しない実施形態で
ある。平板形に形成された加圧体５３は、圧力室６３内
に取り付けられており、入り口６４から供給される加圧
流体によって圧力室６３は充満状態になっている。レー
ザ光Ｌは加圧体５３の中を面方向（図で左右方向）に透
過している。加圧体５３は、端面が圧力室６３の内面に
取り付けられているので、その上下方向（面方向）から
だけ圧力を受ける。この実施形態によると、加圧体に空
間部を設けなくても、加圧流体の圧力を測定できる。

【００２１】発光源から出力されたレーザ光は、往復の
光路および圧力センサを透過して最終的に受光素子にて
検出されるわけであるが、被測定圧力の情報は光の強さ
になって検出されているため、レーザ光が途中の光路の
中で減衰すると、被測定圧力に関係なく光の強さが変化
してしまい、これは測定値に対する誤差になってしま
う。圧力センサ装置は、長年（例えば５年）使用してい
ると、各構成光部品の接続部分などを中心に光学的な劣
化が進んで結合損失率が増加し、光路の光透過率が減少
してくる。このため、図１の実施形態では、圧力測定に
使用する波長λ_１のレーザ光のほかに、４５゜偏光子１
６を透過しても偏光されないような波長λ_２のレーザ光
を同時に使用している。なお、この波長λ_２の光はこの
実施形態ではレーザ光を使用したが、ＬＥＤなどで発光
された光を使用することもできる。

【００２２】また、４５゜偏光子１６と検光子１７が組
合わさって偏光と検光という１つの動作を行うので、こ
のうちの一方が欠けても動作は成立しない。すなわち、
波長λ_２の光が４５゜偏光子１６で偏光されたとして
も、検光子１７がこれを検光するものでなければ、波長
λ_２の光は圧力測定に関係なく光路を透過する。同様
に、波長λ_２の光が検光子１７で検光されるものであっ
ても、４５°偏光子１６がこの波長λ_２の光を偏光する
ものでなければ、波長λ_２の光は圧力測定に関係なく光
路を透過する。この波長λ_２の光は波長λ_１の光と全く
同じ光路を透過するので、波長λ_１の光とほぼ同じ減衰
を受ける。したがって、受光素子７で検出した電気信号
と受光素子８で検出した電気信号との比を演算すれば、
被測定圧力によらない光の強さの変化はキャンセルされ
て、光量の変化による影響を自動的に補償できる。

【００２３】ここで、波長λ_１の光の圧力センサに対す
る入力量をａ、その出力量をｂとし、また、波長λ_２の
光の圧力センサに対する入力量をｃ、その出力量をｄと
するとし、荷重無しの場合のセンサ結合率をα、波長λ
_１の光の透過率の圧力による変化率をｓとすると、ｂと
ｄは次式のようになる。出力光ｂ＝ａ・α・（１＋ｓ）出力光ｄ＝ｃ・α したがって、両出力光の比は次式のようになる。ｂ／ｄ＝ａ／ｃ・（１＋ｓ）このように、センサ結合率αが消去され、その変動によ
る誤差がなくなる。

【００２４】

【実施例】次に、実験結果を参考用に説明する。図４
（ａ）に示された加圧体を使用して、図４（ｂ）に示す
ような荷重測定方法により測定した結果を図５，６，７
に示す。図において、横軸は荷重、縦軸は電気信号の出
力である。図５は発光源１から出力される波長λ_１のレ
ーザ光の検出出力を測定したものである。図において、
荷重の増加とともに出力値は増加するが、図の例で荷重
が２０ｋｇを越えたところから出力値が急激に減少して
いる。これは、センサによってその値は異なるが、ある
程度以上の荷重ではセンサ自体の結合損失が荷重ととも
に増加することが原因である。

【００２５】また、荷重を増加して行くときと、減少し
て行くときとで特性がやや異なっているが、これは加圧
体とコーナープリズムの接着剤の中に荷重の増加により
気泡ができ、これによってレーザ光の透過率が変動した
ものと推察される。圧力センサの結合損失は、図６のデ
ータから知ることができる。図６は、発光源２から出力
される波長λ_２のレーザ光の検出出力を測定したもので
ある。図において、この光の検出出力は荷重には関係し
ないが、荷重に基づく結合損失はその測定結果に現れ
る。

【００２６】図７は、波長λ_２のレーザ光の検出出力と
λ_２のレーザ光の検出出力との比を演算した結果を縦軸
に示す。センサの結合損失が補償されて理論曲線に近い
特性が得られる。このように、両出力の比をとって補償
を行うことによって、上記した経時変化だけでなく、初
期の結合損失の影響も除去することができる。なお、こ
の図のデータをとった実施例では、２０ｋｇまでの荷重
が正確に測定できることになる。

【００２７】

【発明の効果】本発明によると、バイアス素子としてコ
ーナープリズムを使用したことにより、入射光と出射光
が平行になるためにプリズムの取付精度を上げなくても
よくなり、コストが安くなる。また、従来の１／４波長
板は入射面に入射光が垂直に入るように精度良く取り付
ける必要があったが、コーナープリズムではその必要が
なくなり、センサの組立が容易になる。また、従来の１
／４波長板ではその厚さを精度良く研磨しなければなら
なかったが、コーナープリズムでは各面の角度さえ正確
に作れば、そのほかの精度は不要となり、安価に提供で
きる。

【００２８】また、加圧体は全周から圧力を受けても、
簡単な構造によって所定の１方向からの圧力だけを検出
することができる。また、圧力検出用の光を受光する受
光素子で検出した電気信号と、補償用の光を検出する受
光素子で検出した電気信号との比を演算することによっ
て、被測定圧力によらない光の強さの変化をキャンセル
することができ、光量の変化による影響を自動的に補償
できる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施形態の構成図である。

【図２】図１に示したコーナープリズム４の光の透過状
態を示す説明図である。

【図３】図１に示した加圧体５の斜視図である。

【図４】加圧体および圧力の印加状態の他の実施形態を
示す説明図である。

【図５】発光源１からの光による荷重と出力の関係の特
性を示すグラフである。

【図６】発光源２からの光による荷重と出力の関係の特
性を示すグラフである。

【図７】図５と図６の各出力の比を演算した特性を示す
グラフである。

【図８】２つの光の位相差と検出する光の強さとの関係
を示すグラフである。

【符号の説明】

１、２発光源３、６光ファイバ４コーナープリズム５加圧体７、８受光素子１０圧力センサ１３光結合器１５、１８、１９セルフォックレンズ１６４５°偏光子１７検光子２０フィルタ

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】所定の波長の光を発光する発光源と、この発光源から出力された光を測定位置まで導く往路導
光路と、この往路導光路で導かれた光を偏光して直交偏光成分を
生成する偏光子と、この偏光子から出力された直交偏光成分を透過し、各偏
光成分に前記波長のほぼ１／４の位相差を生成させるバ
イアス素子と、このバイアス素子から出力された光を透過させ、被測定
圧力を受けて透過する各偏光成分に位相差を与える光弾
性効果を有する加圧体と、この加圧体から出力された各偏光成分の位相差を光の強
さに変換する検光子と、検光子からの光を検出位置まで導く復路導光路と、検出位置に設けられ、この復路導光路から出力された光
を入力して光の強さに応じた電気信号を出力する受光素
子とを備え、前記バイアス素子は、コーナープリズムから構成したこ
とを特徴とする光圧力センサ装置。
【請求項２】所定の波長の光を発光する発光源と、この発光源から出力された光を測定位置まで導く往路導
光路と、この往路導光路で導かれた光を偏光して直交偏光成分を
生成する偏光子と、この偏光子から出力された直交偏光成分を透過し、各偏
光成分に前記波長のほぼ１／４の位相差を生成させるバ
イアス素子と、このバイアス素子から出力された光を透過させ、被測定
圧力を受けて透過する各偏光成分に位相差を与える光弾
性効果を有する加圧体と、この加圧体から出力された各偏光成分の位相差を光の強
さに変換する検光子と、検光子からの光を検出位置まで導く復路導光路と、検出位置に設けられ、この復路導光路から出力された光
を入力して光の強さに応じた電気信号を出力する受光素
子とを備え、前記加圧体は、両側面に空間部が形成された加圧板を有
し、この加圧板はその側面と直角の方向から圧力を受け
るように構成されていることを特徴とする光圧力センサ
装置。
【請求項３】請求項２において、前記加圧体は、光弾性効果を有する角材に隣接して２つ
の角柱または円柱状の穴をあけ、その両穴の間の部分を
加圧板としたことを特徴とする光圧力センサ装置。
【請求項４】所定の第１の波長の光を発光する第１の
発光源と、この第１の波長とは異なる第２の波長の光を発光する第
２発光源と、これら第１および第２の発光源から出力された光を測定
位置まで導く往路導光路と、この往路導光路で導かれた光のうち第１の波長の光を偏
光して直交偏光成分を生成し、第２の波長の光は偏光せ
ずに透過する偏光子と、この偏光子から出力された第１の波長の光の直交偏光成
分を透過して各成分に波長のほぼ１／４の位相差を生成
させるとともに、第２の波長の光はそのまま透過するバ
イアス素子と、このバイアス素子から出力された第１の波長の光の直交
偏光成分を透過させ、被測定圧力を受けて透過する各偏
光成分に位相差を与える光弾性効果を有するとともに、
第２の波長の光はそのまま透過する加圧体と、この加圧体から出力された第１の波長の光の直交偏光成
分の位相差を光の強さに変換するとともに、第２の波長
の光はそのまま透過する検光子と、検出子から出力された第１および第２の波長の光を検出
位置まで導く復路導光路と、検出位置に設けられ、この復路導光路から出力された第
１の波長の光を入力して光の強さに応じた電気信号を出
力する第１の受光素子と、同じく検出位置に設けられ、復路導光路から出力された
第２の波長の光を入力して光の強さに応じた電気信号を
出力する第２の受光素子と、を備え、第２の波長の光の強さに応じた電気信号に基づいて、第
１の波長の光の強さに応じた電気信号を補償することを
特徴とする光圧力センサ装置。
【請求項５】請求項４において、前記第２の波長の光は、偏光子の偏光作用または検光子
の検光作用のいずれか一方は行い、他方は行わないこと
を特徴とする光圧力センサ装置。