KR100604357B1 - 공초점주사현미경 원리를 이용한 광소자의 굴절률 측정장치 - Google Patents

공초점주사현미경 원리를 이용한 광소자의 굴절률 측정장치 Download PDF

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Abstract

이 발명에 따른 광소자 원리를 이용한 광소자의 굴절률 측정장치는, 굴절률을 측정하고자 하는 광소자를 X, Y, Z방향으로 위치 조정하는 위치조정수단과; 단일 파장의 소스 광을 출력하는 LED(Light Emitting Diode)와; 상기 LED에서 출력되는 소스 광을 원형대칭빔(circular symmetric beam)으로 변환하여 출력하는 원형대칭빔출력수단과; 상기 원형대칭빔을 평행광으로 변환하여 출력하는 평행광출력수단과; 상기 평행광이 투과되는 제 1 λ/2파장판과; 상기 제 1 λ/2파장판을 투과한 빛을 분할하는 편광빔스플리터(polarizing beam splitter)와; 상기 편광빔스플리터를 투과한 빛으로부터 원편광 상태의 빛을 출력하는 제 1 λ/4파장판과; 상기 제 1 λ/4파장판에서 출력되는 원편광 상태의 빛을 상기 광소자의 측정단면에 포커싱(focusing)하는 포커싱렌즈와; 상기 광소자의 측정단면에서 반사되는 광을 상기 포커싱렌즈와 상기 제 1 λ/4파장판과 상기 편광빔스플리터를 통해 입력받아 상기 반사된 광의 파워를 측정하고 상기 반사된 광의 파워로부터 상기 광소자의 측정단면의 굴절률을 계산하는 반사 광검출수단을 포함한다.
공초점주사현미경, 반사율, 굴절률, 광도파로, 광소자

Description

공초점주사현미경 원리를 이용한 광소자의 굴절률 측정장치{apparatus for measuring the refractive index profile of optical devices using confocal scanning microscopy}
도 1은 이 발명의 한 실시예에 따른 공초점주사현미경 원리를 이용한 광소자의 굴절률 측정장치를 도시한 구성도,
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 원형대칭빔출력수단의 구성도,
도 3은 콜리메이션렌즈에서 출력되는 평행광을 도시한 도면,
도 4는 본 발명의 한 실시예에 따른 편광상태에 따른 굴절률측정수단이 추가된 구성도,
도 5는 광소자가 부착된 압전세라믹엑츄에이터를 포커싱렌즈의 초점거리 근처에서 상하로 움직이면서 광소자의 측정단면에서 반사되는 빛의 파워를 측정한 도면,
도 6은 본 발명에 따른 광소자의 굴절률 측정장치를 이용하여 멀티모드광섬유의 굴절률 분포를 측정한 결과를 도시한 그래프이다.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 간단한 설명 >
101; LED 102, 103; 렌즈
104; 단일모드광섬유 105; 콜리메이션렌즈
106; λ/4파장판 107; 편광빔스플리터
108; 전송광검출기 109; λ/2파장판
110; 미러 111; 포커싱렌즈
112; 압전세라믹엑츄에이터 113; 광소자
114; 오일 115; 렌즈
116; 반사광검출기
이 발명은 광소자의 굴절률 측정장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 공초점주사현미경의 원리를 이용하여 광소자 코어의 굴절률을 측정하는 장치에 관한 것이다.
광섬유와 광도파로는 굴절률이 높은 코어 부분과 굴절률이 낮은 클래드 부분으로 구성되며, 굴절률이 높은 코어를 통해 빛이 전달된다. 이 코어의 크기와 굴절률 값에 따라 빛이 진행하는 조건이 바뀐다. 그렇기 때문에 광섬유와 광도파로를 개발하고 그의 특성을 평가할 때 코어의 굴절률을 정확하게 측정해야 할 필요가 있다. 특히, 기가비트 이더넷(Gigibit ethernet)에 사용되는 멀티모드광섬유는 광섬유의 굴절률과 전송용량과 직접적인 관련이 있으며, 광섬유의 전송용량을 증가시 키기 위해 광섬유의 굴절률 분포를 정확하게 측정해야 할 필요가 있다. 또한, 광섬유와 광도파로를 포함한 광소자의 구조가 마이크론 이하의 복합한 구조이므로 마이크론 이하의 공간분해능을 가지고 굴절률을 정확하게 측정하기 위한 기술이 요구된다.
광섬유의 굴절률을 측정하는 종래의 방법으로 RNF(Refracted Near-Field)방법이 있다. 이 RNF방법은 몇몇 회사를 중심으로 제품화되어 판매되고 있다. 이 RNF방법을 설명한다. 측정하고 하는 광섬유의 단면을 클래드의 굴절률과 동일한 굴절률을 가진 오일(oil)에 담구고, 오일에 담궈진 광섬유의 단면에 레이저빔을 조사한다. 그러면 광섬유의 굴절률에 의해 레이저빔이 굴절되는데, 이 레이저빔의 굴절각도를 측정하여 광섬유의 굴절률을 측정한다.
이 RNF방법은 레이저빔의 크기가 작으면 공간분해능은 높아지나 굴절각도를 정확하게 측정하기 곤란하고, 굴절각도를 정확하게 측정하기 위해 레이저빔의 크기를 크게 하면 공간분해능이 낮아진다. 즉, 굴절률의 정확도와 공간분해능을 동시에 높이는 데 구조적인 한계를 가지고 있다. 또한, 이 RNF방법은 레이저빔의 굴절 정도가 오일(oil)의 상태에 따라 바뀌기 때문에 오일에 의한 측정오차가 발생하게 되는 단점이 있다. 또한, 이 RNF방법은 광섬유의 굴절률 측정을 위한 준비절차가 복잡하고, 측정시간이 오래 걸리며, 광섬유 형태의 샘플만을 적용할 수 있는 단점이 있다.
이 RNF 방법 이외에도 다른 측정방법도 제안되었다. 대부분의 다른 종래기술도 클래드와 공기 사이의 굴절률 차에 의해서 생기는 측정오차를 제거하기 위해 광섬유의 단면을 오일(oil)에 담근다. 하지만, 빛의 굴절 정도가 오일의 상태에 따라 바뀌기 때문에 오일에 의한 측정오차가 발생하게 되는 단점이 있다.
상기한 종래기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 이 발명의 목적은 오일에 의한 영향을 받지 않고 직접적으로 광소자의 굴절률을 정확하게 측정하는 장치를 제공하기 위한 것이다.
또한, 이 발명의 다른 목적은 다양한 형태의 광소자에 모두 적용 가능하며, 굴절률의 정확도와 공간분해능을 동시에 높일 수 있는 측정장치를 제공하기 위한 것이다.
상기한 목적을 달성하기 위한 이 발명에 따른 공초점주사현미경 원리를 이용한 광소자의 굴절률 측정장치는, 굴절률을 측정하고자 하는 광소자를 X, Y, Z방향으로 위치 조정하는 위치조정수단과;
단일 파장의 소스 광을 출력하는 LED(Light Emitting Diode)와;
상기 LED에서 출력되는 소스 광을 원형대칭빔(circular symmetric beam)으로 변환하여 출력하는 원형대칭빔출력수단과;
상기 원형대칭빔을 평행광으로 변환하여 출력하는 평행광출력수단과;
상기 평행광이 투과되는 제 1 λ/2파장판과;
상기 제 1 λ/2파장판을 투과한 빛을 분할하는 편광빔스플리터(polarizing beam splitter)와;
상기 편광빔스플리터를 투과한 빛으로부터 원편광 상태의 빛을 출력하는 제 1 λ/4파장판과;
상기 제 1 λ/4파장판에서 출력되는 원편광 상태의 빛을 상기 광소자의 측정단면에 포커싱(focusing)하는 포커싱렌즈와;
상기 광소자의 측정단면에서 반사되는 광을 상기 포커싱렌즈와 상기 제 1 λ/4파장판과 상기 편광빔스플리터를 통해 입력받아 상기 반사된 광의 파워를 측정하고 상기 반사된 광의 파워로부터 상기 광소자의 측정단면의 굴절률을 계산하는 반사 광검출수단을 포함한 것을 특징으로 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하면서 이 발명의 한 실시예에 따른 공초점주사현미경 원리를 이용한 광소자의 굴절률 측정장치를 보다 상세하게 설명하면 다음과 같다.
이 발명은 공초점주사현미경의 원리를 이용하여 광소자의 굴절률을 측정하는 장치를 제안한다. 공초점주사현미경을 광섬유의 굴절률 측정장치에 적용한 시도로서, 논문 "Measuring method for the refractive index profile of optical glass fibers" W. Eickhoff, E. Weidel, Opt. Quantum Electron. 7, 109-113, 1975가 있으나, 이 종래기술은 공간분해능이 떨어지고 안정적인 광원의 파워 출력을 얻지 못하는 등의 기술적 한계에 부딪혀 현재는 연구 및 상용화가 중단된 상태이다.
반면, 이 발명은 공초점주사현미경을 광소자의 굴절률을 측정하기에 적합한 구조로 수정하여 구성하고, 새롭게 구성한 굴절률 측정장치를 이용하여 광소자의 굴절률을 측정하는 기술을 제안한다.
도 1은 이 발명의 한 실시예에 따른 공초점주사현미경 원리를 이용한 광소자의 굴절률 측정장치를 도시한 구성도이다.
이 실시예에서 광소자라 함은 광섬유, 광도파로, 일반 광소자, 광소재 등을 모두 포함하는 통칭적인 의미로 사용한다.
이 광소자의 굴절률 측정장치는 굴절률을 측정하고자 하는 광소자(113)를 X, Y, Z방향으로 위치 조정하는 위치조정수단과, 단일 파장의 소스 광을 출력하는 LED(Light Emitting Diode)(101)와, 이 LED(101)에서 나오는 소스 광을 원형대칭빔(circular symmetric beam)으로 변환하는 원형대칭빔출력수단과, 이 원형대칭빔을 평행광으로 변환하는 평행광출력수단과, 이 평행광이 투과되는 λ/2파장판(106)과, 이 λ/2파장판(106)을 투과한 빛을 분할하는 편광빔스플리터(polarizing beam splitter)(107)와, 이 편광빔스플리터(107)를 투과한 빛이 투과되어 원편광 상태의 빛을 출력하는 λ/4파장판(109)과, 이 λ/4파장판(109)에서 출력되는 원편광 상태의 빛이 반사되는 미러(110)와, 이 미러(110)에서 반사된 빛을 광소자(113)의 측정단면에 포커싱(focusing)하는 포커싱렌즈(111)를 구비한다.
이 광소자의 굴절률 측정장치는 편광빔스플리터(107)에서 반사된 소스 광의 파워를 검출하는 전송광검출기(108)를 더 구비한다.
LED(101)는 658nm의 단일 파장의 소스 광을 출력한다.
광소자(113)의 측정단면에 포커싱된 빛은 반사되어 포커싱렌즈(111), 미러 (110), λ/4파장판(109), 편광빔스플리터(107)를 통해 반사 광검출수단에 제공된다. 이 반사 광검출수단은 광소자(113)의 측정단면으로부터 반사되는 반사 광을 집광하는 렌즈(115)와, 집광된 반사 광의 파워를 검출하는 반사광검출기(116)를 포함한다.
원형대칭빔출력수단은 LED(101)에서 출력되는 소스 광을 수집하는 렌즈(102)와, 렌즈(102)에서 수집된 광을 단일모드광섬유(104)로 입사시키는 렌즈(103)와, 렌즈(103)를 통해 빛을 입사받아 원형대칭빔을 출력하는 단일모드광섬유(104)를 구비한다. 평행광출력수단은 콜리메이션(collimation)렌즈(105)로 구현된다. 상기와 같이 구성된 LED(101)와 원형대칭빔출력수단(102, 103, 104) 및 평행광출력수단(105)을 사용하면 안정된 소스 광 파워와 최고의 공간분해능을 얻을 수 있는 빔 품질(beam quality)을 얻을 수 있다.
위치조정수단은 측정대상인 광소자를 부착하고 Z방향으로 위치 조정하는 압전세라믹엑츄에이터(PZT)(112)와, 압전세라믹엑츄에이터(112)를 X, Y 방향으로 위치 조정하는 XY스캐너를 포함한다.
광소자(113)의 측정단면의 반대쪽 단면은 클래드와 동일한 굴절률을 가지는 오일(114)에 담근다. 그 이유는, 광소자의 측정단면의 반대쪽 단면은 공기와의 경계면에서 반사되어 되돌아오는 반사되는 빛이 측정값에 영향을 줄 수 있기 때문에 이를 제거하기 위하여 오일(114)에 담근다.
위와 같이 구성된 본 발명의 한 실시예에 따른 공초점주사현미경 원리를 이용한 광소자의 굴절률 측정장치의 동작을 설명하면 다음과 같다.
LED(101)가 658nm 파장의 소스 광을 발생하면 렌즈(102)는 소스 광을 수집하고, 렌즈(103)는 수집된 소스 광을 단일모드광섬유(104)에 입사시킨다. 가시광영역에서 단일모드광섬유를 통과한 빛은 원형대칭빔 모양으로 출력된다. 콜리메이션렌즈(105)는 이 원형대칭빔을 평행광으로 만들어준다. 콜리메이션렌즈(105)를 통과한 평행광은 λ/2파장판(106)을 통과하는데, 이 λ/2파장판(106)은 편광빔스플리터(107)를 투과하는 빛의 양을 조절한다.
편광빔스플리터(107)에서 투과된 빛은 λ/4파장판(109)과 미러(110)와 포커싱렌즈(111)를 통과하여 1μm 이하의 빔으로 광소자(113)의 측정단면에 포커싱(focusing)된다. 편광빔스플리터(107)에서 반사된 빛은 전송광검출기(108)에 입사된다. 전송광검출기(108)는 소스 광의 파워를 측정하여, 소스 광의 파워 안정성을 체크한다.
압전세라믹엑츄에이터(PZT)(112)에 부착된 광소자(113)는 포커싱렌즈(111)의 초점거리 근처에서 상하로 움직이는데, 광소자(113)에서 반사되는 빛이 포커싱렌즈(111)와 미러(110)와 λ/4파장판(109)과 편광빔스플리터(107)를 거치면서 반사광검출기(116)에 입사된다. 이 반사광검출기(116)에 입사되는 반사 광은 광소자의 측정단면이 포커싱렌즈(111)의 초점거리에 위치하게 될 때 최대가 된다. XY스캐너와 압전세라믹엑츄에이터(112)를 조절하면 광소자의 2차원 표면 굴절률 분포를 측정할 수 있게 된다.
이때, 광소자의 측정단면에서 반사되는 빛의 반사율과 굴절률과의 관계는 아래의 수학식 1과 같다.
Figure 112004058572331-pat00001
여기서, n은 굴절률, R은 광소자의 측정단면에서 반사되는 빛의 반사율이다.
반사광검출기(116)는 반사 광의 파워를 측정하는데, 이 반사 광의 파워로부터 반사율을 구하는 방법을 설명하면, 먼저 굴절률이 알려져 있는 기준샘플(reference sample) 표면에서 반사되는 값으로부터 반사율과 무관한 값들을 분석하여 제거함으로써 기준샘플 표면에서의 반사율을 알아낸다. 그리고, 추후 측정대상 광소자의 반사 광의 파워에 적용하면, 해당 측정대상 광소자의 순수한 반사율을 알 수 있게 된다. 이 반사 광의 파워로부터 반사율을 계산하는 방법은 통상적인 방법을 따른다.
도 2는 본 발명의 다른 실시예에 따른 원형대칭빔출력수단의 구성도이다. 이 원형대칭빔출력수단은 LED(101)와 접촉되는 단면이 렌즈모양(21)으로 형성된 단일모드광섬유(20)로 구현된다. 단일모드광섬유(20)는 LED(101)에서 발생하는 소스 광을 렌즈모양(21)의 단면으로 모아서 단일모드광섬유에 통과시킨다. 앞서 설명하였듯이 가시광영역에서 단일모드광섬유(20)를 통과한 빛은 원형대칭빔 모양으로 출력되며, 콜리메이션렌즈(105)는 이 원형대칭빔을 평행광으로 만든다. 도 2와 같이 LED(101)에서 발생하는 소스 광을 단일모드광섬유(20)에 직접 입사시키면 사용하는 부품의 수를 줄일 수 있고, 렌즈(102, 103)의 정렬로 인해 생길 수 있는 오차를 없앨 수 있다.
도 3은 콜리메이션렌즈(105)에서 출력되는 평행광을 도시한 도면이다.
도 4는 본 발명의 한 실시예에 따른 편광상태에 따른 굴절률측정수단이 추가된 구성도이다.
편광상태에 따른 굴절률측정수단은 편광빔스플리터(107)와 λ/4파장판(109)에 의해 생성된 원편광된 빛을 선편광된 빛으로 변환하는 λ/4파장판(31)과, λ/4파장판(31)을 통과한 선편광된 빛으로부터 다양한 상태의 선편광된 빛을 출력하는 λ/2파장판(32)을 포함한다. 또한, 굴절률측정수단은 λ/2파장판(32)에서 출력되는 다양한 상태의 선편광된 빛에서 원하는 선편광된 신호를 투과하는 편광기(polarizer)(33)를 더 포함한다. 이렇게 얻어진 선편광된 빛을 광소자의 측정단면에 입사시켜서 굴절률 분포를 측정하면, 편광상태에 따른 굴절률 분포 변화를 측정할 수 있다.
도 5는 광소자가 부착된 압전세라믹엑츄에이터(PZT)(112)를 포커싱렌즈(111)의 초점거리 근처에서 상하로 움직이면서 광소자의 측정단면에서 반사되는 빛의 파워를 측정한 도면이다. 본 발명은 포커싱렌즈(111)의 초점거리에 광소자의 측정단면을 놓이게 하기 위해서 별도의 피드백시스템을 사용하지 않는다. 다만, 압전세라믹엑츄에이터(PZT)(112)를 포커싱렌즈(111)의 초점거리 근처에서 움직여주면 광소자의 측정단면이 포커싱렌즈(111)의 초점거리에 위치할 때 반사 광의 파워가 최대가 되기 때문에 반사 광의 파워가 최대가 되는 위치 및 그 최대값을 저장한다. 또한, XY스캐너로 광소자의 위치를 조정하면서 동일한 방법으로 반사 광의 파워를 측정하면 광소자의 측정단면의 2차원 굴절률 분포를 얻게 된다.
도 6은 본 발명에 따른 광소자의 굴절률 측정장치를 이용하여 멀티모드광섬유의 굴절률 분포를 측정한 결과를 도시한 그래프이다. 코어 크기가 13.5μm, 코어와 클래드의 굴절률 차이가 0.0328인 멀티모드광섬유를 본 발명에 따른 측정장치를 이용하여 굴절률 분포를 측정한다. 도 6의 (a)는 2차원 측정값이고, (b)는 1차원 측정값이다.
이상에서 본 발명에 대한 기술 사상을 첨부 도면과 함께 서술하였지만, 이는 본 발명의 가장 양호한 일 실시예를 예시적으로 설명한 것이지 본 발명을 한정하는 것은 아니다. 또한, 이 기술 분야의 통상의 지식을 가진 자이면 누구나 본 발명의 기술 사상의 범주를 이탈하지 않는 범위 내에서 다양한 변형 및 모방이 가능함은 명백한 사실이다.
이상과 같이 본 발명에 따르면 빠른 시간 내에 정확한 굴절률 측정이 가능하다. 또한, 광섬유 형태뿐만 아니라 광도파로 소자와 광소자, 광소재 등 모든 형태의 광소자에 적용할 수 있어서 표면 굴절률 분포값이 요구되는 모든 분야에 적용할 수 있는 이점이 있다.

Claims (11)

  1. 굴절률을 측정하고자 하는 광소자를 X, Y, Z방향으로 위치 조정하는 위치조정수단과;
    단일 파장의 소스 광을 출력하는 LED(Light Emitting Diode)와;
    상기 LED에서 출력되는 소스 광을 원형대칭빔(circular symmetric beam)으로 변환하여 출력하는 원형대칭빔출력수단과;
    상기 원형대칭빔을 평행광으로 변환하여 출력하는 평행광출력수단과;
    상기 평행광이 투과되는 제 1 λ/2파장판과;
    상기 제 1 λ/2파장판을 투과한 빛을 분할하는 편광빔스플리터(polarizing beam splitter)와;
    상기 편광빔스플리터를 투과한 빛으로부터 원편광 상태의 빛을 출력하는 제 1 λ/4파장판과;
    상기 제 1 λ/4파장판에서 출력되는 원편광 상태의 빛을 상기 광소자의 측정단면에 포커싱(focusing)하는 포커싱렌즈와;
    상기 광소자의 측정단면에서 반사되는 광을 상기 포커싱렌즈와 상기 제 1 λ/4파장판과 상기 편광빔스플리터를 통해 입력받아 상기 반사된 광의 파워를 측정하고 상기 반사된 광의 파워로부터 상기 광소자의 측정단면의 굴절률을 계산하는 반사 광검출수단을 포함한 것을 특징으로 하는 공초점주사현미경 원리를 이용한 광소자의 굴절률 측정장치.
  2. 제 1 항에 있어서, 상기 제 1 λ/2파장판을 투과하고 상기 편광빔스플리터에서 반사된 빛의 파워를 검출하는 전송광검출기를 더 포함한 것을 특징으로 하는 공초점주사현미경 원리를 이용한 광소자의 굴절률 측정장치.
  3. 제 1 항에 있어서, 상기 원형대칭빔출력수단은,
    상기 LED에서 출력되는 소스 광을 수집하는 제 1 렌즈와, 상기 제 1 렌즈에서 수집된 광을 단일모드광섬유로 입사시키는 제 2 렌즈와, 상기 제 2 렌즈를 통해 입사된 빛을 원형대칭빔으로 변환하여 출력하는 상기 단일모드광섬유를 구비한 것을 특징으로 하는 공초점주사현미경 원리를 이용한 광소자의 굴절률 측정장치.
  4. 제 1 항에 있어서, 상기 원형대칭빔출력수단은,
    상기 LED와 접촉되는 단면이 렌즈모양으로 형성된 단일모드광섬유인 것을 특징으로 하는 공초점주사현미경 원리를 이용한 광소자의 굴절률 측정장치.
  5. 제 1 항에 있어서, 상기 평행광출력수단은,
    콜리메이션(collimation)렌즈인 것을 특징으로 하는 공초점주사현미경 원리를 이용한 광소자의 굴절률 측정장치.
  6. 제 1 항에 있어서, 상기 위치조정수단은,
    상기 광소자를 부착하고 Z방향으로 위치 조정하는 압전세라믹엑츄에이터(PZT)와, 상기 압전세라믹엑츄에이터를 X, Y 방향으로 위치 조정하는 XY스캐너를 포함한 것을 특징으로 하는 공초점주사현미경 원리를 이용한 광소자의 굴절률 측정장치.
  7. 제 6 항에 있어서, 상기 압전세라믹엑츄에이터는 상기 포커싱렌즈의 초점거리 근처에서 상기 광소자를 Z 방향으로 움직이고, 상기 반사 광검출수단은 입사되는 반사 광의 파워의 최대값으로 상기 굴절률을 계산하는 것을 특징으로 하는 공초점주사현미경 원리를 이용한 광소자의 굴절률 측정장치.
  8. 제 1 항에 있어서, 제 1 λ/4파장판에서 출력되는 원편광된 빛을 선편광된 빛으로 변환하여 출력하는 제 2 λ/4파장판과, 상기 제 2 λ/4파장판에서 출력되는 다양한 편광 상태의 선편광된 빛을 상기 포커싱렌즈에게 출력하는 제 2 λ/2파장판을 더 구비한 것을 특징으로 하는 공초점주사현미경 원리를 이용한 광소자의 굴절률 측정장치.
  9. 제 8 항에 있어서, 상기 제 2 λ/2파장판에서 출력되는 빛 중 원하는 선편광된 빛을 투과하여 상기 포커싱렌즈에게 출력하는 편광기를 더 포함한 것을 특징으로 하는 공초점주사현미경 원리를 이용한 광소자의 굴절률 측정장치.
  10. 제 1 항에 있어서, 상기 반사 광검출수단은 상기 반사된 광의 파워로부터 상기 반사된 광의 반사율(R)을 계산하고, 상기 반사율(R)을 아래의 수식에 적용하여 굴절률(n)을 계산하는 것을 특징으로 하는 공초점주사현미경 원리를 이용한 광소자의 굴절률 측정장치.
    [수식]
    Figure 112004058572331-pat00002
  11. 제 1 항에 있어서, 상기 광소자의 측정단면의 반대쪽 단면을 담그기 위한 상기 광소자의 클래드와 동일한 굴절률을 가지는 오일을 더 구비한 것을 특징으로 하는 공초점주사현미경 원리를 이용한 광소자의 굴절률 측정장치.
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