JP2022098280A - 干渉計及び光学機器 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】本開示に係る干渉計10は、干渉計10に入射した被測定光のP波及びS波のそれぞれを第1光路R1及び第2光路R2に分波し、かつ第1光路R1及び第2光路R2に分波された被測定光を合波する第1光学部品12と、第1光路R1に配置される第2光学部品13と、第1光学部品12において合波された被測定光のP波及びS波を分波する第3光学部品14と、第3光学部品14で分波されたP波及びS波をそれぞれ検出するP波検出器11a及びS波検出器11bと、を備え、第2光学部品13は、被測定光の伝播方向を変化させ、かつP波とS波との間に位相差を与える光学面を有する。
【選択図】図3
Description
図3は、図1の干渉計10の第1実施形態を示す模式図である。図3を参照しながら、第1実施形態に係る干渉計10の構成及び機能について主に説明する。干渉計10は、検出器11に加えて、第1光学部品12、第2光学部品13、及び第3光学部品14を有する。図3において、被測定光は、左側から右側に向けて干渉計10に入射し、干渉計10内の光学系を伝播する。
図7は、図1の干渉計10の第2実施形態を示す模式図である。図7を参照しながら、第2実施形態に係る干渉計10の構成及び機能について主に説明する。
図8は、図1の干渉計10の第3実施形態を示す模式図である。図8を参照しながら、第3実施形態に係る干渉計10の構成及び機能について主に説明する。
図9は、図1の干渉計10の第4実施形態を示す模式図である。図9を参照しながら、第4実施形態に係る干渉計10の構成及び機能について主に説明する。
図10は、図1の干渉計10の第5実施形態を示す模式図である。図11は、図10の干渉計10に基づいて得られる、図5に対応するリサージュ図形である。図10及び図11を参照しながら、第5実施形態に係る干渉計10の構成及び機能について主に説明する。
図12は、図1の干渉計10の第6実施形態を示す模式図である。図13は、図12の検出器11によって出力される干渉信号の一例を示すグラフ図である。図12及び図13を参照しながら、第6実施形態に係る干渉計10の構成及び機能について主に説明する。
1a ビームスプリッタ
10 干渉計
11 検出器
11a P波検出器
11a1 第1検出器
11a2 第3検出器
11b S波検出器
11b1 第2検出器
11b2 第4検出器
11c 入射光検出器
12 第1光学部品
12a 第1無偏光ビームスプリッタ
12b 第2無偏光ビームスプリッタ
12c 第1光学面
12d 第2光学面
13 第2光学部品
13a 第1反射面
13b 第2反射面
14 第3光学部品
14a 第1偏光ビームスプリッタ
14b 第2偏光ビームスプリッタ
15 第4光学部品
16 第5光学部品
20 光源部
30 駆動部
40 記憶部
50 入力部
60 出力部
70 制御部
R1 第1光路
R2 第2光路
Claims (10)
- 干渉計であって、
前記干渉計に入射した被測定光のP波及びS波のそれぞれを第1光路及び第2光路に分波し、かつ前記第1光路及び前記第2光路に分波された前記被測定光を合波する第1光学部品と、
前記第1光路に配置される第2光学部品と、
前記第1光学部品において合波された前記被測定光の前記P波及び前記S波を分波する第3光学部品と、
前記第3光学部品で分波された前記P波及び前記S波をそれぞれ検出するP波検出器及びS波検出器と、
を備え、
前記第2光学部品は、前記被測定光の伝播方向を変化させ、かつ前記P波と前記S波との間に位相差を与える光学面を有する、
干渉計。 - 前記第1光学部品、前記第2光学部品、及び前記第3光学部品は全て一体化されている、
請求項1に記載の干渉計。 - 前記第2光学部品の前記光学面は反射面を含む、
請求項1又は2に記載の干渉計。 - 前記反射面は、前記第1光学部品で分波された前記被測定光が全反射により反射する第1反射面と、前記第1反射面で反射した前記被測定光が前記第1光学部品に向けて全反射によりさらに反射する第2反射面と、を含む、
請求項3に記載の干渉計。 - 前記第1反射面及び前記第2反射面のそれぞれにおいて、前記位相差は45°である、
請求項4に記載の干渉計。 - 前記第1反射面及び前記第2反射面のそれぞれにおいて、前記被測定光の入射角及び反射角のそれぞれは45°である、
請求項4又は5に記載の干渉計。 - 前記第2光学部品は、ガラス材料によって構成されるプリズムを含む、
請求項1乃至6のいずれか1項に記載の干渉計。 - 前記第1光学部品は、前記P波及び前記S波のそれぞれを前記第1光路及び前記第2光路に分波する第1無偏光ビームスプリッタと、前記第1光路及び前記第2光路に分波された前記被測定光を合波する第2無偏光ビームスプリッタと、を含む、
請求項1乃至7のいずれか1項に記載の干渉計。 - 前記第3光学部品は、第1偏光ビームスプリッタと第2偏光ビームスプリッタとを含み、
前記P波検出器は、前記第1偏光ビームスプリッタにより分波された前記P波を検出する第1検出器と、前記第2偏光ビームスプリッタにより分波された前記P波を検出する第3検出器と、を含み、
前記S波検出器は、前記第1偏光ビームスプリッタにより分波された前記S波を検出する第2検出器と、前記第2偏光ビームスプリッタにより分波された前記S波を検出する第4検出器と、を含む、
請求項1乃至8のいずれか1項に記載の干渉計。 - 請求項1乃至9のいずれか1項に記載の干渉計を備える光学機器。
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Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5948716A (ja) * | 1982-09-10 | 1984-03-21 | Erumoshiya:Kk | 直線偏光−円偏光変換用光学系 |
JPH07190714A (ja) * | 1993-12-24 | 1995-07-28 | Olympus Optical Co Ltd | 干渉計 |
JPH0933368A (ja) * | 1995-07-24 | 1997-02-07 | Toshihiko Yoshino | 光圧力センサ装置 |
JP2000146525A (ja) * | 1998-11-11 | 2000-05-26 | Nikon Corp | 光波干渉測定装置及び該装置を用いた投影露光装置 |
JP2010043984A (ja) * | 2008-08-14 | 2010-02-25 | Yokogawa Electric Corp | 光波長測定装置 |
JP2010151572A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Ojima Shisaku Kenkyusho:Kk | 偏光分離型干渉計の偏光分離部及び偏光分離型干渉計及び偏光分離干渉計型測長器 |
JP2019526044A (ja) * | 2016-06-28 | 2019-09-12 | ルメンタム・テクノロジー・ユーケー・リミテッド | 光学ロッカー |
Family Cites Families (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5374991A (en) * | 1991-03-29 | 1994-12-20 | Gradient Lens Corporation | Compact distance measuring interferometer |
JP4566401B2 (ja) | 2000-12-28 | 2010-10-20 | アンリツ株式会社 | 光波長測定装置 |
JP4214367B2 (ja) | 2002-07-19 | 2009-01-28 | 横河電機株式会社 | 波長モニタ及びモータ駆動制御装置 |
-
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Patent Citations (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS5948716A (ja) * | 1982-09-10 | 1984-03-21 | Erumoshiya:Kk | 直線偏光−円偏光変換用光学系 |
JPH07190714A (ja) * | 1993-12-24 | 1995-07-28 | Olympus Optical Co Ltd | 干渉計 |
JPH0933368A (ja) * | 1995-07-24 | 1997-02-07 | Toshihiko Yoshino | 光圧力センサ装置 |
JP2000146525A (ja) * | 1998-11-11 | 2000-05-26 | Nikon Corp | 光波干渉測定装置及び該装置を用いた投影露光装置 |
JP2010043984A (ja) * | 2008-08-14 | 2010-02-25 | Yokogawa Electric Corp | 光波長測定装置 |
JP2010151572A (ja) * | 2008-12-25 | 2010-07-08 | Ojima Shisaku Kenkyusho:Kk | 偏光分離型干渉計の偏光分離部及び偏光分離型干渉計及び偏光分離干渉計型測長器 |
JP2019526044A (ja) * | 2016-06-28 | 2019-09-12 | ルメンタム・テクノロジー・ユーケー・リミテッド | 光学ロッカー |
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