JPH0933353A - 放射測温方法およびその測温装置 - Google Patents

放射測温方法およびその測温装置

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JPH0933353A
JPH0933353A JP7216439A JP21643995A JPH0933353A JP H0933353 A JPH0933353 A JP H0933353A JP 7216439 A JP7216439 A JP 7216439A JP 21643995 A JP21643995 A JP 21643995A JP H0933353 A JPH0933353 A JP H0933353A
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radiometer
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Toru Inai
徹 井内
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Abstract

(57)【要約】 【目的】 被接触状態で、被測定物体の温度測定を必要
とする各種製造プロセスにおいて使用される放射温度計
に関するものである。 【構成】 被測定物体面の法線に対し、2つの異なる角
度からそれぞれ該被測定対象面の放射輝度を検出し、該
2つの異なる角度からの放射輝度から温度を演算によっ
て求めることを特徴とする放射測温方法および装置。 【効果】 放射温度計を使用して、従来技術では、測定
誤差が大きく使用できなかった測定対象に対しても、正
確な温度測定を行うことができる。しかも複雑な機構を
必要としないので、装置を容易に構成することができ
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、非接触状態で、被
測定物体の温度測定を必要とする各種製造プロセスにお
いて使用される放射温度計に関するものである。
【0002】
【従来の技術】放射温度計は、絶対零度以上の被測定物
体から放射される電磁波(主として可視光・赤外線)を
検出し、その量から被測定物体の温度を測定するもので
あり、放射温度計による温度計測法を一般に「放射測温
法」と称するが、従来行われている放射測温法には、以
下に説明するような問題点が存在した。これを放射測温
法の原理とともに説明する。
【0003】被測定物体の温度をT[K]としたとき、
該物体から放射される分光放射輝度Lλは次式で表すこ
とができる。 Lλ=ε(λ)Lb,λ(T) [W・sr−1・m−3] (1) ここで、λ=波長[m]、ε(λ)=波長λにおける該
物体の分光放射率。Lb,λ(T)は黒体分光放射輝度
でプランクの法則により、次式(2)で示される。 Lb,λ(T)=2cλ−5[exp(c/λ・T)−1]−1 [W・sr−1・m−3] (2) λ・T<2.9×10−3 [m・K]の条件のもとで
は、Lb,λ(T)は非常によい精度で次式(3)のウ
イーンの公式で表すことができる。 Lb,λ(T)=2cλ−5exp(−c/λ・T) [W・sr−1・ m−3] (3) ここで、c=5.9548×10−17[W・
]、c=0.014388 [m・K]で、それ
ぞれプランクの第1定数、第2定数と呼ばれている。
【0004】放射測温法は、基本的に(1)式の左辺に
相当する物理量Lλを計測し、それを該物体の想定され
る放射率εで補正すること、すなわち比Lλ/εを求
め、この値を(2)式ないし(3)式を用いて逆算し、
被測定物体の温度Tを求める方法である。この際、放射
率εが既知で一定であれば、真温度Tが正確に得られる
が、一般に放射率εは変化するため得られる温度Taは
変動する。ここで、該物体のεがΔεだけ変動したとす
ると、測温誤差ΔT=T−Taは近似的に(4)式で表
されることが知られている。 ΔT/T≒(Δε/ε)(λ・T/c) (4)
【0005】放射測温法の最大の弱点は、放射率が常に
介在するために測温誤差を生じることである。しかも、
該放射率εは波長、温度の関数であるが、同時に酸化膜
や表面粗度、油膜や種々の汚染物付着など、該物体表面
のさまざまな状態によって変化するために測温誤差を生
じ、かつ該測温誤差を一定に保つことさえも困難になる
ことである。
【0006】そこで、この放射測温法の問題点を克服す
るために従来より、多くの考案がなされてきた。代表的
な例として「ジャーナル・オブ・ジ・アイアン アンド
スチール インスチチュート、第169巻245〜2
50頁、表面温度測定のための放射温度計(M.D.D
rury,K.P.Perry and T.Land
:Pyrometers for Surface
Temperature Measurement,J
ournal of the Iron and St
eel Institute,vol.169,(19
51)p.245〜250)」に示されているように、
半球状の金メッキキャビテイを被測定物体面にかぶせ、
該物体の放射率を実効的に高めて黒体放射に近い状態を
実現する放射測温法がある。また本出願人が「鉄と鋼、
第65巻97〜106頁、温度と放射率の同時測定法と
その鉄鋼プロセスへの応用」に示したように、被測定物
体上方に何らかの反射体など補助設備を設置して反射と
放射の相互反射作用を利用して、変化する放射率を求
め、それによって温度を測定する、いわゆる温度と放射
率の同時計測法等がある。これらの方法は、いずれも放
射率変化によって生じる測温誤差を低減しようとするも
のであり、意義深いものではあるが、被測定物体面上に
反射体などを設置する必要があり、設備が複雑になるこ
とや走行中の被測定物体に応用するときに困難を生じる
という問題がある。
【0007】一方、上記のような方法と異なり、被測定
物体からの放射情報だけから放射率問題を解決して測温
精度を向上させようとする手法がある。いくつかの波長
における該物体の放射輝度と予め実験ないし理論に基づ
いて得た該物体の分光放射率特性を組み合わせて該物体
の真温度を求めようとするものであり、多波長温度計と
よばれるものである。本手法は、補助設備を使用しない
ので、構造が簡単であり、製造プロセス等への応用に適
しており、現在盛んに研究開発が行われている。2色温
度計と称される放射測温法はこの種の代表的な放射温度
計である。いま、被測定物体の波長λ,λにおける
分光放射率をそれぞれε(λ),ε(λ)とする
と、対応する分光放射輝度Lλ1 ,Lλ2はウイーン
の公式を利用してそれぞれ次のように表現できる。 Lλ1=ε(λ)2cλ −5 exp(−c/λ・T) (5) Lλ2=ε(λ)2cλ −5 exp(−c/λ・T) (6) 両式の比をRとおけば、 R=Lλ1/Lλ2=ε・(λ/λexp(−c/Λ・T) (7) となる。ここで、ε:放射率比(=ε(λ)/ε
(λ))、Λ=λ・λ/(λ−λ)。(7)
式は、(1)式と同じ形式で表現されている。(7)式
が2色温度計の出力形式であり、被測定物体が黒体、な
いし灰色体であればεは1で、Rの値からただちに真
温度Tを求めることが可能である。また、2色温度計の
特徴としては、放射率ε(λ)とε(λ)が変化し
ても、放射率比εが一定で既知であれば、その値を
(7)式に代入し、逆算して真温度Tを次式(8)で求
めることができることにある。 T=(c/Λ)(In{ε・(λ/λ/R})−1 (8) しかし、現実にはこの条件はほとんど満たされず、各波
長λとλでの放射率ε(λ)とε(λ)が変動
するとき、εも変動し、単波長の放射温度計と同様な
測温誤差を引き起こす。この場合、(4)式と同様に測
温誤差ΔTは、(9)式で示される。 ΔT/T≒(Δε/ε)(Λ・T/c) (9) ここで、Δε:放射率比の変動。このように、2色温
度計は原理的に優れた特徴を持ちながら、現実的にはそ
の条件に合致した限られた場合にしか適用できなかっ
た。
【0008】
【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記のよう
な問題点を解決したもので、2色温度計において放射率
比εが変化しても、εの値を刻々得る手法を併用し
て常にεを求め、それによって真温度を求めることを
目的とするものである。
【0009】
【課題を解決するための手段】すなわち本発明は、被測
定物体面の法線に対し、特定の角度θ1の方向から該測
定物体面を指向する2色放射計を設置するとともに、前
記角度θ1とは異なる角度θ2の方向から測定物体面を
指向し、かつ前記2色放射計の2つの中心波長λ1、λ
2のいずれかと同じ波長に合わせ、さらに温度に対する
出力特性が同一になるように調整された放射計を設置
し、該放射計の出力と、前記2色放射計の出力のうち該
放射計と同じ波長の出力の比から、2色放射計の放射率
比εを定めるようにしたことを特徴とするものであ
る。
【0010】
【発明の実施の形態】以下、本発明について添付図面に
より説明する。図1は本発明の構成を示す説明図、図2
は本発明により得られる信号の流れを示すブロック図、
図3は本発明を金属を測定対象とした場合に、該金属表
面の酸化膜生成とともに、放射率の方向特性が変化する
様子を示すグラフ、図4は本発明の測定装置の具体例、
図5は、冷延鋼板の分光放射率の変化を示すグラフ、図
6は該冷延鋼板の分光放射率の角度依存性を示すグラ
フ、図7は該冷延鋼板に対し本発明の原理の成り立つこ
とを示す特性式、図8は該冷延鋼板の酸化膜厚を本発明
の原理を利用して求める具体例を示している,図1にお
いて、1は金属等の被測定対象面、2は該被測定面1の
法線nに対し角度θ1の方向に設置された2色比放射計
であり、3は該2色比放射計2に設けた集光レンズ、4
は中心波長λ1およびλ2を透過するフィルタ5および
6を装着した回転セクター、7は該回転セクター4を駆
動するモーター、。8は光センサで角度θ1方向の該測
定対象からの波長λ1、λ2に対応する分光放射輝度L
λ1,θ1,Lλ2,θ1を検出する。9は増幅回路、
10は2色比放射計2の検出部である。また11は前記
被測定対象面1の法線nに対し角度θ2の方向に設置さ
れた放射計である。12は該放射計11に設けた集光レ
ンズ、13は中心波長λ1またはλ2の透過フィルタ
(本明細書においては以後、中心波長λ1のフィルタで
代表させて説明する)で、通常前記フィルタ4と同等の
特性を有している。14は前記光センサ8と同等の特性
を有する光センサで、角度θ2方向の波長λ1に対応す
る放射輝度Lλ1,θ2を検出する。15は増幅回路、
16は放射計11の検出部である。また、図2におい
て、17は2色放射計2で検出された分光放射計輝度の
電気変換信号、18は放射計11で検出された分光放射
輝度の電気変換信号、19は電気変換信号17の2つの
信号の比R、すなわち2色輝度比Rを計算する演算部、
20は該電気変換信号17のうちの1つと、電気変換信
号18の比、すなわち2角度輝度比Reを計算する演算
部、22は該演算部20の比Reと被測定対象面1の2
つの波長における分光放射率の比εとの関係を表す特
性式、21は前記演算部19で得られた電気変換信号1
7の2つの信号の比Rと前記εとの比を計算する演算
部、23は該比演算部21の結果から被測定対象面1の
温度Tを求める演算部、24は該演算部23により得ら
れた温度Tの表示部である。また、25は該演算部20
のReから該測定対象面1の刻々の酸化膜厚さを求める
演算部、26は該演算部25によって得られた酸化膜厚
さの表示部である。27は該演算部20のReと被測定
対象面1の1つの波長λ1における分光放射率ε
(λ,θ)との関係を表す特性式、28は前記電気
変換信号17の2つの信号のうちの1つと前記特性式2
7で得られた分光放射率ε(λ,θ)の比を計算す
る演算部、29は該演算部28の結果から被測定対象面
1の温度Tを求める演算部、30は該演算部29で得ら
れた温度Tの表示部である。
【0011】図1と図2により本発明の原理を説明す
る。図1の2色比放射計2によって検出される2つの分
光放射輝度はそれぞれ前記(5)式および(6)式を参
考して次式で表すことができる。 Lλ1,θ1=ε(λ,θ)2cλ −5exp(−c/λ・T) (10) Lλ2,θ1=ε(λ,θ)2cλ −5exp(−c/λ・T) (11) ここで、ε(λ,θ)、ε(λ,θ)はそれぞ
れ角度θで、中心波長λ、λでの分光放射率であ
る。これら分光放射輝度は電気変換信号17に変換され
るが、k、kを比例定数としてそれぞれ次式で示す
ことができる。 Eλ1,θ1=kλ1,θ1 (12) Eλ2,θ1=kλ2,θ1 (13) 演算部19での演算は、(12)式および(13)式の
比Rを求めるものであるから、(10)式および(1
1)式を参照すると、 R=Eλ1,θ1/Eλ2,θ1 =k・ε・(λ/λExp(−c/Λ・T) (14) となる。ここで、k=k/k(=一定)。一方、放
射計11で検出される分光放射輝度は次式になる。 Lλ1,θ2=ε(λ,θ)2cλ −5exp(−c/λ・T) (15) そこで該放射計11の分光放射輝度は電気変換信号18
に変換され、kを比例定数として Eλ1,θ2=kλ1,θ2 (16) となる。演算部20では、電気変換信号17の1つの信
号Eλ1,θ1と電気変換信号18の信号Eλ1,θ2
の比Re、すなわち2つの角度での放射輝度比の演算で Re=Eλ1,θ1/Eλ1,θ2=ε(λ,θ)/ε(λ,θ) (17) が行われる。すなわち、Reは1つの中心波長λで2
つの角度θとθでの放射率の比となる。
【0012】本発明の原理は(17)式のRe値と(1
4)式のε値の間に一定の関係が存在するときに成り
立つ。あらかじめReとε値の関係を演算部22にお
いて求めておけば、演算20よりRe値が得られたと
き、ただちにε値が演算22で得られ、この値で(1
4)式の左辺のRを割る演算を施せば、 R/ε=k・(λ/λExp(−c/Λ・T) (18) となり、この処理が演算21で行われる。ところで、該
(18)式は温度T以外はすべて既知の値であるから、
該(18)式を逆算して被測定対象面1の温度Tが
(8)式と同様に次式で得られる。 T=(c/Λ)[In{k・ε・(λ/λ/R}]−1 (19) (19)式の演算処理が演算部23でなされる。
【0013】以上説明したように、従来の2色温度計で
は(9)式に示したように、放射率比ε値が変化して
測温誤差を生ずるが、本発明によれば放射率比ε値が
変化しても、Reとεの関係を用いて刻々ε値を求
めることにより、正確な温度測定を行うことができる。
【0014】
【実施例】上記のような理論に基づき本発明により、金
属表面の温度を測定する場合について説明する。図1に
示すように、先ず、被測定対象面1の法線nに対し角度
θ1の方向に2色放射計2を設置するとともに、該法線
nに対し角度θ2の方向に放射計11を設置する。そこ
で、被測定対象面1から放射される電磁波を2色放射計
2の集光レンズ3、モーター7により回転する回転セク
ター4に取り付けたフィルタ5または6を透過させ、光
センサ9に受光する。さらに、該受光した放射輝度値を
増幅回路9により増幅し、検出部10に入力させ、電気
変換信号17として2色輝度比の演算部19および2角
度輝度比の演算部20に入力させる。一方、放射計11
においても、被測定対象面1から放射される電磁波を集
光レンズ12、フィルタ13を透過させ、光センサ14
に受光する。さらに該受光した放射輝度値を増幅回路1
5により増幅し、検出部16に入力させ、電気変換信号
18として2角度輝度比の演算部20に入力させる。そ
こで、演算部19において(14)式の演算を行わせて
Rを得、演算部20において(17)式の演算を行わせ
てReを得、さらにその結果を特性式22に導入してR
e−εの演算を行わせ、その結果をさらに(14)式
の演算結果とともに演算部21に導入して(18)式の
演算を行い、温度を計算し、その結果を温度表示部24
に表示する。
【0015】上記のように、被測定対象面1が金属の場
合、加熱により、表面酸化が進行し、金属的な性質から
誘電的な性質にに変化し、このとき該測定対象面1の放
射率の方向特性が大きく変化する。図3は、その態様を
示すもので、金属面の場合、角度θが大きくなるにつれ
て放射率が増加し、80°あたりで最大になる。一方、
酸化が進行すると、この傾向は緩和され、逆に金属酸化
物のような絶縁体ではθの増大とともに放射率は単調に
減少するようになる。従って前記の2角度輝度比の演算
20により得られるRe値から金属酸化膜成長に関する
情報を得ることができる。すなわち、上記温度測定と同
時に、前記の2角度輝度比の演算20の結果は、被測定
対象面1の表面の酸化膜厚さの演算部25に導入され、
刻々の酸化膜厚さが計算され、酸化膜厚さ表示部26に
表示される。
【0016】図4は、本発明の測定装置の具体例を示し
ている。被測定対象を冷延鋼板にとり、PbSeをセン
サとする2色比放射計を角度θ1=30°に設置し、干
渉フィルタにより、検出波長をλ1=2.3μm,λ2
=3.7μmに選び、角度θ2=80°に上記と同等の
PbSeセンサと干渉フィルタを用い、検出波長をλ1
=2.3μmとした.図5は、図4の装置で該冷延鋼板
鋼板が加熱されたとき、酸化の進行とともに波長λ1=
2.3μm,λ2=3.7μmでの分光放射率が急激に
変化している様子を示し、図6は、角度θ1=30°θ
2=80°において、λ1=2.3μmでの分光放射率
が加熱酸化により、同様に大きく変化する様子を示して
いる。図7は、このように分光放射率の大きな変化にも
かかわらず、この構成で得られたReとεの特性式
が、一意的な関係にあることが分かり、本発明の効果を
示している。図8は、図4の構成で得られたReと該冷
延鋼板の酸化膜厚みの実測結果である。本発明によりR
eから酸化膜厚みを同時計測できる効果を具体的に示し
ている。
【0017】本発明は、2色放射計型の温度計の分光放
射率比εを常時補正して真の温度測定を可能ならしめ
ることを目的としているが、被測定対象が特定の材料ま
たは種類に限定されたような場合、Reとεの特性式
を求めておかなくても、図2においてReとε(λ1,
θ1)との関係式27を得ておくだけで、充分な計測精
度を得る放射温度計を実現することができる。すなわ
ち、Reから該27よりε(λ1,θ1)を得、この値
を(10)式に代入して該28、該29に示すように真
の温度Tを求めることができる.
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、放射計
を使用して、従来技術では、測定誤差が大きく使用でき
なかった測定対象に対しても、正確な温度測定を行うこ
とができる.しかも複雑な機構を必要としないので、装
置を容易に構成することができる等、その効果は大き
い.
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の構成を示す説明図。
【図2】本発明における信号の流れを示すブロック図。
【図3】金属の放射率の角度特性が、表面酸化の進行と
ともに絶縁体の放射率特性に変化していく様子を示した
図。
【図4】本発明の測定装置の実施具体例を示す図。
【図5】実施例として冷延鋼板の分光放射率の加熱によ
る変化を示す図。
【図6】実施例として2つの角度での冷延鋼板の分光放
射率が加熱とともに変化する様子を示す図。
【図7】実施例としての冷延鋼板のRe−εの間の特
性式。
【図8】実施例としての冷延鋼板の酸化膜厚みとReと
の関係を示す図。
【符号の説明】
1 被測定対象面 2 2色比放射計 3 集光レンズ 4 回転セクター 5 フィルタ 6 フィルタ 7 モーター 8 光センサ 9 増幅回路 10 検出部 11 放射計 12 集光レンズ 13 フィルタ 14 光センサ 16 増幅回路 16 検出部 17 電気変換信号 18 電気変換信号 19 演算部 20 演算部 21 演算部 22 特性式 23 演算部 24 温度表示部 25 演算部 26 酸化膜厚さ表示部 27 特性式 28 演算部 29 演算部 30 温度表示部 31 集光ミラー

Claims (10)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 被測定対象面法線に対し、2つの異なる
    角度からそれぞれ該被測定対象面の放射輝度を検出し、
    該2つの異なる角度からの放射輝度から温度を演算によ
    って求めることを特徴とする放射測温方法。
  2. 【請求項2】 請求項1において、被測定対象面法線に
    対し1つの角度θ1をθ1≦60°にし、もう一方の角
    度θ2をθ2>60°に設定することを特徴とする放射
    測温方法。
  3. 【請求項3】 請求項1および/または請求項2におい
    て、1つの角度θ1において異なる2つの中心波長λ
    1、λ2でそれぞれ分光放射輝度を検出し、もう一方の
    角度θ2では該中心波長の内の1つ、λ1での分光放射
    輝度を検出することを特徴とする放射測温方法。
  4. 【請求項4】 請求項3において、1つの角度θ1にお
    いて得られる2つの分光放射輝度比Rを演算する機能を
    もつことを特徴とする放射測温方法。
  5. 【請求項5】 請求項3において、2つの角度θ1、θ
    2で1つの中心波長λ1で検出される2角度輝度比Re
    を演算することを特徴とする放射測温法。
  6. 【請求項6】 請求項5において、被測定対象の該2つ
    の中心波長λ1、λ2での放射率の比εと該2角度輝
    度比Reの間の特性式を内蔵し、演算で得られる該Re
    とこの特性式から該放射率比εを出力する機能を有す
    ることを特徴とする放射測温方法。
  7. 【請求項7】 請求項4において得られる該分光放射輝
    度比Rと、請求項6において得られる該放射率比ε
    間の演算比R/εを出力し、これから被測定対象物の
    温度を求めることを特徴とする放射測温方法。
  8. 【請求項8】 請求項5において、該2角度輝度比Re
    から、被測定対象物の酸化膜厚を推定する機能を有する
    放射測温方法。
  9. 【請求項9】 請求項5において、該2角度輝度比Re
    から被測定対象物の中心波長λ1、角度θでの放射率
    ε(λ1,θ1)を推定し、この放射率ε(λ1,θ
    1)を用いて波長帯λ1での検出放射輝度を補正し温度
    を求めることを特徴とする放射測温方法。
  10. 【請求項10】 被測定物体面の法線に対し、特定の角
    度θ1の方向から該被測定物体面を指向する2色比放射
    計を設置するとともに、前記角度θ1とは異なる角度θ
    2の方向から被測定物体面を指向し、かつ前記2色放射
    計の2つの中心波長λ1またはλ2のいずれかと同じ波
    長に合わせ、さらに温度に対する出力特性が同一になる
    ように調整された放射計を設置し、該放射計の出力と、
    前記2色放射計の出力のうち該放射計と同じ波長の出力
    の比から、2色放射計の放射率比εを定めるようにし
    たことを特徴とする放射測温装置。
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Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2017026362A (ja) * 2015-07-17 2017-02-02 国立研究開発法人産業技術総合研究所 非接触温度測定方法および測定システム
PL424096A1 (pl) * 2018-01-03 2019-07-15 Genomtec Spółka Akcyjna Zestaw do bezdotykowej kontroli temperatury, sposób generowania frontów falowych promieniowania elektromagnetycznego oraz zastosowanie zestawu do generowania profili pól temperaturowych
JP2020008484A (ja) * 2018-07-11 2020-01-16 株式会社神戸製鋼所 酸化膜厚測定装置および該方法
CN112964662A (zh) * 2021-02-07 2021-06-15 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 一种航空发动机高温燃气浓度及温度测量方法

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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