JPH09327615A

JPH09327615A - 排気処理装置

Info

Publication number: JPH09327615A
Application number: JP8149273A
Authority: JP
Inventors: Kentaro Uchiyama; 健太郎内山
Original assignee: NEC Corp
Current assignee: NEC Corp
Priority date: 1996-06-11
Filing date: 1996-06-11
Publication date: 1997-12-22

Abstract

(57)【要約】【課題】気液接触処理型の排気処理装置において、気
液接触部の閉塞や排気処理効率の低下を招くという問題
点があった。また、洗浄液を多量に消費するという問題
点を有していた。【解決手段】処理塔２内に滞留する洗浄液５に渦を発
生させ、渦の中心の不純物の多い処理液を処理塔外へ排
出させ、渦の周辺部の不純物の少ない処理液を洗浄液と
して再循環させる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、排気処理装置に関
し、特に洗浄液を循環させて使用する排気処理装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】工場排気、例えば化学気液成長処理後の
工場排気は、有害成分を含有する。その有害成分を除去
するための排気処理装置が、実開平６ー１２４７６号公
報に記載されている。その従来の排気処理装置を図６を
用いて説明する。処理塔３２には前工程で生じた工場排
気を導入する排風機３１が設けられている。その塔３２
内に吸い込まれた工場排気はノズル３８、４０から噴出
される洗浄液と気液接触部３６で接触されて、工場排気
の不純物が取り除かれる。清浄になった工場排気は、処
理塔３２の上部から排出され、一方、洗浄液に溶けない
粉体や反応生成物等の不純物を含む洗浄液は処理塔３２
の底部に溜留する。滞留した洗浄液４１はポンプ３７で
汲み上げられ配管３６を介してノズル３８に送出され
る。すなわち、洗浄液４１は強制的に処理塔の底部から
抜き取られ循環再利用される。また、処理塔３２には、
新しい洗浄液を処理塔３２に導入するためのノズル４０
とポンプ３９が設けられている。さらに、洗浄液４１が
定水位を越えた場合に、その洗浄液４１を排出するため
の配管３３およびポンプ３５が設けられている。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】気液接触部３３で工場
排気と洗浄液が混合されると、反応生成物や粉体等の不
純物は、工場排気から分離され、処理液４１内に存在す
る。この不純物４２は、処理液４１と一緒にポンプ３７
により回収されてノズル３８から噴出されるために、気
液接触部３３の閉塞や排気処理効率の低下を招くという
問題点があった。

【０００４】また、新洗浄液との置換についても、循環
再利用している洗浄液とほぼ同程度の純度の液をそのま
ま排水配管３４から排出している。したがって、処理塔
内部の処理液の純度をある一定水準に保つために新しい
洗浄液を多量に消費しなければならないという問題点を
有していた。

【０００５】

【課題を解決するための手段】本発明の目的は、気液接
触部の閉塞しにくくすることにある。本発明の別の目的
は、排気処理効率の向上である。本発明の更なる目的
は、処理液の消費量を減らすことにある。

【０００６】本発明の排気処理装置は、処理塔の底部に
滞留した洗浄液を回転させて渦を発生させる手段と、渦
の周辺部の洗浄液を抜き取り、処理塔の上部から放出さ
せる手段と、渦の中央部の洗浄液を抜き取り、処理塔外
へ排出させる手段を有するを特徴とする。

【０００７】上記の特徴により、反応生成物や粉体等の
不純物は、洗浄液の回転により処理塔の中心に集中す
る。したがって、この不純物の濃度が高い洗浄液を排出
し、不純物の濃度が低い洗浄液を再利用することができ
る。

【０００８】

【実施の形態】本発明の前記並びにその他の目的、特
徴、および効果をより明確にすべく、以下図面を用いて
本発明の実施の形態につき詳述する。

【０００９】図１は、本発明の第１の実施形態の排気処
理装置の断面図である。

【００１０】処理塔２には、工場排気、例えば、半導体
処理での化学気相成長処理（ＣＶＤ）により発生した工
場排気を吸引して処理塔２の内部に導入する排風機１が
設けられている。処理塔２は、ＦＲＰ（ファイバーレイ
ンフォースプラスチック）からなる。その工場排気は、
ノズル７、１３から排出される洗浄液と気液接触部３で
気液接触される。洗浄液は、その工場排気の性質により
選択される。例えば、ＣＶＤ処理により発生するガスに
対しては、シランの粉体等により酸性度が強いためＮＡ
ＯＨ等のアルカリ溶液が用いられ、逆にアルカリ度が強
いガスに対しては硫酸等の酸性溶液が用いられ、ＰＨ度
が強くないガスに対しては水溶液が用いられる。気液接
触により、洗浄液には、溶解した工場排気に含まれる不
純物と、溶解しない粉体や気液接触で反応し生成した反
応生成物からなる不純物１６が混合する。その不純物を
含有した洗浄液１４は、処理塔２の底部に滞留する。一
方、気液接触部３により清浄化された工場排気は、一定
の濃度以下であることを確認後排突１０により大気に放
出される。新洗浄液導入用のノズル１３は、気液接触部
３の上側に設けられており、新しい洗浄液は処理液タン
ク（図示せず）から処理塔２内にポンプ１１、配管１２
により導入される。処理塔２の中央部の底部付近には排
水口１８が設けられ、滞留した洗浄液１４は、排水口１
８、配管９を介して排水ポンプ８により処理塔２外へ強
制排水される。強制排気された処理液は排水処理プラン
ト（図示せず）へ転送される。この排水される液量は、
ノズル１３により導入される液量とほぼ同一の量であ
り、処理塔２内の洗浄液の量はほぼ一定に保たれてい
る。処理塔２の底部の側面部には、洗浄液循環口６が設
けられ、ポンプ４により配管５を介して洗浄液循環用の
ノズル７に導入される。処理塔２の底部且つ中央部に
は、攪拌機１７が設けられている。攪拌機１７は滞留し
ている洗浄液１４を回転させ、渦巻きを発生させる。こ
の渦巻きにより、渦の中央部には反応生成物や洗浄液に
溶解しなかった粉体等の不純物１６が集中し、渦の周辺
部には比較的不純物の少ないクリーンな洗浄液となる。
このことより、渦の中央部の不純物の多く含む洗浄液
は、排水口１８により処理塔２外に排出され、渦の周辺
部のクリーンな洗浄液は、洗浄液循環口６を介して再利
用される。

【００１１】以上のことより、本発明の排気処理装置
は、不純物の少ない処理液が気液接触部３に導入される
ことより気液接触部３の閉塞の低減が可能である。ま
た、気液接触部３が閉塞することがないので、排気処理
効率低減を軽減できるという効果を奏する。さらに、本
発明の排気処理装置は、不純物の少ない洗浄液を効率的
に取り出すことをできるので、新しい処理液を多く導入
する必要が無く、洗浄液の消費を低減できるという効果
を奏する。

【００１２】図２は、気液接触部３を示す図であって、
図２（ａ）、（ｂ）は、それぞれ多孔板式気液接触部の
平面図および断面図、図２（ｃ）、（ｄ）は、充填物式
気液接触部の平面図および断面図である。多孔板式気液
接触部は、径が数mmの貫通孔１９が設けられている。充
填物式気液接触部は、握り拳程度の樹脂製の充填剤２０
で満たされた構成からなる。

【００１３】図３は、本発明の第２の実施形態の排気処
理装置の断面図である。なお、図１と同一構成の物には
同一の番号を設けている。気液接触部３の一面には静圧
端子２１が、他面には静圧端子２２とが設けられ、夫々
の端子の出力を入力する差圧計２３が設けられ、その差
圧計２３は、気液接触部３の一面と他面側の差圧を計測
する。差圧は、不純物、ゴミなどが孔や充填剤に付着
し、その程度により発生する。その差圧計２３から得ら
れた差圧は差圧発信器２４にて差圧信号に変換され、そ
の差圧信号は制御器２５に入力される。制御器２５で
は、その差圧信号に応じて、攪拌機１７の回転数を制御
する制御信号を出力する。この制御器２５は、ある規定
レベルから第１のレベルの差圧信号までは、攪拌機１７
の回転数を０とし、第１のレベルを超える差圧信号で
は、攪拌機１７を第１の回転数で回転させ、さらに、第
１のレベルを超え第２のレベルに達する差圧信号に達す
ると、攪拌機１７を第１の回転数よりも高い回転数で回
転させるさせる制御信号を発生させる。以上のことか
ら、平常時の攪拌機１７は停止しており、洗浄液内の不
純物が増加し、気液接触部３から得られる差圧が第１の
レベルを超えたときに攪拌機を回転させ、さらに、洗浄
液内の不純物の量に応じて攪拌機の回転数を上げるとい
う機能を有している。

【００１４】これにより、第２実施の形態の処理装置
は、洗浄液内の不純物が少ないときには攪拌機を運転さ
せるための電力消費量の削減が図れるという効果を奏す
る。

【００１５】図４は、本発明の第３の実施形態の排気処
理装置の図面である。第４図（ａ）の断面図が示すとお
り、渦巻きを発生させる手段は、洗浄液循環口６から吸
い込まれた洗浄液を分水器２６で分けた洗浄液のうち一
方をノズル７に送り、他方をノズル２７、２８へ送る手
段を有する。第４図（ｂ）は、第４図（ａ）の平面図で
ある。吸水ノズル２７、２８が処理塔２の内壁面に対
し、一定の角度かつ同一方向に設けられている。この吸
水ノズル３１、３２から洗浄液が出力されることより、
洗浄液５には、渦巻きが発生する。

【００１６】このことより、第１の形態のようにモータ
や攪拌機のようなメカニカルな装置は必要ないので故障
しにくいという効果を奏する。

【００１７】図５は、本発明の第４の実施形態の排気処
理装置の断面図である。この実施の形態は、不純物に
は、洗浄液よりも重い比重の物、同程度の比重の物、軽
い比重の物があることに注目してなされたものである。
排液口１８ｃは滞留した洗浄液の液面付近に設けられ、
排液口１８ａは滞留した洗浄液の液底付近に設けられ、
排液口１８ｂは、排液口１８ａ，１８ｃの中間付近の高
さに設けられている。このことから、比重の重い底面に
滞留する不純物は、排出口１８ａから排出され、比重の
軽い処理液の上部に浮游する不純物は、排出口１８ｃか
ら排出され、洗浄液と同程度の比重の不純物は排出口１
８ｂから排出される。

【００１８】本発明の各実施の形態は、夫々の組み合わ
せを可能とする。

【００１９】本願発明は、上記記載に限るわけではな
く、発明のスコープが変わらない限り、変更は可能であ
る。例えば、ノズルの高さを変化できるようにしても良
い。また、工場排気の導入口または排出口は一つに限る
必要は全然ない。また、気液接触部は一枚に限る必要は
ない。

【００２０】

【発明の効果】以上のことより、本発明の排気処理装置
は、不純物の少ない処理液が気液接触部３に導入される
ことより気液接触部３の閉塞の低減が可能である。ま
た、気液接触部３が閉塞することがないので、排気処理
効率低減を軽減できるという効果を奏する。さらに、本
発明の排気処理装置は、一定の純度を保つために多くの
新しい処理液を導入する必要が無く、処理液の消費を低
減できるという効果を奏する。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の第１形態の排気処理装置の断面図であ
る。

【図２】本発明の気液接触部の図面であって、図２
（ａ）、（ｂ）は、それぞれ多孔板式気液接触部の平面
図および断面図、図２（ｃ）、（ｄ）は、それぞれ充填
物式気液接触部の平面図および断面図である。

【図３】本発明の第２形態の排気処理装置の断面図であ
る。

【図４】本発明の第３形態の排気処理装置であって、図
４（ａ）は、その排気処理装置の断面図、図４（ｂ）
は、その排気処理装置の上面図である。

【図５】本発明の第４形態の排気処理装置の断面図であ
る。

【図６】従来の排気処理装置の断面図である。

【符号の説明】

１排風機２処理塔３気液接触部４、８、１１ポンプ５、９、１２配管６洗浄液循環口７、１３、２７、２８ノズル、１０排突１４洗浄液１５モータ１６不純物１７攪拌機１８排水口１９貫通孔２０充填剤２１、２２静圧端子２３差圧計２４差圧発信器２５制御器２６分水器

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】工場排気の不純物を取り除くための排気
処理装置であって、処理塔の底部に滞留した洗浄液を回
転させて渦を発生させる手段と、前記渦の周辺部の洗浄
液を抜き取り、前記処理塔の上部から前記処理塔内に放
出させる手段と、前記渦の中央部の洗浄液を抜き取り、
前記処理塔外へ排出させる手段を有するを特徴とする排
気処理装置。
【請求項２】処理塔と、前記処理塔の内部で洗浄液お
よび工場排気とを気液接触させ前記工場排気から不純物
を除き、前記気液接触により不純物を含んだ洗浄液を前
記処理塔の底部に滞留する排気処理装置であって、滞留
した洗浄液を回転させて渦を発生させ前記滞留した洗浄
液に含まれている不純物を前記渦の中心付近に集める手
段と、前記渦の中心付近の洗浄液を前記処理塔外に排出
させ、前記渦の周辺部の洗浄液をくみ取り、前記気液接
触させるための洗浄液として用いる手段とを有している
ことを特徴とする排気処理装置。
【請求項３】処理塔と、前記処理塔の内部に工場排気
を入力させる排風機と、洗浄液を前記処理塔の内部に供
給するバルブと、前記工場排気と前記洗浄液を気液接触
させて前記工場排気が含有する不純物を抜き取る気液接
触部と、前記気液接触部の前記気液接触により不純物の
含んだ洗浄液を回転させて渦を発生させ、前記渦の中心
部付近に前記不純物を集める攪拌機と、前記渦の中心部
付近の洗浄液を前記処理塔外へ排出させる手段と、前記
渦の周辺部付近の洗浄液を前記バルブに移送する手段と
を備えることを特徴とする排気処理装置。
【請求項４】前記気液接触部の第１の面および第２の
面の静圧の差に応じて前記渦の回転を制御することを特
徴とする請求項１、２、または３記載の排気処理装置。