JPH09323186A - 光学装置 - Google Patents
光学装置Info
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- JPH09323186A JPH09323186A JP8138963A JP13896396A JPH09323186A JP H09323186 A JPH09323186 A JP H09323186A JP 8138963 A JP8138963 A JP 8138963A JP 13896396 A JP13896396 A JP 13896396A JP H09323186 A JPH09323186 A JP H09323186A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 塵埃が装置本体内部へ侵入したり、外寄り光
学部品に付着したりするのを防ぐ。 【解決手段】 加工ヘッド１０と、加工ヘッド１０の内
部に配置される光学系を備えたレーザ加工機において、
加工ヘッド１０には、その内部にパージエアを供給する
気体供給口１１を設け、光学系のうちの最も加工ヘッド
外部側に位置する集光レンズ４を保持する部分に、気体
供給口１１から供給されるパージエアを加工ヘッド１０
の内部から外部に流出させる気体流路８を設けた。
学部品に付着したりするのを防ぐ。 【解決手段】 加工ヘッド１０と、加工ヘッド１０の内
部に配置される光学系を備えたレーザ加工機において、
加工ヘッド１０には、その内部にパージエアを供給する
気体供給口１１を設け、光学系のうちの最も加工ヘッド
外部側に位置する集光レンズ４を保持する部分に、気体
供給口１１から供給されるパージエアを加工ヘッド１０
の内部から外部に流出させる気体流路８を設けた。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、例えば、光学部品
としての加工レンズを介してワーク表面にレーザ光を照
射して孔あけ加工などの除去加工を行うレーザ加工機と
して利用される光学装置に関するものである。
としての加工レンズを介してワーク表面にレーザ光を照
射して孔あけ加工などの除去加工を行うレーザ加工機と
して利用される光学装置に関するものである。
【０００２】
【発明が解決しようとする課題】光学装置、例えばレー
ザ加工機では、加工機本体の内部に配置した光学系のう
ちの最も装置外部側に位置する外寄り光学部品に対し
て、装置外部側から気体を吹き付けて、加工機本体内部
への塵埃の侵入および外寄り光学部品に対する塵埃の付
着を防ぐようにしていたが、状況によっては、塵埃が加
工機本体内部へ侵入したり、外寄り光学部品に付着した
りすることがないとはいえず、現状では塵埃対策が万全
であるとは言い難いという問題を有しており、この問題
を解決することが従来の課題となっていた。
ザ加工機では、加工機本体の内部に配置した光学系のう
ちの最も装置外部側に位置する外寄り光学部品に対し
て、装置外部側から気体を吹き付けて、加工機本体内部
への塵埃の侵入および外寄り光学部品に対する塵埃の付
着を防ぐようにしていたが、状況によっては、塵埃が加
工機本体内部へ侵入したり、外寄り光学部品に付着した
りすることがないとはいえず、現状では塵埃対策が万全
であるとは言い難いという問題を有しており、この問題
を解決することが従来の課題となっていた。
【０００３】
【発明の目的】本発明は、上記した従来の課題に着目し
てなされたもので、防塵性に優れた光学装置を提供する
ことを目的としている。
てなされたもので、防塵性に優れた光学装置を提供する
ことを目的としている。
【０００４】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１に係わ
る発明は、装置本体と、前記装置本体の内部に配置され
る光学系を備えた光学装置において、前記装置本体に
は、その内部に気体を供給する気体供給口を設け、前記
光学系のうちの最も装置外部側に位置する外寄り光学部
品および前記装置本体における外寄り光学部品を保持す
る部分のうちの少なくともいずれか一方に、前記気体供
給口から供給される気体を装置本体内部から外部に流出
させる気体流路を設けた構成としたことを特徴としてお
り、この光学装置の構成を前述した従来の課題を解決す
るための手段としている。
る発明は、装置本体と、前記装置本体の内部に配置され
る光学系を備えた光学装置において、前記装置本体に
は、その内部に気体を供給する気体供給口を設け、前記
光学系のうちの最も装置外部側に位置する外寄り光学部
品および前記装置本体における外寄り光学部品を保持す
る部分のうちの少なくともいずれか一方に、前記気体供
給口から供給される気体を装置本体内部から外部に流出
させる気体流路を設けた構成としたことを特徴としてお
り、この光学装置の構成を前述した従来の課題を解決す
るための手段としている。
【０００５】本発明の請求項２に係わる光学装置におい
て、装置本体は光学系のうちの最も装置外部側に位置す
る外寄り光学部品を覆う筒部を備えている構成とし、本
発明の請求項３に係わる光学装置は、筒部の長さを当該
筒部の口径と同等ないし大きく設定した構成としてい
る。
て、装置本体は光学系のうちの最も装置外部側に位置す
る外寄り光学部品を覆う筒部を備えている構成とし、本
発明の請求項３に係わる光学装置は、筒部の長さを当該
筒部の口径と同等ないし大きく設定した構成としてい
る。
【０００６】本発明の請求項４に係わる発明は、装置本
体と、前記装置本体の内部に配置される光学系を備えた
光学装置において、前記装置本体に、前記光学系のうち
の最も装置外部側に位置する外寄り光学部品を覆う筒体
を装着し、前記筒体には、前記外寄り光学部品よりも装
置外部側に位置する補助光学部品を設けると共に、前記
外寄り光学部品および補助光学部品の間に気体を供給す
る気体供給口を設け、前記補助光学部品および前記筒体
における補助光学部品を保持する部分のうちの少なくと
もいずれか一方に、前記気体供給口から供給される気体
を筒体内部から外部に流出させる気体流路を設けた構成
としたことを特徴としており、この光学装置の構成を前
述した従来の課題を解決するための手段としている。
体と、前記装置本体の内部に配置される光学系を備えた
光学装置において、前記装置本体に、前記光学系のうち
の最も装置外部側に位置する外寄り光学部品を覆う筒体
を装着し、前記筒体には、前記外寄り光学部品よりも装
置外部側に位置する補助光学部品を設けると共に、前記
外寄り光学部品および補助光学部品の間に気体を供給す
る気体供給口を設け、前記補助光学部品および前記筒体
における補助光学部品を保持する部分のうちの少なくと
もいずれか一方に、前記気体供給口から供給される気体
を筒体内部から外部に流出させる気体流路を設けた構成
としたことを特徴としており、この光学装置の構成を前
述した従来の課題を解決するための手段としている。
【０００７】本発明の請求項５に係わる光学装置は、筒
体の補助光学部品を保持する部分から先端部までの長さ
を当該筒体の口径と同等ないし大きく設定した構成とし
ている。
体の補助光学部品を保持する部分から先端部までの長さ
を当該筒体の口径と同等ないし大きく設定した構成とし
ている。
【０００８】本発明の請求項６に係わる光学装置におい
て、気体流路は複数箇所に設けてある構成とし、本発明
の請求項７に係わる光学装置において、気体流路は等間
隔に設けてある構成とし、本発明の請求項８に係わる光
学装置は、筒部を流れる気体の流速を少なくとも３ｍ／
ｓとした構成とし、本発明の請求項９に係わる光学装置
は、筒体を流れる気体の流速を少なくとも３ｍ／ｓとし
た構成としている。
て、気体流路は複数箇所に設けてある構成とし、本発明
の請求項７に係わる光学装置において、気体流路は等間
隔に設けてある構成とし、本発明の請求項８に係わる光
学装置は、筒部を流れる気体の流速を少なくとも３ｍ／
ｓとした構成とし、本発明の請求項９に係わる光学装置
は、筒体を流れる気体の流速を少なくとも３ｍ／ｓとし
た構成としている。
【０００９】本発明の請求項１０に係わる光学装置は、
気体流路を設けた光学部品あるいは気体流路近傍の光学
部品の温度を当該光学部品の性能が保証される限界温度
の範囲内に保持するべく気体の温度を設定した構成とし
ている。
気体流路を設けた光学部品あるいは気体流路近傍の光学
部品の温度を当該光学部品の性能が保証される限界温度
の範囲内に保持するべく気体の温度を設定した構成とし
ている。
【００１０】この場合、気体流路は、加工が容易な装置
本体の外寄り光学部品を保持する部分（請求項４に係わ
る光学装置では筒体の補助光学部品を保持する部分）に
設けることが望ましい。
本体の外寄り光学部品を保持する部分（請求項４に係わ
る光学装置では筒体の補助光学部品を保持する部分）に
設けることが望ましい。
【００１１】また、本発明の請求項１０に係わる光学装
置において、気体の温度Ｔａは、光学部品の発熱量を
ｑ、放熱係数をｋ、光学部品の表面積をｓ、光学部品の
性能保証限界温度をＴＬ、気体流量をＱとした場合、ｑ
＜ｋ×ｓ×（ＴＬ−Ｔａ）×Ｑに基づいて設定する。
置において、気体の温度Ｔａは、光学部品の発熱量を
ｑ、放熱係数をｋ、光学部品の表面積をｓ、光学部品の
性能保証限界温度をＴＬ、気体流量をＱとした場合、ｑ
＜ｋ×ｓ×（ＴＬ−Ｔａ）×Ｑに基づいて設定する。
【００１２】
【発明の作用】本発明の請求項１に係わる光学装置で
は、気体供給口から供給される気体によって、光学系の
うちの最も装置外部側に位置する外寄り光学部品の装置
内部側の面が包み込まれ、気体流路を通って装置本体内
部から外部に流出した気体によって、外寄り光学部品の
装置外部側の面が包み込まれるので、外寄り光学部品の
周囲から装置本体内部へ塵埃が侵入したり、外寄り光学
部品に塵埃が付着したりすることが阻止されることとな
る。
は、気体供給口から供給される気体によって、光学系の
うちの最も装置外部側に位置する外寄り光学部品の装置
内部側の面が包み込まれ、気体流路を通って装置本体内
部から外部に流出した気体によって、外寄り光学部品の
装置外部側の面が包み込まれるので、外寄り光学部品の
周囲から装置本体内部へ塵埃が侵入したり、外寄り光学
部品に塵埃が付着したりすることが阻止されることとな
る。
【００１３】本発明の請求項２および３に係わる光学装
置では、請求項１に係わる光学装置と同様に外寄り光学
部品の表裏両面が気体に包み込まれるうえ、塵埃が外寄
り光学部品に近づこうとする経路が気体の通過する筒部
に限定されるので、防塵性がより一層高まることとな
る。
置では、請求項１に係わる光学装置と同様に外寄り光学
部品の表裏両面が気体に包み込まれるうえ、塵埃が外寄
り光学部品に近づこうとする経路が気体の通過する筒部
に限定されるので、防塵性がより一層高まることとな
る。
【００１４】本発明の請求項４および５に係わる光学装
置では、気体供給口から供給される気体によって、補助
光学部品の筒体内部側の面が包み込まれ、気体流路を通
って筒体内部から外部に流出した気体によって、補助光
学部品の筒体外部側の面が包み込まれるので、補助光学
部品の周囲から筒体内部へ塵埃が侵入したり、補助光学
部品に塵埃が付着したりすることが阻止されることとな
り、したがって、装置本体内部への塵埃の侵入および外
寄り光学部品に対する塵埃の付着が阻止されることとな
る。
置では、気体供給口から供給される気体によって、補助
光学部品の筒体内部側の面が包み込まれ、気体流路を通
って筒体内部から外部に流出した気体によって、補助光
学部品の筒体外部側の面が包み込まれるので、補助光学
部品の周囲から筒体内部へ塵埃が侵入したり、補助光学
部品に塵埃が付着したりすることが阻止されることとな
り、したがって、装置本体内部への塵埃の侵入および外
寄り光学部品に対する塵埃の付着が阻止されることとな
る。
【００１５】本発明の請求項６に係わる光学装置では、
光学部品に対して気体が多方面から接触することにな
り、光学部品に対する塵埃の付着が確実に阻止され、本
発明の請求項７に係わる光学装置では、光学部品に対し
て気体がくまなく接触することになり、塵埃の付着が一
層確実に阻止され、本発明の請求項８および９に係わる
光学装置では、気体の流れが塵埃を一掃するので、防塵
性が一段と高まることとなる。
光学部品に対して気体が多方面から接触することにな
り、光学部品に対する塵埃の付着が確実に阻止され、本
発明の請求項７に係わる光学装置では、光学部品に対し
て気体がくまなく接触することになり、塵埃の付着が一
層確実に阻止され、本発明の請求項８および９に係わる
光学装置では、気体の流れが塵埃を一掃するので、防塵
性が一段と高まることとなる。
【００１６】本発明の請求項１０に係わる光学装置で
は、光学装置が例えばレーザ加工機である場合、光学部
品の冷却がなされることとなる。
は、光学装置が例えばレーザ加工機である場合、光学部
品の冷却がなされることとなる。
【００１７】
【発明の効果】本発明の請求項１に係わる光学装置で
は、上記した構成としたから、気体供給口から供給され
る気体で外寄り光学部品を包み込むことができるので、
外寄り光学部品の周囲から装置本体内部へ塵埃が侵入し
たり、外寄り光学部品に塵埃が付着したりするのを確実
に防ぐことが可能であるという非常に優れた効果がもた
らされ、請求項２および３に係わる光学装置では、塵埃
の外寄り光学部品に至るまでの経路を気体の通過する筒
部に絞り込めるので、防塵性をより一層高めることが可
能であるという非常に優れた効果がもたらされる。
は、上記した構成としたから、気体供給口から供給され
る気体で外寄り光学部品を包み込むことができるので、
外寄り光学部品の周囲から装置本体内部へ塵埃が侵入し
たり、外寄り光学部品に塵埃が付着したりするのを確実
に防ぐことが可能であるという非常に優れた効果がもた
らされ、請求項２および３に係わる光学装置では、塵埃
の外寄り光学部品に至るまでの経路を気体の通過する筒
部に絞り込めるので、防塵性をより一層高めることが可
能であるという非常に優れた効果がもたらされる。
【００１８】また、本発明の請求項４および５に係わる
光学装置では、気体供給口から供給される気体によって
補助光学部品を包み込むことが可能であるため、補助光
学部品の周囲から筒体内部へ塵埃が侵入したり、補助光
学部品に塵埃が付着したりすることを阻止することがで
き、したがって、装置本体内部への塵埃の侵入および外
寄り光学部品に対する塵埃の付着を確実に防止すること
が可能であるという非常に優れた効果がもたらされる。
光学装置では、気体供給口から供給される気体によって
補助光学部品を包み込むことが可能であるため、補助光
学部品の周囲から筒体内部へ塵埃が侵入したり、補助光
学部品に塵埃が付着したりすることを阻止することがで
き、したがって、装置本体内部への塵埃の侵入および外
寄り光学部品に対する塵埃の付着を確実に防止すること
が可能であるという非常に優れた効果がもたらされる。
【００１９】さらに、本発明の請求項６に係わる光学装
置では、光学部品に対して気体を多方面から接触させる
ことができることから、光学部品に対する塵埃の付着を
より確実に阻止することが可能であり、本発明の請求項
７に係わる光学装置では、光学部品に対して気体をくま
なく接触させることができるため、光学部品に対する塵
埃の付着をほとんど皆無とすることが可能であり、本発
明の請求項８および９に係わる光学装置では、気体の流
れによって塵埃を一掃できることから、防塵性を著しく
高めることが可能であるという非常に優れた効果がもた
らされる。
置では、光学部品に対して気体を多方面から接触させる
ことができることから、光学部品に対する塵埃の付着を
より確実に阻止することが可能であり、本発明の請求項
７に係わる光学装置では、光学部品に対して気体をくま
なく接触させることができるため、光学部品に対する塵
埃の付着をほとんど皆無とすることが可能であり、本発
明の請求項８および９に係わる光学装置では、気体の流
れによって塵埃を一掃できることから、防塵性を著しく
高めることが可能であるという非常に優れた効果がもた
らされる。
【００２０】さらにまた、本発明の請求項１０に係わる
光学装置において、光学装置が例えばレーザ加工機であ
る場合には、光学部品を冷却して、その性能を維持する
ことが可能であるという非常に優れた効果がもたらされ
る。
光学装置において、光学装置が例えばレーザ加工機であ
る場合には、光学部品を冷却して、その性能を維持する
ことが可能であるという非常に優れた効果がもたらされ
る。
【００２１】
【実施例】以下、本発明を図面に基づいて説明する。
【００２２】図１および図２は本発明の請求項１〜３，
６〜８，１０に係わる光学装置の一実施例を示してい
る。
６〜８，１０に係わる光学装置の一実施例を示してい
る。
【００２３】図１に簡略的に示すように、光学装置とし
てのレーザ加工機１は、加工ヘッド（装置本体）１０
と、加工ヘッド１０の内部に配置されて図外の発振機か
ら導かれたレーザ光Ｌを曲折させる光学系を備えてお
り、光学系は加工ヘッド１０の発振機側に位置する入力
側端部（図示上端部）に設けた入力面鏡２と、２個のベ
ンドミラー３，３と、出力側端部（図示下端部）に設け
た集光レンズ４から構成されている。
てのレーザ加工機１は、加工ヘッド（装置本体）１０
と、加工ヘッド１０の内部に配置されて図外の発振機か
ら導かれたレーザ光Ｌを曲折させる光学系を備えてお
り、光学系は加工ヘッド１０の発振機側に位置する入力
側端部（図示上端部）に設けた入力面鏡２と、２個のベ
ンドミラー３，３と、出力側端部（図示下端部）に設け
た集光レンズ４から構成されている。
【００２４】加工ヘッド１０には、入力面鏡２の近傍に
位置してヘッド内部にパージエア（気体）を供給する気
体供給口１１と、集光レンズ４の近傍に位置して同じく
内部にアシストガスを供給するガス供給口１２が設けて
あると共に、ベンドミラー３，３の裏面側に矢印に示す
ようにして冷却水を流す冷却水路１３，１３が設けてあ
り、出力側端部は、レーザ光Ｌおよびアシストガスを同
軸に通すガスノズル（筒部）１４として形成してあっ
て、この場合、ガスノズル１４の長さはこのガスノズル
１４の先端口径よりも大きく設定してある。
位置してヘッド内部にパージエア（気体）を供給する気
体供給口１１と、集光レンズ４の近傍に位置して同じく
内部にアシストガスを供給するガス供給口１２が設けて
あると共に、ベンドミラー３，３の裏面側に矢印に示す
ようにして冷却水を流す冷却水路１３，１３が設けてあ
り、出力側端部は、レーザ光Ｌおよびアシストガスを同
軸に通すガスノズル（筒部）１４として形成してあっ
て、この場合、ガスノズル１４の長さはこのガスノズル
１４の先端口径よりも大きく設定してある。
【００２５】光学系のうちの最もヘッド外部側に位置す
る外寄り光学部品としての集光レンズ４は、図２に詳細
に示すように、レンズホルダケース５に嵌め込んだレン
ズスペーサ６およびレンズホルダ７の間にレンズシート
９，９を介して周縁部を挟み込ませた状態で保持されて
おり、レンズスペーサ６，レンズホルダケース５および
レンズホルダ７には、互いに連通して気体流路８を形成
する連通溝６ａ，５ａ，７ａが設けてある。この実施例
において、連通溝６ａ，５ａ，７ａはそれぞれ４５゜の
間隔をもって８箇所（図２（ｂ）では３箇所のみ示す）
に設けてあり、すなわち、気体流路８は、４５゜の間隔
をもって８箇所に設けてある。そして、この実施例で
は、気体供給口１１およびガス供給口１２から供給され
るパージエアおよびアシストガスをガスノズル１４の内
部において少なくとも３ｍ／ｓの流速で流すようにして
いる。
る外寄り光学部品としての集光レンズ４は、図２に詳細
に示すように、レンズホルダケース５に嵌め込んだレン
ズスペーサ６およびレンズホルダ７の間にレンズシート
９，９を介して周縁部を挟み込ませた状態で保持されて
おり、レンズスペーサ６，レンズホルダケース５および
レンズホルダ７には、互いに連通して気体流路８を形成
する連通溝６ａ，５ａ，７ａが設けてある。この実施例
において、連通溝６ａ，５ａ，７ａはそれぞれ４５゜の
間隔をもって８箇所（図２（ｂ）では３箇所のみ示す）
に設けてあり、すなわち、気体流路８は、４５゜の間隔
をもって８箇所に設けてある。そして、この実施例で
は、気体供給口１１およびガス供給口１２から供給され
るパージエアおよびアシストガスをガスノズル１４の内
部において少なくとも３ｍ／ｓの流速で流すようにして
いる。
【００２６】また、この実施例において、パージエアの
温度は、集光レンズ４の温度を性能保証限界温度の範囲
内に維持できるように設定してある。
温度は、集光レンズ４の温度を性能保証限界温度の範囲
内に維持できるように設定してある。
【００２７】なお、光学系のうちの最もヘッド外部側に
位置するもう一つの外寄り光学部品としての入力面鏡２
も、集光レンズ４と同様にして加工ヘッド１０に保持さ
れているため、説明は省略する。
位置するもう一つの外寄り光学部品としての入力面鏡２
も、集光レンズ４と同様にして加工ヘッド１０に保持さ
れているため、説明は省略する。
【００２８】上記したレーザ加工機１では、気体供給口
１１から供給されるパージエアにより、入力面鏡２およ
び集光レンズ４の各ヘッド内部側の面がそれぞれ包み込
まれ、気体流路８を通ってヘッド内部から外部に流出し
たパージエアにより、入力面鏡２および集光レンズ４の
各ヘッド外部側の面が各々包み込まれるので、入力面鏡
２および集光レンズ４の各周囲からヘッド内部へ塵埃が
侵入したり、入力面鏡２および集光レンズ４に塵埃が付
着したりすることが阻止されることとなる。
１１から供給されるパージエアにより、入力面鏡２およ
び集光レンズ４の各ヘッド内部側の面がそれぞれ包み込
まれ、気体流路８を通ってヘッド内部から外部に流出し
たパージエアにより、入力面鏡２および集光レンズ４の
各ヘッド外部側の面が各々包み込まれるので、入力面鏡
２および集光レンズ４の各周囲からヘッド内部へ塵埃が
侵入したり、入力面鏡２および集光レンズ４に塵埃が付
着したりすることが阻止されることとなる。
【００２９】また、上記レーザ加工機１において、出力
側端部の筒部としてのガスノズル１４からはパージエア
およびアシストガスが流出するうえ、ガスノズル１４の
長さをその先端口径よりも大きく設定してあることか
ら、塵埃が集光レンズ４に近づくことをも阻止でき、し
たがって、防塵性がより一層高まることとなる。
側端部の筒部としてのガスノズル１４からはパージエア
およびアシストガスが流出するうえ、ガスノズル１４の
長さをその先端口径よりも大きく設定してあることか
ら、塵埃が集光レンズ４に近づくことをも阻止でき、し
たがって、防塵性がより一層高まることとなる。
【００３０】さらに、上記レーザ加工機１では、入力面
鏡２および集光レンズ４の各周縁部を保持する部分に、
気体流路８を４５゜の間隔をもって複数設けているう
え、これらの気体流路８を通して流出するパージエアお
よびアシストガスを、ガスノズル１４の内部において少
なくとも３ｍ／ｓの流速で流すようにしているため、パ
ージエアが入力面鏡２および集光レンズ４に対して多方
面からくまなくそして勢いよく接触することになり、塵
埃の付着がより一層確実に阻止され、防塵性が一段と高
まることとなる。
鏡２および集光レンズ４の各周縁部を保持する部分に、
気体流路８を４５゜の間隔をもって複数設けているう
え、これらの気体流路８を通して流出するパージエアお
よびアシストガスを、ガスノズル１４の内部において少
なくとも３ｍ／ｓの流速で流すようにしているため、パ
ージエアが入力面鏡２および集光レンズ４に対して多方
面からくまなくそして勢いよく接触することになり、塵
埃の付着がより一層確実に阻止され、防塵性が一段と高
まることとなる。
【００３１】さらにまた、上記レーザ加工機１におい
て、パージエアの温度は、集光レンズ４の温度を性能保
証限界温度の範囲内に維持できるように設定してあるの
で、入力面鏡２および集光レンズ４の冷却がなされるの
に加えて、光学系を構成するベンドミラー３，３の冷却
もなされることとなる。
て、パージエアの温度は、集光レンズ４の温度を性能保
証限界温度の範囲内に維持できるように設定してあるの
で、入力面鏡２および集光レンズ４の冷却がなされるの
に加えて、光学系を構成するベンドミラー３，３の冷却
もなされることとなる。
【００３２】図３は本発明の請求項４〜７，９，１０に
係わる光学装置の一実施例を示している。
係わる光学装置の一実施例を示している。
【００３３】図３に簡略的に示すように、この光学装置
２１は、装置本体２２と、装置本体２２の内部に配置さ
れる光学系（図では最も装置外部側に位置する外寄り光
学部品としてのレンズ２３のみ示す）を備えており、装
置本体２１には、レンズ２３を覆う筒体３０が装着して
ある。
２１は、装置本体２２と、装置本体２２の内部に配置さ
れる光学系（図では最も装置外部側に位置する外寄り光
学部品としてのレンズ２３のみ示す）を備えており、装
置本体２１には、レンズ２３を覆う筒体３０が装着して
ある。
【００３４】この筒体３０には、レンズ２３よりも装置
外部側に位置する補助光学部品としてのウインド３１が
設けてあると共に、レンズ２３およびウインド３１の間
に空気を供給する空気供給口３２が設けてあり、ウイン
ド３１を保持する部分には、空気供給口３２から供給さ
れる空気を筒体３０の内部から外部に流出させる流路３
８が設けてある。
外部側に位置する補助光学部品としてのウインド３１が
設けてあると共に、レンズ２３およびウインド３１の間
に空気を供給する空気供給口３２が設けてあり、ウイン
ド３１を保持する部分には、空気供給口３２から供給さ
れる空気を筒体３０の内部から外部に流出させる流路３
８が設けてある。
【００３５】この場合、ウインド３１は、筒体３０の円
周方向に９０゜の間隔をもって配置した４個の内向き挾
持部３３に周縁部を挟み込ませた状態で保持されてお
り、内向き挾持部３３の各々の間でかつウインド３１の
周縁部と筒体３０の内周面との間に形成される４個の空
間を流路３８としてあって、空気供給口３２から供給さ
れる空気を筒体３０の内部において少なくとも３ｍ／ｓ
の流速で流すようにしてある。
周方向に９０゜の間隔をもって配置した４個の内向き挾
持部３３に周縁部を挟み込ませた状態で保持されてお
り、内向き挾持部３３の各々の間でかつウインド３１の
周縁部と筒体３０の内周面との間に形成される４個の空
間を流路３８としてあって、空気供給口３２から供給さ
れる空気を筒体３０の内部において少なくとも３ｍ／ｓ
の流速で流すようにしてある。
【００３６】また、この実施例において、筒体３０のウ
インド３１を保持する部分から先端部までの長さをこの
筒体３０の口径よりも大きく設定してある。
インド３１を保持する部分から先端部までの長さをこの
筒体３０の口径よりも大きく設定してある。
【００３７】上記した光学装置２１では、空気供給口３
２から供給される空気によって、ウインド３１の筒体内
部側の面が包み込まれ、流路３８を通って筒体３０の内
部から外部に流出した空気によって、ウインド３１の筒
体外部側の面が包み込まれるので、ウインド３１の周囲
から筒体３０の内部へ塵埃が侵入したり、ウインド３１
に塵埃が付着したりすることが阻止されることとなり、
したがって、装置本体２２の内部への塵埃の侵入および
レンズ２３に対する塵埃の付着が阻止されることとな
る。
２から供給される空気によって、ウインド３１の筒体内
部側の面が包み込まれ、流路３８を通って筒体３０の内
部から外部に流出した空気によって、ウインド３１の筒
体外部側の面が包み込まれるので、ウインド３１の周囲
から筒体３０の内部へ塵埃が侵入したり、ウインド３１
に塵埃が付着したりすることが阻止されることとなり、
したがって、装置本体２２の内部への塵埃の侵入および
レンズ２３に対する塵埃の付着が阻止されることとな
る。
【００３８】また、上記した光学装置２１において、塵
埃のウインド３１に至るまでのルートが空気の通過する
筒体３０に限定されるうえ、筒体３０のウインド３１を
保持する部分から先端部までの長さをその口径よりも大
きく設定してあることから、防塵性がより一層高まるこ
ととなる。
埃のウインド３１に至るまでのルートが空気の通過する
筒体３０に限定されるうえ、筒体３０のウインド３１を
保持する部分から先端部までの長さをその口径よりも大
きく設定してあることから、防塵性がより一層高まるこ
ととなる。
【００３９】さらに、上記した光学装置２１では、ウイ
ンド３１の周縁部を保持する部分に、流路３８を９０゜
の間隔をもって複数設けているのに加えて、複数の流路
３８を通して流出する空気を、筒体３０の内部において
少なくとも３ｍ／ｓの流速で流すようにしているので、
空気がウインド３１に対して多方面からくまなくそして
勢いよく接触することになり、塵埃の付着がより一層確
実に阻止され、防塵性が一段と高まることとなる。
ンド３１の周縁部を保持する部分に、流路３８を９０゜
の間隔をもって複数設けているのに加えて、複数の流路
３８を通して流出する空気を、筒体３０の内部において
少なくとも３ｍ／ｓの流速で流すようにしているので、
空気がウインド３１に対して多方面からくまなくそして
勢いよく接触することになり、塵埃の付着がより一層確
実に阻止され、防塵性が一段と高まることとなる。
【図１】本発明の請求項１〜３，６〜８，１０に係わる
光学装置の一実施例を簡略的に示す断面説明図である。
光学装置の一実施例を簡略的に示す断面説明図である。
【図２】図１に示した光学装置の集光レンズ保持部分に
おける垂直断面説明図（ａ）および水平断面説明図
（ｂ）である。
おける垂直断面説明図（ａ）および水平断面説明図
（ｂ）である。
【図３】本発明の請求項４〜７，９，１０に係わる光学
装置の一実施例を簡略的に示す垂直断面説明図（ａ）お
よび図３（ａ）におけるＡ方向からの矢視説明図（ｂ）
である。
装置の一実施例を簡略的に示す垂直断面説明図（ａ）お
よび図３（ａ）におけるＡ方向からの矢視説明図（ｂ）
である。
１ レーザ加工機（光学装置） ２ 入力面鏡（光学系；外寄り光学部品） ３ ベンドミラー（光学系） ４ 集光レンズ（光学系；外寄り光学部品） ８ 気体流路 １０ 加工ヘッド（装置本体） １１ 気体供給口 １４ ガスノズル（筒部） ２１ 光学装置 ２２ 装置本体 ２３ レンズ（外寄り光学部品） ３０ 筒体 ３１ ウインド（補助光学部品） ３２ 空気供給口（気体供給口） ３８ 流路（気体流路）
Claims (10)
- 【請求項１】 装置本体と、前記装置本体の内部に配置
される光学系を備えた光学装置において、前記装置本体
には、その内部に気体を供給する気体供給口を設け、前
記光学系のうちの最も装置外部側に位置する外寄り光学
部品および前記装置本体における外寄り光学部品を保持
する部分のうちの少なくともいずれか一方に、前記気体
供給口から供給される気体を装置本体内部から外部に流
出させる気体流路を設けたことを特徴とする光学装置。 - 【請求項２】 装置本体は光学系のうちの最も装置外部
側に位置する外寄り光学部品を覆う筒部を備えている請
求項１に記載の光学装置。 - 【請求項３】 筒部の長さを当該筒部の口径と同等ない
し大きく設定した請求項２に記載の光学装置。 - 【請求項４】 装置本体と、前記装置本体の内部に配置
される光学系を備えた光学装置において、前記装置本体
に、前記光学系のうちの最も装置外部側に位置する外寄
り光学部品を覆う筒体を装着し、前記筒体には、前記外
寄り光学部品よりも装置外部側に位置する補助光学部品
を設けると共に、前記外寄り光学部品および補助光学部
品の間に気体を供給する気体供給口を設け、前記補助光
学部品および前記筒体における補助光学部品を保持する
部分のうちの少なくともいずれか一方に、前記気体供給
口から供給される気体を筒体内部から外部に流出させる
気体流路を設けたことを特徴とする光学装置。 - 【請求項５】 筒体の補助光学部品を保持する部分から
先端部までの長さを当該筒体の口径と同等ないし大きく
設定した請求項４に記載の光学装置。 - 【請求項６】 気体流路は複数箇所に設けてある請求項
１ないし５のいずれかに記載の光学装置。 - 【請求項７】 気体流路は等間隔に設けてある請求項６
に記載の光学装置。 - 【請求項８】 筒部を流れる気体の流速を少なくとも３
ｍ／ｓとした請求項２または３に記載の光学装置。 - 【請求項９】 筒体を流れる気体の流速を少なくとも３
ｍ／ｓとした請求項４ないし７のいずれかに記載の光学
装置。 - 【請求項１０】 気体流路を設けた光学部品あるいは気
体流路近傍の光学部品の温度を当該光学部品の性能が保
証される限界温度の範囲内に保持するべく気体の温度を
設定した請求項１ないし９のいずれかに記載の光学装
置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8138963A JPH09323186A (ja) | 1996-05-31 | 1996-05-31 | 光学装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8138963A JPH09323186A (ja) | 1996-05-31 | 1996-05-31 | 光学装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09323186A true JPH09323186A (ja) | 1997-12-16 |
Family
ID=15234279
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8138963A Pending JPH09323186A (ja) | 1996-05-31 | 1996-05-31 | 光学装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09323186A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021010927A (ja) * | 2019-07-05 | 2021-02-04 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工ヘッド、レーザ加工装置及び板金部品の製造方法 |
-
1996
- 1996-05-31 JP JP8138963A patent/JPH09323186A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2021010927A (ja) * | 2019-07-05 | 2021-02-04 | 三菱電機株式会社 | レーザ加工ヘッド、レーザ加工装置及び板金部品の製造方法 |
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