JPH09320226A - ディスクの挟持具 - Google Patents
ディスクの挟持具Info
- Publication number
- JPH09320226A JPH09320226A JP8136477A JP13647796A JPH09320226A JP H09320226 A JPH09320226 A JP H09320226A JP 8136477 A JP8136477 A JP 8136477A JP 13647796 A JP13647796 A JP 13647796A JP H09320226 A JPH09320226 A JP H09320226A
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- JP
- Japan
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- shaft
- disk
- piece
- tip
- plunger
- Prior art date
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G11—INFORMATION STORAGE
- G11B—INFORMATION STORAGE BASED ON RELATIVE MOVEMENT BETWEEN RECORD CARRIER AND TRANSDUCER
- G11B33/00—Constructional parts, details or accessories not provided for in the other groups of this subclass
- G11B33/02—Cabinets; Cases; Stands; Disposition of apparatus therein or thereon
- G11B33/04—Cabinets; Cases; Stands; Disposition of apparatus therein or thereon modified to store record carriers
Landscapes
- Holding Or Fastening Of Disk On Rotational Shaft (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 各種径のディスクに対応でき、しかもディス
クの歪や傷の発生を防止する。 【解決手段】 円筒状本体３の一端に固定されてディス
ク１７の外周縁に当接される一つ以上の本体駒２と、円
筒状本体３内を摺動自在に設けられたプランジャー５
と、プランジャー５の一端に嵌着された軸４と、軸４の
一端に取付けられてディスク１７の中心穴１８の周縁に
押圧される先端駒１とを備えたディスクの挟持具であっ
て、ディスク１７の径に応じて先端駒１を軸４上に位置
決めする駐止手段７と、軸４の回動を防止するように、
プランジャー５の他端に螺着される回動防止手段８を付
設している。
クの歪や傷の発生を防止する。 【解決手段】 円筒状本体３の一端に固定されてディス
ク１７の外周縁に当接される一つ以上の本体駒２と、円
筒状本体３内を摺動自在に設けられたプランジャー５
と、プランジャー５の一端に嵌着された軸４と、軸４の
一端に取付けられてディスク１７の中心穴１８の周縁に
押圧される先端駒１とを備えたディスクの挟持具であっ
て、ディスク１７の径に応じて先端駒１を軸４上に位置
決めする駐止手段７と、軸４の回動を防止するように、
プランジャー５の他端に螺着される回動防止手段８を付
設している。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、中心穴を有するデ
イスクに係り、特に磁気や光学的な媒体により情報を記
録させた超精密な磁気ディスクを検査や移動のために挟
持するディスクの挟持具に関する。
イスクに係り、特に磁気や光学的な媒体により情報を記
録させた超精密な磁気ディスクを検査や移動のために挟
持するディスクの挟持具に関する。
【０００２】
【従来の技術】磁気や光学的な媒体により情報を記録さ
せた超精密なディスクは、中心穴の開口部を中心に回転
されながら、ディスク表面に記録された媒体を走査ヘッ
ドで読み取られる。このディスク表面と走査ヘッドとの
間隔は、近年の高記録密度化によって数ミクロンからさ
らに狭まってきている。すなわち、ディスク表面の平坦
度や凹凸は僅かな存在も許容されず、しかも機種の多様
化から各種径寸法のディスクが製造されている。したが
って、ディスクの製造に際しては、各工程後又は最終工
程後にディスクを挟持してその表面の平坦度や凹凸の検
査が行われるが、この検査はディスクに僅かなストレス
も及ぼすことが許されない。
せた超精密なディスクは、中心穴の開口部を中心に回転
されながら、ディスク表面に記録された媒体を走査ヘッ
ドで読み取られる。このディスク表面と走査ヘッドとの
間隔は、近年の高記録密度化によって数ミクロンからさ
らに狭まってきている。すなわち、ディスク表面の平坦
度や凹凸は僅かな存在も許容されず、しかも機種の多様
化から各種径寸法のディスクが製造されている。したが
って、ディスクの製造に際しては、各工程後又は最終工
程後にディスクを挟持してその表面の平坦度や凹凸の検
査が行われるが、この検査はディスクに僅かなストレス
も及ぼすことが許されない。
【０００３】従来のディスクの挟持具においては、以上
のようなことから、検査治具が考案されており、実開昭
６４−３７９７１号公報には、図３に示すように、軸
（円筒状本体）２３の一端に固定されてディスク１７の
外周縁に当接される一つ以上のＶ字溝部品（本体駒）２
２と、軸２３内を摺動自在に設けられた軸（プランジャ
ー）２５と、軸２５の一端に嵌着された軸２４と、軸２
４の一端に取付けられてディスク１７の中心穴の周縁に
押圧されるＶ字溝部品（先端駒）２１と、軸２３内に収
納され軸２５の押動によりＶ字溝部品２１をＶ字溝部品
２２側に付勢するバネ２６とを備えたハンドリング治具
が開示されている。
のようなことから、検査治具が考案されており、実開昭
６４−３７９７１号公報には、図３に示すように、軸
（円筒状本体）２３の一端に固定されてディスク１７の
外周縁に当接される一つ以上のＶ字溝部品（本体駒）２
２と、軸２３内を摺動自在に設けられた軸（プランジャ
ー）２５と、軸２５の一端に嵌着された軸２４と、軸２
４の一端に取付けられてディスク１７の中心穴の周縁に
押圧されるＶ字溝部品（先端駒）２１と、軸２３内に収
納され軸２５の押動によりＶ字溝部品２１をＶ字溝部品
２２側に付勢するバネ２６とを備えたハンドリング治具
が開示されている。
【０００４】また、実開平３−１０６５１８号公報に
は、ディスクの中心開口端を挾み把持する一つのＶ字型
の溝を有するローラと、ディスクの外周端を挾み把持す
る二つのＶ字型の溝を有するローラとを把持部品で連結
した把持部品が開示されている。
は、ディスクの中心開口端を挾み把持する一つのＶ字型
の溝を有するローラと、ディスクの外周端を挾み把持す
る二つのＶ字型の溝を有するローラとを把持部品で連結
した把持部品が開示されている。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】前者の治具にあって
は、軸の先端に取付けられている先端駒が固定式で各種
径寸法のディスクに対応できない。また軸が回動する恐
れがあり、そのままでディスクを挟持した場合は、ディ
スクに歪又は傷をつける恐れがある。また後者の治具に
あっては、ローラが把持部品に固定されていて各種径寸
法のディスクに対応できない。また把持部品が回動する
恐れがある。
は、軸の先端に取付けられている先端駒が固定式で各種
径寸法のディスクに対応できない。また軸が回動する恐
れがあり、そのままでディスクを挟持した場合は、ディ
スクに歪又は傷をつける恐れがある。また後者の治具に
あっては、ローラが把持部品に固定されていて各種径寸
法のディスクに対応できない。また把持部品が回動する
恐れがある。
【０００６】本発明の目的は、各種径のディスクに対応
でき、しかも歪や傷をつけることのないディスクの挟持
具を提供することにある。
でき、しかも歪や傷をつけることのないディスクの挟持
具を提供することにある。
【０００７】
【課題を解決するための手段】前記の目的を達成するた
め、本発明に係るディスクの挟持具は、円筒状本体の一
端に固定されてディスクの外周縁に当接される少なくと
も一つの本体駒と、円筒状本体内を摺動するプランジャ
ーと、プランジャーの一端に嵌着された軸と、軸の一端
に取付けられてディスクの中心穴の周縁に押圧される先
端駒と、円筒状本体に収納されプランジャーの押動によ
り先端駒をそれぞれの本体駒側に付勢させる弾性体とを
備えたディスクの挟持具において、ディスクの径に応じ
て先端駒を軸上に位置決めする駐止手段と、軸の回動防
止手段とを具備した構成とする。そして中心穴を有する
ディスクの外周縁に当接される少なくとも一つの本体駒
と、プランジャーに嵌着された軸の先端に取付けられ中
心穴の周縁に押圧される先端駒とを備えたディスクの挟
持具において、先端駒は、ディスクの径に応じて駐止手
段により軸上に位置決めされ、かつ回動防止手段を付設
している構成でもよい。また駐止手段は、軸に挿通され
た先端駒に螺着されて軸に当接するセットネジであり、
回動防止手段は、プランジャーの他端に螺着されかつ軸
方向に摺動案内されるシャフトセットネジである構成で
もよい。さらにディスクは、磁気ディスクである構成で
もよい。
め、本発明に係るディスクの挟持具は、円筒状本体の一
端に固定されてディスクの外周縁に当接される少なくと
も一つの本体駒と、円筒状本体内を摺動するプランジャ
ーと、プランジャーの一端に嵌着された軸と、軸の一端
に取付けられてディスクの中心穴の周縁に押圧される先
端駒と、円筒状本体に収納されプランジャーの押動によ
り先端駒をそれぞれの本体駒側に付勢させる弾性体とを
備えたディスクの挟持具において、ディスクの径に応じ
て先端駒を軸上に位置決めする駐止手段と、軸の回動防
止手段とを具備した構成とする。そして中心穴を有する
ディスクの外周縁に当接される少なくとも一つの本体駒
と、プランジャーに嵌着された軸の先端に取付けられ中
心穴の周縁に押圧される先端駒とを備えたディスクの挟
持具において、先端駒は、ディスクの径に応じて駐止手
段により軸上に位置決めされ、かつ回動防止手段を付設
している構成でもよい。また駐止手段は、軸に挿通され
た先端駒に螺着されて軸に当接するセットネジであり、
回動防止手段は、プランジャーの他端に螺着されかつ軸
方向に摺動案内されるシャフトセットネジである構成で
もよい。さらにディスクは、磁気ディスクである構成で
もよい。
【０００８】本発明によれば、ディスクの径に応じて軸
の一端に先端駒が駐止手段により位置決めされ、かつ軸
が回動防止手段により回動が防止され、各種径のディス
クの挟持が可能になるとともに、先端駒の回動が防止さ
れてディスクの歪や傷の発生が防止される。
の一端に先端駒が駐止手段により位置決めされ、かつ軸
が回動防止手段により回動が防止され、各種径のディス
クの挟持が可能になるとともに、先端駒の回動が防止さ
れてディスクの歪や傷の発生が防止される。
【０００９】
【発明の実施の形態】本発明の一実施例を図１及び図２
を参照しながら説明する。図１及び図２に示すように、
円筒状本体３の一端にネジにより螺着された台形状のア
ーム１１と、アーム１１に取付けネジ１３で固定されて
ディスク１７の外周縁に当接される一つ以上の本体駒２
と、円筒状本体３内を摺動自在に設けられたプランジャ
ー５と、プランジャー５に嵌着されてプランジャー５と
もに連動する軸４と、軸４の一端に取付けられてディス
ク１７の中心穴１８の周縁に押圧される先端駒１と、円
筒状本体３に収納されプランジャー５の押動により先端
駒１をそれぞれの本体駒２側に付勢させる弾性体（チャ
ックバネ）６とを備えたディスクの挟持具であって、デ
ィスク１７の径に応じて先端駒１を軸４上に位置決めす
る駐止手段７と、ディスク面に対して時計方向又は反時
計方向の軸４の回動を防止するように、プランジャー５
の他端に螺着される回動防止手段８を付設している構成
とする。
を参照しながら説明する。図１及び図２に示すように、
円筒状本体３の一端にネジにより螺着された台形状のア
ーム１１と、アーム１１に取付けネジ１３で固定されて
ディスク１７の外周縁に当接される一つ以上の本体駒２
と、円筒状本体３内を摺動自在に設けられたプランジャ
ー５と、プランジャー５に嵌着されてプランジャー５と
もに連動する軸４と、軸４の一端に取付けられてディス
ク１７の中心穴１８の周縁に押圧される先端駒１と、円
筒状本体３に収納されプランジャー５の押動により先端
駒１をそれぞれの本体駒２側に付勢させる弾性体（チャ
ックバネ）６とを備えたディスクの挟持具であって、デ
ィスク１７の径に応じて先端駒１を軸４上に位置決めす
る駐止手段７と、ディスク面に対して時計方向又は反時
計方向の軸４の回動を防止するように、プランジャー５
の他端に螺着される回動防止手段８を付設している構成
とする。
【００１０】そして駐止手段は、軸４に挿通された先端
駒１に螺着され、かつ軸４の表面に当接して先端駒１を
駐止するセットネジ７であり、回動防止手段は、プラン
ジャー５の他端に螺着されかつ円筒状本体３の他端に穿
設された長穴１０により軸方向に摺動案内されるシャフ
トセットネジ８である。
駒１に螺着され、かつ軸４の表面に当接して先端駒１を
駐止するセットネジ７であり、回動防止手段は、プラン
ジャー５の他端に螺着されかつ円筒状本体３の他端に穿
設された長穴１０により軸方向に摺動案内されるシャフ
トセットネジ８である。
【００１１】すなわち、円筒状本体３は、一端側（図右
側）に軸４を摺動自在に挿通する所定長さの軸穴が穿設
され、かつ一端側上面にアーム１１をネジ１４で螺着可
能な平面が加工されており、この平面にアーム１１を螺
着したのちその両端に各１個の本体駒２が取付けネジ１
３で取付けられる。軸穴の他端側にはプランジャー５を
摺動自在に挿通する内穴が形成されており、軸方向ほぼ
中央の外周に、指かけ固定用又は反転台等に固定用の部
材１２が取付けられている。また他端には各種径のディ
スク１７に対応して先端駒１を駐止した軸４を、回動を
防止しながら一端側に摺動案内できるように、所定長さ
でシャフトセットネジ８が挿通可能な幅を有する長穴１
０が穿設されている。
側）に軸４を摺動自在に挿通する所定長さの軸穴が穿設
され、かつ一端側上面にアーム１１をネジ１４で螺着可
能な平面が加工されており、この平面にアーム１１を螺
着したのちその両端に各１個の本体駒２が取付けネジ１
３で取付けられる。軸穴の他端側にはプランジャー５を
摺動自在に挿通する内穴が形成されており、軸方向ほぼ
中央の外周に、指かけ固定用又は反転台等に固定用の部
材１２が取付けられている。また他端には各種径のディ
スク１７に対応して先端駒１を駐止した軸４を、回動を
防止しながら一端側に摺動案内できるように、所定長さ
でシャフトセットネジ８が挿通可能な幅を有する長穴１
０が穿設されている。
【００１２】プランジャー５は、他端に手動又は図示し
ない押動機構により押動されるフランジ９が設けられ、
一端側の中心軸方向に小径の軸４が嵌着されている。そ
して一端面と円筒状本体３の内穴底面との間に所定のバ
ネ定数を有するチャックバネ６を収納したのち、フラン
ジ９が長穴１０の長さ以上、円筒状本体３の他端面より
突出するようになっている。またチャックバネ６を収納
した状態で長穴１０の他端からシャフトセットネジ８を
螺着可能なように、ネジ穴が加工されている。なお中心
軸方向に軸４を着脱自在に挿着する場合は、シャフトセ
ットネジ８を軸４の外表面に当接するように螺着するこ
とにより、軸４の回動を防止できることになり、かつ軸
４をディスク１７の径に応じて長さの異なるものと交換
できる利点がある。
ない押動機構により押動されるフランジ９が設けられ、
一端側の中心軸方向に小径の軸４が嵌着されている。そ
して一端面と円筒状本体３の内穴底面との間に所定のバ
ネ定数を有するチャックバネ６を収納したのち、フラン
ジ９が長穴１０の長さ以上、円筒状本体３の他端面より
突出するようになっている。またチャックバネ６を収納
した状態で長穴１０の他端からシャフトセットネジ８を
螺着可能なように、ネジ穴が加工されている。なお中心
軸方向に軸４を着脱自在に挿着する場合は、シャフトセ
ットネジ８を軸４の外表面に当接するように螺着するこ
とにより、軸４の回動を防止できることになり、かつ軸
４をディスク１７の径に応じて長さの異なるものと交換
できる利点がある。
【００１３】軸４は、プランジャー５の一端側に嵌着さ
れ、各種径のディスク１７に対応するような長さを有
し、プランジャー５により一端側への押動される。一端
に先端駒１を挿通したのち、先端駒１のほぼ中心にセッ
トネジ７を軸４の表面に当接するまで螺着することによ
って先端駒１が駐止される。先端駒１は、軸４とともに
一端側に押動されたのち少し他端側に戻ってディスク１
７の中心穴１８の周縁に押圧されるため、ディスク１７
の径が異なるごとに位置決めする必要はなく、ある範囲
で径寸法が異なるごとに位置決めすればよい。先端駒１
及び本体駒２のディスク１７の周縁と当接する部分は、
上，下方向から円錐状に加工して凹部が形成され、ディ
スク１７と点接触するようになっており、各部材は軸、
チャックバネ及びネジ類を除き合成樹脂等により形成さ
れ、軽量化されている。
れ、各種径のディスク１７に対応するような長さを有
し、プランジャー５により一端側への押動される。一端
に先端駒１を挿通したのち、先端駒１のほぼ中心にセッ
トネジ７を軸４の表面に当接するまで螺着することによ
って先端駒１が駐止される。先端駒１は、軸４とともに
一端側に押動されたのち少し他端側に戻ってディスク１
７の中心穴１８の周縁に押圧されるため、ディスク１７
の径が異なるごとに位置決めする必要はなく、ある範囲
で径寸法が異なるごとに位置決めすればよい。先端駒１
及び本体駒２のディスク１７の周縁と当接する部分は、
上，下方向から円錐状に加工して凹部が形成され、ディ
スク１７と点接触するようになっており、各部材は軸、
チャックバネ及びネジ類を除き合成樹脂等により形成さ
れ、軽量化されている。
【００１４】次に本実施例の動作を説明する。まず円筒
状本体３が部材１２により固定される。そしてディスク
１７の径に応じて軸４の一端に先端駒１を挿通し、セッ
トネジ７の螺着により軸４上に先端駒１が位置決めされ
る。そしてプランジャー５の他端にシャフトセットネジ
８が螺着されると、シャフトセットネジ８の先端が円筒
状本体３の長穴１０に挿入されるようになる。本体駒２
がディスク１７の外周縁に当接されると、手動又は押動
機構によりプランジャー５のフランジ９が一端側に押動
される。するとチャックバネ６がプランジャー５の一端
面により圧縮され、その反力により軸４が他端側に戻り
ながら先端駒２がディスク１７の中心孔１８の周縁に押
圧される。この際、シャフトセットネジ８の先端が円筒
状本体３の長穴１０の軸方向に摺動案内されるため軸４
の回動が防止されることになり、必然的に先端駒１のデ
ィスク面に対する時計方向又は反時計方向の回動も防止
される。このようにしてディスク１７が本体駒２と先端
駒１との間に挟持されるが、この状態でディスクの一方
の面の検査が行われ、ついで反転されて他方の面の検査
が行われる。
状本体３が部材１２により固定される。そしてディスク
１７の径に応じて軸４の一端に先端駒１を挿通し、セッ
トネジ７の螺着により軸４上に先端駒１が位置決めされ
る。そしてプランジャー５の他端にシャフトセットネジ
８が螺着されると、シャフトセットネジ８の先端が円筒
状本体３の長穴１０に挿入されるようになる。本体駒２
がディスク１７の外周縁に当接されると、手動又は押動
機構によりプランジャー５のフランジ９が一端側に押動
される。するとチャックバネ６がプランジャー５の一端
面により圧縮され、その反力により軸４が他端側に戻り
ながら先端駒２がディスク１７の中心孔１８の周縁に押
圧される。この際、シャフトセットネジ８の先端が円筒
状本体３の長穴１０の軸方向に摺動案内されるため軸４
の回動が防止されることになり、必然的に先端駒１のデ
ィスク面に対する時計方向又は反時計方向の回動も防止
される。このようにしてディスク１７が本体駒２と先端
駒１との間に挟持されるが、この状態でディスクの一方
の面の検査が行われ、ついで反転されて他方の面の検査
が行われる。
【００１５】本実施例によれば、予めディスクの径に対
応して先端駒を駐止手段により軸の一端に位置決めする
ため、簡単な機構で各種径のディスクに手を触れずに容
易に挟持できるようになり、また軸の他端が回動防止手
段により回動が防止されるため、先端駒のディスク面に
対する回動も防止されてディスクの歪や傷の発生が防止
され、検査時間の短縮と検査精度の向上とが図られてデ
ィスクの品質がよくなる。
応して先端駒を駐止手段により軸の一端に位置決めする
ため、簡単な機構で各種径のディスクに手を触れずに容
易に挟持できるようになり、また軸の他端が回動防止手
段により回動が防止されるため、先端駒のディスク面に
対する回動も防止されてディスクの歪や傷の発生が防止
され、検査時間の短縮と検査精度の向上とが図られてデ
ィスクの品質がよくなる。
【００１６】
【発明の効果】本発明によれば、先端駒が軸上に位置決
めされかつ軸の回動が防止されるため、各種径のディス
クに対応できるとともに、ディスクの歪や傷の発生を防
止できる。また簡単な機構で各種径のディスクを挟持で
きるようになり、検査時間の短縮と検査精度の向上とが
図られてディスクの品質がよくなる効果がある。
めされかつ軸の回動が防止されるため、各種径のディス
クに対応できるとともに、ディスクの歪や傷の発生を防
止できる。また簡単な機構で各種径のディスクを挟持で
きるようになり、検査時間の短縮と検査精度の向上とが
図られてディスクの品質がよくなる効果がある。
【図１】本発明の一実施例を示す平面図である。
【図２】図１の側面図である。
【図３】従来の技術を示す図である。
１ 先端駒 ２ 本体駒 ３ 円筒状本体 ４ 軸 ５ プランジャー ６ チャックバネ ７ セットネジ ８ シャフトセットネジ １０ 長穴 １７ ディスク １８ 中心穴
Claims (4)
- 【請求項１】 円筒状本体の一端に固定されてディスク
の外周縁に当接される少なくとも一つの本体駒と、前記
円筒状本体内を摺動するプランジャーと、該プランジャ
ーの一端に嵌着された軸と、該軸の一端に取付けられて
前記ディスクの中心穴の周縁に押圧される先端駒と、前
記円筒状本体に収納され前記プランジャーの押動により
前記先端駒をそれぞれの本体駒側に付勢させる弾性体と
を備えたディスクの挟持具において、前記ディスクの径
に応じて前記先端駒を前記軸上に位置決めする駐止手段
と、前記軸の回動防止手段とを具備したことを特徴とす
るディスクの挟持具。 - 【請求項２】 中心穴を有するディスクの外周縁に当接
される少なくとも一つの本体駒と、プランジャーに嵌着
された軸の先端に取付けられ前記中心穴の周縁に押圧さ
れる先端駒とを備えたディスクの挟持具において、前記
先端駒は、前記ディスクの径に応じて駐止手段により前
記軸上に位置決めされ、かつ回動防止手段を付設してい
ることを特徴とするディスクの挟持具。 - 【請求項３】 駐止手段は、軸に挿通された先端駒に螺
着されて該軸に当接するセットネジであり、回動防止手
段は、プランジャーの他端に螺着されかつ軸方向に摺動
案内されるシャフトセットネジであることを特徴とする
請求項１又は２記載のディスクの挟持具。 - 【請求項４】 ディスクは、磁気ディスクであることを
特徴とする請求項１、２又は３記載のディスクの挟持
具。
Priority Applications (4)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8136477A JPH09320226A (ja) | 1996-05-30 | 1996-05-30 | ディスクの挟持具 |
| US08/862,535 US5936931A (en) | 1996-05-30 | 1997-05-23 | Disc clamping device |
| TW086106981A TW371754B (en) | 1996-05-30 | 1997-05-23 | Disc clamping device |
| SG1997001749A SG54504A1 (en) | 1996-05-30 | 1997-05-28 | Disc clamping device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8136477A JPH09320226A (ja) | 1996-05-30 | 1996-05-30 | ディスクの挟持具 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09320226A true JPH09320226A (ja) | 1997-12-12 |
Family
ID=15176055
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8136477A Pending JPH09320226A (ja) | 1996-05-30 | 1996-05-30 | ディスクの挟持具 |
Country Status (4)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US5936931A (ja) |
| JP (1) | JPH09320226A (ja) |
| SG (1) | SG54504A1 (ja) |
| TW (1) | TW371754B (ja) |
Families Citing this family (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP4871910B2 (ja) * | 2007-05-16 | 2012-02-08 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | ディスクチャック機構およびディスクハンドリングロボット |
| US9070730B2 (en) * | 2011-10-07 | 2015-06-30 | Varian Semiconductor Equipment Associates, Inc. | Method and apparatus for removing a vertically-oriented substrate from a cassette |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH03106518A (ja) * | 1989-09-20 | 1991-05-07 | Hitachi Ltd | エレベータ補強部材の打抜き方法 |
| FR2672834B1 (fr) * | 1991-02-18 | 1993-05-21 | Essilor Int | Organe de serrage et de prehension. |
-
1996
- 1996-05-30 JP JP8136477A patent/JPH09320226A/ja active Pending
-
1997
- 1997-05-23 TW TW086106981A patent/TW371754B/zh active
- 1997-05-23 US US08/862,535 patent/US5936931A/en not_active Expired - Fee Related
- 1997-05-28 SG SG1997001749A patent/SG54504A1/en unknown
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| TW371754B (en) | 1999-10-11 |
| US5936931A (en) | 1999-08-10 |
| SG54504A1 (en) | 1998-11-16 |
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