JPH09308976A - スキャニング式レーザマーキング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 電源投入直後のガルバノメータの不定な動作
を防止し、スキャン・ミラーの衝突による破損を防ぐ。 【解決手段】 電源投入開始時点から電源電圧ＶB が正
常動作保証電圧下限値［Ｖ1 ］に達する時点までの期間
中は、各演算増幅器４０，４２，４８，５２が不安定か
つ不定な状態にあり、演算増幅器５２の出力電圧ＥＳは
不定の値をとる。しかし、この動作不定期間中、リレー
スイッチ５８がオフ状態に保持されているため、演算増
幅器５２の出力端子は駆動コイル６０と遮断されてお
り、駆動コイル６０に不所望な駆動電流ｉd が流れず、
Ｘ軸スキャン・ミラー２４は静止したままでいる。電源
電圧ＶB の電圧レベルが正常動作保証電圧下限値［Ｖ1
］よりも高い監視値［Ｖ2 ］を越えると、ツェナー・
ダイオード６４が導通してトランジスタ６８がオンし、
リレースイッチ５８がオン（導通）状態に切り替わる。
これにより、演算増幅器５２の出力端子がリレースイッ
チ５８を介して駆動コイル６０に接続され、Ｘ軸ガルバ
ノメータ２６は動作可能状態となる。

Description

【発明の詳細な説明】

【００１０】

【発明の属する技術分野】本発明は、被加工物の表面上
でレーザ光のビームスポットをスキャンしながら所望の
パターンをマーキングするスキャニング式のレーザマー
キング装置に関する。

【００２０】

【従来の技術】一般に、スキャニング式のレーザマーキ
ング装置は、レーザ光を発振出力するレーザ発振部と、
このレーザ発振部からのレーザ光をスキャン（走査）し
ながら被加工物に向けて集光照射するレーザ出射部と、
レーザ発振部およびレーザ出射部の各々の動作（レーザ
発振動作、スキャニング動作）を制御する制御部とを備
えている。

【００３０】レーザ出射部には、Ｘ軸スキャン・ミラ
ー、Ｙ軸スキャン・ミラー、Ｘ軸ガルバノメータ、Ｙ軸
ガルバノメータおよび集光レンズ等が設けられる。レー
ザ発振部から来たレーザ光は、先ず一方のミラーたとえ
ばＸ軸スキャン・ミラーに入射して、そこで全反射して
から他方のミラー（Ｙ軸スキャン・ミラー）に入射し、
このミラーで全反射してのち集光レンズを通って被加工
物の所定の表面（マーキング面）に集光照射する。

【００４０】マーキング面上のレーザビームスポットの
位置は、Ｘ方向ではＸ軸スキャン・ミラーの振れ角によ
ってきまり、Ｙ方向ではＹ軸スキャン・ミラーの振れ角
によってきまる。Ｘ軸スキャン・ミラーはＸ軸ガルバノ
メータの駆動でそのミラー回転軸を中心に左右の首振り
（回転）を行い、Ｙ軸スキャン・ミラーはＹ軸ガルバノ
メータの駆動でそのミラー回転軸を中心に左右の首振り
（回転）を行う。Ｘ軸およびＹ軸ガルバノメータには、
制御部より両ミラーを振る角度を指示するスキャニング
制御信号が与えられる。

【００５０】したがって、レーザ発振部からのレーザ光
が所定のタイミングで入ってくる度に、それと同期して
Ｘ軸およびＹ軸ガルバノメータがそれぞれＸ軸およびＹ
軸スキャン・ミラーを指示された角度に振ることによ
り、被加工物のマーキング面上の所望の位置にレーザ光
のビームスポットが集光照射される。そうすると、レー
ザ光の照射した位置付近では被加工物の表面がレーザエ
ネルギーにより局所的に加熱されて蒸発する。この蒸発
部分が所望のパターンを描くようにレーザビームスポッ
トをスキャンすると、被加工物のマーキング面に該描画
パターン（文字、記号、図形等）がマーキング（刻印）
される。

【００６０】

【発明が解決しようとする課題】上記のようなＸ軸およ
びＹ軸ガルバノメータの各筐体内には、回転子と固定子
が設けられ、回転子はミラーに一体に結合される。回転
子には可動鉄片型、可動マグネット型、可動コイル型等
がある。可動鉄片型や可動マグネット型では、固定子側
に駆動コイルが取り付けられ、可動コイル型では可動コ
イル自体が駆動コイルとなる。スキャニング制御信号に
応じた駆動電流を駆動コイルに供給することで、スキャ
ニング制御信号で指定する振れ角に回転子とこれに一体
結合されたスキャン・ミラーを回転振動（首振り）させ
るようにしている。

【００７０】ところが、従来のこの種レーザマーキング
装置では、電源投入直後の立ち上げ時に、未だ制御部よ
りスキャニング制御信号がレーザ出射部に与えられてい
ない状況の下で、両ガルバノメータが不所望かつ不定な
動作を行い、Ｘ軸およびＹ軸スキャン・ミラーが互いに
衝突して破損するおそれがあった。また、互いに衝突し
ないまでも、各々のスキャン・ミラーが不定なタイミン
グで不定な角度に振れることで、ガルバノメータの故障
の原因になることがあった。

【００８０】本発明は、かかる問題点に鑑みてなされた
もので、電源投入直後のガルバノメータの不定な動作を
防止し、スキャン・ミラー同士の衝突による破損等を防
ぎ、安全に動作するスキャニング式レーザマーキング装
置を提供することを目的とする。

【００９０】

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、本発明のうち請求項１に記載の発明は、所定の位
置で所定の向きに配置したスキャン・ミラーを介してレ
ーザ発振部からのレーザ光を被加工物のマーキング面に
照射し、制御部からのスキャニング制御信号に応じたガ
ルバノメータの駆動により前記スキャン・ミラーを振ら
せて、前記被加工物のマーキング面上で前記レーザ光の
ビームスポットをスキャンして所望の文字、記号または
図形をマーキングするようにしたスキャニング式レーザ
マーキング装置において、前記ガルバノメータに供給さ
れる電源電圧の電圧レベルが所定の監視値より低いか高
いかを監視する電圧監視手段と、前記電圧監視手段の監
視結果に基づいて、前記電源電圧の電圧レベルが前記監
視値よりも低い間は前記ガルバノメータの動作を禁止状
態とし、前記電源電圧の電圧レベルが前記監視値よりも
高い時に前記ガルバノメータを動作可能状態とするガル
バノメータ動作制御手段とを具備することを特徴とす
る。

【０１００】また、請求項２に記載の発明は、請求項１
に記載のスキャニング式レーザマーキング装置におい
て、前記ガルバノメータ動作制御手段が、前記スキャン
・ミラーを駆動するための前記ガルバノメータ内の駆動
コイルと前記駆動コイルに駆動電流を供給するためのガ
ルバノメータ駆動回路の出力端子との間に接続されたス
イッチ手段を含むことを特徴とする。

【０１１０】また、請求項３に記載の発明は、請求項２
に記載のスキャニング式レーザマーキング装置におい
て、前記監視値を前記ガルバノメータ駆動回路の正常動
作保証電圧下限値と前記電源電圧の定常値との間の値に
選ぶことを特徴とする。

【０１２０】また、請求項４に記載の発明は、請求項１
〜３のいずれかに記載のスキャニング式レーザマーキン
グ装置において、前記スキャン・ミラーが互いに直交す
る軸で回転するＸ軸スキャン・ミラーおよびＹ軸スキャ
ン・ミラーを含み、前記ガルバノメータが前記Ｘ軸スキ
ャン・ミラーおよび前記Ｙ軸スキャン・ミラーをそれぞ
れ駆動するためのＸ軸ガルバノメータおよびＹ軸ガルバ
ノメータを含むことを特徴とする。

【０１３０】

【発明の実施の形態】以下、添付図を参照して本発明の
一実施例を説明する。

【０１４０】図１に、この実施例によるスキャニング式
ＹＡＧレーザマーキング装置の外観を示す。このＹＡＧ
レーザマーキング装置は、制御ユニット１０とレーザ発
振ユニット１２とスキャニングユニット（レーザ出射
部）２０とを有する。

【０１５０】制御ユニット１０において、上部室１３に
は制御用ディスプレイが設けられ、中間室（前扉１４の
奥）にはスキャニング制御回路等を実装した制御基板が
設けられ、下部室（前扉１６の奥）にはレーザ電源回路
やレーザ冷却装置等が内蔵されている。一方、中間室内
の制御基板上のスキャニング制御回路より発生されたス
キャニング制御信号は所定の信号線（図示せず）を介し
てスキャニングユニット２０へ伝送される。

【０１６０】スキャニングユニット２０は、レーザ発振
ユニット１２の出射口に取り付けられている。ユニット
２０の筐体内には、レーザ発振ユニット１２からのレー
ザ光を作業台１８上のマーキング加工点（つまり被加工
物Ｗのマーキング加工面）に向ける光学的スキャニング
機構と、制御ユニット１０より信号線を介して伝送され
てきたスキャニング制御信号に応じて該光学的スキャニ
ング機構を駆動するスキャニング駆動部が内蔵されてい
る。

【０１７０】図２に、スキャニングユニット２０内の光
学的スキャニング機構の構成例を示す。この光学的スキ
ャニング機構は、互いに直交する回転軸２２ａ，２４ａ
に取り付けられたＸ軸スキャン・ミラー２２およびＹ軸
スキャン・ミラー２４と、両ミラー２２，２４をそれぞ
れ回転振動（首振り）させるＸ軸ガルバノメータ２６お
よびＹ軸ガルバノメータ２８を有している。

【０１８０】スキャニングユニット２０内に入って来た
レーザ発振ユニット１２からのマーキング用のレーザ光
ＬＡは、先ずＸ軸スキャン・ミラー２２に入射して、そ
こで全反射してからＹ軸スキャン・ミラー２４に入射
し、このミラー２４で全反射してのちｆθレンズ３０を
通って被加工物Ｗのマーキング加工面に集光照射する。
マーキング面上のレーザスポットＳＰの位置は、Ｘ方向
においてはＸ軸スキャン・ミラー２２の振れ角によって
決まり、Ｙ方向においてはＹ軸スキャン・ミラー２４の
振れ角によって決まる。

【０１９０】Ｘ軸スキャン・ミラー２２はＸ軸ガルバノ
メータ２６の駆動で矢印Ａ，Ａ’方向に回転振動（首振
り）し、Ｙ軸スキャン・ミラー２４はＹ軸ガルバノメー
タ２８の駆動で矢印Ｂ，Ｂ’方向に回転振動（首振り）
するようになっている。

【０２００】Ｘ軸ガルバノメータ２６には、Ｘ軸スキャ
ン・ミラー２２に結合された可動鉄片（回転子）と、こ
の可動鉄片に接続された制御バネと、固定子に取り付け
られた駆動コイルとが内蔵されている。後述するＸ軸ガ
ルバノメータ駆動回路よりＸ方向スキャニング制御信号
に応じた駆動電流が電気ケーブル３２を介してＸ軸ガル
バノメータ２６内の該駆動コイルに供給されることで、
該可動鉄片（回転子）が該制御バネに抗してＸ軸スキャ
ン・ミラー２２と一体にＸ方向スキャニング制御信号の
指定する角度に振れるようになっている。

【０２１０】Ｙ軸ガルバノメータ２８も同様の構成を有
しており、Ｙ軸ガルバノメータ駆動回路よりＹ方向スキ
ャニング制御信号に応じた駆動電流が電気ケーブル３４
を介してＹ軸ガルバノメータ２８内の駆動コイルに供給
されることで、Ｙ軸ガルバノメータ２８内の可動鉄片
（回転子）がＹ軸スキャン・ミラー２４と一体にＹ方向
スキャニング制御信号の指定する角度に振れるようにな
っている。

【０２２０】したがって、レーザ発振ユニット１２から
のレーザ光ＬＡがスキャニングユニット２０内に所定の
タイミングで入ってくる度に、それと同期して両ガルバ
ノメータ２６，２８がＸ方向およびＹ方向スキャニング
制御信号に応じてＸ軸スキャン・ミラー２２およびＹ軸
スキャン・ミラー２４をそれぞれ所定の角度で振ること
により、レーザ光ＬＡのビームスポットＳＰがスキャニ
ングされ、被加工物Ｗのマーキング加工面に所望のパタ
ーン（文字、記号、図形等）がマーキングされる。

【０２３０】両ミラー２２，２４は互いに近接して配置
されているが、各々がスキャニング制御信号によって振
れ角を所定の限度内に制限されるため、正常に動作して
いる限り、互いに干渉または衝突することはない。

【０２４０】図３に、Ｘ軸ガルバノメータ２６内の駆動
コイルに駆動電流を供給するためのＸ軸ガルバノメータ
駆動回路の構成例を示す。図４に、このＸ軸ガルバノメ
ータ駆動回路の作用を説明するための各部のタイミング
を示す。このＸ軸ガルバノメータ駆動回路はスキャニン
グユニット２０内の回路基板に設けられている。

【０２５０】図３において、演算増幅器４０の入力端子
には、Ｘ軸スキャン・ミラー２２の振れ角を指示する制
御ユニット１０からのＸ方向スキャニング制御信号ＡＳ
X が基準信号として入力される。一方、演算増幅器４２
の入力端子には、Ｘ軸スキャン・ミラー２２の現在位置
（振れ角）を表すＸ軸ガルバノメータ２６内の位置セン
サ（図示せず）からのセンサ出力信号ＰＳX がフィード
バック信号として入力される。これらの演算増幅器４
０，４２は、増幅率１の電圧フォロアとして動作する。

【０２６０】演算増幅器４０の出力端子は抵抗４４を介
して演算増幅器４８の非反転入力端子に接続され、演算
増幅器４２の出力端子は抵抗４６を介して演算増幅器４
８の反転入力端子に接続されている。演算増幅器４８の
反転入力端子と出力端子との間には帰還抵抗４９が接続
され、演算増幅器４８の非反転入力端子とアース電位と
の間には抵抗４５が接続されており、演算増幅器４８は
差動増幅回路として動作する。

【０２７０】演算増幅器４８の出力端子は、抵抗５０を
介して演算増幅器５２の非反転入力端子に接続されてい
る。演算増幅器５２の反転入力端子は、バイアス抵抗５
４を介してアース電位に接続されるとともに帰還抵抗５
６を介して出力端子に接続されており、演算増幅器５２
は両抵抗５４，５６の抵抗率で規定される所定の増幅率
を有する非反転増幅回路として動作する。

【０２８０】演算増幅器５２の出力端子は、リレースイ
ッチ５８および電気ケーブル３２を介してＸ軸ガルバノ
メータ２６内の駆動コイル６０に電気的に接続されてい
る。

【０２９０】演算増幅器４０，４２，４８，５２の各々
には、制御ユニット１０内の電源回路より直流の電源電
圧ＶB が供給される。

【０３００】リレースイッチ５８は、電源電圧監視回路
の監視結果にしたがってオン／オフ状態を切り替えるよ
うになっている。本実施例においては、電源電圧監視回
路がツェナー・ダイオード６４、抵抗６６およびＮＰＮ
トランジスタ６８から構成され、Ｘ軸ガルバノメータ動
作制御回路がトランジスタ６８、リレーコイル５８ａお
よび還流ダイオード７０から構成されている。

【０３１０】上記直流電源電圧ＶB の電圧供給端子はツ
ェナー・ダイオード６４および抵抗６６を介してＮＰＮ
トランジスタ６８のベース端子に接続され、トランジス
タ６８のコレクタ端子はリレースイッチ５８のリレーコ
イル５８ａを介して電源電圧ＶB の電圧供給端子に接続
され、トランジスタ６８のエミッタ端子はアース電位に
接続されている。そして、電源電圧ＶB の電圧供給端子
とトランジスタ６８のコレクタ端子との間にはリレーコ
イル５８ａと並列に還流ダイオード７０が接続されてい
る。

【０３２０】かかる構成の電源電圧監視回路およびＸ軸
ガルバノメータ動作制御回路においては、電源電圧ＶB
が所定の監視値［Ｖ2 ］よりも低い間はツェナー・ダイ
オード６４が導通せず、トランジスタ６８はオフ状態に
あり、これによってリレースイッチ５８はオフ（遮断）
状態を維持する。そして、電源電圧ＶB が該監視値［Ｖ
2 ］を越えると、ツェナー・ダイオード６４が導通して
トランジスタ６８がオンし、これによってリレーコイル
５８ａに電流が流れてリレースイッチ５８がオン状態に
切り替わるようになっている。監視値［Ｖ2 ］は、演算
増幅器４０，４２，４８，５２の安全動作保証電圧の下
限値［Ｖ1 ］よりは高く、電源電圧ＶBの定常値または
定格値［ＶB ］よりは低い値に選ばれる。ツェナー・ダ
イオード６４は、電圧Ｖ2 でツェナー降伏して導通する
定格を有するものが選ばれる。この実施例では、ツェナ
ー・ダイオードを用いたが、監視値［Ｖ2 ］の設定には
種々の形式の電圧監視回路を用いることができる。

【０３３０】このＸ軸ガルバノメータ駆動回路では、図
４に示すように、たとえば時刻ｔ0で電源が投入される
と、電源電圧ＶB は０ボルトから次第に上昇し、間もな
くして定常値［ＶB ］に達する。この電源電圧ＶB が上
昇する過程で、電源投入開始時点（ｔ0 ）から電源電圧
ＶB が正常動作保証電圧下限値［Ｖ1 ］に達する時点
（ｔ1 ）までの期間（Ｔ1 ）中は、各演算増幅器４０，
４２，４８，５２が不安定かつ不定な状態にあり、演算
増幅器５２の出力電圧ＥＳは不定の値をとる。

【０３４０】しかし、本実施例では、この動作不定期間
Ｔ1 中、リレースイッチ５８はオフ状態に保持されてい
るため、演算増幅器５２の出力端子は駆動コイル６０と
遮断されており、駆動コイル６０に不所望な駆動電流ｉ
d が流れることはない。したがって、Ｘ軸ガルバノメー
タ２６は実質的に非動作状態に置かれ、Ｘ軸スキャン・
ミラー２２は静止したままでいる。

【０３５０】電源電圧ＶB の電圧レベルが正常動作保証
電圧下限値［Ｖ1 ］を越えると、各演算増幅器４０，４
２，４８，５２が安定化して各々所要の動作を正常に行
える状態になる。

【０３６０】そして、電源電圧ＶB の電圧レベルが監視
値［Ｖ2 ］を越えた時点（ｔ2 ）で上記のようにツェナ
ー・ダイオード６４が導通してトランジスタ６８がオン
し、リレースイッチ５８がオン（導通）状態に切り替わ
る。これにより、演算増幅器５２の出力端子がリレース
イッチ５８を介して駆動コイル６０に接続され、Ｘ軸ガ
ルバノメータ２６は動作可能状態となる。この直後、電
源電圧ＶB は定常または定格レベル［ＶB ］に達する。

【０３７０】かかる動作可能状態の下で、制御ユニット
１０よりレーザ光ＬＡと同期してＸ方向スキャニング制
御信号ＡＳX が入力されると、Ｘ軸ガルバノメータ駆動
回路では次のような動作が行われる。

【０３８０】Ｘ方向スキャニング制御信号ＡＳX は、演
算増幅器（電圧フォロア）４０および抵抗４４を介して
演算増幅器（差動増幅回路）４８の非反転入力端子に入
力される。一方、Ｘ軸ガルバノメータ２６内の位置セン
サからのセンサ出力信号（ミラー位置検出信号）ＰＳX
が演算増幅器（電圧フォロア）４２および抵抗４６を介
して演算増幅器（差動増幅回路）４８の反転入力端子に
入力される。

【０３９０】演算増幅器（差動増幅回路）４８の出力端
子には、両入力信号ＡＳX ，ＰＳX間の差分または誤差
を表す誤差電圧ｅｓが得られる。この誤差電圧ｅｓは次
段の演算増幅器（非反転増幅回路）５２で増幅され、そ
の出力端子に駆動電圧ＥＳが得られる。この駆動電圧Ｅ
Ｓがオン状態のリレースイッチ５８を介して駆動コイル
６０に印加されることにより、駆動コイル６０に駆動電
流ｉd が流れる。

【０４００】そうすると、Ｘ軸ガルバノメータ２６内で
は、駆動電流ｉd に応じた制御トルクが可動鉄片（回転
子）に作用することにより、可動鉄片（回転子）がＸ軸
スキャン・ミラー２２と一体にＸ方向スキャニング制御
ＡＳX により指定された角度に振れる。

【０４１０】なお、Ｙ軸ガルバノメータ２８内の駆動コ
イルに駆動電流を供給するためのＹ軸ガルバノメータ駆
動回路も、上記したＸ軸ガルバノメータ駆動回路と同じ
回路構成を有し、制御ユニット１０からのＹ方向スキャ
ニング制御ＡＳY に応じて上記と同様の動作を行う。

【０４２０】このように、本実施例のスキャニング式レ
ーザマーキング装置では、スキャニングユニット２０に
おいてＸ軸ガルバノメータ駆動回路、Ｙ軸ガルバノメー
タ駆動回路の出力端子とＸ軸ガルバノメータ２６、Ｙ軸
ガルバノメータ２８内の駆動コイル６０との間にリレー
スイッチ５８を接続し、電源電圧ＶB の電圧レベルが
（正常動作保証電圧下限値［Ｖ1 ］よりは高い）所定の
監視値［Ｖ2 ］よりも低い間はガルバノメータ２６，２
８の動作を禁止状態とし、電源電圧ＶB の電圧レベルが
監視値［Ｖ2 ］より高い時にガルバノメータ２６，２８
を動作可能状態としている。

【０４３０】これにより、電源投入直後、電源電圧ＶB
が正常動作保証電圧下限値［Ｖ1 ］よりも低い間（期間
Ｔ1 ）にガルバノメータ駆動回路内の各部（特に演算増
幅器４０，４２，４８，５２）が一時的に不定な動作を
起こしても、図４に示すように、ガルバノメータ内の駆
動コイル６０には駆動電流ｉd が流れない。したがっ
て、スキャン・ミラー２２，２４が不定な振れ角で不所
望に回転振動して互いに衝突することはなく、両ミラー
２２，２４が破損するおそれはない。

【０４４０】因に、従来装置では、上記実施例における
リレースイッチ５８、電源電圧監視回路、ガルバノメー
タ動作制御回路に相当する手段を持ち合わせていないた
め、図４において点線の枠ＦＧで示す区間（期間Ｔ1 ）
で不所望な電流（不定なため波形は図示せず）が流れ
る。この不定な電流は大きなラッシュ電流となることが
あり、スキャニング制御信号によって規制される範囲を
越えて両スキャン・ミラー２２，２４が勝手に大きく振
れてしまい、互いに干渉または衝突して破損することが
あった。

【０４５０】上記した実施例において、駆動コイル６０
に対してアース電位はガルバノメータ駆動回路の他方の
出力端子でもある。したがって、リレースイッチ５８を
駆動コイル６０とアース電位との間に接続することも可
能である。また、リレースイッチ５８の代わりにトラン
ジスタ・スイッチを使用することも可能である。上記実
施例における駆動回路、電源電圧監視回路、ガルバノメ
ータ動作制御回路等の構成は本発明の一例であり、種々
の変形が可能である。

【０４６０】

【発明の効果】以上説明したように、本発明のスキャニ
ング式レーザマーキング装置においては、電源投入直後
のガルバノメータの不定な動作を防止し、スキャン・ミ
ラー同士の衝突を防ぎ、スキャン・ミラー等のスキャニ
ング機構の安全をはかることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例によるスキャニング式レーザ
マーキング装置の外観を示す斜視図である。

【図２】実施例におけるレーザマーキング装置のスキャ
ニングユニット内の光学的スキャニング機構およびスキ
ャニング駆動部の構成例を示す斜視図である。

【図３】実施例におけるガルバノメータ駆動回路の構成
例を示す回路図である。

【図４】実施例におけるガルバノメータ駆動回路の作用
を説明するためのタイミング図である。

【符号の説明】

１０ 制御ユニット １２ レーザ発振ユニット ２０ スキャニングユニット ２２ Ｘ軸スキャン・ミラー ２４ Ｙ軸スキャン・ミラー ２６ Ｘ軸ガルバノメータ ２８ Ｙ軸ガルバノメータ ４０，４２，４８，５２ 演算増幅器 ５８ リレースイッチ ６０ 駆動コイル ６４ ツェナー・ダイオード ６６ 抵抗 ６８ トランジスタ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 所定の位置で所定の向きに配置したスキ
   ャン・ミラーを介してレーザ発振部からのレーザ光を被
   加工物のマーキング面に照射し、制御部からのスキャニ
   ング制御信号に応じたガルバノメータの駆動により前記
   スキャン・ミラーを振らせて、前記被加工物のマーキン
   グ面上で前記レーザ光のビームスポットをスキャンして
   所望の文字、記号または図形をマーキングするようにし
   たスキャニング式レーザマーキング装置において、 前記ガルバノメータに供給される電源電圧の電圧レベル
   が所定の監視値より低いか高いかを監視する電源電圧監
   視手段と、 前記電源電圧監視手段の監視結果に基づいて、前記電源
   電圧の電圧レベルが前記監視値よりも低い間は前記ガル
   バノメータの動作を禁止状態とし、前記電源電圧の電圧
   レベルが前記監視値より高い時に前記ガルバノメータを
   動作可能状態とするガルバノメータ動作制御手段とを具
   備することを特徴とするスキャニング式レーザマーキン
   グ装置。
2. 【請求項２】 前記ガルバノメータ動作制御手段が、前
   記スキャン・ミラーを駆動するための前記ガルバノメー
   タ内の駆動コイルと前記駆動コイルに駆動電流を供給す
   るためのガルバノメータ駆動回路の出力端子との間に接
   続されたスイッチ手段とを含むことを特徴とする請求項
   １に記載のスキャニング式レーザマーキング装置。
3. 【請求項３】 前記監視値を前記ガルバノメータ駆動回
   路の正常動作保証電圧下限値と前記電源電圧の定常値と
   の間の値に選ぶことを特徴とする請求項２に記載のスキ
   ャニング式レーザマーキング装置。
4. 【請求項４】 前記スキャン・ミラーが互いに直交する
   軸で回転するＸ軸スキャン・ミラーおよびＹ軸スキャン
   ・ミラーを含み、前記ガルバノメータが前記Ｘ軸スキャ
   ン・ミラーおよび前記Ｙ軸スキャン・ミラーをそれぞれ
   駆動するためのＸ軸ガルバノメータおよびＹ軸ガルバノ
   メータを含むことを特徴とする請求項１〜３のいずれか
   に記載のスキャニング式レーザマーキング装置。