JPH09308875A - 純水比抵抗値制御装置 - Google Patents
純水比抵抗値制御装置Info
- Publication number
- JPH09308875A JPH09308875A JP12619396A JP12619396A JPH09308875A JP H09308875 A JPH09308875 A JP H09308875A JP 12619396 A JP12619396 A JP 12619396A JP 12619396 A JP12619396 A JP 12619396A JP H09308875 A JPH09308875 A JP H09308875A
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- Japan
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- pure water
- specific resistance
- resistance value
- control device
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 一旦、純水の使用を中断した場合でも、一定
比抵抗値の純水を即座に供給することが可能な純水比抵
抗値制御装置を提供する。 【解決手段】 純水比抵抗値制御装置において、純水供
給ライン１中に配置される三方バルブ７と、この三方バ
ルブ７を制御する制御装置９と、この制御装置９からの
制御信号により三方バルブ７を動作させ、純水吐出部６
と純水排水ライン８とを切り換え可能にし、純水供給ラ
イン１中には純水比抵抗値測定器３を配置し、ＣＯ2 流
量コントローラ４により、コントロールバルブ５を動作
させ、ＣＯ2 添加ノズル２からのＣＯ2 添加により、純
水の比抵抗値を常時制御する。
比抵抗値の純水を即座に供給することが可能な純水比抵
抗値制御装置を提供する。 【解決手段】 純水比抵抗値制御装置において、純水供
給ライン１中に配置される三方バルブ７と、この三方バ
ルブ７を制御する制御装置９と、この制御装置９からの
制御信号により三方バルブ７を動作させ、純水吐出部６
と純水排水ライン８とを切り換え可能にし、純水供給ラ
イン１中には純水比抵抗値測定器３を配置し、ＣＯ2 流
量コントローラ４により、コントロールバルブ５を動作
させ、ＣＯ2 添加ノズル２からのＣＯ2 添加により、純
水の比抵抗値を常時制御する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体ウエハの洗
浄などに用いる純水比抵抗値制御装置に係り、特に、Ｃ
Ｏ2 ガス添加による純水比抵抗値制御装置に関するもの
である。
浄などに用いる純水比抵抗値制御装置に係り、特に、Ｃ
Ｏ2 ガス添加による純水比抵抗値制御装置に関するもの
である。
【０００２】
【従来の技術】従来、この種のＣＯ2 ガス添加による純
水比抵抗値制御装置としては、（１）特開昭５９−１７
３１８４号公報、（２）特開昭６０−８７６号公報、
（３）特開昭６１−２６８３９１号公報、（４）特開平
３−１６７４６２号公報に開示されるものがあった。
水比抵抗値制御装置としては、（１）特開昭５９−１７
３１８４号公報、（２）特開昭６０−８７６号公報、
（３）特開昭６１−２６８３９１号公報、（４）特開平
３−１６７４６２号公報に開示されるものがあった。
【０００３】従来、ＣＯ2 ガス添加による純水比抵抗値
制御機構は、純水ラインへ純水比抵抗値測定器を配置
し、配管中の純水の比抵抗値をモニタし、制御部を介し
て、このＣＯ2 ガスの添加量を制御するようにしてい
た。
制御機構は、純水ラインへ純水比抵抗値測定器を配置
し、配管中の純水の比抵抗値をモニタし、制御部を介し
て、このＣＯ2 ガスの添加量を制御するようにしてい
た。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記し
た従来方式の純水比抵抗値制御装置では、一旦、純水の
使用を中断した場合、設定比抵抗値への復帰までに一定
時間を要するため、本来必要とする一定比抵抗値の純水
をその間使用できないことになってしまう。本発明は、
上記問題点を除去し、一旦、純水の使用を中断した場合
でも、一定比抵抗値の純水を即座に供給可能な純水比抵
抗値制御装置を提供することを目的とする。
た従来方式の純水比抵抗値制御装置では、一旦、純水の
使用を中断した場合、設定比抵抗値への復帰までに一定
時間を要するため、本来必要とする一定比抵抗値の純水
をその間使用できないことになってしまう。本発明は、
上記問題点を除去し、一旦、純水の使用を中断した場合
でも、一定比抵抗値の純水を即座に供給可能な純水比抵
抗値制御装置を提供することを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するために、 〔１〕純水比抵抗値制御装置において、純水供給ライン
中に配置される三方バルブと、この三方バルブを制御す
る制御装置と、この制御装置からの制御信号により前記
三方バルブを動作させ、純水吐出部と純水排水ラインに
切り換える手段と、前記純水供給ライン中に純水比抵抗
値測定器を配置し、純水の比抵抗値を常時制御する手段
とを設けるようにしたものである。
成するために、 〔１〕純水比抵抗値制御装置において、純水供給ライン
中に配置される三方バルブと、この三方バルブを制御す
る制御装置と、この制御装置からの制御信号により前記
三方バルブを動作させ、純水吐出部と純水排水ラインに
切り換える手段と、前記純水供給ライン中に純水比抵抗
値測定器を配置し、純水の比抵抗値を常時制御する手段
とを設けるようにしたものである。
【０００６】したがって、一旦、純水の使用を中断した
場合でも、一定比抵抗値の純水を即座に供給することが
可能である。すなわち、三方バルブにより純水経路を切
り換え、常時純水を流し、そこで比抵抗値を制御するこ
とにより、再吐出時の設定値到達までの比抵抗値未制御
純水の吐出を回避することが可能になる。
場合でも、一定比抵抗値の純水を即座に供給することが
可能である。すなわち、三方バルブにより純水経路を切
り換え、常時純水を流し、そこで比抵抗値を制御するこ
とにより、再吐出時の設定値到達までの比抵抗値未制御
純水の吐出を回避することが可能になる。
【０００７】〔２〕上記〔１〕記載の純水比抵抗値制御
装置において、前記純水比抵抗値測定器を前記純水吐出
部の近傍に配置するようにしたものである。このよう
に、純水比抵抗値測定器を純水吐出部の近傍に配置する
ことにより、清浄対象物に対し、比抵抗値が制御された
純水を使用することが可能になる。 〔３〕上記〔１〕又は〔２〕記載の純水比抵抗制御装置
において、前記純水の比抵抗値の制御はＣＯ2 ガス添加
による。
装置において、前記純水比抵抗値測定器を前記純水吐出
部の近傍に配置するようにしたものである。このよう
に、純水比抵抗値測定器を純水吐出部の近傍に配置する
ことにより、清浄対象物に対し、比抵抗値が制御された
純水を使用することが可能になる。 〔３〕上記〔１〕又は〔２〕記載の純水比抵抗制御装置
において、前記純水の比抵抗値の制御はＣＯ2 ガス添加
による。
【０００８】したがって、化学的に安定で、取り扱い易
く、安価なＣＯ2 ガスの添加により、純水の比抵抗値の
制御を行うことができる。
く、安価なＣＯ2 ガスの添加により、純水の比抵抗値の
制御を行うことができる。
【０００９】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明の
第１実施例を示す純水比抵抗値制御装置の構成図であ
る。図１において、１は半導体ウエハの洗浄などに用い
られる純水供給ライン、２はＣＯ2 添加ノズル、３は純
水比抵抗値測定器、４はＣＯ2 流量コントローラ、５は
コントロールバルブ、６は純水吐出口、７は三方バル
ブ、８は純水排水ライン、９は制御装置である。
て図面を参照しながら詳細に説明する。図１は本発明の
第１実施例を示す純水比抵抗値制御装置の構成図であ
る。図１において、１は半導体ウエハの洗浄などに用い
られる純水供給ライン、２はＣＯ2 添加ノズル、３は純
水比抵抗値測定器、４はＣＯ2 流量コントローラ、５は
コントロールバルブ、６は純水吐出口、７は三方バル
ブ、８は純水排水ライン、９は制御装置である。
【００１０】この実施例においては、純水供給ライン１
中に三方バルブ７を配置し、この三方バルブ７を制御装
置９からのＯＮ／ＯＦＦ（純水吐出／停止）信号によ
り、純水供給ライン１から純水吐出口６と純水排水ライ
ン８への純水経路を切り換えるようにしている。純水供
給ライン１の１次側からの純水供給は、常時行われてい
るため、常に純水比抵抗値測定器３からのデータにより
ＣＯ2 流量コントローラ４の計算に従い、コントロール
バルブ５、ＣＯ2 添加ノズル２により、流水中にＣＯ2
ガスが添加される。
中に三方バルブ７を配置し、この三方バルブ７を制御装
置９からのＯＮ／ＯＦＦ（純水吐出／停止）信号によ
り、純水供給ライン１から純水吐出口６と純水排水ライ
ン８への純水経路を切り換えるようにしている。純水供
給ライン１の１次側からの純水供給は、常時行われてい
るため、常に純水比抵抗値測定器３からのデータにより
ＣＯ2 流量コントローラ４の計算に従い、コントロール
バルブ５、ＣＯ2 添加ノズル２により、流水中にＣＯ2
ガスが添加される。
【００１１】以上のように、三方バルブ７により純水経
路を切り換え、常時純水を流し、そこで比抵抗値を制御
することにより、再吐出時の設定値到達までの比抵抗未
制御純水の吐出を回避することが可能になる。次に、本
発明の第２実施例について説明する。図２は本発明の第
２実施例を示す純水比抵抗値制御装置の構成図である。
路を切り換え、常時純水を流し、そこで比抵抗値を制御
することにより、再吐出時の設定値到達までの比抵抗未
制御純水の吐出を回避することが可能になる。次に、本
発明の第２実施例について説明する。図２は本発明の第
２実施例を示す純水比抵抗値制御装置の構成図である。
【００１２】この実施例における基本的構成について
は、第１実施例と同様であるが、純水比抵抗値測定器１
１を純水吐出口（純水吐出部）６近傍に配置する。動作
についても、第１実施例と同様である。図２において、
１１は純水比抵抗値測定器、１２はＣＯ2 流量コントロ
ーラ、１３はコントロールバルブ、１４はＣＯ2 添加ノ
ズルであり、その他の部分は上記第１実施例と同様であ
り、第１実施例と同じ部分については同じ番号を付して
それらの説明は省略する。
は、第１実施例と同様であるが、純水比抵抗値測定器１
１を純水吐出口（純水吐出部）６近傍に配置する。動作
についても、第１実施例と同様である。図２において、
１１は純水比抵抗値測定器、１２はＣＯ2 流量コントロ
ーラ、１３はコントロールバルブ、１４はＣＯ2 添加ノ
ズルであり、その他の部分は上記第１実施例と同様であ
り、第１実施例と同じ部分については同じ番号を付して
それらの説明は省略する。
【００１３】このように、純水比抵抗値測定器１１を純
水吐出口（純水吐出部）６近くに配置することにより、
清浄対象物に対し、比抵抗が制御された純水を使用する
ことが可能になる。なお、上記実施例において、純水の
比抵抗値制御はＣＯ2 添加方式について述べたが、本発
明の場合、ＣＯ2 添加方式に限らず、その他の純水比抵
抗値制御を行う装置にも、適用が可能である。
水吐出口（純水吐出部）６近くに配置することにより、
清浄対象物に対し、比抵抗が制御された純水を使用する
ことが可能になる。なお、上記実施例において、純水の
比抵抗値制御はＣＯ2 添加方式について述べたが、本発
明の場合、ＣＯ2 添加方式に限らず、その他の純水比抵
抗値制御を行う装置にも、適用が可能である。
【００１４】また、本発明は上記実施例に限定されるも
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
のではなく、本発明の趣旨に基づいて種々の変形が可能
であり、これらを本発明の範囲から排除するものではな
い。
【００１５】
【発明の効果】以上、詳細に説明したように、本発明に
よれば、次のような効果を奏することができる。 〔１〕請求項１記載の発明によれば、一旦、純水の使用
を中断した場合でも、一定比抵抗値の純水を即座に供給
可能な純水比抵抗値制御装置を提供することができる。
よれば、次のような効果を奏することができる。 〔１〕請求項１記載の発明によれば、一旦、純水の使用
を中断した場合でも、一定比抵抗値の純水を即座に供給
可能な純水比抵抗値制御装置を提供することができる。
【００１６】すなわち、三方バルブにより純水経路を切
り換え、常時純水を流し、そこで比抵抗値を制御するこ
とにより、再吐出時の設定値到達までの比抵抗値未制御
純水の吐出を回避することが可能になる。 〔２〕請求項２記載の発明によれば、純水比抵抗値測定
器を純水吐出部の近傍に配置することにより、清浄対象
物に対し、比抵抗値が制御された純水を使用することが
可能になる。
り換え、常時純水を流し、そこで比抵抗値を制御するこ
とにより、再吐出時の設定値到達までの比抵抗値未制御
純水の吐出を回避することが可能になる。 〔２〕請求項２記載の発明によれば、純水比抵抗値測定
器を純水吐出部の近傍に配置することにより、清浄対象
物に対し、比抵抗値が制御された純水を使用することが
可能になる。
【００１７】〔３〕請求項３記載の発明によれば、化学
的に安定で、取り扱い易く、安価なＣＯ2 ガスの添加に
より、純水の比抵抗値の制御を行うことができる。
的に安定で、取り扱い易く、安価なＣＯ2 ガスの添加に
より、純水の比抵抗値の制御を行うことができる。
【図１】本発明の第１実施例を示す純水比抵抗値制御装
置の構成図である。
置の構成図である。
【図２】本発明の第２実施例を示す純水比抵抗値制御装
置の構成図である。
置の構成図である。
１ 純水供給ライン ２，１４ ＣＯ2 添加ノズル ３，１１ 純水比抵抗値測定器 ４，１２ ＣＯ2 流量コントローラ ５，１３ コントロールバルブ ６ 純水吐出口 ７ 三方バルブ ８ 純水排水ライン ９ 制御装置
Claims (3)
- 【請求項１】 純水比抵抗値制御装置において、（ａ）
純水供給ライン中に配置される三方バルブと、（ｂ）該
三方バルブを制御する制御装置と、（ｃ）該制御装置か
らの制御信号により前記三方バルブを動作させ、純水吐
出部と純水排水ラインとを切り換える手段と、（ｄ）前
記純水供給ライン中に純水比抵抗値測定器を配置し、純
水の比抵抗値を常時制御する手段とを具備することを特
徴とする純水比抵抗値制御装置。 - 【請求項２】 請求項１記載の純水比抵抗値制御装置に
おいて、前記純水比抵抗値測定器を前記純水吐出部の近
傍に配置することを特徴とする純水比抵抗値制御装置。 - 【請求項３】 請求項１又は２記載の純水比抵抗値制御
装置において、前記純水の比抵抗値の制御は、ＣＯ2 ガ
ス添加によることを特徴とする純水比抵抗値制御装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12619396A JPH09308875A (ja) | 1996-05-22 | 1996-05-22 | 純水比抵抗値制御装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12619396A JPH09308875A (ja) | 1996-05-22 | 1996-05-22 | 純水比抵抗値制御装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09308875A true JPH09308875A (ja) | 1997-12-02 |
Family
ID=14929008
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12619396A Withdrawn JPH09308875A (ja) | 1996-05-22 | 1996-05-22 | 純水比抵抗値制御装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09308875A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100947482B1 (ko) * | 2007-10-12 | 2010-03-17 | 세메스 주식회사 | 처리액 감지기를 갖는 밸브, 이를 이용한 기판 처리 장치및 기판 처리 방법 |
| KR20160090572A (ko) | 2015-01-22 | 2016-08-01 | 에프엔에스테크 주식회사 | 초순수 비저항 조절장치 |
-
1996
- 1996-05-22 JP JP12619396A patent/JPH09308875A/ja not_active Withdrawn
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100947482B1 (ko) * | 2007-10-12 | 2010-03-17 | 세메스 주식회사 | 처리액 감지기를 갖는 밸브, 이를 이용한 기판 처리 장치및 기판 처리 방법 |
| KR20160090572A (ko) | 2015-01-22 | 2016-08-01 | 에프엔에스테크 주식회사 | 초순수 비저항 조절장치 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030805 |