JPH09307155A - 圧電部品の製造方法 - Google Patents
圧電部品の製造方法Info
- Publication number
- JPH09307155A JPH09307155A JP12128396A JP12128396A JPH09307155A JP H09307155 A JPH09307155 A JP H09307155A JP 12128396 A JP12128396 A JP 12128396A JP 12128396 A JP12128396 A JP 12128396A JP H09307155 A JPH09307155 A JP H09307155A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- electrode
- cooling water
- piezoelectric component
- cutting
- added
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Surface Acoustic Wave Elements And Circuit Networks Thereof (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】 電極の損傷のない圧電部品を提供することを
目的とする。 【解決手段】 表面に電極５を有する圧電基板４を切断
歯１によって切断するとともに、この切断歯１部分に、
導電性向上剤を添加した冷却水を供給する方法である。
目的とする。 【解決手段】 表面に電極５を有する圧電基板４を切断
歯１によって切断するとともに、この切断歯１部分に、
導電性向上剤を添加した冷却水を供給する方法である。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は圧電部品の製造方法
に関するものである。
に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】圧電部品の一例であるＳＡＷデバイス
は、大板の圧電基板上に、個々の素子用としての電極を
複数個設け、それを切断歯にて個片に切断することによ
って製造されている。
は、大板の圧電基板上に、個々の素子用としての電極を
複数個設け、それを切断歯にて個片に切断することによ
って製造されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記製造方法において
問題となるのは、ＳＡＷデバイス個片の電極が局部的な
放電によって損傷してしまうことであった。
問題となるのは、ＳＡＷデバイス個片の電極が局部的な
放電によって損傷してしまうことであった。
【０００４】本発明者らは、この損傷のメカニズムを鋭
意検討する中で、圧電基板を切断歯で切断する際に発生
する切粉が切断歯による衝撃を受けて高電圧に帯電し、
それが切断歯部分に供給される冷却水によって流される
ことなく圧電基板上の電極部分にクーロン力によって引
き付けられ、その後の工程で電極部分に残在する冷却水
が乾燥されると、高電圧に帯電している切粉から、その
直下の電極部分に局部的な放電を起こし、これによって
電極部分が損傷し、特にＳＡＷデバイスにおいては電極
が極細形状となっているのでこの損傷はきわめて大きな
ものになってしまうということを見出したのである。
意検討する中で、圧電基板を切断歯で切断する際に発生
する切粉が切断歯による衝撃を受けて高電圧に帯電し、
それが切断歯部分に供給される冷却水によって流される
ことなく圧電基板上の電極部分にクーロン力によって引
き付けられ、その後の工程で電極部分に残在する冷却水
が乾燥されると、高電圧に帯電している切粉から、その
直下の電極部分に局部的な放電を起こし、これによって
電極部分が損傷し、特にＳＡＷデバイスにおいては電極
が極細形状となっているのでこの損傷はきわめて大きな
ものになってしまうということを見出したのである。
【０００５】そこで本発明は、この電極の損傷を防止す
ることを目的とするものである。
ることを目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】そしてこの目的を達成す
るために本発明は、表面に電極を有する圧電基板を切断
歯によって切断するとともに、この切断歯部分に、導電
性向上剤を添加した冷却水を供給することによって、所
期の目的を達成したものである。
るために本発明は、表面に電極を有する圧電基板を切断
歯によって切断するとともに、この切断歯部分に、導電
性向上剤を添加した冷却水を供給することによって、所
期の目的を達成したものである。
【０００７】
【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載の発明
は、表面に電極を有する圧電基板を切断歯によって切断
するとともに、この切断歯部分に、導電性向上剤を添加
した冷却水を供給する圧電部品の製造方法であって、冷
却水の導電性を向上させたので、高電圧に帯電した切粉
が電極部にクーロン力によって引き付けられた時点にお
いて、この導電性が向上した冷却水を介して電極部に放
電を開始することとなり、この時の放電は広面積におい
て行われることとなるので、局部的な放電による電極の
損傷は発生しなくなるのである。
は、表面に電極を有する圧電基板を切断歯によって切断
するとともに、この切断歯部分に、導電性向上剤を添加
した冷却水を供給する圧電部品の製造方法であって、冷
却水の導電性を向上させたので、高電圧に帯電した切粉
が電極部にクーロン力によって引き付けられた時点にお
いて、この導電性が向上した冷却水を介して電極部に放
電を開始することとなり、この時の放電は広面積におい
て行われることとなるので、局部的な放電による電極の
損傷は発生しなくなるのである。
【０００８】また請求項２に記載の発明は、導電性向上
剤は、硫酸ナトリウムを含有する請求項１に記載の圧電
部品の製造方法であって、これを添加した冷却水は略中
性で電極を溶解させず、しかもスケール化しにくく、圧
電部品の特性劣化を発生させないものとなる。
剤は、硫酸ナトリウムを含有する請求項１に記載の圧電
部品の製造方法であって、これを添加した冷却水は略中
性で電極を溶解させず、しかもスケール化しにくく、圧
電部品の特性劣化を発生させないものとなる。
【０００９】さらに請求項３に記載の発明は、少なくと
もカルシウムイオンとマグネシウムイオンとを除去した
水中に、導電性向上剤を添加して冷却水とする請求項
１、または２に記載の圧電部品の製造方法であって、ス
ケール化しやすいカルシウムイオンとマグネシウムイオ
ンを除去しておくことで、スケール化による特性劣化を
防止するものである。
もカルシウムイオンとマグネシウムイオンとを除去した
水中に、導電性向上剤を添加して冷却水とする請求項
１、または２に記載の圧電部品の製造方法であって、ス
ケール化しやすいカルシウムイオンとマグネシウムイオ
ンを除去しておくことで、スケール化による特性劣化を
防止するものである。
【００１０】さらにまた請求項４に記載の発明は、冷却
水として弱酸性〜弱アルカリ性を用いた請求項１〜３の
いずれか一つに記載の圧電部品の製造方法であって、電
極の溶解を防止できるものとなる。
水として弱酸性〜弱アルカリ性を用いた請求項１〜３の
いずれか一つに記載の圧電部品の製造方法であって、電
極の溶解を防止できるものとなる。
【００１１】また請求項５に記載の発明は、切断歯部分
に供給する冷却水の水温は約２０度とした請求項１〜４
のいずれか一つに記載の圧電部品の製造方法であって、
圧電基板の保持具と切断歯部分の寸法管理のための管理
温度である約２０度に水温を管理することで、上記管理
寸法の温度変化を抑制することができるのである。
に供給する冷却水の水温は約２０度とした請求項１〜４
のいずれか一つに記載の圧電部品の製造方法であって、
圧電基板の保持具と切断歯部分の寸法管理のための管理
温度である約２０度に水温を管理することで、上記管理
寸法の温度変化を抑制することができるのである。
【００１２】さらに請求項６に記載の発明は、圧電部品
として、ＳＡＷデバイスを用いた請求項１〜５のいずれ
か一つに記載の圧電部品の製造方法であって、ＳＡＷデ
バイスは電極が極細形状となっているので、きわめて損
傷しやすく、本発明による効果が顕著に現われるものと
なる。
として、ＳＡＷデバイスを用いた請求項１〜５のいずれ
か一つに記載の圧電部品の製造方法であって、ＳＡＷデ
バイスは電極が極細形状となっているので、きわめて損
傷しやすく、本発明による効果が顕著に現われるものと
なる。
【００１３】以下本発明の一実施形態について図を用い
て説明する。図１、図２において、１は円板状の切断歯
で、図３に示す大板３を個片に切断するものである。こ
の大板３は、図４、図５に示すごとく圧電基板４上にア
ルミニウム製の電極５を設けたＳＡＷフィルタ６を図３
に示すごとく、その表面上に複数個設けているものであ
る。そして、この図３のＸ線７とＹ線８を切断歯１で切
断することにより、図４、図５に示すＳＡＷフィルタ６
を得るものである。
て説明する。図１、図２において、１は円板状の切断歯
で、図３に示す大板３を個片に切断するものである。こ
の大板３は、図４、図５に示すごとく圧電基板４上にア
ルミニウム製の電極５を設けたＳＡＷフィルタ６を図３
に示すごとく、その表面上に複数個設けているものであ
る。そして、この図３のＸ線７とＹ線８を切断歯１で切
断することにより、図４、図５に示すＳＡＷフィルタ６
を得るものである。
【００１４】さて、このような切断時においては、図
１、図２に示す切断歯１の両側のノズル９とその回転方
向へのノズル１０から切断部分に向けて冷却水が供給さ
れる。
１、図２に示す切断歯１の両側のノズル９とその回転方
向へのノズル１０から切断部分に向けて冷却水が供給さ
れる。
【００１５】この冷却水は、導電性向上剤を添加したも
のである。それに先立ち、まず水中から少なくともカル
シウムイオンとマグネシウムイオンとを除去し、次に、
導電性向上剤を添加して冷却水としており、スケール化
しやすいカルシウムイオンとマグネシウムイオンを除去
しておくことで、スケール化による特性劣化を防止する
ものである。
のである。それに先立ち、まず水中から少なくともカル
シウムイオンとマグネシウムイオンとを除去し、次に、
導電性向上剤を添加して冷却水としており、スケール化
しやすいカルシウムイオンとマグネシウムイオンを除去
しておくことで、スケール化による特性劣化を防止する
ものである。
【００１６】また添加する導電性向上剤は、硫酸ナトリ
ウムを含有するものであって、これを添加した冷却水は
略中性で電極５を溶解させず、しかもスケール化しにく
く、圧電部品の特性劣化を発生させないものとなる。
ウムを含有するものであって、これを添加した冷却水は
略中性で電極５を溶解させず、しかもスケール化しにく
く、圧電部品の特性劣化を発生させないものとなる。
【００１７】さらにまた冷却水としては、弱酸性〜弱ア
ルカリ性となるようにしており、電極５の溶解を防止で
きるものとなる。
ルカリ性となるようにしており、電極５の溶解を防止で
きるものとなる。
【００１８】また切断歯１部分に供給する冷却水の水温
は約２０度としており、これは圧電基板４の保持具と切
断歯１部分の寸法管理のための管理温度である約２０度
に水温を管理することで、上記管理寸法の温度変化を抑
制することができるようにするためである。
は約２０度としており、これは圧電基板４の保持具と切
断歯１部分の寸法管理のための管理温度である約２０度
に水温を管理することで、上記管理寸法の温度変化を抑
制することができるようにするためである。
【００１９】なお圧電基板４はその下面を面状のテープ
１１に貼着されており、切断歯１で個片に切断する時に
は、このテープ１１の肉厚の中程まで切断歯１で切断す
ることで、切断途中における個片への分散を防止してい
る。
１１に貼着されており、切断歯１で個片に切断する時に
は、このテープ１１の肉厚の中程まで切断歯１で切断す
ることで、切断途中における個片への分散を防止してい
る。
【００２０】
【発明の効果】以上のように本発明は、表面に電極を有
する圧電基板を切断歯によって切断するとともに、この
切断歯部分に、導電性向上剤を添加した冷却水を供給す
る圧電部品の製造方法であって、冷却水の導電性を向上
させたので、高電圧に帯電した切粉が電極部にクーロン
力によって引き付けられた時点において、この導電性が
向上した冷却水を介して電極部に放電を開始することと
なり、この時の放電は広面積において行われることとな
るので、局部的な放電による電極の損傷は発生しなくな
るのである。
する圧電基板を切断歯によって切断するとともに、この
切断歯部分に、導電性向上剤を添加した冷却水を供給す
る圧電部品の製造方法であって、冷却水の導電性を向上
させたので、高電圧に帯電した切粉が電極部にクーロン
力によって引き付けられた時点において、この導電性が
向上した冷却水を介して電極部に放電を開始することと
なり、この時の放電は広面積において行われることとな
るので、局部的な放電による電極の損傷は発生しなくな
るのである。
【図１】本発明の一実施の形態における正面図
【図２】同側面図
【図３】同大板の平面図
【図４】図３の大板から切断した個片の平面図
【図５】図４の正面図
１ 切断歯 ３ 大板 ４ 圧電基板 ５ 電極 ６ ＳＡＷフィルタ
Claims (6)
- 【請求項１】 表面に電極を有する圧電基板を切断歯に
よって切断するとともに、この切断歯部分に、導電性向
上剤を添加した冷却水を供給する圧電部品の製造方法。 - 【請求項２】 導電性向上剤は、硫酸ナトリウムを含有
する請求項１に記載の圧電部品の製造方法。 - 【請求項３】 少なくともカルシウムイオンとマグネシ
ウムイオンとを除去した水中に、導電性向上剤を添加し
て冷却水とする請求項１、または２に記載の圧電部品の
製造方法。 - 【請求項４】 冷却水として弱酸性〜弱アルカリ性を用
いた請求項１〜３のいずれか一つに記載の圧電部品の製
造方法。 - 【請求項５】 切断歯部分に供給する冷却水の水温は約
２０度とした請求項１〜４のいずれか一つに記載の圧電
部品の製造方法。 - 【請求項６】 圧電部品として、ＳＡＷデバイスを用い
た請求項１〜５のいずれか一つに記載の圧電部品の製造
方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12128396A JPH09307155A (ja) | 1996-05-16 | 1996-05-16 | 圧電部品の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP12128396A JPH09307155A (ja) | 1996-05-16 | 1996-05-16 | 圧電部品の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09307155A true JPH09307155A (ja) | 1997-11-28 |
Family
ID=14807430
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP12128396A Pending JPH09307155A (ja) | 1996-05-16 | 1996-05-16 | 圧電部品の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09307155A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6471783B1 (en) | 1998-05-20 | 2002-10-29 | Tdk Corporation | Production method of electronic parts and water treatment apparatus |
| SG99929A1 (en) * | 2000-08-14 | 2003-11-27 | Murata Manufacturing Co | Method of manufacturing piezoelectric device |
| CN111941664A (zh) * | 2020-08-11 | 2020-11-17 | 武汉木合石建筑科技有限公司 | 一种混凝土结构快速切割方法 |
-
1996
- 1996-05-16 JP JP12128396A patent/JPH09307155A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6471783B1 (en) | 1998-05-20 | 2002-10-29 | Tdk Corporation | Production method of electronic parts and water treatment apparatus |
| US6749183B2 (en) * | 1998-05-20 | 2004-06-15 | Tdk Corporation | Production method of electronic parts and water treatment apparatus |
| SG99929A1 (en) * | 2000-08-14 | 2003-11-27 | Murata Manufacturing Co | Method of manufacturing piezoelectric device |
| CN111941664A (zh) * | 2020-08-11 | 2020-11-17 | 武汉木合石建筑科技有限公司 | 一种混凝土结构快速切割方法 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| TWI452615B (zh) | 加工對象物切斷方法 | |
| JP2003151924A (ja) | ダイシング方法およびダイシング装置 | |
| KR20130014522A (ko) | 개선된 웨이퍼 싱귤레이션을 위한 방법 및 장치 | |
| JPWO2007057948A1 (ja) | ワイヤ放電加工方法、半導体ウエハ製造方法及び太陽電池用セル製造方法 | |
| JP4765106B2 (ja) | 固体試料表面の平坦化加工方法 | |
| JPH09307155A (ja) | 圧電部品の製造方法 | |
| JPWO2021038650A5 (ja) | ||
| DE102019204974A1 (de) | Waferbearbeitungsverfahren | |
| JP2005072174A (ja) | 基板とその表面に積層された積層体から構成された被加工物の分割方法 | |
| JPH09272119A (ja) | ウエハの製法およびそれに用いる装置 | |
| JP2004214359A (ja) | 基板加工方法および基板加工装置 | |
| JP2007190593A (ja) | 基板保持装置及び基板加工装置 | |
| JP2000031770A (ja) | 圧電部品の製造方法 | |
| JP2000263545A (ja) | シリコンインゴットの切断方法 | |
| TW201125994A (en) | Method for producing sputtering target comprising Cu-Ga alloy | |
| WO2009119660A1 (ja) | Ｃｕ－Ｇａ合金の切断方法 | |
| JP4952474B2 (ja) | 断面観察試料の作製方法 | |
| JP2006012966A (ja) | 切削方法 | |
| JP2002319553A (ja) | ダイシング装置 | |
| JPS6089941A (ja) | 半導体基板のダイシング方法 | |
| JP2002313752A (ja) | ダイシング装置 | |
| TWI834663B (zh) | 被加工物之加工方法 | |
| JPH11267940A (ja) | 切削装置 | |
| JP2818206B2 (ja) | スパッタリングターゲット | |
| TW202112497A (zh) | 環狀砥石 |