JPH09306362A - ガス放電パネルの製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】ガス放電パネルの通気孔部に通気管を取り付け
るに際し、作業ばらつきが小さく、作業者の手間がかか
らず、しかも不良品の発生が少ない方法を実現する。さ
らに、取り付け工程中に通気管に力が加わってもよい方
法とすることにより、取り付け工程に続く排気工程等を
一連の工程として処理できるようにする。 【解決手段】通気孔25を有する基板21に通気管60を取り
付け、通気孔25を介して内部の排気または放電ガス充填
を行うガス放電パネルの製造方法であって、通気管60の
スカート形状を有する基端部と、通気孔25を有する基板
面との間に、固形の接着用部材75を配置し、クリップ手
段（通常は、クリップ80）を用いて、通気管60と接着用
部材75とを挾持するように基板面に固定し、この固定状
態で、接着用部材75を加熱により溶融させた後降温によ
り固化させ通気管60を基板21に固着させることを特徴と
するガス放電パネルの製造方法。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、ガス放電パネルの
製造方法に係り、特に、ガス放電パネルの排気やガス充
填に用いる通気管の取り付け方法の改良、さらに、通気
管の取り付け工程に続く排気工程やガス充填工程の改良
等に関するものである。

【０００２】ガス放電パネルには、ＡＣ型とＤＣ型の２
種類があり、いずれもカラー表示のできる大型の平面型
表示装置の実現が可能であるため、ＣＲＴに代わる表示
デバイスとして注目されている。特に、蛍光体発光によ
りフルカラー表示に適した面放電型のＡＣ型ガス放電パ
ネルは、ハイビジョンを含むテレビジョン表示の分野に
その用途が拡大されつつある。

【０００３】これらのガス放電パネルは、通気管の取り
付け方法、排気工程やガス充填工程に関連して、その製
造方法等の改良が望まれている。

【０００４】

【従来の技術】ガス放電パネルの内部空間を真空に排気
する際にその気密性を保持し、かつその後内部空間に封
入した放電ガスを気密に保持するための気密封止部は、
基本的には、基板周辺部と通気管部の２ヶ所があり、そ
の構造は図１１に示すようになっている。この構造は、
ＡＣ型およびＤＣ型のいずれのガス放電パネルにおいて
もほぼ同様である。

【０００５】図中１１１が前面側、１２１が背面側のガ
ラス基板を構成している。（以後、前者をＡ基板、後者
をＢ基板と称する。）これらの基板は、１００μｍ程度
のギャップを隔てて組み合わされ、その周辺部を封止材
１４０で気密封止される。さらに、Ｂ基板の片隅に通気
孔１２５があり、その背面側に外端部を密封された通気
管１６０ａが取り付けられている。この通気管１６０ａ
の外端部は、最初は符号１６０の通気管に示すように開
口した状態にあり、この通気管１６０が排気・ガス充填
装置の所定の管に接続されて、まず内部空間１３０が真
空に排気され、次にその内部空間１３０に所定の放電ガ
スが充填される。そのガス充填が終了した後、通気管１
６０は、加熱によりチップオフされて同図１６０ａの通
気管に示すように先端部が閉塞され、所定の放電ガスが
充填されたガス放電パネル１００となる。

【０００６】なお、符号ＥＨは、実際の表示を行う表示
領域を示している。この表示を実現するために、二つの
基板１１１，１２１の内側には、電極、誘電体層、隔
壁、蛍光体等の部材が適宜配設されている。これらの図
示は省略したが、具体的には、例えばフルカラー表示の
できるＡＣ型ガス放電パネルの場合には、特開平６−２
６７４３１号公報等に開示されている。

【０００７】このガス放電パネル１００の通気管１６０
は、従来次のようにして取り付けていた。図１２（ａ）
に示すように、通気管１６０の接続側端部は、取り付け
強度を高めるために、ガラス基板との接続面積が増大す
るように裾広に形成されたスカート部１６１を備え、そ
の下面（接続面）はガラス基板への接続のために平坦化
されている。このスカート部１６１の下面を含む周辺部
分に融着用のガラスペースト１７０ａを塗布する。この
融着用ガラスペースト１７０ａは、低融点ガラスフリッ
ト、バインダ、および有機溶剤等からなる。

【０００８】このようにして準備した通気管１６０を、
図１２（ｂ）に示すように、ガラス基板１２１の外面
に、作業者が孔の位置を合わせてほぼ垂直に押し当てる
形で配置する。その後さらに、スカート部の下部周辺に
ガラスペースト１７０ｂを作業者が塗布し、塗布の不十
分な箇所が無いようにしている。このようにして配設さ
れた通気管１６０は、水平方向に配置されたガラス基板
１２１の上に、ガラスペースト１７０ａ，１７０ｂの粘
着力と自重とで配設された状態を保持している。

【０００９】このように、ガラス基板１２１の上に通気
管１６０を配置した状態で加熱・降温の熱処理を行う。
融着用のガラスペースト１７０ａ，１７０ｂは、加熱処
理により溶融し、その後の降温処理により固化して、通
気管１６０とガラス基板１２１とが固着（ガラス融着）
される。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】このようにして通気管
１６０を取り付ける場合、次のような問題が発生してい
た。

【００１１】(1) 通気管１６０にガラスペースト１７０
ａを塗布し、その通気管１６０をガラス基板１２１上に
配設し、さらにガラスペースト１７０ｂを塗布するとい
う工程は、人手による作業が主体の工程であるため、塗
布量、塗布状態、配設する状態等にばらつきがあり、不
良品が発生する原因となっている。

【００１２】(2) 従って、経験を必要とし、手間のかか
る工程となっている。 (3) 通気管１６０は、図１２（ｂ）に示すようにガラス
基板１２１上に配設してからガラス融着が完了するま
で、それを保持する手段がないため、その通気管１６０
に力が加わるようなことは一切行うことができない。さ
らに、ガラス基板１２１，１１１を垂直方向に立てるこ
ともできない。（この場合に、横向きになった通気管１
６０は、ガラスペースト１７０ａ，１７０ｂが加熱溶融
する時に、自重で落下してしまう。） 従って、通気管取り付け工程に続く排気工程等を一連の
工程として処理することができない。即ち、通気管の取
り付け工程を完了し、常温に戻した後で、ようやく次の
排気工程等に回すことになる。

【００１３】本発明は、これらの問題を解決し、塗布
量、塗布状態、配設する状態等のばらつきが小さく、作
業者の手間がかからず、ガラス基板を垂直方向に置いて
通気管を取り付けることも可能にし、しかも不良品の発
生が少ない通気管取り付け方法の提供を目的とする。

【００１４】さらに、通気管取り付け工程中に通気管に
力が加わってもよい方法とすることにより、通気管の取
り付け工程に続く排気工程等を一連の工程として処理す
る方法の提供を目的とする。

【００１５】

【課題を解決するための手段】上記の課題を解決するた
めに、請求項１ないし２記載の発明は、通気孔を有する
基板に通気管を取り付け、通気孔を介して内部の排気ま
たは放電ガス充填を行うガス放電パネルの製造方法であ
って、通気管のスカート形状を有する基端部と、通気孔
を有する基板面との間に、固形の接着用部材を配置し、
クリップ手段を用いて、通気管と接着用部材とを挾持す
るように基板面に固定し、この固定状態で、接着用部材
を加熱により溶融させた後降温により固化させ通気管を
基板に固着させることを特徴とするガス放電パネルの製
造方法を提供する。

【００１６】このクリップ手段は、通気管を支持する側
の一方の支持板に通気管を挿通させる切り欠き部と、通
気管のスカート部を押さえる支持部とを有してなるもの
である。

【００１７】なお、ここで言う「スカート形状」や「ス
カート部」の「スカート」は、通気管の端部が裾広とな
る形状の総称として用いた表現であり、フラスコ状に広
がった形状のみに限定されるものではない。

【００１８】この固形の接着用部材は、予め機械加工
（例えば、型を用いて加工）することができるため、寸
法等にばらつきの少ない均質なものとすることができ
る。また、クリップ手段の構造を適正なものとすること
により、通気管をガラス基板面に押圧（固定）し、融着
する状態を均質なものとすることができる。これらの均
質化の作用により、加熱および降温の処理によりガラス
基板の通気孔部に融着された通気管は、その仕上がりの
ばらつきが小さく、不良品の発生が少ないものとするこ
とができる。

【００１９】さらに、固形の接着用部材の形成は機械化
され、クリップ手段の取り付けも簡便な工程であるた
め、作業者の熟練や手間が少なくてすむ。また、通気管
はクリップ手段により固定されているため、ガラス基板
を垂直方向に立てることが可能であり、これにより加熱
炉の中に通気管を取り付ける工程にある多数のガス放電
パネルをスペース効率良く並べることが可能になるた
め、作業効率を向上できる。

【００２０】このクリップ手段として、弾性のある金属
からなるクリップを用いることにより、その取り付けと
取り外しとの作業性を向上させることができる。請求項
３記載の発明は、通気管を基板に融着するための加熱
が、一対の基板周辺部の封止用接着部材を融着する加熱
と同時に行われることを特徴とするガス放電パネルの製
造方法を提供する。

【００２１】このようにすることにより、上記の作用・
効果に加えて、一対の基板の周辺部の気密封止と、通気
管とガラス基板との気密封止（融着）とを同一の工程で
行い、工程を簡略化することができる。

【００２２】請求項４記載の発明は、通気管を取り付け
る加熱処理に先立って、通気管の他方の端部に排気用配
管を接続し、通気管を固着する加熱後の降温途中の加温
状態において排気を行うことを特徴とするガス放電パネ
ルの製造方法を提供する。

【００２３】この通気管はクリップ手段によりガラス基
板に固定されているため、この状態で外部から多少の力
が加わっても外れることはないし、融着工程での接続も
確実に行うことができる。従って、クリップ手段の設置
後、融着工程に先立って、予め排気用の配管を、取り付
けヘッド等の接続手段を用いて接続することができる。
（従来技術では、これは不可能である。）この接続手段
として耐熱性のあるものを用いれば、通気管を融着する
ための加熱・降温の工程と、二つのガラス基板に挾持さ
れた内部空間の真空排気の工程を一連の工程として処理
することができる。

【００２４】この一連の工程は、真空排気の後に、放電
用のガスを充填する工程、さらにその後の通気管のチッ
プオフの工程等を含ませることができる。これにより、
工程を簡略化できるばかりでなく、通気管取り付け後に
空気中に一時放置する工程が無くなるため、不純物の汚
染を受け易い状態にある内部空間を一層清浄に保つこと
が可能になる。

【００２５】請求項３記載の方法に加えて、請求項４記
載の方法を用いれば、基板周辺部の気密封止と、通気管
とガラス基板との気密接着と、内部空間の真空排気とを
一連の工程で行うことが可能となる。さらにこの一連の
工程の中に、放電ガスの充填と、通気管のチップオフと
を含ませることができる。これにより、工程をさらに簡
略化できるばかりでなく、不純物の汚染を受け易い状態
にある内部空間を一層清浄に保つことが可能になる。

【００２６】請求項５記載の発明は、固形の接着用部材
を、加熱処理により予め通気管のスカート部に固着した
形態の通気用組立体を提供するものである。接着用部材
を通気管と独立のものではなく、予め通気管と一体化し
たものとすることにより、通気管をガラス基板に固定す
る方法を簡略化できる。

【００２７】請求項６記載の発明は、対向して配置した
一対の基板の周辺部の基板間にペースト状または固形の
第１の接着用部材を配設した後、接着用部材と一対の基
板とを第１のクリップ手段により固定する工程と、通気
孔を有する基板上の通気孔に位置合わせして固形の第２
の接着用部材と通気管とを配置した後、第２のクリップ
手段を用いて通気管と接着用部材とを挾持するように基
板面に固定する工程と、第１および第２の接着用部材を
加熱炉で加熱溶融させた後降温により固化させて一対の
基板の封止と通気管の固着とを同時に行う工程とを含む
ことを特徴とするガス放電パネルの製造方法を提供す
る。

【００２８】このようにすることにより、一対の基板の
周辺部を気密封止するための第１の接着用部材と、通気
管を通気孔部に気密接続するための第２の接着用部材と
を同一の工程で加熱により溶融させた後、降温により固
化させることができる。従って、一対の基板の周辺部の
気密封止と、通気管とガラス基板との気密封止（融着）
とを同一の工程で行うことができる。

【００２９】この方法に加えて、請求項４記載の方法を
用いれば、基板周辺部の気密封止と、通気管とガラス基
板との気密接着と、内部空間の真空排気とを一連の工程
で行うことが可能となる。さらにこの一連の工程の中
に、放電ガスの充填と、通気管のチップオフとを含ませ
ることができる。これにより、工程をさらに簡略化でき
るばかりでなく、不純物の汚染を受け易い状態にある内
部空間を一層清浄に保つことが可能になる。

【００３０】

【発明の実施の形態】

〔第１実施形態〕本発明を具体化した第１実施形態を、
図１〜図６を参照して説明する。

【００３１】図１は、前面側のガラス基板（Ａ基板）１
１と、背面側のガラス基板（Ｂ基板）２１とを、周辺部
に封止材４０を備えた形で組み合わせ、Ｂ基板にある通
気孔２５の背面部に、通気管６０をセットした状態を示
している。この通気管６０は、そのスカート形状を有す
る基板端部（以下、スカート部６１と記す）とＢ基板２
１との間に固形化した接着用部材としてのプリフォーム
７５を挟み、クリップ手段としてのクリップ８０で図１
に示すようにセットされている。

【００３２】この状態で加熱および降温の熱処理を行う
ことにより、プリフォーム７５をガラス化し、それを接
着材として通気管６０をＢ基板２１に固着（ガラス融
着）することができる。

【００３３】図１に示したように通気管６０をセットす
る方法は、次の通りである。 (イ) 周辺部に封止材４０を挾持するように、Ａ基板１１
とＢ基板２１とを組合せたものを、通気孔２５のあるＢ
基板２１が上側になるようにして準備する。

【００３４】(ロ) Ｂ基板２１の通気孔２５の部分にプリ
フォーム７５を置き、さらにその上に通気管６０を置
き、それぞれの孔の中心部が揃うように位置合わせをす
る。 (ハ) その状態で、通気管６０のスカート部６１をＢ基板
に押圧するようにクリップ８０をセットする。

【００３５】ここで、ガラス基板１１，２１は、厚さが
２〜３ｍｍ、通気孔の直径が２ｍｍ程度のものを用いて
いる。通気管６０はガラスからなり、図２に示すよう
に、直径約５ｍｍ長さ約５ｃｍの中空の管部６０ｂと、
ガラス基板２１に接続する端面を平坦化しかつ裾広に形
成した直径約９．５ｍｍのスカート部６１とを備えてい
る。

【００３６】なお、本実施形態では、通気管のスカート
部をクリップによる押さえ部（挾持部）として利用して
いるが、この挾持部構造としては鍔（フランジ）形状等
が採用できる。

【００３７】プリフォーム７５は、図３の平面図（ａ）
と、そのＡ−Ａ部矢視の断面図（ｂ）とに示すように、
外周部が１〜１．５ｍｍの厚さで、中央部に直径約７ｍ
ｍの孔部７６と、その孔の上部に直径約１０ｍｍの段差
部７７を備えた形状をしている。この孔部７６の直径
は、Ｂ基板の通気孔２５の直径（約２ｍｍ）より５ｍｍ
程度大きいものとし、セット時のばらつきに対する余裕
としている。また、高さ約０．５ｍｍの壁を有する段差
部７７の直径は通気管６０のスカート部６１の直径とほ
ぼ同等のものとしてセットする精度を上げられるように
している。なお、この段差部７７は、セット作業を容易
にするための工夫であり、ここに通気管６０のスカート
部６１を嵌め込んでセット作業を行う。

【００３８】このプリフォーム７５は、低融点ガラスを
主成分とした粉末を成形治具に入れ、熱処理を施すこと
により製作している。このような形状を持つように固形
化されたものであるため、セット作業を精度良く簡便に
行うことができる。

【００３９】低融点ガラスを主成分としたこのプリフォ
ーム７５は、４１０°Ｃ程度の熱処理を施すことにより
溶融し、３７０°Ｃ程度以下に降温することにより固化
したガラスとなる。従って、図１のようにセットされた
状態で加熱および降温の熱処理を行うことにより、Ｂ基
板２１と通気管６０とを固着することができる。

【００４０】次に、通気管６０とＢ基板２１とを押圧し
てセットするクリップ８０は、図４に示すような形状を
している。同図（ａ）は平面図、（ｂ）はＢ−Ｂ矢視の
断面図を示している。同図（ｂ）には、クリップ８０を
セットするための支持板９０を併記する形で示した。こ
のクリップ８０は、耐熱性とバネ性のあるインコネルの
ような金属材料で形成されている。

【００４１】同図（ａ）に示すように、クリップ８０に
は、その片方の面に切り欠き部８１があり、この切り欠
き部８１の中に通気管６０が入る（挿通する）ようにし
てクリップ８０をセットする。切り欠き部８１の両側は
通気管６０のスカート部を押さえる支持部８３となる。
このセットは、同図（ｂ）に示した支持板９０ａ，９０
ｂをクリップ８０の折り返し部８２の内側に挟んで、一
対の支持板９０ａ，９０ｂの外側を互いに内向き方向に
押さえ、梃子の原理で先端部を開き、切り欠き部８１の
間に通気管６０が入るように配置して、二つの支持板９
０ａ，９０ｂに加えた力を除去すればよい。

【００４２】このようにしてクリップ８０をセットする
作業は非常に容易であり、この工程は機械化することも
できる。さらに、この切り欠き部８１の寸法を適正化す
ることにより、次に説明するように通気管６０の取り付
け精度を上げることができる。

【００４３】図５は、通気管６０のＢ基板２１への取り
付けを完了し、その作業に用いたクリップを取り外した
後の状態を示したものである。この図のように、通気管
６０は、プリフォームが溶融して固化した接続部分７８
が完全に気密状態となり、Ｂ基板２１の上に垂直に立
ち、その仕上がり精度が高くかつばらつきが少ないもの
であることが必要であり、その実現が本実施形態の一つ
の目的である。

【００４４】ここで、接続部分７８が完全に気密状態と
なりリーク不良にならないという点は、第１に、固形化
したプリフォーム７５を用いることにより実現される。
人手による塗布という、ばらつきの大きい方法ではない
ことがその要因である。第２に、クリップ８０を適正な
条件でセットするという方法を用いることにより、その
取り付け精度（特に通気管６０の傾き）を上げることが
できる。この二つの条件を同時に実現して初めて上記の
目的を実現できるものとなる。

【００４５】そこで、クリップ８０を適正な条件でセッ
トし、通気管６０の取り付け精度（特に通気管６０の傾
き）を上げるにはどのようにすべきかについて、図６を
用いて説明する。

【００４６】同図（ｂ）はクリップ８０の切り欠き部８
１と通気管６０との位置関係を示す図である。切り欠き
部８１の幅Ｗは約５ｍｍである。通気管６０をクリップ
８０の切り欠き部８１の奥端部８１ａに当接するよう
に、クリップ８０をセットするため、その長さＬを変え
ることにより、通気管６０のスカート部６１を押さえる
位置が変わる。従って、それに応じて、通気管６０の取
り付け後の傾き（倒れ角度）が変動する。

【００４７】そこで、切り欠き部８１の長さＬを３，
４，５，６ｍｍとした場合に、通気管６０の倒れ角度が
どのように変動するかについて調べたデータをグラフに
して同図（ａ）に示した。このグラフによれば、切り欠
き部８１の長さＬを４〜５ｍｍの範囲内に設定すること
により、通気管を精度良く（ほぼ垂直に）取り付けるこ
とができることを示している。

【００４８】以上説明したように、通気管６０を図１の
ようにセットして、加熱および降温の熱処理を行い、そ
の熱処理の完了後にクリップ８０を取り外すという方法
で通気管６０の取り付けを行うことにより、次のような
効果を得ることができる。

【００４９】(1) 通気管とガラス基板の通気孔部との融
着は、仕上がりのばらつきが小さく、不良品の発生が少
ないものとすることができる。 (2) 作業者の熟練や手間が少なくてすみ、作業を簡略化
することができる。（機械化もし易いものとなってい
る。） (3) ガラス基板を垂直方向に並べることが可能になるた
め、加熱炉の中に多数のガス放電パネルを効率良く並べ
ることも可能になり、作業効率を上げることができる。

【００５０】なお、本実施形態では、通気管６０の材料
はガラスであるとして説明したが、ガラス以外の材料
（例えば、セラミックや金属）でもよい。クリップ手段
として、クリップの例を示したが、クリップとは異なる
別の形態のものであっても、押圧が可能な部材であれば
よい。複数のものでも単一品として構成された治具でも
よい。その形状も、本実施形態に限定されるものではな
い。

【００５１】さらに、前記(イ) の工程で説明した「周辺
部に封止材４０を挾持するように、Ａ基板１１とＢ基板
２１とを組み合わせたもの」に関して、封止材４０は、
熱処理により融着処理を完了したものであっても、熱処
理前の（融着されていない）状態のものであってもよ
い。ここで、後者の具体例は、第３実施形態の中に示し
た。一方、前者の場合には、封止材４０の軟化温度が、
通気管６０を融着するプリフォーム７５の融着温度より
高いものを用いていればよい。

【００５２】〔第２実施形態〕本発明を具体化した第２
実施形態を、図７を参照して説明する。本実施形態は、
通気管６０とプリフォーム（図３の７５）との組合せを
改善したものである。

【００５３】第１実施形態においては、これらは別々の
ものであるため、図１に示すようにセットするために
は、予め組み合わされたガラス基板１１，２１に対し
て、通気管６０と、プリフォーム７５と、クリップ８０
との三つの部品を位置合わせしてセットする必要があっ
た。

【００５４】そこで、本実施形態においては、このプリ
フォーム（図３の７５）を、熱処理により、予めスカー
ト部６１に符号７９で示すように固着した通気管６０を
用いる。この熱処理としては、両者を組合せた状態で、
例えばガスバーナの炎を当てて融着する方法がある。あ
るいは、加熱炉の中に入れる方法でもよい。

【００５５】このようにして、プリフォーム（図３の７
５）と通気管６０とを一体化した通気用組立体を用いる
ことにより、第１実施形態の場合よりも簡便に、ガラス
基板２１に、通気管６０とクリップ８０とをセットする
ことができる。

【００５６】〔第３実施形態〕本発明を具体化した第３
実施形態を、図８〜図１０を参照して説明する。本実施
形態は、第１実施形態の方法の前後に別の工程を組み合
わせて一連の工程となし、全体の工程を合理化する改善
と、内部空間を一層清浄化する改善とを可能とするもの
である。

【００５７】図８は、本実施形態における処理プロセス
のフローを示し、図９は、そのフローを模式的に図示し
たものである。工程を(A) 〜(F) の６工程に分け、図８
と図９において、それぞれ対応する工程には同一の符号
を付けて示した。

【００５８】(A) 予め周辺部に封止材（第１の接着用部
材）を印刷したＡ基板と、通気孔を有するＢ基板とを、
封止材を挾持するように位置合わせして組合せ、その周
辺部に、封止材のある部分を押圧するように基板押圧用
のクリップ（第１のクリップ手段）８５をセットする。

【００５９】(B) Ｂ基板の通気孔部に、通気管６０とプ
リフォーム（第２の接着用部材）とを、通気管押圧用の
クリップ（第２のクリップ手段）８０によりセットす
る。このようにセットしたものを通気管・基板アセンブ
リと呼称する。（この通気管・基板アセンブリは、以後
の一連の処理が完了するまで、各工程の処理が加えられ
たものも含めて、全て通気管・基板アセンブリと呼称す
るものとする。） なお、この工程は、第１実施形態の方法に対応するもの
である。

【００６０】(C) そのように組み立てられた通気管・基
板アセンブリを封止・排気炉２６０の中に配置し、その
通気管部に真空排気用の耐熱性真空ヘッド２１０（この
内容は、図１０を参照して後述する）を取り付け、封止
・排気炉２６０の扉を閉める。ここで、封止・排気炉２
６０内に搬入してセットした通気管・基板アセンブリは
１個であるが、これは模式的に示したもので、通常は複
数の通気管・基板アセンブリをセットする。

【００６１】本実施形態においてはこの工程が重要であ
る。第１実施形態に対応する(B) の工程を用いることに
より、このように真空ヘッド２１０を取り付けることが
可能となり、さらに(D) 以降の一連の工程を可能として
いる。この内容は、工程フローとその効果の説明の後で
（図１０を参照して）詳細に説明する。

【００６２】(D) この状態で、約４１０°Ｃに加熱する
ことにより、封止材（第１の接着用部材）とプリフォー
ム（第２の接着用部材）とを溶融させる。なお、これら
の接着用部材は、いずれも低融点ガラスを主成分とする
材料であり、この温度で溶融するように調整されてい
る。

【００６３】次に、約３５０°Ｃにまで降温させて保持
する。この過程で二つの接着用部材は固化してガラスと
なり、基板周辺部の封止と、通気管の封止（ガラス融
着）とが同時に行われる。

【００６４】これで通気管・基板アセンブリの気密封止
が完了し、すでに真空ヘッド２１０が装着されているた
め、ここで真空ヘッド２１０に連結した排気装置（図９
には図示せず、図１０に図示）を作動させることによ
り、通気管・基板アセンブリの内部空間を真空に排気す
ることができる。封止・排気炉２６０の内部は約３５０
°Ｃに保持されているため、加熱状態で真空排気処理が
できる。（内部表面に付着している不純物や不純ガスの
放出を加熱により加速し、内部空間の真空度を上げるこ
とができる。） 十分な排気処理の後、炉内の温度を常温にまで降温させ
る。この後、通気管・基板アセンブリの内部空間に、放
電ガスを導入する。このために、排気装置（図９には図
示せず、図１０に図示）は、放電ガスを導入するための
ガスボンベや所定の配管等を有する構成となっている。

【００６５】(E) この処理の完了後、封止・排気炉２６
０の扉を開け、ガスバーナにて通気管をチップオフす
る。 (F) このチップオフ処理を完了した通気管・基板アセン
ブリを、封止・排気炉２６０から取り出し、２種類のク
リップ８５，８０を全て取り外して一連の工程が完了す
る。

【００６６】このようにして完成した通気管・基板アセ
ンブリは、次の工程（エージング、特性試験等）に搬送
される。従来は、以上のような一連の工程と異なり、封
止炉内で通気管の取り付けを行った後に常温に戻し、通
気管・基板アセンブリを封止炉から外に取出し、次に加
熱炉を有する排気装置に取り付けて、加熱状態で排気す
るという方法を用いていた。このような従来の方法に比
べて、本実施形態に示したように一連の工程を遂行する
ことの効果は、次の通りである。

【００６７】(1) 本実施形態においては、通気管の取り
付けを完了した通気管・基板アセンブリを、通気管の外
端部が開放状態のままで常温に戻して空気中に一時放置
するという工程がない。これは、内部空間を清浄化する
上で効果の大きい改善である。

【００６８】即ち、従来のように、大気中において約４
１０°Ｃから常温に戻すという工程は、内部空間に大気
中の不純物を吸着させる結果をもたらすため、その後真
空に排気する工程においては、加熱状態で長時間をかけ
て清浄化の処理を行うことが必要になる。特に、ＡＣ型
のガス放電パネルの場合には、内部空間に不純物の汚染
を受け易いＭｇＯ膜を備えているため、この影響が大き
い。排気工程に移るまでの放置時間が長い場合は、一層
その影響は大きいものとなる。

【００６９】これに対して、本実施形態の場合には、基
板周辺部と通気管部の封止工程の後、温度を常温に戻す
ことなく、約３５０°Ｃのレベルに保持し、その状態で
内部空間の排気を行っている。従って、空気中の不純物
が内部空間に吸着することが、約３５０°Ｃの熱印加に
より抑制され、その状態で真空排気が行われるため、内
部空間を清浄化する効果が大きいものとなる。特に、内
部空間にＭｇＯ膜を有するＡＣ型ガス放電パネルにおい
て、この効果は顕著である。

【００７０】(2) 本実施形態においては、封止工程と排
気工程とにおける加熱・降温の熱処理工程が、従来は二
つであったものを、一つの工程に合体しているため、封
止工程と排気工程とを完了するのに要する時間をほぼ半
分に削減することができる。即ち、封止工程と排気工程
とに要する時間は、それぞれの熱工程による時間がほと
んどを占めるため、この熱工程を半減すれば、全体の処
理時間もほぼ半減するものとなっている。

【００７１】なお、本実施形態においては、基板周辺部
の封止と通気管の取り付けと排気の三つの工程を一つの
熱工程で処理している。従来は、これらの三つの工程
を、三つの熱処理工程で行う場合もあり、このような場
合に比べれば全工程に要する時間はほぼ１／３になる。

【００７２】このように、基板周辺部の封止と通気管の
取り付けと排気の三つの工程を、一連の工程として（一
つの熱工程で）処理することにより、製造工程を大幅に
削減することが可能になる。

【００７３】ここで、本実施形態のような一連の工程
は、上記(C),(D) の工程を実現することにより可能とな
ったものである。この内容について、図１０を参照して
説明する。

【００７４】図１０は、封止・排気炉２６０の中に、通
気管・基板アセンブリ２００を搬入して真空ヘッド２１
０をセットした状態を横から見て図示したものである。
（これに対して、図９は上から見て図示したものであ
る。）通気管・基板アセンブリ２００のガラス基板１
１，２１を水平に置き、垂直に立っている通気管６０の
外端部に、真空ヘッド２１０を取り付けている。真空ヘ
ッド２１０には、真空排気用の配管２２０が付いてお
り、それは排気・ガス充填装置２５０に接続されてい
る。なお、その配管の途中に、通気管６０に真空ヘッド
２１０を取り付け易くするために、ベローズ等の緩衝手
段２３０を配置することが望ましい。

【００７５】ここで重要なことは、本実施形態において
は、第１に、真空ヘッド２１０を取り付ける時に力が加
わっても通気管６０が外れないようにすることである。
そして第２に、この状態で約４１０°Ｃに加熱してプリ
フォーム７５が溶融しかつ真空ヘッド２１０による外力
が加わっても、通気管６０がＢ基板２１に接触した状態
を確実に保持することができるようにすることである。

【００７６】これらの２点が可能であることは、図１０
の構成を見れば明らかである。第１の点に関しては、真
空ヘッド２１０を取り付ける時に通気管６０に力が加わ
り、第２の点に関しては、プリフォーム７５を加熱溶融
する際に通気管６０に力が加わることが問題となる。い
ずれも、問題となる外力の主たるものは、真空ヘッド２
１０に起因したものである。このような外力に対して、
通気管６０は、クリップ８０の押圧により強固に固定さ
れているため、位置がずれたり融着不良が発生したりす
ることはない。一方、従来の方法では、通気管６０をこ
のように保持する手段がないため、このような工程を実
現することは不可能であった。

【００７７】結局、このような一連の工程を可能にした
のは、第１実施形態の方法を用いていることによるもの
である。なお、図１０のように真空ヘッド２１０を用い
ることに代えて、真空排気用の配管２２０をガラス管と
し、それを通気管６０に、ガスバーナ等により直接溶着
することもできる。

【００７８】図９および図１０においては、通気管・基
板アセンブリ２００のガラス基板１１，２１を水平方向
に設置して処理しているが、これを垂直方向に設置して
処理することもできる。

【００７９】

【発明の効果】請求項１及び２記載の発明によれば、通
気管とガラス基板の通気孔部との融着は、仕上がりのば
らつきが小さく、不良品の発生が少ないものとすること
ができる。さらに、作業者の熟練や手間が少なくてす
み、機械化もし易いものとなっている。また、この発明
によりガラス基板を垂直方向に並べることが可能になる
ため、加熱炉の中に多数のガス放電パネルを効率良く並
べることも可能になり、作業効率を向上できる。

【００８０】さらに、クリップを用いたことにより、そ
の取り付けと取り外しとの作業性を向上させることがで
きる。請求項４記載の発明によれば、通気管を融着する
工程と、内部空間の真空排気の工程を一連の工程として
処理することができる。従って、工程を簡略化できるば
かりでなく、通気管取り付け後に空気中に一時放置する
工程が無くなるため、不純物を吸着し易い内部空間を一
層清浄に保つことが可能になる。

【００８１】さらに、この一連の工程は、真空排気の後
に放電用のガスを充填する工程、その後の通気管のチッ
プオフの工程等を含ませることができるため、全体の工
程を大幅に簡略化できる。

【００８２】請求項５記載の発明によれば、接着用部材
を予め通気管と一体化したものとすることにより、通気
管をガラス基板に固定する工程を簡略化できる。請求項
６及び３記載の発明によれば、一対の基板の周辺部の気
密封止と、通気管とガラス基板との気密接着とを同一の
工程で行うことができる。

【００８３】請求項６及び３記載の発明に加えて、請求
項４記載の方法を用いれば、基板周辺部の気密封止と、
通気管とガラス基板との気密接着と、内部空間の真空排
気と、放電ガスの充填と、通気管のチップオフとを一連
の工程で行うことが可能となる。これにより、工程をさ
らに簡略化できるばかりでなく、不純物の汚染を受け易
い状態にある内部空間を一層清浄に保つことが可能にな
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】 第１実施形態を示す図

【図２】 通気管の形状を示す図

【図３】 プリフォームの形状を示す図

【図４】 クリップの形状を示す図

【図５】 通気管の取り付け完了後の状態を示す図

【図６】 クリップの切り欠き部の長さと、通気管の倒
れ角度との関係を示す図

【図７】 第２実施形態を示す図

【図８】 第３実施形態を示すフローチャート

【図９】 第３実施形態の工程を示す図

【図１０】 真空ヘッドの取り付けを示す図

【図１１】 ガス放電パネルを示す図

【図１２】 従来の通気管取り付け方法を示す図

【符号の説明】

１０，１００ ガス放電パネル １１，１１１ ガラス基板、Ａ基板 ２１，１２１ ガラス基板、Ｂ基板 ２５，１２５ 通気孔 ３０，１３０ 内部空間 ４０，１４０ 封止材 ６０，１６０，１６０ａ 通気管 ６０ｂ 管部 ６１，１６１ スカート部 ７５ プリフォーム ７６ 孔部 ７７ 段差部 ８０ クリップ ８１ 切り欠き部 ８１ａ 切り欠き部の奥端部 ８２ 折り返し部 ８３ 支持部 ９０，９０ａ，９０ｂ 支持板 １７０ａ，１７０ｂ ガラスペースト ２００ 通気管・基板アセンブリ ２１０ 真空ヘッド ２２０ 配管 ２３０ 緩衝手段 ２５０ 排気・ガス充填装置 ２６０ 封止・排気炉 ＥＨ 表示領域

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 通気孔を有する基板に通気管を取り付
   け、該通気孔を介して内部の排気または放電ガス充填を
   行うガス放電パネルの製造方法であって、 通気管のスカート形状を有する基端部と、通気孔を有す
   る基板面との間に、固形の接着用部材を配置し、 クリップ手段を用いて、該通気管と該接着用部材とを挾
   持するように該基板面に固定し、 この固定状態で、該接着用部材を加熱により溶融させた
   後降温により固化させ該通気管を該基板に固着させるこ
   とを特徴とするガス放電パネルの製造方法。
2. 【請求項２】 請求項１記載のクリップ手段は、通気管
   を支持する側の一方の支持板に該通気管を挿通させる切
   り欠き部と、通気管のスカート部を押さえる支持部とを
   有してなることを特徴とするガス放電パネルの製造方
   法。
3. 【請求項３】 請求項１記載の加熱が、一対の基板周辺
   部の封止用接着部材を融着する加熱と同時に行われるこ
   とを特徴とするガス放電パネルの製造方法。
4. 【請求項４】 請求項１記載の加熱処理に先立って、前
   記通気管の他方の端部に排気用配管を接続し、通気管を
   固着する前記加熱後の降温途中の加温状態において排気
   を行うことを特徴とするガス放電パネルの製造方法。
5. 【請求項５】 スカート形状の基端部を有する通気管
   と、該通気管の孔に対応した開口を有する固形の接着用
   部材とからなり、 該接着用部材が、加熱により予め前記通気管のスカート
   部に固着された構成であることを特徴とする通気用組立
   体。
6. 【請求項６】 対向して配置した一対の基板の周辺部の
   基板間にペースト状または固形の第１の接着用部材を配
   設した後、該接着用部材と一対の該基板とを第１のクリ
   ップ手段により固定する工程と、 通気孔を有する前記基板上の該通気孔に位置合わせして
   固形の第２の接着用部材と通気管とを配置した後、第２
   のクリップ手段を用いて該通気管と該接着用部材とを挾
   持するように該基板面に固定する工程と、 第１および第２の接着用部材を加熱炉で加熱溶融させた
   後降温により固化させて一対の該基板の封止と該通気管
   の固着とを同時に行う工程とを含むことを特徴とするガ
   ス放電パネルの製造方法。