JPH09304151A - 質量流量計 - Google Patents
質量流量計Info
- Publication number
- JPH09304151A JPH09304151A JP8123663A JP12366396A JPH09304151A JP H09304151 A JPH09304151 A JP H09304151A JP 8123663 A JP8123663 A JP 8123663A JP 12366396 A JP12366396 A JP 12366396A JP H09304151 A JPH09304151 A JP H09304151A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- zero point
- flow rate
- temperature
- measured
- phase difference
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/76—Devices for measuring mass flow of a fluid or a fluent solid material
- G01F1/78—Direct mass flowmeters
- G01F1/80—Direct mass flowmeters operating by measuring pressure, force, momentum, or frequency of a fluid flow to which a rotational movement has been imparted
- G01F1/84—Coriolis or gyroscopic mass flowmeters
- G01F1/8409—Coriolis or gyroscopic mass flowmeters constructional details
- G01F1/8436—Coriolis or gyroscopic mass flowmeters constructional details signal processing
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F25/00—Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume
- G01F25/10—Testing or calibration of apparatus for measuring volume, volume flow or liquid level or for metering by volume of flowmeters
Abstract
(57)【要約】
【課題】 被測定流体の停止を判断しゼロ点設定を行う
ことにより、正確にかつ自動的にゼロ点設定を行えるよ
うにした質量流量計に関し、ゼロ点調整を行うことによ
りゼロ点調整を正確に行えるようにした質量流量計を提
供することを目的とする。 【解決手段】 センサチューブ２，３の上流側ピックア
ップ１２の検出信号と下流側ピックアップ１３の検出信
号との位相差に応じた位相差信号がゼロ点を中心とした
所定の範囲内で所定時間変化がないときに流体の流れが
停止していると判断して、ゼロ点設定を行う。
ことにより、正確にかつ自動的にゼロ点設定を行えるよ
うにした質量流量計に関し、ゼロ点調整を行うことによ
りゼロ点調整を正確に行えるようにした質量流量計を提
供することを目的とする。 【解決手段】 センサチューブ２，３の上流側ピックア
ップ１２の検出信号と下流側ピックアップ１３の検出信
号との位相差に応じた位相差信号がゼロ点を中心とした
所定の範囲内で所定時間変化がないときに流体の流れが
停止していると判断して、ゼロ点設定を行う。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は質量流量計に係り、
特に、被測定流体の停止を判断しゼロ点設定を行うこと
により、正確にかつ自動的にゼロ点設定を行えるように
した質量流量計に関する。
特に、被測定流体の停止を判断しゼロ点設定を行うこと
により、正確にかつ自動的にゼロ点設定を行えるように
した質量流量計に関する。
【０００２】
【従来の技術】流体の流量を測定する計測器として質量
流量計が用いられている。このような、質量流量計で
は、流体をセンサチューブに流し、流体を流したセンサ
チューブを振動させて測定を行う。センサチューブを振
動させることにより流体の質量流量に応じたコリオリ力
がセンサチューブに働きセンサチューブの流入側と流出
側との振動に位相差が生じる。センサチューブの上流側
及び下流側にセンサチューブの変位を測定するピックア
ップを設け、ピックアップによりセンサチューブの振動
を検出することによりセンサチューブの上流側と下流側
との振動の位相差を検出し、位相差に応じて質量流量を
換算する。
流量計が用いられている。このような、質量流量計で
は、流体をセンサチューブに流し、流体を流したセンサ
チューブを振動させて測定を行う。センサチューブを振
動させることにより流体の質量流量に応じたコリオリ力
がセンサチューブに働きセンサチューブの流入側と流出
側との振動に位相差が生じる。センサチューブの上流側
及び下流側にセンサチューブの変位を測定するピックア
ップを設け、ピックアップによりセンサチューブの振動
を検出することによりセンサチューブの上流側と下流側
との振動の位相差を検出し、位相差に応じて質量流量を
換算する。
【０００３】図５に従来の質量流量計のブロック構成図
を示す。従来の質量流量計２９は、流体が流れるセンサ
チューブ３０、センサチューブ３０を振動させる加振器
３１、センサチューブ３０の上流側の変位を検出する上
流側ピックアップ３２、センサチューブ３０の下流側の
変位を検出する下流側ピックアップ３３、上流側ピック
アップ３２の検出信号と下流側ピックアップ３３の検出
信号との位相差を検出する位相差検出部３４、位相差検
出部３４で検出された位相差信号を質量流量値に変換す
る流量変換部３５、流量変換部３５での測定流量をゼロ
点に設定するゼロ点設定ボタン３６より構成される。
を示す。従来の質量流量計２９は、流体が流れるセンサ
チューブ３０、センサチューブ３０を振動させる加振器
３１、センサチューブ３０の上流側の変位を検出する上
流側ピックアップ３２、センサチューブ３０の下流側の
変位を検出する下流側ピックアップ３３、上流側ピック
アップ３２の検出信号と下流側ピックアップ３３の検出
信号との位相差を検出する位相差検出部３４、位相差検
出部３４で検出された位相差信号を質量流量値に変換す
る流量変換部３５、流量変換部３５での測定流量をゼロ
点に設定するゼロ点設定ボタン３６より構成される。
【０００４】このような質量流量計２９で、ゼロ点を設
定する際には、まず、作業員がバルブなどを閉鎖し、セ
ンサチューブ３０内の流量の流れを停止させる。このと
き、ピックアップ３２、３３で検出される検出信号の位
相差信号が質量流量ゼロに対応すると判断して、作業員
はゼロ点設定ボタン３６を操作してゼロ点設定を行って
いた。
定する際には、まず、作業員がバルブなどを閉鎖し、セ
ンサチューブ３０内の流量の流れを停止させる。このと
き、ピックアップ３２、３３で検出される検出信号の位
相差信号が質量流量ゼロに対応すると判断して、作業員
はゼロ点設定ボタン３６を操作してゼロ点設定を行って
いた。
【０００５】
【発明が解決しようとする課題】しかるに、従来に質量
流量計では、作業員が人為的にゼロ点設定を行わなけれ
ばならないため、作業員がバルブが完全に閉じていない
状態でゼロ点設定ボタン３６を操作し、ゼロ点設定を行
った場合などに流量がゼロではないにもかかわらずゼロ
点設定が行われてしまい、以降の計測に誤差が発生して
しまう等問題点があた。
流量計では、作業員が人為的にゼロ点設定を行わなけれ
ばならないため、作業員がバルブが完全に閉じていない
状態でゼロ点設定ボタン３６を操作し、ゼロ点設定を行
った場合などに流量がゼロではないにもかかわらずゼロ
点設定が行われてしまい、以降の計測に誤差が発生して
しまう等問題点があた。
【０００６】また、センサチューブの温度変化や流体の
密度変化などが原因で振動周波数が変化することにより
ゼロ点が変化してしまったときには、このゼロ点変化の
分が流量の誤差として出力に乗ってしまうため、ゼロ点
設定を行わなくてはならない。しかし、上記従来の質量
流量計は、ゼロ点設定を作業員が人為的に行っているた
め、センサチューブの温度変化や流体の密度の変化は作
業員には把握できず、ゼロ点設定を行うべきときにゼロ
点設定が行われなかったり、または、ゼロ点設定を行う
必要がないときにゼロ点設定を行ってしまう等の問題点
があった。
密度変化などが原因で振動周波数が変化することにより
ゼロ点が変化してしまったときには、このゼロ点変化の
分が流量の誤差として出力に乗ってしまうため、ゼロ点
設定を行わなくてはならない。しかし、上記従来の質量
流量計は、ゼロ点設定を作業員が人為的に行っているた
め、センサチューブの温度変化や流体の密度の変化は作
業員には把握できず、ゼロ点設定を行うべきときにゼロ
点設定が行われなかったり、または、ゼロ点設定を行う
必要がないときにゼロ点設定を行ってしまう等の問題点
があった。
【０００７】本発明は上記の点に鑑みてなされたもの
で、上記の問題点を解決した質量流量計を提供するする
ことを目的とする。
で、上記の問題点を解決した質量流量計を提供するする
ことを目的とする。
【０００８】
【課題を解決するための手段】本発明の請求項１は、被
測定流体が流通するセンサチューブと、該センサチュー
ブを振動させる加振器と、該センサチューブの入力側と
出力側とでの振動周波数の位相差を検出する位相差検出
手段と、該位相差検出手段で検出された位相差に基づい
て該センサチューブに流れる該被測定流体の流量を算出
する流量算出手段とを備え、該流量算出手段で流量は設
定されているゼロ点からの相対流量である質量流量計に
おいて、前記被測定流体の流れが停止していると判断す
る判断手段と、前記判断手段で被測定流体の流れが停止
していると判断されたときに、前記流量算出手段の算出
結果を前記ゼロ点として設定するゼロ点設定手段とを有
することを特徴とする。
測定流体が流通するセンサチューブと、該センサチュー
ブを振動させる加振器と、該センサチューブの入力側と
出力側とでの振動周波数の位相差を検出する位相差検出
手段と、該位相差検出手段で検出された位相差に基づい
て該センサチューブに流れる該被測定流体の流量を算出
する流量算出手段とを備え、該流量算出手段で流量は設
定されているゼロ点からの相対流量である質量流量計に
おいて、前記被測定流体の流れが停止していると判断す
る判断手段と、前記判断手段で被測定流体の流れが停止
していると判断されたときに、前記流量算出手段の算出
結果を前記ゼロ点として設定するゼロ点設定手段とを有
することを特徴とする。
【０００９】請求項１によれば、判断手段により被測定
流体の流れが停止していると判断されたときに、ゼロ点
設定手段によりゼロ点を設定することにより自動的にゼ
ロ点を設定することができる。請求項２は、前記ゼロ点
設定手段により前記ゼロ点を設定したときの前記位相差
検出手段の振動周波数を記憶する振動周波数記憶手段
と、前記判断手段により前記被測定流量の流れが停止し
ていると判断されたときの前記位相差検出手段の振動周
波数と前記振動周波数記憶手段に記憶されている前回の
ゼロ点設定が行われたときの振動周波数とを比較する振
動周波数比較手段とを有し、前記ゼロ点設定手段は、前
記振動周波数比較手段の比較結果、前記振動周波数が異
なるときに、前記流量算出手段の算出結果を新たにゼロ
点として設定することを特徴とする。
流体の流れが停止していると判断されたときに、ゼロ点
設定手段によりゼロ点を設定することにより自動的にゼ
ロ点を設定することができる。請求項２は、前記ゼロ点
設定手段により前記ゼロ点を設定したときの前記位相差
検出手段の振動周波数を記憶する振動周波数記憶手段
と、前記判断手段により前記被測定流量の流れが停止し
ていると判断されたときの前記位相差検出手段の振動周
波数と前記振動周波数記憶手段に記憶されている前回の
ゼロ点設定が行われたときの振動周波数とを比較する振
動周波数比較手段とを有し、前記ゼロ点設定手段は、前
記振動周波数比較手段の比較結果、前記振動周波数が異
なるときに、前記流量算出手段の算出結果を新たにゼロ
点として設定することを特徴とする。
【００１０】請求項２によれば、判断手段により被測定
流体の流れが停止していると判断されたときで、振動周
波数比較手段により、前回ゼロ点設定したときと振動周
波数が異なる場合に、ゼロ点設定手段によりゼロ点を設
定することにより、振動周波数の変動に応じて自動的に
ゼロ点を設定することができる。
流体の流れが停止していると判断されたときで、振動周
波数比較手段により、前回ゼロ点設定したときと振動周
波数が異なる場合に、ゼロ点設定手段によりゼロ点を設
定することにより、振動周波数の変動に応じて自動的に
ゼロ点を設定することができる。
【００１１】請求項３は、前記センサチューブの温度を
検出する温度検出手段と、前記ゼロ点設定手段により前
記ゼロ点を設定したときの前記温度検出手段の温度を記
憶する温度記憶手段と、前記判断手段により流れが停止
していると判断されたときの前記温度検出手段の温度と
前記温度記憶手段に記憶されている前回ゼロ点設定が行
われたときの温度とを比較する温度比較手段とを有し、
前記ゼロ点設定手段は、前記温度比較手段に比較結果、
前記温度が異なるときに、前記流量算出手段の算出結果
を新たにゼロ点として設定することを特徴とする。
検出する温度検出手段と、前記ゼロ点設定手段により前
記ゼロ点を設定したときの前記温度検出手段の温度を記
憶する温度記憶手段と、前記判断手段により流れが停止
していると判断されたときの前記温度検出手段の温度と
前記温度記憶手段に記憶されている前回ゼロ点設定が行
われたときの温度とを比較する温度比較手段とを有し、
前記ゼロ点設定手段は、前記温度比較手段に比較結果、
前記温度が異なるときに、前記流量算出手段の算出結果
を新たにゼロ点として設定することを特徴とする。
【００１２】請求項３によれば、判断手段により被測定
流体の流れが停止していると判断されたときで、温度比
較手段により前回ゼロ点設定したときとセンサチューブ
の温度が異なる場合に、ゼロ点設定手段によりゼロ点を
設定することにより、温度の変動に応じて自動的にゼロ
点を設定することができる。
流体の流れが停止していると判断されたときで、温度比
較手段により前回ゼロ点設定したときとセンサチューブ
の温度が異なる場合に、ゼロ点設定手段によりゼロ点を
設定することにより、温度の変動に応じて自動的にゼロ
点を設定することができる。
【００１３】請求項４は、前記判断手段が前記被測定流
体の測定流量が前記ゼロ点付近の所定の流量範囲内で、
かつ、所定時間変化しない場合には、前記被測定流体の
流れが停止していると判断することを特徴とする。請求
項４によれば、判断手段により被測定流体の流量がゼロ
点付近の所定流量範囲内で所定時間変化しないときに被
測定流体の流れが停止していると判断し、ゼロ点設定手
段によりゼロ点を設定することにより、自動的にゼロ点
を設定することができる。
体の測定流量が前記ゼロ点付近の所定の流量範囲内で、
かつ、所定時間変化しない場合には、前記被測定流体の
流れが停止していると判断することを特徴とする。請求
項４によれば、判断手段により被測定流体の流量がゼロ
点付近の所定流量範囲内で所定時間変化しないときに被
測定流体の流れが停止していると判断し、ゼロ点設定手
段によりゼロ点を設定することにより、自動的にゼロ点
を設定することができる。
【００１４】
【発明の実施の形態】図１に本発明になる質量流量計の
一実施例の縦断面図を示す。本実施例の質量流量計１
は、コリオリ式の質量流量計を構成している。図１で
２，３はセンサチューブを示す。
一実施例の縦断面図を示す。本実施例の質量流量計１
は、コリオリ式の質量流量計を構成している。図１で
２，３はセンサチューブを示す。
【００１５】センサチューブ２，３は、流体の流れ方向
（Ｘ方向）に直線状に延在するステンレス製の直管より
なり、上記流入側マニホールド４と流出側マニホールド
５との間で平行に設けられている。センサチューブ２，
３の両端近傍には、センサチューブ２，３が貫通して固
定される支持板６，７が横架されていて、センサチュー
ブ２，３は両端の支持板６，７により平行となるように
支持されている。
（Ｘ方向）に直線状に延在するステンレス製の直管より
なり、上記流入側マニホールド４と流出側マニホールド
５との間で平行に設けられている。センサチューブ２，
３の両端近傍には、センサチューブ２，３が貫通して固
定される支持板６，７が横架されていて、センサチュー
ブ２，３は両端の支持板６，７により平行となるように
支持されている。
【００１６】流入側マニホールド４は、上流側がベロー
ズ８Ａに接続固定され、下流側がセンサチューブ２，３
の上流側端部に接続固定されている。流入側マニホール
ド４は、ベローズ８Ａから流入した流体を２本のセンサ
チューブ２，３に分岐して供給する。
ズ８Ａに接続固定され、下流側がセンサチューブ２，３
の上流側端部に接続固定されている。流入側マニホール
ド４は、ベローズ８Ａから流入した流体を２本のセンサ
チューブ２，３に分岐して供給する。
【００１７】流出側マニホールド５は、上流側がセンサ
チューブ２，３の下流側端部に接続され、下流側がベロ
ーズ８Ｂの上流側端部に接続されている。流出側マニホ
ールド５は、２本のセンサチューブ２，３から供給され
た流体を混合してベローズ８Ｂに供給する。
チューブ２，３の下流側端部に接続され、下流側がベロ
ーズ８Ｂの上流側端部に接続されている。流出側マニホ
ールド５は、２本のセンサチューブ２，３から供給され
た流体を混合してベローズ８Ｂに供給する。
【００１８】ベローズ８Ａは、一端が上記のように流入
側マニホールド４に接続され、他端は流入管９に接続さ
れている。ベローズ８Ａは、流入側マニホールド４と流
入管９との間に生じる変位を吸収する。ベローズ８Ｂ
は、一端が上記のように流出側マニホールド５に接続さ
れ、他端が流出管１０に接続されている。ベローズ８Ｂ
は、流出側マニホールド５と流出管１０との間に生じる
変位を吸収する。
側マニホールド４に接続され、他端は流入管９に接続さ
れている。ベローズ８Ａは、流入側マニホールド４と流
入管９との間に生じる変位を吸収する。ベローズ８Ｂ
は、一端が上記のように流出側マニホールド５に接続さ
れ、他端が流出管１０に接続されている。ベローズ８Ｂ
は、流出側マニホールド５と流出管１０との間に生じる
変位を吸収する。
【００１９】流入管９は、下流側端部が上記のようにベ
ローズ８Ａに接続され、上流側端部が上流側配管（図示
せず）に接続されている。流入管９は、上流側端部が上
流側配管（図示せず）に接続固定され、流体を質量流量
計に導入する。流出管１０は、上流側端部が上記のよう
にベローズ８Ｂに接続され、下流側端部が下流側配管
（図示せず）に接続されている。流出管１０は、下流側
端部が下流側配管（図示せず）に接続固定され、質量流
量計で計測された流体を配管に戻す。
ローズ８Ａに接続され、上流側端部が上流側配管（図示
せず）に接続されている。流入管９は、上流側端部が上
流側配管（図示せず）に接続固定され、流体を質量流量
計に導入する。流出管１０は、上流側端部が上記のよう
にベローズ８Ｂに接続され、下流側端部が下流側配管
（図示せず）に接続されている。流出管１０は、下流側
端部が下流側配管（図示せず）に接続固定され、質量流
量計で計測された流体を配管に戻す。
【００２０】センサチューブ２，３の間には加振器１１
が設けられいる。加振器１１は、励振信号が入力される
励振コイルとマグネットとを対向させた実質電磁ソレノ
イドと同様な構成であり、一対のセンサチューブ２，３
の略中間部間に設けられており、センサチューブ２，３
を互いに逆位相で振動させる。加振器１１は、流量測定
部１５に接続されており、流量測定部１５から供給され
る駆動信号に応じて駆動される。
が設けられいる。加振器１１は、励振信号が入力される
励振コイルとマグネットとを対向させた実質電磁ソレノ
イドと同様な構成であり、一対のセンサチューブ２，３
の略中間部間に設けられており、センサチューブ２，３
を互いに逆位相で振動させる。加振器１１は、流量測定
部１５に接続されており、流量測定部１５から供給され
る駆動信号に応じて駆動される。
【００２１】センサチューブ２，３の加振器１１の上流
側には上流側ピックアップ１２が設けられている。上流
側ピックアップ１２は、センサチューブ２，３の一方に
検出コイルを設け、他方にマグネットを対向して設けた
構成であり、センサチューブ２，３の相対的な変位の速
度に応じた検出信号を得る。
側には上流側ピックアップ１２が設けられている。上流
側ピックアップ１２は、センサチューブ２，３の一方に
検出コイルを設け、他方にマグネットを対向して設けた
構成であり、センサチューブ２，３の相対的な変位の速
度に応じた検出信号を得る。
【００２２】センサチューブ２，３の加振器１１の下流
側には下流側ピックアップ１３が設けられている。下流
側ピックアップ１３は、センサチューブ２，３の一方に
検出コイルを設け、他方にマグネットを対向させて設け
た構成であり、センサチューブ２，３の相対的な変位の
速度に応じた検出信号を得る。
側には下流側ピックアップ１３が設けられている。下流
側ピックアップ１３は、センサチューブ２，３の一方に
検出コイルを設け、他方にマグネットを対向させて設け
た構成であり、センサチューブ２，３の相対的な変位の
速度に応じた検出信号を得る。
【００２３】上流側ピックアップ１２及び下流側ピック
アップ１３は、流量測定部１５に接続されていて、得ら
れた検出信号を流量測定部１５に供給する。流量測定部
１５は、上流側ピックアップ１２及び下流側ピックアッ
プ１３で検出された検出信号の応じて加振器１１の励振
振幅を制御するとともに、上流側ピックアップ１２の検
出信号と下流側ピックアップ１３の検出信号との位相差
を検出し、位相に応じて、予め設定されたゼロ点から相
対流量を算出する。
アップ１３は、流量測定部１５に接続されていて、得ら
れた検出信号を流量測定部１５に供給する。流量測定部
１５は、上流側ピックアップ１２及び下流側ピックアッ
プ１３で検出された検出信号の応じて加振器１１の励振
振幅を制御するとともに、上流側ピックアップ１２の検
出信号と下流側ピックアップ１３の検出信号との位相差
を検出し、位相に応じて、予め設定されたゼロ点から相
対流量を算出する。
【００２４】なお、センサチューブ２，３、上流側マニ
ホールド４、下流側マニホールド５、支持板６，７、加
振器１１、上流側ピックアップ１２、下流側ピックアッ
プ１３は、ケース１４により密閉状態に包囲されてお
り、流量の測定を安定に行える構成とされている。セン
サチューブ３には温度センサ１６が設けられており、流
量計測時のセンサチューブ２，３の温度が監視されてい
る。温度センサ１６は、流量計測部１５に接続されてお
り、測定結果の補正及びゼロ点調整動作に用いられる。
ホールド４、下流側マニホールド５、支持板６，７、加
振器１１、上流側ピックアップ１２、下流側ピックアッ
プ１３は、ケース１４により密閉状態に包囲されてお
り、流量の測定を安定に行える構成とされている。セン
サチューブ３には温度センサ１６が設けられており、流
量計測時のセンサチューブ２，３の温度が監視されてい
る。温度センサ１６は、流量計測部１５に接続されてお
り、測定結果の補正及びゼロ点調整動作に用いられる。
【００２５】計測時において加振器１１は、ケース１４
の外部に設けられた流量計測部１５に接続されており、
流量計測部１５からの駆動信号に応じて駆動され、セン
サチューブ２，３を近接、離間する方向（Ｙ方向）に振
動させる。上流側配管（図示せず）から供給された被測
流体は流入管９より上流側のベローズ８Ａを通ってマニ
ホールド４に至り、さらにマニホールド４の流路を通過
して振動するセンサチューブ２，３内に流入する。そし
て、センサチューブ２，３を通過した流体はマニホール
ド５の流路より下流側のベローズ８Ｂを通って流出管１
０より下流側配管（図示せず）に流出する。
の外部に設けられた流量計測部１５に接続されており、
流量計測部１５からの駆動信号に応じて駆動され、セン
サチューブ２，３を近接、離間する方向（Ｙ方向）に振
動させる。上流側配管（図示せず）から供給された被測
流体は流入管９より上流側のベローズ８Ａを通ってマニ
ホールド４に至り、さらにマニホールド４の流路を通過
して振動するセンサチューブ２，３内に流入する。そし
て、センサチューブ２，３を通過した流体はマニホール
ド５の流路より下流側のベローズ８Ｂを通って流出管１
０より下流側配管（図示せず）に流出する。
【００２６】このように、振動するセンサチューブ２
７，２８に流体が流れると、その流量に応じた大きさの
コリオリ力が発生する。そのため、直管状のセンサチュ
ーブ２，３の流入側と流出側で動作遅れが生じ、これに
より上流側のピックアップ１２の出力信号と下流側のピ
ックアップ１３の出力信号とで位相差があらわれる。
７，２８に流体が流れると、その流量に応じた大きさの
コリオリ力が発生する。そのため、直管状のセンサチュ
ーブ２，３の流入側と流出側で動作遅れが生じ、これに
より上流側のピックアップ１２の出力信号と下流側のピ
ックアップ１３の出力信号とで位相差があらわれる。
【００２７】流入側と流出側との位相差は流量に比例す
るため、流量計測部１５は、上流側ピックアップ１２の
検出信号と下流側ピックアップ１３の検出信号との位相
差を検出し、位相差に応じて予め設定されているゼロ点
からの相対流量を算出する。ここで流量計測部１５につ
いて図面とともに説明する。
るため、流量計測部１５は、上流側ピックアップ１２の
検出信号と下流側ピックアップ１３の検出信号との位相
差を検出し、位相差に応じて予め設定されているゼロ点
からの相対流量を算出する。ここで流量計測部１５につ
いて図面とともに説明する。
【００２８】図２に本発明になる質量流量計の一実施例
の流量計測部のブロック構成図を示す。流量計測部１５
は、センサチューブ２，３の変位を検出するピックアッ
プ１２，１３からの検出信号を入力し、流量を算出し、
温度センサ１６から供給される温度信号に応じて補正を
行い計測結果を出力するとともに、加振器１１に駆動信
号を供給する。
の流量計測部のブロック構成図を示す。流量計測部１５
は、センサチューブ２，３の変位を検出するピックアッ
プ１２，１３からの検出信号を入力し、流量を算出し、
温度センサ１６から供給される温度信号に応じて補正を
行い計測結果を出力するとともに、加振器１１に駆動信
号を供給する。
【００２９】流量測定部１５には、上流側ピックアップ
１２及び下流側ピックアップ１３からセンサチューブ
２，３の振動に応じた検出信号が供給されており、上流
側ピックアップ１２及び下流側ピックアップ１３から供
給された検出信号は、センサ信号入力部１７に供給され
る。センサ信号入力部１７は、上流側ピックアップ１２
及び下流側ピックアップ１３から供給された検出信号を
増幅して位相差検出部１８に供給するとともに、加振器
駆動部１９に供給する。
１２及び下流側ピックアップ１３からセンサチューブ
２，３の振動に応じた検出信号が供給されており、上流
側ピックアップ１２及び下流側ピックアップ１３から供
給された検出信号は、センサ信号入力部１７に供給され
る。センサ信号入力部１７は、上流側ピックアップ１２
及び下流側ピックアップ１３から供給された検出信号を
増幅して位相差検出部１８に供給するとともに、加振器
駆動部１９に供給する。
【００３０】位相差検出部１８は、センサ信号検出部１
７により入力されたピックアップ１２により検出された
検出信号とピックアップ１３により検出された検出信号
との位相差を検出し、位相差に応じた位相差信号を電圧
変換部２０に供給する。電圧変換部２０は、位相差検出
部１８から供給された位相差信号を電圧変換して時間平
均部２１に供給する。
７により入力されたピックアップ１２により検出された
検出信号とピックアップ１３により検出された検出信号
との位相差を検出し、位相差に応じた位相差信号を電圧
変換部２０に供給する。電圧変換部２０は、位相差検出
部１８から供給された位相差信号を電圧変換して時間平
均部２１に供給する。
【００３１】時間平均部２１は、電圧変換された位相差
信号を所定の時間毎に平均化し、流量換算部２２に供給
する。流量換算部２２は、時間平均部２１で平均化され
た信号レベルに応じた流量値を計測流量値として設定す
る。流量換算部２２で設定された計測値はヤング率補正
部２３に供給される。
信号を所定の時間毎に平均化し、流量換算部２２に供給
する。流量換算部２２は、時間平均部２１で平均化され
た信号レベルに応じた流量値を計測流量値として設定す
る。流量換算部２２で設定された計測値はヤング率補正
部２３に供給される。
【００３２】また、ヤング率補正部２３は、流量換算部
２２から供給された測定流量値を測定温度に応じて補正
し、出力する。このため、ヤング率補正部２３には温度
入力部２４が接続され、温度入力部２４から測定温度に
応じた温度信号が供給される。温度入力部２４は、セン
サチューブ３に設けられた温度センサ１６と接続されて
おり、温度センサ１６からセンサチューブ３の温度に応
じた温度信号が供給され、増幅してヤング率補正部２３
及び比較部２５に供給する。
２２から供給された測定流量値を測定温度に応じて補正
し、出力する。このため、ヤング率補正部２３には温度
入力部２４が接続され、温度入力部２４から測定温度に
応じた温度信号が供給される。温度入力部２４は、セン
サチューブ３に設けられた温度センサ１６と接続されて
おり、温度センサ１６からセンサチューブ３の温度に応
じた温度信号が供給され、増幅してヤング率補正部２３
及び比較部２５に供給する。
【００３３】比較部２５は、加振器駆動部１９、流量換
算部２２、温度入力部２４、記憶部２６、ゼロ設定部２
７、異常表示部２８が接続されており、後述するように
温度入力部２４から供給される温度信号、加振器駆動部
１９から供給される振動周波数信号、流量換算部２２か
ら供給される測定流量、及び、記憶部２６に記憶された
前回ゼロ点設定時の温度、センサチューブ２，３の振動
周波数、測定流量に応じて流量換算部２２換算の基準と
なる流量ゼロに対応する位相差信号を設定する動作を行
う。
算部２２、温度入力部２４、記憶部２６、ゼロ設定部２
７、異常表示部２８が接続されており、後述するように
温度入力部２４から供給される温度信号、加振器駆動部
１９から供給される振動周波数信号、流量換算部２２か
ら供給される測定流量、及び、記憶部２６に記憶された
前回ゼロ点設定時の温度、センサチューブ２，３の振動
周波数、測定流量に応じて流量換算部２２換算の基準と
なる流量ゼロに対応する位相差信号を設定する動作を行
う。
【００３４】記憶部２６は、比較部２５に接続されてい
て、ゼロ点設定時に温度センサ１６で検出され、温度入
力部２４を介して比較部２５に入力された温度信号、ゼ
ロ点設定時に加振器駆動部１９から供給されるセンサチ
ューブ２，３の振動周波数、ゼロ点設定時に流量変換部
２２により検出される流れのない状態での位相差（時間
差）を記憶する。
て、ゼロ点設定時に温度センサ１６で検出され、温度入
力部２４を介して比較部２５に入力された温度信号、ゼ
ロ点設定時に加振器駆動部１９から供給されるセンサチ
ューブ２，３の振動周波数、ゼロ点設定時に流量変換部
２２により検出される流れのない状態での位相差（時間
差）を記憶する。
【００３５】ゼロ点設定部２７は、比較部２５に接続さ
れていて、比較部２５からの指示により流量換算部２２
のゼロ点を設定する。異常表示部２８は、比較部２５に
接続されていて、比較部２５からの指示に応じてゼロ点
設定の異常表示を行う。
れていて、比較部２５からの指示により流量換算部２２
のゼロ点を設定する。異常表示部２８は、比較部２５に
接続されていて、比較部２５からの指示に応じてゼロ点
設定の異常表示を行う。
【００３６】以上のようにゼロ点設定部２７、異常表示
部２８、記憶部２６は、比較部２５により制御され、ゼ
ロ点設定が自動的に行われる。図３に本発明になる質量
流量計の一実施例の比較部の動作フローチャートを示
す。
部２８、記憶部２６は、比較部２５により制御され、ゼ
ロ点設定が自動的に行われる。図３に本発明になる質量
流量計の一実施例の比較部の動作フローチャートを示
す。
【００３７】比較部２５では、流量換算部２２から供給
される位相差信号Δｔを検知し、位相差信号が基準とな
るゼロ点Δｔ0 を中心として所定の流量範囲に対応する
位相差の範囲（Δｔ0 −Δｔ’〜Δｔ0 ＋Δｔ’）にあ
るか否か、すなわち、センサチューブ２，３に流体が流
れていないか否かを判断する（ステップＳ１）。ステッ
プＳ１で、流量換算部２２からの測定流量（位相差）が
ゼロ点Δｔ0 の前後の所定の範囲内にはない（Δｔ≦Δ
ｔ0 −Δｔ’、又は、Δｔ0 ＋Δｔ’≦Δｔ）、すなわ
ち、センサチューブ２，３に流体が流れていると判断し
た時には、ゼロ点設定動作を中止して現在流量換算部２
２に設定されたゼロ点Δｔ0 と測定位相差とが等しいと
きの流量が流量ゼロとなるように流量の換算を続ける。
される位相差信号Δｔを検知し、位相差信号が基準とな
るゼロ点Δｔ0 を中心として所定の流量範囲に対応する
位相差の範囲（Δｔ0 −Δｔ’〜Δｔ0 ＋Δｔ’）にあ
るか否か、すなわち、センサチューブ２，３に流体が流
れていないか否かを判断する（ステップＳ１）。ステッ
プＳ１で、流量換算部２２からの測定流量（位相差）が
ゼロ点Δｔ0 の前後の所定の範囲内にはない（Δｔ≦Δ
ｔ0 −Δｔ’、又は、Δｔ0 ＋Δｔ’≦Δｔ）、すなわ
ち、センサチューブ２，３に流体が流れていると判断し
た時には、ゼロ点設定動作を中止して現在流量換算部２
２に設定されたゼロ点Δｔ0 と測定位相差とが等しいと
きの流量が流量ゼロとなるように流量の換算を続ける。
【００３８】また、比較部２５は、ステップＳ１で位相
差信号が基準となるゼロ点Δｔ0 を中心と前後の所定の
範囲内（Δｔ0 ±Δｔ’以下）にあるとき（Δｔ0 −Δ
ｔ’≦Δｔ≦Δｔ0 ＋Δｔ’）、すなわち、センサチュ
ーブ２，３に流体が流れていないと判断できるときに
は、比較部２５に内蔵されたタイマーの計測時間Ｔを
「０」にリセットし、タイマーを起動する（ステップＳ
２）。比較部２５はタイマーの起動後は、流量換算部２
２から供給される位相差信号Δｔを検知し、位相差信号
が基準となるゼロ点Δｔ0 を中心として所定の範囲（Δ
ｔ0 −Δｔ’≦Δｔ≦Δｔ0 ＋Δｔ’）にあるか否か、
すなわち、センサチューブ２，３に流体が流れていない
か否かの判断をタイマーの計測時間Ｔが予め設定された
所定時間Ｔcとなるまで行う（ステップＳ３，Ｓ４）。
差信号が基準となるゼロ点Δｔ0 を中心と前後の所定の
範囲内（Δｔ0 ±Δｔ’以下）にあるとき（Δｔ0 −Δ
ｔ’≦Δｔ≦Δｔ0 ＋Δｔ’）、すなわち、センサチュ
ーブ２，３に流体が流れていないと判断できるときに
は、比較部２５に内蔵されたタイマーの計測時間Ｔを
「０」にリセットし、タイマーを起動する（ステップＳ
２）。比較部２５はタイマーの起動後は、流量換算部２
２から供給される位相差信号Δｔを検知し、位相差信号
が基準となるゼロ点Δｔ0 を中心として所定の範囲（Δ
ｔ0 −Δｔ’≦Δｔ≦Δｔ0 ＋Δｔ’）にあるか否か、
すなわち、センサチューブ２，３に流体が流れていない
か否かの判断をタイマーの計測時間Ｔが予め設定された
所定時間Ｔcとなるまで行う（ステップＳ３，Ｓ４）。
【００３９】ステップ３で、流量換算部２２からの位相
差信号Δｔがゼロ点Δｔ0 の前後の所定の範囲内（Δｔ
0 ±Δｔ’以下）ではなくなったとき、すなわち、セン
サチューブ２，３に流体が流れはじめると、ゼロ点設定
動作を中止して現在流量換算部２２に設定されたゼロ点
を基準としてそのまま流量の換算を続ける。
差信号Δｔがゼロ点Δｔ0 の前後の所定の範囲内（Δｔ
0 ±Δｔ’以下）ではなくなったとき、すなわち、セン
サチューブ２，３に流体が流れはじめると、ゼロ点設定
動作を中止して現在流量換算部２２に設定されたゼロ点
を基準としてそのまま流量の換算を続ける。
【００４０】また、ステップＳ３，Ｓ４で、位相差信号
Δｔが基準となるゼロ点０を中心と前後の所定の範囲内
（Δｔ0 ±Δｔ’以下）にあるとき（Δｔ0 −Δｔ’≦
Δｔ≦Δｔ0 ＋Δｔ’）、すなわち、センサチューブ
２，３に流体が流れていない状態が予め設定された所定
時間Ｔc の間持続すると、比較部２５はタイマーを停止
し、次に記憶部２６から前回のゼロ点設定時の位相差信
号を読み出し、現在検出している位相差信号と比較し、
前回ゼロ点設定時の位相差信号と現在検出中の位相差信
号とが相違するか否かを判断する（ステップＳ６）。
Δｔが基準となるゼロ点０を中心と前後の所定の範囲内
（Δｔ0 ±Δｔ’以下）にあるとき（Δｔ0 −Δｔ’≦
Δｔ≦Δｔ0 ＋Δｔ’）、すなわち、センサチューブ
２，３に流体が流れていない状態が予め設定された所定
時間Ｔc の間持続すると、比較部２５はタイマーを停止
し、次に記憶部２６から前回のゼロ点設定時の位相差信
号を読み出し、現在検出している位相差信号と比較し、
前回ゼロ点設定時の位相差信号と現在検出中の位相差信
号とが相違するか否かを判断する（ステップＳ６）。
【００４１】比較部２５は、ステップＳ６で前回ゼロ点
設定時の位相差信号と現在検出中の位相差信号とが同一
の場合には、現在のゼロ点は、前回設定したゼロ点と同
一であり、ゼロ点の再設定は不要であると判断できるた
め、現在ゼロ点設定部２７に設定されているゼロ点Δｔ
0 と測定位相差とが等しいときの流量を流量ゼロとして
流量の換算を続ける。
設定時の位相差信号と現在検出中の位相差信号とが同一
の場合には、現在のゼロ点は、前回設定したゼロ点と同
一であり、ゼロ点の再設定は不要であると判断できるた
め、現在ゼロ点設定部２７に設定されているゼロ点Δｔ
0 と測定位相差とが等しいときの流量を流量ゼロとして
流量の換算を続ける。
【００４２】また、比較部２５は、ステップＳ６で前回
ゼロ点設定時の位相差信号と現在検出中の位相差信号と
が相違すると判断された場合には、次に温度入力部２４
から現在の温度を、また、加振器駆動部１９から現在の
センサチューブ２，３の振動周波数を入力し、さらに、
記憶部２６から前回ゼロ点設定時の温度及びセンサチュ
ーブ２，３の振動周波数を読み出し、現在の温度と前回
ゼロ点設定時の温度とを比較し、相違するか否かを判断
するとともに、現在のセンサチューブ２，３の振動周波
数と前回ゼロ点設定時のセンサチューブ２，３の振動周
波数とを比較し、相違するか否かを判断する（ステップ
Ｓ７）。
ゼロ点設定時の位相差信号と現在検出中の位相差信号と
が相違すると判断された場合には、次に温度入力部２４
から現在の温度を、また、加振器駆動部１９から現在の
センサチューブ２，３の振動周波数を入力し、さらに、
記憶部２６から前回ゼロ点設定時の温度及びセンサチュ
ーブ２，３の振動周波数を読み出し、現在の温度と前回
ゼロ点設定時の温度とを比較し、相違するか否かを判断
するとともに、現在のセンサチューブ２，３の振動周波
数と前回ゼロ点設定時のセンサチューブ２，３の振動周
波数とを比較し、相違するか否かを判断する（ステップ
Ｓ７）。
【００４３】比較部２５は、ステップ７で現在の温度と
前回ゼロ点設定時の温度とが同一で、かつ、現在のセン
サチューブ２，３の振動周波数と前回ゼロ点設定時のセ
ンサチューブ２，３の振動周波数とが同一の場合には、
ゼロ点が変化する要因である温度又はセンサチューブ
２，３の振動周波数に変化がない（流体の密度、温度、
圧力に変化がない）にもかかわらずステップＳ２でゼロ
点となる位相差信号が変化してしまったことになるの
で、ゼロ点に異常があると判断できるため、異常表示部
２８にゼロ点異常を知らせる表示を行う（ステップＳ
８）。
前回ゼロ点設定時の温度とが同一で、かつ、現在のセン
サチューブ２，３の振動周波数と前回ゼロ点設定時のセ
ンサチューブ２，３の振動周波数とが同一の場合には、
ゼロ点が変化する要因である温度又はセンサチューブ
２，３の振動周波数に変化がない（流体の密度、温度、
圧力に変化がない）にもかかわらずステップＳ２でゼロ
点となる位相差信号が変化してしまったことになるの
で、ゼロ点に異常があると判断できるため、異常表示部
２８にゼロ点異常を知らせる表示を行う（ステップＳ
８）。
【００４４】このとき検出できる異常としては、例え
ば、バルブのリークなどによりセンサチューブ２，３を
流れる流体の流れが停止しなかったり、流体に気泡が含
まれている等が考えられる。また、比較部２５は、ステ
ップＳ７で現在の温度と前回ゼロ点設定時の温度とが相
違、または、現在のセンサチューブ２，３の振動周波数
と前回ゼロ点設定時のセンサチューブ２，３の振動周波
数とが相違する場合には、ゼロ点が変化する要因である
温度又はセンサチューブ２，３の振動周波数が変化して
いるためであると判断でき、流量計測は正常に行われて
いると判断できるため、ゼロ点設定部２７を制御して、
現在位相差信号Δｔ1 が流量ゼロに対応するようにゼロ
点をΔｔ1 に設定し直す（ステップＳ９）。
ば、バルブのリークなどによりセンサチューブ２，３を
流れる流体の流れが停止しなかったり、流体に気泡が含
まれている等が考えられる。また、比較部２５は、ステ
ップＳ７で現在の温度と前回ゼロ点設定時の温度とが相
違、または、現在のセンサチューブ２，３の振動周波数
と前回ゼロ点設定時のセンサチューブ２，３の振動周波
数とが相違する場合には、ゼロ点が変化する要因である
温度又はセンサチューブ２，３の振動周波数が変化して
いるためであると判断でき、流量計測は正常に行われて
いると判断できるため、ゼロ点設定部２７を制御して、
現在位相差信号Δｔ1 が流量ゼロに対応するようにゼロ
点をΔｔ1 に設定し直す（ステップＳ９）。
【００４５】比較部２５は、ステップ９でゼロ点Δｔ1
を設定した後、ゼロ点設定時の位相差信号、温度、セン
サチューブ２，３の振動周波数を記憶部２６に記憶する
（ステップＳ１０）。記憶部２６に記憶されたゼロ点設
定時の位相差信号、温度、センサチューブ２，３の振動
周波数は、次回のゼロ点設定の実行の判断に使用され
る。
を設定した後、ゼロ点設定時の位相差信号、温度、セン
サチューブ２，３の振動周波数を記憶部２６に記憶する
（ステップＳ１０）。記憶部２６に記憶されたゼロ点設
定時の位相差信号、温度、センサチューブ２，３の振動
周波数は、次回のゼロ点設定の実行の判断に使用され
る。
【００４６】次に図３の動作を波形図とともに説明す
る。図４に本発明になる質量流量計のセンサチューブの
温度変化によりゼロ点が変化したときにゼロ点設定する
場合の動作波形図を示す。図４は測定時間に対する位相
差信号の変化を示す。
る。図４に本発明になる質量流量計のセンサチューブの
温度変化によりゼロ点が変化したときにゼロ点設定する
場合の動作波形図を示す。図４は測定時間に対する位相
差信号の変化を示す。
【００４７】図４で時刻Ｔ0 から時刻Ｔ3 までは被測定
流体の流れは停止しているものとし、時刻Ｔ3 以降、被
測定流体がセンサチューブ２，３を流通するものとす
る。まず、時刻Ｔ1 でセンサチューブ２，３の温度変化
で流量ゼロに対応する位相差、つまり、ゼロ点がΔｔ0
から（Δｔ1 −Δｔ0 ）分だけシフトしたΔｔ1 に変移
したとする。変移した位相差Δｔ1 はゼロ点Δｔ0 を中
心として所定流量範囲（Δｔ0 −Δｔ’≦Δｔ1 ≦Δｔ
0 ＋Δｔ’）にあるので、図３のステップＳ４でにより
所定流量範囲（Δｔ0 −Δｔ’≦Δｔ1 ≦Δｔ0 ＋Δ
ｔ’）にある時間が判断される。
流体の流れは停止しているものとし、時刻Ｔ3 以降、被
測定流体がセンサチューブ２，３を流通するものとす
る。まず、時刻Ｔ1 でセンサチューブ２，３の温度変化
で流量ゼロに対応する位相差、つまり、ゼロ点がΔｔ0
から（Δｔ1 −Δｔ0 ）分だけシフトしたΔｔ1 に変移
したとする。変移した位相差Δｔ1 はゼロ点Δｔ0 を中
心として所定流量範囲（Δｔ0 −Δｔ’≦Δｔ1 ≦Δｔ
0 ＋Δｔ’）にあるので、図３のステップＳ４でにより
所定流量範囲（Δｔ0 −Δｔ’≦Δｔ1 ≦Δｔ0 ＋Δ
ｔ’）にある時間が判断される。
【００４８】図４に示すように時刻Ｔ1 から所定時間Ｔ
c 経過した時刻Ｔ2 まで位相差がΔｔ1 の状態が継続す
るので、、図３のステップＳ４によりこれが検出され
る。時刻Ｔ2 で、図３のステップＳ４により所定時間Ｔ
c の間、位相差Δｔ1 の状態が継続したと判断される
と、次に、図３のステップＳ６及びＳ７の判断が実施さ
れる。
c 経過した時刻Ｔ2 まで位相差がΔｔ1 の状態が継続す
るので、、図３のステップＳ４によりこれが検出され
る。時刻Ｔ2 で、図３のステップＳ４により所定時間Ｔ
c の間、位相差Δｔ1 の状態が継続したと判断される
と、次に、図３のステップＳ６及びＳ７の判断が実施さ
れる。
【００４９】このとき、図４の位相差の変化は前回ゼロ
点Δｔ0 の位相差とは異なる位相差Δｔ1 となってお
り、かつ、前回ゼロ点Δｔ0 設定時の温度とは異なるた
め、次に図３のステップＳ９が実行される。図３のステ
ップＳ９では、図４の右側の縦軸に示すように位相差が
Δｔ1 のとき流量ゼロとなるようにゼロ点がΔｔ1 に設
定される。
点Δｔ0 の位相差とは異なる位相差Δｔ1 となってお
り、かつ、前回ゼロ点Δｔ0 設定時の温度とは異なるた
め、次に図３のステップＳ９が実行される。図３のステ
ップＳ９では、図４の右側の縦軸に示すように位相差が
Δｔ1 のとき流量ゼロとなるようにゼロ点がΔｔ1 に設
定される。
【００５０】次に、時刻Ｔ3 でセンサチューブ２，３に
被測定流体が流れ、計測位相差がΔｔ2 とされると、流
量はゼロ点の位相差Δｔ1 と位相差Δｔ2 との差（Δｔ
2 −Δｔ1 ）に対応したものとなり、これは前回のゼロ
点の位相差Δｔ0 と位相差Δｔ2 との差（Δｔ2 −Δｔ
0 ）からオフセット分（Δｔ1 −Δｔ0 ）が除去された
正確な流量値となる。
被測定流体が流れ、計測位相差がΔｔ2 とされると、流
量はゼロ点の位相差Δｔ1 と位相差Δｔ2 との差（Δｔ
2 −Δｔ1 ）に対応したものとなり、これは前回のゼロ
点の位相差Δｔ0 と位相差Δｔ2 との差（Δｔ2 −Δｔ
0 ）からオフセット分（Δｔ1 −Δｔ0 ）が除去された
正確な流量値となる。
【００５１】このように、本実施例によれば、比較部２
５の動作により自動で流体の流れの停止を判断し、ゼロ
点設定を行うため、常に精度良く流量計測が可能とな
る。また、記憶部２６を設け、ゼロ点の変動要因である
前回のゼロ点設定時の温度、センサチューブ２，３の振
動周波数を記憶しておき、現在の温度、又は、センサチ
ューブ２，３の振動周波数が一致する否かを判断するこ
とにより、ゼロ点設定の環境をチェックしつつゼロ点設
定を実行し、ゼロ点設定環境に異常があれば、異常を表
示するため、誤ってゼロ点設定を行ってしまうことがな
い。
５の動作により自動で流体の流れの停止を判断し、ゼロ
点設定を行うため、常に精度良く流量計測が可能とな
る。また、記憶部２６を設け、ゼロ点の変動要因である
前回のゼロ点設定時の温度、センサチューブ２，３の振
動周波数を記憶しておき、現在の温度、又は、センサチ
ューブ２，３の振動周波数が一致する否かを判断するこ
とにより、ゼロ点設定の環境をチェックしつつゼロ点設
定を実行し、ゼロ点設定環境に異常があれば、異常を表
示するため、誤ってゼロ点設定を行ってしまうことがな
い。
【００５２】なお、本実施例では平行２直管のセンサチ
ューブを有する質量流量計について説明したが、これに
限ることはなく、１直管のセンサチューブより構成され
るものや、センサチューブをＪ字状に曲げた構成のもの
でも良く、センサチューブの形態には左右されない。
ューブを有する質量流量計について説明したが、これに
限ることはなく、１直管のセンサチューブより構成され
るものや、センサチューブをＪ字状に曲げた構成のもの
でも良く、センサチューブの形態には左右されない。
【００５３】また、本実施例の質量流量計では流量測定
部１５をセンサチューブ２，３、加振器１１、ピックア
ップ１２，１３、温度センサ１６等が収容されたケース
１４の外部に別体で設けたが、流量測定部１５をケース
１４の内部に配置し、一体的に構成としてもよい。
部１５をセンサチューブ２，３、加振器１１、ピックア
ップ１２，１３、温度センサ１６等が収容されたケース
１４の外部に別体で設けたが、流量測定部１５をケース
１４の内部に配置し、一体的に構成としてもよい。
【００５４】さらに、本実施例では流量換算部２２から
供給される位相差信号が所定の時間ゼロ点を中心として
所定の範囲内にあるときに流体の流れた停止したと判断
してゼロ点設定を自動的に行う構成としたが、質量流量
計に流入する流体の流れを遮断したときに、バルブから
流量換算部２２に閉弁信号が入力されるようにし、被測
定流体の流れが停止したと判断する構成としてもよい。
供給される位相差信号が所定の時間ゼロ点を中心として
所定の範囲内にあるときに流体の流れた停止したと判断
してゼロ点設定を自動的に行う構成としたが、質量流量
計に流入する流体の流れを遮断したときに、バルブから
流量換算部２２に閉弁信号が入力されるようにし、被測
定流体の流れが停止したと判断する構成としてもよい。
【００５５】
【発明の効果】上述の如く、本発明の請求項１によれ
ば、判断手段により被測定流体の流量が停止していると
判断されたときに、ゼロ点設定手段により自動的にゼロ
点を設定できるため、作業員が人為的にゼロ点設定を行
う手間を省略できる等の特長を有する。
ば、判断手段により被測定流体の流量が停止していると
判断されたときに、ゼロ点設定手段により自動的にゼロ
点を設定できるため、作業員が人為的にゼロ点設定を行
う手間を省略できる等の特長を有する。
【００５６】請求項２によれば、判断手段により被測定
流体の流れが停止していると判断されたときで、振動周
波数比較手段により、前回ゼロ点設定したときと振動周
波数が異なる場合に、ゼロ点設定手段によりゼロ点を設
定することにより、振動周波数の変動に応じて自動的に
ゼロ点を設定することができるため、振動周波数の変化
によりゼロ点が変化したときに確実にゼロ点設定を行う
ことができ、正確な流量測定が可能となる等の特長を有
する。
流体の流れが停止していると判断されたときで、振動周
波数比較手段により、前回ゼロ点設定したときと振動周
波数が異なる場合に、ゼロ点設定手段によりゼロ点を設
定することにより、振動周波数の変動に応じて自動的に
ゼロ点を設定することができるため、振動周波数の変化
によりゼロ点が変化したときに確実にゼロ点設定を行う
ことができ、正確な流量測定が可能となる等の特長を有
する。
【００５７】請求項３によれば、判断手段により被測定
流体の流れが停止していると判断されたときで、温度比
較手段により前回ゼロ点設定したときとセンサチューブ
の温度が異なる場合に、ゼロ点設定手段によりゼロ点を
設定することにより、温度の変動に応じて自動的にゼロ
点を設定することができるため、温度の変化によりゼロ
点が変化したときに確実にゼロ点設定を行うことがで
き、正確な流量測定が可能となる等の特長を有する。
流体の流れが停止していると判断されたときで、温度比
較手段により前回ゼロ点設定したときとセンサチューブ
の温度が異なる場合に、ゼロ点設定手段によりゼロ点を
設定することにより、温度の変動に応じて自動的にゼロ
点を設定することができるため、温度の変化によりゼロ
点が変化したときに確実にゼロ点設定を行うことがで
き、正確な流量測定が可能となる等の特長を有する。
【００５８】請求項４によれば、判断手段により被測定
流体の流量がゼロ点付近の所定流量範囲内で所定時間変
化しないときに被測定流体の流れが停止していると判断
するため、被測定流体の流れた停止したことを確実に判
断できる等の特長を有する。
流体の流量がゼロ点付近の所定流量範囲内で所定時間変
化しないときに被測定流体の流れが停止していると判断
するため、被測定流体の流れた停止したことを確実に判
断できる等の特長を有する。
【図１】本発明になる質量流量計の一実施例の概略構成
図である。
図である。
【図２】本発明になる質量流量計の一実施例の流量計測
部のブロック構成図である。
部のブロック構成図である。
【図３】本発明になる質量流量計の一実施例の比較部の
動作フローチャートである。
動作フローチャートである。
【図４】本発明になる質量流量計の一実施例の動作波形
図である。
図である。
【図５】従来の質量流量計の一例の概略構成図である。
【符号の説明】 １ 質量流量計 ２，３ センサチューブ ４，５ マニホールド ６，７ 支持板 ８Ａ，８Ｂ ベローズ ９ 流入管 １０ 流出管 １１ 加振器 １２，１３ ピックアップ １４ ケース １５ 流量計測部 １６ 温度センサ １７ センサ信号入力部 １８ 位相差検出部 １９ 加振器駆動部 ２０ 電圧変換部 ２１ 時間平均部 ２２ 流量換算部 ２３ ヤング率補正部 ２４ 温度入力部 ２５ 比較部 ２６ 記憶部 ２７ ゼロ点設定部 ２８ 異常表示部
Claims (4)
- 【請求項１】 被測定流体が流通するセンサチューブ
と、該センサチューブを振動させる加振器と、該センサ
チューブの入力側と出力側とでの振動周波数の位相差を
検出する位相差検出手段と、該位相差検出手段で検出さ
れた位相差に基づいて該センサチューブに流れる該被測
定流体の流量を算出する流量算出手段とを備え、該流量
算出手段で流量は設定されているゼロ点からの相対流量
である質量流量計において、 前記被測定流体の流れが停止していると判断する判断手
段と、 前記判断手段で被測定流体の流れが停止していると判断
されたときに、前記流量算出手段の算出結果を前記ゼロ
点として設定するゼロ点設定手段とを有することを特徴
とする質量流量計。 - 【請求項２】 前記ゼロ点設定手段により前記ゼロ点を
設定したときの前記位相差検出手段の振動周波数を記憶
する振動周波数記憶手段と、 前記判断手段により前記被測定流量の流れが停止してい
ると判断されたときの前記位相差検出手段の振動周波数
と前記振動周波数記憶手段に記憶されている前回のゼロ
点設定が行われたときの振動周波数とを比較する振動周
波数比較手段とを有し、 前記ゼロ点設定手段は、前記振動周波数比較手段の比較
結果、前記振動周波数が異なるときに、前記流量算出手
段の算出結果を新たにゼロ点として設定することを特徴
とする請求項１記載の質量流量計。 - 【請求項３】 前記センサチューブの温度を検出する温
度検出手段と、 前記ゼロ点設定手段により前記ゼロ点を設定したときの
前記温度検出手段の温度を記憶する温度記憶手段と、 前記判断手段により流れが停止していると判断されたと
きの前記温度検出手段の温度と前記温度記憶手段に記憶
されている前回ゼロ点設定が行われたときの温度とを比
較する温度比較手段とを有し、 前記ゼロ点設定手段は、前記温度比較手段に比較結果、
前記温度が異なるときに、前記流量算出手段の算出結果
を新たにゼロ点として設定することを特徴とする請求項
１又は２記載の質量流量計。 - 【請求項４】 前記判断手段は、前記被測定流体の測定
流量が前記ゼロ点付近の所定の流量範囲内で、かつ、所
定時間変化しない場合には、前記被測定流体の流れが停
止していると判断することを特徴とする請求項１乃至３
のいずれか一項記載の質量流量計。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8123663A JPH09304151A (ja) | 1996-05-17 | 1996-05-17 | 質量流量計 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8123663A JPH09304151A (ja) | 1996-05-17 | 1996-05-17 | 質量流量計 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09304151A true JPH09304151A (ja) | 1997-11-28 |
Family
ID=14866215
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8123663A Pending JPH09304151A (ja) | 1996-05-17 | 1996-05-17 | 質量流量計 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09304151A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003528305A (ja) * | 2000-03-22 | 2003-09-24 | マイクロ・モーション・インコーポレーテッド | コリオリ流量計を極低温で操作する方法および装置 |
| JP2007163203A (ja) * | 2005-12-12 | 2007-06-28 | Tatsuno Corp | コリオリ質量流量計 |
| WO2018067128A1 (en) * | 2016-10-04 | 2018-04-12 | Micro Motion, Inc. | Flowmeter calibration method and related apparatus |
| JP2020510218A (ja) * | 2017-03-20 | 2020-04-02 | マイクロ モーション インコーポレイテッド | 処理状態における振動計のゼロオフセットの決定 |
| JP2022531787A (ja) * | 2019-05-09 | 2022-07-11 | マイクロ モーション インコーポレイテッド | フォークメータにおける異常の判定および識別 |
-
1996
- 1996-05-17 JP JP8123663A patent/JPH09304151A/ja active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003528305A (ja) * | 2000-03-22 | 2003-09-24 | マイクロ・モーション・インコーポレーテッド | コリオリ流量計を極低温で操作する方法および装置 |
| JP2011191315A (ja) * | 2000-03-22 | 2011-09-29 | Micro Motion Inc | コリオリ流量計を極低温で操作する方法および装置 |
| JP2007163203A (ja) * | 2005-12-12 | 2007-06-28 | Tatsuno Corp | コリオリ質量流量計 |
| JP4715491B2 (ja) * | 2005-12-12 | 2011-07-06 | 株式会社タツノ・メカトロニクス | コリオリ質量流量計 |
| WO2018067128A1 (en) * | 2016-10-04 | 2018-04-12 | Micro Motion, Inc. | Flowmeter calibration method and related apparatus |
| JP2020510218A (ja) * | 2017-03-20 | 2020-04-02 | マイクロ モーション インコーポレイテッド | 処理状態における振動計のゼロオフセットの決定 |
| JP2022531787A (ja) * | 2019-05-09 | 2022-07-11 | マイクロ モーション インコーポレイテッド | フォークメータにおける異常の判定および識別 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR101744477B1 (ko) | 진동 유량계 및 제로 체크 방법 | |
| RU2502963C2 (ru) | Способ и устройство для определения смещения нуля в вибрационном расходомере | |
| KR20010024888A (ko) | 코리올리 유량계의 교정을 검증하는 시스템 | |
| KR100975092B1 (ko) | 유량계 어셈블리 내의 잔여물을 탐지하기 위한 계측전자부품 및 그 방법 | |
| EP1668321B1 (en) | Diagnostic apparatus and methods for a coriolis flow meter | |
| US20130055827A1 (en) | Method for Operating a Coriolis Mass Flow Rate Meter and Coriolis Mass Flow Rate Meter | |
| JP2014522972A5 (ja) | ||
| JP2019529934A (ja) | 流量計の較正方法及び該方法に関連する装置 | |
| JP2003503691A (ja) | コリオリ流量計の駆動制御のための形式識別 | |
| JP4621140B2 (ja) | 振動要素濃度計及びコリオリ流量計における腐食、侵食又は生成物蓄積を検出する方法並びに較正検証方法 | |
| US7614273B2 (en) | Method for detecting corrosion, erosion or product buildup on vibrating element densitometers and Coriolis flowmeters and calibration validation | |
| KR20070057198A (ko) | 코리올리 유량계를 위한 보정 방법 및 장치 | |
| JPH09304151A (ja) | 質量流量計 | |
| JPH0452516A (ja) | 質量流量計 | |
| JP2952080B2 (ja) | 質量流量計 | |
| US20230349743A1 (en) | Method, system, and electronics for correcting a coriolis flow meter measurement for temperature effects | |
| JP2769241B2 (ja) | 質量流量計 | |
| CA2757548C (en) | Diagnostic apparatus and methods for a coriolis flow meter |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20040301 |
|
| A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20050111 |
|
| A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20050310 |
|
| A02 | Decision of refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A02 Effective date: 20050517 |