JPH09300078A - パラレルシーム接合装置及び接合方法 - Google Patents
パラレルシーム接合装置及び接合方法Info
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- JPH09300078A JPH09300078A JP11869596A JP11869596A JPH09300078A JP H09300078 A JPH09300078 A JP H09300078A JP 11869596 A JP11869596 A JP 11869596A JP 11869596 A JP11869596 A JP 11869596A JP H09300078 A JPH09300078 A JP H09300078A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 接合の速度を上げても良好なパラレルシーム
接合が行なえるパラレルシーム接合装置とその接合方法
を提供することを目的とする。 【解決手段】 一対のローラー電極５を回転自在に保持
する電極部と、前記電極部を保持するブラケット１５を
有する保持部を備え、前記保持部に前記ローラー電極５
の蓋２への加圧力を電極部の荷重より小さくすることに
より、接合の速度を上げても良好な接合を行なうことが
できる
接合が行なえるパラレルシーム接合装置とその接合方法
を提供することを目的とする。 【解決手段】 一対のローラー電極５を回転自在に保持
する電極部と、前記電極部を保持するブラケット１５を
有する保持部を備え、前記保持部に前記ローラー電極５
の蓋２への加圧力を電極部の荷重より小さくすることに
より、接合の速度を上げても良好な接合を行なうことが
できる
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は半導体集積回路、水
晶発振器やフィルターなどの電子回路や回路素子を内蔵
したケースと蓋を接合するパラレルシーム接合装置に関
するものである。
晶発振器やフィルターなどの電子回路や回路素子を内蔵
したケースと蓋を接合するパラレルシーム接合装置に関
するものである。
【０００２】
【従来の技術】一般に電子回路、回路素子を内蔵したセ
ラミックのケースと蓋との封止にはパラレルシーム接合
が用いられている。
ラミックのケースと蓋との封止にはパラレルシーム接合
が用いられている。
【０００３】このパラレルシーム接合は、ケース上に取
付けられたシールリングと前記蓋の間に電流を流し、蓋
とシールリングのメッキを溶かして封止するものであ
る。
付けられたシールリングと前記蓋の間に電流を流し、蓋
とシールリングのメッキを溶かして封止するものであ
る。
【０００４】図５及び図６はパラレルシーム接合装置の
正面図と側面図を示している。電子回路や回路素子を内
蔵したケース１と蓋２は、パラレルシーム接合時に一定
速度で動作可能な台車３上のキャリア４のケースセッテ
ィング溝の中にセットされている。
正面図と側面図を示している。電子回路や回路素子を内
蔵したケース１と蓋２は、パラレルシーム接合時に一定
速度で動作可能な台車３上のキャリア４のケースセッテ
ィング溝の中にセットされている。
【０００５】シーム接合の際、ケース１と蓋２は相対的
に位置決めされ、前記位置決めされたケース１と蓋２の
接合開始点２１に、上方より１対のローラー電極５を当
接させ、ヘッド本体２０とおもり部２４によって構成さ
れる加圧機構により前記ケース１１と蓋２の間に一定の
加圧を加えるようにしている。
に位置決めされ、前記位置決めされたケース１と蓋２の
接合開始点２１に、上方より１対のローラー電極５を当
接させ、ヘッド本体２０とおもり部２４によって構成さ
れる加圧機構により前記ケース１１と蓋２の間に一定の
加圧を加えるようにしている。
【０００６】上記一対のローラー電極５間に電流を流
し、一対のローラー電極間にあるシールリング１ａと蓋
２に電流を流して発熱させ、蓋２及びシールリング１ａ
のメッキを溶かす。このとき、台車３を一定速度で矢印
方向に走行させ、ローラー電極５が蓋２の上を転がりな
がら接合することで封止が行なわれる。
し、一対のローラー電極間にあるシールリング１ａと蓋
２に電流を流して発熱させ、蓋２及びシールリング１ａ
のメッキを溶かす。このとき、台車３を一定速度で矢印
方向に走行させ、ローラー電極５が蓋２の上を転がりな
がら接合することで封止が行なわれる。
【０００７】
【発明が解決しようとする課題】上記従来の構成では、
パラレルシーム接合の速度を上げようとすると、単位時
間当たりの発熱量を増やす必要があり、ローラー電極５
から流す電流を大きくしていた。しかしながら、ローラ
ー電極５や加圧機構の荷重を蓋２に加えているので、ケ
ース１と蓋２の接触抵抗が小さくなり、十分な発熱量が
得られず、良好な接合が行えないため更に大きな電流を
流す必要があった。そのため、蓋２に大きな電流が流れ
るので、蓋２の焼けや、接合の制御が難しく、高速なパ
ラレルシーム接合を行いにくいという問題点があった。
パラレルシーム接合の速度を上げようとすると、単位時
間当たりの発熱量を増やす必要があり、ローラー電極５
から流す電流を大きくしていた。しかしながら、ローラ
ー電極５や加圧機構の荷重を蓋２に加えているので、ケ
ース１と蓋２の接触抵抗が小さくなり、十分な発熱量が
得られず、良好な接合が行えないため更に大きな電流を
流す必要があった。そのため、蓋２に大きな電流が流れ
るので、蓋２の焼けや、接合の制御が難しく、高速なパ
ラレルシーム接合を行いにくいという問題点があった。
【０００８】本発明は、上記従来の問題点を解決するも
ので、接合の速度を上げても良好なパラレルシーム接合
が行なえるパラレルシーム接合装置とその接合方法を提
供することを目的とする。
ので、接合の速度を上げても良好なパラレルシーム接合
が行なえるパラレルシーム接合装置とその接合方法を提
供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のパラレルシーム接合装置は、回路素子又は
電子回路を収納するケースと蓋を所定の圧力で当接し、
電流を流してシーム接合する一対のローラー電極と、前
記ローラー電極を回転自在に保持する電極部と、前記電
極部を保持する保持部を備え、前記保持部に前記ローラ
ー電極の蓋への加圧力を電極部の荷重よりも小さくする
保持機構を設けたものである。
に、本発明のパラレルシーム接合装置は、回路素子又は
電子回路を収納するケースと蓋を所定の圧力で当接し、
電流を流してシーム接合する一対のローラー電極と、前
記ローラー電極を回転自在に保持する電極部と、前記電
極部を保持する保持部を備え、前記保持部に前記ローラ
ー電極の蓋への加圧力を電極部の荷重よりも小さくする
保持機構を設けたものである。
【００１０】また、回路素子又は電子回路を収納するケ
ースと蓋と所定の圧力で当接し、電流を流してシーム接
合する一対のローラー電極と、前記ローラ電極を回転自
在に保持する電極部と、前記電極部に加重する加圧機構
と、前記電極部と前記加圧機構を保持する保持部を備
え、前記保持部にローラー電極の蓋への加圧力を電極部
と加圧機構の荷重よりも小さくする保持機構を設けたも
のである。
ースと蓋と所定の圧力で当接し、電流を流してシーム接
合する一対のローラー電極と、前記ローラ電極を回転自
在に保持する電極部と、前記電極部に加重する加圧機構
と、前記電極部と前記加圧機構を保持する保持部を備
え、前記保持部にローラー電極の蓋への加圧力を電極部
と加圧機構の荷重よりも小さくする保持機構を設けたも
のである。
【００１１】さらに、保持機構として、保持部と電極部
の間に、弾性部材を配置したものや、電極部を保持する
アームと、前記アームに設けた支点を保持する保持部を
有し、保持機構として、前記アームの前記支点を中心と
してローラー電極と対向する位置にバランサーを設けた
ものや、バランサーをアームに対して位置調整自在に設
けたものや、バランサーの荷重を調整自在としたもので
ある。
の間に、弾性部材を配置したものや、電極部を保持する
アームと、前記アームに設けた支点を保持する保持部を
有し、保持機構として、前記アームの前記支点を中心と
してローラー電極と対向する位置にバランサーを設けた
ものや、バランサーをアームに対して位置調整自在に設
けたものや、バランサーの荷重を調整自在としたもので
ある。
【００１２】また、本発明のパラレルシーム接合方法
は、回路素子又は電子回路を収納するケースに蓋を載置
し、この蓋へ一対のローラー電極を所定の圧力で当接さ
せ、ローラー電極に電流を流してケースと蓋をシーム接
合する際に、ローラー電極を回転自在に保持する電極部
の荷重よりもローラー電極の蓋への当接時の圧力を小さ
くしたものや、回路素子又は電子回路を収納するケース
に蓋を載置し、この蓋へ一対のローラー電極を所定の圧
力で当接させ、ローラー電極に電流を流してケースと蓋
をシーム接合する際に、ローラー電極を回転自在に保持
する電極部と、電極部に加重する加圧機構との荷重より
もローラー電極の蓋への当接時の圧力を小さくしたもの
である。
は、回路素子又は電子回路を収納するケースに蓋を載置
し、この蓋へ一対のローラー電極を所定の圧力で当接さ
せ、ローラー電極に電流を流してケースと蓋をシーム接
合する際に、ローラー電極を回転自在に保持する電極部
の荷重よりもローラー電極の蓋への当接時の圧力を小さ
くしたものや、回路素子又は電子回路を収納するケース
に蓋を載置し、この蓋へ一対のローラー電極を所定の圧
力で当接させ、ローラー電極に電流を流してケースと蓋
をシーム接合する際に、ローラー電極を回転自在に保持
する電極部と、電極部に加重する加圧機構との荷重より
もローラー電極の蓋への当接時の圧力を小さくしたもの
である。
【００１３】
【発明の実施の形態】上記構成及び方法により、ケース
と蓋のパラレルシーム接合の際に、ローラー電極の蓋へ
の当接時の圧力を電極部又は電極部と加圧機構の荷重よ
りも保持機構で小さくできるため、蓋とローラー電極間
の接触抵抗を大きくでき、ローラー電極から電流を流す
と、従来に比べて小さな電流であっても、ローラー電極
と蓋の間のみの部分を大きく発熱させることができる。
そして、蓋の発熱部分からケースの該当部分へ熱が伝わ
り、パラレルシーム接合を行なうことができる。従っ
て、電流を増加させずに発熱量を大きくすることができ
るので、接合速度を上げても従来に比べて小さな電流で
気密性と品質の良い良好な接合を行なえるものである。
なお、当接圧力を小さくでき、接触抵抗を局部的に大
きくすることができるため、蓋全体に流れる電流を小さ
くすることが可能で、蓋の品質を損なうことなく接合す
ることができる。
と蓋のパラレルシーム接合の際に、ローラー電極の蓋へ
の当接時の圧力を電極部又は電極部と加圧機構の荷重よ
りも保持機構で小さくできるため、蓋とローラー電極間
の接触抵抗を大きくでき、ローラー電極から電流を流す
と、従来に比べて小さな電流であっても、ローラー電極
と蓋の間のみの部分を大きく発熱させることができる。
そして、蓋の発熱部分からケースの該当部分へ熱が伝わ
り、パラレルシーム接合を行なうことができる。従っ
て、電流を増加させずに発熱量を大きくすることができ
るので、接合速度を上げても従来に比べて小さな電流で
気密性と品質の良い良好な接合を行なえるものである。
なお、当接圧力を小さくでき、接触抵抗を局部的に大
きくすることができるため、蓋全体に流れる電流を小さ
くすることが可能で、蓋の品質を損なうことなく接合す
ることができる。
【００１４】以下に、本発明の実施の形態について図面
を参照しながら説明する。図１〜図４は本発明のヘッド
部の構成を示している。図１は正面図、図２は側面図で
図３，図４は接合動作時の正面図と側面図である。な
お、従来と同じ構成部分には同一符号を符してその説明
を省略する。ローラー電極５は、軸７を介して軸受６に
より支持され自在に回転できるよう構成されている。
を参照しながら説明する。図１〜図４は本発明のヘッド
部の構成を示している。図１は正面図、図２は側面図で
図３，図４は接合動作時の正面図と側面図である。な
お、従来と同じ構成部分には同一符号を符してその説明
を省略する。ローラー電極５は、軸７を介して軸受６に
より支持され自在に回転できるよう構成されている。
【００１５】また、給電もこの軸受６より軸７を介して
行なわれている。軸受６，支点用軸受８，バランサー９
はアーム１０に取付けられ、支点用軸受８は固定ブロッ
ク１１に接続された支点ピン１２を支点として回転可能
に接続されている。
行なわれている。軸受６，支点用軸受８，バランサー９
はアーム１０に取付けられ、支点用軸受８は固定ブロッ
ク１１に接続された支点ピン１２を支点として回転可能
に接続されている。
【００１６】ローラー電極５は、軸受６，アーム１０，
支点用軸受８を介して支点ピン１２を中心に回転するこ
とで、加圧時の昇降動作を行えるようにしている。
支点用軸受８を介して支点ピン１２を中心に回転するこ
とで、加圧時の昇降動作を行えるようにしている。
【００１７】一方、バランサー９はローラー電極５，軸
受６を含めた電極部の加圧機構が重すぎるとき、高速接
合に最適な加圧力にするため、その「重さ」と「取付位
置」を調整可能に取付けられている。
受６を含めた電極部の加圧機構が重すぎるとき、高速接
合に最適な加圧力にするため、その「重さ」と「取付位
置」を調整可能に取付けられている。
【００１８】固定ブロック１１は、おもり１３の加圧時
の昇降用軸受１４が取付けられたブラケット１５はヘッ
ド部１６に取付けられている。
の昇降用軸受１４が取付けられたブラケット１５はヘッ
ド部１６に取付けられている。
【００１９】軸受６に取付けられた給電ケーブル１９の
他端は、固定ブロック１１に固定され、ここから図中に
ない接合用電源トランスへ接続されている。
他端は、固定ブロック１１に固定され、ここから図中に
ない接合用電源トランスへ接続されている。
【００２０】おもり昇降用軸受１４内にはおもり取付用
シャフト１７が、昇降可能に配置され、おもり取付用シ
ャフト１７にはおもり１３が取付けられ、これらの荷重
はバネ１８を介してローラー電極５の上のアーム１０に
加圧力として伝達されている。
シャフト１７が、昇降可能に配置され、おもり取付用シ
ャフト１７にはおもり１３が取付けられ、これらの荷重
はバネ１８を介してローラー電極５の上のアーム１０に
加圧力として伝達されている。
【００２１】従って、前記ローラー電極５，軸受６とバ
ランサー９によって調整された荷重とおもり部の荷重の
和よりも小さな荷重に調整された荷重が蓋２への当接時
のローラー電極５の加圧力となる。
ランサー９によって調整された荷重とおもり部の荷重の
和よりも小さな荷重に調整された荷重が蓋２への当接時
のローラー電極５の加圧力となる。
【００２２】バネ１８はおもり取付用シャフト１７とロ
ーラー電極５、軸受６が取付けられたアーム１０との間
に配置され、通常はおもり取付シャフト１７とおもり１
３の荷重を加圧力としてアーム１０に伝達し、バネ力は
加圧力に加わらないよう前記おもり取付用シャフト１７
とアーム１０の間に保持されていて、固着されていない
構成にしている。
ーラー電極５、軸受６が取付けられたアーム１０との間
に配置され、通常はおもり取付シャフト１７とおもり１
３の荷重を加圧力としてアーム１０に伝達し、バネ力は
加圧力に加わらないよう前記おもり取付用シャフト１７
とアーム１０の間に保持されていて、固着されていない
構成にしている。
【００２３】そして、接合中のローラー電極５の上下変
動に対し、バネ力で瞬時に追従させ、通電時に爆飛等が
生じないよう配慮されている。
動に対し、バネ力で瞬時に追従させ、通電時に爆飛等が
生じないよう配慮されている。
【００２４】このような軽加圧が可能なヘッド２０を、
ローラー電極５を相対的に位置決めされたケース１上の
シールリングと蓋２の接合開始点２１に下降させる。そ
して、蓋２、シールリングを介して一対のローラー電極
５の間に電流を通電し、ローラー電極５と蓋２間を発熱
させる。この状態でケース１、蓋２とをのせたキャリア
３の下のスライダー４を一定速度でシーム接合終了点２
２まで移動させ接合を完了する。
ローラー電極５を相対的に位置決めされたケース１上の
シールリングと蓋２の接合開始点２１に下降させる。そ
して、蓋２、シールリングを介して一対のローラー電極
５の間に電流を通電し、ローラー電極５と蓋２間を発熱
させる。この状態でケース１、蓋２とをのせたキャリア
３の下のスライダー４を一定速度でシーム接合終了点２
２まで移動させ接合を完了する。
【００２５】この時、バランサー９が、支点ピン１２を
中心として、てこの作用により、ローラー電極５の蓋２
への荷重を、電極部及び加圧機構の荷重よりも小さくで
き、蓋２と一対のローラー電極５間の接触抵抗を大きく
できるので、従来のものに比べて小さな電流でも十分な
発熱を局所的に行うことができ、確実にシールリングを
溶かして蓋２とケース１を確りと接合できる。従って、
接合速度を上げても、従来に比べて小さな電流で品質が
良く、確りした接合を行なえ、又、気密性に優れた接合
を行なうことができるという生産性にも優れたパラレル
シーム接合装置及びその接合方法を提供できる。
中心として、てこの作用により、ローラー電極５の蓋２
への荷重を、電極部及び加圧機構の荷重よりも小さくで
き、蓋２と一対のローラー電極５間の接触抵抗を大きく
できるので、従来のものに比べて小さな電流でも十分な
発熱を局所的に行うことができ、確実にシールリングを
溶かして蓋２とケース１を確りと接合できる。従って、
接合速度を上げても、従来に比べて小さな電流で品質が
良く、確りした接合を行なえ、又、気密性に優れた接合
を行なうことができるという生産性にも優れたパラレル
シーム接合装置及びその接合方法を提供できる。
【００２６】なお、本実施の形態においては加圧機構を
用いているが、加圧機構を有しないパラレルシーム接合
装置においても、電極部の荷重よりもローラー電極の蓋
への荷重を小さくすることで、上記と同様な作用、効果
を得ることができる。
用いているが、加圧機構を有しないパラレルシーム接合
装置においても、電極部の荷重よりもローラー電極の蓋
への荷重を小さくすることで、上記と同様な作用、効果
を得ることができる。
【００２７】また、本実施の形態においては、保持機構
としてバランサー９を用いたが、このバランサー９の代
わりに保持部、例えばブラケット１５と、電極部又はア
ーム１０の電極部側に、スプリングやゴム材、樹脂材等
の弾性部材を設けて、電極部を上方に引き上げる構成に
してもよく、また、ブラケット１５とアーム１０の電極
部とは反対側に、アーム１０を押し下げるスプリングや
ゴム材、樹脂材等の弾性部材を設けてもよい。その時に
は、弾性部材の弾性力を調整する機構、例えば弾性部材
を保持するフックや締め付け部を設けてもよい。
としてバランサー９を用いたが、このバランサー９の代
わりに保持部、例えばブラケット１５と、電極部又はア
ーム１０の電極部側に、スプリングやゴム材、樹脂材等
の弾性部材を設けて、電極部を上方に引き上げる構成に
してもよく、また、ブラケット１５とアーム１０の電極
部とは反対側に、アーム１０を押し下げるスプリングや
ゴム材、樹脂材等の弾性部材を設けてもよい。その時に
は、弾性部材の弾性力を調整する機構、例えば弾性部材
を保持するフックや締め付け部を設けてもよい。
【００２８】
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
のパラレルシーム接合装置及び接合方法は、電極部又は
電極部と加圧機構の荷重よりも、ローラー電極の蓋への
当接時の圧力を小さくできるので、蓋とローラー電極間
の接触抵抗を大きくでき、従来に比べて小さな電流であ
っても接合部分のみ十分に発熱させることができるの
で、接合速度を上げても、小さな電流で気密性と品質の
良い、良好な接合を行なえるものである。
のパラレルシーム接合装置及び接合方法は、電極部又は
電極部と加圧機構の荷重よりも、ローラー電極の蓋への
当接時の圧力を小さくできるので、蓋とローラー電極間
の接触抵抗を大きくでき、従来に比べて小さな電流であ
っても接合部分のみ十分に発熱させることができるの
で、接合速度を上げても、小さな電流で気密性と品質の
良い、良好な接合を行なえるものである。
【００２９】さらに、当接圧力を小さくでき、接触抵抗
を局部的に大きくすることができるため、蓋全体に流れ
る電流を小さくすることが可能で、蓋の品質を損なうこ
となく接合することができる。
を局部的に大きくすることができるため、蓋全体に流れ
る電流を小さくすることが可能で、蓋の品質を損なうこ
となく接合することができる。
【００３０】したがって、生産性に優れ、良好な接合を
行なうことができるものである。
行なうことができるものである。
【図１】本発明の一実施の形態におけるパラレルシーム
接合装置の要部の正面図
接合装置の要部の正面図
【図２】本発明の一実施の形態におけるパラレルシーム
接合装置の要部の側面図
接合装置の要部の側面図
【図３】本発明の一実施の形態におけるパラレルシーム
接合装置の接合動作時の正面図
接合装置の接合動作時の正面図
【図４】本発明の一実施の形態におけるパラレルシーム
接合装置の接合動作時の側面図
接合装置の接合動作時の側面図
【図５】従来のパラレルシーム接合装置の正面図
【図６】従来のパラレルシーム接合装置の側面図
１ ケース １ａ シールリング ２ 蓋 ３ キャリア ４ スライド装置 ５ ローラー電極 ６ 軸受 ７ 軸 ８ 支点用軸受 ９ バランサー １１ 固定ブロック １２ 支点ピン １３ おもり １４ 昇降用軸受 １５ ブラケット １６ ヘッド部 １７ おもり取付用シャフト １８ バネ １９ 給電ケーブル ２０ ヘッド ２１ 接合開始点 ２２ 接合終了点
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 澤田 智幸 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内 (72)発明者 波多野 淑彦 大阪府門真市大字門真1006番地 松下電器 産業株式会社内
Claims (8)
- 【請求項１】 回路素子又は電子回路を収納するケース
と蓋を所定の圧力で当接し、電流を流してシーム接合す
る一対のローラー電極と、前記ローラー電極を回転自在
に保持する電極部と、前記電極部を保持する保持部を備
え、前記保持部に前記ローラー電極の蓋への加圧力を電
極部の荷重よりも小さくする保持機構を設けたパラレル
シーム接合装置。 - 【請求項２】 回路素子又は電子回路を収納するケース
と蓋を所定の圧力で当接し、電流を流してシーム接合す
る一対のローラー電極と、前記ローラー電極を回転自在
に保持する電極部と、前記電極部に加重する加圧機構
と、前記電極部と前記加圧機構を保持する保持部を備
え、前記保持部にローラー電極の蓋への加圧力を電極部
と加圧機構の荷重よりも小さくする保持機構を設けたパ
ラレルシーム接合装置。 - 【請求項３】 保持機構として、保持部と電極部の間
に、弾性部材を配置した請求項１又は請求項２に記載の
パラレルシーム接合装置。 - 【請求項４】 電極部を保持するアームと、前記アーム
に設けた支点を保持する保持部を有し、保持機構とし
て、前記アームの前記支点を中心としてローラー電極と
対向する位置にバランサーを設けた請求項１又は請求項
２記載のパラレルシーム接合装置。 - 【請求項５】 バランサーをアームに対して位置調整自
在に設けた請求項４記載のパラレルシーム接合装置。 - 【請求項６】 バランサーの荷重を調整自在とした請求
項４に記載のパラレルシーム接合装置。 - 【請求項７】 回路素子又は電子回路を収納するケース
に蓋を載置し、この蓋へ一対のローラー電極を所定の圧
力で当接させ、ローラー電極に電流を流してケースと蓋
をシーム接合する際に、ローラー電極を回転自在に保持
する電極部の荷重よりもローラー電極の蓋への当接時の
圧力を小さくしたパラレルシーム接合方法。 - 【請求項８】 回路素子又は電子回路を収納するケース
に蓋を載置し、この蓋へ一対のローラーを電極を所定の
圧力で当接させ、ローラー電極の電流を流してケースと
蓋をシーム接合する際に、ローラー電極を回転自在に保
持する電極部と、電極部に加重する加圧機構との荷重よ
りもローラー電極の蓋への当接時の圧力を小さくしたパ
ラレルシーム接合方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11869596A JP3395516B2 (ja) | 1996-05-14 | 1996-05-14 | パラレルシーム接合装置及び接合方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11869596A JP3395516B2 (ja) | 1996-05-14 | 1996-05-14 | パラレルシーム接合装置及び接合方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09300078A true JPH09300078A (ja) | 1997-11-25 |
| JP3395516B2 JP3395516B2 (ja) | 2003-04-14 |
Family
ID=14742880
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11869596A Expired - Fee Related JP3395516B2 (ja) | 1996-05-14 | 1996-05-14 | パラレルシーム接合装置及び接合方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3395516B2 (ja) |
-
1996
- 1996-05-14 JP JP11869596A patent/JP3395516B2/ja not_active Expired - Fee Related
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| JP3395516B2 (ja) | 2003-04-14 |
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