JPH09293284A - Magneto-optical disk - Google Patents

Magneto-optical disk

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JPH09293284A
JPH09293284A JP10551396A JP10551396A JPH09293284A JP H09293284 A JPH09293284 A JP H09293284A JP 10551396 A JP10551396 A JP 10551396A JP 10551396 A JP10551396 A JP 10551396A JP H09293284 A JPH09293284 A JP H09293284A
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JP
Japan
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layer
magneto
recording
coercive force
optical disk
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Application number
JP10551396A
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Japanese (ja)
Inventor
Yoshinobu Ishii
義伸 石井
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Kyocera Corp
Original Assignee
Kyocera Corp
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Publication date
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Publication of JPH09293284A publication Critical patent/JPH09293284A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a magneto-optical improved in jitter property. SOLUTION: A dielectric layer 5, a recording layer 6 provided with successively a 1st layer 6a composed of an amorphous GdFeCo alloy and a 2nd layer 6b composed of an amorphous TbDyFeCo alloy, a dielectric layer 7 and a reflection layer 8 are successively laminated on a substrate 1. And both of the 1st layer 6a and the 2nd layer 6b are enriched in transition metal and the coercive force of the recording layer 6 is controlled to 7-16kOe.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は光磁気ディスクの改
良に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to improvements in magneto-optical disks.

【0002】[0002]

【従来の技術】特開昭61−117747号によれば、
高キュリー点を有するGdFeCoの低保磁力層と、低
キュリー点を有するTbFeの高保磁力層とが交換結合
された積層構造の光磁気ディスクが提案され、また、特
公平3−9545号ではTbFeやDyFeの記録層
と、GdFeやGdFeBiの再生層との積層が提案さ
れ、いずれの積層構造も高いC/Nを達成している。
2. Description of the Related Art According to Japanese Patent Laid-Open No. 61-117747,
A magneto-optical disk having a laminated structure in which a low coercive force layer of GdFeCo having a high Curie point and a high coercive force layer of TbFe having a low Curie point are exchange-coupled has been proposed, and in Japanese Patent Publication No. 3-9545, TbFe and A stack of a DyFe recording layer and a reproducing layer of GdFe or GdFeBi has been proposed, and both stack structures achieve high C / N.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記提
案の積層構造の光磁気ディスクによれば、読み出し出力
が大きくなることから、キャリアレベルを大きくするこ
とができるが、その反面、再生層と記録層との界面にお
ける保磁力Hcの変化を交換結合で見かけ上同じ保磁力
Hcにしているので、これら低保磁力層と高保磁力層と
の界面において、両層のキュリー点の差によってピット
形状が急激に変化し、これによってジッターが増大する
という問題点がある。したがって、本発明の目的はジッ
ター特性を改善した高性能な光磁気ディスクを提供する
ことにある。
However, according to the magneto-optical disk of the above-mentioned laminated structure, the read output is increased, so that the carrier level can be increased. On the other hand, on the other hand, the reproducing layer and the recording layer. Since the change in the coercive force Hc at the interface with the and the coercive force Hc is apparently the same due to the exchange coupling, the pit shape is sharp at the interface between the low coercive force layer and the high coercive force layer due to the difference in the Curie points of the two layers. However, there is a problem that the jitter increases due to the change. Therefore, an object of the present invention is to provide a high-performance magneto-optical disk with improved jitter characteristics.

【0004】[0004]

【課題を解決するための手段】本発明の光磁気ディスク
は、透明ディスク基板上に第1誘電体層と、アモルファ
スGdFeCo合金からなる第1層およびアモルファス
TbDyFeCo合金からなる第2層とが順次設けられ
た記録層と、第2誘電体層と、反射層とを順次積層し、
さらに第1層および第2層の双方が遷移金属リッチであ
るとともに、記録層の保磁力を7〜16kOeにしたこ
とを特徴とする。
In the magneto-optical disk of the present invention, a first dielectric layer, a first layer made of an amorphous GdFeCo alloy and a second layer made of an amorphous TbDyFeCo alloy are sequentially provided on a transparent disk substrate. The recording layer, the second dielectric layer, and the reflective layer, which are sequentially laminated,
Further, both the first layer and the second layer are rich in transition metal, and the coercive force of the recording layer is set to 7 to 16 kOe.

【0005】[0005]

【発明の実施の形態】図1は本発明の光磁気ディスクM
(直径3.5インチ)の平面図であり、図2は図1に示
す切断面線X−Xによる断面図である。また、図3は光
磁気ディスクMを構成する薄膜の層構造を示す。
FIG. 1 shows a magneto-optical disk M according to the present invention.
FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line XX of FIG. 1. Further, FIG. 3 shows a layer structure of a thin film forming the magneto-optical disk M.

【0006】前記透明ディスク基板としてポリカーボネ
ート樹脂からなる基板1を用いて、この基板1の片面側
にはトラッキング用溝2を同心円状に多数形成し、その
中心部にはハブ装着用の穴3を設けている。トラッキン
グ用溝2が形成された面上には薄膜4を被覆している。
A substrate 1 made of a polycarbonate resin is used as the transparent disk substrate, and a large number of tracking grooves 2 are formed concentrically on one side of the substrate 1, and a hub mounting hole 3 is formed in the center thereof. It is provided. The surface on which the tracking groove 2 is formed is covered with the thin film 4.

【0007】この薄膜4は第1誘電体層としての厚みが
たとえば500〜900Åのサイアロンからなる誘電体
層5と、記録層6と、第2誘電体層としての厚みがたと
えば50〜200Åのサイアロンから成る誘電体層7
と、厚みがたとえば600〜1000Åのチタン含有ア
ルミニウムからなる反射層8と、紫外線硬化型樹脂から
なる保護樹脂層9との積層構造である。これら誘電体層
5と記録層6と誘電体層7と反射層8については、スパ
ッタリングにより成膜形成し、その後に保護樹脂層9を
塗布形成する。
The thin film 4 has a dielectric layer 5 made of sialon having a thickness of, for example, 500 to 900 Å as a first dielectric layer, a recording layer 6, and a sialon having a thickness of, for example, 50 to 200 Å as a second dielectric layer. Dielectric layer 7 consisting of
And a reflective layer 8 made of titanium-containing aluminum having a thickness of 600 to 1000 Å and a protective resin layer 9 made of an ultraviolet curable resin. The dielectric layer 5, the recording layer 6, the dielectric layer 7, and the reflective layer 8 are formed into a film by sputtering, and then the protective resin layer 9 is formed by coating.

【0008】上記誘電体層5と誘電体層7とはサイアロ
ン以外に酸化シリコン、窒化アルミ、酸化チタン、酸化
タンタルなどによって形成してもよく、また、反射層8
についてもチタン含有アルミニウム以外にAl、Ti、
Au、Ag、Cu、Pt、Cr、Niの少なくとも1種
の金属もしくは合金によって形成してもよい。
The dielectric layers 5 and 7 may be formed of silicon oxide, aluminum nitride, titanium oxide, tantalum oxide, etc. other than sialon.
Regarding titanium, aluminum, titanium,
It may be formed of at least one metal or alloy of Au, Ag, Cu, Pt, Cr and Ni.

【0009】前記記録層6はアモルファスGdFeCo
合金からなる第1層6aおよびアモルファスTbDyF
eCo合金からなる第2層6bとを順次積層した積層構
造であって、両層6a、6bは交換結合されている。そ
して、第1層6aおよび第2層6bの双方とも遷移金属
リッチにするとよく、これによって磁気モーメントの向
きと、磁化の向きが両層とも同じとなって結合が安定す
る。
The recording layer 6 is made of amorphous GdFeCo.
First layer 6a made of alloy and amorphous TbDyF
It has a laminated structure in which a second layer 6b made of an eCo alloy is sequentially laminated, and both layers 6a and 6b are exchange-coupled. Then, both the first layer 6a and the second layer 6b may be rich in transition metal, whereby the directions of the magnetic moment and the magnetization are the same in both layers, and the coupling is stabilized.

【0010】さらに記録層6の保磁力を7〜16kOe
に設定すると、一段とジッターが向上する。このように
保磁力を設定するには、双方の層の希土類元素と遷移金
属元素との比率を制御することによって得られるが、実
際には第1層6aの保磁力を1〜2kOeに、第2層6
bの保磁力を8〜17kOeに設定することで達成でき
る。
Further, the coercive force of the recording layer 6 is set to 7 to 16 kOe.
When set to, jitter is further improved. In order to set the coercive force in this way, it can be obtained by controlling the ratio of the rare earth element and the transition metal element in both layers, but in reality, the coercive force of the first layer 6a is set to 1 to 2 kOe. 2 layers 6
This can be achieved by setting the coercive force of b to 8 to 17 kOe.

【0011】そして、上記構成の光磁気ディスクMにお
いて、基板1を回転させながら、波長680nmなどの
レーザービームを基板1を通して照射し、トラッキング
用溝2に沿ってトラッキングすると、そのレーザービー
ムが誘電体層5を通して記録層6へ到達し、さらにその
一部が記録層6を通過し、誘電体層7を通して反射層8
で反射され、その反射光が記録層6へいたる。
Then, in the magneto-optical disk M having the above structure, while the substrate 1 is rotated, a laser beam having a wavelength of 680 nm or the like is irradiated through the substrate 1 and tracking is performed along the tracking groove 2, the laser beam is a dielectric. The recording layer 6 reaches the recording layer 6 through the layer 5, a part of the recording layer 6 passes through the recording layer 6, and the reflecting layer 8 passes through the dielectric layer 7.
And the reflected light reaches the recording layer 6.

【0012】かくして本発明の光磁気ディスクMによれ
ば、上記層構成の薄膜4を設けることで、再生層である
第1層6aおよび読み出し層である第2層6bとの境界
において保磁力Hcがゆるやかに変化し(双方の層に共
通してCoを構成原子としていることで、その界面での
磁気モーメントの結合が強くなるためにである)、しか
も、第2層6bにTbDyの希土類元素を使用している
ことで、従来のTbのみの希土類元素、もしくはGdD
yの希土類元素を使用したものと比べて、界面での結合
が強くなり、これによって読み出し層が安定し、その結
果、ジッター値が小さくなる。
Thus, according to the magneto-optical disk M of the present invention, by providing the thin film 4 having the above-mentioned layer structure, the coercive force Hc at the boundary between the first layer 6a which is the reproducing layer and the second layer 6b which is the reading layer. Gradually changes (because Co is a constituent atom common to both layers, the coupling of the magnetic moment at the interface becomes stronger), and the rare earth element of TbDy is added to the second layer 6b. By using, the rare earth element of only conventional Tb or GdD
Bonding at the interface is stronger than in the case where the rare earth element of y is used, which stabilizes the readout layer, resulting in a smaller jitter value.

【0013】かような第1層6aおよび第2層6bの組
成および膜厚は、次の通り限定するのがよい。第1層6a Gda Feb Coc 0.15<a≦0.30、好適には0.18<a≦0.
20 0.50≦b≦0.80、好適には0.60≦b≦0.
80 0.05≦c≦0.20、好適には0.08≦c≦0.
15 ただし、a+b+c=1第2層6b Tbd Dye Fef Cog 0.05≦d≦0.20、好適には0.08≦d≦0.
12 0.05<e≦0.20、好適には0.08<e≦0.
12 0.50≦f≦0.80、好適には0.60≦f≦0.
75 0.05≦g≦0.20、好適には0.08≦g≦0.
15 ただし、d+e+f+g=1 各原子組成の範囲を限定した理由は次の通りである。a
が上記の範囲内であれば、遷移金属リッチ組成となり、
磁化の向きと遷移金属のモーメントの向きがそろうとい
う点で望ましい。bが上記の範囲内であれば、保磁力が
1〜2kOeとなり、これによって垂直磁気異方性が得
られるという点で望ましい。また、cが上記の範囲内で
あれば、キュリー点温度が読み出し特性にとって良好な
範囲になるという点で望ましい。
The composition and film thickness of the first layer 6a and the second layer 6b are preferably limited as follows. First layer 6a Gda Feb Coc 0.15 <a ≦ 0.30, preferably 0.18 <a ≦ 0.
20 0.50 ≦ b ≦ 0.80, preferably 0.60 ≦ b ≦ 0.
80 0.05≤c≤0.20, preferably 0.08≤c≤0.
15 where a + b + c = 1 second layer 6b Tbd Dye Fef Cog 0.05 ≦ d ≦ 0.20, preferably 0.08 ≦ d ≦ 0.
12 0.05 <e ≦ 0.20, preferably 0.08 <e ≦ 0.
12 0.50 ≦ f ≦ 0.80, preferably 0.60 ≦ f ≦ 0.
75 0.05≤g≤0.20, preferably 0.08≤g≤0.
15 However, the reason why the range of each atomic composition is limited to d + e + f + g = 1 is as follows. a
Is in the above range, the transition metal rich composition,
It is desirable in that the direction of magnetization and the direction of moment of the transition metal are aligned. When b is in the above range, the coercive force is 1 to 2 kOe, which is desirable in that perpendicular magnetic anisotropy can be obtained. Further, if c is within the above range, it is desirable in that the Curie point temperature is in a good range for reading characteristics.

【0014】つぎにdが上記の範囲内であれば、Dyと
の組合せでもって遷移金属リッチ組成となるという点で
望ましい。eが上記の範囲内であれば、Tbとの組合せ
でもって遷移金属リッチ組成となるという点で望まし
い。また、fが上記の範囲内であれば、保磁力が8〜1
7kOeに設定できるという点で望ましい。さらにま
た、gが上記の範囲内であれば、キュリー点温度が記録
にとって適当な値になるという点で望ましい。
Next, if d is within the above range, it is desirable in that a transition metal-rich composition is obtained by combining with Dy. When e is within the above range, it is desirable in that a transition metal-rich composition is obtained in combination with Tb. If f is in the above range, the coercive force is 8 to 1
It is desirable in that it can be set to 7 kOe. Furthermore, if g is within the above range, it is desirable in that the Curie point temperature becomes an appropriate value for recording.

【0015】第1層6aの厚みについては50〜200
Å、好適には100〜150Åにするとよく、この範囲
の厚みであれば、読み出し性能が向上し、さらに結合も
安定するという点で望ましい。第2層6bの厚みは、1
50〜300Å、好適には200〜250Åにするとよ
く、この範囲の厚みであれば、記録に対して十分な保磁
力が得られて、安定した記録ビットとなるという点で望
ましい。
The thickness of the first layer 6a is 50 to 200.
Å, preferably 100 to 150 Å, and a thickness in this range is desirable in that the read performance is improved and the coupling is stable. The thickness of the second layer 6b is 1
The thickness is preferably 50 to 300 Å, preferably 200 to 250 Å, and a thickness in this range is desirable in that a sufficient coercive force for recording can be obtained and a stable recording bit can be obtained.

【0016】[0016]

【実施例】次に実施例を述べる。 (例1)ポリカーボネート樹脂からなる基板1上に薄膜
4として、厚みが600Åのサイアロンからなる誘電体
層5と、表1に示すように各種記録層6(または比較例
の記録層)と、厚みが200Åのサイアロンからなる誘
電体層7と、厚みが1000Åのチタン含有アルミニウ
ムからなる反射層8を形成して、各種光磁気ディスク
(試料No.1〜No.12)を作成した。なお、いず
れも第1層6aの厚みは100Å、第2層6bの厚みは
200Åにした。
EXAMPLES Next, examples will be described. (Example 1) As a thin film 4 on a substrate 1 made of a polycarbonate resin, a dielectric layer 5 made of sialon having a thickness of 600Å, various recording layers 6 (or a recording layer of a comparative example) as shown in Table 1, and a thickness. Various magneto-optical disks (Samples No. 1 to No. 12) were prepared by forming a dielectric layer 7 made of sialon having a thickness of 200 Å and a reflective layer 8 made of titanium-containing aluminum having a thickness of 1000 Å. In each case, the thickness of the first layer 6a was 100Å and the thickness of the second layer 6b was 200Å.

【0017】[0017]

【表1】 [Table 1]

【0018】各光磁気ディスクについて、記録層の保磁
力とジッターを測定したところ、表2に示す通りの結果
が得られた。これらの測定は、回転数3000rpm、
記録パワー10mW、再生パワー1mW、記録周波数
5.84MHz、記録パルス幅20ナノ秒の条件でもっ
て、半径24.1mmの記録部位でおこなった。
When the coercive force and jitter of the recording layer of each magneto-optical disk were measured, the results shown in Table 2 were obtained. These measurements were performed at a rotation speed of 3000 rpm,
The recording was performed at a recording portion with a radius of 24.1 mm under the conditions of a recording power of 10 mW, a reproducing power of 1 mW, a recording frequency of 5.84 MHz, and a recording pulse width of 20 nanoseconds.

【0019】[0019]

【表2】 [Table 2]

【0020】両者の表の結果から明らかな通り、本発明
の試料No.1〜No.3では記録層6の保磁力Hcが
9KOe以上となり、さらにジッター値が5.0%以下
という優れた特性が得られた。また、試料No.4とN
o.5では、記録層6の組成が適当であったが、交換結
合の強さが均一でないために、保磁力が満足できるよう
な値にはならず、しかも、ジッターも良好な値を示さな
かった。
As is clear from the results of both tables, the sample No. 1 to No. In No. 3, the coercive force Hc of the recording layer 6 was 9 KOe or more, and the excellent characteristics that the jitter value was 5.0% or less were obtained. In addition, the sample No. 4 and N
o. In No. 5, although the composition of the recording layer 6 was appropriate, the coercive force did not reach a satisfactory value because the strength of exchange coupling was not uniform, and the jitter did not show a good value. .

【0021】これに対して、試料No.6〜No.13
によれば、記録層6の保磁力が7〜16kOeの範囲か
ら外れ、しかも、ジッターが実用的な範囲である7.5
%以下(好適な範囲として5.0%以下)にならなくな
った。ちなみに、この保磁力が7kOe未満の場合には
ビットの長さが不均一になりやすく、ジッターが劣化
し、16kOeを越える場合には記録ビットを十分に書
くことができないところが発生し、ジッターが劣化す
る。
On the other hand, the sample No. 6-No. Thirteen
According to the above, the coercive force of the recording layer 6 is out of the range of 7 to 16 kOe, and the jitter is in the practical range of 7.5.
% Or less (5.0% or less as a preferable range). By the way, if the coercive force is less than 7 kOe, the bit length is likely to be non-uniform and the jitter is deteriorated. If the coercive force is more than 16 kOe, some recorded bits cannot be written and the jitter is deteriorated. To do.

【0022】[0022]

【発明の効果】以上の通り、本発明によれば、アモルフ
ァスGdFeCo合金からなる第1層およびアモルファ
スTbDyFeCo合金からなる第2層とが順次設けら
れた記録層を設け、さらに第1層および第2層の双方と
もに遷移金属リッチであるとともに、記録層の保磁力が
7〜16kOeにすることで、ジッター特性を改善した
高性能な光磁気ディスクが提供できる。
As described above, according to the present invention, the recording layer in which the first layer made of the amorphous GdFeCo alloy and the second layer made of the amorphous TbDyFeCo alloy are sequentially provided, and further the first layer and the second layer are provided. Since both layers are rich in transition metal and the coercive force of the recording layer is set to 7 to 16 kOe, a high-performance magneto-optical disk with improved jitter characteristics can be provided.

【0023】また、本発明の光磁気ディスクにおいて
は、ジッターが7.5%以下というきわめて小さな値に
達成されるので、ピットエッジ記録に好適である。
Further, the magneto-optical disk of the present invention is suitable for pit edge recording because the jitter can be achieved to a very small value of 7.5% or less.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の光磁気ディスクMの平面図である。FIG. 1 is a plan view of a magneto-optical disk M according to the present invention.

【図2】本発明の光磁気ディスクMの断面図である。FIG. 2 is a sectional view of a magneto-optical disk M of the present invention.

【図3】本発明に係る薄膜の層構成を示す断面図であ
る。
FIG. 3 is a cross-sectional view showing a layer structure of a thin film according to the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

M 光磁気ディスク 1 基板 4 薄膜 5、7 誘電体層 6 記録層 6a 第1層 6b 第2層 8 反射層 9 保護樹脂層 M Magneto-optical disk 1 Substrate 4 Thin film 5 and 7 Dielectric layer 6 Recording layer 6a First layer 6b Second layer 8 Reflective layer 9 Protective resin layer

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 透明ディスク基板上に第1誘電体層と、
アモルファスGdFeCo合金からなる第1層およびア
モルファスTbDyFeCo合金からなる第2層とが順
次設けられた記録層と、第2誘電体層と、反射層とを順
次積層するとともに、上記第1層および第2層の双方が
遷移金属リッチであり、かつ記録層の保磁力を7〜16
kOeにしたことを特徴とする光磁気ディスク。
1. A first dielectric layer on a transparent disk substrate,
A recording layer in which a first layer made of an amorphous GdFeCo alloy and a second layer made of an amorphous TbDyFeCo alloy are sequentially provided, a second dielectric layer, and a reflective layer are sequentially laminated, and the first layer and the second layer are formed. Both of the layers are rich in transition metal, and the coercive force of the recording layer is 7 to 16
A magneto-optical disk characterized by having kOe.
JP10551396A 1996-04-25 1996-04-25 Magneto-optical disk Pending JPH09293284A (en)

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