JPH09292500A - 電子線照射装置の窓箔冷却構造 - Google Patents
電子線照射装置の窓箔冷却構造Info
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- JPH09292500A JPH09292500A JP8140605A JP14060596A JPH09292500A JP H09292500 A JPH09292500 A JP H09292500A JP 8140605 A JP8140605 A JP 8140605A JP 14060596 A JP14060596 A JP 14060596A JP H09292500 A JPH09292500 A JP H09292500A
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- H01J33/00—Discharge tubes with provision for emergence of electrons or ions from the vessel; Lenard tubes
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 線量分布を従来と変えることなく、電子線密
度を増化することができ、また、同じ電子線密度であれ
ば、電子線の利用効率をあげることができる電子線照射
装置を提供すること。 【解決手段】 真空チャンバ１の電子線照射窓に取り付
けられ、表面に窓箔７が取り付けられる多数の電子取り
出し孔４を有する窓桟２１に、窓縁辺に沿って主水路２
２Ａ、２２Ｂを形成し、前記主水路２２Ａ、２２Ｂ間
に、前記主水路２２Ａ、２２Ｂに対して傾斜するととも
に、前記主水路２２Ａ、２２Ｂの投影線上で重ならない
間隔で形成された複数の分岐水路２３ａ〜２３ｄを形成
し、窓箔７に対する水路への熱伝導距離を短縮する。
度を増化することができ、また、同じ電子線密度であれ
ば、電子線の利用効率をあげることができる電子線照射
装置を提供すること。 【解決手段】 真空チャンバ１の電子線照射窓に取り付
けられ、表面に窓箔７が取り付けられる多数の電子取り
出し孔４を有する窓桟２１に、窓縁辺に沿って主水路２
２Ａ、２２Ｂを形成し、前記主水路２２Ａ、２２Ｂ間
に、前記主水路２２Ａ、２２Ｂに対して傾斜するととも
に、前記主水路２２Ａ、２２Ｂの投影線上で重ならない
間隔で形成された複数の分岐水路２３ａ〜２３ｄを形成
し、窓箔７に対する水路への熱伝導距離を短縮する。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、電子線照射装置の
窓箔冷却構造に関するものである。
窓箔冷却構造に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】電子線照射装置の電子線照射窓は、図６
の概略斜視図及び図６のＡ−Ａ線に沿って切断して示す
図７の一部概略断面図に示すように、電子線を加速する
真空チャンバ１の窓部に多数の電子取り出し孔４が形成
された平板状の窓桟２が取り付けられており、その窓桟
２の表面に窓箔７が取り付けられている。
の概略斜視図及び図６のＡ−Ａ線に沿って切断して示す
図７の一部概略断面図に示すように、電子線を加速する
真空チャンバ１の窓部に多数の電子取り出し孔４が形成
された平板状の窓桟２が取り付けられており、その窓桟
２の表面に窓箔７が取り付けられている。
【０００３】真空チャンバ１内で加速された電子線は、
大部分は電子取り出し孔４および窓箔７を通過してＸ方
向に搬送される被処理物を照射するが、一部は窓桟２に
衝突し、衝突した電子線の全エネルギーは窓桟２に吸収
され、窓桟２はその吸収したエネルギーによって加熱さ
れる。また、電子線が窓箔７を通過する際にも一部エネ
ルギーは窓箔７に吸収され、窓箔７はその吸収したエネ
ルギーによって加熱される。この加熱による温度上昇を
抑制するために窓桟２には、冷却水路３が設けられてい
る。
大部分は電子取り出し孔４および窓箔７を通過してＸ方
向に搬送される被処理物を照射するが、一部は窓桟２に
衝突し、衝突した電子線の全エネルギーは窓桟２に吸収
され、窓桟２はその吸収したエネルギーによって加熱さ
れる。また、電子線が窓箔７を通過する際にも一部エネ
ルギーは窓箔７に吸収され、窓箔７はその吸収したエネ
ルギーによって加熱される。この加熱による温度上昇を
抑制するために窓桟２には、冷却水路３が設けられてい
る。
【０００４】この冷却水路３は、図８に示されているよ
うに、「コ」字形に形成されているが、窓桟２内では、
相対向する長辺に沿って給水口３ａに連なる往路の水路
３Ａと排水口３ｂに連なる復路の水路３Ｂが形成され、
往路の水路３Ａと復路の水路３Ｂは、窓桟２の短辺側の
外側に平行に敷設された管等の水路で連結されている。
給水口３ａから給水された冷却水は、この水路３内を流
通して排水口３ｂから排水される。水路３に冷却水が流
通して窓桟２の桟部５の冷却が行われる。
うに、「コ」字形に形成されているが、窓桟２内では、
相対向する長辺に沿って給水口３ａに連なる往路の水路
３Ａと排水口３ｂに連なる復路の水路３Ｂが形成され、
往路の水路３Ａと復路の水路３Ｂは、窓桟２の短辺側の
外側に平行に敷設された管等の水路で連結されている。
給水口３ａから給水された冷却水は、この水路３内を流
通して排水口３ｂから排水される。水路３に冷却水が流
通して窓桟２の桟部５の冷却が行われる。
【０００５】このような窓桟２においては、窓桟２の桟
部５の熱は、窓桟２を伝達して水路３方向に流れ、冷却
水に熱は奪われて冷却され、また、窓箔７の熱は、窓桟
２に伝達され同様にして冷却水に熱は奪われて冷却され
る。この場合、窓箔７の水路３Ａと水路３Ｂ間の中心部
の熱の伝達は、図８に示すように、往路の水路３Ａと、
復路の水路３Ｂとの間の距離Ｌの半分であるＬ／２の距
離を伝達することになり、水路３と窓箔７の中心（電子
取り出し孔４の中心）とは、常に一定の温度差ΔＴｄｅ
ｇが存在することになる。
部５の熱は、窓桟２を伝達して水路３方向に流れ、冷却
水に熱は奪われて冷却され、また、窓箔７の熱は、窓桟
２に伝達され同様にして冷却水に熱は奪われて冷却され
る。この場合、窓箔７の水路３Ａと水路３Ｂ間の中心部
の熱の伝達は、図８に示すように、往路の水路３Ａと、
復路の水路３Ｂとの間の距離Ｌの半分であるＬ／２の距
離を伝達することになり、水路３と窓箔７の中心（電子
取り出し孔４の中心）とは、常に一定の温度差ΔＴｄｅ
ｇが存在することになる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】ところで、このような
従来の電子線照射装置において、電子の密度を増すと、
つまり、定格を増加させると、桟部５や、窓箔７に当て
る熱量が増加することになる。このため、前記温度差Δ
Ｔｄｅｇが増加する。
従来の電子線照射装置において、電子の密度を増すと、
つまり、定格を増加させると、桟部５や、窓箔７に当て
る熱量が増加することになる。このため、前記温度差Δ
Ｔｄｅｇが増加する。
【０００７】また、窓箔７の寿命は、窓箔７の温度（す
なわち、前記温度差ΔＴｄｅｇと水路３内を流通する水
温との和）と関係があり、照射窓箔７の温度が高くなる
と、照射窓箔７の寿命が短くなり、これにより、ある温
度差、すなわち、ある電子線密度より増加させると、照
射窓箔７の寿命が短くなり過ぎるため、実用上、照射窓
箔７を使用することができなくなる（現状では電子線の
密度Ｊ＝２ｍＡ／ｃｍ程度とされている。）。
なわち、前記温度差ΔＴｄｅｇと水路３内を流通する水
温との和）と関係があり、照射窓箔７の温度が高くなる
と、照射窓箔７の寿命が短くなり、これにより、ある温
度差、すなわち、ある電子線密度より増加させると、照
射窓箔７の寿命が短くなり過ぎるため、実用上、照射窓
箔７を使用することができなくなる（現状では電子線の
密度Ｊ＝２ｍＡ／ｃｍ程度とされている。）。
【０００８】本発明は、上記の状況に鑑みなされたもの
で、線量分布を従来と変えることなく、電子線密度を増
化することができ、また、同じ電子線密度であれば、電
子線の利用効率をあげることができる電子線照射装置を
提供することを目的とする。
で、線量分布を従来と変えることなく、電子線密度を増
化することができ、また、同じ電子線密度であれば、電
子線の利用効率をあげることができる電子線照射装置を
提供することを目的とする。
【０００９】
【課題を解決するための手段】本発明に係る目的は、多
数の電子取り出し孔と冷却水路とを有し、表面に窓箔が
取り付けられる窓桟を備える電子線照射装置の窓箔冷却
構造であって、前記窓桟の冷却水路は、前記電子線照射
窓の互いに対向する縁辺に沿って形成された主水路と、
前記主水路間に跨って形成され前記主水路と連通する複
数の分岐水路とからなり、前記複数の分岐水路は、それ
ぞれに前記主水路に対して傾斜するとともに、前記主水
路の投影線上で重ならない間隔で形成されてなることを
特徴とする電子線照射装置の窓箔冷却構造とすることに
よって達成される。
数の電子取り出し孔と冷却水路とを有し、表面に窓箔が
取り付けられる窓桟を備える電子線照射装置の窓箔冷却
構造であって、前記窓桟の冷却水路は、前記電子線照射
窓の互いに対向する縁辺に沿って形成された主水路と、
前記主水路間に跨って形成され前記主水路と連通する複
数の分岐水路とからなり、前記複数の分岐水路は、それ
ぞれに前記主水路に対して傾斜するとともに、前記主水
路の投影線上で重ならない間隔で形成されてなることを
特徴とする電子線照射装置の窓箔冷却構造とすることに
よって達成される。
【００１０】本発明の上記特徴によれば、窓桟の電子取
り出し孔のいずれの位置にある窓箔の中心と水路との距
離が短縮され、窓桟の桟部はもとより窓箔の冷却効率が
高められ、水路と窓箔の温度差は小さくなる。したがっ
て、線量分布を従来と変えることなく、電子線密度を増
化することができ、また、同じ電子線密度であれば、電
子線の利用効率をあげることができる
り出し孔のいずれの位置にある窓箔の中心と水路との距
離が短縮され、窓桟の桟部はもとより窓箔の冷却効率が
高められ、水路と窓箔の温度差は小さくなる。したがっ
て、線量分布を従来と変えることなく、電子線密度を増
化することができ、また、同じ電子線密度であれば、電
子線の利用効率をあげることができる
【００１１】また、冷却効果の増加することにより、熱
伝導面積を少なくすることができることから、窓桟の厚
みを薄くでき、電子線が電子取り出し孔を通過する距離
が短くなって、電子線の拡散による電子取り出し孔周壁
に衝突する量が低減でき有効な電子線量を増加させるこ
とができる。
伝導面積を少なくすることができることから、窓桟の厚
みを薄くでき、電子線が電子取り出し孔を通過する距離
が短くなって、電子線の拡散による電子取り出し孔周壁
に衝突する量が低減でき有効な電子線量を増加させるこ
とができる。
【００１２】
【発明の実施の形態】次に、本発明に係る電子線照射装
置の窓箔冷却構造の例について図面を参照して説明す
る。図１は、本発明に係る電子線照射装置の窓箔冷却構
造の一例の部分斜視図、図２は、図１の例の窓箔冷却構
造を説明するための平面図である。なお、各図を通し対
応する部分には同一符号を付し、重複説明を避ける。
置の窓箔冷却構造の例について図面を参照して説明す
る。図１は、本発明に係る電子線照射装置の窓箔冷却構
造の一例の部分斜視図、図２は、図１の例の窓箔冷却構
造を説明するための平面図である。なお、各図を通し対
応する部分には同一符号を付し、重複説明を避ける。
【００１３】図１において、２１は窓桟で、従来と同様
に電子取り出し孔４が形成され、その表面に窓箔７が取
り付けられて電子線照射装置の真空チャンバ１の電子線
照射窓に取り付けられる。窓桟２１は、内部に電子線照
射幅方向（Ｙ方向、なお、Ｘ方向は被処理物の搬送方
向）の電子線照射窓の縁辺に沿って、両側のそれぞれに
主水路２２Ａ、２２Ｂが形成され、主水路２２Ａ、２２
Ｂ間に跨って連通する複数の分岐水路２３ａ〜２３ｄが
形成されている。
に電子取り出し孔４が形成され、その表面に窓箔７が取
り付けられて電子線照射装置の真空チャンバ１の電子線
照射窓に取り付けられる。窓桟２１は、内部に電子線照
射幅方向（Ｙ方向、なお、Ｘ方向は被処理物の搬送方
向）の電子線照射窓の縁辺に沿って、両側のそれぞれに
主水路２２Ａ、２２Ｂが形成され、主水路２２Ａ、２２
Ｂ間に跨って連通する複数の分岐水路２３ａ〜２３ｄが
形成されている。
【００１４】図２に示すように、一方の主水路２２Ａ
は、一端が開口されて給水口（水入口）２２ａとされ、
他方の主水路２２Ｂは、一端が開口されて排水口（水出
口）２２ｂとされ、一方の主水路２２Ａの他端は細管２
４ａで他方の主水路２２Ｂと連結され、他方の主水路２
２Ｂの他端は細管２４ｂで他方の主水路２２Ｂと連結さ
れている。なお、この細管２４ａ、２４ｂは必ずしも必
要とするものではない。
は、一端が開口されて給水口（水入口）２２ａとされ、
他方の主水路２２Ｂは、一端が開口されて排水口（水出
口）２２ｂとされ、一方の主水路２２Ａの他端は細管２
４ａで他方の主水路２２Ｂと連結され、他方の主水路２
２Ｂの他端は細管２４ｂで他方の主水路２２Ｂと連結さ
れている。なお、この細管２４ａ、２４ｂは必ずしも必
要とするものではない。
【００１５】複数の分岐水路２３ａ〜２３ｄは、主水路
２２Ａ、２２Ｂよりも細く、主水路２２Ａ、２２Ｂに対
して傾斜してそれぞれと連結され、各分岐水路２３ａ〜
２３ｄの間隔Ｌ２は、主水路２２Ａ、２２Ｂ間の間隔Ｌ
１以下とし、かつ、各分岐水路２３ａ〜２３ｄを主水路
２２Ａ、２２Ｂへ投影したとき、各分岐水路２３ａ〜２
３ｄは重ならない、すなわち、Ｘ方向に流れる被処理物
の同じ位置が２度分岐水路と交叉しないように設定され
ている。この傾斜配置と２度の交叉を避けている理由
は、電子線の被処理物への均一照射、すなわち電子線分
布の均一化を図るためである。
２２Ａ、２２Ｂよりも細く、主水路２２Ａ、２２Ｂに対
して傾斜してそれぞれと連結され、各分岐水路２３ａ〜
２３ｄの間隔Ｌ２は、主水路２２Ａ、２２Ｂ間の間隔Ｌ
１以下とし、かつ、各分岐水路２３ａ〜２３ｄを主水路
２２Ａ、２２Ｂへ投影したとき、各分岐水路２３ａ〜２
３ｄは重ならない、すなわち、Ｘ方向に流れる被処理物
の同じ位置が２度分岐水路と交叉しないように設定され
ている。この傾斜配置と２度の交叉を避けている理由
は、電子線の被処理物への均一照射、すなわち電子線分
布の均一化を図るためである。
【００１６】このように、主水路２２Ａと主水路２２Ｂ
との間に複数の分岐水路２３ａ〜２３ｄを連結すること
により、各水路間隔が短くなり、したがって、桟５およ
び照射窓箔７での伝熱距離が短くなり、桟５および照射
窓箔７の冷却効果が大きくなる。このため、電子線密度
を増すことができる。この場合、Ｌ１とＬ２を等しくし
ても、電子線密度ＪｍＡ／ｃｍは２倍以上とすることが
できる。
との間に複数の分岐水路２３ａ〜２３ｄを連結すること
により、各水路間隔が短くなり、したがって、桟５およ
び照射窓箔７での伝熱距離が短くなり、桟５および照射
窓箔７の冷却効果が大きくなる。このため、電子線密度
を増すことができる。この場合、Ｌ１とＬ２を等しくし
ても、電子線密度ＪｍＡ／ｃｍは２倍以上とすることが
できる。
【００１７】前記図１（および図２）の例では、主水路
２２Ａと主水路２２Ｂとを端部で連結する細管２４ａ、
２４ｂを窓桟２１の肉厚内部に形成しているが、図３に
示すように、細管２４ａ、２４ｂに相当する部分を窓桟
２１の外部で形成してもよい。この場合、主水路２２Ａ
と主水路２２Ｂはいずれも、その両端は開口して形成さ
れる。
２２Ａと主水路２２Ｂとを端部で連結する細管２４ａ、
２４ｂを窓桟２１の肉厚内部に形成しているが、図３に
示すように、細管２４ａ、２４ｂに相当する部分を窓桟
２１の外部で形成してもよい。この場合、主水路２２Ａ
と主水路２２Ｂはいずれも、その両端は開口して形成さ
れる。
【００１８】電子線照射装置には、真空チャンバ１の電
線照射窓を複数で構成される場合がある。図４は、２つ
の照射窓を有する場合の窓箔冷却構造を説明するための
平面図で、窓桟３１は、前記図１（および図２）の例と
同様に、内部に電子線照射幅方向（Ｙ方向）の電子線照
射窓の縁辺に沿って、両側のそれぞれに主水路３２Ｂ、
３２Ｃが形成され、また、２つの照射窓の境界縁辺に沿
って主水路３２Ａが形成されている。すなわち、主水路
３２Ａは２つの照射窓に対して共用されるもので、１つ
の照射窓に対しては照射窓の縁辺に沿って形成された一
方の主水路となる。
線照射窓を複数で構成される場合がある。図４は、２つ
の照射窓を有する場合の窓箔冷却構造を説明するための
平面図で、窓桟３１は、前記図１（および図２）の例と
同様に、内部に電子線照射幅方向（Ｙ方向）の電子線照
射窓の縁辺に沿って、両側のそれぞれに主水路３２Ｂ、
３２Ｃが形成され、また、２つの照射窓の境界縁辺に沿
って主水路３２Ａが形成されている。すなわち、主水路
３２Ａは２つの照射窓に対して共用されるもので、１つ
の照射窓に対しては照射窓の縁辺に沿って形成された一
方の主水路となる。
【００１９】そして、主水路３２Ａと主水路３２Ｂ間に
跨って連通する複数の分岐水路３３ａ、３３ｂが形成さ
れ、主水路３２Ａと主水路３２Ｃ間に跨って連通する複
数の分岐水路３４ａ、３４ｂが形成されている。主水路
３２Ａは、一端が開口されて給水口（水入口）３２ａと
され、他の主水路３２Ｂ、３２Ｃは、一端が開口されて
排水口（水出口）３２ｂ、３２ｃとされ、主水路３２Ａ
の他端は細管３５ａで他の主水路３２Ｂ、３２Ｃと連結
され、他の主水路３２Ｂ、３２Ｃの他端は細管３５ｂで
主水路３２Ａと連結されている。なお、この細管３５
ａ、３５ｂは必ずしも必要とするものではない。
跨って連通する複数の分岐水路３３ａ、３３ｂが形成さ
れ、主水路３２Ａと主水路３２Ｃ間に跨って連通する複
数の分岐水路３４ａ、３４ｂが形成されている。主水路
３２Ａは、一端が開口されて給水口（水入口）３２ａと
され、他の主水路３２Ｂ、３２Ｃは、一端が開口されて
排水口（水出口）３２ｂ、３２ｃとされ、主水路３２Ａ
の他端は細管３５ａで他の主水路３２Ｂ、３２Ｃと連結
され、他の主水路３２Ｂ、３２Ｃの他端は細管３５ｂで
主水路３２Ａと連結されている。なお、この細管３５
ａ、３５ｂは必ずしも必要とするものではない。
【００２０】１つの照射窓に対応して設けられた複数の
分岐水路、３３ａ、３３ｂと３４ａ、３４ｂはともに、
図１（および図２）の例と同様に配置構成され、さら
に、２つの照射窓に対応して設けられた複数の分岐水路
間で、主水路３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃへ投影したとき、
各分岐水路３３ａ、３３ｂ、３４ａ、３４ｂは重ならな
い、すなわち、Ｘ方向に流れる被処理物の同じ位置が２
度分岐水路と交叉しないように設定されている。この傾
斜配置と２度の交叉を避けている理由は、図１（および
図２）の例と同様である。
分岐水路、３３ａ、３３ｂと３４ａ、３４ｂはともに、
図１（および図２）の例と同様に配置構成され、さら
に、２つの照射窓に対応して設けられた複数の分岐水路
間で、主水路３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃへ投影したとき、
各分岐水路３３ａ、３３ｂ、３４ａ、３４ｂは重ならな
い、すなわち、Ｘ方向に流れる被処理物の同じ位置が２
度分岐水路と交叉しないように設定されている。この傾
斜配置と２度の交叉を避けている理由は、図１（および
図２）の例と同様である。
【００２１】なお、この例では、２つの照射窓に対応し
て設けられた複数の分岐水路間で、主水路３２Ａ、３２
Ｂ、３２Ｃへ投影したとき、各分岐水路３３ａ、３３
ｂ、３４ａ、３４ｂは重ならないようにしているが、Ｘ
方向に流れる被処理物の全ての位置で同じ回数交叉する
ようにしても良いことは勿論であり、照射窓をより多く
有する場合には有効である。
て設けられた複数の分岐水路間で、主水路３２Ａ、３２
Ｂ、３２Ｃへ投影したとき、各分岐水路３３ａ、３３
ｂ、３４ａ、３４ｂは重ならないようにしているが、Ｘ
方向に流れる被処理物の全ての位置で同じ回数交叉する
ようにしても良いことは勿論であり、照射窓をより多く
有する場合には有効である。
【００２２】前記図４の例では、主水路３２Ａと主水路
３２Ｂおよび主水路３２Ｃとを端部で連結する細管３５
ａ、３５ｂを窓桟３１の肉厚内部に形成しているが、図
５に示すように、細管３５ａ、３５ｂに相当する部分を
窓桟２１の外部で形成してもよい。この場合、主水路３
２Ａ、主水路３２Ｂ、主水路３２Ｃはいずれも、その両
端は開口して形成される。
３２Ｂおよび主水路３２Ｃとを端部で連結する細管３５
ａ、３５ｂを窓桟３１の肉厚内部に形成しているが、図
５に示すように、細管３５ａ、３５ｂに相当する部分を
窓桟２１の外部で形成してもよい。この場合、主水路３
２Ａ、主水路３２Ｂ、主水路３２Ｃはいずれも、その両
端は開口して形成される。
【００２３】なお、各例で示した水入口および水出口
は、図示のものに限られるものではなく、また、各水路
の内径や分岐水路の数は適宜に設定される。
は、図示のものに限られるものではなく、また、各水路
の内径や分岐水路の数は適宜に設定される。
【００２４】
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、窓桟の
桟部はもとより窓箔の冷却効率が高められ、水路と窓箔
の温度差は小さくなる。したがって、線量分布を従来と
変えることなく、電子線密度を増化することができ、ま
た、同じ電子線密度であれば、電子線の利用効率をあげ
ることができる。また、冷却効果の増加することによ
り、熱伝導面積を少なくすることができることから、窓
桟の厚みを薄くでき、電子線が電子取り出し孔を通過す
る距離が短くなって、電子線の拡散による電子取り出し
孔周壁に衝突する量が低減でき、その分加熱は減少され
るとともに、有効電子線量を増加させることができる。
桟部はもとより窓箔の冷却効率が高められ、水路と窓箔
の温度差は小さくなる。したがって、線量分布を従来と
変えることなく、電子線密度を増化することができ、ま
た、同じ電子線密度であれば、電子線の利用効率をあげ
ることができる。また、冷却効果の増加することによ
り、熱伝導面積を少なくすることができることから、窓
桟の厚みを薄くでき、電子線が電子取り出し孔を通過す
る距離が短くなって、電子線の拡散による電子取り出し
孔周壁に衝突する量が低減でき、その分加熱は減少され
るとともに、有効電子線量を増加させることができる。
【図１】本発明に係る電子線照射装置の窓箔冷却構造の
一例の部分斜視図である。
一例の部分斜視図である。
【図２】図１の窓箔冷却構造の説明図である。
【図３】図１の窓箔冷却構造の変形例の説明図である。
【図４】本発明に係る電子線照射装置の窓箔冷却構造の
他例の説明図である。
他例の説明図である。
【図５】図４の窓箔冷却構造の変形例の説明図である。
【図６】従来の電子線照射装置の窓箔冷却構造の部分斜
視図である。
視図である。
【図７】図６のＡ−Ａ線に沿って切断して示す断面図で
ある。
ある。
【図８】図６の窓箔冷却構造の説明図である。
１ 真空チャンバ ２、２１、３１ 窓桟 ４ 電子取り出し孔 ５ 桟部 ７ 窓箔 ２２Ａ、２２Ｂ、３２Ａ、３２Ｂ、３２Ｃ 主水路 ２３ａ〜２３ｄ、３３ａ〜３３ｃ、３４ａ〜３４ｃ 分
岐水路
岐水路
Claims (1)
- 【請求項１】 多数の電子取り出し孔と冷却水路とを有
し、表面に窓箔が取り付けられる窓桟を備える電子線照
射装置の窓箔冷却構造であって、前記窓桟の冷却水路
は、前記電子線照射窓の互いに対向する縁辺に沿って形
成された主水路と、前記主水路間に跨って形成され前記
主水路と連通する複数の分岐水路とからなり、前記複数
の分岐水路は、それぞれに前記主水路に対して傾斜する
とともに、前記主水路の投影線上で重ならない間隔で形
成されてなることを特徴とする電子線照射装置の窓箔冷
却構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8140605A JPH09292500A (ja) | 1996-04-25 | 1996-04-25 | 電子線照射装置の窓箔冷却構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8140605A JPH09292500A (ja) | 1996-04-25 | 1996-04-25 | 電子線照射装置の窓箔冷却構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09292500A true JPH09292500A (ja) | 1997-11-11 |
Family
ID=15272604
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8140605A Pending JPH09292500A (ja) | 1996-04-25 | 1996-04-25 | 電子線照射装置の窓箔冷却構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09292500A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2903016A1 (de) * | 2014-02-02 | 2015-08-05 | Crosslinking AB | Elektronenstrahleinheit mit schräg zur Transportrichtung ausgerichteten Heizkathodendrähten |
| EP2903017A3 (de) * | 2014-02-02 | 2015-10-21 | Crosslinking AB | Stützkonstruktion mit schräg verlaufenden Kühlkanälen für ein Elektronenaustrittsfenster |
| EP3122385B1 (en) | 2014-03-24 | 2018-11-14 | Tetra Laval Holdings & Finance SA | Electron beam emitter |
-
1996
- 1996-04-25 JP JP8140605A patent/JPH09292500A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP2903016A1 (de) * | 2014-02-02 | 2015-08-05 | Crosslinking AB | Elektronenstrahleinheit mit schräg zur Transportrichtung ausgerichteten Heizkathodendrähten |
| EP2903017A3 (de) * | 2014-02-02 | 2015-10-21 | Crosslinking AB | Stützkonstruktion mit schräg verlaufenden Kühlkanälen für ein Elektronenaustrittsfenster |
| EP3122385B1 (en) | 2014-03-24 | 2018-11-14 | Tetra Laval Holdings & Finance SA | Electron beam emitter |
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