JP2598401Y2 - 照射窓 - Google Patents
照射窓Info
- Publication number
- JP2598401Y2 JP2598401Y2 JP1993055681U JP5568193U JP2598401Y2 JP 2598401 Y2 JP2598401 Y2 JP 2598401Y2 JP 1993055681 U JP1993055681 U JP 1993055681U JP 5568193 U JP5568193 U JP 5568193U JP 2598401 Y2 JP2598401 Y2 JP 2598401Y2
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- Japan
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- electron beam
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- irradiation
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- Physical Or Chemical Processes And Apparatus (AREA)
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本考案は、冷却能力を高め、高密
度の電子線を取り出すことができる電子線照射装置の照
射窓に関する。
度の電子線を取り出すことができる電子線照射装置の照
射窓に関する。
【０００２】
【従来の技術】電子線照射装置における電子線発生部か
ら電子線を照射領域に取り出す場合、電子線発生部は真
空チャンバ内に収容されていて真空状態にあり、照射領
域は大気或いは不活性ガスの雰囲気下にあるから、電子
線を取り出す真空チャンバの開口端に照射窓を設け、こ
れに電子線を透過させることができる真空シール用金属
箔を取り付けて電子線発生部を真空状態に保っている。
図２は照射窓部の斜視説明図、図３は照射領域側からみ
た照射窓の平面図である。照射窓部は、真空チャンバの
開口端に取り付けられ、多数の冷却桟を備えた照射窓、
グリッドウインドウ１を有し、このウインドウに金属箔
即ち窓箔２が箔押え板３を用いて取り付けられる。グリ
ッドウインドウ１の周辺部に形成した溝４に真空シール
用のＯリング５を配置し、箔押え板３をボルトでグリッ
ドウインドウに固定することにより、電子線発生部は窓
箔２によって真空シールされる。
ら電子線を照射領域に取り出す場合、電子線発生部は真
空チャンバ内に収容されていて真空状態にあり、照射領
域は大気或いは不活性ガスの雰囲気下にあるから、電子
線を取り出す真空チャンバの開口端に照射窓を設け、こ
れに電子線を透過させることができる真空シール用金属
箔を取り付けて電子線発生部を真空状態に保っている。
図２は照射窓部の斜視説明図、図３は照射領域側からみ
た照射窓の平面図である。照射窓部は、真空チャンバの
開口端に取り付けられ、多数の冷却桟を備えた照射窓、
グリッドウインドウ１を有し、このウインドウに金属箔
即ち窓箔２が箔押え板３を用いて取り付けられる。グリ
ッドウインドウ１の周辺部に形成した溝４に真空シール
用のＯリング５を配置し、箔押え板３をボルトでグリッ
ドウインドウに固定することにより、電子線発生部は窓
箔２によって真空シールされる。
【０００３】電子線発生部からの電子線ｅ-はグリッド
ウインドウ１の多数の冷却桟６の間の開口部７を通り抜
けて窓箔２を透過し、箔押え板３の開口部８から被照射
物が搬送されている照射領域に取り出される。電子線が
窓箔２を透過するとき、そのエネルギーの一部が失わ
れ、窓箔は加熱される。窓箔２の温度が極度に上昇する
と、窓箔が膨張、質変化し、真空もれを惹き起すため、
窓箔の冷却が必要となる。グリッドウインドウ１の枠部
内部に形成された冷媒路９に冷却水を矢印方向に通流さ
せることにより、冷却桟６は冷却されており、電子線発
生部内が真空状態にあると、窓箔２は冷却桟６に接触
し、冷却される。
ウインドウ１の多数の冷却桟６の間の開口部７を通り抜
けて窓箔２を透過し、箔押え板３の開口部８から被照射
物が搬送されている照射領域に取り出される。電子線が
窓箔２を透過するとき、そのエネルギーの一部が失わ
れ、窓箔は加熱される。窓箔２の温度が極度に上昇する
と、窓箔が膨張、質変化し、真空もれを惹き起すため、
窓箔の冷却が必要となる。グリッドウインドウ１の枠部
内部に形成された冷媒路９に冷却水を矢印方向に通流さ
せることにより、冷却桟６は冷却されており、電子線発
生部内が真空状態にあると、窓箔２は冷却桟６に接触
し、冷却される。
【０００４】
【考案が解決しようとする課題】このように、窓箔２の
熱は、冷却桟６に与えられ、冷却桟の内部を伝導し、グ
リッドウインドウ１の枠部内の冷媒路９の冷却水で冷却
される。かかる冷却桟５による熱伝導冷却方式は、冷却
桟の熱伝導断面積の拡大、長さの短縮がポイントとなる
が、一方で、電子線取り出し開口率を高くすることが望
まれるから、構造的には冷却桟部は微細な形状となり、
冷却桟部の製作上の限界もあり、コストが増加する割に
は冷却効果は良くならない。
熱は、冷却桟６に与えられ、冷却桟の内部を伝導し、グ
リッドウインドウ１の枠部内の冷媒路９の冷却水で冷却
される。かかる冷却桟５による熱伝導冷却方式は、冷却
桟の熱伝導断面積の拡大、長さの短縮がポイントとなる
が、一方で、電子線取り出し開口率を高くすることが望
まれるから、構造的には冷却桟部は微細な形状となり、
冷却桟部の製作上の限界もあり、コストが増加する割に
は冷却効果は良くならない。
【０００５】本考案は、高密度の電子線を取り出すこと
ができるように、従来よりも冷却能力の高い照射窓の提
供を目的とするものである。
ができるように、従来よりも冷却能力の高い照射窓の提
供を目的とするものである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本考案は、電子線発生部
の真空チャンバ開口端に設けられて窓箔が取り付けられ
る照射窓において、複数の冷媒通路が電子線取り出し領
域に一定間隔で斜めに横断して形成されていると共に、
前記電子線取り出し領域に多数の電子線通過用の丸孔ま
たは角孔が形成されていることを特徴とするものであ
る。
の真空チャンバ開口端に設けられて窓箔が取り付けられ
る照射窓において、複数の冷媒通路が電子線取り出し領
域に一定間隔で斜めに横断して形成されていると共に、
前記電子線取り出し領域に多数の電子線通過用の丸孔ま
たは角孔が形成されていることを特徴とするものであ
る。
【０００７】
【作用】照射窓の電子線取り出し領域に一定間隔で斜め
に横断して複数の冷媒通路が形成されているから、熱伝
導距離が短縮され、冷媒通路は斜めに横断しているか
ら、その存在に拘らず、電子線照射幅方向における照射
線量分布は均一にできる。
に横断して複数の冷媒通路が形成されているから、熱伝
導距離が短縮され、冷媒通路は斜めに横断しているか
ら、その存在に拘らず、電子線照射幅方向における照射
線量分布は均一にできる。
【０００８】
【実施例】本考案の実施例について図面を参照して説明
する。図１は、照射窓の平面図であり、図２，図３と同
一符号は同等部分を示す。電子線を取り出す開口部が形
成される照射窓、グリッドウインドウ１の枠部の内部に
は冷媒路９1，９2が設けられている。両冷媒路間に、全
体として矩形状の電子線取り出し領域を斜めに横断する
複数の冷媒通路１０が一定間隔で形成されており、両冷
媒路の端部は連絡路９3で結合される。矢印で示すよう
に、冷媒路９1に供給された冷却水は複数の冷媒通路１
０、連絡路９3を通り冷媒路９2から排出される。そし
て、電子線取り出し領域には電子線を取り出す開口であ
る多数の電子線通過用の丸孔１１が形成されている。
する。図１は、照射窓の平面図であり、図２，図３と同
一符号は同等部分を示す。電子線を取り出す開口部が形
成される照射窓、グリッドウインドウ１の枠部の内部に
は冷媒路９1，９2が設けられている。両冷媒路間に、全
体として矩形状の電子線取り出し領域を斜めに横断する
複数の冷媒通路１０が一定間隔で形成されており、両冷
媒路の端部は連絡路９3で結合される。矢印で示すよう
に、冷媒路９1に供給された冷却水は複数の冷媒通路１
０、連絡路９3を通り冷媒路９2から排出される。そし
て、電子線取り出し領域には電子線を取り出す開口であ
る多数の電子線通過用の丸孔１１が形成されている。
【０００９】グリッドウインドウ１の電子線取り出し領
域における各丸孔１１間の部分が窓箔が接触する冷却桟
部となり、同部分を介して窓箔の熱は伝導し、冷媒路９
1，９2、複数の冷媒通路１０を流れる冷却水で除去され
る。冷媒路９1，９2間に複数の冷媒通路１０が斜めに横
断して形成されているから、従来の冷却桟方式の場合と
比べて、冷却桟部から冷却水の通過路までの熱伝導距離
が短縮され、窓箔に対する冷却能力が高くなり、高密度
の電子線を取り出すことが可能になる。
域における各丸孔１１間の部分が窓箔が接触する冷却桟
部となり、同部分を介して窓箔の熱は伝導し、冷媒路９
1，９2、複数の冷媒通路１０を流れる冷却水で除去され
る。冷媒路９1，９2間に複数の冷媒通路１０が斜めに横
断して形成されているから、従来の冷却桟方式の場合と
比べて、冷却桟部から冷却水の通過路までの熱伝導距離
が短縮され、窓箔に対する冷却能力が高くなり、高密度
の電子線を取り出すことが可能になる。
【００１０】そして、複数の冷媒通路１０が電子線取り
出し領域に斜めに横断して形成されているから、電子線
照射幅Ｗ内の各位置における照射幅方向と直交する方向
（被照射物の搬送方向）の丸孔１１による電子線開口面
積分布をほぼ平均化することが可能となり、照射幅方向
における照射線量分布の均一性を保つことができる。
出し領域に斜めに横断して形成されているから、電子線
照射幅Ｗ内の各位置における照射幅方向と直交する方向
（被照射物の搬送方向）の丸孔１１による電子線開口面
積分布をほぼ平均化することが可能となり、照射幅方向
における照射線量分布の均一性を保つことができる。
【００１１】上述の実施例では電子線を取り出す開口と
して多数の丸孔１１を形成したが、丸孔に代えて多角
形、菱形等の角孔を形成しても良い。そして、電子線取
り出し領域に形成された丸孔、角孔による電子線取り出
しの開口率は通常、７０％以上とされる。また、上述の
実施例では、図１に示す冷媒路９2の右端側から冷却水
を排出させているが、同冷媒路の右端部を閉塞、左端部
を開口し、左端部側から排出させるようにしてもよく、
この場合、グリッドウインドウ１の左端側で冷媒路
９1，９2を結合する連絡路９3は右端側に配置される。
して多数の丸孔１１を形成したが、丸孔に代えて多角
形、菱形等の角孔を形成しても良い。そして、電子線取
り出し領域に形成された丸孔、角孔による電子線取り出
しの開口率は通常、７０％以上とされる。また、上述の
実施例では、図１に示す冷媒路９2の右端側から冷却水
を排出させているが、同冷媒路の右端部を閉塞、左端部
を開口し、左端部側から排出させるようにしてもよく、
この場合、グリッドウインドウ１の左端側で冷媒路
９1，９2を結合する連絡路９3は右端側に配置される。
【００１２】
【考案の効果】本考案は、以上説明したように、照射窓
の電子線取り出し領域に複数の冷媒通路１０が斜めに横
断して形成されているから、照射幅方向における照射線
量分布の均一性を保ちながら、従来の冷却桟方式の場合
と比べて、冷媒の通過路までの熱の伝導距離が短縮さ
れ、窓箔に対する冷却能力が向上し、照射窓部から取り
出すことができる電子線密度を増大させることができ
る。
の電子線取り出し領域に複数の冷媒通路１０が斜めに横
断して形成されているから、照射幅方向における照射線
量分布の均一性を保ちながら、従来の冷却桟方式の場合
と比べて、冷媒の通過路までの熱の伝導距離が短縮さ
れ、窓箔に対する冷却能力が向上し、照射窓部から取り
出すことができる電子線密度を増大させることができ
る。
【図１】本考案の実施例である照射窓の平面図である。
【図２】従来の照射窓部の斜視説明図である。
【図３】従来の照射窓の平面図である。
１ 照射窓 ２ 窓箔 ３ 箔押え板 ９1，９2 冷媒路 １０ 電子線取り出し領域を横断する冷媒通路 １１ 電子線通過用の丸孔
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (58)調査した分野(Int.Cl.6，ＤＢ名) G21K 5/00 - 5/10 H01J 33/04
Claims (1)
- 【請求項１】 電子線発生部の真空チャンバ開口端に設
けられて窓箔が取り付けられる照射窓において、複数の
冷媒通路が電子線取り出し領域に一定間隔で斜めに横断
して形成されていると共に、前記電子線取り出し領域に
多数の電子線通過用の丸孔または角孔が形成されている
ことを特徴とする照射窓。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993055681U JP2598401Y2 (ja) | 1993-09-22 | 1993-09-22 | 照射窓 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP1993055681U JP2598401Y2 (ja) | 1993-09-22 | 1993-09-22 | 照射窓 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0720600U JPH0720600U (ja) | 1995-04-11 |
| JP2598401Y2 true JP2598401Y2 (ja) | 1999-08-09 |
Family
ID=13005647
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP1993055681U Expired - Fee Related JP2598401Y2 (ja) | 1993-09-22 | 1993-09-22 | 照射窓 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2598401Y2 (ja) |
-
1993
- 1993-09-22 JP JP1993055681U patent/JP2598401Y2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0720600U (ja) | 1995-04-11 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |