JPH09281057A

JPH09281057A - 被検査物の欠陥情報収集方法

Info

Publication number: JPH09281057A
Application number: JP8092214A
Authority: JP
Inventors: Yuji Takagi; 裕治高木; Mitsunobu Isobe; 光庸磯部
Original assignee: Hitachi Ltd
Current assignee: Hitachi Ltd
Priority date: 1996-04-15
Filing date: 1996-04-15
Publication date: 1997-10-31

Abstract

(57)【要約】【課題】被検査物の検査修正システム、特に、検出欠陥
の欠陥情報の収集を図る。【解決手段】検査装置１に検出した欠陥の検出信号、画
像およびそれに関連する情報を記録する情報記録手段
１，１６と、欠陥の被検査物上での位置情報および必要
に応じて欠陥の属性を出力する情報出力手段を設け、欠
陥指示装置では位置情報を基に検査員に実際の被検査物
上で検査装置が検出した欠陥部位の提示手段と、提示さ
れた欠陥が実欠陥か虚報かの判別情報を入力する手段
と、判別情報を出力する手段を設け、検査装置と欠陥指
示装置の間で情報を授受できる手段を設ける。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は被検査物の検査修正
システムに係り、特に検出欠陥の欠陥情報の収集方法に
関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の検査修正工程では、検査装置によ
り出力された被検査物の欠陥位置情報に基づき欠陥指示
装置上で検査員が目視確認を行ない、致命的な欠陥をチ
ェックしその場で修正あるいは、チェックした場所を修
正員に分かるようマーキングを施し修正工程へ被検査物
を流しており、欠陥の情報収集に関しては、被検査物の
欠陥が発生しやすい被検査物の製造工程の立ち上げ時
期、あるいは立ち上げ後で異常な欠陥が多発したときな
ど期間を限定、あるいは単発的に行っていた。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】検査装置が検出する欠
陥は、実欠陥と虚報とが混在している。理想的には検査
装置が検出する欠陥は１００％実欠陥であることが望ま
しいが、実運用上欠陥の見逃しを無くすため過検出ぎみ
に検査装置を調整し、検査ポイントの０．１％〜０．５
％程度の虚報を許容している。このため検査装置が検出
した欠陥部位の信号あるいは画像全てが実際の欠陥に対
応しておらず、虚報を多く含んでいる。

【０００４】工程管理上欠陥に関する情報を蓄積し工程
分析、改善に利用することは重要なことである。しかし
前述の様に検査装置が検出する欠陥情報を全て収集して
も、その大半は良品即ち虚報であるから無駄に大量の情
報を蓄積することになる。この実欠陥と虚報の区別は検
査員に依存している。検査員の判断結果と検査装置の出
力結果の照合はトータルとして基板品種別、部品別など
に区分けされて例えば１日当たりの欠陥検出率、虚報率
等の数字として残されるのみである。また例え個々の検
出欠陥が実欠陥か虚報かの情報が残されても、検査装置
では検査対象物の欠陥信号は検査処理終了後、次の検査
領域あるいは次の検査対象を処理するときに上書きされ
消されてしまうので、対応する検出データは目視確認終
了時には残っていない。

【０００５】このため欠陥情報の収集のため欠陥サンプ
ルを作成したり、欠陥の多発する製造工程の立ち上げ時
期、あるいは立ち上げ後で異常な欠陥が発生したとき、
欠陥の発生した検査対象をもう一度検査装置で評価す
る、あるいは検査装置を特別なモードにして検出信号を
記録するなどしていた。しかしこのような方法では通常
の運用状態で発生する欠陥を記録することができず、被
検査物である製品の定常的な品質管理を行う上での一つ
の課題となっていた。

【０００６】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、本発明は検査装置に検出した欠陥の検出信号あるい
は画像およびそれに関連する情報を記録する情報記録手
段と、前記欠陥の被検査物上での位置情報および必要に
応じて前記欠陥の属性を出力するする情報出力手段を具
備させ、欠陥指示装置では前記位置情報を基に検査員に
実際の被検査物上で検査装置が検出した欠陥部位を提示
する手段と、検査員による前記提示された欠陥が実欠陥
か虚報かの判別情報を入力する手段と、前記判別情報を
出力する手段を具備させ、前記検査装置と前記欠陥指示
装置の間で情報を授受できる手段を具備させる。

【０００７】検査装置の情報記録手段は、装置が検出し
た欠陥候補の検出信号あるいは画像およびそれに関連す
る情報を記録する。検査装置の情報出力手段は、被検査
物毎に検出された欠陥候補の被検査物上での位置情報と
その位置に存在する欠陥の属性情報を欠陥情報として欠
陥指示装置に出力する。欠陥指示装置で、検査装置より
出力された情報を基に検査員に被検査物上で検査装置が
検出した欠陥部位を提示する機能を具備すると共に、検
査員による提示された欠陥が実欠陥か虚報かの判別情報
を入力する手段と、判別情報を出力する手段を具備さ
せ、検査装置に判別情報を入力する手段と、検査員によ
り虚報と判別された欠陥に該当する欠陥の検出信号、あ
るいは画像およびそれに関連する情報を削除する機能を
具備させることにより通常の検査装置の運用状態で発生
する欠陥を記録することが可能となる。

【０００８】

【発明の実施の形態】以下、実施例を示す図面に沿って
本発明を詳述する。図１は本発明を具体的に説明する図
である。１は検査装置を示している。２は１の検査装置
で機能する欠陥部を検出するユニットであり、被検査物
を保持し移動可能なステージと欠陥部を検出する検出器
より構成される。検出器に対して被検査物を移動させる
手段は被検査物を保持するステージを移動させるかわり
に被検査物を固定し、検出器を移動させてもよい。５は
ステージの制御および検出器より得られた信号を処理し
欠陥判定を行う処理装置である。３は検査装置全体を制
御するＣＰＵでありこれに付随してオペレータとのイン
ターフェースを備えていてもよい。４はメモリであり被
検査物の識別コード、装置が検出した被検査物の欠陥候
補の検出信号あるいは画像およびその位置、欠陥の属性
等の情報をを一時的に記録する手段である。６は情報記
録手段で、情報を記録する手段であり、具体的にはハー
ドディスク、ＭＯ、磁気テープである。

【０００９】７は６に記録された情報を２２に示す外部
の情報処理装置に転送する手段である。８は被検査物毎
に検出された欠陥候補の被検査物上での位置と必要に応
じてその位置に存在する欠陥の属性情報を欠陥情報とし
て欠陥確認装置１０に出力する機能を有する通信手段で
ある。情報を１０で示す欠陥確認装置と授受する方法
は、ＬＡＮ等のネットワークによる通信、ＲＳ２３２Ｃ
等により装置１および１０の間を直接つなぐ方法、Ｆ
Ｄ、ＭＯ、リムーバブルハードディスク、磁気テープ等
による方法などの利用が考えられる。通信手段８はまた
欠陥確認装置１０から送られてくる情報を入力する機能
も備えている。９はＣＰＵ３、メモリ４、制御処理装置
５、情報記録手段６、通信手段７、８の間で情報を交信
可能とするためのシステムバスである。

【００１０】１０は欠陥確認装置であり、１１は被検査
物を保持し移動するステージ、１２は欠陥確認装置全体
を制御するＣＰＵ、１３はステージ１１を制御するコン
トローラ、１５は検査装置１との通信手段、１６は検査
装置１より送られてくる被検査物毎に検出された欠陥候
補の被検査物上での位置と必要に応じてその位置に存在
する欠陥の属性情報を欠陥情報を記録する情報記録手段
であり、具体的にはハードディスク、ＭＯ、磁気テープ
などである。

【００１１】１８はステージ１１上に保持された被検査
対象物を撮像する手段であり、１９は撮像手段１８で撮
像された画像を表示するディスプレイである。２１は欠
陥確認装置１０を操作する検査員を示す。検査員２１は
ディスプレイ１９に表示される欠陥候補が実欠陥か虚報
であるか、あるいは表示された欠陥候補の状態に応じ良
品から致命的欠陥までを何段階かに分けたグレードを入
力手段２０により入力インターフェース１４を通して、
欠陥確認装置１０に欠陥候補判定結果を入力する。入力
手段２０はその他オペレータが欠陥確認装置１０に教示
必要な情報も入力可能な構成とする。１７はＣＰＵ１
２、ステージコントローラ１３、入力インターフェース
１４、通信手段１５情報記録手段１６の間で情報を交信
可能とするためのシステムバスである。

【００１２】検査装置１の欠陥検出ユニット２により検
出された被検査物の欠陥候補情報は情報記録手段６に記
録される。欠陥候補情報のデータ構成を図２に示す。図
２に示すように欠陥候補情報は、被検査対象の識別子、
目視による確認を行ったことを示すフラグ、目視欠陥判
定結果、検査装置による欠陥判定結果、欠陥候補の位置
座標、および欠陥判定時に用いた欠陥より得られた特徴
量、５の処理装置で欠陥判定を実行するために必要な欠
陥判定処理実行パラメータ、および被検査物の欠陥候補
に関する波形信号あるいは０、１で表されるデジタル信
号等の電気的信号情報あるいは、欠陥候補部分あるいは
欠陥候補部分の周囲も含めた画像情報などの欠陥属性情
報の任意の組合せによるデータセットを指し、一つの欠
陥候補の情報量はこのデータセットの情報量であり図２
に示す通りである。検査対象の識別子とは例えば実装基
板では、基板の識別コード及び検査対象部品識別コード
から成るものである。目視欠陥判定結果は良品も含めて
検査対象の状態を表すものであり、欠陥属性の替わりに
後述のように欠陥候補部位のグレードを記録してもよ
い。欠陥候補の位置座標は被検査対象物上での位置はも
ちろんのこと欠陥候補が画像として得られる場合はその
画像上の位置も含んでもよい。

【００１３】ハードディスク等で構成される情報記録手
段６は一般的にメモリ４に比べてアクセス時間がかか
る、即ち記録するための書き込み時間がかかる。そこで
欠陥候補情報は直接情報記録手段６に記録する替わり
に、一旦メモリ４に記録しておき、検査終了後、被検査
物を検査装置から搬出し次の被検査物を検査装置に搬入
する間に、メモリ４から情報記録手段６に一被検査物分
の欠陥候補情報を転送すれば、検査中に情報記録手段６
のアクセス時間ネックで検査処理速度を落とすことを防
げる。メモリへの記録は欠陥候補毎に行い、図３に示す
ように、メモリ５のあるベースアドレスを先頭に検出さ
れた欠陥候補毎にスタックしていく。図３に欠陥候補数
がｎの時のメモリの状態を示す。メモリを一時バッファ
として使用した場合のデータの流れを図４にフローチャ
ートとして示す。

【００１４】一被検査物分の欠陥候補情報のうち被検査
対象の識別子、目視による確認を行ったことを示すフラ
グ、目視欠陥判定結果、検査装置による欠陥判定結果、
欠陥候補の位置座標は通信手段８により欠陥確認装置１
０の通信手段１５に受け渡され情報記録手段１６に記録
される。以降このデータセットを欠陥候補確認用情報と
呼ぶ。この欠陥候補確認用情報中の欠陥候補位置情報を
ＣＰＵ１２が読み取り、ステージコントローラ１３を介
して被検査物を保持したステージ１１を欠陥候補部分が
ＴＶカメラ１８で撮像できるよう移動させる。欠陥候補
確認用情報と実際の被検査物との対応をとるためには、
被検査物上に個々の被検査物を識別可能とするコードを
付し欠陥候補情報中にこのコードを含めておき、欠陥確
認をするときに欠陥確認装置が提示するコードに対応す
る被検査物を欠陥確認装置１０にセットする方法、被検
査物に付されているコードをオペレータ２１が入力手段
２０を通して入力し、入力されたコードに一致する欠陥
候補確認用情報を情報記録手段１６より読みだす方法が
考えられる。

【００１５】また、この対応関係を自動的にとるために
被検査物に光学的に読み取り可能な、例えば、バーコー
ドなどのマークを付し、このマークに被検査物を識別可
能とする情報を保持させ、欠陥確認装置１０にバーコー
ドリーダー等のマークに記録されている情報を読み出す
装置を具備させ、読み取った被検査物のコードと一致す
る欠陥候補確認用情報を情報記録手段１６より読みだす
方法が考えられる。また光学的な方法に替わるものとし
て被検査物に磁性体材料を塗布、あるいは磁性体材料を
塗布したもの、例えば、磁気テープなどを付す等して、
この磁性体材料に電磁気的に情報を記録する方法も考え
られる。

【００１６】以上により欠陥確認装置１０で検査装置１
が検出した欠陥候補をオペレータ２１が確認可能とな
る。オペレータは入力手段２０にて欠陥候補の提示を要
求し、これにしたがって被検査物を保持したステージ１
１は欠陥候補位置情報を基に順次移動し、撮像手段１８
により撮像された欠陥候補がディスプレイ１９に表示さ
れる。表示された欠陥候補をオペレータは目視確認によ
り欠陥候補が実欠陥であるか否かを判定しその結果を入
力手段２０を通して入力する。この入力結果を対応する
欠陥候補確認用情報の目視による確認を行ったことを示
すフラグ、目視欠陥判定結果に記録する。即ち、目視に
よる確認を行ったことを示すフラグをオンにし、目視欠
陥判定結果に欠陥か否かあるいはその属性を記録する。
目視確認フラグがオンで、目視欠陥判定結果が良品の場
合は虚報を意味する。

【００１７】また欠陥判定対象が良品・不良品のように
二者択一的に決定できないような対象の場合には、その
対象の品質を表すグレード値を入力手段２０を通して入
力する。目視による確認を行ったことを示すフラグをオ
ンにし、その対象の品質を表すグレード値を目視欠陥判
定結果に設定する。グレード値とは例えば完全良品を１
０、致命的欠陥を０としてその間の状態を数値化するこ
とを指す。図５に目視欠陥判定結果が欠陥か否かの場合
のシーケンス、図６に目視欠陥判定結果がグレード値で
入力される場合のシーケンスを示す。

【００１８】一被検査対象に対して全ての欠陥候補点の
目視確認が終了したら、欠陥候補確認用情報の目視によ
る確認を行ったことを示すフラグ、目視欠陥判定結果が
記録された欠陥候補確認用情報を通信手段１５により検
査装置１の通信手段８に受け渡し、欠陥確認装置のＣＰ
Ｕ３は受信した欠陥候補確認用情報に対応する欠陥候補
情報を検索し、欠陥候補確認用情報の内容を欠陥候補情
報にコピーし情報記録手段６に記録する。記録された情
報を以降確認済み欠陥情報と呼ぶことにする。記録する
方法は以下の方法が考えられる。第一番目の方法は、
付加された目視確認情報が実欠陥か否かの二者択一的な
情報の場合で、目視確認情報を参照して実欠陥でないと
判定されたものについては、情報記録手段６に記録され
ている対応する欠陥候補情報を消去し、目視判定で実欠
陥とされたもののみの欠陥候補情報を情報記録手段６に
記録する方法である。これにより実欠陥のみの情報の蓄
積が可能となる。

【００１９】第二番目の方法は、付加された目視確認情
報が実欠陥か否かの二者択一的な情報の場合で、目視確
認情報を参照して実欠陥であると判定されたものについ
ては、情報記録手段６に記録されている対応する欠陥候
補情報を消去し、目視判定で実欠陥でない、即ち虚報で
ある欠陥候補情報を情報記録手段６に記録する方法であ
る。これにより虚報のみの情報の蓄積が可能となる。

【００２０】第三番目の方法は、付加された目視確認情
報が実欠陥か否かの二者択一的な情報の場合で、全ての
欠陥候補情報を情報記録手段６に記録する方法である。
この方法の目的は後述するオフラインシミュレータによ
り、検査装置の検出した欠陥候補の中で虚報はどのよう
な状況で発生するかを把握し、虚報を低減することにあ
る。

【００２１】第四番目の方法は、付加された目視確認情
報がグレード値で与えられる場合で、予めあるグレード
値以下の場合は良品とするようなグレード値を設定して
おき、目視確認により与えられたグレード値がこの予め
設定されたグレード値以下の場合は、情報記録手段６に
記録されている対応する欠陥候補情報を削除し、それ以
外の場合は対応する欠陥候補情報を情報記録手段６に記
録する方法である。これにより実欠陥のみの情報の蓄積
が可能となる。

【００２２】第五番目の方法は、付加された目視確認情
報がグレード値で与えられる場合で、予めあるグレード
値以下の場合は良品とするようなグレード値を設定して
おき、目視確認により与えられたグレード値がこの予め
設定されたグレード値より大きい場合は、情報記録手段
６に記録されている対応する欠陥候補情報を削除し、そ
れ以外の場合は対応する欠陥候補情報を情報記録手段６
に記録する方法である。これにより第二番目の方法と同
様虚報のみの情報の蓄積が可能となる。

【００２３】第六番目の方法は、付加された目視確認情
報がグレード値で与えられる場合で、全ての欠陥候補情
報を情報記録手段６に記録する方法である。この方法の
目的は後述するオフラインシミュレータにより、検査装
置１が検出した欠陥と目視確認で得られたグレード値の
比較を可能とすることにある。

【００２４】確認済み欠陥情報の存在をＣＰＵ３は常時
あるいは定期的に監視し、確認済み欠陥情報が有る場合
は外部のワークステーションあるいはパソコン等の情報
処理装置２２に情報記録手段６より情報転送手段７を介
して送出する。このシーケンスを図７に示す。これによ
り確認済み欠陥情報を外部情報処理装置２２で自動的に
収集することが可能となる。

【００２５】外部情報処理装置２２で収集された確認済
み欠陥情報は図２に示すようなデータを保持している。
これより被検査対象物が実装基板である場合では前述の
ように、基板の識別コードを検索キーにして特定基板品
種の実欠陥あるいは虚報情報を、また検査対象部品識別
コードを検索キーにして多数の基板品種に実装されてい
る特定の部品の実欠陥あるいは虚報情報を得るなど検索
範囲を特定して情報を得ることができる。また基板品
種、あるいは部品種類に限定をかけて実欠陥の発生の時
間的変動、ロットによる変動を解析し、そのときの製造
プロセスの状態も情報処理装置２２に入力すれば製造プ
ロセスと欠陥発生との因果関係なども把握できる。

【００２６】また、確認済み欠陥情報の記録方法の第三
番目あるいは第六番目によれば実欠陥情報と共に本来良
品であるべき虚報情報も外部情報処理装置２２に収集す
ることができる。確認済み欠陥情報に５の処理装置で欠
陥判定を実行するために必要な欠陥判定処理実行パラメ
ーターを保持させれば、外部情報処理装置２２に欠陥判
定部５と同様の処理アルゴリズムを搭載することにより
オフラインにて検査動作のシミュレーションが可能とな
る。これにより虚報の発生原因をオフラインにて解析す
ることが可能となり、検査装置の虚報率低減の効果も期
待できる。

【００２７】

【発明の効果】本発明によれば、通常の検査装置の運用
状態で発生する欠陥を自動的に記録することができるの
で、不良発生の履歴とともにその不良内容も記録される
ので被検査物の製造プロセスの状態把握が可能となりプ
ロセス異常の早期検知、プロセスの正常状態への早期復
帰が可能となり被検査物の品質管理を適切に実施でき
る。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示すシステムのブロック
図。

【図２】欠陥候補情報のデータ構成を示す説明図。

【図３】欠陥候補情報のメモリへの記録方法を示す説明
図。

【図４】検査時における欠陥候補情報のメモリへのスト
アシーケンスを示すフローチャート。

【図５】欠陥確認装置で、入力が欠陥か否かの時の処理
フローチャート。

【図６】欠陥確認装置で、入力が欠陥のグレードの時の
処理フローチャート。

【図７】検査装置から確認済み欠陥情報を外部の情報処
理装置に転送するシーケンスのフローチャート。

【符号の説明】

１…検査装置、２…欠陥検出ユニット凝固、３ＣＰＵ、４…メモリ、５…欠陥検出ユニット制御部、６，１６…情報記録手段、７，８，１５…情報転送手段、９，１７…バス、１０…欠陥確認装置、１１…ステージ、１２…ＣＰＵ、１３…ステージ制御ユニット、１４…Ｉ／Ｏインターフェース、１８…撮像手段、１９…ディスプレイ、２０…入力手段、２１…オペレーター、２２…情報処理装置。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】被検査物の検査装置と、検出した欠陥信号
と少なくとも前記被検査物の識別情報、検出欠陥位置座
標を項目として含む欠陥に関する付帯情報を記録する情
報蓄積装置と、前記被検査物の任意の場所を目視検査員
に提示可能な手段を有する欠陥指示装置とからなる被検
査物の検査修正システムにおいて、前記検査装置と前記
情報蓄積装置と前記欠陥指示装置とは互いに情報を送受
信できる手段を具備し、前記検査装置から送信された前
記欠陥に関する付帯情報を前記欠陥指示装置で受信し、
前記欠陥に関する付帯情報に基づき前記欠陥指示装置に
より前記提示手段に提示された欠陥に対して検査員によ
る判定情報を前記欠陥指示装置に具備された入力手段よ
り入力し、前記入力情報を検出欠陥目視確認情報として
前記情報蓄積装置に送信し、前記情報蓄積装置で受信し
た前記検出欠陥目視確認情報に基づいて該当する検出し
た欠陥信号と欠陥に関する付帯情報を保存不要として削
除することを特徴とする被検査物の欠陥情報収集方法。
【請求項２】請求項１において、保存不要として削除さ
れる検出した欠陥信号と欠陥に関する付帯情報とは目視
検査において実欠陥であると判定されたものである被検
査物の欠陥情報収集方法。
【請求項３】請求項１において、保存不要として削除さ
れる検出した欠陥信号と欠陥に関する付帯情報とは目視
検査において実欠陥でないと判定されたものである被検
査物の欠陥情報収集方法。
【請求項４】請求項１において、提示された欠陥に対し
て検査員により判定される情報とは、提示された欠陥が
実欠陥であるか否かである被検査物の欠陥情報収集方
法。
【請求項５】請求項１において、提示された欠陥に対し
て検査員により判定される情報とは、提示された欠陥の
属性あるいは種類に関する情報である被検査物の欠陥情
報収集方法。
【請求項６】請求項１において、提示された欠陥に対し
て検査員により判定される情報とは、提示された欠陥に
対し検査員が予め定められた良品から致命的欠陥に至る
まで段階的に分類されたグレード値である被検査物の欠
陥情報収集方法。
【請求項７】請求項１において、前記欠陥指示装置で提
示された欠陥に対し検査員が請求項６に記載の前記グレ
ード値を入力し、前記グレード値を予め定められた値と
比較し、前記検出した欠陥信号と欠陥に関する付帯情報
を前記蓄積手段に保存するか否かを決定する被検査物の
欠陥情報収集方法。
【請求項８】請求項１に記載の前記欠陥信号とは被検査
物の欠陥部分を含む画像である欠陥情報収集方法。
【請求項９】請求項１に記載の前記欠陥に関する付帯情
報とは前記項目に欠陥の種類等の属性情報が付加されて
いる被検査物の欠陥情報収集方法。
【請求項１０】前記被検査物と前記被検査物の欠陥に関
する情報との対応をとるための情報が前記被検査物上に
電気光学的に読み取り可能なマークとして付加され、こ
のマークを読み取ることが可能である請求項１に記載の
被検査物の欠陥情報収集方法。
【請求項１１】被検査物と被検査物の欠陥に関する情報
との対応をとるための情報が被検査物上に電磁気的に読
み取り可能なマークとして付加されており、前記マーク
を読み取ることが可能である請求項１に記載の被検査物
の欠陥情報収集方法。
【請求項１２】請求項１に記載の前記蓄積手段はメモリ
とハードディスクから構成され、前記検査装置で被検査
物の検査中に検出された前記欠陥信号および前記欠陥に
関する付帯情報はメモリに記録され、前記検査装置の空
き時間、好ましくは前記被検査物を前記検査装置から搬
出し、次の被検査物を搬入する間に前記メモリに記録蓄
積された一被検査物分の前記欠陥信号および前記欠陥に
関する付帯情報を前記ハードディスクに転送する被検査
物の欠陥情報収集方法。
【請求項１３】請求項１において、前記蓄積手段に蓄積
された情報を他の情報処理装置に転送する手段を有する
被検査物の欠陥情報収集方法。
【請求項１４】請求項１において、前記蓄積手段に蓄積
された情報は、前記検出欠陥目視確認情報の項目に目視
検査済みである情報が書き込まれているもののみ請求項
１３に記載の他の情報処理装置に転送する被検査物の欠
陥情報収集方法。
【請求項１５】請求項１において、前記蓄積手段にされ
た情報は、請求項６に記載の前記グレード値が得られた
もののみ請求項１３に記載の前記他の情報処理装置に転
送する被検査物の欠陥情報収集方法。