JPH09280999A - 光学部材検査装置及び光学部材検査装置における基準レンズ選択方法 - Google Patents
光学部材検査装置及び光学部材検査装置における基準レンズ選択方法Info
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- JPH09280999A JPH09280999A JP8545196A JP8545196A JPH09280999A JP H09280999 A JPH09280999 A JP H09280999A JP 8545196 A JP8545196 A JP 8545196A JP 8545196 A JP8545196 A JP 8545196A JP H09280999 A JPH09280999 A JP H09280999A
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 それを基準にナイフエッジの光軸方向位置調
整及び撮像レンズのピント合わせを行った場合に最も多
くのレンズをその検査許容範囲内に入れることができる
レンズを選択することができる光学部材検査装置を、提
供する。 【解決手段】画像処理部４１は、同じスプール中の全て
のレンズを、被検物撮像用ＣＣＤカメラ３０によって撮
像する。そして、撮像された画像中において、Ｙ軸上の
原点０から片側のみの輝度値合計を算出する。そして、
各レンズ毎に算出された輝度値合計の大小に基づいて、
各レンズの光軸方向位置関係を割り出す。そして、各レ
ンズについて、そのレンズと他のレンズとの間の輝度値
合計同士の差分を、他の全てのレンズ毎に算出し、その
差分の総和を算出する。そして、その総和が一番小さい
レンズを、基準レンズとして算出する。
整及び撮像レンズのピント合わせを行った場合に最も多
くのレンズをその検査許容範囲内に入れることができる
レンズを選択することができる光学部材検査装置を、提
供する。 【解決手段】画像処理部４１は、同じスプール中の全て
のレンズを、被検物撮像用ＣＣＤカメラ３０によって撮
像する。そして、撮像された画像中において、Ｙ軸上の
原点０から片側のみの輝度値合計を算出する。そして、
各レンズ毎に算出された輝度値合計の大小に基づいて、
各レンズの光軸方向位置関係を割り出す。そして、各レ
ンズについて、そのレンズと他のレンズとの間の輝度値
合計同士の差分を、他の全てのレンズ毎に算出し、その
差分の総和を算出する。そして、その総和が一番小さい
レンズを、基準レンズとして算出する。
Description
【０００１】
【発明が属する技術分野】本発明は、ランナーと一体に
成形された樹脂成形光学部材における屈折率異常等の光
学的欠陥を検出するための光学部材検査装置及びその基
準レンズ選択方法に関し、特に、複数の光学部材がラン
ナーによって繋がれた状態で一体成形されているスプー
ルを保持するとともに、保持したスプールを移動させる
ことによって各光学部材を順次検査位置にセットする光
学部材検査装置及びその基準レンズ選択方法に関する。
成形された樹脂成形光学部材における屈折率異常等の光
学的欠陥を検出するための光学部材検査装置及びその基
準レンズ選択方法に関し、特に、複数の光学部材がラン
ナーによって繋がれた状態で一体成形されているスプー
ルを保持するとともに、保持したスプールを移動させる
ことによって各光学部材を順次検査位置にセットする光
学部材検査装置及びその基準レンズ選択方法に関する。
【０００２】
【従来の技術】レンズ等の光学部材は、入射した光束が
規則正しく屈折して、平行に進行したり、一点又は線状
に収束したり発散するように設計されている。しかしな
がら、光学部材の成形異常により屈折力が不規則に変化
していたり、形成後の人的取り扱いによって光学部材の
表面上にゴミ，キズ等が生じていると、入射した光束が
乱れてしまうので、所望の性能を得ることができなくな
る。特に、樹脂を金型に注入して射出成形する事によっ
て作成されるレンズ等の光学部材（以下、「樹脂成形光
学部材」という）では、成形異常によってヒケ（樹脂が
金型表面から離間して生じる陥没），ジェッティング
（光学部材内において樹脂密度が部分的に変化している
箇所），フローマーク（樹脂の収縮に伴って光学部材表
面に生じるＷ字状の皺）が生じ易いので、このような欠
陥を効率良く検出することが必要となっている。
規則正しく屈折して、平行に進行したり、一点又は線状
に収束したり発散するように設計されている。しかしな
がら、光学部材の成形異常により屈折力が不規則に変化
していたり、形成後の人的取り扱いによって光学部材の
表面上にゴミ，キズ等が生じていると、入射した光束が
乱れてしまうので、所望の性能を得ることができなくな
る。特に、樹脂を金型に注入して射出成形する事によっ
て作成されるレンズ等の光学部材（以下、「樹脂成形光
学部材」という）では、成形異常によってヒケ（樹脂が
金型表面から離間して生じる陥没），ジェッティング
（光学部材内において樹脂密度が部分的に変化している
箇所），フローマーク（樹脂の収縮に伴って光学部材表
面に生じるＷ字状の皺）が生じ易いので、このような欠
陥を効率良く検出することが必要となっている。
【０００３】そのため、本発明者は、セットされた光学
部材の光学的欠陥を自動的に検出することができる光学
部材検査装置を、特願平７−２２９２４２号として出願
した。この光学部材検査装置は、光学部材の焦点位置に
おいて回転自在に配置されたナイフエッジと、ナイフエ
ッジの背後に配置されて照明光を発散するための拡散板
と、光学部材を透過した光を撮像するための撮像装置と
により、構成される。このような構成の光学部材検査装
置によると、光学部材表面又は内部における屈折力（屈
折率）異常箇所が、明暗濃度の急激な変化部位として観
察されるのである。
部材の光学的欠陥を自動的に検出することができる光学
部材検査装置を、特願平７−２２９２４２号として出願
した。この光学部材検査装置は、光学部材の焦点位置に
おいて回転自在に配置されたナイフエッジと、ナイフエ
ッジの背後に配置されて照明光を発散するための拡散板
と、光学部材を透過した光を撮像するための撮像装置と
により、構成される。このような構成の光学部材検査装
置によると、光学部材表面又は内部における屈折力（屈
折率）異常箇所が、明暗濃度の急激な変化部位として観
察されるのである。
【０００４】一方、樹脂成形光学部材はランナーの先端
に繋がった状態でランナーと一体成形されるが、通常、
図４３に示すように、一本のランナーＬに複数の光学部
材Ａが繋がった状態で一体成形される。このように一体
成形された状態のままである複数の光学部材Ａ及びラン
ナーＬは、全体として「スプール」Ｓと呼ばれている。
図４３に示されるスプールＳのランナーＬは、回転対称
の平面形状を有しており、図４４に示すように、各光学
部材Ａが存する平面と直交する中心軸Ｃをその中心に有
している。なお、ランナーＬと光学部材Ａとの境の括れ
た部分は、「ゲート」と呼ばれる。このように、スプー
ルＳにおいては一本のランナーＬに対して複数の樹脂成
形光学部材Ａが一体成形されているために、これら複数
の樹脂成形光学部材Ａを効率良く検査するための構成が
必要となる。
に繋がった状態でランナーと一体成形されるが、通常、
図４３に示すように、一本のランナーＬに複数の光学部
材Ａが繋がった状態で一体成形される。このように一体
成形された状態のままである複数の光学部材Ａ及びラン
ナーＬは、全体として「スプール」Ｓと呼ばれている。
図４３に示されるスプールＳのランナーＬは、回転対称
の平面形状を有しており、図４４に示すように、各光学
部材Ａが存する平面と直交する中心軸Ｃをその中心に有
している。なお、ランナーＬと光学部材Ａとの境の括れ
た部分は、「ゲート」と呼ばれる。このように、スプー
ルＳにおいては一本のランナーＬに対して複数の樹脂成
形光学部材Ａが一体成形されているために、これら複数
の樹脂成形光学部材Ａを効率良く検査するための構成が
必要となる。
【０００５】そこで、水平方向に回転可能なチャック上
にスプールＳを載置するとともに、このチャックを９０
度（図４３のスプールＳの場合）づつ回転させて各光学
部材Ａを順次測定位置（その光軸が撮像装置の光軸と一
致する位置）にセットする構成が、考えられる。この構
成を採る場合には、何れか一つの光学部材Ａに基づいて
ナイフエッジの光軸方向位置調整（光学部材の焦点位置
をナイフエッジの位置に合わせること）をすれば、同じ
スプールＳ中の全ての光学部材Ａの光軸方向位置調整が
完了したことになる。
にスプールＳを載置するとともに、このチャックを９０
度（図４３のスプールＳの場合）づつ回転させて各光学
部材Ａを順次測定位置（その光軸が撮像装置の光軸と一
致する位置）にセットする構成が、考えられる。この構
成を採る場合には、何れか一つの光学部材Ａに基づいて
ナイフエッジの光軸方向位置調整（光学部材の焦点位置
をナイフエッジの位置に合わせること）をすれば、同じ
スプールＳ中の全ての光学部材Ａの光軸方向位置調整が
完了したことになる。
【０００６】
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、ランナ
ーＬやゲートは、光学部品として用いられない部分であ
るので、十分な精度が出ていない場合がある。例えば、
図４５に示されるように、ランナーＬが途中で曲がって
いたり、一部のゲートのみが曲がっている場合がある。
前者の場合には、チャック上に載置された際にランナー
Ｌ全体が倒れてしまうので、そのスプールＳ中の全光学
部材Ａの倒れ及び光軸方向の位置ずれを生じてしまう。
一方、後者の場合には、曲がったゲートの先に繋がって
いる光学部材Ａのみの倒れ及び光軸方向の位置ずれを生
じてしまう。
ーＬやゲートは、光学部品として用いられない部分であ
るので、十分な精度が出ていない場合がある。例えば、
図４５に示されるように、ランナーＬが途中で曲がって
いたり、一部のゲートのみが曲がっている場合がある。
前者の場合には、チャック上に載置された際にランナー
Ｌ全体が倒れてしまうので、そのスプールＳ中の全光学
部材Ａの倒れ及び光軸方向の位置ずれを生じてしまう。
一方、後者の場合には、曲がったゲートの先に繋がって
いる光学部材Ａのみの倒れ及び光軸方向の位置ずれを生
じてしまう。
【０００７】これらランナーＬ又はゲートの曲がりが生
じている場合には、何れかの光学部材Ａに基づいてナイ
フエッジの光軸方向位置調整をしたとしても、この光学
部材に対して光軸方向に位置ずれしている光学部材に対
しては、ナイフエッジの光軸方向位置がその焦点位置か
らずれてしまう。従って、他の光学部材との光軸方向の
ずれが最も大きい光学部材に基づいてナイフエッジの光
軸方向位置調整を行ってしまうと、当該他の光学部材の
検査が不可能になってしまったり、良品を不良品として
判定してしまうことになる。
じている場合には、何れかの光学部材Ａに基づいてナイ
フエッジの光軸方向位置調整をしたとしても、この光学
部材に対して光軸方向に位置ずれしている光学部材に対
しては、ナイフエッジの光軸方向位置がその焦点位置か
らずれてしまう。従って、他の光学部材との光軸方向の
ずれが最も大きい光学部材に基づいてナイフエッジの光
軸方向位置調整を行ってしまうと、当該他の光学部材の
検査が不可能になってしまったり、良品を不良品として
判定してしまうことになる。
【０００８】なお、これらランナーＬ及びゲートの曲が
りは、樹脂成形の型に起因している場合が大部分である
ので、同じ成形型及び成形条件によって成形されたスプ
ールＳであれば、全く同じランナーＬ又はゲートの曲が
りが生じる。
りは、樹脂成形の型に起因している場合が大部分である
ので、同じ成形型及び成形条件によって成形されたスプ
ールＳであれば、全く同じランナーＬ又はゲートの曲が
りが生じる。
【０００９】本発明の課題は、以上の問題点に鑑み、複
数の樹脂成形光学部材がランナーによって繋がれた状態
のスプールをチャックによって保持する光学部材検査装
置であって、それを基準にナイフエッジの光軸方向位置
調整を行った場合に最も多くのレンズをその検査許容範
囲内に入れることができるレンズを、ナイフエッジの光
軸方向位置調整用レンズとして選択することができる光
学部材検査装置及びその基準レンズ選択方法を、提供す
ることである。
数の樹脂成形光学部材がランナーによって繋がれた状態
のスプールをチャックによって保持する光学部材検査装
置であって、それを基準にナイフエッジの光軸方向位置
調整を行った場合に最も多くのレンズをその検査許容範
囲内に入れることができるレンズを、ナイフエッジの光
軸方向位置調整用レンズとして選択することができる光
学部材検査装置及びその基準レンズ選択方法を、提供す
ることである。
【００１０】
【課題を解決するための手段】各請求項記載の発明は、
上記課題を解決するためになされたものである。請求項
１記載の発明は、ランナーによって互いに連結された光
学部材の光学的欠陥を検出する光学部材検査装置であっ
て、照明光によって照明される拡散板と、前記拡散板に
よって拡散された光を部分的に透過させ且つ部分的に遮
光するように前記拡散板に接している遮光手段と、前記
光学部材を透過した光を撮像する撮像手段と、前記ラン
ナーを保持して前記撮像手段の光軸に直交する面内で変
位することにより、このランナーによって連結されてい
る各レンズを前記撮像手段と前記遮光手段との間の光軸
中に選択的に配置する保持部と、前記保持部と前記遮光
手段との間の前記光軸方向における相対位置を調整する
調整手段と、前記撮像手段によって撮像された画像中の
特定範囲の輝度データを抽出する輝度データ抽出手段
と、前記ランナーによって互いに連結された全ての光学
部材についての前記輝度データ同士を比較して、これら
各光学部材の前記光軸方向における相対位置を認定する
相対位置認定手段と、この相対位置認定手段によって認
定された前記光学部材の相対位置に基づき、前記各光学
部材のうち最も密集して分布している一群の光学部材の
うちの中間位置近傍に位置している光学部材を、その光
学部材を含む光学系の焦点位置が前記遮光手段の光軸方
向位置と一致するように前記調整手段による前記調整を
行う際に用いる基準光学部材として選択する選択手段と
を備えたことを特徴とする。
上記課題を解決するためになされたものである。請求項
１記載の発明は、ランナーによって互いに連結された光
学部材の光学的欠陥を検出する光学部材検査装置であっ
て、照明光によって照明される拡散板と、前記拡散板に
よって拡散された光を部分的に透過させ且つ部分的に遮
光するように前記拡散板に接している遮光手段と、前記
光学部材を透過した光を撮像する撮像手段と、前記ラン
ナーを保持して前記撮像手段の光軸に直交する面内で変
位することにより、このランナーによって連結されてい
る各レンズを前記撮像手段と前記遮光手段との間の光軸
中に選択的に配置する保持部と、前記保持部と前記遮光
手段との間の前記光軸方向における相対位置を調整する
調整手段と、前記撮像手段によって撮像された画像中の
特定範囲の輝度データを抽出する輝度データ抽出手段
と、前記ランナーによって互いに連結された全ての光学
部材についての前記輝度データ同士を比較して、これら
各光学部材の前記光軸方向における相対位置を認定する
相対位置認定手段と、この相対位置認定手段によって認
定された前記光学部材の相対位置に基づき、前記各光学
部材のうち最も密集して分布している一群の光学部材の
うちの中間位置近傍に位置している光学部材を、その光
学部材を含む光学系の焦点位置が前記遮光手段の光軸方
向位置と一致するように前記調整手段による前記調整を
行う際に用いる基準光学部材として選択する選択手段と
を備えたことを特徴とする。
【００１１】請求項２記載の発明は、ランナーによって
互いに連結された光学部材の光学的欠陥を検出する光学
部材検査装置であって、照明光によって照明される拡散
板と、前記拡散板によって拡散された光を部分的に透過
させ且つ部分的に遮光するように前記拡散板に接してい
る遮光手段と、前記光学部材を透過した光を撮像する撮
像手段と、前記ランナーを保持して前記撮像手段の光軸
に直交する面内で変位することにより、このランナーに
よって連結されている各レンズを前記撮像手段と前記遮
光手段との間の光軸中に選択的に配置する保持部と、前
記保持部と前記遮光手段との間の前記光軸方向における
相対位置を調整する調整手段と、前記撮像手段によって
撮像された画像中の特定範囲の輝度データを抽出する輝
度データ抽出手段と、前記ランナーによって互いに連結
された全ての光学部材についての前記輝度データ同士を
比較して、これら各光学部材の前記光軸方向における相
対位置を認定する相対位置認定手段と、この相対位置認
定手段によって認定された前記光学部材の相対位置を表
示する表示手段とを備えたことを特徴とする。
互いに連結された光学部材の光学的欠陥を検出する光学
部材検査装置であって、照明光によって照明される拡散
板と、前記拡散板によって拡散された光を部分的に透過
させ且つ部分的に遮光するように前記拡散板に接してい
る遮光手段と、前記光学部材を透過した光を撮像する撮
像手段と、前記ランナーを保持して前記撮像手段の光軸
に直交する面内で変位することにより、このランナーに
よって連結されている各レンズを前記撮像手段と前記遮
光手段との間の光軸中に選択的に配置する保持部と、前
記保持部と前記遮光手段との間の前記光軸方向における
相対位置を調整する調整手段と、前記撮像手段によって
撮像された画像中の特定範囲の輝度データを抽出する輝
度データ抽出手段と、前記ランナーによって互いに連結
された全ての光学部材についての前記輝度データ同士を
比較して、これら各光学部材の前記光軸方向における相
対位置を認定する相対位置認定手段と、この相対位置認
定手段によって認定された前記光学部材の相対位置を表
示する表示手段とを備えたことを特徴とする。
【００１２】請求項１０記載の発明は、照明光によって
照明される拡散板と、前記拡散板によって拡散された光
を部分的に透過させ且つ部分的に遮光するように前記拡
散板に接している遮光手段と、前記光学部材を透過した
光を撮像する撮像手段と、複数のレンズを一体に接続し
ているランナーを保持して前記撮像手段の光軸に直交す
る面内で変位することにより、このランナーによって連
結されている各レンズを前記撮像手段と前記遮光手段と
の間の光軸中に選択的に配置する保持部と、前記保持部
と前記遮光手段との間の前記光軸方向における相対位置
を調整する調整手段とを有する光学部材検査装置におけ
る基準レンズ選択方法において、前記撮像手段によって
撮像された画像中の特定範囲の輝度データを抽出し、前
記ランナーによって互いに連結された全ての光学部材に
ついての前記輝度データ同士を比較し、この比較結果に
基づいてこれら各光学部材の前記光軸方向における相対
位置を認定し、この相対位置認定手段によって認定され
た前記光学部材の相対位置に基づき、前記各光学部材の
うち最も密集して分布している一群の光学部材のうちの
中間位置近傍に位置している光学部材を、その光学部材
を含む光学系の焦点位置が前記遮光手段の光軸方向位置
と一致するように前記調整手段による前記調整を行う際
に用いる基準光学部材として選択することを特徴とす
る。
照明される拡散板と、前記拡散板によって拡散された光
を部分的に透過させ且つ部分的に遮光するように前記拡
散板に接している遮光手段と、前記光学部材を透過した
光を撮像する撮像手段と、複数のレンズを一体に接続し
ているランナーを保持して前記撮像手段の光軸に直交す
る面内で変位することにより、このランナーによって連
結されている各レンズを前記撮像手段と前記遮光手段と
の間の光軸中に選択的に配置する保持部と、前記保持部
と前記遮光手段との間の前記光軸方向における相対位置
を調整する調整手段とを有する光学部材検査装置におけ
る基準レンズ選択方法において、前記撮像手段によって
撮像された画像中の特定範囲の輝度データを抽出し、前
記ランナーによって互いに連結された全ての光学部材に
ついての前記輝度データ同士を比較し、この比較結果に
基づいてこれら各光学部材の前記光軸方向における相対
位置を認定し、この相対位置認定手段によって認定され
た前記光学部材の相対位置に基づき、前記各光学部材の
うち最も密集して分布している一群の光学部材のうちの
中間位置近傍に位置している光学部材を、その光学部材
を含む光学系の焦点位置が前記遮光手段の光軸方向位置
と一致するように前記調整手段による前記調整を行う際
に用いる基準光学部材として選択することを特徴とす
る。
【００１３】光学部材とは、正レンズ及び負レンズを含
む。光学部材の光学的欠陥とは、屈折率や屈折力の部分
的異常や光学部材の表面の欠陥等を言う。屈折率や屈折
力の異常としては、樹脂成形の光学部材におけるヒケや
ジェッティングやフローマーク，ガラスからなる光学部
材における面加工の不良，等が例示される。また、光学
部材の表面の欠陥としては、表面のキズや汚れやゴミ，
等が列挙される。
む。光学部材の光学的欠陥とは、屈折率や屈折力の部分
的異常や光学部材の表面の欠陥等を言う。屈折率や屈折
力の異常としては、樹脂成形の光学部材におけるヒケや
ジェッティングやフローマーク，ガラスからなる光学部
材における面加工の不良，等が例示される。また、光学
部材の表面の欠陥としては、表面のキズや汚れやゴミ，
等が列挙される。
【００１４】「光学部材を含む光学系」とは、正レンズ
である光学部材そのもの，若しくは、負レンズである光
学部材を含む正レンズ群のことである。この光学系の全
体としての焦点位置が遮光手段の位置に一致するよう
に、各部材が調整される。
である光学部材そのもの，若しくは、負レンズである光
学部材を含む正レンズ群のことである。この光学系の全
体としての焦点位置が遮光手段の位置に一致するよう
に、各部材が調整される。
【００１５】拡散板は、表側から照明される反射部材で
あっても良いし、裏側から照明される透光部材であって
も良い。遮光手段は、拡散板と別体の板状部材であって
も良いし、拡散板表面に塗布された不透明塗料であって
も良い。遮光手段は、撮像手段の光軸を中心に回転する
ように構成されていても良い。
あっても良いし、裏側から照明される透光部材であって
も良い。遮光手段は、拡散板と別体の板状部材であって
も良いし、拡散板表面に塗布された不透明塗料であって
も良い。遮光手段は、撮像手段の光軸を中心に回転する
ように構成されていても良い。
【００１６】撮像手段は、固体撮像素子によって撮像す
るものであっても撮像管によって撮像するものであって
も良い。保持部は、ランナーの形状が複数の光学部材を
一直線状に並べて接続するものである場合には、撮像手
段の光軸に直交する方向に直線移動するように構成され
る。また、ランナーの形状が複数の光学部材を環状に並
べて接続するものである場合には、撮像手段の光軸に平
行な中心軸を中心に回転するように構成される。
るものであっても撮像管によって撮像するものであって
も良い。保持部は、ランナーの形状が複数の光学部材を
一直線状に並べて接続するものである場合には、撮像手
段の光軸に直交する方向に直線移動するように構成され
る。また、ランナーの形状が複数の光学部材を環状に並
べて接続するものである場合には、撮像手段の光軸に平
行な中心軸を中心に回転するように構成される。
【００１７】調整手段は、保持部を光軸方向に移動させ
るものであっても良いし、遮光板を光軸方向に移動させ
るものであっても良い。輝度データ抽出手段は、画像デ
ータ中の面状の領域を抽出するものであっても良いし、
線状の領域を抽出するものであっても良い。この抽出範
囲は、遮光手段による光を部分的に透過させる部分と部
分的に遮光する部分との境界線に直交する方向に広がり
を持つと、より効果的である。この場合、画像の中心か
ら偏倚した範囲を抽出範囲とすると、更に効果的であ
る。
るものであっても良いし、遮光板を光軸方向に移動させ
るものであっても良い。輝度データ抽出手段は、画像デ
ータ中の面状の領域を抽出するものであっても良いし、
線状の領域を抽出するものであっても良い。この抽出範
囲は、遮光手段による光を部分的に透過させる部分と部
分的に遮光する部分との境界線に直交する方向に広がり
を持つと、より効果的である。この場合、画像の中心か
ら偏倚した範囲を抽出範囲とすると、更に効果的であ
る。
【００１８】相対位置認定手段は、抽出された輝度デー
タの総計（積分値）の大小を比較しても良いし、その輝
度の傾き（微分値）を比較しても良い。請求項３による
光学部材検査装置は、請求項１又は２の調整手段が前記
遮光手段を前記光軸方向に移動させることで、特定した
ものである。
タの総計（積分値）の大小を比較しても良いし、その輝
度の傾き（微分値）を比較しても良い。請求項３による
光学部材検査装置は、請求項１又は２の調整手段が前記
遮光手段を前記光軸方向に移動させることで、特定した
ものである。
【００１９】請求項４による光学部材検査装置は、請求
項１又は２の輝度データ抽出手段によってその輝度デー
タが抽出される前記特定範囲が、前記遮光手段における
前記光を部分的に透過させる部分と部分的に遮光する部
分との境界線に直交する方向に広がりを持つ範囲である
ことで、特定したものである。
項１又は２の輝度データ抽出手段によってその輝度デー
タが抽出される前記特定範囲が、前記遮光手段における
前記光を部分的に透過させる部分と部分的に遮光する部
分との境界線に直交する方向に広がりを持つ範囲である
ことで、特定したものである。
【００２０】請求項５による光学部材検査装置は、請求
項１又は２の輝度データ抽出手段によって抽出される輝
度データが、前記遮光手段における前記光を部分的に透
過させる部分と部分的に遮光する部分との境界線に直交
する方向を向いた前記画像の中心軸上の輝度データであ
ることで、特定したものである。
項１又は２の輝度データ抽出手段によって抽出される輝
度データが、前記遮光手段における前記光を部分的に透
過させる部分と部分的に遮光する部分との境界線に直交
する方向を向いた前記画像の中心軸上の輝度データであ
ることで、特定したものである。
【００２１】請求項６による光学部材検査装置は、請求
項５の輝度データ抽出手段によって抽出される輝度デー
タが、前記中心軸上の中心から偏倚した範囲の輝度デー
タであることで、特定したものである。
項５の輝度データ抽出手段によって抽出される輝度デー
タが、前記中心軸上の中心から偏倚した範囲の輝度デー
タであることで、特定したものである。
【００２２】請求項７による光学部材検査装置は、請求
項１又は２の相対位置認定手段が、前記輝度データの総
和同士を比較することで、特定したものである。請求項
８による光学部材検査装置は、請求項５又は６の相対位
置認定手段が、前記輝度データの輝度の傾き同士を比較
することで、特定したものである。
項１又は２の相対位置認定手段が、前記輝度データの総
和同士を比較することで、特定したものである。請求項
８による光学部材検査装置は、請求項５又は６の相対位
置認定手段が、前記輝度データの輝度の傾き同士を比較
することで、特定したものである。
【００２３】請求項９による光学部材検査装置は、請求
項７の選択手段が、前記各光学部材毎に、その光学部材
に関する前記輝度データの総和と他の各光学部材に関す
る前記輝度データの総和との差分値を算出してその差分
値の総和を算出するとともに、この差分値の総和が最も
小さい光学部材を前記基準光学部材として選択すること
で、特定したものである。
項７の選択手段が、前記各光学部材毎に、その光学部材
に関する前記輝度データの総和と他の各光学部材に関す
る前記輝度データの総和との差分値を算出してその差分
値の総和を算出するとともに、この差分値の総和が最も
小さい光学部材を前記基準光学部材として選択すること
で、特定したものである。
【００２４】
【発明の実施の形態】以下、図面に基づいて、本発明の
実施の形態を説明する。
実施の形態を説明する。
【００２５】
【実施形態１】 ＜光学欠陥表示の原理＞光学部材検査装置の構成を説明
する前に、先ず、本実施形態において光学部材の光学欠
陥が検出される原理を説明する。
する前に、先ず、本実施形態において光学部材の光学欠
陥が検出される原理を説明する。
【００２６】図４に示すように、照明ユニット２３と被
検物撮像用ＣＣＤカメラ３０とは、検査対象レンズＡ
（光学部材）Ａを挟んで同一の光軸ｌ上に、互いに向き
合って配置されている。撮像手段としての被検物撮像用
ＣＣＤカメラ３０は、全体として正レンズ系である撮像
レンズ３５と、この撮像レンズ３５によって収束された
光による像を撮像するＣＣＤエリアセンサからなる撮像
素子３６とから、構成されている。この撮像レンズ３５
は、レンズ鏡筒３１を回転させることにより、光軸ｌ方
向に移動させることができる。
検物撮像用ＣＣＤカメラ３０とは、検査対象レンズＡ
（光学部材）Ａを挟んで同一の光軸ｌ上に、互いに向き
合って配置されている。撮像手段としての被検物撮像用
ＣＣＤカメラ３０は、全体として正レンズ系である撮像
レンズ３５と、この撮像レンズ３５によって収束された
光による像を撮像するＣＣＤエリアセンサからなる撮像
素子３６とから、構成されている。この撮像レンズ３５
は、レンズ鏡筒３１を回転させることにより、光軸ｌ方
向に移動させることができる。
【００２７】一方、照明ユニット２３は、全体として、
光軸ｌ上を被検物撮像用ＣＣＤカメラ３０に向けて進退
移動することができる。この照明ユニット２３の内部に
は、その中心を光軸ｌと同軸にした円盤状の拡散板３４
が、光軸ｌに直交する面内において光軸ｌを中心に回転
自在に保持されている。この拡散板３４の被検物撮像用
ＣＣＤカメラ３０側の面には、遮光手段としての遮光板
２８が一体に貼り付けられている。この遮光板２８は、
上面図である図５に示すように、不透明部材からなる半
円形の板であり、拡散板３４の中心を通る径方向の直線
を弦（ナイフエッジ）２８ａとするとともに、拡散板３
４と同一半径の円弧を有している。一方、拡散板３４の
裏面側には、この拡散板３４をその背後から照明するた
めの照明ランプ３２が取り付けられている。
光軸ｌ上を被検物撮像用ＣＣＤカメラ３０に向けて進退
移動することができる。この照明ユニット２３の内部に
は、その中心を光軸ｌと同軸にした円盤状の拡散板３４
が、光軸ｌに直交する面内において光軸ｌを中心に回転
自在に保持されている。この拡散板３４の被検物撮像用
ＣＣＤカメラ３０側の面には、遮光手段としての遮光板
２８が一体に貼り付けられている。この遮光板２８は、
上面図である図５に示すように、不透明部材からなる半
円形の板であり、拡散板３４の中心を通る径方向の直線
を弦（ナイフエッジ）２８ａとするとともに、拡散板３
４と同一半径の円弧を有している。一方、拡散板３４の
裏面側には、この拡散板３４をその背後から照明するた
めの照明ランプ３２が取り付けられている。
【００２８】検査対象レンズＡ（正レンズ）Ａは、その
照明ユニット側の焦点が拡散板３４の表面と一致する位
置に配置されている。なお、検査対象レンズＡが負レン
ズである場合には、検査対象レンズＡと照明ユニット２
３との間に、この検査対象レンズＡ（負レンズ）よりも
絶対値において大きいパワーを有する補正レンズ（正レ
ンズ）を配置する。この検査対象レンズＡ（負レンズ）
及び補正レンズ（正レンズ）からなるレンズ群は全体的
に正レンズ群であり、その合成焦点位置が拡散板３４の
表面と一致するように、これら検査対象レンズＡ（負レ
ンズ）及び補正レンズ（正レンズ）が配置されている。
照明ユニット側の焦点が拡散板３４の表面と一致する位
置に配置されている。なお、検査対象レンズＡが負レン
ズである場合には、検査対象レンズＡと照明ユニット２
３との間に、この検査対象レンズＡ（負レンズ）よりも
絶対値において大きいパワーを有する補正レンズ（正レ
ンズ）を配置する。この検査対象レンズＡ（負レンズ）
及び補正レンズ（正レンズ）からなるレンズ群は全体的
に正レンズ群であり、その合成焦点位置が拡散板３４の
表面と一致するように、これら検査対象レンズＡ（負レ
ンズ）及び補正レンズ（正レンズ）が配置されている。
【００２９】以上のように検査対象レンズＡ（及び補正
レンズ）を配置すると、検査対象レンズＡを透過した照
明ランプ３２からの光は、この検査対象レンズＡが良品
である限り、平行光となる。従って、被検物撮像用ＣＣ
Ｄカメラ３０側から見ると、遮光板２８のナイフエッジ
２８ａが無限遠上に位置しているのと等価になる。
レンズ）を配置すると、検査対象レンズＡを透過した照
明ランプ３２からの光は、この検査対象レンズＡが良品
である限り、平行光となる。従って、被検物撮像用ＣＣ
Ｄカメラ３０側から見ると、遮光板２８のナイフエッジ
２８ａが無限遠上に位置しているのと等価になる。
【００３０】これに対して、検査対象レンズＡの焦点位
置（又は、検査対象レンズＡと補正レンズとからなる光
学系の合成焦点位置，以下同様）がナイフエッジ２８ａ
の位置よりも被検物撮像用ＣＣＤカメラ３０側にずれる
と、検査対象レンズＡと被検物撮像用ＣＣＤカメラ３０
の撮像レンズ３５との間の空間に、ナイフエッジ２８ａ
の倒立像（実像）が形成される。このナイフエッジ２８
ａの倒立像（実像）は撮像レンズ３５によってリレーさ
れ、撮像レンズ３５の撮像素子３６側の空間に、ナイフ
エッジ２８ａの正立像（実像）が形成される。逆に、検
査対象レンズＡの焦点位置がナイフエッジ２８ａの位置
よりも照明ランプ３２側にずれると、遮光板２８の照明
ランプ３２側の空間に、ナイフエッジ２８ａの正立像
（虚像）が形成される。このナイフエッジ２８ａの正立
像（虚像）は撮像レンズ３５によってリレーされ、撮像
レンズ３５の撮像素子３６側の空間に、ナイフエッジ２
８ａの倒立像（実像）が形成される。即ち、検査対象レ
ンズＡの焦点位置とは、この位置に存在する物体（ナイ
フエッジ２８ａ）の像が、撮像レンズ３５の撮像素子３
６側の空間において正立像として結像されるか倒立像と
して結像されるかの境界点であり、光学的に不安定な状
態となる位置である。
置（又は、検査対象レンズＡと補正レンズとからなる光
学系の合成焦点位置，以下同様）がナイフエッジ２８ａ
の位置よりも被検物撮像用ＣＣＤカメラ３０側にずれる
と、検査対象レンズＡと被検物撮像用ＣＣＤカメラ３０
の撮像レンズ３５との間の空間に、ナイフエッジ２８ａ
の倒立像（実像）が形成される。このナイフエッジ２８
ａの倒立像（実像）は撮像レンズ３５によってリレーさ
れ、撮像レンズ３５の撮像素子３６側の空間に、ナイフ
エッジ２８ａの正立像（実像）が形成される。逆に、検
査対象レンズＡの焦点位置がナイフエッジ２８ａの位置
よりも照明ランプ３２側にずれると、遮光板２８の照明
ランプ３２側の空間に、ナイフエッジ２８ａの正立像
（虚像）が形成される。このナイフエッジ２８ａの正立
像（虚像）は撮像レンズ３５によってリレーされ、撮像
レンズ３５の撮像素子３６側の空間に、ナイフエッジ２
８ａの倒立像（実像）が形成される。即ち、検査対象レ
ンズＡの焦点位置とは、この位置に存在する物体（ナイ
フエッジ２８ａ）の像が、撮像レンズ３５の撮像素子３
６側の空間において正立像として結像されるか倒立像と
して結像されるかの境界点であり、光学的に不安定な状
態となる位置である。
【００３１】なお、検査対象レンズＡと撮像レンズ３５
との間隔は、検査対象レンズＡの焦点位置がナイフエッ
ジ２８ａの位置よりも被検物撮像用ＣＣＤカメラ３０側
に僅かにずれただけであってもそれらの間（正確には、
両者の焦点位置同士の間）にナイフエッジ２８ａの倒立
像（実像）が形成されるように、可能な限り長くとって
ある。また、撮像素子３６は、撮像レンズ３５によって
正立像が形成されても倒立像が形成されてもこれらの像
をある程度明瞭に撮像できるように、正立像の形成位置
（平均位置）と倒立像の形成位置（平均位置）との中間
点に配置される。この位置とは、撮像レンズ３５に関し
て検査対象レンズＡの表面と光学的に等価な位置であ
る。
との間隔は、検査対象レンズＡの焦点位置がナイフエッ
ジ２８ａの位置よりも被検物撮像用ＣＣＤカメラ３０側
に僅かにずれただけであってもそれらの間（正確には、
両者の焦点位置同士の間）にナイフエッジ２８ａの倒立
像（実像）が形成されるように、可能な限り長くとって
ある。また、撮像素子３６は、撮像レンズ３５によって
正立像が形成されても倒立像が形成されてもこれらの像
をある程度明瞭に撮像できるように、正立像の形成位置
（平均位置）と倒立像の形成位置（平均位置）との中間
点に配置される。この位置とは、撮像レンズ３５に関し
て検査対象レンズＡの表面と光学的に等価な位置であ
る。
【００３２】従って、撮像素子３６上には、常に、検査
対象レンズＡの外縁の実像（倒立像）αが結像されると
ともに、この検査対象レンズＡの外縁の実像αの周囲に
は、検査対象レンズＡを通さずに直接見えるナイフエッ
ジ２８ａの実像（倒立像）がややぼけて結像される（図
２０（ａ）〜（ｅ）参照）。
対象レンズＡの外縁の実像（倒立像）αが結像されると
ともに、この検査対象レンズＡの外縁の実像αの周囲に
は、検査対象レンズＡを通さずに直接見えるナイフエッ
ジ２８ａの実像（倒立像）がややぼけて結像される（図
２０（ａ）〜（ｅ）参照）。
【００３３】そして、この検査対象レンズＡの外縁の実
像αの内側には、検査対象レンズＡの焦点位置がナイフ
エッジ２８ａの位置よりも被検物撮像用ＣＣＤカメラ３
０側にずれている場合には、ナイフエッジ２８ａの実像
（正立像）が、ややぼけて結像される（図２０（ｄ），
図２０（ｅ）参照）。このナイフエッジ２８ａの実像
（正立像）は、焦点位置のずれ量が少なくなる程ぼけ量
が大きくなり（図２０（ｄ）参照）、ずれ量が大きくな
る程ぼけ量が少なくなって明確になる（図２０（ｅ）参
照）。
像αの内側には、検査対象レンズＡの焦点位置がナイフ
エッジ２８ａの位置よりも被検物撮像用ＣＣＤカメラ３
０側にずれている場合には、ナイフエッジ２８ａの実像
（正立像）が、ややぼけて結像される（図２０（ｄ），
図２０（ｅ）参照）。このナイフエッジ２８ａの実像
（正立像）は、焦点位置のずれ量が少なくなる程ぼけ量
が大きくなり（図２０（ｄ）参照）、ずれ量が大きくな
る程ぼけ量が少なくなって明確になる（図２０（ｅ）参
照）。
【００３４】これとは逆に、検査対象レンズＡの焦点位
置がナイフエッジ２８ａの位置よりも照明ランプ３２側
にずれている場合には、検査対象レンズＡの外縁の実像
αの内側には、ナイフエッジ２８ａの実像（倒立像）
が、ややぼけて結像される（図２０（ｂ），図２０
（ａ）参照）。ナイフエッジ２８ａの実像（倒立像）
は、焦点位置のずれ量が少なくなる程ぼけ量が大きくな
り（図２０（ｂ）参照）、ずれ量が大きくなる程ぼけ量
が少なくなって明確になる（図２０（ａ）参照）。
置がナイフエッジ２８ａの位置よりも照明ランプ３２側
にずれている場合には、検査対象レンズＡの外縁の実像
αの内側には、ナイフエッジ２８ａの実像（倒立像）
が、ややぼけて結像される（図２０（ｂ），図２０
（ａ）参照）。ナイフエッジ２８ａの実像（倒立像）
は、焦点位置のずれ量が少なくなる程ぼけ量が大きくな
り（図２０（ｂ）参照）、ずれ量が大きくなる程ぼけ量
が少なくなって明確になる（図２０（ａ）参照）。
【００３５】また、検査対象レンズＡの焦点位置がナイ
フエッジ２８ａの位置と一致すると、検査対象レンズＡ
の外縁の実像αの内側におけるぼけ量が最大となり、全
体に均一な明度で光線が照射されるようになる（図２０
（ｃ）参照）。即ち、検査対象レンズＡに光学的欠陥が
ない限り、ナイフエッジ２８ａの黒色部分（白色光が遮
られている部分）と白色部分（白色光が透過する部分）
とが完全に混合して、均一濃度の灰色の平面として表示
される（球面レンズの場合）。なお、検査対象レンズＡ
として非球面レンズを検査する場合には、焦点位置が一
点のみではなく緩やかに変化しているので、輝度変化が
非常に穏やかな画像となる。
フエッジ２８ａの位置と一致すると、検査対象レンズＡ
の外縁の実像αの内側におけるぼけ量が最大となり、全
体に均一な明度で光線が照射されるようになる（図２０
（ｃ）参照）。即ち、検査対象レンズＡに光学的欠陥が
ない限り、ナイフエッジ２８ａの黒色部分（白色光が遮
られている部分）と白色部分（白色光が透過する部分）
とが完全に混合して、均一濃度の灰色の平面として表示
される（球面レンズの場合）。なお、検査対象レンズＡ
として非球面レンズを検査する場合には、焦点位置が一
点のみではなく緩やかに変化しているので、輝度変化が
非常に穏やかな画像となる。
【００３６】これに対して、検査対象レンズＡ内に屈折
率異常が生じている部分やその表面の形状欠陥によって
屈折力異常が生じている部分がある場合には、その異常
部分のみ、正常な部分の焦点距離と異なる焦点距離を有
することと等価になっている。従って、図２１に示すよ
うに、その異常部分にだけ、ナイフエッジの像γが現れ
るのである。この異常部分の屈折率（屈折力）異常の程
度（焦点距離のずれ量）は、ナイフエッジの像γの現れ
方に反映される。即ち、屈折率（屈折力）異常の程度
（焦点距離のずれ量）が大きくなるほど、ナイフエッジ
の像の濃淡が明確に現れる。
率異常が生じている部分やその表面の形状欠陥によって
屈折力異常が生じている部分がある場合には、その異常
部分のみ、正常な部分の焦点距離と異なる焦点距離を有
することと等価になっている。従って、図２１に示すよ
うに、その異常部分にだけ、ナイフエッジの像γが現れ
るのである。この異常部分の屈折率（屈折力）異常の程
度（焦点距離のずれ量）は、ナイフエッジの像γの現れ
方に反映される。即ち、屈折率（屈折力）異常の程度
（焦点距離のずれ量）が大きくなるほど、ナイフエッジ
の像の濃淡が明確に現れる。
【００３７】なお、検査対象レンズＡの表面にゴミや汚
れが付着していたり、キズがついている場合には、これ
らゴミ，汚れ，又はキズの実像が撮像レンズ３５によっ
て撮像素子３６上に形成される。その結果、画像データ
中における検査対象レンズＡの外縁αの内側部分に、ゴ
ミや汚れによって光が遮断されている場合には周囲より
暗い影が表れ、キズによって光線の発散が生じている場
合には輝点が表れるのである。 ＜光学部材検査装置の機械構成＞次に、以上説明した検
出原理を実現する本実施形態による光学部材検査装置の
構成を、説明する。図１は、本実施形態による光学部材
検査装置の正面図であり、その天地は重力方向と一致す
る。
れが付着していたり、キズがついている場合には、これ
らゴミ，汚れ，又はキズの実像が撮像レンズ３５によっ
て撮像素子３６上に形成される。その結果、画像データ
中における検査対象レンズＡの外縁αの内側部分に、ゴ
ミや汚れによって光が遮断されている場合には周囲より
暗い影が表れ、キズによって光線の発散が生じている場
合には輝点が表れるのである。 ＜光学部材検査装置の機械構成＞次に、以上説明した検
出原理を実現する本実施形態による光学部材検査装置の
構成を、説明する。図１は、本実施形態による光学部材
検査装置の正面図であり、その天地は重力方向と一致す
る。
【００３８】図１において、一軸ロボット１は、装置全
体のベースであり、その内部に送りネジ２，及びこの送
りネジ２に螺合した移動ステージ４が備えられている。
またその側端部外面には、この送りネジ２を正逆両方向
に回転駆動するための一軸ロボット用パルスモータ３が
取り付けられている。従って、この一軸ロボット用パル
スモータ３によって送りネジ２を正逆何れかの方向に回
転させることにより、移動ステージ４を図１の左右方向
にスライド移動させることができる。なお、この移動ス
テージ４は、この移動に拘わらずその上面が水平を保つ
様に、図示せぬレールによってその姿勢が規制されてい
る。
体のベースであり、その内部に送りネジ２，及びこの送
りネジ２に螺合した移動ステージ４が備えられている。
またその側端部外面には、この送りネジ２を正逆両方向
に回転駆動するための一軸ロボット用パルスモータ３が
取り付けられている。従って、この一軸ロボット用パル
スモータ３によって送りネジ２を正逆何れかの方向に回
転させることにより、移動ステージ４を図１の左右方向
にスライド移動させることができる。なお、この移動ス
テージ４は、この移動に拘わらずその上面が水平を保つ
様に、図示せぬレールによってその姿勢が規制されてい
る。
【００３９】この移動ステージ４の上面には、Ｘステー
ジ５が固着されている。このＸステージ５は、Ｙステー
ジ９を移動ステージ４に対してＸ方向（図１の左右方
向）にスライドさせる装置である。具体的には、このＸ
ステージ５の内部には送りネジ６が掛け渡されており、
その外面にはこの送りネジ６を正逆両方向に回転駆動す
るためのＸステージ用パルスモータ７が取り付けられて
いる。また、この送りネジ６には、Ｙステージ９に固着
されたＹステージ駆動部８が螺合している。従って、Ｘ
ステージ用パルスモータ７によって送りネジ６を正逆何
れかの方向に回転させることにより、Ｙステージ９をＸ
方向にスライド移動させることができる。
ジ５が固着されている。このＸステージ５は、Ｙステー
ジ９を移動ステージ４に対してＸ方向（図１の左右方
向）にスライドさせる装置である。具体的には、このＸ
ステージ５の内部には送りネジ６が掛け渡されており、
その外面にはこの送りネジ６を正逆両方向に回転駆動す
るためのＸステージ用パルスモータ７が取り付けられて
いる。また、この送りネジ６には、Ｙステージ９に固着
されたＹステージ駆動部８が螺合している。従って、Ｘ
ステージ用パルスモータ７によって送りネジ６を正逆何
れかの方向に回転させることにより、Ｙステージ９をＸ
方向にスライド移動させることができる。
【００４０】一方、Ｙステージ９は、作業テーブル１１
をＸステージ５に対してＹ方向（図１の紙面に直交する
方向）にスライドさせる装置である。具体的には、この
Ｙステージ９に固着されたＹステージ駆動部８の内部に
は送りネジ（図示略）が掛け渡されており、その外面に
はこの送りネジ（図示略）を正逆両方向に回転駆動する
ためのＹステージ用パルスモータ１０が取り付けられて
いる。また、この送りネジ（図示略）には、作業テーブ
ル１１に取り付けられた送りナット（図示略）が螺合し
ている。従って、Ｙステージ用パルスモータ１０によっ
て送りネジ（図示略）を正逆何れかの方向に回転させる
ことにより、作業テーブル１１をＹ方向にスライド移動
させることができる。
をＸステージ５に対してＹ方向（図１の紙面に直交する
方向）にスライドさせる装置である。具体的には、この
Ｙステージ９に固着されたＹステージ駆動部８の内部に
は送りネジ（図示略）が掛け渡されており、その外面に
はこの送りネジ（図示略）を正逆両方向に回転駆動する
ためのＹステージ用パルスモータ１０が取り付けられて
いる。また、この送りネジ（図示略）には、作業テーブ
ル１１に取り付けられた送りナット（図示略）が螺合し
ている。従って、Ｙステージ用パルスモータ１０によっ
て送りネジ（図示略）を正逆何れかの方向に回転させる
ことにより、作業テーブル１１をＹ方向にスライド移動
させることができる。
【００４１】この作業テーブル１１の上面中央には、図
２に示す略平リベット型の形状を有するチャック１２
が、回転自在に取り付けられている。図２に示されるよ
うに、この保持部としてのチャック１２は、比較的小径
且つ長尺の軸部１２ａと比較的大径且つ短尺のボス部１
２ｂとから構成されている。この軸部１２ａの周囲に
は、環状ギヤ１２ｅが帯状に形成されている。また、ボ
ス部１２ｂの上面中央には、検査対象レンズＡを含むス
プールＳの中心軸Ｃ（図４４参照）が挿入される軸穴１
２ｄが穿たれている。この軸穴１２ｄを中心とした十字
方向には、中心軸Ｃから十字方向に伸びるランナーＬの
枝を収容するための十字溝１２ｃが切られている。この
チャック１２に保持されるスプールＳは、図４３及び図
４４に示したものである。なお、このスプールＳにおい
ては、各レンズＡに対して、上面から見て右回りの順序
で識別番号（キャビティ（Cav.）番号）が付されてい
る。そして、各レンズＡ近傍のランナーＬ上には、その
レンズＡのキャビティ番号と同個数のマーク（以下、
「キャビティ番号マーク」という）が刻印されている。
図４３においては、便宜上、各レンズＡ内にそのキャビ
ティ番号を、アラビア数字にて示した。
２に示す略平リベット型の形状を有するチャック１２
が、回転自在に取り付けられている。図２に示されるよ
うに、この保持部としてのチャック１２は、比較的小径
且つ長尺の軸部１２ａと比較的大径且つ短尺のボス部１
２ｂとから構成されている。この軸部１２ａの周囲に
は、環状ギヤ１２ｅが帯状に形成されている。また、ボ
ス部１２ｂの上面中央には、検査対象レンズＡを含むス
プールＳの中心軸Ｃ（図４４参照）が挿入される軸穴１
２ｄが穿たれている。この軸穴１２ｄを中心とした十字
方向には、中心軸Ｃから十字方向に伸びるランナーＬの
枝を収容するための十字溝１２ｃが切られている。この
チャック１２に保持されるスプールＳは、図４３及び図
４４に示したものである。なお、このスプールＳにおい
ては、各レンズＡに対して、上面から見て右回りの順序
で識別番号（キャビティ（Cav.）番号）が付されてい
る。そして、各レンズＡ近傍のランナーＬ上には、その
レンズＡのキャビティ番号と同個数のマーク（以下、
「キャビティ番号マーク」という）が刻印されている。
図４３においては、便宜上、各レンズＡ内にそのキャビ
ティ番号を、アラビア数字にて示した。
【００４２】作業テーブル１１の上面には、また、スプ
ール回転用パルスモータ１３が固着されている。このス
プール回転用パルスモータ１３の回転軸には、チャック
１２の環状ギヤ１２ｅと噛合するピニオンギア１４が取
り付けられている。従って、このスプール回転用パルス
モータ１３を回転させることにより、両ギヤ１４，１２
ｅを介して、チャック１２が回転駆動される。
ール回転用パルスモータ１３が固着されている。このス
プール回転用パルスモータ１３の回転軸には、チャック
１２の環状ギヤ１２ｅと噛合するピニオンギア１４が取
り付けられている。従って、このスプール回転用パルス
モータ１３を回転させることにより、両ギヤ１４，１２
ｅを介して、チャック１２が回転駆動される。
【００４３】一方、一軸ロボット１の中間部分には、鉛
直方向を向いた支柱１５が、移動不能に固着されてい
る。この支柱１５の上端には、下方に向けて照明光を照
射するキャビティ番号認識用透過照明装置１８が取り付
けられている。このキャビティ番号認識用透過照明装置
１８は、移動ステージ４が図２２に示す位置（キャビテ
ィ番号識別位置）に来た時に、図面の奥側に位置するレ
ンズ（中心軸Ｃによって隠れているレンズ）Ａ近傍のラ
ンナーＬを照明する。
直方向を向いた支柱１５が、移動不能に固着されてい
る。この支柱１５の上端には、下方に向けて照明光を照
射するキャビティ番号認識用透過照明装置１８が取り付
けられている。このキャビティ番号認識用透過照明装置
１８は、移動ステージ４が図２２に示す位置（キャビテ
ィ番号識別位置）に来た時に、図面の奥側に位置するレ
ンズ（中心軸Ｃによって隠れているレンズ）Ａ近傍のラ
ンナーＬを照明する。
【００４４】また、支柱１５の中間部には、このキャビ
ティ番号認識用透過照明装置１８に相対してキャビティ
番号認識用ＣＣＤカメラ１６が取り付けられている。こ
のキャビティ番号認識用ＣＣＤカメラ１６は、キャビテ
ィ番号認識用透過照明装置１８によって照明されたキャ
ビティ番号マークを、下側から撮像するものである。な
お、キャビティ番号認識用ＣＣＤカメラ１６の撮像レン
ズ１７は、撮像対象のランナーＬが多少光軸方向にずれ
てもキャビティ番号マークを結像できるパンフォーカス
レンズとなっている。
ティ番号認識用透過照明装置１８に相対してキャビティ
番号認識用ＣＣＤカメラ１６が取り付けられている。こ
のキャビティ番号認識用ＣＣＤカメラ１６は、キャビテ
ィ番号認識用透過照明装置１８によって照明されたキャ
ビティ番号マークを、下側から撮像するものである。な
お、キャビティ番号認識用ＣＣＤカメラ１６の撮像レン
ズ１７は、撮像対象のランナーＬが多少光軸方向にずれ
てもキャビティ番号マークを結像できるパンフォーカス
レンズとなっている。
【００４５】一方、一軸ロボット１の他方端部には、鉛
直方向を向いた支柱１９が移動不能に固着されていると
ともに、この支柱１９と平行に、シャフト２１が回転自
在に掛け渡されている。このシャフト２１は、その上端
に取り付けられた摘み２２によって、手動で回転駆動さ
れる。また、このシャフト２１の略下半分には、送りネ
ジ２１ａが形成されている。
直方向を向いた支柱１９が移動不能に固着されていると
ともに、この支柱１９と平行に、シャフト２１が回転自
在に掛け渡されている。このシャフト２１は、その上端
に取り付けられた摘み２２によって、手動で回転駆動さ
れる。また、このシャフト２１の略下半分には、送りネ
ジ２１ａが形成されている。
【００４６】この支柱１９の上端近傍には、上述した被
検物撮像用ＣＣＤカメラ３０を保持するための固定ステ
ー２９が、移動不能に固着されている。この被検物撮像
用ＣＣＤカメラ３０は、その撮像レンズ３５の光軸ｌが
鉛直方向を向くとともに、移動ステージ４が図２３に示
す位置（検査位置）に来た時にその光軸ｌが図面の手前
側に位置するレンズ（中心軸Ｃと重なって見えるレン
ズ）Ａの光学中心を貫くように、位置決めされている。
なお、この検査位置は、４個のレンズを有するスプール
Ｓを検査する場合には１箇所のみであるが、図４３のよ
うに８個のレンズを有するスプールＳを検査する場合に
は、奇数のキャビティ番号に対応するレンズを検査する
位置（奇数キャビティ検査位置）と偶数のキャビティ番
号に対応するレンズを検査する位置（偶数キャビティ検
査位置）との２箇所となる。また、なお、被検物撮像用
ＣＣＤカメラ３０内の撮像レンズ３５及び撮像素子３
６，並びに、その撮像レンズ３５の光軸上に存するレン
ズＡの相対的位置関係は、上述した通りである。
検物撮像用ＣＣＤカメラ３０を保持するための固定ステ
ー２９が、移動不能に固着されている。この被検物撮像
用ＣＣＤカメラ３０は、その撮像レンズ３５の光軸ｌが
鉛直方向を向くとともに、移動ステージ４が図２３に示
す位置（検査位置）に来た時にその光軸ｌが図面の手前
側に位置するレンズ（中心軸Ｃと重なって見えるレン
ズ）Ａの光学中心を貫くように、位置決めされている。
なお、この検査位置は、４個のレンズを有するスプール
Ｓを検査する場合には１箇所のみであるが、図４３のよ
うに８個のレンズを有するスプールＳを検査する場合に
は、奇数のキャビティ番号に対応するレンズを検査する
位置（奇数キャビティ検査位置）と偶数のキャビティ番
号に対応するレンズを検査する位置（偶数キャビティ検
査位置）との２箇所となる。また、なお、被検物撮像用
ＣＣＤカメラ３０内の撮像レンズ３５及び撮像素子３
６，並びに、その撮像レンズ３５の光軸上に存するレン
ズＡの相対的位置関係は、上述した通りである。
【００４７】また、支柱１９における一軸ロボット１と
固定ステー２９との間には、照明ユニット２３を保持し
た移動ステー２０が、その長手方向に沿ってスライド自
在且つ回転不能に取り付けられている。この移動ステー
２０の基端には、シャフト２１の送りネジ２１ａと螺合
する雌ねじ（図示略）が形成されている。従って、摘み
２２を捻ってシャフト２１を回転させることにより、照
明ユニット２３を鉛直方向に移動させることができる。
これら支柱１９，移動ステー２０，シャフト２１，及び
摘み２２により、調整手段が構成される。
固定ステー２９との間には、照明ユニット２３を保持し
た移動ステー２０が、その長手方向に沿ってスライド自
在且つ回転不能に取り付けられている。この移動ステー
２０の基端には、シャフト２１の送りネジ２１ａと螺合
する雌ねじ（図示略）が形成されている。従って、摘み
２２を捻ってシャフト２１を回転させることにより、照
明ユニット２３を鉛直方向に移動させることができる。
これら支柱１９，移動ステー２０，シャフト２１，及び
摘み２２により、調整手段が構成される。
【００４８】この照明ユニット２３の内部には、上述し
たナイフエッジ照明ランプ３２が内蔵されている。ま
た、照明ユニット２３の上部には、上述した遮光板２８
及び拡散板３４をその上端に填め込んだ回転筒２７が回
転自在に取り付けられている。この回転筒２７の下端周
囲には、環状ギヤ２６が帯状に形成されている。また、
この照明ユニット２３の側面には、ナイフエッジ回転用
パルスモータ２４が取り付けられている。このナイフエ
ッジ回転用パルスモータ２４の回転軸には、環状ギヤ２
６に噛合するピニオンギヤ２５が固着されている。従っ
て、ナイフエッジ回転用パルスモータ２４を回転させる
ことにより、両ギヤ２５，２６，及び回転筒２７を介し
て、遮光板２８及び拡散板３４を回転駆動することがで
きる。なお、照明ユニット２３は、その遮光板２８及び
拡散板３４の回転中心が被検物撮像用ＣＣＤカメラ３０
の撮像レンズ３５の光軸ｌと一致するように、位置決め
されている。 ＜光学部材検査装置の回路構成＞次に、本実施例による
光学部材検査装置の回路構成を、図３に基づいて説明す
る。図３に示されるように、この光学部材検査装置全体
の制御を行うＣＰＵ４０は、図６乃至図１９のフローチ
ャートによって示されるプログラムを実行することによ
り、画像処理部４１の機能と制御部４２の機能を生じ
る。被検物撮像用ＣＣＤカメラ３０（撮像素子３６）及
びキャビティ番号認識用ＣＣＤカメラ１６は、このＣＰ
Ｕ４０中の画像処理部４１に接続されている。この画像
処理部４１に接続された制御部４２には、また、キーボ
ード４３，外部メモリ４４，モニタ装置４５，キャビテ
ィ番号認識用透過照明装置１８に接続されたキャビティ
番号認識用透過照明駆動回路４６，ナイフエッジ回転用
パルスモータ２４に接続されたナイフエッジ回転制御回
路４８，一軸ロボット用パルスモータ３に接続された一
軸ロボット制御回路４９，Ｘステージ用パルスモータ７
及びＹステージ用パルスモータ１０に接続されたＸ／Ｙ
ステージ制御回路５０，スプール回転用パルスモータ１
３に接続されたスプール回転制御回路５１，並びに、ナ
イフエッジ照明ランプ３２に接続されたナイフエッジ照
明駆動回路５２が、夫々接続されている。
たナイフエッジ照明ランプ３２が内蔵されている。ま
た、照明ユニット２３の上部には、上述した遮光板２８
及び拡散板３４をその上端に填め込んだ回転筒２７が回
転自在に取り付けられている。この回転筒２７の下端周
囲には、環状ギヤ２６が帯状に形成されている。また、
この照明ユニット２３の側面には、ナイフエッジ回転用
パルスモータ２４が取り付けられている。このナイフエ
ッジ回転用パルスモータ２４の回転軸には、環状ギヤ２
６に噛合するピニオンギヤ２５が固着されている。従っ
て、ナイフエッジ回転用パルスモータ２４を回転させる
ことにより、両ギヤ２５，２６，及び回転筒２７を介し
て、遮光板２８及び拡散板３４を回転駆動することがで
きる。なお、照明ユニット２３は、その遮光板２８及び
拡散板３４の回転中心が被検物撮像用ＣＣＤカメラ３０
の撮像レンズ３５の光軸ｌと一致するように、位置決め
されている。 ＜光学部材検査装置の回路構成＞次に、本実施例による
光学部材検査装置の回路構成を、図３に基づいて説明す
る。図３に示されるように、この光学部材検査装置全体
の制御を行うＣＰＵ４０は、図６乃至図１９のフローチ
ャートによって示されるプログラムを実行することによ
り、画像処理部４１の機能と制御部４２の機能を生じ
る。被検物撮像用ＣＣＤカメラ３０（撮像素子３６）及
びキャビティ番号認識用ＣＣＤカメラ１６は、このＣＰ
Ｕ４０中の画像処理部４１に接続されている。この画像
処理部４１に接続された制御部４２には、また、キーボ
ード４３，外部メモリ４４，モニタ装置４５，キャビテ
ィ番号認識用透過照明装置１８に接続されたキャビティ
番号認識用透過照明駆動回路４６，ナイフエッジ回転用
パルスモータ２４に接続されたナイフエッジ回転制御回
路４８，一軸ロボット用パルスモータ３に接続された一
軸ロボット制御回路４９，Ｘステージ用パルスモータ７
及びＹステージ用パルスモータ１０に接続されたＸ／Ｙ
ステージ制御回路５０，スプール回転用パルスモータ１
３に接続されたスプール回転制御回路５１，並びに、ナ
イフエッジ照明ランプ３２に接続されたナイフエッジ照
明駆動回路５２が、夫々接続されている。
【００４９】画像処理部４１は、各カメラ３０，１６か
ら入力される画像に対して様々の画像処理を施す部分で
あり、制御部４２はこの画像処理結果に基づいて各部の
制御を行う部分である。例えば、画像処理部４１は、キ
ャビティ番号認識用ＣＣＤカメラ１６によって撮像され
た画像からキャビティ番号識別用刻印の映像を抽出し
て、対応するキャビティ番号を認識し、制御部４２に通
知する。制御部４２は、通知されたキャビティ番号に基
づいて、移動ステージ４が図２３に示す検査位置（奇数
キャビティ検査位置，偶数キャビティ検査位置）に移動
した際に、撮像レンズ３５の光軸上に位置するレンズ
（検査対象レンズＡ）のキャビティ番号を、算出する
（初期においては、画像処理部４１から通知されたキャ
ビティ番号に対応するレンズと軸対称の位置にあるレン
ズのキャビティ番号）。
ら入力される画像に対して様々の画像処理を施す部分で
あり、制御部４２はこの画像処理結果に基づいて各部の
制御を行う部分である。例えば、画像処理部４１は、キ
ャビティ番号認識用ＣＣＤカメラ１６によって撮像され
た画像からキャビティ番号識別用刻印の映像を抽出し
て、対応するキャビティ番号を認識し、制御部４２に通
知する。制御部４２は、通知されたキャビティ番号に基
づいて、移動ステージ４が図２３に示す検査位置（奇数
キャビティ検査位置，偶数キャビティ検査位置）に移動
した際に、撮像レンズ３５の光軸上に位置するレンズ
（検査対象レンズＡ）のキャビティ番号を、算出する
（初期においては、画像処理部４１から通知されたキャ
ビティ番号に対応するレンズと軸対称の位置にあるレン
ズのキャビティ番号）。
【００５０】また、画像処理部４１は、照明ユニット２
３の光軸方向位置調整及び撮像レンズ３５のピント合わ
せを行う際には、被検物撮像用ＣＣＤカメラ３０によっ
て撮像された画像を、そのまま制御部４２に通知する。
制御部４２は、この画像をそのままモニタ装置４５上に
表示する。
３の光軸方向位置調整及び撮像レンズ３５のピント合わ
せを行う際には、被検物撮像用ＣＣＤカメラ３０によっ
て撮像された画像を、そのまま制御部４２に通知する。
制御部４２は、この画像をそのままモニタ装置４５上に
表示する。
【００５１】また、画像処理部４１は、Ｘステージ５及
びＹステージ９を用いた検査対象レンズＡの芯出し作業
が行われる際には、被検物撮像用ＣＣＤカメラ３０によ
って撮像された画像に基づいて、撮像レンズ３５の光軸
と検査対象レンズＡの光軸とのズレ量を算出する。制御
部４２は、このズレ量の算出をする際に、ナイフエッジ
回転制御回路４８に対して適宜回転指示を与えるととも
に、ズレ量が算出されると、このズレ量に応じてＸ／Ｙ
ステージ制御回路５０に対して駆動指示を与える。
びＹステージ９を用いた検査対象レンズＡの芯出し作業
が行われる際には、被検物撮像用ＣＣＤカメラ３０によ
って撮像された画像に基づいて、撮像レンズ３５の光軸
と検査対象レンズＡの光軸とのズレ量を算出する。制御
部４２は、このズレ量の算出をする際に、ナイフエッジ
回転制御回路４８に対して適宜回転指示を与えるととも
に、ズレ量が算出されると、このズレ量に応じてＸ／Ｙ
ステージ制御回路５０に対して駆動指示を与える。
【００５２】このズレ量算出の原理を、以下に説明す
る。図２４は、被検物撮像用ＣＣＤカメラ３０の撮像素
子３６によって撮像されるフィールドを示す。この図２
４に示されるように、撮像素子３６によって撮像される
フィールドには、このフィールドの中心位置を原点
“０”として、Ｘ方向に伸びるＸ方向中心軸，及びＹ方
向に伸びるＹ方向中心軸が、夫々定義されている。ま
た、Ｘ方向中心軸上には、原点“０”を中心とした一定
範囲を規定するための座標点ｘ1及びｘ2が、定義されて
いる。同様に、Ｙ方向中心軸上には、原点“０”を中心
とした一定範囲を規定するための座標点ｙ1及びｙ2が、
定義されている。これらの座標点ｘ1，ｘ2，ｙ1，及び
ｙ2は、検査対象レンズＡの外縁像αの内側に存する座
標点である。ところで、検査対象レンズＡの光軸が撮像
レンズ３５の光軸ｌと一致している場合，即ち、検査対
象レンズＡの光軸が遮光部材２８のナイフエッジ２８ａ
の回転中心と合致している場合には、そのナイフエッジ
２８ａがぼかされつつ拡大されるので、ナイフエッジ２
８ａの方向に拘わらず、撮像素子３６によって撮像され
た外縁α内の輝度は一定である。図２７は、この状態に
てナイフエッジ２８ａをＸ方向に向けるとともに拡散板
３４を図１の手前側に配置した時（０°）のＹ軸上の輝
度分布，及び、ナイフエッジ２８ａをそこから１８０度
回転させた時（１８０°）のＹ軸上の輝度分布を、夫々
プロットしたグラフである。
る。図２４は、被検物撮像用ＣＣＤカメラ３０の撮像素
子３６によって撮像されるフィールドを示す。この図２
４に示されるように、撮像素子３６によって撮像される
フィールドには、このフィールドの中心位置を原点
“０”として、Ｘ方向に伸びるＸ方向中心軸，及びＹ方
向に伸びるＹ方向中心軸が、夫々定義されている。ま
た、Ｘ方向中心軸上には、原点“０”を中心とした一定
範囲を規定するための座標点ｘ1及びｘ2が、定義されて
いる。同様に、Ｙ方向中心軸上には、原点“０”を中心
とした一定範囲を規定するための座標点ｙ1及びｙ2が、
定義されている。これらの座標点ｘ1，ｘ2，ｙ1，及び
ｙ2は、検査対象レンズＡの外縁像αの内側に存する座
標点である。ところで、検査対象レンズＡの光軸が撮像
レンズ３５の光軸ｌと一致している場合，即ち、検査対
象レンズＡの光軸が遮光部材２８のナイフエッジ２８ａ
の回転中心と合致している場合には、そのナイフエッジ
２８ａがぼかされつつ拡大されるので、ナイフエッジ２
８ａの方向に拘わらず、撮像素子３６によって撮像され
た外縁α内の輝度は一定である。図２７は、この状態に
てナイフエッジ２８ａをＸ方向に向けるとともに拡散板
３４を図１の手前側に配置した時（０°）のＹ軸上の輝
度分布，及び、ナイフエッジ２８ａをそこから１８０度
回転させた時（１８０°）のＹ軸上の輝度分布を、夫々
プロットしたグラフである。
【００５３】ところが、検査対象レンズＡの光軸が撮像
レンズ３５の光軸ｌからズレた場合には、ナイフエッジ
２８ａが０°である時と１８０°である時とでは、検査
対象レンズＡの焦点と遮光板２８との相対位置関係が変
化する。即ち、ナイフエッジ２８ａが或る方向を向いて
いる場合には検査対象レンズＡの焦点が遮光板２８上に
位置するのに対してナイフエッジ２８ａが１８０°回転
すると検査対象レンズＡの焦点が拡散板３４上に位置す
るように、なるのである。従って、検査対象レンズＡの
焦点が遮光板２８上に位置している時には、遮光板２８
自体が拡大されるので、撮像素子３６によって撮像され
た外縁α内の輝度が低くなる。一方、検査対象レンズＡ
の焦点が拡散板３４上に位置している時には、拡散板３
４自体が拡大されるので、撮像素子３６によって撮像さ
れた外縁α内の輝度が高くなる。図２５は、図２７の状
態に比して、検査対象レンズＡの光軸がＹ方向に−０．
２ｍｍズレた場合における輝度分布を示している。ま
た、図２６は、図２７の状態に比して、検査対象レンズ
Ａの光軸がＹ方向に−０．１ｍｍズレた場合における輝
度分布を示している。また、図２８は、図２７の状態に
比して、検査対象レンズＡの光軸が方向に＋０．１ｍｍ
ズレた場合における輝度分布を示している。また、図２
９は、図２７の状態に比して、検査対象レンズＡの光軸
がＹ方向に＋０．２ｍｍズレた場合における輝度分布を
示している。
レンズ３５の光軸ｌからズレた場合には、ナイフエッジ
２８ａが０°である時と１８０°である時とでは、検査
対象レンズＡの焦点と遮光板２８との相対位置関係が変
化する。即ち、ナイフエッジ２８ａが或る方向を向いて
いる場合には検査対象レンズＡの焦点が遮光板２８上に
位置するのに対してナイフエッジ２８ａが１８０°回転
すると検査対象レンズＡの焦点が拡散板３４上に位置す
るように、なるのである。従って、検査対象レンズＡの
焦点が遮光板２８上に位置している時には、遮光板２８
自体が拡大されるので、撮像素子３６によって撮像され
た外縁α内の輝度が低くなる。一方、検査対象レンズＡ
の焦点が拡散板３４上に位置している時には、拡散板３
４自体が拡大されるので、撮像素子３６によって撮像さ
れた外縁α内の輝度が高くなる。図２５は、図２７の状
態に比して、検査対象レンズＡの光軸がＹ方向に−０．
２ｍｍズレた場合における輝度分布を示している。ま
た、図２６は、図２７の状態に比して、検査対象レンズ
Ａの光軸がＹ方向に−０．１ｍｍズレた場合における輝
度分布を示している。また、図２８は、図２７の状態に
比して、検査対象レンズＡの光軸が方向に＋０．１ｍｍ
ズレた場合における輝度分布を示している。また、図２
９は、図２７の状態に比して、検査対象レンズＡの光軸
がＹ方向に＋０．２ｍｍズレた場合における輝度分布を
示している。
【００５４】画像処理部４１は、ナイフエッジ２８ａの
方向を０°とした場合の画像におけるｙ1〜ｙ2（ｘ1〜
ｘ2）の範囲内の輝度の積分値（輝度断面積）から、ナ
イフエッジ２８ａの方向を１８０°とした場合の画像に
おけるｙ1〜ｙ2（ｘ1〜ｘ2）の範囲内の輝度の積分値
（輝度断面積）を減算することにより、「輝度差」を算
出する。図３０は、図２５乃至図２９の各図から算出さ
れた輝度差をプロットしたものである。この図３０から
明らかなように、検査対象レンズＡの光軸の撮像レンズ
３５の光軸ｌに対するズレ量が大きくなる程、「輝度
差」の絶対値が、大きくなる。また、ナイフエッジ２８
ａの基準方向（０°の方向）を一定とした場合、ズレの
向きによって輝度差の極性が逆転する。つまり、検査対
象レンズＡの光軸の撮像レンズ３５の光軸ｌに対するズ
レ量と「輝度差」とは、正比例関係にあるのである。従
って、現時点における画像から「輝度差」を算出し、算
出された「輝度差」に基づいて図３０のグラフを逆に辿
れば、現時点における検査対象レンズＡの撮像レンズの
光軸ｌに対するズレ量及びズレ方向を知ることができ
る。制御部４２は、このようにして得られたｘ，ｙ各方
向におけるズレ量を相殺する距離だけ光学部材Ａを移動
させて、光学部材Ａの芯出しを行うのである。なお、制
御部４２は、実際には、画像処理部４１から通知された
輝度差に基づいて、図３１に示すような輝度差と移動量
とを精密に対応させたナイフエッジ芯出テーブルを作成
して外部メモリ４４に格納しておくとともに、画像処理
部４１から輝度値の通知がある毎に、この輝度差に基づ
いてこのナイフエッジ芯出テーブルを参照して移動量を
求める。なお、このナイフエッジ芯出テーブルは、Ｙ方
向用のナイフエッジ芯出テーブルとＸ方向用のナイフエ
ッジ芯出テーブルとから構成されており、スプールＳの
種類毎に夫々作成・記憶されている。そして、制御部４
２は、チャック１２上に載置されたスプールＳの種類に
対応する識別番号がキーボード４３を介して入力された
場合には、その識別番号に対応するナイフエッジ芯出テ
ーブルを、外部メモリ４４から読み出して使用する。
方向を０°とした場合の画像におけるｙ1〜ｙ2（ｘ1〜
ｘ2）の範囲内の輝度の積分値（輝度断面積）から、ナ
イフエッジ２８ａの方向を１８０°とした場合の画像に
おけるｙ1〜ｙ2（ｘ1〜ｘ2）の範囲内の輝度の積分値
（輝度断面積）を減算することにより、「輝度差」を算
出する。図３０は、図２５乃至図２９の各図から算出さ
れた輝度差をプロットしたものである。この図３０から
明らかなように、検査対象レンズＡの光軸の撮像レンズ
３５の光軸ｌに対するズレ量が大きくなる程、「輝度
差」の絶対値が、大きくなる。また、ナイフエッジ２８
ａの基準方向（０°の方向）を一定とした場合、ズレの
向きによって輝度差の極性が逆転する。つまり、検査対
象レンズＡの光軸の撮像レンズ３５の光軸ｌに対するズ
レ量と「輝度差」とは、正比例関係にあるのである。従
って、現時点における画像から「輝度差」を算出し、算
出された「輝度差」に基づいて図３０のグラフを逆に辿
れば、現時点における検査対象レンズＡの撮像レンズの
光軸ｌに対するズレ量及びズレ方向を知ることができ
る。制御部４２は、このようにして得られたｘ，ｙ各方
向におけるズレ量を相殺する距離だけ光学部材Ａを移動
させて、光学部材Ａの芯出しを行うのである。なお、制
御部４２は、実際には、画像処理部４１から通知された
輝度差に基づいて、図３１に示すような輝度差と移動量
とを精密に対応させたナイフエッジ芯出テーブルを作成
して外部メモリ４４に格納しておくとともに、画像処理
部４１から輝度値の通知がある毎に、この輝度差に基づ
いてこのナイフエッジ芯出テーブルを参照して移動量を
求める。なお、このナイフエッジ芯出テーブルは、Ｙ方
向用のナイフエッジ芯出テーブルとＸ方向用のナイフエ
ッジ芯出テーブルとから構成されており、スプールＳの
種類毎に夫々作成・記憶されている。そして、制御部４
２は、チャック１２上に載置されたスプールＳの種類に
対応する識別番号がキーボード４３を介して入力された
場合には、その識別番号に対応するナイフエッジ芯出テ
ーブルを、外部メモリ４４から読み出して使用する。
【００５５】画像処理部４１は、また、輝度データ抽出
手段，相対位置認定手段として、被検物撮像用ＣＣＤカ
メラ３０によって撮像された同一スプールＳ内の全レン
ズの画像に基づいて、光軸方向における各レンズの相対
位置を算出する。そして、各レンズの光軸方向位置にバ
ラツキがある時には、選択手段として、それを基準にナ
イフエッジ２８ａの光軸方向位置調整及び撮像レンズ３
５のピント合わせを行った場合に最も多くのレンズをそ
の検査許容範囲（検査対象レンズＡの外縁α内が均一濃
度に撮像される範囲）に入れることができるレンズを、
ナイフエッジ２８ａの光軸方向位置調整及び撮像レンズ
３５のピント合わせ用レンズ（以下、「基準レンズ」と
いう）として、選択する。
手段，相対位置認定手段として、被検物撮像用ＣＣＤカ
メラ３０によって撮像された同一スプールＳ内の全レン
ズの画像に基づいて、光軸方向における各レンズの相対
位置を算出する。そして、各レンズの光軸方向位置にバ
ラツキがある時には、選択手段として、それを基準にナ
イフエッジ２８ａの光軸方向位置調整及び撮像レンズ３
５のピント合わせを行った場合に最も多くのレンズをそ
の検査許容範囲（検査対象レンズＡの外縁α内が均一濃
度に撮像される範囲）に入れることができるレンズを、
ナイフエッジ２８ａの光軸方向位置調整及び撮像レンズ
３５のピント合わせ用レンズ（以下、「基準レンズ」と
いう）として、選択する。
【００５６】この光軸方向の相対位置算出の原理を、以
下に説明する。上述したように、被検物撮像用ＣＣＤカ
メラ３０によって撮像された画像中における検査対象光
学部材Ａ外縁α内側の輝度分布は、検査対象レンズＡの
焦点位置と遮光板２８との光軸方向のズレ量及びズレ方
向に依って、そのパターンが変わってくる。即ち、ナイ
フエッジ２８ａを基準位置（遮光板２８が図１において
手前側に位置してナイフエッジ２８ａがＸ方向に向く位
置，０°の位置）に配置した場合，画像のＹ方向中心軸
上では、検査対象レンズＡが遮光板２８に近くなる程ｙ
1側が暗くなるとともにｙ2側が明るくなり、検査対象レ
ンズＡが遮光板２８から遠くなる程ｙ1側が明るくなる
とともにｙ2側が暗くなる。図３２（ａ）〜（ｅ）は、
図２０（ａ）〜（ｅ）における画像中のＹ方向中心軸上
の輝度分布を示すグラフである。また、図３９（ａ）〜
（ｅ）のような画像が得られた場合（非球面レンズの場
合）には、各画像中のＹ方向中心軸上の輝度分布を示す
グラフは、図４０（ａ）〜（ｅ）に示すようになる。ま
た、図４１（ａ）〜（ｅ）のような画像が得られた場合
には、各画像中のＹ方向中心軸上の輝度分布を示すグラ
フは、図４２（ａ）〜（ｅ）に示すようになる。これら
グラフを比較すれば明らかなように、各グラフにおける
原点０〜座標点ｙ1の範囲における輝度値の積分値（輝
度断面積）は、検査対象レンズＡの光軸方向の位置に比
例対応することになる。即ち、積分値が小さければ検査
対象レンズＡとナイフエッジ２８ａとの間の距離が短い
ことになり、積分値が大きければ検査対象レンズＡとナ
イフエッジ２８ａとの間の距離が長いことになる。従っ
て、各レンズ毎に、その画像中における原点０〜座標点
ｙ1の輝度値を積分し、算出された積分値をスケール上
に並べれば、各レンズの光軸方向における相対位置関係
を把握することができるのである。
下に説明する。上述したように、被検物撮像用ＣＣＤカ
メラ３０によって撮像された画像中における検査対象光
学部材Ａ外縁α内側の輝度分布は、検査対象レンズＡの
焦点位置と遮光板２８との光軸方向のズレ量及びズレ方
向に依って、そのパターンが変わってくる。即ち、ナイ
フエッジ２８ａを基準位置（遮光板２８が図１において
手前側に位置してナイフエッジ２８ａがＸ方向に向く位
置，０°の位置）に配置した場合，画像のＹ方向中心軸
上では、検査対象レンズＡが遮光板２８に近くなる程ｙ
1側が暗くなるとともにｙ2側が明るくなり、検査対象レ
ンズＡが遮光板２８から遠くなる程ｙ1側が明るくなる
とともにｙ2側が暗くなる。図３２（ａ）〜（ｅ）は、
図２０（ａ）〜（ｅ）における画像中のＹ方向中心軸上
の輝度分布を示すグラフである。また、図３９（ａ）〜
（ｅ）のような画像が得られた場合（非球面レンズの場
合）には、各画像中のＹ方向中心軸上の輝度分布を示す
グラフは、図４０（ａ）〜（ｅ）に示すようになる。ま
た、図４１（ａ）〜（ｅ）のような画像が得られた場合
には、各画像中のＹ方向中心軸上の輝度分布を示すグラ
フは、図４２（ａ）〜（ｅ）に示すようになる。これら
グラフを比較すれば明らかなように、各グラフにおける
原点０〜座標点ｙ1の範囲における輝度値の積分値（輝
度断面積）は、検査対象レンズＡの光軸方向の位置に比
例対応することになる。即ち、積分値が小さければ検査
対象レンズＡとナイフエッジ２８ａとの間の距離が短い
ことになり、積分値が大きければ検査対象レンズＡとナ
イフエッジ２８ａとの間の距離が長いことになる。従っ
て、各レンズ毎に、その画像中における原点０〜座標点
ｙ1の輝度値を積分し、算出された積分値をスケール上
に並べれば、各レンズの光軸方向における相対位置関係
を把握することができるのである。
【００５７】図３３（ａ）〜（ｈ）は、同一のスプール
Ｓ中の全レンズＡを撮像して得られた画像例を示してい
る。図において各画像の左上に添えられた数字は、撮像
されたレンズＡのキャビティ番号を示している。図３４
は、図３３（ａ）〜（ｈ）の各画像に基づいて算出され
た各レンズＡ毎の積分値（Ｙ方向中心軸上の原点０〜座
標点ｙ1の範囲における輝度値の積分値）の分布，即
ち、各レンズＡの光軸方向における相対位置関係を示す
分布図である。図３４に示されるように各レンズＡが等
間隔に位置ズレしている場合には、ランナーＬの曲がり
によってスプールＳ全体の倒れが生じていると判断する
ことができる。また、図３５に示されるように一部のレ
ンズＡのみが位置ズレを起こしている場合には、ランナ
ーＬには曲がりが生じていないが一部のゲートのみが曲
がっているものと判断することができる。なお、この分
布図は、画像処理部４１によって作成されて、制御部４
２によって表示手段としてのモニタ装置４５上に表示さ
れる。
Ｓ中の全レンズＡを撮像して得られた画像例を示してい
る。図において各画像の左上に添えられた数字は、撮像
されたレンズＡのキャビティ番号を示している。図３４
は、図３３（ａ）〜（ｈ）の各画像に基づいて算出され
た各レンズＡ毎の積分値（Ｙ方向中心軸上の原点０〜座
標点ｙ1の範囲における輝度値の積分値）の分布，即
ち、各レンズＡの光軸方向における相対位置関係を示す
分布図である。図３４に示されるように各レンズＡが等
間隔に位置ズレしている場合には、ランナーＬの曲がり
によってスプールＳ全体の倒れが生じていると判断する
ことができる。また、図３５に示されるように一部のレ
ンズＡのみが位置ズレを起こしている場合には、ランナ
ーＬには曲がりが生じていないが一部のゲートのみが曲
がっているものと判断することができる。なお、この分
布図は、画像処理部４１によって作成されて、制御部４
２によって表示手段としてのモニタ装置４５上に表示さ
れる。
【００５８】ところで、いま、図３６に示されるような
分布図が得られたとする。この場合、キャビティ番号１
のレンズＡに基づいてナイフエッジ２８ａの光軸方向位
置調整及び撮像レンズ３５のピント合わせを行うと、そ
の検査許容範囲は、図３６において編目を掛けた範囲と
なる。従って、他のレンズＡは、何れも検査され得な
い。また、キャビティ番号１のレンズＡから最もずれて
いるレンズはキャビティ番号７のレンズＡであるが、キ
ャビティ番号１のレンズとキャビティ番号７のレンズと
の中間点に位置するキャビティ番号３のレンズＡに基づ
いてナイフエッジ２８ａの光軸方向位置調整及び撮像レ
ンズ３５のピント合わせを行うと、その検査許容範囲
は、図３７において編目を掛けた範囲となる。従って、
この場合でも、キャビティ番号２〜５のレンズＡしか検
査することができない。これに対して、図３８に示すよ
うに、各レンズＡが最も密集して分布するグループ内に
おいて中間位置に位置しているレンズＡ，即ちキャビテ
ィ番号５のレンズＡに基づいてナイフエッジ２８ａの光
軸方向位置調整及び撮像レンズ３５のピント合わせを行
えば、キャビティ番号１のレンズＡ以外は、検査許容範
囲内に含まれることになる。
分布図が得られたとする。この場合、キャビティ番号１
のレンズＡに基づいてナイフエッジ２８ａの光軸方向位
置調整及び撮像レンズ３５のピント合わせを行うと、そ
の検査許容範囲は、図３６において編目を掛けた範囲と
なる。従って、他のレンズＡは、何れも検査され得な
い。また、キャビティ番号１のレンズＡから最もずれて
いるレンズはキャビティ番号７のレンズＡであるが、キ
ャビティ番号１のレンズとキャビティ番号７のレンズと
の中間点に位置するキャビティ番号３のレンズＡに基づ
いてナイフエッジ２８ａの光軸方向位置調整及び撮像レ
ンズ３５のピント合わせを行うと、その検査許容範囲
は、図３７において編目を掛けた範囲となる。従って、
この場合でも、キャビティ番号２〜５のレンズＡしか検
査することができない。これに対して、図３８に示すよ
うに、各レンズＡが最も密集して分布するグループ内に
おいて中間位置に位置しているレンズＡ，即ちキャビテ
ィ番号５のレンズＡに基づいてナイフエッジ２８ａの光
軸方向位置調整及び撮像レンズ３５のピント合わせを行
えば、キャビティ番号１のレンズＡ以外は、検査許容範
囲内に含まれることになる。
【００５９】画像処理部４１は、このような「各レンズ
が最も密集して分布するグループ内において中間位置に
位置しているレンズ」を、自動的に基準レンズとして選
択する。このために、画像処理部４１は、各レンズ毎
に、そのレンズと他の全てのレンズとの差分（輝度積分
値の差分）の総和を算出する。そして、この総和が最も
小さくなるレンズを、基準レンズとして選択するのであ
る。制御部４２は、このようにして選択されたレンズの
キャビティ番号をそのスプールＳの種類に対応するもの
として外部メモリ４４に記憶するとともに、一軸ロボッ
ト制御回路４９及びスプール回転制御回路５１に対して
そのキャビティ番号に対応するレンズＡを撮像レンズ３
５の光軸上にセットする様指示し、作業者に対してナイ
フエッジ２８ａの光軸方向位置調整及び撮像レンズ３５
のピント合わせを促す。また、制御部４２は、チャック
１２上に載置されたスプールＳの種類に対応する識別番
号がキーボード４３を介して入力された場合には、その
識別番号に対応するキャビティ番号を外部メモリ４４か
ら読み出し、その読み出したキャビティ番号に対応する
レンズＡを撮像レンズ３５の光軸上にセットする様、一
軸ロボット制御回路４９及びスプール回転制御回路５１
に対して指示をする。これは、同じ成形型及び成形条件
から成形された同種類のスプールであれば、ランナーＬ
及びゲートの曲がりも全く同様に発生しているので、各
レンズＡの光軸方向位置の分布も全く同じになるからで
ある。
が最も密集して分布するグループ内において中間位置に
位置しているレンズ」を、自動的に基準レンズとして選
択する。このために、画像処理部４１は、各レンズ毎
に、そのレンズと他の全てのレンズとの差分（輝度積分
値の差分）の総和を算出する。そして、この総和が最も
小さくなるレンズを、基準レンズとして選択するのであ
る。制御部４２は、このようにして選択されたレンズの
キャビティ番号をそのスプールＳの種類に対応するもの
として外部メモリ４４に記憶するとともに、一軸ロボッ
ト制御回路４９及びスプール回転制御回路５１に対して
そのキャビティ番号に対応するレンズＡを撮像レンズ３
５の光軸上にセットする様指示し、作業者に対してナイ
フエッジ２８ａの光軸方向位置調整及び撮像レンズ３５
のピント合わせを促す。また、制御部４２は、チャック
１２上に載置されたスプールＳの種類に対応する識別番
号がキーボード４３を介して入力された場合には、その
識別番号に対応するキャビティ番号を外部メモリ４４か
ら読み出し、その読み出したキャビティ番号に対応する
レンズＡを撮像レンズ３５の光軸上にセットする様、一
軸ロボット制御回路４９及びスプール回転制御回路５１
に対して指示をする。これは、同じ成形型及び成形条件
から成形された同種類のスプールであれば、ランナーＬ
及びゲートの曲がりも全く同様に発生しているので、各
レンズＡの光軸方向位置の分布も全く同じになるからで
ある。
【００６０】画像処理部４１は、また、検査対象レンズ
Ａが良品であるか不良品であるかの判定処理を行う。そ
のため、画像処理部４１は、被検物撮像用ＣＣＤカメラ
３０から入力された画像データに対して所定の画像処理
を行い、検査対象レンズＡの光学的欠陥の程度を数値化
するとともに、この数値を一定の判定基準値（許容値）
と比較し、この数値が判定基準値内に収まっているか超
えているかの判定を行う。この判定処理を行うために、
画像処理部４１は、第１のメモリ４１ａ及び第２のメモ
リ４１ｂを有している。制御部４２は、この判定処理が
行われるのに伴って、ナイフエッジ回転制御回路４８に
対してスプール回転用パルスモータ２４の回転指示を行
う。また、制御部４２は、判定結果をモニタ装置４５上
に表示する。
Ａが良品であるか不良品であるかの判定処理を行う。そ
のため、画像処理部４１は、被検物撮像用ＣＣＤカメラ
３０から入力された画像データに対して所定の画像処理
を行い、検査対象レンズＡの光学的欠陥の程度を数値化
するとともに、この数値を一定の判定基準値（許容値）
と比較し、この数値が判定基準値内に収まっているか超
えているかの判定を行う。この判定処理を行うために、
画像処理部４１は、第１のメモリ４１ａ及び第２のメモ
リ４１ｂを有している。制御部４２は、この判定処理が
行われるのに伴って、ナイフエッジ回転制御回路４８に
対してスプール回転用パルスモータ２４の回転指示を行
う。また、制御部４２は、判定結果をモニタ装置４５上
に表示する。
【００６１】キーボード４３は、スプールをチャック１
２へ載置した旨の通知，チャック１２上に載置されてい
るスプールＳの種類の識別番号，レンズの手動芯出しの
完了通知，ナイフエッジ２８ａの光軸方向位置調整及び
撮像レンズ３５のピント合わせの完了通知，検査継続の
要否，等の情報を制御部４５に入力するための入力装置
である。また、キーボード４３には、装置全体への主電
源投入を指示するための主電源投入キー（図示略）も、
設けられている。
２へ載置した旨の通知，チャック１２上に載置されてい
るスプールＳの種類の識別番号，レンズの手動芯出しの
完了通知，ナイフエッジ２８ａの光軸方向位置調整及び
撮像レンズ３５のピント合わせの完了通知，検査継続の
要否，等の情報を制御部４５に入力するための入力装置
である。また、キーボード４３には、装置全体への主電
源投入を指示するための主電源投入キー（図示略）も、
設けられている。
【００６２】外部メモリ４４は、各スプール種類の識別
番号毎に上述したナイフエッジ芯出テーブル（Ｙ方向用
のナイフエッジ芯出テーブル，Ｘ方向用のナイフエッジ
芯出テーブル）及び基準レンズのキャビティ番号を記憶
する不揮発メモリ（ＥＥＰＲＯＭ）である。
番号毎に上述したナイフエッジ芯出テーブル（Ｙ方向用
のナイフエッジ芯出テーブル，Ｘ方向用のナイフエッジ
芯出テーブル）及び基準レンズのキャビティ番号を記憶
する不揮発メモリ（ＥＥＰＲＯＭ）である。
【００６３】モニタ装置４５は、制御部４２から通知さ
れた映像情報を表示するディスプレイである。キャビテ
ィ番号認識用透過照明駆動回路４６は、制御部４２から
の指示に応じて、キャビティ番号認識用透過照明ランプ
１８を点灯させるための駆動電流を供給する。
れた映像情報を表示するディスプレイである。キャビテ
ィ番号認識用透過照明駆動回路４６は、制御部４２から
の指示に応じて、キャビティ番号認識用透過照明ランプ
１８を点灯させるための駆動電流を供給する。
【００６４】ナイフエッジ回転制御回路４８は、制御部
４２からの指示に応じてナイフエッジ回転用パルスモー
タ２４に駆動パルスを供給し、検査時においてはナイフ
エッジ２８ａを２２．５度づつ回転させ、芯出し時にお
いてはナイフエッジ２８ａを適当量回転させる。
４２からの指示に応じてナイフエッジ回転用パルスモー
タ２４に駆動パルスを供給し、検査時においてはナイフ
エッジ２８ａを２２．５度づつ回転させ、芯出し時にお
いてはナイフエッジ２８ａを適当量回転させる。
【００６５】一軸ロボット制御回路４９は、制御部４２
からの指示に応じて一軸ロボット用パルスモータ３に駆
動パルスを供給し、移動ステージ４を図１に示す被検物
給排位置，図２２に示すキャビティ番号認識位置，又
は、図２３に示す検査位置（奇数キャビティ検査位置，
偶数キャビティ検査位置）へ移動させる。
からの指示に応じて一軸ロボット用パルスモータ３に駆
動パルスを供給し、移動ステージ４を図１に示す被検物
給排位置，図２２に示すキャビティ番号認識位置，又
は、図２３に示す検査位置（奇数キャビティ検査位置，
偶数キャビティ検査位置）へ移動させる。
【００６６】Ｘ／Ｙステージ制御回路５０は、制御部４
２からの指示に応じてＸステージ用パルスモータ７及び
Ｙステージ用パルスモータ１０に駆動パルスを供給し、
検査対象レンズＡの光軸を撮像レンズ３５の光軸ｌに合
致させるべく、作業テーブル１１を光軸ｌに直交する面
内で移動させる。
２からの指示に応じてＸステージ用パルスモータ７及び
Ｙステージ用パルスモータ１０に駆動パルスを供給し、
検査対象レンズＡの光軸を撮像レンズ３５の光軸ｌに合
致させるべく、作業テーブル１１を光軸ｌに直交する面
内で移動させる。
【００６７】スプール回転制御回路５１は、制御部４２
からの指示に応じてスプール回転用パルスモータ１３に
駆動パルスを供給し、検査時及び基準レンズ選択時にお
いてはチャック１２上に載置されたスプールＳ中の各レ
ンズを順次撮像レンズ３５の光軸ｌ中に挿入すべくチャ
ック１２を９０度づつ回転させ、基準レンズのセット時
においては選択された（又は外部メモリから読み出され
たキャビティ番号に対応した）基準レンズを撮像レンズ
３５の光軸ｌ中に挿入する様チャック１２を回転させ
る。
からの指示に応じてスプール回転用パルスモータ１３に
駆動パルスを供給し、検査時及び基準レンズ選択時にお
いてはチャック１２上に載置されたスプールＳ中の各レ
ンズを順次撮像レンズ３５の光軸ｌ中に挿入すべくチャ
ック１２を９０度づつ回転させ、基準レンズのセット時
においては選択された（又は外部メモリから読み出され
たキャビティ番号に対応した）基準レンズを撮像レンズ
３５の光軸ｌ中に挿入する様チャック１２を回転させ
る。
【００６８】ナイフエッジ照明駆動回路５２は、制御部
４２からの指示に応じて、ナイフエッジ照明ランプ３２
を点灯させるための駆動電流を供給する。 ＜制御処理＞次に、ＣＰＵ４０（画像処理部４１及び制
御部４２）において実行される光学部材検査のための制
御処理の内容を、図６乃至図１９のフローチャートを用
いて説明する。
４２からの指示に応じて、ナイフエッジ照明ランプ３２
を点灯させるための駆動電流を供給する。 ＜制御処理＞次に、ＣＰＵ４０（画像処理部４１及び制
御部４２）において実行される光学部材検査のための制
御処理の内容を、図６乃至図１９のフローチャートを用
いて説明する。
【００６９】図６及び図７に示す制御処理のメインルー
チンは、キーボード４３中の主電源投入キー（図示略）
が投入されることにより、スタートする。そして、最初
のＳ０００１では、制御部４２は、一軸ロボット制御回
路４９に対し、移動ステージ４を図１に示す被検物給排
位置に移動させる指示をする。この指示に基づいて移動
ステージ４が被検物給排位置に移動すると、操作者は、
チャック１２上にスプールＳを載置することができる
（既にチャック１２上にスプールＳが載置されている場
合にはスプールＳの交換が可能になる。）。
チンは、キーボード４３中の主電源投入キー（図示略）
が投入されることにより、スタートする。そして、最初
のＳ０００１では、制御部４２は、一軸ロボット制御回
路４９に対し、移動ステージ４を図１に示す被検物給排
位置に移動させる指示をする。この指示に基づいて移動
ステージ４が被検物給排位置に移動すると、操作者は、
チャック１２上にスプールＳを載置することができる
（既にチャック１２上にスプールＳが載置されている場
合にはスプールＳの交換が可能になる。）。
【００７０】操作者は、スプールＳをチャック１２へ載
置し終わると、その旨をキーボード４３を介して制御部
４２に入力する。制御部４２は、Ｓ０００２においてこ
の通知の入力を待ち、入力があった場合には処理をＳ０
００３に進める。
置し終わると、その旨をキーボード４３を介して制御部
４２に入力する。制御部４２は、Ｓ０００２においてこ
の通知の入力を待ち、入力があった場合には処理をＳ０
００３に進める。
【００７１】Ｓ０００３では、制御部４２は、一軸ロボ
ット制御回路４９に対し、移動ステージ４を図２２に示
すキャビティ番号認識位置に移動させる指示をする。こ
の指示に基づいて移動ステージ４がキャビティ番号認識
位置に移動すると、画像処理部４１は、Ｓ０００４にお
いて、キャビティ番号認識用ＣＣＤカメラ１６によって
キャビティ番号マーク近傍の画像を撮像する。
ット制御回路４９に対し、移動ステージ４を図２２に示
すキャビティ番号認識位置に移動させる指示をする。こ
の指示に基づいて移動ステージ４がキャビティ番号認識
位置に移動すると、画像処理部４１は、Ｓ０００４にお
いて、キャビティ番号認識用ＣＣＤカメラ１６によって
キャビティ番号マーク近傍の画像を撮像する。
【００７２】次のＳ０００５では、画像処理部４１は、
Ｓ０００３にて撮像された画像の中から、キャビティ番
号マークのみを抽出する。次のＳ０００６では、画像処
理部４１は、Ｓ０００５にて抽出したキャビティ番号マ
ークの個数に基づいて、検査位置（図２２において中心
軸Ｃの手前側の位置）に来るレンズのキャビティ番号を
算出する。即ち、キャビティ番号マークの個数と同数の
キャビティ番号のレンズに対して中心軸Ｃを挟んで点対
称の位置にあるレンズのキャビティ番号を、算出するの
である。
Ｓ０００３にて撮像された画像の中から、キャビティ番
号マークのみを抽出する。次のＳ０００６では、画像処
理部４１は、Ｓ０００５にて抽出したキャビティ番号マ
ークの個数に基づいて、検査位置（図２２において中心
軸Ｃの手前側の位置）に来るレンズのキャビティ番号を
算出する。即ち、キャビティ番号マークの個数と同数の
キャビティ番号のレンズに対して中心軸Ｃを挟んで点対
称の位置にあるレンズのキャビティ番号を、算出するの
である。
【００７３】次のＳ０００７では、制御部４２は、一軸
ロボット制御回路４９に対し、移動ステージ４を奇数キ
ャビティ検査位置に移動させる指示をする。次のＳ００
０８では、制御部４２は、チャック１２上に載置されて
いるスプールＳの識別番号がキーボード４３を介して操
作者によって入力されるのを待つ。なお、同じ成形型か
ら成形された同種類のスプールに関しては同じ識別番号
が付与されるが、成形型が変わった場合には新たな識別
番号が付与される。
ロボット制御回路４９に対し、移動ステージ４を奇数キ
ャビティ検査位置に移動させる指示をする。次のＳ００
０８では、制御部４２は、チャック１２上に載置されて
いるスプールＳの識別番号がキーボード４３を介して操
作者によって入力されるのを待つ。なお、同じ成形型か
ら成形された同種類のスプールに関しては同じ識別番号
が付与されるが、成形型が変わった場合には新たな識別
番号が付与される。
【００７４】次のＳ０００９では、制御部４２は、Ｓ０
００８にて入力された識別番号が外部メモリ４４内に既
に登録されているかどうかをチェックする。そして、登
録されていた場合には、制御部４２は、Ｓ００１０にお
いて、外部メモリ４４からこの識別番号に対応するナイ
フエッジ芯出テーブル（Ｙ方向用のナイフエッジ芯出テ
ーブル，Ｘ方向用のナイフエッジ芯出テーブル）及び基
準レンズのキャビティ番号を読み出す。次のＳ００１１
では、制御部４２は、一軸ロボット制御回路４９及びス
プール回転制御回路５１に対し、Ｓ００１０にて読み出
したキャビティ番号に対応するレンズを撮像レンズ３５
の光軸ｌ中にセットさせる指示をする。即ち、制御部４
２は、選択されたキャビティ番号が偶数である場合に
は、一軸ロボット制御回路４９に対して、移動ステージ
４を偶数キャビティ検査位置へ移動させる指示を行う。
次に、制御部４２は、選択されたキャビティ番号に対応
するレンズＡの現在位置を認識し、この位置から撮像レ
ンズ３５の光軸ｌまでの回転角を算出し、算出した回転
角だけチャック１２を回転させる指示をスプール回転制
御回路５１に与える。この指示に基づいてスプール回転
制御回路５１が選択されたキャビティ番号に対応するレ
ンズＡを撮像レンズ３５の光軸ｌ中にセットすると、操
作者は、このレンズＡを基準としてナイフエッジ２８ａ
の光軸方向位置調整及び撮像レンズ３５のピント合わせ
を行う。
００８にて入力された識別番号が外部メモリ４４内に既
に登録されているかどうかをチェックする。そして、登
録されていた場合には、制御部４２は、Ｓ００１０にお
いて、外部メモリ４４からこの識別番号に対応するナイ
フエッジ芯出テーブル（Ｙ方向用のナイフエッジ芯出テ
ーブル，Ｘ方向用のナイフエッジ芯出テーブル）及び基
準レンズのキャビティ番号を読み出す。次のＳ００１１
では、制御部４２は、一軸ロボット制御回路４９及びス
プール回転制御回路５１に対し、Ｓ００１０にて読み出
したキャビティ番号に対応するレンズを撮像レンズ３５
の光軸ｌ中にセットさせる指示をする。即ち、制御部４
２は、選択されたキャビティ番号が偶数である場合に
は、一軸ロボット制御回路４９に対して、移動ステージ
４を偶数キャビティ検査位置へ移動させる指示を行う。
次に、制御部４２は、選択されたキャビティ番号に対応
するレンズＡの現在位置を認識し、この位置から撮像レ
ンズ３５の光軸ｌまでの回転角を算出し、算出した回転
角だけチャック１２を回転させる指示をスプール回転制
御回路５１に与える。この指示に基づいてスプール回転
制御回路５１が選択されたキャビティ番号に対応するレ
ンズＡを撮像レンズ３５の光軸ｌ中にセットすると、操
作者は、このレンズＡを基準としてナイフエッジ２８ａ
の光軸方向位置調整及び撮像レンズ３５のピント合わせ
を行う。
【００７５】操作者は、これらナイフエッジ２８ａの光
軸方向位置調整及び撮像レンズ３５のピント合わせを完
了すると、その旨をキーボード４３を介して制御部４２
に入力する。制御部４２は、Ｓ００１２においてこの通
知の入力を待ち、入力があった場合には、処理をＳ００
１４に進める。
軸方向位置調整及び撮像レンズ３５のピント合わせを完
了すると、その旨をキーボード４３を介して制御部４２
に入力する。制御部４２は、Ｓ００１２においてこの通
知の入力を待ち、入力があった場合には、処理をＳ００
１４に進める。
【００７６】これに対して、Ｓ０００９にて識別番号が
未だ外部メモリ４４内に登録されていないと判断した場
合には、制御部４２は、新規な種類のスプールＳがチャ
ック１２上に載置されたものと判断し、Ｓ００１３にお
いて検査データ登録処理を実行する。
未だ外部メモリ４４内に登録されていないと判断した場
合には、制御部４２は、新規な種類のスプールＳがチャ
ック１２上に載置されたものと判断し、Ｓ００１３にお
いて検査データ登録処理を実行する。
【００７７】図８は、このＳ００１３にて実行される検
査データ登録処理サブルーチンを示すフローチャートで
ある。このサブルーチンに入って最初のＳ０１０１で
は、制御部４２は、光軸方向位置基準レンズ選択処理を
実行する。図９は、このＳ０１０１にて実行される光軸
方向位置基準レンズ選択処理サブルーチンを示すフロー
チャートである。
査データ登録処理サブルーチンを示すフローチャートで
ある。このサブルーチンに入って最初のＳ０１０１で
は、制御部４２は、光軸方向位置基準レンズ選択処理を
実行する。図９は、このＳ０１０１にて実行される光軸
方向位置基準レンズ選択処理サブルーチンを示すフロー
チャートである。
【００７８】このフローチャートに入って最初のＳ０２
０１では、制御部４２は、スプール回転制御回路５１に
対して、キャビティ番号１に対応するレンズを撮像レン
ズ３５の光軸ｌ中にセットさせる。即ち、制御部４２
は、Ｓ０００６にて認識した現時点における検査対象レ
ンズ（撮像レンズ３５の光軸ｌ中にセットされたレン
ズ）Ａのキャビティ番号に基づいてキャビティ番号１の
レンズの現在位置を認識し、この位置から撮像レンズ３
５の光軸ｌまでの回転角を算出し、算出した回転角だけ
チャック１２を回転させる指示をスプール回転制御回路
５１に与える。この指示に基づいてスプール回転制御回
路５１がキャビティ番号１のレンズを撮像レンズ３５の
光軸ｌ中にセットすると、操作者は、このキャビティ番
号１のレンズを基準としてナイフエッジ２８ａの光軸方
向位置調整及び撮像レンズ３５のピント合わせを行う。
０１では、制御部４２は、スプール回転制御回路５１に
対して、キャビティ番号１に対応するレンズを撮像レン
ズ３５の光軸ｌ中にセットさせる。即ち、制御部４２
は、Ｓ０００６にて認識した現時点における検査対象レ
ンズ（撮像レンズ３５の光軸ｌ中にセットされたレン
ズ）Ａのキャビティ番号に基づいてキャビティ番号１の
レンズの現在位置を認識し、この位置から撮像レンズ３
５の光軸ｌまでの回転角を算出し、算出した回転角だけ
チャック１２を回転させる指示をスプール回転制御回路
５１に与える。この指示に基づいてスプール回転制御回
路５１がキャビティ番号１のレンズを撮像レンズ３５の
光軸ｌ中にセットすると、操作者は、このキャビティ番
号１のレンズを基準としてナイフエッジ２８ａの光軸方
向位置調整及び撮像レンズ３５のピント合わせを行う。
【００７９】操作者は、これらナイフエッジ２８ａの光
軸方向位置調整及び撮像レンズ３５のピント合わせを完
了すると、その旨をキーボード４３を介して制御部４２
に入力する。制御部４２は、Ｓ０２０２においてこの通
知の入力を待ち、入力があった場合には処理をＳ０２０
３に進める。
軸方向位置調整及び撮像レンズ３５のピント合わせを完
了すると、その旨をキーボード４３を介して制御部４２
に入力する。制御部４２は、Ｓ０２０２においてこの通
知の入力を待ち、入力があった場合には処理をＳ０２０
３に進める。
【００８０】Ｓ０２０３では、制御部４２は、自動芯出
処理１を実行する。図１０及び図１１は、このＳ０２０
３で実行される自動芯出処理１のサブルーチンを示すフ
ローチャートである。このサブルーチンに入って最初の
Ｓ０３０１では、制御部４２は、ナイフエッジ回転制御
回路４８に対して原点復帰命令を発行する。
処理１を実行する。図１０及び図１１は、このＳ０２０
３で実行される自動芯出処理１のサブルーチンを示すフ
ローチャートである。このサブルーチンに入って最初の
Ｓ０３０１では、制御部４２は、ナイフエッジ回転制御
回路４８に対して原点復帰命令を発行する。
【００８１】次のＳ０３０２では、制御部４２は、Ｓ０
３０１での原点復帰命令に応じたナイフエッジ２８ａの
回転が終了するのを待つ。次のＳ０３０３では、画像処
理部４１は、この時点において被検物撮像用ＣＣＤカメ
ラ３０によって撮像された画像のデータを入力する。
３０１での原点復帰命令に応じたナイフエッジ２８ａの
回転が終了するのを待つ。次のＳ０３０３では、画像処
理部４１は、この時点において被検物撮像用ＣＣＤカメ
ラ３０によって撮像された画像のデータを入力する。
【００８２】次のＳ０３０４では、制御部４２は、ナイ
フエッジ回転制御回路４８に対して９０度回転命令を発
行する。ナイフエッジ回転制御回路４８は、この９０度
回転命令を受けると、ナイフエッジ回転用パルスモータ
２４を駆動して、ナイフエッジ２８ａを時計方向に９０
度回転させ始める。
フエッジ回転制御回路４８に対して９０度回転命令を発
行する。ナイフエッジ回転制御回路４８は、この９０度
回転命令を受けると、ナイフエッジ回転用パルスモータ
２４を駆動して、ナイフエッジ２８ａを時計方向に９０
度回転させ始める。
【００８３】次のＳ０３０５では、画像処理部４１は、
Ｓ０３０３にて入力した画像のデータに基づいて、座標
位置ｙ1と座標位置ｙ2との間でＹ方向に並んだ全ての画
素の輝度値の総和（積分値）ＹAを求める。
Ｓ０３０３にて入力した画像のデータに基づいて、座標
位置ｙ1と座標位置ｙ2との間でＹ方向に並んだ全ての画
素の輝度値の総和（積分値）ＹAを求める。
【００８４】次のＳ０３０６では、制御部４２は、Ｓ０
３０２での９０度回転命令に応じたナイフエッジ２８ａ
の回転が終了するのを待つ。この回転が終了すると、ナ
イフエッジ２８ａが図１の紙面に直交する方向（Ｙ方
向）を向き、遮光板２８自体が図１の左側に位置するよ
うになる。
３０２での９０度回転命令に応じたナイフエッジ２８ａ
の回転が終了するのを待つ。この回転が終了すると、ナ
イフエッジ２８ａが図１の紙面に直交する方向（Ｙ方
向）を向き、遮光板２８自体が図１の左側に位置するよ
うになる。
【００８５】次のＳ０３０７では、画像処理部４１は、
この時点において被検物撮像用ＣＣＤカメラ３０によっ
て撮像された画像のデータを入力する。次のＳ０３０８
では、制御部４２は、ナイフエッジ回転制御回路４８に
対して９０度回転命令を発行する。
この時点において被検物撮像用ＣＣＤカメラ３０によっ
て撮像された画像のデータを入力する。次のＳ０３０８
では、制御部４２は、ナイフエッジ回転制御回路４８に
対して９０度回転命令を発行する。
【００８６】次のＳ０３０９では、画像処理部４１は、
Ｓ０３０７にて入力した画像のデータに基づいて、座標
位置ｘ1と座標位置ｘ2との間でＸ方向に並んだ全ての画
素の輝度値の総和（積分値）ＸAを求める。
Ｓ０３０７にて入力した画像のデータに基づいて、座標
位置ｘ1と座標位置ｘ2との間でＸ方向に並んだ全ての画
素の輝度値の総和（積分値）ＸAを求める。
【００８７】次のＳ０３１０では、制御部４２は、Ｓ０
３０８での９０度回転命令に応じたナイフエッジ２８ａ
の回転が終了するのを待つ。この回転が終了すると、ナ
イフエッジ２８ａが図１の紙面の左右方向（Ｘ方向）を
向き、遮光板６自体が図１の奥側に位置するようにな
る。
３０８での９０度回転命令に応じたナイフエッジ２８ａ
の回転が終了するのを待つ。この回転が終了すると、ナ
イフエッジ２８ａが図１の紙面の左右方向（Ｘ方向）を
向き、遮光板６自体が図１の奥側に位置するようにな
る。
【００８８】次のＳ０３１１では、画像処理部４１は、
この時点において被検物撮像用ＣＣＤカメラ３０によっ
て撮像された画像のデータを入力する。次のＳ０３１２
では、制御部４２は、ナイフエッジ回転制御回路４８に
対して９０度回転命令を発行する。
この時点において被検物撮像用ＣＣＤカメラ３０によっ
て撮像された画像のデータを入力する。次のＳ０３１２
では、制御部４２は、ナイフエッジ回転制御回路４８に
対して９０度回転命令を発行する。
【００８９】次のＳ０３１３では、画像処理部４１は、
Ｓ０３１１にて入力した画像のデータに基づいて、座標
位置ｙ1と座標位置ｙ2との間でＹ方向に並んだ全ての画
素の輝度値の総和（積分値）ＹBを求める。
Ｓ０３１１にて入力した画像のデータに基づいて、座標
位置ｙ1と座標位置ｙ2との間でＹ方向に並んだ全ての画
素の輝度値の総和（積分値）ＹBを求める。
【００９０】次のＳ０３１４では、画像処理部４１は、
Ｓ０３０５にて算出した輝度値総和ＹAからＳ０３１３
にて算出した輝度値総和ＹBを減算することによって
「輝度差」を算出し、算出された「輝度値」を制御部４
２に通知する。
Ｓ０３０５にて算出した輝度値総和ＹAからＳ０３１３
にて算出した輝度値総和ＹBを減算することによって
「輝度差」を算出し、算出された「輝度値」を制御部４
２に通知する。
【００９１】次のＳ０３１５では、制御部４２は、画像
処理部４１から通知された「輝度差」に対して下記関数
を施すことにより、Ｙ方向の光軸ズレを相殺するための
移動量ΔＹを求める。
処理部４１から通知された「輝度差」に対して下記関数
を施すことにより、Ｙ方向の光軸ズレを相殺するための
移動量ΔＹを求める。
【００９２】ΔＹ［μｍ］＝−輝度値／２５０ このようにして求めた移動量ΔＹの極性は、光軸ズレを
相殺するために検査対象レンズＡを起動させるべき向き
を示す。なお、Ｓ０３１３乃至Ｓ０３１５までの処理の
実行中でも、ナイフエッジ回転制御回路４８はナイフエ
ッジ回転用パルスモータ２４の駆動を継続する。
相殺するために検査対象レンズＡを起動させるべき向き
を示す。なお、Ｓ０３１３乃至Ｓ０３１５までの処理の
実行中でも、ナイフエッジ回転制御回路４８はナイフエ
ッジ回転用パルスモータ２４の駆動を継続する。
【００９３】次のＳ０３１６では、制御部４２は、Ｓ０
３１２の９０度回転命令に応じたナイフエッジ２８ａの
回転が終了するのを待つ。この回転が終了すると、ナイ
フエッジ２８ａが図１の紙面に直交する方向（Ｙ方向）
を向き、遮光板２８自体が図１及び図２の右側に位置す
るようになる。
３１２の９０度回転命令に応じたナイフエッジ２８ａの
回転が終了するのを待つ。この回転が終了すると、ナイ
フエッジ２８ａが図１の紙面に直交する方向（Ｙ方向）
を向き、遮光板２８自体が図１及び図２の右側に位置す
るようになる。
【００９４】次のＳ０３１７では、画像処理部４１は、
この時点において被検物撮像用ＣＣＤカメラ３０によっ
て撮像された画像のデータを入力する。次のＳ０３１８
では、画像処理部４１は、Ｓ０３１７にて入力した画像
のデータに基づいて、座標位置ｘ1と座標位置ｘ2との間
でＸ方向に並んだ全ての画素の輝度値の総和（積分値）
ＸBを求める。
この時点において被検物撮像用ＣＣＤカメラ３０によっ
て撮像された画像のデータを入力する。次のＳ０３１８
では、画像処理部４１は、Ｓ０３１７にて入力した画像
のデータに基づいて、座標位置ｘ1と座標位置ｘ2との間
でＸ方向に並んだ全ての画素の輝度値の総和（積分値）
ＸBを求める。
【００９５】次のＳ０３１９では、画像処理部４１は、
Ｓ０３０９にて算出した輝度値総和ＸAからＳ０３１８
にて算出した輝度値総和ＸBを減算することによって
「輝度差」を算出し、算出された「輝度差」を制御部４
２に通知する。
Ｓ０３０９にて算出した輝度値総和ＸAからＳ０３１８
にて算出した輝度値総和ＸBを減算することによって
「輝度差」を算出し、算出された「輝度差」を制御部４
２に通知する。
【００９６】次のＳ０３２０では、制御部４２は、画像
処理部４１から通知された「輝度差」に対して下記関数
を施すことにより、Ｘ方向の光軸ズレを相殺するための
移動量ΔＸを求める。
処理部４１から通知された「輝度差」に対して下記関数
を施すことにより、Ｘ方向の光軸ズレを相殺するための
移動量ΔＸを求める。
【００９７】ΔＸ［μｍ］＝−輝度値／２５０ このようにして求めた移動量ΔＸの極性は、光軸ズレを
相殺するために検査対象レンズＡを起動させるべき方向
を示す。
相殺するために検査対象レンズＡを起動させるべき方向
を示す。
【００９８】次のＳ０３２１では、制御部４２は、Ｓ０
３１５にて求めたＹ方向の移動量ΔＹが０であり且つＳ
０３２０にて求めたＸ方向の移動量ΔＸが０であるか否
かを判定する。そして、何れか一方でも０ではない時に
は、制御部４２は、Ｓ０３２２において、Ｘ／Ｙステー
ジ制御回路５０に対して、検査対象レンズＡをＸ方向に
ΔＸだけ移動させるとともにＹ方向にΔＹだけ移動させ
るよう、命令する。この命令に応じてＸ／Ｙステージ制
御回路５０が作業テーブル１１を光軸ｌに直交する面内
で移動させ終わると、制御部４２は、処理をＳ０３０１
に戻す。
３１５にて求めたＹ方向の移動量ΔＹが０であり且つＳ
０３２０にて求めたＸ方向の移動量ΔＸが０であるか否
かを判定する。そして、何れか一方でも０ではない時に
は、制御部４２は、Ｓ０３２２において、Ｘ／Ｙステー
ジ制御回路５０に対して、検査対象レンズＡをＸ方向に
ΔＸだけ移動させるとともにＹ方向にΔＹだけ移動させ
るよう、命令する。この命令に応じてＸ／Ｙステージ制
御回路５０が作業テーブル１１を光軸ｌに直交する面内
で移動させ終わると、制御部４２は、処理をＳ０３０１
に戻す。
【００９９】このようにしてＳ０３０１〜Ｓ０３２２の
ループ処理を繰り返した結果、両移動量が０となった場
合には、芯出しが終了したものとして、Ｓ０３２１から
このループを抜けて、このサブルーチンを終了する。そ
して、処理は、図９のルーチンに戻される。
ループ処理を繰り返した結果、両移動量が０となった場
合には、芯出しが終了したものとして、Ｓ０３２１から
このループを抜けて、このサブルーチンを終了する。そ
して、処理は、図９のルーチンに戻される。
【０１００】図９のルーチンでは、制御部４２は、次の
Ｓ０２０４において、ナイフエッジ回転制御回路４８に
対して原点復帰命令を発行する。この原点復帰命令に応
じたナイフエッジ２８ａの回転が終了すると、画像処理
部４１は、Ｓ０２０５において、この時点において被検
物撮像用ＣＣＤカメラ３０によって撮像された画像のデ
ータを入力して、Ｙ方向中心軸上に並んだ全ての画素の
輝度値からなる輝度断面データを抽出する（輝度データ
抽出手段に相当）。
Ｓ０２０４において、ナイフエッジ回転制御回路４８に
対して原点復帰命令を発行する。この原点復帰命令に応
じたナイフエッジ２８ａの回転が終了すると、画像処理
部４１は、Ｓ０２０５において、この時点において被検
物撮像用ＣＣＤカメラ３０によって撮像された画像のデ
ータを入力して、Ｙ方向中心軸上に並んだ全ての画素の
輝度値からなる輝度断面データを抽出する（輝度データ
抽出手段に相当）。
【０１０１】次のＳ０２０６では、画像処理部４１は、
Ｓ０２０６にて取得された輝度断面データに基づいて、
原点より上（座標位置ｙ1と原点０との間）の輝度値の
合計を算出し、算出した輝度値合計を制御部４２に通知
する。
Ｓ０２０６にて取得された輝度断面データに基づいて、
原点より上（座標位置ｙ1と原点０との間）の輝度値の
合計を算出し、算出した輝度値合計を制御部４２に通知
する。
【０１０２】次のＳ０２０７では、制御部４２は、現在
チャック１２に載置されているスプールＳ中の全レンズ
Ａに対してＳ０２０３乃至Ｓ０２０６の処理を実行した
か否かをチェックする。そして、未だ全てのレンズに対
して上記処理を実行していない場合には、制御部４２
は、Ｓ０２１３において、スプール回転制御回路５１に
対して、チャック１２を反時計方向に９０度回転するよ
うに指示する。スプール回転制御回路５１は、この指示
に応じてチャック１２を回転させ、２つ後のキャビティ
番号に対応するレンズを撮像レンズ３５の光軸ｌ中にセ
ットする。
チャック１２に載置されているスプールＳ中の全レンズ
Ａに対してＳ０２０３乃至Ｓ０２０６の処理を実行した
か否かをチェックする。そして、未だ全てのレンズに対
して上記処理を実行していない場合には、制御部４２
は、Ｓ０２１３において、スプール回転制御回路５１に
対して、チャック１２を反時計方向に９０度回転するよ
うに指示する。スプール回転制御回路５１は、この指示
に応じてチャック１２を回転させ、２つ後のキャビティ
番号に対応するレンズを撮像レンズ３５の光軸ｌ中にセ
ットする。
【０１０３】次のＳ０２１４では、制御部４２は、この
検査位置（奇数キャビティ検査位置又は偶数キャビティ
検査位置）においてチャック１２が１回転したかどうか
をチェックする。そして、一回転したと判定した場合
は、キャビティ番号が奇数である全てのレンズについて
の上記処理を実行し終えた場合であると判断することが
できる。従って、制御部４２は、Ｓ０２１５において、
一軸ロボット制御回路４９に対して移動ステージ４を偶
数キャビティ検査位置に移動させる指示をした後に、Ｓ
０２０３以下の処理を再実行する。これに対して、Ｓ０
２１４にて未だ一回転していないと判定した場合には、
制御部４２は、そのまま、Ｓ０２０３以下の処理を再実
行する。
検査位置（奇数キャビティ検査位置又は偶数キャビティ
検査位置）においてチャック１２が１回転したかどうか
をチェックする。そして、一回転したと判定した場合
は、キャビティ番号が奇数である全てのレンズについて
の上記処理を実行し終えた場合であると判断することが
できる。従って、制御部４２は、Ｓ０２１５において、
一軸ロボット制御回路４９に対して移動ステージ４を偶
数キャビティ検査位置に移動させる指示をした後に、Ｓ
０２０３以下の処理を再実行する。これに対して、Ｓ０
２１４にて未だ一回転していないと判定した場合には、
制御部４２は、そのまま、Ｓ０２０３以下の処理を再実
行する。
【０１０４】これに対して、Ｓ０２０３乃至Ｓ０２０６
の処理をスプールＳ中の全レンズＡに対して実行し終わ
ると、制御部４２は、Ｓ０２０８において、各レンズＡ
に毎にＳ０２０６にて算出された輝度値合計の大小を比
較して、各レンズの光軸方向における相対位置関係を割
り出す（相対位置認定手段に相当）。
の処理をスプールＳ中の全レンズＡに対して実行し終わ
ると、制御部４２は、Ｓ０２０８において、各レンズＡ
に毎にＳ０２０６にて算出された輝度値合計の大小を比
較して、各レンズの光軸方向における相対位置関係を割
り出す（相対位置認定手段に相当）。
【０１０５】次のＳ０２０９では、制御部４２は、Ｓ０
２０８にて求めた各レンズＡの光軸方向における相対位
置関係を、モニタ装置４５上に表示する（図３４乃至図
３６参照）（表示手段に相当）。
２０８にて求めた各レンズＡの光軸方向における相対位
置関係を、モニタ装置４５上に表示する（図３４乃至図
３６参照）（表示手段に相当）。
【０１０６】次のＳ０２１０では、制御部４２は、検査
データ登録に使用するキャビティ番号選択処理を実行す
る（選択手段に相当）。図１２は、このＳ０２１０で実
行されるキャビティ番号選択処理サブルーチンを示すフ
ローチャートである。
データ登録に使用するキャビティ番号選択処理を実行す
る（選択手段に相当）。図１２は、このＳ０２１０で実
行されるキャビティ番号選択処理サブルーチンを示すフ
ローチャートである。
【０１０７】このサブルーチンに入って最初のＳ０４０
１では、制御部４２は、キャビティ番号１を、基準キャ
ビティ番号（基準Ｃａｖ．）として設定する。次のＳ０
４０２では、制御部４２は、基準キャビティ番号に対応
するレンズについてＳ０２０６にて算出された輝度差合
計とそれ以外の各レンズについて算出された輝度差合計
との差分（絶対値）を各々算出し、算出された差分（絶
対値）の総和を求める。
１では、制御部４２は、キャビティ番号１を、基準キャ
ビティ番号（基準Ｃａｖ．）として設定する。次のＳ０
４０２では、制御部４２は、基準キャビティ番号に対応
するレンズについてＳ０２０６にて算出された輝度差合
計とそれ以外の各レンズについて算出された輝度差合計
との差分（絶対値）を各々算出し、算出された差分（絶
対値）の総和を求める。
【０１０８】次のＳ０４０３では、制御部４２は、Ｓ０
４０２にて求めた輝度差合計差分総和を、現時点での基
準キャビティ番号に対応する値として、図示せぬ内部メ
モリに登録する。
４０２にて求めた輝度差合計差分総和を、現時点での基
準キャビティ番号に対応する値として、図示せぬ内部メ
モリに登録する。
【０１０９】次のＳ０４０４では、制御部４２は、全て
のキャビティ番号について輝度差合計差分総和を求めた
か否かをチェックする。そして、未だ全てのキャビティ
番号についての輝度差合計差分総和が求まっていない場
合には、制御部４２は、Ｓ０４０５において次のキャビ
ティ番号を基準キャビティ番号として設定して、処理を
Ｓ０４０２に戻す。
のキャビティ番号について輝度差合計差分総和を求めた
か否かをチェックする。そして、未だ全てのキャビティ
番号についての輝度差合計差分総和が求まっていない場
合には、制御部４２は、Ｓ０４０５において次のキャビ
ティ番号を基準キャビティ番号として設定して、処理を
Ｓ０４０２に戻す。
【０１１０】これに対して、全てのキャビティ番号につ
いての輝度差合計差分総和が求まっている場合には、制
御部４２は、Ｓ０４０６において、図示せぬ内部メモリ
に格納されている輝度差合計差分総和のうち最も小さい
ものを選択し、この選択された輝度差合計差分総和に対
応するキャビティ番号を特定する。このようにしてキャ
ビティ番号が選択されると、処理が図９のルーチンに戻
される。
いての輝度差合計差分総和が求まっている場合には、制
御部４２は、Ｓ０４０６において、図示せぬ内部メモリ
に格納されている輝度差合計差分総和のうち最も小さい
ものを選択し、この選択された輝度差合計差分総和に対
応するキャビティ番号を特定する。このようにしてキャ
ビティ番号が選択されると、処理が図９のルーチンに戻
される。
【０１１１】図９のルーチンでは、制御部４２は、次の
Ｓ０２１１において、一軸ロボット制御回路４９及びス
プール回転制御回路５１に対して、Ｓ０４０６にて選択
されたキャビティ番号に対応するレンズＡを撮像レンズ
３５の光軸ｌ中にセットさせる。即ち、制御部４２は、
選択されたキャビティ番号が偶数である場合には、一軸
ロボット制御回路４９に対して、移動ステージ４を偶数
キャビティ検査位置へ移動させる指示を行う。次に、制
御部４２は、選択されたキャビティ番号に対応するレン
ズＡの現在位置を認識し、この位置から撮像レンズ３５
の光軸ｌまでの回転角を算出し、算出した回転角だけチ
ャック１２を回転させる指示をスプール回転制御回路５
１に与える。この指示に基づいてスプール回転制御回路
５１が選択されたキャビティ番号に対応するレンズＡを
撮像レンズ３５の光軸ｌ中にセットすると、操作者は、
このレンズＡを基準としてナイフエッジ２８ａの光軸方
向位置調整及び撮像レンズ３５のピント合わせを行う。
Ｓ０２１１において、一軸ロボット制御回路４９及びス
プール回転制御回路５１に対して、Ｓ０４０６にて選択
されたキャビティ番号に対応するレンズＡを撮像レンズ
３５の光軸ｌ中にセットさせる。即ち、制御部４２は、
選択されたキャビティ番号が偶数である場合には、一軸
ロボット制御回路４９に対して、移動ステージ４を偶数
キャビティ検査位置へ移動させる指示を行う。次に、制
御部４２は、選択されたキャビティ番号に対応するレン
ズＡの現在位置を認識し、この位置から撮像レンズ３５
の光軸ｌまでの回転角を算出し、算出した回転角だけチ
ャック１２を回転させる指示をスプール回転制御回路５
１に与える。この指示に基づいてスプール回転制御回路
５１が選択されたキャビティ番号に対応するレンズＡを
撮像レンズ３５の光軸ｌ中にセットすると、操作者は、
このレンズＡを基準としてナイフエッジ２８ａの光軸方
向位置調整及び撮像レンズ３５のピント合わせを行う。
【０１１２】操作者は、これらナイフエッジ２８ａの光
軸方向位置調整及び撮像レンズ３５のピント合わせを完
了すると、その旨をキーボード４３を介して制御部４２
に入力する。制御部４２は、Ｓ０２１２においてこの通
知の入力を待ち、入力があった場合には、処理を図８の
ルーチンに戻す。
軸方向位置調整及び撮像レンズ３５のピント合わせを完
了すると、その旨をキーボード４３を介して制御部４２
に入力する。制御部４２は、Ｓ０２１２においてこの通
知の入力を待ち、入力があった場合には、処理を図８の
ルーチンに戻す。
【０１１３】図８のルーチンでは、制御部４２は、次の
Ｓ０１０２において、Ｓ０４０６にて選択されたキャビ
ティ番号を、Ｓ０００８にて入力された識別番号に対応
するものとして、外部メモリ４４に登録する。
Ｓ０１０２において、Ｓ０４０６にて選択されたキャビ
ティ番号を、Ｓ０００８にて入力された識別番号に対応
するものとして、外部メモリ４４に登録する。
【０１１４】次のＳ０１０３では、制御部４２は、ナイ
フエッジ芯出テーブル（Ｙ軸）作成処理を実行する。図
１３は、このＳ０１０３にて実行されるナイフエッジ芯
出テーブル（Ｙ軸）作成処理サブルーチンを示すフロー
チャートである。このサブルーチンに入って最初のＳ０
５０１では、制御部４２は、手動芯出しのための処理を
実行する。この処理においては、制御部４２は、画像処
理部４１から転送された被検物撮像用ＣＣＤカメラ３０
による画像をそのままモニタ装置４５上に表示するとと
もに、この画像中のＹ方向中心軸上の輝度分布グラフ及
びＸ方向中心軸上の輝度分布グラフをモニタ装置４５上
に表示する。操作者は、この画像を見ながら摘み２２を
回転させて、遮光板２８のこう軸方向位置を所定の位置
（レンズＡの焦点と同じ光軸方向位置）に調整し、その
調整後において、Ｘステージ５及びＹステージ９の送り
ネジ６を回転させて、レンズＡの芯出しを行う。この芯
出しが完了したかどうかは、ナイフエッジ２８ａを１８
０°回転させた前と後において各輝度分布グラフの輝度
断面の面積が同じであるか否かにより、確認される。撮
影者は、この自動芯出しを完了すると、キーボード４３
を介してその旨を制御部４２に入力する。制御部４２
は、この手動芯出完了通知が入力されると、処理をＳ０
５０２に進める。
フエッジ芯出テーブル（Ｙ軸）作成処理を実行する。図
１３は、このＳ０１０３にて実行されるナイフエッジ芯
出テーブル（Ｙ軸）作成処理サブルーチンを示すフロー
チャートである。このサブルーチンに入って最初のＳ０
５０１では、制御部４２は、手動芯出しのための処理を
実行する。この処理においては、制御部４２は、画像処
理部４１から転送された被検物撮像用ＣＣＤカメラ３０
による画像をそのままモニタ装置４５上に表示するとと
もに、この画像中のＹ方向中心軸上の輝度分布グラフ及
びＸ方向中心軸上の輝度分布グラフをモニタ装置４５上
に表示する。操作者は、この画像を見ながら摘み２２を
回転させて、遮光板２８のこう軸方向位置を所定の位置
（レンズＡの焦点と同じ光軸方向位置）に調整し、その
調整後において、Ｘステージ５及びＹステージ９の送り
ネジ６を回転させて、レンズＡの芯出しを行う。この芯
出しが完了したかどうかは、ナイフエッジ２８ａを１８
０°回転させた前と後において各輝度分布グラフの輝度
断面の面積が同じであるか否かにより、確認される。撮
影者は、この自動芯出しを完了すると、キーボード４３
を介してその旨を制御部４２に入力する。制御部４２
は、この手動芯出完了通知が入力されると、処理をＳ０
５０２に進める。
【０１１５】図１４は、このＳ０５０２にて実行される
Ｙ方向輝度差測定処理サブルーチンを示すフローチャー
トである。このサブルーチンに入って最初のＳ０６０１
では、制御部４２は、ナイフエッジ回転制御回路４８に
対して原点復帰命令を発行する。ナイフエッジ回転制御
回路４８は、この原点復帰命令を受けると、ナイフエッ
ジ回転用パルスモータ２４を駆動して、ナイフエッジ２
８ａの回転位置を原点に復帰させる。
Ｙ方向輝度差測定処理サブルーチンを示すフローチャー
トである。このサブルーチンに入って最初のＳ０６０１
では、制御部４２は、ナイフエッジ回転制御回路４８に
対して原点復帰命令を発行する。ナイフエッジ回転制御
回路４８は、この原点復帰命令を受けると、ナイフエッ
ジ回転用パルスモータ２４を駆動して、ナイフエッジ２
８ａの回転位置を原点に復帰させる。
【０１１６】次のＳ０６０２では、制御部４２は、Ｓ０
６０１での原点復帰命令に応じたナイフエッジ２８ａの
回転が終了するのを待つ。次のＳ０６０３では、画像処
理部４１は、この時点において被検物撮像用ＣＣＤカメ
ラ３０によって撮像された画像のデータを入力する。
６０１での原点復帰命令に応じたナイフエッジ２８ａの
回転が終了するのを待つ。次のＳ０６０３では、画像処
理部４１は、この時点において被検物撮像用ＣＣＤカメ
ラ３０によって撮像された画像のデータを入力する。
【０１１７】次のＳ０６０４では、画像処理部４１は、
座標位置ｙ1と座標位置ｙ2との間でＹ方向に並んだ全て
の画素の輝度値の総和（積分値）ＹAを求める。次のＳ
０６０５では、制御部４２は、ナイフエッジ回転制御回
路４８に対して１８０度回転命令を発行する。ナイフエ
ッジ回転制御回路４８は、この１８０度回転命令を受け
ると、ナイフエッジ回転用パルスモータ２４を駆動し
て、ナイフエッジ２８ａを時計方向に１８０度回転させ
る。
座標位置ｙ1と座標位置ｙ2との間でＹ方向に並んだ全て
の画素の輝度値の総和（積分値）ＹAを求める。次のＳ
０６０５では、制御部４２は、ナイフエッジ回転制御回
路４８に対して１８０度回転命令を発行する。ナイフエ
ッジ回転制御回路４８は、この１８０度回転命令を受け
ると、ナイフエッジ回転用パルスモータ２４を駆動し
て、ナイフエッジ２８ａを時計方向に１８０度回転させ
る。
【０１１８】次のＳ０６０６では、制御部４２は、Ｓ０
６０５での１８０度回転命令に応じたナイフエッジ２８
ａの回転が終了するのを待つ。この回転が終了すると、
ナイフエッジ２８ａの向きが光軸ｌに対して反転するこ
とになる。
６０５での１８０度回転命令に応じたナイフエッジ２８
ａの回転が終了するのを待つ。この回転が終了すると、
ナイフエッジ２８ａの向きが光軸ｌに対して反転するこ
とになる。
【０１１９】次のＳ０６０７では、画像処理部４１は、
この時点において被検物撮像用ＣＣＤカメラ３０によっ
て撮像された画像のデータを入力する。次のＳ０６０８
では、画像処理部４１は、座標位置ｙ1と座標位置ｙ2と
の間でＹ方向に並んだ全ての画素の輝度値の総和ＹBを
求める。
この時点において被検物撮像用ＣＣＤカメラ３０によっ
て撮像された画像のデータを入力する。次のＳ０６０８
では、画像処理部４１は、座標位置ｙ1と座標位置ｙ2と
の間でＹ方向に並んだ全ての画素の輝度値の総和ＹBを
求める。
【０１２０】次のＳ０６０９では、画像処理部４１は、
Ｓ０６０４にて算出した輝度値総和ＹAからＳ０６０８
にて算出した輝度値総和ＹBを減算することによって
「輝度差」を算出し、算出された「輝度差」を制御部４
２に通知する。このステップの実行が完了すると、処理
が図１３のルーチンに戻される。
Ｓ０６０４にて算出した輝度値総和ＹAからＳ０６０８
にて算出した輝度値総和ＹBを減算することによって
「輝度差」を算出し、算出された「輝度差」を制御部４
２に通知する。このステップの実行が完了すると、処理
が図１３のルーチンに戻される。
【０１２１】図１３のルーチンでは、制御部４２は、次
のＳ０５０３において、この図１３に処理が入ってから
のＳ０５０２の実行回数が５０回に達したか否かをチェ
ックする。そして、未だ５０回に達していない場合に
は、制御部４２は、Ｘ／Ｙステージ制御回路５０に対し
て、検査対象レンズＡをＹ方向に＋１０μｍ移動させる
指示を行う。この指示を受けたＸ／Ｙステージ制御回路
５０は、Ｙステージ用パルスモータ１０を駆動して、作
業テーブル１１を＋Ｙ方向（図１において奥側）に１０
μｍ移動させる。この移動が完了すると、制御部４２
は、再度Ｓ０５０２のＹ方向輝度差測定処理を実行す
る。
のＳ０５０３において、この図１３に処理が入ってから
のＳ０５０２の実行回数が５０回に達したか否かをチェ
ックする。そして、未だ５０回に達していない場合に
は、制御部４２は、Ｘ／Ｙステージ制御回路５０に対し
て、検査対象レンズＡをＹ方向に＋１０μｍ移動させる
指示を行う。この指示を受けたＸ／Ｙステージ制御回路
５０は、Ｙステージ用パルスモータ１０を駆動して、作
業テーブル１１を＋Ｙ方向（図１において奥側）に１０
μｍ移動させる。この移動が完了すると、制御部４２
は、再度Ｓ０５０２のＹ方向輝度差測定処理を実行す
る。
【０１２２】以上のループ処理を繰り返した結果Ｓ０５
０２の実行回数が５０回に達した場合には、制御部４２
は、Ｓ０５０５において、画像処理部４１にて測定され
た「輝度差」をグラフ（図３０参照）にプロットする。
０２の実行回数が５０回に達した場合には、制御部４２
は、Ｓ０５０５において、画像処理部４１にて測定され
た「輝度差」をグラフ（図３０参照）にプロットする。
【０１２３】次のＳ０５０６では、制御部４２は、Ｓ０
５０５にて作成したグラフに基づいて、各輝度差に対応
する移動量を夫々求める。そして、各移動量［単位：μ
ｍ］をパルス数（移動量）に変換する。即ち、本実施形
態におけるＹステージ９は、Ｘ／Ｙステージ制御回路５
０からの駆動パルスを一個受ける毎に、検査対象レンズ
ＡをＹ方向に１０μｍずつ移動させる。従って、各移動
量の値を１／１０にすることにより、対応するパルス数
［単位：個］を求めることができるのである。
５０５にて作成したグラフに基づいて、各輝度差に対応
する移動量を夫々求める。そして、各移動量［単位：μ
ｍ］をパルス数（移動量）に変換する。即ち、本実施形
態におけるＹステージ９は、Ｘ／Ｙステージ制御回路５
０からの駆動パルスを一個受ける毎に、検査対象レンズ
ＡをＹ方向に１０μｍずつ移動させる。従って、各移動
量の値を１／１０にすることにより、対応するパルス数
［単位：個］を求めることができるのである。
【０１２４】次のＳ０５０７では、制御部４２は、Ｓ０
５０６にて求めた輝度差と移動量との組み合わせを、テ
ーブルの形式にまとめる。図３１に示すように、このテ
ーブル（Ｙ方向用のナイフエッジ芯出テーブル）は、
「輝度差／６４」の値をテーブルアドレスとして用い
る。なお、このように作成されたＹ方向用のナイフエッ
ジ芯出テーブルは、図３０に示されるように、輝度差と
ズレとの関係が原点を中心に回転対称の特性を示すこと
から、−Ｙ方向のズレに対しても代用される。
５０６にて求めた輝度差と移動量との組み合わせを、テ
ーブルの形式にまとめる。図３１に示すように、このテ
ーブル（Ｙ方向用のナイフエッジ芯出テーブル）は、
「輝度差／６４」の値をテーブルアドレスとして用い
る。なお、このように作成されたＹ方向用のナイフエッ
ジ芯出テーブルは、図３０に示されるように、輝度差と
ズレとの関係が原点を中心に回転対称の特性を示すこと
から、−Ｙ方向のズレに対しても代用される。
【０１２５】次のＳ０５０８では、制御部４２は、Ｓ０
５０７にて作成したテーブルを、Ｓ０００８にて入力し
た識別番号に関連させて外部メモリ４４に登録する。次
のＳ０５０９では、制御部４２は、Ｘ／Ｙステージ制御
回路５０に対して、検査対象レンズＡをＹ方向に−５０
０μｍ移動させる指示を行う。この指示を受けたＸ／Ｙ
ステージ制御回路５０は、Ｙステージ用パルスモータ１
０を駆動して、作業テーブル１１を元の位置に戻す。こ
の移動が完了すると、処理が図８のルーチンに戻され
る。図８のルーチンでは、制御部４２は、次のＳ０１０
４において、ナイフエッジ芯出テーブル（Ｘ軸）作成処
理を実行する。図１５は、このＳ０１０４にて実行され
るナイフエッジ芯出テーブル（Ｘ軸）作成処理サブルー
チンを示すフローチャートである。このナイフエッジ芯
出テーブル（Ｘ軸）作成処理サブルーチンは、対象がＸ
方向となる事を除いて、図１３のナイフエッジ芯出テー
ブル（Ｙ軸）作成処理サブルーチンと全く同様であるの
で、その説明を省略する。図１６は、このナイフエッジ
芯出テーブル（Ｘ軸）作成処理サブルーチン中のＳ０７
０２において実行されるＸ方向輝度差測定処理サブルー
チンを示すフローチャートである。このＸ方向輝度差測
定処理サブルーチンは、Ｓ０８０１の原点復帰命令発行
後のＳ０８０２において制御部４２がナイフエッジ回転
制御回路４８に対して９０°（時計方向）回転命令を発
行する事を除いて、図１４のＹ方向輝度差測定処理サブ
ルーチンと全く同様であるので、その説明を省略する。
Ｓ０１０４のナイフエッジ芯出テーブル（Ｘ軸）作成処
理が実行されると、Ｘ方向用のナイフエッジ芯出テーブ
ルが作成されて（Ｓ０７０７）、外部メモリ４４に格納
される（Ｓ０７０８）。このようにしてナイフエッジ芯
出テーブル（Ｘ軸）作成処理が完了すると、処理が図６
のメインルーチンに戻される。
５０７にて作成したテーブルを、Ｓ０００８にて入力し
た識別番号に関連させて外部メモリ４４に登録する。次
のＳ０５０９では、制御部４２は、Ｘ／Ｙステージ制御
回路５０に対して、検査対象レンズＡをＹ方向に−５０
０μｍ移動させる指示を行う。この指示を受けたＸ／Ｙ
ステージ制御回路５０は、Ｙステージ用パルスモータ１
０を駆動して、作業テーブル１１を元の位置に戻す。こ
の移動が完了すると、処理が図８のルーチンに戻され
る。図８のルーチンでは、制御部４２は、次のＳ０１０
４において、ナイフエッジ芯出テーブル（Ｘ軸）作成処
理を実行する。図１５は、このＳ０１０４にて実行され
るナイフエッジ芯出テーブル（Ｘ軸）作成処理サブルー
チンを示すフローチャートである。このナイフエッジ芯
出テーブル（Ｘ軸）作成処理サブルーチンは、対象がＸ
方向となる事を除いて、図１３のナイフエッジ芯出テー
ブル（Ｙ軸）作成処理サブルーチンと全く同様であるの
で、その説明を省略する。図１６は、このナイフエッジ
芯出テーブル（Ｘ軸）作成処理サブルーチン中のＳ０７
０２において実行されるＸ方向輝度差測定処理サブルー
チンを示すフローチャートである。このＸ方向輝度差測
定処理サブルーチンは、Ｓ０８０１の原点復帰命令発行
後のＳ０８０２において制御部４２がナイフエッジ回転
制御回路４８に対して９０°（時計方向）回転命令を発
行する事を除いて、図１４のＹ方向輝度差測定処理サブ
ルーチンと全く同様であるので、その説明を省略する。
Ｓ０１０４のナイフエッジ芯出テーブル（Ｘ軸）作成処
理が実行されると、Ｘ方向用のナイフエッジ芯出テーブ
ルが作成されて（Ｓ０７０７）、外部メモリ４４に格納
される（Ｓ０７０８）。このようにしてナイフエッジ芯
出テーブル（Ｘ軸）作成処理が完了すると、処理が図６
のメインルーチンに戻される。
【０１２６】図６のメインルーチンでは、Ｓ００１３の
検査データ登録処理が完了すると、処理がＳ００１４に
進められる。Ｓ００１４では、制御部４２は、一軸ロボ
ット制御回路４９に対し、移動ステージ４を奇数キャビ
ティ検査位置に移動させる指示をする。
検査データ登録処理が完了すると、処理がＳ００１４に
進められる。Ｓ００１４では、制御部４２は、一軸ロボ
ット制御回路４９に対し、移動ステージ４を奇数キャビ
ティ検査位置に移動させる指示をする。
【０１２７】次のＳ００１５では、制御部４２は、自動
芯出し処理２を実行する。図１７及び図１８は、このＳ
００１５で実行される自動芯出処理２のサブルーチンを
示すフローチャートである。このサブルーチンにおける
Ｓ０９０１乃至Ｓ０９１４の処理は、図１０及び図１１
の自動芯出処理２におけるＳ０３０１乃至Ｓ０３１４の
処理と全く同じなので、その説明を省略する。
芯出し処理２を実行する。図１７及び図１８は、このＳ
００１５で実行される自動芯出処理２のサブルーチンを
示すフローチャートである。このサブルーチンにおける
Ｓ０９０１乃至Ｓ０９１４の処理は、図１０及び図１１
の自動芯出処理２におけるＳ０３０１乃至Ｓ０３１４の
処理と全く同じなので、その説明を省略する。
【０１２８】Ｓ０９１５では、制御部４２は、画像処理
部４１から通知された「輝度差」の絶対値に基づいて、
Ｓ００１０にて読み出したＹ方向用のナイフエッジ芯出
テーブル又はＳ０５０７に作成したＹ方向用のナイフエ
ッジ芯出テーブルを参照して、対応する移動量（パルス
数）ΔＹを求める。それとともに、その「輝度差」の極
性を反転した極性をこの移動量ΔＹに付す。このように
求めた値＋／−ΔＹは、Ｙ方向の光軸ズレを相殺するた
めの移動量（パルス数）及び移動方向を示す。なお、Ｓ
０９１３乃至Ｓ０９１５までの処理の実行中でも、ナイ
フエッジ回転制御回路４８はナイフエッジ回転用パルス
モータ２４の駆動を継続する。
部４１から通知された「輝度差」の絶対値に基づいて、
Ｓ００１０にて読み出したＹ方向用のナイフエッジ芯出
テーブル又はＳ０５０７に作成したＹ方向用のナイフエ
ッジ芯出テーブルを参照して、対応する移動量（パルス
数）ΔＹを求める。それとともに、その「輝度差」の極
性を反転した極性をこの移動量ΔＹに付す。このように
求めた値＋／−ΔＹは、Ｙ方向の光軸ズレを相殺するた
めの移動量（パルス数）及び移動方向を示す。なお、Ｓ
０９１３乃至Ｓ０９１５までの処理の実行中でも、ナイ
フエッジ回転制御回路４８はナイフエッジ回転用パルス
モータ２４の駆動を継続する。
【０１２９】次のＳ０９１６では、制御部４２は、Ｓ０
９１２の９０度回転命令に応じたナイフエッジ２８ａの
回転が終了するのを待つ。この回転が終了すると、ナイ
フエッジ２８ａが図１の紙面に直交する方向（Ｙ方向）
を向き、遮光板２８自体が図１及び図２の右側に位置す
るようになる。
９１２の９０度回転命令に応じたナイフエッジ２８ａの
回転が終了するのを待つ。この回転が終了すると、ナイ
フエッジ２８ａが図１の紙面に直交する方向（Ｙ方向）
を向き、遮光板２８自体が図１及び図２の右側に位置す
るようになる。
【０１３０】次のＳ０９１７では、画像処理部４１は、
この時点において被検物撮像用ＣＣＤカメラ３０によっ
て撮像された画像のデータを入力する。次のＳ０９１８
では、画像処理部４１は、Ｓ０９１７にて入力した画像
のデータに基づいて、座標位置ｘ1と座標位置ｘ2との間
でＸ方向に並んだ全ての画素の輝度値の総和（積分値）
ＸBを求める。
この時点において被検物撮像用ＣＣＤカメラ３０によっ
て撮像された画像のデータを入力する。次のＳ０９１８
では、画像処理部４１は、Ｓ０９１７にて入力した画像
のデータに基づいて、座標位置ｘ1と座標位置ｘ2との間
でＸ方向に並んだ全ての画素の輝度値の総和（積分値）
ＸBを求める。
【０１３１】次のＳ０９１９では、画像処理部４１は、
Ｓ０９０９にて算出した輝度値総和ＸAからＳ０９１８
にて算出した輝度値総和ＸBを減算することによって
「輝度差」を算出し、算出された「輝度差」を制御部４
２に通知する。
Ｓ０９０９にて算出した輝度値総和ＸAからＳ０９１８
にて算出した輝度値総和ＸBを減算することによって
「輝度差」を算出し、算出された「輝度差」を制御部４
２に通知する。
【０１３２】次のＳ０９２０では、制御部４２は、画像
処理部４１から通知された「輝度差」の絶対値に基づい
て、Ｓ００１０にて読み出したＸ方向用のナイフエッジ
芯出テーブル又はＳ０７０７に作成したＸ方向用のナイ
フエッジ芯出テーブルを参照して、対応する移動量（パ
ルス数）ΔＸを求める。それとともに、その「輝度差」
の極性を反転した極性をこの移動量ΔＸに付す。このよ
うに求めた値＋／−ΔＸは、Ｘ方向の光軸ズレを相殺す
るための移動量（パルス数）及び移動方向を示す。
処理部４１から通知された「輝度差」の絶対値に基づい
て、Ｓ００１０にて読み出したＸ方向用のナイフエッジ
芯出テーブル又はＳ０７０７に作成したＸ方向用のナイ
フエッジ芯出テーブルを参照して、対応する移動量（パ
ルス数）ΔＸを求める。それとともに、その「輝度差」
の極性を反転した極性をこの移動量ΔＸに付す。このよ
うに求めた値＋／−ΔＸは、Ｘ方向の光軸ズレを相殺す
るための移動量（パルス数）及び移動方向を示す。
【０１３３】次のＳ０９２１では、制御部４２は、Ｘ／
Ｙステージ制御回路５０に対して、光学部材Ａ，ＢをＸ
方向にΔＸだけ移動させるとともにＹ方向にΔＹだけ移
動させるよう、命令する。この命令に応じてＸ／Ｙステ
ージ制御回路５０が作業テーブル１１を光軸ｌに直交す
る面内で移動させると、検査対象レンズＡの芯出しがな
されるのである。このステップが完了すると、処理が図
７のメインルーチンに戻される。
Ｙステージ制御回路５０に対して、光学部材Ａ，ＢをＸ
方向にΔＸだけ移動させるとともにＹ方向にΔＹだけ移
動させるよう、命令する。この命令に応じてＸ／Ｙステ
ージ制御回路５０が作業テーブル１１を光軸ｌに直交す
る面内で移動させると、検査対象レンズＡの芯出しがな
されるのである。このステップが完了すると、処理が図
７のメインルーチンに戻される。
【０１３４】図７のメインルーチンでは、画像処理部４
１は、次のＳ００１６において、被検物撮像用ＣＣＤカ
メラ３０から入力された画像データを構成する各画素
（ピクセル）の輝度を２５６階調の数値情報に変換し、
夫々第１メモリ４１ａに書き込む。
１は、次のＳ００１６において、被検物撮像用ＣＣＤカ
メラ３０から入力された画像データを構成する各画素
（ピクセル）の輝度を２５６階調の数値情報に変換し、
夫々第１メモリ４１ａに書き込む。
【０１３５】次のＳ００１７では、画像処理部４１は、
第１メモリ４１ａに書き込まれた各数値情報を順番に走
査して、微分処理を行う。即ち、画像中における左上の
画素から右下の画素に向けて順番に各画素の数値をチェ
ックする。そして、チェック対象画素の数値とこれの左
隣の画素の数値及び上側に隣接する画素の数値とを比較
し、それら数値の差の絶対値を、このチェック対象画素
の微分値［０〜２５５］とする。このように得られた微
分値に変換された画像データでは、検査対象レンズＡの
光学的欠陥がある部分の輪郭，及びナイフエッジ２８ａ
の縁だけが濃度の高い画像となる。
第１メモリ４１ａに書き込まれた各数値情報を順番に走
査して、微分処理を行う。即ち、画像中における左上の
画素から右下の画素に向けて順番に各画素の数値をチェ
ックする。そして、チェック対象画素の数値とこれの左
隣の画素の数値及び上側に隣接する画素の数値とを比較
し、それら数値の差の絶対値を、このチェック対象画素
の微分値［０〜２５５］とする。このように得られた微
分値に変換された画像データでは、検査対象レンズＡの
光学的欠陥がある部分の輪郭，及びナイフエッジ２８ａ
の縁だけが濃度の高い画像となる。
【０１３６】次のＳ００１８では、画像処理部４１は、
画像合成処理を実行する。即ち、Ｓ００１７にて得られ
た各微分値を、第２メモリ４１ｂに書き込む。この際、
前回のループ処理でのＳ００１８の結果として前回の画
像の微分値が第２メモリ４１ｂに書き込まれている場合
には、第２メモリ４１ｂに既に書き込まれている各微分
値を取り出し、今回のループ処理でのＳ００１７におい
て得られた各微分値を加算した後に、第２メモリ４１ｂ
に上書きする。
画像合成処理を実行する。即ち、Ｓ００１７にて得られ
た各微分値を、第２メモリ４１ｂに書き込む。この際、
前回のループ処理でのＳ００１８の結果として前回の画
像の微分値が第２メモリ４１ｂに書き込まれている場合
には、第２メモリ４１ｂに既に書き込まれている各微分
値を取り出し、今回のループ処理でのＳ００１７におい
て得られた各微分値を加算した後に、第２メモリ４１ｂ
に上書きする。
【０１３７】次のＳ００１９では、制御部４２は、Ｓ０
０１６以下の処理を開始した始めた後にナイフエッジ２
８ａが一回転したか否かをチェックする。そして、未だ
一回転していない場合には、Ｓ００２０において、ナイ
フエッジ回転制御回路４８に対してナイフエッジ２８ａ
を２２．５度回転させる命令をする。この回転後の画像
データが被検物撮像用ＣＣＤカメラ３０から入力された
場合には、処理がＳ００１６に戻され、この新たな画像
データに対する処理が実行される。
０１６以下の処理を開始した始めた後にナイフエッジ２
８ａが一回転したか否かをチェックする。そして、未だ
一回転していない場合には、Ｓ００２０において、ナイ
フエッジ回転制御回路４８に対してナイフエッジ２８ａ
を２２．５度回転させる命令をする。この回転後の画像
データが被検物撮像用ＣＣＤカメラ３０から入力された
場合には、処理がＳ００１６に戻され、この新たな画像
データに対する処理が実行される。
【０１３８】このようにナイフエッジ２８ａを若干量づ
つ回転させて（Ｓ００２０）得られた画像データを累積
する（Ｓ００１８）ようにしたのは、次の理由による。
即ち、直線状のナイフエッジ２８ａを光路に挿入する
と、ナイフエッジ２８ａの方向と平行な方向における異
常成分は最も良く検出され得るが、ナイフエッジ２８ａ
の方向と直交する方向における異常成分はあまり良く検
出されない。そのため、ナイフエッジ２８ａ自体を光軸
ｌに直交する面内で回転させて、あらゆる方向における
異常成分を全て検出して、同一の画像上に合成している
のである。また、この結果、次の効果も得られる。即
ち、ナイフエッジ２８ａを停止させた場合の画像では、
図２１に示すように、光学的欠陥部分の縁（図２１中央
の円弧部分）の他にナイフエッジ２８ａの縁（図２１中
央の左右に延びる白黒の境界線）γも、濃淡が急激に変
化している箇所として映し出される。このナイフエッジ
２８ａの縁γは、本来検出が求められている光学的欠陥
部分の縁自体ではないので、検出されないことが望まし
い。そこで、ナイフエッジ２８ａを回転させると、光学
的欠陥部分の縁の位置が不動であるのに対して、ナイフ
エッジ２８ａの縁は回転する。従って、画像合成処理を
すると、光学的欠陥部分の縁が益々強調されるのに対し
て、ナイフエッジ２８ａの縁は光学的欠陥部分の閉領域
（縁によって囲まれている部分）内において面状に平均
化されるので、境界線としては認識されなくなるのであ
る。
つ回転させて（Ｓ００２０）得られた画像データを累積
する（Ｓ００１８）ようにしたのは、次の理由による。
即ち、直線状のナイフエッジ２８ａを光路に挿入する
と、ナイフエッジ２８ａの方向と平行な方向における異
常成分は最も良く検出され得るが、ナイフエッジ２８ａ
の方向と直交する方向における異常成分はあまり良く検
出されない。そのため、ナイフエッジ２８ａ自体を光軸
ｌに直交する面内で回転させて、あらゆる方向における
異常成分を全て検出して、同一の画像上に合成している
のである。また、この結果、次の効果も得られる。即
ち、ナイフエッジ２８ａを停止させた場合の画像では、
図２１に示すように、光学的欠陥部分の縁（図２１中央
の円弧部分）の他にナイフエッジ２８ａの縁（図２１中
央の左右に延びる白黒の境界線）γも、濃淡が急激に変
化している箇所として映し出される。このナイフエッジ
２８ａの縁γは、本来検出が求められている光学的欠陥
部分の縁自体ではないので、検出されないことが望まし
い。そこで、ナイフエッジ２８ａを回転させると、光学
的欠陥部分の縁の位置が不動であるのに対して、ナイフ
エッジ２８ａの縁は回転する。従って、画像合成処理を
すると、光学的欠陥部分の縁が益々強調されるのに対し
て、ナイフエッジ２８ａの縁は光学的欠陥部分の閉領域
（縁によって囲まれている部分）内において面状に平均
化されるので、境界線としては認識されなくなるのであ
る。
【０１３９】以上のようにループ処理を繰り返した結果
ナイフエッジ２８ａが１回転すると（即ち、ナイフエッ
ジ２８ａの２２．５度づつの回転が１６回繰り返される
と）、Ｓ００１９からこのループ処理を抜けて、処理は
Ｓ００２１に進む。
ナイフエッジ２８ａが１回転すると（即ち、ナイフエッ
ジ２８ａの２２．５度づつの回転が１６回繰り返される
と）、Ｓ００１９からこのループ処理を抜けて、処理は
Ｓ００２１に進む。
【０１４０】図１９は、このＳ００２１において実行さ
れる検査対象領域抽出処理サブルーチンの内容を示すフ
ローチャートである。このサブルーチンに入って最初の
Ｓ１００１では、画像処理部４１は、二値化処理を行
う。この二値化処理とは、第２メモリ４１ｂ内の画像デ
ータの各画素に対応する数値情報が所定の閾値を超えて
いればその数値情報を２５５（白）に置き換え、超えて
いなければ０（黒）に置き換える処理である。この閾値
は、検査対象レンズＡの外縁αが途切れることなく白
（２５５）の閉曲線として残し得るような値に、設定さ
れている。
れる検査対象領域抽出処理サブルーチンの内容を示すフ
ローチャートである。このサブルーチンに入って最初の
Ｓ１００１では、画像処理部４１は、二値化処理を行
う。この二値化処理とは、第２メモリ４１ｂ内の画像デ
ータの各画素に対応する数値情報が所定の閾値を超えて
いればその数値情報を２５５（白）に置き換え、超えて
いなければ０（黒）に置き換える処理である。この閾値
は、検査対象レンズＡの外縁αが途切れることなく白
（２５５）の閉曲線として残し得るような値に、設定さ
れている。
【０１４１】次のＳ１００２では、画像処理部４１は、
閉領域抽出処理を実行する。この閉領域抽出処理とは、
閉じた白線によって囲まれている領域のみを抽出する処
理である。具体的には、Ｓ１００１により二値化された
画像データを構成する黒い画素［０］のうち、白い画素
［２５５］によって取り囲まれているものを閉領域内の
画素とみなす。そして、この閉領域内のものと見なされ
た全画素の数値を２５５とし、それ以外の全画素の数値
を０とする。
閉領域抽出処理を実行する。この閉領域抽出処理とは、
閉じた白線によって囲まれている領域のみを抽出する処
理である。具体的には、Ｓ１００１により二値化された
画像データを構成する黒い画素［０］のうち、白い画素
［２５５］によって取り囲まれているものを閉領域内の
画素とみなす。そして、この閉領域内のものと見なされ
た全画素の数値を２５５とし、それ以外の全画素の数値
を０とする。
【０１４２】次のＳ１００３では、画像処理部４１は、
穴埋め処理を実行する。この穴埋め処理とは、白い画素
［２５５］の中に残された黒い画素［０］を消去するた
めの処理である。具体的には、Ｓ１００２によって得ら
れた画像データを構成する黒い画素［０］のうち、白い
画素［２５５］によって取り囲まれているものの数値を
２５５とする。
穴埋め処理を実行する。この穴埋め処理とは、白い画素
［２５５］の中に残された黒い画素［０］を消去するた
めの処理である。具体的には、Ｓ１００２によって得ら
れた画像データを構成する黒い画素［０］のうち、白い
画素［２５５］によって取り囲まれているものの数値を
２５５とする。
【０１４３】次のＳ１００４では、画像処理部４１は、
領域選択処理を実行する。この領域選択処理とは、本来
必要とされる領域のみを有効とするとともに、ゲートの
一部等に基づいて抽出されたそれ以外の閉領域を削除す
るための処理である。具体的には、画像処理部４１は、
Ｓ１００３によって得られた画像データに含まれる各閉
領域のうち、画面中央に位置する閉領域はそのままと
し、それ以外の全閉領域を構成する全画素の数値を０と
する。この領域選択処理の結果得られる画像データのこ
とを、以下「マスク画像」という。
領域選択処理を実行する。この領域選択処理とは、本来
必要とされる領域のみを有効とするとともに、ゲートの
一部等に基づいて抽出されたそれ以外の閉領域を削除す
るための処理である。具体的には、画像処理部４１は、
Ｓ１００３によって得られた画像データに含まれる各閉
領域のうち、画面中央に位置する閉領域はそのままと
し、それ以外の全閉領域を構成する全画素の数値を０と
する。この領域選択処理の結果得られる画像データのこ
とを、以下「マスク画像」という。
【０１４４】次のＳ１００５では、画像処理部４１は、
マスク画像を構成する各画素の値（８ビットパラレルの
デジタル値）と第２メモリ４１ｂに書き込まれている各
画素の値（８ビットパラレルのデジタル値）とをＡＮＤ
演算する。このＡＮＤ演算処理の結果、第２メモリ４１
ｂに書き込まれた画像データのうち、マスク画像の白い
画素［２５５］の領域に対応する部分のみがそのまま残
され、他の部分の画素の数値は全て０となる。
マスク画像を構成する各画素の値（８ビットパラレルの
デジタル値）と第２メモリ４１ｂに書き込まれている各
画素の値（８ビットパラレルのデジタル値）とをＡＮＤ
演算する。このＡＮＤ演算処理の結果、第２メモリ４１
ｂに書き込まれた画像データのうち、マスク画像の白い
画素［２５５］の領域に対応する部分のみがそのまま残
され、他の部分の画素の数値は全て０となる。
【０１４５】以上により、良品又は不良品の判定に用い
られる画像データが得られるので、このサブルーチンを
終了して、図７のメインルーチンに処理が戻される。図
７においてＳ００２１の次に実行されるＳ００２２で
は、画像処理部４１は、Ｓ００２１の結果抽出された画
像データを構成する各画素の数値を、引き目ノイズが抽
出されないレベルに設定された閾値と比較し、二値化
（２５５：白，又は、０：黒）する。即ち、画像データ
を構成する各画素の数値が閾値よりも大きければ（明る
ければ）その数値を２５５に置き換え、画像データを構
成する各画素の数値が閾値よりも小さければ（暗けれ
ば）数値を０に置き換える。
られる画像データが得られるので、このサブルーチンを
終了して、図７のメインルーチンに処理が戻される。図
７においてＳ００２１の次に実行されるＳ００２２で
は、画像処理部４１は、Ｓ００２１の結果抽出された画
像データを構成する各画素の数値を、引き目ノイズが抽
出されないレベルに設定された閾値と比較し、二値化
（２５５：白，又は、０：黒）する。即ち、画像データ
を構成する各画素の数値が閾値よりも大きければ（明る
ければ）その数値を２５５に置き換え、画像データを構
成する各画素の数値が閾値よりも小さければ（暗けれ
ば）数値を０に置き換える。
【０１４６】次のＳ００２３では、画像処理部４１は合
否判定処理を実行する。即ち、画像処理部４１は、Ｓ０
０２２での二値化処理後の画像の図形的特徴量（白い部
分の面積，最大幅，重心，フィレ径，等）を、算出す
る。例えば、白い［２５５の］画素の数を数えて面積量
とする。そして、算出された図形的特徴量を予め設定さ
れている各合否判定基準値と比較し、対応する合否判定
基準値を超過している図形的特徴量が一つでもあれば不
合格（不良品）と判定し、全ての図形的特徴量が夫々に
対応する合否判定基準値内に収まっていれば合格（良
品）と判定する。なお、判定に用いられる図形的特徴量
のうちどれを合否判定に用いるかは、検査対象レンズＡ
の種類に依って定まる。この合否判定の結果は、制御部
４２によってモニタ装置４５上に表示される。
否判定処理を実行する。即ち、画像処理部４１は、Ｓ０
０２２での二値化処理後の画像の図形的特徴量（白い部
分の面積，最大幅，重心，フィレ径，等）を、算出す
る。例えば、白い［２５５の］画素の数を数えて面積量
とする。そして、算出された図形的特徴量を予め設定さ
れている各合否判定基準値と比較し、対応する合否判定
基準値を超過している図形的特徴量が一つでもあれば不
合格（不良品）と判定し、全ての図形的特徴量が夫々に
対応する合否判定基準値内に収まっていれば合格（良
品）と判定する。なお、判定に用いられる図形的特徴量
のうちどれを合否判定に用いるかは、検査対象レンズＡ
の種類に依って定まる。この合否判定の結果は、制御部
４２によってモニタ装置４５上に表示される。
【０１４７】次のＳ００２４では、制御部４２は、現在
チャック１２に載置されているスプールＳ中の全レンズ
Ａに対してＳ００１５乃至Ｓ００２３の検査を終了した
か否かをチェックする。そして、未だ全てのレンズにつ
いての検査を終了していない場合には、制御部４２は、
Ｓ００２７において、スプール回転制御回路５１に対し
て、チャック１２を反時計方向に９０度回転するように
指示する。スプール回転制御回路５１は、この指示に応
じてチャック１２を回転させ、２つ後のキャビティ番号
に対応するレンズを撮像レンズ３５の光軸ｌ中にセット
する。
チャック１２に載置されているスプールＳ中の全レンズ
Ａに対してＳ００１５乃至Ｓ００２３の検査を終了した
か否かをチェックする。そして、未だ全てのレンズにつ
いての検査を終了していない場合には、制御部４２は、
Ｓ００２７において、スプール回転制御回路５１に対し
て、チャック１２を反時計方向に９０度回転するように
指示する。スプール回転制御回路５１は、この指示に応
じてチャック１２を回転させ、２つ後のキャビティ番号
に対応するレンズを撮像レンズ３５の光軸ｌ中にセット
する。
【０１４８】次のＳ００２８では、制御部４２は、この
検査位置（奇数キャビティ検査位置又は偶数キャビティ
検査位置）においてチャック１２が１回転したかどうか
をチェックする。そして、一回転したと判定した場合
は、キャビティ番号が奇数である全てのレンズを検査し
終えた場合であると判断することができる。従って、制
御部４２は、Ｓ００２９において、一軸ロボット制御回
路４９に対して移動ステージ４を偶数キャビティ検査位
置に移動させる指示をした後に、Ｓ００１５以下の処理
を再実行する。これに対して、Ｓ００２８にて未だ一回
転していないと判定した場合には、制御部４２は、その
まま、Ｓ０１５以下の処理を再実行する。
検査位置（奇数キャビティ検査位置又は偶数キャビティ
検査位置）においてチャック１２が１回転したかどうか
をチェックする。そして、一回転したと判定した場合
は、キャビティ番号が奇数である全てのレンズを検査し
終えた場合であると判断することができる。従って、制
御部４２は、Ｓ００２９において、一軸ロボット制御回
路４９に対して移動ステージ４を偶数キャビティ検査位
置に移動させる指示をした後に、Ｓ００１５以下の処理
を再実行する。これに対して、Ｓ００２８にて未だ一回
転していないと判定した場合には、制御部４２は、その
まま、Ｓ０１５以下の処理を再実行する。
【０１４９】Ｓ００２４にて全てのレンズに対する検査
を終了したと判断した場合には、制御部４２は、Ｓ００
２５において、一軸ロボット制御回路４９に対し、移動
ステージ４を図１に示す被検物給排位置に移動させる指
示をする。
を終了したと判断した場合には、制御部４２は、Ｓ００
２５において、一軸ロボット制御回路４９に対し、移動
ステージ４を図１に示す被検物給排位置に移動させる指
示をする。
【０１５０】次のＳ００２６では、制御部４２は、検査
者に対して検査を継続するか否かを問う文字をモニタ装
置４５上に表示する。これに応じて、検査者が検査を継
続する旨をキーボード４３によって入力してきた場合に
は、被検査物が未だあるものとして、処理をＳ０００２
に戻す。
者に対して検査を継続するか否かを問う文字をモニタ装
置４５上に表示する。これに応じて、検査者が検査を継
続する旨をキーボード４３によって入力してきた場合に
は、被検査物が未だあるものとして、処理をＳ０００２
に戻す。
【０１５１】これに対して、検査者が検査を終了する旨
をキーボード４３によって入力してきた場合には、被検
査物がもはや無いものとして、この制御処理を終了す
る。 ＜光学部材検査装置による検査手順＞本実施形態による
光学部材検査装置によってスプールＳ中のレンズを検査
する時には、検査者は、良品のレンズを有するスプール
Ｓをチャック１２上に載置した後に、このスプールＳに
対応する識別番号をキーボード４３によって入力する。
この識別番号が未だ登録されていないものである場合に
は、検査データ登録処理が実行される。そこで、検査者
は、ナイフエッジ２８ａの光軸位置調整及び撮像レンズ
３５のピント合わせ，並びに検査対象レンズの芯出し
を、マニュアル操作によって行う。
をキーボード４３によって入力してきた場合には、被検
査物がもはや無いものとして、この制御処理を終了す
る。 ＜光学部材検査装置による検査手順＞本実施形態による
光学部材検査装置によってスプールＳ中のレンズを検査
する時には、検査者は、良品のレンズを有するスプール
Ｓをチャック１２上に載置した後に、このスプールＳに
対応する識別番号をキーボード４３によって入力する。
この識別番号が未だ登録されていないものである場合に
は、検査データ登録処理が実行される。そこで、検査者
は、ナイフエッジ２８ａの光軸位置調整及び撮像レンズ
３５のピント合わせ，並びに検査対象レンズの芯出し
を、マニュアル操作によって行う。
【０１５２】即ち、検査者は、モニタ装置４５に映し出
される映像を見ながら、摘み２２を回転させる。そし
て、図２０（ａ）又は（ｂ）のように、検査対象レンズ
Ａの外縁αの内側において、検査対象レンズＡの外縁α
の外側に見えるナイフエッジ像βと同じ方向にナイフエ
ッジ像γが見える時には、ナイフエッジ２８ａが検査対
象レンズＡに近過ぎる場合であるので、ナイフエッジ２
８ａを検査対象レンズＡから遠ざける。逆に、図２０
（ｄ）又は（ｅ）のように、検査対象レンズＡの外縁α
の内側において、検査対象レンズＡの外縁αの外側に見
えるナイフエッジ像βと逆の方向にナイフエッジ像γが
見える時には、ナイフエッジ２８ａが検査対象レンズＡ
から遠すぎる場合であるので、ナイフエッジ２８ａを検
査対象レンズＡに近付ける。このようなナイフエッジ２
８ａの光軸方向位置調整を行った結果、図２０（ｃ）の
ように、ナイフエッジ像γが検査対象レンズＡの外縁α
内の大部分において消えた時には、ナイフエッジ２８ａ
が適正位置にある場合であるので、調整を停止する。以
上により、ナイフエッジ２８ａの光軸位置調整は完了さ
れる。
される映像を見ながら、摘み２２を回転させる。そし
て、図２０（ａ）又は（ｂ）のように、検査対象レンズ
Ａの外縁αの内側において、検査対象レンズＡの外縁α
の外側に見えるナイフエッジ像βと同じ方向にナイフエ
ッジ像γが見える時には、ナイフエッジ２８ａが検査対
象レンズＡに近過ぎる場合であるので、ナイフエッジ２
８ａを検査対象レンズＡから遠ざける。逆に、図２０
（ｄ）又は（ｅ）のように、検査対象レンズＡの外縁α
の内側において、検査対象レンズＡの外縁αの外側に見
えるナイフエッジ像βと逆の方向にナイフエッジ像γが
見える時には、ナイフエッジ２８ａが検査対象レンズＡ
から遠すぎる場合であるので、ナイフエッジ２８ａを検
査対象レンズＡに近付ける。このようなナイフエッジ２
８ａの光軸方向位置調整を行った結果、図２０（ｃ）の
ように、ナイフエッジ像γが検査対象レンズＡの外縁α
内の大部分において消えた時には、ナイフエッジ２８ａ
が適正位置にある場合であるので、調整を停止する。以
上により、ナイフエッジ２８ａの光軸位置調整は完了さ
れる。
【０１５３】また、検査者は、モニタ装置４５に映し出
される映像を見ながら、撮像装置３０の鏡筒３１を回転
させ、検査対象レンズＡの表面が明瞭に見えるようにな
るまで撮像レンズ３５を光軸方向に移動させる。以上に
より、撮像レンズ３５のピント合わせが完了する。
される映像を見ながら、撮像装置３０の鏡筒３１を回転
させ、検査対象レンズＡの表面が明瞭に見えるようにな
るまで撮像レンズ３５を光軸方向に移動させる。以上に
より、撮像レンズ３５のピント合わせが完了する。
【０１５４】また、検査者は、ナイフエッジ２８ａをＸ
方向に向けて、モニタ装置４５に映し出されるＹ方向の
輝度分布グラフを見ながら、Ｙテーブル９の送りネジ
（図示略）を回転させ、ナイフエッジ２８ａを１８０度
回転させてもその回転の前後で輝度断面の大きさが変わ
らない位置を探す。以上のようにしてＹ方向の芯出しが
完了すると、検査者は、ナイフエッジ２８ａをＹ方向に
向けて、モニタ装置４５に映し出されるＸ方向の輝度分
布グラフを見ながら、Ｘテーブル５の送りネジ６を回転
させ、ナイフエッジ２８ａを１８０度回転させてもその
回転の前後で輝度断面の大きさが変わらない位置を探
す。以上のようにして、Ｘ方向の芯出しも完了する。
方向に向けて、モニタ装置４５に映し出されるＹ方向の
輝度分布グラフを見ながら、Ｙテーブル９の送りネジ
（図示略）を回転させ、ナイフエッジ２８ａを１８０度
回転させてもその回転の前後で輝度断面の大きさが変わ
らない位置を探す。以上のようにしてＹ方向の芯出しが
完了すると、検査者は、ナイフエッジ２８ａをＹ方向に
向けて、モニタ装置４５に映し出されるＸ方向の輝度分
布グラフを見ながら、Ｘテーブル５の送りネジ６を回転
させ、ナイフエッジ２８ａを１８０度回転させてもその
回転の前後で輝度断面の大きさが変わらない位置を探
す。以上のようにして、Ｘ方向の芯出しも完了する。
【０１５５】以上のようにしてナイフエッジ２８ａの光
軸位置調整及び撮像レンズ３５のピント合わせ，並びに
検査対象レンズの芯出しが完了すると、Ｙ方向用のナイ
フエッジ芯出テーブル及びＸ方向用のナイフエッジ芯出
テーブルが自動的に作成される。その結果、以後におけ
る自動芯出しが可能となる。
軸位置調整及び撮像レンズ３５のピント合わせ，並びに
検査対象レンズの芯出しが完了すると、Ｙ方向用のナイ
フエッジ芯出テーブル及びＸ方向用のナイフエッジ芯出
テーブルが自動的に作成される。その結果、以後におけ
る自動芯出しが可能となる。
【０１５６】次に、キャビティ番号１のレンズが、自動
的に撮像レンズ３５の光軸ｌ内にセットされる。操作者
は、これに応じて、ナイフエッジ２８ａの光軸位置調整
及び撮像レンズ３５のピント合わせを再度行う。する
と、このキャビティ番号１のレンズを基準とした各レン
ズの光軸方向における相対位置が、図３４乃至図３６に
示されるように、自動的に測定される。そして、他の各
レンズとの距離の合計（輝度差合計差分総和）が最も近
いレンズが、基準レンズとして自動的に選択される。こ
の選択のアルゴリズムによると、各レンズが最も密集し
て分布しているグループ内のレンズであって、しかも、
そのグループの光軸方向における中心近傍のレンズが、
基準レンズとして選択される。
的に撮像レンズ３５の光軸ｌ内にセットされる。操作者
は、これに応じて、ナイフエッジ２８ａの光軸位置調整
及び撮像レンズ３５のピント合わせを再度行う。する
と、このキャビティ番号１のレンズを基準とした各レン
ズの光軸方向における相対位置が、図３４乃至図３６に
示されるように、自動的に測定される。そして、他の各
レンズとの距離の合計（輝度差合計差分総和）が最も近
いレンズが、基準レンズとして自動的に選択される。こ
の選択のアルゴリズムによると、各レンズが最も密集し
て分布しているグループ内のレンズであって、しかも、
そのグループの光軸方向における中心近傍のレンズが、
基準レンズとして選択される。
【０１５７】例えば、ランナーＬの曲がりもゲートの曲
がりも生じていないスプールＳの場合には、全レンズＡ
が同じ光軸方向位置に存在することになるので、任意の
レンズが基準レンズとして選択される。この場合には、
全てのレンズＡが検査許容範囲内に入る。
がりも生じていないスプールＳの場合には、全レンズＡ
が同じ光軸方向位置に存在することになるので、任意の
レンズが基準レンズとして選択される。この場合には、
全てのレンズＡが検査許容範囲内に入る。
【０１５８】また、図４５のように、ランナーＬの曲が
りが生じている場合には、スプールＳ全体に倒れが生じ
るので、図３４のように、各レンズが均等に分布するこ
とになる。従って、この分布の中心にあるレンズ（図３
４の場合にはＣａｖ．１又は５）が基準レンズとして選
択される。この場合には、スプールＳ全体の倒れの程度
が一定範囲内であれば、全てのレンズが検査許容範囲内
に入る。
りが生じている場合には、スプールＳ全体に倒れが生じ
るので、図３４のように、各レンズが均等に分布するこ
とになる。従って、この分布の中心にあるレンズ（図３
４の場合にはＣａｖ．１又は５）が基準レンズとして選
択される。この場合には、スプールＳ全体の倒れの程度
が一定範囲内であれば、全てのレンズが検査許容範囲内
に入る。
【０１５９】また、一部のゲートのみが曲がっているが
ランナーＬの曲がりは生じていない場合には、図３５の
ように、そのゲートに繋がっているレンズの光軸方向位
置のみが他のレンズの光軸方向位置からずれることにな
る。従って、密集して（同じ光軸方向位置に）存在して
いる他のレンズ（図３５の場合にはＣａｖ．１，２，４
〜８）のうちの何れかが、基準レンズとして選択される
こととなる。この場合には、曲がったゲートに繋がって
いるレンズ（図３５の場合にはＣａｖ．３）が検査許容
範囲内から外れる可能性はあるが、それ以外のレンズは
全て検査許容範囲内に入る。
ランナーＬの曲がりは生じていない場合には、図３５の
ように、そのゲートに繋がっているレンズの光軸方向位
置のみが他のレンズの光軸方向位置からずれることにな
る。従って、密集して（同じ光軸方向位置に）存在して
いる他のレンズ（図３５の場合にはＣａｖ．１，２，４
〜８）のうちの何れかが、基準レンズとして選択される
こととなる。この場合には、曲がったゲートに繋がって
いるレンズ（図３５の場合にはＣａｖ．３）が検査許容
範囲内から外れる可能性はあるが、それ以外のレンズは
全て検査許容範囲内に入る。
【０１６０】また、ランナーの曲がりと一部のゲートの
曲がりとが同時に発生している場合には、図３４のよう
に、曲がったゲートに繋がっているレンズのみが他のレ
ンズから大きく離れるとともに、他のレンズが均等に分
布することになる。従って、図３８に示されるように、
均等に分布しているレンズグループ（図３８の場合には
Ｃａｖ．２〜８）内であって、しかも、そのグループの
光軸方向における中心近傍のレンズが、基準レンズとし
て選択される。この場合には、曲がったゲートに繋がっ
ているレンズ（図３８の場合にはＣａｖ．１）が検査許
容範囲内から外れる可能性はあるが、スプールＳ全体の
倒れの程度が一定範囲内であれあば、それ以外の全ての
レンズが検査許容範囲内に入る。
曲がりとが同時に発生している場合には、図３４のよう
に、曲がったゲートに繋がっているレンズのみが他のレ
ンズから大きく離れるとともに、他のレンズが均等に分
布することになる。従って、図３８に示されるように、
均等に分布しているレンズグループ（図３８の場合には
Ｃａｖ．２〜８）内であって、しかも、そのグループの
光軸方向における中心近傍のレンズが、基準レンズとし
て選択される。この場合には、曲がったゲートに繋がっ
ているレンズ（図３８の場合にはＣａｖ．１）が検査許
容範囲内から外れる可能性はあるが、スプールＳ全体の
倒れの程度が一定範囲内であれあば、それ以外の全ての
レンズが検査許容範囲内に入る。
【０１６１】このようにして選択されたレンズのキャビ
ティ番号は、各ナイフエッジ芯出テーブルとともに、外
部メモリ４４内に登録される。従って、以後、良品のス
プールＳが同じ種類の検査対象スプールＳに換えられ
て、同じ識別番号が入力された場合には、各ナイフエッ
ジ芯出テーブルと選択されたレンズのキャビティ番号と
が、外部メモリ４４から読み出される。
ティ番号は、各ナイフエッジ芯出テーブルとともに、外
部メモリ４４内に登録される。従って、以後、良品のス
プールＳが同じ種類の検査対象スプールＳに換えられ
て、同じ識別番号が入力された場合には、各ナイフエッ
ジ芯出テーブルと選択されたレンズのキャビティ番号と
が、外部メモリ４４から読み出される。
【０１６２】このようにキャビティ番号が選択され又は
外部メモリ４４から読み出されると、そのキャビティ番
号に対応するレンズが撮像レンズ３５の光軸ｌ中にセッ
トされる。検査者は、これに応じて、ナイフエッジ２８
ａの光軸位置調整及び撮像レンズ３５のピント合わせを
再度行う。
外部メモリ４４から読み出されると、そのキャビティ番
号に対応するレンズが撮像レンズ３５の光軸ｌ中にセッ
トされる。検査者は、これに応じて、ナイフエッジ２８
ａの光軸位置調整及び撮像レンズ３５のピント合わせを
再度行う。
【０１６３】すると、ナイフエッジ回転制御部１５によ
ってナイフエッジ２８ａが２２．５度づつ回転駆動され
るとともに、各回転位置において検査対象レンズＡを通
過した光によって形成される画像が、被検物撮像用ＣＣ
Ｄカメラ３０によって撮像される。画像処理部４１は、
撮像した各画像の濃淡変化箇所を微分処理によって強調
し、一回転分にわたって加算する。その結果、検査対象
レンズＡのいかなる方向における欠陥成分（屈折率［屈
折力］異常，表面欠陥）に関しても、それを有している
領域が抽出され、それらが一つの画像データにまとめ上
げられる。即ち、この画像データでは、欠陥の方向如何
に拘わらず、欠陥を有している部位が白く浮き上がって
いる画像となっている。そして、異常部分の面積や最大
幅等が数値化され、一定の判断基準値と比較され、この
比較結果に応じて良品であるか不良品であるかの判定が
客観的になされるのである。
ってナイフエッジ２８ａが２２．５度づつ回転駆動され
るとともに、各回転位置において検査対象レンズＡを通
過した光によって形成される画像が、被検物撮像用ＣＣ
Ｄカメラ３０によって撮像される。画像処理部４１は、
撮像した各画像の濃淡変化箇所を微分処理によって強調
し、一回転分にわたって加算する。その結果、検査対象
レンズＡのいかなる方向における欠陥成分（屈折率［屈
折力］異常，表面欠陥）に関しても、それを有している
領域が抽出され、それらが一つの画像データにまとめ上
げられる。即ち、この画像データでは、欠陥の方向如何
に拘わらず、欠陥を有している部位が白く浮き上がって
いる画像となっている。そして、異常部分の面積や最大
幅等が数値化され、一定の判断基準値と比較され、この
比較結果に応じて良品であるか不良品であるかの判定が
客観的になされるのである。
【０１６４】なお、上述した実施の形態では、Ｓ０２１
０の検査データ登録に使用するキャビティ番号選択処理
において、図１２の処理を実行して自動的に基準レンズ
を選択するようにしていたが、Ｓ０２０９にてモニタ装
置４５上に表示される相対位置情報に基づいて検査者に
選択させるようにしても良い。
０の検査データ登録に使用するキャビティ番号選択処理
において、図１２の処理を実行して自動的に基準レンズ
を選択するようにしていたが、Ｓ０２０９にてモニタ装
置４５上に表示される相対位置情報に基づいて検査者に
選択させるようにしても良い。
【０１６５】また、上述した実施の形態では、Ｓ０２０
６において原点０から座標点ｙ1までの輝度値合計を算
出し、Ｓ０２０８においてこの輝度値合計に基づいて各
レンズの相対位置関係を割り出すようにしていたが、Ｓ
０２０６ではＹ方向中心軸上の輝度変化の傾きを算出
し、Ｓ０２０８ではこの傾きに基づいて各レンズの相対
位置関係を割り出すようにしても良い。
６において原点０から座標点ｙ1までの輝度値合計を算
出し、Ｓ０２０８においてこの輝度値合計に基づいて各
レンズの相対位置関係を割り出すようにしていたが、Ｓ
０２０６ではＹ方向中心軸上の輝度変化の傾きを算出
し、Ｓ０２０８ではこの傾きに基づいて各レンズの相対
位置関係を割り出すようにしても良い。
【０１６６】
【発明の効果】以上のように構成された本発明の光学部
材検査装置は、複数の樹脂成形光学部材がランナーによ
って繋がれた状態のスプールをチャックによって保持す
る光学部材検査装置であるが、それを基準にナイフエッ
ジの光軸方向位置調整及び撮像レンズのピント合わせを
行った場合に最も多くのレンズをその検査許容範囲内に
入れることができるレンズを、ナイフエッジの光軸方向
位置調整及び撮像装置のピント合わせ用レンズとして選
択することができる。
材検査装置は、複数の樹脂成形光学部材がランナーによ
って繋がれた状態のスプールをチャックによって保持す
る光学部材検査装置であるが、それを基準にナイフエッ
ジの光軸方向位置調整及び撮像レンズのピント合わせを
行った場合に最も多くのレンズをその検査許容範囲内に
入れることができるレンズを、ナイフエッジの光軸方向
位置調整及び撮像装置のピント合わせ用レンズとして選
択することができる。
【図１】 本発明の第１の実施形態による光学部材検査
装置の機械構成を示す側視図
装置の機械構成を示す側視図
【図２】 図１のチャックの拡大図
【図３】 図１の光学部材検査装置の回路構成を示すブ
ロック図
ロック図
【図４】 図１の光学部材検査装置の光学構成図
【図５】 図１における遮光板の平面図
【図６】 図１のＣＰＵにおいて実行される制御処理を
示すフローチャート
示すフローチャート
【図７】 図１のＣＰＵにおいて実行される制御処理を
示すフローチャート
示すフローチャート
【図８】 図１のＳ００１３にて実行される検査データ
登録サブルーチンを示すフローチャート
登録サブルーチンを示すフローチャート
【図９】 図８のＳ０１０１にて実行される光軸方向位
置基準レンズ選択処理サブルーチンを示すフローチャー
ト
置基準レンズ選択処理サブルーチンを示すフローチャー
ト
【図１０】 図９のＳ０２０３にて実行される自動芯出
処理１のサブルーチンを示すフローチャート
処理１のサブルーチンを示すフローチャート
【図１１】 図９のＳ０２０３にて実行される自動芯出
処理１のサブルーチンを示すフローチャート
処理１のサブルーチンを示すフローチャート
【図１２】 図９のＳ０２１０にて実行される検査デー
タ登録に使用するキャビティ番号選択処理サブルーチン
を示すフローチャート
タ登録に使用するキャビティ番号選択処理サブルーチン
を示すフローチャート
【図１３】 図８のＳ０１０３にて実行されるナイフエ
ッジ芯出テーブル（Ｙ軸）作成処理サブルーチンを示す
フローチャート
ッジ芯出テーブル（Ｙ軸）作成処理サブルーチンを示す
フローチャート
【図１４】 図１３のＳ０５０２にて実行されるＹ方向
輝度差測定処理サブルーチンを示すフローチャート
輝度差測定処理サブルーチンを示すフローチャート
【図１５】 図８のＳ０１０４にて実行されるナイフエ
ッジ芯出テーブル（Ｘ軸）作成処理サブルーチンを示す
フローチャート
ッジ芯出テーブル（Ｘ軸）作成処理サブルーチンを示す
フローチャート
【図１６】 図１５のＳ０７０２にて実行されるＸ方向
輝度差測定処理サブルーチンを示すフローチャート
輝度差測定処理サブルーチンを示すフローチャート
【図１７】 図７のＳ００１５にて実行される自動芯出
処理２のサブルーチンを示すフローチャート
処理２のサブルーチンを示すフローチャート
【図１８】 図７のＳ００１５にて実行される自動芯出
処理２のサブルーチンを示すフローチャート
処理２のサブルーチンを示すフローチャート
【図１９】 図７のＳ００２１にて実行される検査対象
領域抽出処理サブルーチンを示すフローチャート
領域抽出処理サブルーチンを示すフローチャート
【図２０】 図１におけるナイフエッジの光軸方向位置
調整時におけるモニタ装置上の画像を示す図
調整時におけるモニタ装置上の画像を示す図
【図２１】 ヒケを有するレンズを検査した場合におけ
る表示装置上の画像を示す図
る表示装置上の画像を示す図
【図２２】 移動テーブルがキャビティ番号認識位置に
存する場合における光学部材検査装置の機械構成を示す
側視図
存する場合における光学部材検査装置の機械構成を示す
側視図
【図２３】 移動テーブルが検査位置に存する場合にお
ける光学部材検査装置の機械構成を示す側視図
ける光学部材検査装置の機械構成を示す側視図
【図２４】 画像データ上に定義された座標軸及び座標
位置の説明図
位置の説明図
【図２５】 Ｙ方向におけるズレ量が−０．２μｍであ
る場合における画像データ中のＹ方向中心軸上の輝度分
布を示すグラフ
る場合における画像データ中のＹ方向中心軸上の輝度分
布を示すグラフ
【図２６】 Ｙ方向におけるズレ量が−０．１μｍであ
る場合における画像データ中のＹ方向中心軸上の輝度分
布を示すグラフ
る場合における画像データ中のＹ方向中心軸上の輝度分
布を示すグラフ
【図２７】 Ｙ方向において芯出しされた状態における
画像データ中のＹ方向中心軸上の輝度分布を示すグラフ
画像データ中のＹ方向中心軸上の輝度分布を示すグラフ
【図２８】 Ｙ方向におけるズレ量が＋０．１μｍであ
る場合における画像データ中のＹ方向中心軸上の輝度分
布を示すグラフ
る場合における画像データ中のＹ方向中心軸上の輝度分
布を示すグラフ
【図２９】 Ｙ方向におけるズレ量が＋０．２μｍであ
る場合における画像データ中のＹ方向中心軸上の輝度分
布を示すグラフ
る場合における画像データ中のＹ方向中心軸上の輝度分
布を示すグラフ
【図３０】 図２５乃至図２９から算出された輝度差を
プロットしたグラフ
プロットしたグラフ
【図３１】 ナイフエッジ芯出テーブルを示す表
【図３２】 図２０の各画像中のＹ方向中心軸上の輝度
分布を示すグラフ
分布を示すグラフ
【図３３】 スプール全体が倒れた場合において全レン
ズについて撮像された画像の例を示す図
ズについて撮像された画像の例を示す図
【図３４】 図３３の各画像に基づいて各レンズの光軸
方向位置の分布を表す図
方向位置の分布を表す図
【図３５】 一部のゲートのみが曲がったスプール中の
全レンズの光軸方向位置の分布を表す図
全レンズの光軸方向位置の分布を表す図
【図３６】 一部のゲートのみが曲がっているとともに
全体として倒れが生じているスプール中の全レンズの光
軸方向位置の分布を表す図
全体として倒れが生じているスプール中の全レンズの光
軸方向位置の分布を表す図
【図３７】 図３６において各レンズの分布範囲の中間
位置に存するレンズを基準レンズとした場合における検
査許容範囲を表す図
位置に存するレンズを基準レンズとした場合における検
査許容範囲を表す図
【図３８】 図３６において最も密集して分布するレン
ズのグループにおける分布の中心位置に存するレンズを
基準レンズとした場合における検査許容範囲を表す図
ズのグループにおける分布の中心位置に存するレンズを
基準レンズとした場合における検査許容範囲を表す図
【図３９】 図１におけるナイフエッジの光軸方向位置
調整時におけるモニタ装置上の画像を示す図
調整時におけるモニタ装置上の画像を示す図
【図４０】 図３９の各画像中のＹ方向中心軸上の輝度
分布を示すグラフ
分布を示すグラフ
【図４１】 図１におけるナイフエッジの光軸方向位置
調整時におけるモニタ装置上の画像を示す図
調整時におけるモニタ装置上の画像を示す図
【図４２】 図４１の各画像中のＹ方向中心軸上の輝度
分布を示すグラフ
分布を示すグラフ
【図４３】 スプールの平面図
【図４４】 スプールの側視図
【図４５】 ランナーの曲がりが生じているスプールの
側視図
側視図
１２ チャック １３ スプール回転用パルスモータ ２０ 移動ステー ２１ シャフト ２２ 摘み ２３ 照明ユニット ２８ 遮光板 ３０ 被検物撮像用ＣＣＤカメラ ３４ 拡散板 ３５ 撮像レンズ ４０ ＣＰＵ ４１ 画像処理部 ４２ 制御部 ４４ 外部メモリ ４５ モニタ装置 ５１ スプール回転制御回路 Ａ 検査対象レンズ Ｌ ランナー Ｓ スプール
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 中山 利宏 東京都板橋区前野町２丁目36番９号旭光学 工業株式会社内
Claims (10)
- 【請求項１】ランナーによって互いに連結された光学部
材の光学的欠陥を検出する光学部材検査装置であって、 照明光によって照明される拡散板と、 前記拡散板によって拡散された光を部分的に透過させ且
つ部分的に遮光するように前記拡散板に接している遮光
手段と、 前記光学部材を透過した光を撮像する撮像手段と、 前記ランナーを保持して前記撮像手段の光軸に直交する
面内で変位することにより、このランナーによって連結
されている各レンズを前記撮像手段と前記遮光手段との
間の光軸中に選択的に配置する保持部と、 前記保持部と前記遮光手段との間の前記光軸方向におけ
る相対位置を調整する調整手段と、 前記撮像手段によって撮像された画像中の特定範囲の輝
度データを抽出する輝度データ抽出手段と、 前記ランナーによって互いに連結された全ての光学部材
についての前記輝度データ同士を比較して、これら各光
学部材の前記光軸方向における相対位置を認定する相対
位置認定手段と、 この相対位置認定手段によって認定された前記光学部材
の相対位置に基づき、前記各光学部材のうち最も密集し
て分布している一群の光学部材の中間位置近傍に位置し
ている光学部材を、その光学部材を含む光学系の焦点位
置が前記遮光手段の光軸方向位置と一致するように前記
調整手段によって前記調整を行う際に用いる基準光学部
材として選択する選択手段とを備えたことを特徴とする
光学部材検査装置。 - 【請求項２】ランナーによって互いに連結された光学部
材の光学的欠陥を検出する光学部材検査装置であって、 照明光によって照明される拡散板と、 前記拡散板によって拡散された光を部分的に透過させ且
つ部分的に遮光するように前記拡散板に接している遮光
手段と、 前記光学部材を透過した光を撮像する撮像手段と、 前記ランナーを保持して前記撮像手段の光軸に直交する
面内で変位することにより、このランナーによって連結
されている各レンズを前記撮像手段と前記遮光手段との
間の光軸中に選択的に配置する保持部と、 前記保持部と前記遮光手段との間の前記光軸方向におけ
る相対位置を調整する調整手段と、 前記撮像手段によって撮像された画像中の特定範囲の輝
度データを抽出する輝度データ抽出手段と、 前記ランナーによって互いに連結された全ての光学部材
についての前記輝度データ同士を比較して、これら各光
学部材の前記光軸方向における相対位置を認定する相対
位置認定手段と、 この相対位置認定手段によって認定された前記光学部材
の相対位置を表示する表示手段とを備えたことを特徴と
する光学部材検査装置。 - 【請求項３】前記調整手段は前記遮光手段を前記光軸方
向に移動させることを特徴とする請求項１又は２記載の
光学部材検査装置。 - 【請求項４】前記輝度データ抽出手段によってその輝度
データが抽出される前記特定範囲は、前記遮光手段にお
ける前記光を部分的に透過させる部分と部分的に遮光す
る部分との境界線に直交する方向に広がりを持つ範囲で
あることを特徴とする請求項１又は２記載の光学部材検
査装置。 - 【請求項５】前記輝度データ抽出手段によって抽出され
る輝度データは、前記遮光手段における前記光を部分的
に透過させる部分と部分的に遮光する部分との境界線に
直交する方向を向いた前記画像の中心軸上の輝度データ
であることを特徴とする請求項１又は２記載の光学部材
検査装置。 - 【請求項６】前記輝度データ抽出手段によって抽出され
る輝度データは、前記中心軸上の中心から偏倚した範囲
の輝度データであることを特徴とする請求項５記載の光
学部材検査装置。 - 【請求項７】前記相対位置認定手段は、前記輝度データ
の総和同士を比較することを特徴とする請求項１又は２
記載の光学部材検査装置。 - 【請求項８】前記相対位置認定手段は、前記輝度データ
の輝度の傾き同士を比較することを特徴とする請求項５
又は６記載の光学部材検査装置。 - 【請求項９】前記選択手段は、前記各光学部材毎に、そ
の光学部材に関する前記輝度データの総和と他の各光学
部材に関する前記輝度データの総和との差分値を算出し
てその差分値の総和を算出するとともに、この差分値の
総和が最も小さい光学部材を前記基準光学部材として選
択することを特徴とする請求項７記載の光学部材検査装
置。 - 【請求項１０】照明光によって照明される拡散板と、前
記拡散板によって拡散された光を部分的に透過させ且つ
部分的に遮光するように前記拡散板に接している遮光手
段と、前記光学部材を透過した光を撮像する撮像手段
と、複数のレンズを一体に接続しているランナーを保持
して前記撮像手段の光軸に直交する面内で変位すること
により、このランナーによって連結されている各レンズ
を前記撮像手段と前記遮光手段との間の光軸中に選択的
に配置する保持部と、前記保持部と前記遮光手段との間
の前記光軸方向における相対位置を調整する調整手段と
を有する光学部材検査装置における基準レンズ選択方法
において、 前記撮像手段によって撮像された画像中の特定範囲の輝
度データを抽出し、 前記ランナーによって互いに連結された全ての光学部材
についての前記輝度データ同士を比較し、 この比較結果に基づいてこれら各光学部材の前記光軸方
向における相対位置を認定し、 この相対位置認定手段によって認定された前記光学部材
の相対位置に基づき、前記各光学部材のうち最も密集し
て分布している一群の光学部材のうちの中間位置近傍に
位置している光学部材を、その光学部材を含む光学系の
焦点位置が前記遮光手段の光軸方向位置と一致するよう
に前記調整手段による前記調整を行う際に用いる基準光
学部材として選択することを特徴とする光学部材検査装
置における基準レンズ選択方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8545196A JPH09280999A (ja) | 1996-04-08 | 1996-04-08 | 光学部材検査装置及び光学部材検査装置における基準レンズ選択方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP8545196A JPH09280999A (ja) | 1996-04-08 | 1996-04-08 | 光学部材検査装置及び光学部材検査装置における基準レンズ選択方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09280999A true JPH09280999A (ja) | 1997-10-31 |
Family
ID=13859256
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP8545196A Pending JPH09280999A (ja) | 1996-04-08 | 1996-04-08 | 光学部材検査装置及び光学部材検査装置における基準レンズ選択方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09280999A (ja) |
-
1996
- 1996-04-08 JP JP8545196A patent/JPH09280999A/ja active Pending
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