JPH09280986A

JPH09280986A - 静電容量式圧力センサ及びこのセンサを用いたガス異常監視装置

Info

Publication number: JPH09280986A
Application number: JP8786896A
Authority: JP
Inventors: Yuko Fujii; 優子藤井; Hideto Monju; 秀人文字
Original assignee: Matsushita Electric Industrial Co Ltd
Current assignee: Panasonic Holdings Corp
Priority date: 1996-04-10
Filing date: 1996-04-10
Publication date: 1997-10-31

Abstract

(57)【要約】【課題】圧力センサの気密性を確保し、信頼性を向上
する。【解決手段】接着層５を主接着層５ａと副接着層５ｂ
で構成し、副接着層５ｂを主接着層５ａの外周に設けて
いる。これによって、接着層５の焼成時に発生するガス
を放出させることができ、封着部の破れを防ぐととも
に、焼成後には副接着層５ｂが隣接する主接着層５ａと
接合することで接着面積が増加し気密性が向上する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は圧力変化をダイアフ
ラムで受け静電容量の変化として検知する静電容量式圧
力センサ及びこのセンサを用いたガス異常監視装置に関
する。

【０００２】

【従来の技術】近年、ガス漏れによる爆発事故やガス器
具の消し忘れによる火災事故を防ぐために、例えばガス
メータについては、ガスメータから下流側のガス漏れや
ガス器具の使用状況を監視し万が一の際はガスの供給を
自動的に遮断するガス異常監視装置をガスメータの中に
組み込むことが検討されたり、圧力調整器については、
圧力調整器そのものの異常やＬＰガスボンベからガスメ
ータまでのガス漏洩検出等の安全管理のチェックを自動
的に行えるガス異常監視装置の組み込みが検討されてい
る。ＬＰガスの圧力調整器の圧力調整機能が正常に動作
している場合、ガス器具使用状態ではガスの供給圧力は
２３０〜３３０mmＨ₂Ｏの間に保たれており、ガス供給
圧が正常であるかを圧力センサで監視している。またガ
ス設備内でガス漏れ等の異常がある場合、例えば遮断弁
を動作させてガス配管を閉じると、ガス圧がガス漏れに
よって徐々に低下（数mmＨ₂Ｏ〜数１０mmＨ₂Ｏ）するの
で、このガス圧低下を監視することによってガス設備に
ガス漏れ等の異常が起こっているかどうかを検知でき
る。これらの圧力を高精度かつ短時間に検知するための
従来の圧力センサは、特開平６ー１２９９３０号公報に
示すものが一般的であった。

【０００３】以下その構成について、図１０を参照しな
がら説明する。図１０（ａ）に示すように第一の電極１
を有するダイアフラム２と、前記第一の電極１に所定の
間隔をあけて対向する第二の電極３を有する基板４と、
前記第一の電極１と前記基板４をそれら周縁部において
シール接合する接着層５を備えた静電容量式圧力センサ
において、接着層５の形状は図１０（ｂ）に示すように
波形一重シールパターンを形成していた。またこの波形
一重シールパターンはダイアフラム１と固定基板４との
接着後においても接着面積はほぼ同一であった。

【０００４】

【発明が解決しようとする課題】上述したように従来の
静電容量式圧力センサは、図１０（ｂ）に示すように接
着層５のシールパターンを波形一重シールパターンとす
ることにより、焼成時の接着層５内のガス放出によるシ
ール封着部の破れが起こらないという効果が得られると
記載されている。しかしながらこのような一重波形シー
ルにおいては、波形のないリングの幅が狭いため、シー
ルが不十分となり、印加圧力に漏れが生じていた。ま
た、シール性を向上させるためリング幅を増加させる
と、焼成時のガス放出が不十分となっていた。

【０００５】一方、ガス設備内のガス漏れ等の異常を検
知する方法として、例えば密閉空間内でガス漏れがある
とガス圧力がガス漏れによって徐々に低下し、そのガス
圧低下を監視することでガス設備にガス漏れ等の異常が
起こっているかどうかを検知する方法が考えられてい
る。この方法では数mmＨ₂Ｏ〜数１０mmＨ₂Ｏのわずかな
圧力低下を監視するため、圧力センサに漏れがあっては
ガス漏れの有無を判定することができない。さらにこの
圧力センサは長期間にわたって使用するので、圧力印加
の繰り返しによりシール部に負荷がかかり、圧力センサ
の使用中に気密性が保たれなくなる可能性が大きい。こ
のため、ガス設備内のガス漏れ等の異常を検知すると
き、圧力センサ自身の漏れの有無を判定する必要が生
じ、その分消費電力が大きくなり、電池の消耗が早いと
いう課題があった。

【０００６】本発明は、上記従来の課題を解決するもの
で、圧力センサの気密性を確保し、使用時の安全性と信
頼性の向上を主目的とする。

【０００７】

【課題を解決するための手段】本発明の静電容量式圧力
センサにおいては、第一の電極が形成されたダイアフラ
ムと第二の電極が形成された固定基板とを対向配置し、
前記ダイアフラムと前記固定基板とを一定間隔に保持し
接着する接着層とを備えた静電容量式圧力センサにおい
て、前記接着層を主接着層と副接着層とで構成し、副接
着層を主接着層の周囲に設けるようにしたものである。

【０００８】この本発明によれば、接着層の焼成時には
ガスが抜け、また焼成後には接着面積が増加し、気密性
が向上する。

【０００９】

【発明の実施の形態】上記課題を解決するために、本発
明の静電容量式圧力センサは、表面に第一の電極が形成
された電気絶縁性弾性材料からなるダイアフラムと、第
二の電極が表面に形成された電気絶縁性材料からなる固
定基板と、前記第一の電極と前記第二の電極とが対向配
置し前記ダイアフラムと前記固定基板とを一定間隔に保
持し接着する接着層とを備えた静電容量式圧力センサに
おいて、前記接着層を主接着層と副接着層とで構成し、
副接着層を主接着層の周囲に設けたことを特徴としてい
る。

【００１０】また、本発明のガス異常監視装置は上記課
題を解決するために、表面に第一の電極が形成された電
気絶縁性弾性材料からなるダイアフラムと、第二の電極
が表面に形成された電気絶縁性材料からなる固定基板
と、前記第一の電極と前記第二の電極とが対向配置し前
記ダイアフラムと前記固定基板とを一定間隔に保持し接
着する接着層とを備えた静電容量式圧力センサにおい
て、前記接着層を主接着層と副接着層とで構成し、副接
着層を主接着層の周囲に設けることを特徴としたセンサ
素子を構成し、被測定気体を前記ダイアフラムに導入す
るケースと、前記ケースと前記センサ素子とを気密性を
保持して接着するシール材とからなる静電容量式圧力セ
ンサを用いたガス設備内のガス圧を検出する圧力検出手
段と、ガス設備のガス流量を検出する流量検出手段と、
前記圧力検出手段と前記流量検出手段からの電気信号で
前記ガス設備の異常を判定する判定手段と、前記判定手
段からの信号により動作する出力手段とから構成された
ものである。

【００１１】本発明は上記構成によって下記の作用を有
する。すなわち本発明の静電容量式圧力センサにおい
て、接着層を主接着層と副接着層で構成し、副接着層を
主接着層の周囲に設けることによって、接着層の焼成時
に発生するガスを放出させることで封着部の破れを防ぐ
とともに、焼成後には副接着層が隣接する副接着層と接
合することで接着面積が増加し気密性を向上させる。

【００１２】また、ガス異常監視装置において、上記構
成の静電容量式圧力センサを用いることによって、ガス
設備内のガス圧を検出する圧力検出手段の気密性が向上
し、気密性の判定時間を短縮し、ガス異常監視装置を駆
動する電池の消耗を抑制することができる。

【００１３】以下、本発明の実施例１〜４を図１〜図８
を参照しながら説明する。（実施例１）図１（ａ）は静電容量式圧力センサの断面
図である。図１（ａ）において、第一の電極１を電気絶
縁性材料として１５０μmの板厚を有するアルミナから
なるダイアフラム２の表面に、例えば金をスクリーン印
刷し約８５０℃で焼成して形成する。同様にして電気絶
縁性材料として１．５mmの板厚を有するアルミナからな
る固定基板４に第二の電極３を形成させる。次に、固定
基板４上の第二の電極３の外周に接着層５をスクリーン
印刷した。本実施例では接着層５として、アルミナの熱
膨張係数の約１．０８倍の熱膨張係数をもち１０μmの
ガラスファイバを混入たさせたガラスペーストを用い
た。その後、上記ダイアフラム２と固定基板４を各々電
極を有する面を内側とするように対向し、６８０℃で加
圧焼成して張り合わせた。

【００１４】このとき、上記接着層５の形状は、図１
（ｂ）に示すように、主接着層５ａおよび副接着層５ｂ
は矩形状シールパターンとし、副接着層５ｂは主接着層
５ａの外周にシールパターンを設けた。上記の主接着層
５ａおよび副接着層５ｂの拡大図を図２に示す。図に示
すように主接着層５ａの矩形部の凸部までの外径ｒ₄、
幅をＡ、凹部までの内径ｒ₂、幅をＢとした。本実施例
ではＢ＝Ａとし、ｒ₄を１０．０mmとし、凹部までの内
径ｒ2を８．５mmとした。また、副接着層５ｂについて
は、最も外径に位置する矩径部の凸部までの外径をｒ
3、幅をＣ、凹部の幅をＤとした。本実施例ではＣ＝Ｄ
とし、ｒ₃を９．５mmとし、シールガラスの内径ｒ1を
８．０mmとした。また、第一の接着層の矩形については
凸部が１８個となるように形成した。さらに凸部に設け
られた放射状のシール部は１つの凸部に均等間隔で両側
５つ設けた。また、主封着部となるｒ2−ｒ1は０．５mm
とした。

【００１５】さらに、本実施例においては、第一の接着
層のＢは第二の接着層の円周方向の幅Ｅの２倍で構成し
た。

【００１６】上記構成で形成された静電容量式圧力セン
サのダイアフラム２と固定基板４を張り合わせ、接着層
５を焼成した後の接着層５のシールパターンの拡大図を
図３に示す。図３に示すように加圧焼成することによっ
て副接着層５ｂは近隣の副接着層５ｂと接合し図２で示
したｒ2＝ｒ3となる。しかし実際には図２でしめしたｒ
1、ｒ2、ｒ3、ｒ4、及びＡも加圧焼成したことで外径方
向に増加している。さらに図２で示したＡが増加し、Ｂ
は減少している。

【００１７】また、焼成後のシールパターンは図３に示
したように、若干波形が残る形状となる。上記で述べた
ように、副接着層５ｂが近隣のシールと接合するため主
封着部である（ｒ2−ｒ1）が（ｒ3−ｒ1）に増加するこ
とによって、主封着部が増加し気密性が向上する。さら
に副接着層５ｂを形成しているので、焼成時に発生する
ガスの放出によるシールの破れは生じない。

【００１８】上記工程で製作した静電容量式圧力センサ
の気密性についてｎ＝２０のテストを行って評価した。
評価方法は上記の静電容量式圧力センサに接着剤を用い
て、ケースに気密性を保持してシールし、ケースに圧力
を印加して、印加圧力を測定する。このとき、接着層が
気密されていなければ圧力を印加しても、静電容量式圧
力センサには圧力は印加されない。本実施例では、静電
容量式圧力センサに印加する圧力を通常印加する圧力の
約２倍を印加してリークの有無を評価した。その結果、
実施例１の場合全ての圧力センサにおいてリークしたも
のは認められなかった。

【００１９】さらに、上記で述べた静電容量式圧力セン
サにおいて、主接着層５ａの幅Ａ、Ｂ及び副接着層５ｂ
の幅Ｃ、Ｄを変化させて上記と同様の方法で気密試験を
行った。

【００２０】その結果を表１に示す。（表１）に示した
気密試験結果は試験を行った静電容量式圧力センサ２０
個のうち、完全に気密されていた静電容量式圧力センサ
の数を示している。表１に示すように、主接着層の幅Ａ
をＢを基準に変化させた場合、Ａ＝（０．７〜１．５）
Ｂの範囲が気密性を確保するためには望ましく、上記範
囲を最適範囲とする。それ以外の範囲では、焼成時にお
けるガス放出が円周方向に均等になされなかったため、
気密が不十分であった。

【００２１】同様に副接着層５ｂについても、焼成時に
おけるガス放出が円周方向に均等になされることが必要
なため、幅ＣはＣ＝（０．７〜１．５）Ｄが望ましく、
上記範囲を最適範囲とする。さらに、主接着層５ａの幅
Ａを上記の最適範囲以外で構成し、副接着層５ｂを最適
範囲で構成した場合においては、気密性はやや不十分で
あり、逆に主接着層５ａを設定値で構成し、副接着層５
ｂの幅Ｃ、Ｄを最適範囲以外で構成した場合において
も、同様であった。つまり主接着層５ａはＡ＝（０．７
〜１．５）Ｂ、及び副接着層５ｂはＣ＝（０．７〜１．
５５）Ｄで構成するのが望ましい。

【００２２】

【表１】

【００２３】さらに、主接着層５ａのＢを副接着層５ｂ
のＥに応じて変化させた結果を（表２）に示す。

【００２４】この結果、副接着層５ｂが焼成時に均等に
流動し、主封着部である（ｒ₂−ｒ₁）を増加させるため
主接着層５ａのＢは副接着層５ｂのＥの２．０〜２．２
倍で構成することが望ましいことが解る。さらに主封着
部である（ｒ₂−ｒ₁）を変化させて気密試験を行った結
果を表３に示す。この結果から、主封着部となる（ｒ ₂
−ｒ₁）はガスの放出のため、１mm以下にすることが望
ましいことが解る。本実施例においては、副接着層５ｂ
の外径ｒ₃を９．５mmにしたので、焼成後には接着層の
主封着部がφ１６〜φ１９mmとなり焼成前のφ１６〜φ
１７mmの３倍となるよう設定したが、表３に示したよう
に主封着部は１mm以下で構成することが望ましいが、下
限については副接着層５ｂの外径にあたるｒ₃に依存
し、（表３）で示したように（ｒ₃−ｒ₁）が０．５mm必
要であり、この場合（ｒ₂−ｒ₁）は１mm以下で良い。

【００２５】

【表２】

【００２６】

【表３】

【００２７】（実施例２）実施例１で述べた静電容量式
圧力センサにおいて、接着層５の形状を図４に示すよう
に、矩形状から波状に形状に変化させて気密性試験を行
った。その結果、２０個の静電容量式圧力センサの全て
が完全に気密されていた。このため、形状を波状にして
も実施例１と同様の効果が得られた。さらに、主接着層
５ａ及び副接着層５ｂの形状を実施例１と同様に変化さ
せた場合においても、主接着層５ａの幅ＡはＡ＝（０．
７〜１．５）Ｂの範囲が気密性を確保するためには望ま
しく、副接着層５ｂについても、焼成時におけるガス放
出が円周方向に均等になされることが必要なため、幅Ｃ
はＣ＝（０．７〜１．５）Ｄが望ましい。

【００２８】さらに、主接着層５ａのＢを副接着層５ｂ
のＥに応じて変化させた場合においても、主接着層５ａ
のＢは副接着層５ｂのＥの２．０〜２．２倍で構成する
ことが望ましく、主封着部となる（ｒ₂−ｒ₁）はガスの
放出のため、１mm以下にすることが望ましい。

【００２９】また、（ｒ₃−ｒ₁）が０．５mm以上必要で
ある、この場合（ｒ₂−ｒ₁）は１mm以下で良い。

【００３０】また、主接着層５ａ及び副接着層５ｂの形
状を同じものではなく、図５に示すように主接着層５ａ
が矩形状で副接着層５ｂが波形状、あるいは主接着層５
ａが波形状、副接着層５ｂが矩形状でも気密試験を行っ
た結果、完全にシールされており、気密性に優れた静電
容量式圧力センサが得られた。また、主接着層５ａ及び
副接着層５ｂの形状についても、実施例１で述べたのと
同様の結果が得られた。

【００３１】以下本発明の実施例３を図１、図６、及び
図７を参照しながら説明する。（実施例３）図６は本発明のガス異常監視装置として圧
力調整器に適用した場合のブロック図である。図６にお
いて、３１はガス供給源、３２は圧力調整器、３３はガ
スメータである。圧力調整器３２は、圧力調整手段４
０、圧力検出手段４１（例えば圧力センサ）と流量検出
手段４２（例えば流量計）と判定手段４３（例えばマイ
コン）と出力手段４４（例えば遮断弁）とで構成されて
いる。

【００３２】また図７は本発明の実施例３の圧力調整器
のガス漏洩検知の動作を示すフローチャートである。本
装置がスタートしている状態では、出力手段４４（例え
ば遮断弁）を動作して（ステップ１）、ガス供給源３１
から供給され圧力調整手段４０で調圧されたガス圧は圧
力検出手段４１で測定され（ステップ２）、流量検出手
段４２で流量を測定してガス流量が０であることを確認
する（ステップ３）。微量のガスが漏洩しているのであ
れば、ガス流量が０のとき配管内のガス圧は時間と共に
わずかづつ低下するので、ガス圧の変化を圧力検出手段
４１でモニターし、マイコン等の判定手段４３で判定
し、圧力低下が所定の値より大きければ、ガス異常監視
装置ガス漏れと判断する（ステップ４）。ガス漏れと判
断すると、出力手段４４（例えば遮断弁）を動作させて
ガス供給をストップする（ステップ５）。またガス設備
を点検して異常を取り除くかあるいは異常がないことが
確認されれば、再び出力動作（ステップ１）に戻り、継
続して測定・判定を行うことにより、圧力調整器３２の
長期間のガス漏れをモニターする。

【００３３】圧力検出手段４１として、実施例１で述べ
た主接着層び副接着層が矩形状で構成された、静電容量
式圧力センサを用いた場合、遮断弁４４、流量検出手段
４２、及び圧力検出手段４１を動作させて、圧力調整器
３２のガス圧が３１５mmＨ₂Ｏ（別の基準の圧力センサ
で測定）であったものを、配管内の微少な圧力変動（３
０５mmＨ₂Ｏが２９５mmＨ₂Ｏに低下）を測定した結果、
ガス配管内の微少なガス漏れを約２０秒で判定すること
ができた。短時間でガスの圧力変動を検知・判別するこ
とができ、さらに気密性が保たれているので、圧力検出
手段４１の信頼性に優れ、圧力検出手段自身の漏れ試験
を定期的に行う必要がなくなるため、圧力センサ及びガ
ス異常監視装置としての消費電力を低減することがで
き、電池を１０年間交換する必要がなかった。

【００３４】また、実施例２で述べた静電容量式圧力セ
ンサを用いた場合においても、上記で述べた様に、圧力
センサ及びガス異常監視装置としての消費電力を低減す
ることができ、電池を１０年間交換する必要がなかっ
た。

【００３５】次に実施例４を図１、図８、及び図９を参
照しながら説明する。（実施例４）図８は本発明のガス異常監視装置としてガ
スメータに適用した場合のブロック図である。図８にお
いて、３２は圧力調整器、３３はガスメータ、３４はガ
ス器具である。ガスメータ３３は、圧力検出手段４１
（例えば圧力センサ）と流量検出手段４２（例えば流量
計）と判定手段４３（例えばマイコン）と出力手段４４
（例えば遮断弁）とで構成されている。

【００３６】また図９は本発明の実施例４のガスメータ
の動作を示すフローチャートである。ガスの漏洩検出
は、出力手段４４（例えば遮断弁）を動作してガス器具
を使用していないときの流量及び圧力変動の有無を流量
検出手段４２及び圧力検出手段４１で検出し、判定手段
４３で判断することによって行う。すなわち微量のガス
が漏洩しているのであれば、ガス流量が０のとき配管内
のガス圧は時間と共にわずかづつ低下する。このガス圧
微少な変化の状態を圧力検出手段４１でモニターし、マ
イコン等の判定手段４３で判定し、圧力低下が所定の値
より大きければ、ガス異常監視装置ガス漏れと判断し
て、出力手段４４（例えば遮断弁）を動作させる。ま
た、判定手段４３がガス漏洩がないと判定したときには
再び出力手段４４と圧力検出手段４１と流量検出手段４
２とを動作させてガス設備内の圧力と流量を測定して長
期間のガス漏れをモニターする。

【００３７】圧力検出手段４１として、実施例１と同様
の静電容量式圧力センサを用いた場合、ガスメータ３３
のガス圧が３００mmＨ₂Ｏ（別の基準の圧力センサで測
定）であったものを、遮断弁３４、流量検出手段３２及
び圧力検出手段４１を動作させて、配管内の微少な圧力
変動（３００mmＨ₂Ｏが２８０mmＨ₂Ｏに低下）を測定し
た結果、ガス配管内の微少なガス漏れを約２０秒で判定
することができた。短時間でガスの圧力変動を検知・判
別することができ、さらに気密性が保たれているので、
圧力検出手段４１の信頼性に優れ、圧力検出手段自身の
漏れ試験を定期的に行う必要がなくなるため、圧力セン
サ及びガス異常監視装置としての消費電力を低減するこ
とができ、電池を１０年間交換する必要がなかった。

【００３８】また、実施例２で述べた静電容量式圧力セ
ンサを用いた場合においても、上記で述べた様に、圧力
センサ及びガス異常監視装置としての消費電力を低減す
ることができ、電池を１０年間交換する必要がなかっ
た。

【００３９】（比較例１）図１０に示す従来の圧力セン
サにおいて実施例１と同様の工程で静電容量式圧力セン
サを製作した。このとき接着層５のシールパターンは内
径１６mm、外形２０mmで凹凸形状の凹部を結ぶ径を１７
mmまた、凸部の個数が３２個となるように形成した。上
記の静電容量式圧力センサにおいて実施例１と同様の方
法で気密性を評価した結果、２０個の圧力センサのうち
６個に漏れが生じた。このため従来の静電容量式圧力セ
ンサにおいては、気密性が不十分であった。

【００４０】（比較例２）従来の静電容量式圧力センサ
を実施例３及び４で述べたように、ガス異常監視装置の
圧力検出手段４１に用いる場合においても歩留まりが下
がり、さらに信頼性にも欠けるため、ガス漏洩検出する
際には圧力検出手段４１の気密試験も定期的に行う必要
がある。このため消費電力が増加し、電池寿命は７．５
年であった。

【００４１】なお本発明の静電容量式圧力センサ、圧力
調整器及びガスメータにおいて、静電容量式圧力センサ
の各種材料（ダイアフラム、固定基板、電極、ギャップ
等）、作製条件（温度、時間、圧力、雰囲気等）、セン
サ形状（円形、角型、径、電極パターン、厚み、ギャッ
プ等の寸法）、ガスの種類（ＬＰガス、都市ガス）、測
定圧力等は本実施例に限定されるものではない。

【００４２】

【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の静電容量式圧力センサ及びこのセンサを用いたガス異
常監視装置によれば次の効果が得られる。

【００４３】本発明の静電容量式圧力センサにおいて、
接着層のシールパターンにガス抜け部を設けさらに焼成
前後で、ガス抜け部の面積が変化し主封着部の面積が増
加するので、気密性が向上し信頼性が増す。

【００４４】さらに、本発明のガス異常監視装置におい
て、ガス設備内のガス圧を検出する、圧力検出手段に上
記の静電容量式圧力センサを用いることによって、圧力
検出手段の気密性が向上し圧力検出手段の気密判定をす
る必要がなくなるため圧力検出手段の長期間の信頼性が
確保され、定期的な圧力センサの校正・調整を不要にす
ることができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】（ａ）本発明の実施例１の静電容量式圧力セン
サの断面図（ｂ）同センサの接着層のシールパターンを拡大した模
式図

【図２】同センサの接着層の焼成前のシールパターンを
拡大した模式図

【図３】同センサの接着層の焼成後のシールパターンを
拡大した模式図

【図４】本発明の実施例２における圧力センサの接着層
の焼成前のシールパターンを拡大した模式図

【図５】同圧力センサの他の接着層の焼成前のシールパ
ターンを拡大した模式図

【図６】本発明の実施例３の圧力調整器を示すブロック
図

【図７】同圧力調整器のフローチャート

【図８】本発明の実施例４のガスメータを示すブロック
図

【図９】同ガスメータのフローチャート

【図１０】（ａ）従来の静電容量式圧力センサの断面図（ｂ）接着層のシールパターンを拡大した模式図

【符号の説明】

１第一の電極２ダイアフラム３第二の電極４固定基板５接着層５ａ主接着層５ｂ副接着層６ケース７接着剤

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】表面に第一の電極が形成された電気絶縁性
弾性材料からなるダイアフラムと、第二の電極が表面に
形成された電気絶縁性材料からなる固定基板と、前記第
一の電極と前記第二の電極とが対向配置し前記ダイアフ
ラムと前記固定基板とを一定間隔に保持し接着する接着
層とを備えた静電容量式圧力センサにおいて、前記接着
層を主接着層と副接着層とで構成し、副接着層を主接着
層の周囲に設けた静電容量式圧力センサ。
【請求項２】主接着層及び副接着層の形状は矩形状、波
形波状または三角状シールパターンである請求項１記載
の静電容量式圧力センサ。
【請求項３】請求項１記載の静電容量式圧力センサに被
測定気体を導入するケースと、前記ケースと前記静電容
量式圧力センサとを接着して気密性を保持しガス設備内
のガス圧を検出する圧力検出手段と、ガス設備のガス流
量を検出する流量検出手段と、前記圧力検出手段と前記
流量検出手段からの電気信号により前記ガス設備の異常
を判定する判定手段と、前記判定手段からの信号により
動作する出力手段とを備えたガス異常監視装置。
【請求項４】請求項２記載の静電容量式圧力センサに被
測定気体を導入するケースと、前記ケースと前記静電容
量式圧力センサとを接着して気密性を保持しガス設備内
のガス圧を検出する圧力検出手段と、ガス設備のガス流
量を検出する流量検出手段と、前記圧力検出手段と前記
流量検出手段からの電気信号により前記ガス設備の異常
を判定する判定手段と、前記判定手段からの信号により
動作する出力手段とを備えたガス異常監視装置。