JPH09280532A - 排ガス処理装置 - Google Patents

排ガス処理装置

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JPH09280532A
JPH09280532A JP8681696A JP8681696A JPH09280532A JP H09280532 A JPH09280532 A JP H09280532A JP 8681696 A JP8681696 A JP 8681696A JP 8681696 A JP8681696 A JP 8681696A JP H09280532 A JPH09280532 A JP H09280532A
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JP
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exhaust gas
heating chamber
heating
chamber
waste gas
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JP8681696A
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English (en)
Inventor
Akiyoshi Onishi
明義 大西
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Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
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Abstract

(57)【要約】 【課題】冷却室16へ向けての排ガスの流動を抑制する
抑制板18a、18b、18cを、排ガスを燃焼させる
ための加熱手段として機能させることができ、排ガスと
加熱手段との熱交換率を高め、排ガスの燃焼効率を向上
させることができる排ガス処理装置1を提供する。 【解決手段】 熱処理炉2から送り込まれた排ガスを加
熱するための加熱室15と、加熱室15に連通し、加熱
室15から送り込まれた排ガスを冷却するための冷却室
16とを備え、加熱室15内には、排ガスを加熱する棒
状ヒータ20a、20b、20c、20dと、冷却室1
6へ向けての排ガスの流動を抑制する抑制板18a、1
8b、18cとが設けられ、棒状ヒータ20a、20
b、20cは抑制板18a、18b、18cに埋設さ
れ、抑制板18a、18b、18cには排ガスが冷却室
16へ向けて通過する通気孔19a、19b、19cが
設けられていることを特徴とする。また、空間を隔てて
隣接する抑制板18a、18b同士に設けられる通気孔
19a、19bは互いに位置が異なることを特徴とす
る。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する技術分野】本発明は、熱処理炉から排出
された排ガスを処理するための排ガス処理装置に関す
る。
【0002】
【従来の技術】従来より、セラミック電子部品などのセ
ラミック製品を製造するには、セラミック生ユニットを
焼成炉を用いて焼成することが行われている。
【0003】セラミック生ユニットの焼成に際して、セ
ラミック生ユニットが有機物バインダを含んでいる場合
には、200〜400度Cの温度でセラミック生ユニッ
トを加熱し、セラミック生ユニット中の有機物バインダ
を燃焼させて除去する脱バインダ工程が必要となる。
【0004】しかし、この脱バインダ工程で有機物バイ
ンダを完全燃焼させることは難しく、有機物バインダの
大部分は不完全燃焼のまま排ガスとして焼成炉から排出
される。この排ガスは、悪臭を放ち公害源となるためそ
のまま大気中へ放出することはできず、排ガス処理装置
により排ガスを燃焼処理した後で大気中へ放出すること
が行われている。
【0005】従来、このような排ガス処理装置として
は、焼成炉から排出された排ガスをバーナの火炎によっ
て完全燃焼させる直接燃焼式排ガス処理装置が一般に用
いられていた。
【0006】しかしながら、バーナを用いた排ガス処理
装置は、大掛かりな設備を必要とするので初期コストが
高いとともに、燃料代すなわちランニングコストが高く
なるという欠点があった。また、占有面積が大きいため
バッチ式焼成炉等の比較的小型の焼成炉に搭載して使用
するには適していない。さらに、高温で排ガスを燃焼さ
せるため、NoxやSoxが発生するという問題が生じ
た。
【0007】また、バーナの代りに棒状のヒータを用い
た直接燃焼式排ガス処理装置も知られているが、この場
合には、排ガスと棒状ヒータとの熱交換率が低く、排ガ
スの燃焼効率が悪いという問題があった。
【0008】このような従来の排ガス処理装置の欠点を
解決するため、本願発明の発明者は特開平7−1232
2号に示す排ガス処理装置を提案している。すなわち、
棒状のヒータを用いた直接燃焼式排ガス処理装置であっ
て、加熱室に棒状ヒータと、複数の通気孔を形成した滞
留板とを設けた排ガス処理装置を提案している。
【0009】
【発明が解決しようとする課題】近年、環境保護や省エ
ネルギーに対する要求の高まりに伴い、排ガス処理装置
においても、排ガスの燃焼効率を高めようとする要求が
高まってきている。
【0010】上述の特開平7−12322号に示す排ガ
ス処理装置によれば、加熱室に滞留板を設けることで、
滞留板により排ガスの流動を抑制し、加熱室内での排ガ
スの滞留時間を長くすることができるので、従来の棒状
のヒータを用いた直接燃焼式排ガス処理装置に比較する
と、排ガスと棒状ヒータとの熱交換率を高めることがで
きる。
【0011】しかしながら、特開平7−12322号に
示す排ガス処理装置においては、その構造上、これ以上
排ガスと棒状ヒータとの熱交換率を高めることには限界
があり、排ガスの燃焼効率をこれ以上高めることが困難
であった。
【0012】そこで、本願発明の発明者は、特開平7−
12322号に示す排ガス処理装置において、排ガスの
燃焼効率を高めるため、棒状ヒータにより加熱された滞
留板を、排ガスを燃焼させるための加熱手段として機能
させることを検討したが、滞留板は熱容量が低く、棒状
ヒータにより一旦加熱しても排ガスの通過により、すぐ
に温度が低下するため、加熱手段として十分に機能させ
ることはできなかった。
【0013】また、滞留板は、耐熱性を高めるため多孔
質のアルミナやムライト質等から構成されるが、この嵩
密度を高めたり、厚さを厚くすることで、滞留板の熱容
量を大きくすることができる。しかし、滞留板の熱容量
が大きくなると、棒状ヒータで滞留板を加熱するのに長
時間を要することとなり、かえって燃焼効率を低下させ
ることとなった。
【0014】よって、本発明の目的は、冷却室へ向けて
の排ガスの流動を抑制する抑制板を、排ガスを燃焼させ
るための加熱手段として機能させることができ、排ガス
と加熱手段との熱交換率を高め、排ガスの燃焼効率を向
上させることができる排ガス処理装置を提供することに
ある。
【0015】
【課題を解決するための手段】本発明の排ガス処理装置
において、その第1の発明は、熱処理炉から送り込まれ
た排ガスを加熱するための加熱室と、前記加熱室に連通
し、加熱室から送り込まれた排ガスを冷却するための冷
却室とを備え、前記加熱室内には、排ガスを加熱するヒ
ータと、前記冷却室へ向けての排ガスの流動を抑制する
抑制板とが設けられ、前記ヒータは前記抑制板に埋設さ
れ、前記抑制板には排ガスが前記冷却室へ向けて通過す
る通気孔が設けられていることを特徴とするものであ
る。
【0016】また、本発明の排ガス処理装置において、
その第2の発明は、熱処理炉から送り込まれた排ガスを
加熱するための加熱室と、前記加熱室に連通し、加熱室
から送り込まれた排ガスを冷却するための冷却室とを備
え、前記加熱室内には、排ガスを加熱するヒータと、前
記冷却室へ向けての排ガスの流動を抑制する抑制板とが
設けられ、前記ヒータは前記抑制板に埋設され、前記抑
制板と前記加熱室の内壁面との間には排ガスが前記冷却
室へ向けて通過する間隙が設けられていることを特徴と
するものである。
【0017】本発明の排ガス処理装置によれば、その第
1の発明においても、また第2の発明においても、ヒー
タが抑制板に埋設されているので、ヒータにより効率良
く抑制板を加熱することができる。これにより、抑制板
の熱容量を高くしても、ヒータにより抑制板を短時間で
加熱することができる。また、抑制板の熱容量を高くす
ることができるので、抑制板を排ガスを燃焼させるため
の加熱手段として十分に機能させることができる。
【0018】また、上記第1の発明においては、前記抑
制板は、複数枚が加熱室の長手方向に沿って、互いに空
間を隔てて設けられ、空間を隔てて隣接する抑制板同士
に設けられる通気孔は互いに位置が異なることが望まし
い。
【0019】この場合には、冷却室へと向う排ガスの流
動は、抑制板により抑制され、抑制板に設けられた通気
孔を通過した排ガスは、次の抑制板により再度その流動
を抑制される。これにより、加熱室内での排ガスの滞留
時間が長くなる。また、排ガスと、加熱手段である抑制
板との熱交換率が高まることとなる。
【0020】また、上記第2の発明においては、前記抑
制板は、複数枚が加熱室の長手方向に沿って、互いに空
間を隔てて設けられ、空間を隔てて隣接する抑制板と加
熱室の内壁面との間に設けられる間隙は互いに位置が異
なることが望ましい。
【0021】この場合には、冷却室へと向う排ガスの流
動は、抑制板により抑制され、抑制板と加熱室の内壁面
との間に設けられた間隙を通過した排ガスは、次の抑制
板により再度その流動を抑制される。これにより、加熱
室内での排ガスの滞留時間が長くなる。また、排ガス
と、加熱手段である抑制板との熱交換率が高まることと
なる。
【0022】
【発明の実施の形態】以下、本発明に係る排ガス処理装
置の一実施例につき、添付図面を参照して説明する。
【0023】まず、本発明の一実施例である排ガス処理
装置の全体の概略について説明する。
【0024】図1は、本発明の一実施例である排ガス処
理装置1を熱処理炉2に搭載した状態を示す側面図であ
る。
【0025】図1に示すように、排ガス処理装置1は、
その長手方向を水平にして、熱処理炉2の上部に、架台
3に固定した状態で搭載されている。
【0026】熱処理炉2は、セラミック電子部品などの
被熱処理物4が載置される炉床5が昇降する炉床昇降型
バッチ式焼成炉であり、炉内へ被熱処理物4を搬入する
際には炉床5が上昇し、炉内からの被熱処理物4を搬出
する際には炉床5が下降する。
【0027】熱処理炉2の上部側面には、熱処理炉2か
ら排出される排ガスを排ガス処理装置1へ送り込む吸引
パイプ6の一端が取付けられ、吸引パイプ6の他端は排
ガス処理装置1の長手方向の一端側に取付けられてい
る。また、吸引パイプ6には、熱処理炉2から排出され
る排ガスを排ガス処理装置1へ送り込むための吸引ファ
ン7が取付けられている。
【0028】また、排ガス処理装置1の長手方向の他端
側には、排気ダクト8の一端が取付けられ、排気ダクト
8の他端には排気ファン9が設けられている。排ガス処
理装置1内で処理された排ガスは排気ダクト8を通っ
て、排気ファン9によって大気中に排出される。
【0029】次に、排ガス処理装置の内部構造について
説明する。
【0030】図2は、本発明の一実施例である排ガス処
理装置1を示す図面で、図1のA−A線における水平断
面図である。図2に示すように、排ガス処理装置1は、
熱処理炉2の上部に搭載され、断熱材で構成された装置
本体10と、装置本体10の内部に形成された処理空間
11とからなる。
【0031】装置本体10の長手方向の一端側(図2
中、左側)には、処理空間11内に通じる吸引口12が
設けられ、この吸引口12には吸引パイプ6が取付けら
れている。また、装置本体10の長手方向の他端側(図
2中、右側)には、処理空間11内に通じる排気口13
が設けられ、この排気口13には排気ダクト8が取付け
られ、排気ダクト8には排気ファン9が取付けられてい
る。
【0032】処理空間11は、断熱材で構成された隔壁
14により、長手方向に2つに仕切られ、吸引口12に
連通する側(図2中、左側)が加熱室15となり、排気
口13に連通する側(図2中、右側)が冷却室16とな
っている。なお、隔壁14には排ガスが通過することが
できる複数の通気孔17が設けられている。また、加熱
室15の容積は例えば300000立方mm程度であ
る。
【0033】加熱室15には、吸引口12から冷却室1
6へ向けての排ガスの流動を抑制する複数の抑制板18
a、18b、18Cが、加熱室15の長手方向に沿っ
て、互いに所定空間を隔てて設けられている。各抑制板
18a、18b、18Cは、耐熱化と軽量化のため、多
孔質アルミナまたはムライト質からなり、熱容量を高め
るため、嵩密度を1〜2.5g/立方cmとし、厚さを
100mmとした。また、各抑制板18a、18b、1
8Cには、排ガスが通過することができるように両主面
を貫通する複数の通気孔19a、19b、19Cが千鳥
状に設けられている。通気孔19a、19b、19Cの
直径は10〜20mm程度である。
【0034】また、加熱室15には、Sicからなる複
数本の棒状ヒータ20a、20b、20C、20dが、
加熱室15の長手方向に対し直交する方向に設けられて
いる。棒状ヒータ20a、20b、20C、20dの両
端は装置本体に固定されるとともに、外部に突出してい
る。また、各棒状ヒータ20a、20b、20Cは加熱
室15内においては、それぞれ抑制板18a、18b、
18C内に埋設されている。但し、熱電対21の両端に
位置する棒状ヒータ20dは抑制板に埋設されることな
く、加熱室15内に露出している。これは、棒状ヒータ
20dの温度を、熱電対21により正確に測定するため
である。
【0035】ここで、空間を隔てて互いに隣接する抑制
板18a、18bに設けられる通気孔19a、19bの
配列について説明する。
【0036】図3は、本発明の一実施例である排ガス処
理装置を示す断面図で、図3(a)は図2のB−B線に
おける垂直断面図であり、図3(b)は図2のC−C線
における垂直断面図である。
【0037】図3(a)と図3(b)とを比較すると、
どちらの抑制板18a、18bにも棒状ヒータ20a、
20dが、5段にわたり各段2本ずつ合計10本埋設さ
れ、上下方向における棒状ヒータ20a、20dの間
に、4段にわたり各段に7つずつ合計28個の通気孔1
9a、19bが千鳥状に形成されているが、通気孔19
aと通気孔19bとでは、水平方向における位置が互に
異なっていいることが分かる。
【0038】なお、抑制板18cに形成される通気孔1
9cの配列は、抑制板18aに形成される通気孔19a
の配列と同一である。したがって、通気孔19bと通気
孔19cとでは、水平方向における位置が互に異なって
いることとなる。
【0039】また、図2に示すように、冷却室16に
は、装置本体10の外部に設けられた冷却ファン22に
連通する冷却空気吸引口23が設けられている。
【0040】次に、本発明に係る排ガス処理装置の上記
実施例の動作について説明する。
【0041】まず、熱処理炉2から排出された排ガス
は、吸引ファン7により吸引され、吸引パイプ6を通
り、吸引口12より排ガス処理装置1の加熱室15内に
送り込まれる。
【0042】加熱室15内に送り込まれた排ガスは、冷
却室16へ向けて流動するが、排ガスの流動は抑制板1
8a、18b、18cにより抑制されるため、加熱室1
5内において一定時間滞留することとなる。このとき、
抑制板18a、18b、18cは、それぞれ棒状ヒータ
20a、20b、20cにより加熱されているので、排
ガスを加熱する加熱手段として機能する。また、棒状ヒ
ータ20dも排ガスに直接接触し、排ガスを加熱する加
熱手段として機能する。
【0043】抑制板18a、18b、18cにより加熱
処理された排ガスは、抑制板18a、18b、18cに
それぞれ形成された通気孔19a、19b、19cを通
過し、さらに隔壁14に形成された通気孔17を通過し
て、冷却室16へと送り込まれる。
【0044】冷却室16へと送り込まれ排ガスは、冷却
空気吸引口23から吸引された冷却空気により冷却さ
れ、排気ファン9により排気口13へ吸引され、排気ダ
クト8を通り大気中へ排出される。
【0045】次に、本発明に係る排ガス処理装置の他の
実施例につき、添付図面を参照して説明する。
【0046】図4は、本発明の他の実施例である排ガス
処理装置を示す断面図で、上記実施例を示す図2に対応
する水平断面図である。なお、この実施例においては、
抑制板や隔壁の形状等が上記実施例とは異なるが、その
他の部分は上記実施例と実質的に同一であるので、上記
実施例と同一である部分については、同一符号を付して
説明を省略する。
【0047】処理空間11は、断熱材で構成された隔壁
26により、長手方向に2つに仕切られ、吸引口12に
連通する側(図4中、左側)が加熱室15となり、排気
口13に連通する側(図4中、右側)が冷却室16とな
っている。なお、隔壁26と処理空間11の内壁面11
aとの間には排ガスが通過することができる間隙27が
設けられている。
【0048】加熱室15には、吸引口12から冷却室1
6へ向けての排ガスの流動を抑制する複数の抑制板24
a、24b、24cが、加熱室15の長手方向に沿っ
て、互いに所定空間を隔てて設けられている。各抑制板
24a、24b、24cは、耐熱化と軽量化のため、多
孔質アルミナまたはムライト質からなり、熱容量を高め
るため、嵩密度を1〜2.5g/立方cmとし、厚さを
100mmとした。また、各抑制板24a、24b、2
4cと加熱室15の内壁面15aとの間には、排ガスが
通過することができるように間隙25a、25b、25
cが設けられている。
【0049】また、加熱室15には、SiCからなる複
数本の棒状ヒータ20a、20b、20c、20dが、
加熱室15の長手方向に対し直交する方向に設けられて
いる。棒状ヒータ20a、20b、20c、20dの両
端は装置本体に固定されるとともに、外部に突出してい
る。また、各棒状ヒータ20a、20b、20cは加熱
室15内においては、それぞれ抑制板24a、24b、
24c内に埋設されている。但し、熱電対21の両端に
位置する棒状ヒータ20dは抑制板に埋設されることな
く、加熱室15内に露出している。これは、棒状ヒータ
20dの温度を、熱電対21により正確に測定するため
である。
【0050】ここで、空間を隔てて互いに隣接する抑制
板24a、24bと加熱室15の内壁面15aとの間に
形成せれる間隙25a、25bの配置について説明す
る。
【0051】図5は、本発明の他の実施例である排ガス
処理装置を示す断面図で、図5(a)は図4のD−D線
における垂直断面図であり、図5(b)は図4のE−E
線における垂直断面図である。
【0052】図5(a)と図5(b)とを比較すると、
抑制板25aと内壁面15aとの間に形成される間隙2
5aと、抑制板25bと内壁面15aとの間に形成され
る間隙25bとでは、水平方向における位置が互に異な
っていいることが分かる。すなわち、間隙25aは排ガ
スの流動方向左側に設けられ、間隙25bは排ガスの流
動方向右側に設けられている。なお、抑制板25cと内
壁面15aとの間に形成される間隙25cの配置は、間
隙25aの配置と同一である。したがって、間隙25b
と間隙25cとでは、水平方向における位置が互に異な
っていることとなる。
【0053】次に、本発明に係る排ガス処理装置の上記
実施例の動作について説明する。
【0054】まず、熱処理炉2から排出された排ガス
は、吸引ファン7により吸引され、吸引パイプ6を通
り、吸引口12より排ガス処理装置1の加熱室15内に
送り込まれる。
【0055】加熱室15内に送り込まれた排ガスは、冷
却室16へ向けて流動するが、排ガスの流動は抑制板2
4a、24b、24cにより抑制されるため、加熱室1
5内において一定時間滞留することとなる。このとき、
抑制板24a、24b、24cは、それぞれ棒状ヒータ
20a、20b、20cにより加熱されているので、排
ガスを加熱する加熱手段として機能する。また、棒状ヒ
ータ20dも排ガスに直接接触し、排ガスを加熱する加
熱手段として機能する。
【0056】抑制板24a、24b、24cにより加熱
処理された排ガスは、抑制板24a、24b、24cと
加熱室15の内壁面15aとの間に形成された間隙25
a、25b、25cを通過し、さらに隔壁26と処理空
間11の内壁面11aとの間に形成された間隙27を通
過して、冷却室16へと送り込まれる。間隙25a、2
5b、25cは、排ガスの流動方向において左右交互に
形成されているので、排ガスは抑制板24a、24b、
24cに接触しながら、加熱室15内を蛇行することと
なる。
【0057】冷却室16へと送り込まれ排ガスは、冷却
空気吸引口23から吸引された冷却空気により冷却さ
れ、排気ファン9により排気口13へ吸引され、排気ダ
クト8を通り大気中へ排出される。
【0058】以上の通り、本発明の排ガス処理装置につ
いて、2つの実施例に基づき説明したが、本発明は上記
実施例に限定されるものではなく、この発明の要旨の範
囲内で種々の変更が可能である。
【0059】たとえば、上記第1の実施例においては、
空間を隔てて互いに隣接する抑制板18a、18bに設
けられる通気孔19a、19bの配列について、抑制板
18aに形成される通気孔19aと、抑制板18bに形
成される通気孔19bとでは、水平方向における位置が
互に異なっていることとしたが、本発明はこれに限定さ
れるものではなく、上下方向における位置が互に異なっ
ていても良いし、また水平方向と上下方向の両方向にお
いて位置が互に異なっていても良い。この場合、棒状ヒ
ータ20aと20bとで、上下方向における位置を互に
異ならせても良い。
【0060】また、上記第2の実施例においては、空間
を隔てて互いに隣接する抑制板24a、24bと加熱室
15の内壁面15aとの間に形成される間隙25a、2
5bにの配列について、抑制板24aと内壁面15aと
の間に形成される間隙25aと、抑制板24bと内壁面
15aとの間に形成される間隙25bとでは、水平方向
における位置が互に異なっていることとしたが、本発明
はこれに限定されるものではなく、上下方向における位
置が互に異なっていても良い。
【0061】また、上記第1の実施例および第2の実施
例においては、抑制板は3枚としたが、本発明はこれに
限定されるものではなく、3枚未満でも良いし、4枚以
上であっても良い。
【0062】また、上記第1の実施例および第2の実施
例においては、抑制板は矩形状としたが、本発明はこれ
に限定されるものではなく、例えば加熱室の断面形状が
円形の場合には、抑制板も円形状となる。
【0063】また、上記第1の実施例においては、抑制
板18a、18b、18cに設けられる通気孔19a、
19b、19cはいずれも円形状としたが、本発明はこ
れに限定されるものではなく、例えばスリット形状であ
っても良い。また、抑制板自体を多孔質材料で構成して
も良い。
【0064】また、上記第1の実施例および第2の実施
例においては、熱処理炉としてバッチ炉に搭載すること
としたが、本発明はこれに限定されるものではなく、連
続炉等にも搭載可能である。
【0065】その他、ヒータや抑制板の形状や材質が変
更可能であることは勿論である。
【0066】
【発明の効果】以上のように、本発明の排ガス処理装置
によれば、ヒータが抑制板に埋設されているので、効率
良く抑制板を加熱することができる。これにより、抑制
板の熱容量を高くしても、ヒータにより抑制板を短時間
に加熱することができる。また、抑制板の熱容量を高く
することができるので、抑制板を排ガスを燃焼させるた
めの加熱手段として十分に機能させることができる。
【0067】したがって、本発明の排ガス処理装置によ
れば、排ガスの燃焼効率を飛躍的に向上させることがで
きる。
【0068】また、本発明の排ガス処理装置によれば、
加熱源にヒータを用いていることにより、加熱源にバー
ナを用いた排ガス処理装置と比較すると、小型化が可能
であり、初期コスト、ランニングコストともに安価であ
る。また、占有面積も小さくバッチ式焼成炉等の比較的
小型の焼成炉にも適している。さらに、NoxやSox
が発生することもない。
【0069】また、第1の発明においては、前記抑制板
は、複数枚が加熱室の長手方向に沿って、互いに空間を
隔てて設けられ、空間を隔てて隣接する抑制板同士に設
けられる通気孔は互いに位置が異なることが望ましい。
【0070】この場合には、冷却室へと向う排ガスの流
動は、抑制板により抑制され、抑制板に設けられた通気
孔を通過した排ガスは、次の抑制板により再度その流動
を抑制される。これにより、加熱室内での排ガスの滞留
時間が長くなる。また、排ガスと、加熱手段である抑制
板との熱交換率が高まることとなる。
【0071】したがって、この場合には、排ガスの燃焼
効率を一層に向上させることができる。
【0072】また、第2の発明においては、前記抑制板
は、複数枚が加熱室の長手方向に沿って、互いに空間を
隔てて設けられ、空間を隔てて隣接する抑制板と加熱室
の内壁面との間に設けられる通路は互いに位置が異なる
ことが望ましい。
【0073】この場合には、冷却室へと向う排ガスの流
動は、抑制板により抑制され、抑制板と加熱室の内壁面
との間に設けられた通路を通過した排ガスは、次の抑制
板により再度その流動を抑制される。これにより、加熱
室内での排ガスの滞留時間が長くなる。また、排ガス
と、加熱手段である抑制板との熱交換率が高まることと
なる。
【0074】したがって、この場合には、排ガスの燃焼
効率を一層に向上させることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】本発明の一実施例である排ガス処理装置をバッ
チ式焼成炉に搭載した状態を示す側面図である。
【図2】本発明の一実施例である排ガス処理装置を示す
断面図で、図1のA−A線における水平断面図である。
【図3】本発明の一実施例である排ガス処理装置を示す
断面図で、図3(a)は図2のB−B線における垂直断
面図であり、図3(b)は図2のC−C線における垂直
断面図である。
【図4】本発明の他の実施例である排ガス処理装置を示
す断面図で、図2に対応する水平断面図である。
【図5】本発明の一実施例である排ガス処理装置を示す
断面図で、図5(a)は図4のD−D線における垂直断
面図であり、図5(b)は図4のE−E線における垂直
断面図であ。
【符号の説明】
2 熱処理炉 15 加熱室 15a 加熱室の内壁面 16 冷却室 18a、18b、18c 抑制板 19a、19b、19c 通気孔 20a、20b、20c、20d 棒状ヒータ(ヒー
タ) 24a、24b、24c 抑制板 25a、25b、25c 間隙

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】 熱処理炉から送り込まれた排ガスを加熱
    するための加熱室と、 前記加熱室に連通し、加熱室から送り込まれた排ガスを
    冷却するための冷却室とを備え、 前記加熱室内には、排ガスを加熱するヒータと、前記冷
    却室へ向けての排ガスの流動を抑制する抑制板とが設け
    られ、 前記ヒータは前記抑制板に埋設され、前記抑制板には排
    ガスが前記冷却室へ向けて通過する通気孔が設けられて
    いることを特徴とする排ガス処理装置。
  2. 【請求項2】 前記抑制板は、複数枚が加熱室の長手方
    向に沿って、互いに空間を隔てて設けられ、空間を隔て
    て隣接する抑制板同士に設けられる通気孔は互いに位置
    が異なることを特徴とする請求項1に記載の排ガス処理
    装置。
  3. 【請求項3】 熱処理炉から送り込まれた排ガスを加熱
    するための加熱室と、 前記加熱室に連通し、加熱室から送り込まれた排ガスを
    冷却するための冷却室とを備え、 前記加熱室内には、排ガスを加熱するヒータと、前記冷
    却室へ向けての排ガスの流動を抑制する抑制板とが設け
    られ、 前記ヒータは前記抑制板に埋設され、前記抑制板と前記
    加熱室の内壁面との間には排ガスが前記冷却室へ向けて
    通過する間隙が設けられていることを特徴とする排ガス
    処理装置。
  4. 【請求項4】 前記抑制板は、複数枚が加熱室の長手方
    向に沿って、互いに空間を隔てて設けられ、空間を隔て
    て隣接する抑制板と加熱室の内壁面との間に設けられる
    間隙は互いに位置が異なることを特徴とする請求項3に
    記載の排ガス処理装置。
JP8681696A 1996-04-09 1996-04-09 排ガス処理装置 Pending JPH09280532A (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2013217590A (ja) * 2012-04-10 2013-10-24 Murata Mfg Co Ltd 排ガス処理方法および排ガス処理装置

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