JPH09277536A

JPH09277536A - インクジェット記録ヘッド及びその製造方法

Info

Publication number: JPH09277536A
Application number: JP8527296A
Authority: JP
Inventors: Kenji Aono; 賢治青野
Original assignee: Canon Inc
Current assignee: Canon Inc
Priority date: 1996-04-08
Filing date: 1996-04-08
Publication date: 1997-10-28

Abstract

(57)【要約】【課題】撥水性、耐食性に優れ、簡単に構成できる表
面処理層を有する秀れたインクジエット記録ヘッド及び
その製造方法を提供する。【解決手段】インク吐出口周縁部が表面処理されたイ
ンクジェット記録ヘッドを製造する方法において、感光
性樹脂からなる表面処理剤をインク吐出口周縁部に印刷
し、光照射を行う工程と、更に印刷された印刷表面上に
表面処理剤を印刷し、光照射を行う工程とからなること
を特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法及び
該方法により得られるインクジェット記録ヘッドが提供
される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、一般にインクと呼
ばれる記録液を微細口から小滴として吐出、飛翔させ、
この小滴の被記録面ヘの付着を以て記録を行うインクジ
ェット記録ヘッド、特にインク吐出口周縁に改良を加え
るインクジェット記録ヘッドの表面処理剤及び表面処理
方法に関する。

【０００２】

【従来の技術】インクジェット記録ヘッドの吐出口周縁
部は一般に撥水性になっていることが吐出安定性に良い
ことが知られている。また、周縁部は空気中の塵、ごみ
等によってまた、紙等の被記録材によって擦れ、傷を受
け易い環境に置かれる。このため、周縁部には撥水性を
有し、なお且つ、或る程度の耐摩耗性を有する材料を塗
布する処理がなされている。

【０００３】実際には、インクジェット記録ヘッドは、
以下の方法で作成する。液体吐出エネルギー発生部とし
て電気熱変換素子を形成したアルミニウム基板１上に、
感光性樹脂としてポジ型フォトレジストPMER-AR900（東
京応化社製）をスピンコートし、プリベークを行った
後、液流路のマスクパターンを介してマスクアライナー
PLA-501 （キヤノン社製）により3J/cm²の露光量にて露
光を行い、その後現像処理を行い、ポストベークを行っ
て、液流路となる型材を形成する。次に基板に天板４を
合わせ、天板と基板の間に、熱硬化型の液流路構成材料
を注入した後、熱硬化を行う。硬化後は記録ヘッドの吐
出口面を形成するためにスライサーDLS-61（DISCO 社
製）を用いて超硬メタルソー（日立ツール社製）で切断
を行う。切断後アセトン中に浸漬して型剤を溶解除去
し、インク吐出口を作成する。

【０００４】最後に、撥水層である表面層６を形成す
る。撥水剤は紫外線硬化型の撥水材料を用いるが、撥水
層形成時には撥水剤がノズル内に入らないように精密に
しかも、均一な撥水層を形成する必要がある。通常フレ
キソ印刷機を用いて印刷を行っている。そして最後に、
紫外線及び熱で硬化させ、撥水層を形成する。

【０００５】

【発明が解決しようとする課題】最近プリンターの低コ
スト化が進行し、記録ヘッドのコストもまた低くする必
要が生じている。そこで前記インクジェット記録ヘッド
に用いる基板にアルミニウムを用いるようになった。

【０００６】一方、近年、インクジェット記録装置が複
写機や捺染装置といったプリンタの分野以外でも使用さ
れるようになっており、OHP シートや布等の紙以外のプ
リンタ媒体にインクを付着させる目的で、高いアルカリ
性を示すインクが使われるようになってきている。即
ち、定着性や耐水性を向上させるためにはインクの染料
や顔料として比較的溶剤に溶けにくい顔料を用いること
もあり、これらの染料及び顔料を使いこなすために高い
アルカリ性を示すインクを用いることにより、染料につ
いては溶けやすくなり、また顔料については分散安定性
が良くなるものである。

【０００７】以上のことより吐出口周辺部の耐食性を向
上させるためアルミニウム表面に下地処理として無電解
ニッケルめっき或いは化成処理等を行う。然しながら、
上記下地層を有するフェイス面に撥水性有機ポリマーを
印刷した場合は、耐食処理をしていないフェイス面に前
記撥水性ポリマーを印刷した場合と比ベて撥水性が低
く、連続印字を行っていくと印字品位が劣化した。

【０００８】本発明の目的は、撥水性、耐食性に優れ、
簡単に構成できる表面処理層を有するインクジエット記
録ヘッド及びその製造方法を提供することにある。

【０００９】

【課題を解決するための手段及び作用】本発明は上記の
課題を解決すべくなされたものであって、上記の目的は
以下に示す本発明によって達成される。

【００１０】即ち本発明は、インク吐出口周縁部が表面
処理されたインクジェット記録ヘッドを製造する方法に
おいて、感光性樹脂からなる表面処理剤をインク吐出口
周縁部に印刷し、光照射を行う工程と、更に印刷された
印刷表面上に表面処理剤を印刷し、光照射を行う工程と
からなることを特徴とするインクジェット記録ヘッドの
製造方法を開示するものである。

【００１１】そして前記インクジェット記録ヘッドのエ
ネルギー発生素子を、電気エネルギーを与えることによ
って発熱しインクに状態変化を生ぜしめて吐出を行わせ
るための電気熱変換体となすことを特徴とする方法であ
る。

【００１２】また本発明は、インクジェット記録装置用
のインクジェット記録ヘッドにおいて、該記録ヘッド
が、前記のインクジェット記録ヘッドの製造方法により
得られるものであることを特徴とする、インクジェット
記録ヘッドをも開示するものである。

【００１３】そして前記インクジェット記録ヘッドが、
記録媒体の記録領域の全幅に亘って複数の吐出口を具備
するフルラインタイプのものであり、また前記インクジ
ェット記録ヘッドが、多色用の吐出口が一体成形された
ものであることを特徴とするものである。

【００１４】目的を達成する手段は、インク吐出口周縁
部が表面処理されたインクジェット記録ヘッドの製造方
法において、感光性樹脂からなる表面処理剤をインク吐
出口周縁部に印刷し、光照射を行い半硬化し、その上に
再び感光性樹脂からなる表面処理剤をインク吐出口周縁
部に印刷することにある。

【００１５】印刷を行う回数は、必要な膜厚にもよる
が、必要な撥水性を出すのに十分な量であれば特に限定
されない。

【００１６】通常用いる感光性樹脂としては、エポキシ
樹脂、アクリル樹脂、ポリエン−チオール系樹脂等が用
いられる。上記樹脂に必要に応じて溶剤、フィラー、シ
ランカップリング剤等を添加剤を入れることができる。
光照射装置は高圧水銀ランプメタルハライドランプ、超
高圧水銀ランプ等が用いられる。光照射量は、使用する
材料並びに印刷膜厚によるが通常数J/cm²から10J/cm²
程度の照射量である。印刷装置としては、フレキソ印刷
機或いはゴム転写による印刷等が用いられる。

【００１７】クロメート表面は撥水性が低く微小な凹凸
がある。本発明による印刷方法によれば、吐出口の中に
撥水剤が侵入しないので記録ヘッドの吐出性は良好であ
る。印刷された撥水層の膜厚も増加し、凸部が確実にコ
ートされるので、クロメート表面の影響がなくなり撥水
性が向上したものと考えられる。

【００１８】

【発明の実施の形態】本発明は、特に、インクジェット
記録方式のなかでも熱エネルギーを利用して液滴を飛翔
させて記録を行うインクジェット記録ヘッド及びインク
ジェット記録装置において優れた効果をもたらすもので
ある。これらの記録ヘッド及び記録装置の体表的な構成
や原理については、例えば、米国特許第４７２３１２９
号明細書、同第４７４０７９６号明細書に開示されてい
る基本的な原理を用いるものが好ましい。

【００１９】この原理を用いた方式は、オンデマンド型
及びコンティニュアス型のいずれにも適用可能である
が、特にオンデマンド型の場合に有効である。オンデマ
ンド型方式は次の通りである。液体（インク）が保持さ
れているシートや液路に対応して配置されている電気熱
変換体に、記録情報に対応した、核沸騰を超える急速な
温度上昇を与える一つ以上の駆動信号を印加することに
よって、電気熱変換体に熱エネルギーを発生させ、記録
ヘッドの熱作用面に膜沸騰を生じさせて駆動信号に１対
１で対応した気泡を液体（インク）内に形成する。この
気泡の成長・収縮によってインク吐出口からインクを吐
出させて、１つ以上の液滴を形成・飛翔させる。

【００２０】このときの駆動信号をパルス形状とする
と、信号の印加に対して気泡の成長・収縮が瞬時・適切
に行われ、応答性に優れたインクの吐出が達成できる。
この駆動信号としては、米国特許第４４６３３５９号明
細書、同第４３４５２６２号明細書に記載されているよ
うなものが適している。また、米国特許第４３１３１２
４号明細書に記載の熱作用面の温度上昇率に関する発明
の設定条件を採用すると、更に優れた記録を行うことが
できる。

【００２１】本発明のインクジェット記録ヘッドの構成
としては、上記の各明細書に記載されているような吐出
口・液路・電気熱変換体を組み合わせた構成（直線状液
流路構成又は直角液流路構成）の他に、米国特許第４５
５８３３３号明細書及び同第４４５９６００号明細書に
開示された、熱作用部が屈曲する領域に配置されている
構成をとってもよい。

【００２２】上記構成に加えて、複数の電気熱変換体に
対して共通するスリットを電気熱変換体の吐出部とする
構成（特開昭５９−１２３６７０号公報に開示）や、熱
エネルギーの圧力波を吸収する開孔を吐出部に対応させ
る構成（特開昭５９−１３８４６１号公報に開示）に基
づいた構成としても本発明は有効である。

【００２３】更に、記録装置が記録可能な最大記録幅に
対応した長さを有するフルラインタイプの記録ヘッドを
用いてもよい。このフルラインタイプの記録ヘッドとし
ては、上記の明細書に開示されているような記録ヘッド
を、複数組み合わせた構成や、一体型の構成のいずれで
あってもよい。その他の記録ヘッドのタイプとして、記
録装置本体との電気的接続や記録装置本体からのインク
の供給が可能になる交換自在のチップタイプの記録ヘッ
ド、又は記録ヘッド自体に一体的にインクタンクが設け
られたカートリッジタイプの記録ヘッドを用いてもよ
い。

【００２４】本発明のインクジェット記録装置の構成ユ
ニットとして、記録ヘッドに対する回復手段や予備的な
補助手段等を付加することは、本発明の効果を一層安定
化するため好ましい。これらの手段を具体的に挙げれ
ば、記録ヘッドに対してのキャッピング手段、クリーニ
ング手段、加圧・吸引手段、予備加熱手段、予備吐出手
段等がある。更に本発明の記録装置の記録モードとし
て、黒色等の主流色のみの記録モード以外に、異なる色
の複色カラーや、混色によるフルカラーのモードを備え
てもよい。

【００２５】以上に説明した本発明の記録ヘッド及び記
録装置においては、インクを液体として説明している
が、室温又はそれ以下で固化するインクであっても室温
以上で軟化又は液化するインクであれば本発明に用いる
ことができる。インクジェット方式では一般に、インク
自体を３０〜７０℃に調整してインクの粘性を安定吐出
範囲に温度制御するため、記録信号付与時に上記温度範
囲でインクが液状であればよい。このようなインクは、
記録信号に応じた熱エネルギーの付与によって液化し、
液状インクとして吐出され、記録媒体に到達時点で即座
に固化し始めるもの等が用いられる。インクの液化によ
っては過剰な熱エネルギーによる昇温を防止できたり、
インクが常温付近で固体であること又は吐出後に固化す
ることによってインクの蒸発を防止することができる。

【００２６】上記のインクは、多孔質シート等の凹部又
は貫通孔に液状又は固形物として保持され、これを電気
熱変換体に対向する位置に設けてもよい（特開昭５４−
５６８４７号、同６０−７１２６０号各公報に記載）。
本発明においては、上述の各インクに対して膜沸騰方式
が最も有効である。

【００２７】本発明のインクジェット記録装置は、ワー
ドプロセッサやコンピュータ等の情報処理機器の画像出
力端末として一体又は別体に設けられるものの他、リー
ダ等と組み合わせた複写装置や、送受信機能を有するフ
ァクシミリ装置の形態をとるものであってもよい。以
下、具体的実施例によって本発明をより詳細に説明する
が、本発明はこれらのみに限定されるものではない。

【００２８】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。［実施例１］先ず記録ヘッドを作成する。液体吐出エネ
ルギー発生部として電気熱変換素子を形成したアルミニ
ウム基板１上に、感光性樹脂としてポジ型フォトレジス
トPMER-AR 900 （東京応化社製）をスピンコートし、プ
リベ−クを行った後、液流路のマスクパターンを介して
マスクアライナーPLA-501 （キヤノン社製）により3J/c
m²の露光量にて露光を行い、その後現像処理を行い、ポ
ストベークを行って、液流路となる型材を形成した。

【００２９】次にアルミニウム基板１に天板を合わせ、
天板と基板の間に熱硬化型の液流路構成材料を注入した
後、熱硬化を行なった。硬化後はヘッドの吐出口面を形
成するためにスライサーDSL-61（DISCO 社製）を用いて
超硬メタルソー（日立ツール社製）で切断を行なった。

【００３０】次にエッチング液として、C-6 液（東京応
化工業社製）を用い、38℃にて１分間フェイス面を浸漬
後、水洗した後、酸として硝酸50％を用い15秒間洗浄す
る。続いて水洗を行った後、亜鉛置換メッキ液アルボン
ド（ワールドメタル社製）に常温にて１分間浸漬した後
メッキ液として無電解Ni-Bメッキ液ニボロン（ワールド
メタル社製）に65℃にて浸漬し、最後に水洗を行なって
フェイス面に下地層５である無電解ニッケル膜を形成す
る。続いて、アセトン中に浸漬して型材を溶解除去し、
ノズルを作製した。

【００３１】最後に、表面層６を形成する。撥水性有機
ポリマ−として撥水性エポキシ樹脂を以下の組成で調製
する。

【００３２】この調製液を用い撥水性有機ポリマー（オングストロマ
ー、日本写真印刷社製）を用いて印刷を行い、次いで光
照射装置を用いて8.3J/cm²の光照射を行った。続いて同
様に撥水性エポキシ樹脂を、オングストロマー（日本写
真印刷社製）を用いて印刷を行った、この方法による印
刷、光照射を10回繰り返し行い、130 ℃にて１時間硬化
し、記録ヘッドを完成した。

【００３３】［実施例２］先に記録ヘッドを作成する。
液体吐出エネルギー発生部として電気熱変換素子を形成
したアルミニウム基板１上に、感光性樹脂としてポジ型
フォトレジストPMER-AR 900 （東京応化社製）をスピン
コートし、プリベークを行った後、液流路のマスクパタ
ーンを介してマスクアライナーPLA-501 （キヤノン社
製）により3J/cm²の露光量にて露光を行い、その後現像
処理を行い、ポストベークを行って、液流路となる型材
を形成した。

【００３４】次にアルミニウム基板１に天板を合わせ、
天板と基板の間に熱硬化型の液流路構成材料を注入した
後、熱硬化を行なった。硬化後はヘッドの吐出口面を形
成するためにスライサーDSL-61（DISCO 社製）を用いて
超硬メタルソー（日立ツール社製）で切断を行なった。

【００３５】薬剤としてCL-N251G（日本パーカライジン
グ社製）を用い、それと水との比が1:3 の液に40℃にて
30秒間浸漬した後、水洗し、AM 713（日本パーカライジ
ング社製）72g ／リットルに40℃にて30秒間浸漬し、水
洗いを行った後風乾し下地層５であるクロメート処理膜
を形成した。切断後アセトン中にフェイス面を浸漬して
型剤を溶解除去し、インク吐出口３を作成した。続い
て、アセトン中に浸漬して型材を溶解除去し、ノズルを
作製した。

【００３６】最後に、表面層６を形成する。撥水性有機
ポリマーとして実施例１と同様に作成した撥水性エポキ
シ樹脂を、オングストロマー（日本写真印刷社製）を用
いて印刷を行い、次に光照射装置を用いて8.3J/cm²の光
照射を行った。続いて同じように撥水性エポキシ樹脂
を、オングストロマー（日本写真印刷社製）を用いて印
刷を行った、この方法による印刷、光照射を10回繰り返
し行い、130 ℃にて１時間硬化し、記録ヘッドを完成し
た。

【００３７】［実施例３］先ず記録ヘッドを作成する。
液体吐出エネルギー発生部として電気熱変換素子を形成
したアルミニウム基板１上に、感光性樹脂としてポジ型
フォトレジストPMER-AR 900 （東京応化社製）をスピン
コートし、プリベークを行った後、液流路のマスクパタ
ーンを介してマスクアライナーPLA-501 （キヤノン社
製）により3J/cm²の露光量にて露光を行い、その後現像
処理を行い、ポストベークを行って、液流路となる型材
を形成した。

【００３８】次にアルミニウム基板１に天板を合わせ、
天板と基板の間に熱硬化型の液流路構成材料を注入した
後、熱硬化を行なった。硬化後はヘッドの吐出口面を形
成するためにスライサーDSL-61（DISCO 社製）を用いて
超硬メタルソー（日立ツール社製）で切断を行なった。

【００３９】次いでエッチング液として、C-6 液（東京
応化エ業社製）を用い、38℃にて１分間フェイス面を浸
漬後、水洗して、酸として硝酸50％を用い15秒間洗浄す
る。続いて水洗を行った後、亜鉛置換メッキ液アルボン
ド（ワールドメタル社製）に１分間浸漬した後メッキ液
として無電解Ni-Bメッキ液（ワールドメタル社製）に浸
漬し、フェイス面に下地層５である無電解ニッケル膜を
形成する。続いて、アセトン中に浸漬して型材を溶解除
去し、ノズルを作製した。

【００４０】最後に、表面層６を形成する。撥水性有機
ポリマーとして実施例１と同様に作成した撥水性エポキ
シ樹脂を、オングストロマー（日本写真印刷社製）を用
いて印刷を行い、次に光照射装置を用いて8.3J/cm²の光
照射を行った。続いて同じように撥水性有機ポリマーと
して撥水性エポキシ樹脂を、オングストロマー（日本写
真印刷社製）を用いて印刷を行った、この方法による印
刷、光照射を20回繰り返し行い、130 ℃にて１分間硬化
し、記録ヘッドを完成した。

【００４１】［実施例４］先に記録ヘッドを作成する。
液体吐出エネルギー発生部として電気熱変換素子を形成
したアルミニウム基板１上に、感光性樹脂としてポジ型
フォトレジストPMER-AR900（東京応化社製）をスピンコ
ートし、プリベークを行った後、液流路のマスクパター
ンを介してマスクアライナー PLA-501（キヤノン社製）
により3J/cm²の露光量にて露光を行い、その後現像処理
を行い、ポストベークを行って、液流路となる型材を形
成した。

【００４２】次にアルミニウム基板１に天板を合わせ、
天板と基板の間に熱硬化型の液流路構成材料を注入した
後、熱硬化を行なった。硬化後はヘッドの吐出口面を形
成するためにスライサーDSL-61（DISCO 社製）を用いて
超硬メタルソー（日立ツール社製）で切断を行なった。

【００４３】薬剤としてCL-N251G（日本パーカライジン
グ社製）を用い、それと水との比が1:3 の液に40℃にて
30秒間フェイス面を浸漬した後、水洗して、AM713 （日
本パーカライジング社製）72g/リットルに40℃にて30秒
間浸漬し、水洗いを行った後風乾し下地層５であるクロ
メート処理膜を形成した。切断後アセトン中に浸漬して
型剤を溶解除去し、インク吐出口３を作成した。続い
て、アセトン中に浸漬して型材を溶解除去し、ノズルを
作製した。

【００４４】最後に、表面層６を形成する。撥水性有機
ポリマーとして実施例１と同様に作成した撥水性エポキ
シ樹脂を、オングストロマー（日本写真印刷社製）を用
いて印刷を行い、次に光照射装置を用いて8.3J/cm²の光
照射を行った。続いて同じように撥水性エポキシ樹脂
を、オングストロマー（日本写真印刷社製）を用いて印
刷を行った、この方法による印刷、光照射を20回繰り返
し行い、130 ℃にて１時間硬化し、記録ヘッドを完成し
た。

【００４５】［比較例１］先ず記録ヘッドを作成する。
液体吐出エネルギー発生部として電気熱変換素子を形成
したアルミニウム基板１上に、感光性樹脂としてポジ型
フォトレジストPMER-AR900（東京応化社製）をスピンコ
ートし、プリベークを行った後、液流路のマスクパター
ンを介してマスクアライナー PLA-501（キヤノン社製）
により3J/cm²の露光量にて露光を行い、その後現像処理
を行い、ポストベークを行って、液流路となる型材を形
成した。

【００４６】次にアルミニウム基板１に天板を合わせ、
天板と基板の間に熱硬化型の液流路構成材料を注入した
後、熱硬化を行なった。硬化後はヘッドの吐出口面を形
成するためにスライサーDSL-61（DISCO 社製）を用いて
超硬メタルソー（日立ツール社製）で切断を行なった。

【００４７】次いでエッチング液として、C-6 液（東京
応化工業社製）を用い、38℃にて１分間フェイス面を浸
漬後、水洗して、酸として硝酸50％を用い15秒間洗浄す
る。続いて水洗を行った後、亜鉛置換メッキ液アルボン
ド（ワールドメタル社製）に１分間浸漬した後メッキ液
として無電解Ni-Bメッキ液（ワールドメタル社製）に浸
漬し、フェイス面に下地層５である無電解ニッケル膜を
形成する。

【００４８】最後に、表面層６を形成する。撥水性有機
ポリマーとして実施例１と同様に作成した撥水性エポキ
シ樹脂を、オングストロマー（日本写真印刷社製）を用
いて印刷を行い、光照射装置を用いて8.3J/cm²の光照射
を行い 130℃にて１時間硬化し、記録ヘッドを完成し
た。

【００４９】［比較例２］先に記録ヘッドを作成する。
液体吐出エネルギー発生部として電気熱変換素子を形成
したアルミニウム基板１上に、感光性樹脂としてポジ型
フォトレジストPMER-AR900（東京応化社製）をスピンコ
ートし、プリベークを行った後、液流路のマスクパタ−
ンを介してマスクアライナーPLA-501 （キヤノン社製）
により3J/cm²の露光量にて露光を行い、その後現像処理
を行い、ポストベ−クを行って、液流路となる型材を形
成した。

【００５０】次にアルミニウム基板１に天板を合わせ、
天板と基板の間に熱硬化型の液流路構成材料を注入した
後、熱硬化を行なった。硬化後はヘッドの吐出口面を形
成するためにスライサーDSL-61（DISCO 社製）を用いて
超硬メタルソー（日立ツール社製）で切断を行なった。

【００５１】薬剤としてCL-N251G（日本パーカライジン
グ社製）を用い、それと水との比が1:3 の液に40℃にて
30秒間浸漬した後、水洗し、AM713 （日本パーカライジ
ング社製）72g ／リットルに40℃にて30秒間浸漬し、水
洗いを行った後風乾し下地層５を形成した。切断後アセ
トン中に浸漬して型剤を溶解除去し、インク吐出口３を
作成した。続いて、アセトン中に浸漬して型材を溶解除
去し、ノズルを作製した。

【００５２】最後に、表面層６を形成する。撥水性有機
ポリマーとして実施例１と同様に作成した撥水性エポキ
シ樹脂を、オングストロマー（日本写真印刷社製）を用
いて印刷を行い、次に光照射装置を用いて8.3J/cm²の光
照射行い130 ℃にて１時間硬化し、記録ヘッドを完成し
た。

【００５３】次に前記実施例及び比較例に記載した構成
を有する記録ヘッドを作成し接触角の測定を行った。実
施例１〜４に記載したものは、比較例に記載した記録ヘ
ッドと比較して接触角が高かった。更に上述記録ヘッド
をインクジェットプリンターに搭載し、連続印字を行っ
た。実施例１〜４の記録ヘッドによる印字物は連続印字
後も印字品位が良好であったが、比較例１及び２の記録
ヘッドによる印字物は、連続印字後吐出不良によるもの
と考えられる印字品位の劣化が認められた。

【００５４】なお上述実施例においては、シリアルタイ
プのへッドを作成したが、記録媒体の記録領域の全幅に
亘って吐出口が複数設けられているフルラインタイプの
ものについても本発明は適用可能である。或いは単色用
のへッドのみならず多色用の吐出口が一体成形されたも
のについても本発明は適用可能である。また、上述実施
例ではエネルギー発生素子に電気熱変換素子を用いた例
を示したが、それ以外のエネルギー発生素子を有するイ
ンクジェットヘッドにも本発明は有効である。

【００５５】

【発明の効果】上記のように、撥水性、耐食性に優れる
表面処理層を有し吐出性に秀れたインクジェット記録ヘ
ッド及びその製造方法を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】実施例における記録ヘッドを示す摸式斜視図。

【図２】実施例における記録ヘッドのフェイス面を示す
摸式拡大図。

【符号の説明】

１基板２ノズル樹脂層３インク吐出口４天板５下地層（クロメート処理膜或いは無電解ニッケル
膜）６撥水層

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】インク吐出口周縁部が表面処理されたイ
ンクジェット記録ヘッドを製造する方法において、感光
性樹脂からなる表面処理剤をインク吐出口周縁部に印刷
し、光照射を行う工程と、更に印刷された印刷表面上に
表面処理剤を印刷し、光照射を行う工程とからなること
を特徴とするインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項２】前記インクジェット記録ヘッドのエネル
ギー発生素子を、電気エネルギーを与えることによって
発熱しインクに状態変化を生ぜしめて吐出を行わせるた
めの電気熱変換体となすことを特徴とする、請求項１記
載のインクジェット記録ヘッドの製造方法。
【請求項３】インクジェット記録装置用のインクジェ
ット記録ヘッドにおいて、該記録ヘッドが、請求項１又
は２記載のインクジェット記録ヘッドの製造方法により
得られるものであることを特徴とする、インクジェット
記録ヘッド。
【請求項４】前記インクジェット記録ヘッドが、記録
媒体の記録領域の全幅に亘って複数の吐出口を具備する
フルラインタイプのものであることを特徴とする請求項
３記載のインクジェット記録ヘッド。
【請求項５】前記インクジェット記録ヘッドが、多色
用の吐出口が一体成形されたものであることを特徴とす
る、請求項３又は４記載のインクジェット記録ヘッド。